RU1777171C

RU1777171C - Process of manufacture of carrier of magnetic audio recording

Info

Publication number: RU1777171C
Application number: SU904886907A
Authority: RU
Inventors: Сергей Иванович Касаткин; Владимир Владимирович Мальцев
Original assignee: Институт проблем управления
Priority date: 1990-11-30
Filing date: 1990-11-30
Publication date: 1992-11-23

Abstract

Изобретение относитс к приборостроению и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных магнитных аудиолент методом термического напылени рабочего сло под углом к основе. С целью повышени качества магнитной ленты , подслой InGa напыл ют под углом, равным углу пылени пленки, при этом в качестве разделительного сло используют хром. 1 ил.The invention relates to instrumentation and can be used in the manufacture of thin-film magnetic audio tapes by thermal spraying of the working layer at an angle to the base. In order to improve the quality of the magnetic tape, the InGa sublayer is sprayed at an angle equal to the film dust angle, with chromium being used as the separation layer. 1 ill.

Description

Изобретение относитс к области магнитной записи и может быть использовано при изготовлении носител магнитной записи на гибкой основе, в частности магнитных лент дл звукозаписи.The invention relates to the field of magnetic recording and can be used in the manufacture of a flexible magnetic recording medium, in particular magnetic tapes for sound recording.

Известен способ изготовлени носител магнитной записи из Co-Ni дл звукозаписи путем наклонного напылени и использовани в качестве разделительного сло - алюминий.A known method of manufacturing a Co-Ni magnetic recording medium for sound recording by inclined sputtering and using aluminum as the separation layer.

Этотспособ позвол ет получить магнитный носитель с приемлемыми характеристиками дл звукозаписи. Однако пленки из Co-Ni. обладают недостатками дл звукозаписи , в первую очередь, имеют нелинейную амплитудно-частотную характеристику. Использование алюмини не привсдит к увеличению коэрцитивной силы носител , к тому же он обладает не наилучшей адгезией .This method provides a magnetic medium with acceptable characteristics for sound recording. However, films of Co-Ni. they have disadvantages for recording, in the first place, they have a non-linear amplitude-frequency characteristic. The use of aluminum does not lead to an increase in the coercive force of the carrier; moreover, it does not have the best adhesion.

Известен способ изготовлени носител магнитной записи, заключающийс в напылении FeN пленки электрон.ю-лучевым испарением Fe и ионами азота Пленки FeN обладают хорошими техническими характеристиками и коррозионной стойкостью.A known method of manufacturing a magnetic recording medium is to deposit a FeN film by electron beam evaporation of Fe and nitrogen ions. FeN films have good technical characteristics and corrosion resistance.

Недостатком данного способа вл етс существенное усложнение конструкции вакуумной камеры.The disadvantage of this method is the significant complication of the design of the vacuum chamber.

Известен и наиболее близок к технической сущности способ изготовлени носител магнитной записи, заключающийс в пр мом (перпендикул рно к основе) напылении на гибкую основу подсло InGa или других сплавов гали и магнитной пленки Со. Ni, Fe или их сплавов. Достоинством данного способа вл етс высока эффективность процесса изготовлени носител , недостаток - трудности, св занные с жесткими требовани ми к напылению подсло , очистке основы,оборудованию.Known and closest to the technical nature of the method of manufacturing a magnetic recording medium, which consists in direct (perpendicular to the base) spraying onto a flexible base an InGa sublayer or other alloys of galium and a magnetic Co film. Ni, Fe or their alloys. The advantage of this method is the high efficiency of the carrier manufacturing process, the disadvantage is the difficulties associated with the stringent requirements for spraying the underlayer, cleaning the base, and equipment.

Цель изобретени - повышение качества носител магнитной аудиозаписиThe purpose of the invention is to improve the quality of the magnetic media

Указанна цель достигаетс тем, что в способе изготовлени носител магнитной аудиозаписи, заключающемс в напылении на гибкую диэлектрическую основу в атмосфере азота подслой InGa толщиной 10-20 нм, с последующим напылением магнитной пленки FeN толщиной 30-50 нм под углом не менее 50° относительно нормали к основе , на которую напыл ют разделительный слой толщиной 10-20 нм под углом равным углу пылени магнитной пленки причемThis goal is achieved by the fact that in the method of manufacturing a magnetic audio recording medium, which consists in sputtering a flexible dielectric base in a nitrogen atmosphere, an InGa sublayer with a thickness of 10-20 nm, followed by sputtering a magnetic FeN film with a thickness of 30-50 nm at an angle of at least 50 ° relative to the normal to the base on which the separation layer 10–20 nm thick is sprayed at an angle equal to the dust angle of the magnetic film;

VO VO

VJVj

V4V4

чh

этот процесс пылени трех слоев повтор ют от трех до п ти раз, после окончани которого нанос т защитный слой, отличающийс тем. что подслой InGA напыл ют под углом, равным углу пылени пленки, а в качестве материала разделительного сло используют хром.this dusting process of three layers is repeated three to five times, after which a protective layer is applied, characterized in that that the InGA sublayer is sprayed at an angle equal to the dust angle of the film, and chromium is used as the material of the separation layer.

Существенными отличительными признаками в указанной выше совокупности вл ютс напыление подсло InGa под углом к основе, равным углу пылени магнитной пленки и использование хрома в качестве разделительного сло .Salient features in the aforementioned combination are the deposition of the InGa sublayer at an angle to the base equal to the dust angle of the magnetic film and the use of chromium as a separation layer.

Указанные выше признаки, отличающие за вл емый способ изготовлени носи- те-л магнитной записи, обусловили по вление в за вл емом объекте нового свойства: увеличение коэрцитивной силы и улучшение электроакустических характеристик , что позвол ет уменьшить угол напылени и предопредел ет положительный эффект предложени .The aforementioned features that distinguish the claimed method of manufacturing a magnetic recording medium caused a new property to appear in the claimed object: an increase in the coercive force and an improvement in electro-acoustic characteristics, which makes it possible to reduce the spraying angle and predetermines the positive effect of the proposal.

На чертеже приведена схема поэтапного изготовлени носител магнитной записи .The drawing shows a diagram of the phased production of a magnetic recording medium.

Носитель магнитной записи состоит из немагнитной основы 1, на которую напылен подслой ImGa 2. На подслой напылена магнитна FeN пленка 3, на которую напылен разделительный слой хрома 4. Сверху магнитную ленту закрывает защитный слой 5.The magnetic recording medium consists of a non-magnetic substrate 1 on which an ImGa 2 sublayer is sprayed. Magnetic FeN film 3 is sprayed on the sublayer, on which a chromium separation layer 4 is sprayed. The protective layer 5 covers the magnetic tape above.

Предложенный способ осуществл етс следующим образом.The proposed method is carried out as follows.

На тщательно очищенную и обезжиренную диэлектрическую основу 1 под углом не менее ЬО по нормали к основе вакуумно напыл ютс подслой InGa 2 толщиной 10- 20 нм, на который напыл ютс под тем же углом магнитна пленка FeN 3 толщиной 30-59 нм и разделительный слой хрома толщиной 10-20 нм. Все процессы пылени провод тс в атмосфере азота и без вскрыти вакуумной камеры. Процессы напылени этих трех слоев могут повтор тьс до п ти раз. Данную структуру закрывает защитный слой 5.A 10–20 nm thick InGa 2 sublayer is sprayed onto a thoroughly cleaned and degreased dielectric base 1 at an angle of at least L0 normal to the base, onto which an FeN 3 magnetic film 30–59 nm thick and a chromium separation layer are sprayed at the same angle 10-20 nm thick. All dusting processes are carried out in a nitrogen atmosphere and without opening the vacuum chamber. The spraying processes of these three layers can be repeated up to five times. This structure is covered by a protective layer 5.

Использование подсло InGa позвол ет резко ослабить один из существенных недостатков пленок - необходимость достаточно больших углов пылени дл получени направлени намагниченности пленок вдоль ленты и требуемых значений коэрцитивнойThe use of the InGa sublayer makes it possible to drastically weaken one of the significant drawbacks of films - the need for sufficiently large dust angles to obtain the direction of the magnetization of the films along the tape and the required values of the coercive

силы. Наличие подсло InGa приводит (в случае вертикального пылени ) к получению изотропных магнитных пленок практически независимо от угла пылени , а при наклонном пылении - к по влению некоторой анизотропии вдоль ленты. Таким образом, введение подсло InGa позвол ет получать магнитные пленки FeN с(требуемым значением коэрцитивной силы при меньших углахstrength. The presence of an InGa sublayer (in the case of vertical dusting) leads to the production of isotropic magnetic films almost independently of the dust angle, and with inclined dusting, a certain anisotropy appears along the tape. Thus, the introduction of the InGa sublayer makes it possible to obtain magnetic FeN films with (the required coercive force at smaller angles

пылени , что увеличивает эффективность , процесса.dust, which increases the efficiency of the process.

Использование хрома в качестве разделительного сло позвол ет улучшить две характеристики: адгезию слоев и несколькоThe use of chromium as a separation layer allows one to improve two characteristics: layer adhesion and several

.повысить коэрцитивную силу, Дело в том, что процесс пылени представл ет собой определенные трудности в св зи с чрезвычайно малыми температурами плавлени и пылени , подслой обладает низкой адгезией , высокими диффузионными свойствами , что ухудшает магнитные свойства пленок. Использование хрома уменьшает эти недостатки лучше чем использование, например, алюмини ..to increase the coercive force. The fact is that the dusting process presents certain difficulties due to extremely low melting and dusting temperatures, the sublayer has low adhesion, high diffusion properties, which worsens the magnetic properties of the films. Using chromium reduces these disadvantages better than using aluminum, for example.

Использование предлагаемого изобретени позвол ет уменьшить угол пылени на величину до 10°, что существенно повышает эффективность процесса, т.е. предельные параметры процесса пылени , чтоThe use of the present invention reduces the dust angle by up to 10 °, which significantly increases the efficiency of the process, i.e. limiting parameters of the dusting process that

приводит к упрощению установки напылени , самого процесса.напылени и, в конечном счете, к удешевлению продукции.leads to a simplification of the installation of spraying, the process itself. spraying and, ultimately, to reduce the cost of production.

Claims

SUMMARY OF THE INVENTION A method of manufacturing a magnetic audio recording medium, which consists in sputtering a flexible dielectric base in a nitrogen atmosphere, an InGa sublayer 10-20 nm thick, followed by sputtering a FeNi magnetic film 30-50 nm thick and

at an angle of at least 50 ° relative to the normal to the base on which the separation layer 10–20 nm thick is sprayed at an angle equal to the magnetic dust angle

films, and this process of spraying three layers is repeated 3 to 5 times, after which a protective layer is applied, characterized in that, in order to improve the quality, the InGa sublayer is sprayed at an angle equal to the film dust angle, Cr is used as a separation layer,