RU1770780C - Способ полихроматического определени истинной температуры - Google Patents
Способ полихроматического определени истинной температурыInfo
- Publication number
- RU1770780C RU1770780C SU904841551A SU4841551A RU1770780C RU 1770780 C RU1770780 C RU 1770780C SU 904841551 A SU904841551 A SU 904841551A SU 4841551 A SU4841551 A SU 4841551A RU 1770780 C RU1770780 C RU 1770780C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- emissivity
- radiation
- polychromatic
- mirror
- increasing
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004616 Pyrometry Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
Сущность изобретени : переотражают излучение исследуемого обьекта с помощью поверхности, имеющей неселективный или качественно такой же, что и в излучающей поверхности, возрастающий или убывающий характер зависимости коэффициента отражени от длины волны. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относитс к области пирометрии излучени и может быть использовано при определении температуры твердых или жидких веществ.
Известен способ полихроматического определени истинной температуры, в котором из собственного излучени выдел ют сигнал коррекции, которым корректируют вариацию излучательной способности в процессе измерени .
Известен также способ полихроматического определени истинной температуры объектов, имеющих в исследуемом интервале длин волн возрастающий, убывающий или неселективный характер спектральной зависимости отражательной или излуча- тельной способности, включающий измерение отношений составл ющих спектра излучени обьекта, в том числе возведенных в степень, В этом способе коррекци осуществл етс за счет возведени одной, или нескольких компонент в степень, с показател ми , минимизирующими вли ние излучательной способности. При этом при большой разнице между значени ми излучательной способности у различных спектральных компонент методическую погрешность полностью исключить трудно, а иногда и невозможно .
Целью изобретени вл етс повышение точности полихроматического определени истинной температуры объектов за счет сближени коэффициентов излучательной способности в исследуемом интервале длин волн.
Очевидно, чем ближе, например, в бих- роматическом пирометре отношени значе- ний коэффициентов излучательной способности ei и ближе Јi/Ј2 к единице и, следовательно, методическа погрешность меньше.
Так например, при измерении температуры алюмини и его сплавов в процессах прессовани и прокатки методическую погрешность не удаетс получить менее + 1- 1,5%.
со
с
xj Ч О VI со О
Предложенный способ позвол ет довести величину этой погрешности до ±0,5% и даже до ±0,2+0,25%.
Сущность изобретени заключаетс в том, что в способе полихроматического определени истинной температуры объектов, имеющих в исследуемом интервале длин волн возрастающий, убывающий или неселективный характер спектральной зависимости отражательной или излучательной способности, включающем измерение отношений составл ющих спектра излучени , в том числе возведенных в степень, излучение переотражают поверхностью, имеющей неселективный или качественно такой же, что и у объекта, возрастающий или убывающий характер зависимости коэффициента отражени от длины волны,
Способ осуществл ют следующим образом ,
Переотражают излучение поверхностью , имеющей неселективный или качественно такой же, что и у объекта, возрастающий или убывающий характер зависимости коэффициента отражени от дли- ны волны.
Измер ют отношени составл ющих спектра излучени , в том числе возведенных в степень.
На чертеже изображена оптическа схе- ма устройства дл осуществлени способа.
Схема включает излучающую поверхность 1 исследуемого объекта, отражающую поверхность 2, например плоское зеркало, имеющее отражающее покрытие с неселек- тивным или качественно таким же, что и у объекта возрастающим или убывающим характером зависимости коэффициента отражени от длины волны, окно 3 в отражающей поверхности 1, через которое фокусируетс пирометр и полихроматический пирометр 4.
Пунктиром показано пр мое излучение от излучающей поверхности 1. Сплошными лини ми показано излучение от поверхно- сти 1, переотраженное отражателем 2, также попадающее через окно 3 в объектив пирометра 4.
По сним количественно предлагаемый способ,
Обозначим суммарные потоки излучени с длинами волн AiAaAn попадающие в объектив или световод пирометра
через: Fi, F2Fn
тогда
F e +K/f- g/ e,-)2... F M« V -Ј2 M2+MzVejV.,,
{„--Јпеп+кп(1-Јп)(1-Јп%п
где EI , Ј2Јn излучэтельные способности поверхности с длинами волн AI , Дг ,..., An ; ;
bi, D2..., bn - значени спектральных потоков с длинами волн AI , hiAn ; у черного тела;
Ki, K2,..., Кп коэффициенты, определенные спектральной зависимостью коэффициента отражени дл длин волн Ач , А2АЛ ; и геометрией, в т.ч. рассто нием , углами расположени зеркала, его размерами и диаметром окна.
Т.о., на соотношение между коэффициентами Ki, K2,... Кп можно вли ть выбором материала отражающего сло зеркала, конструкцией , оптикой отражател 2,
П р и м е р 1. Рассмотрим реализацию предлагаемого способа на простейшем, примере бихроматического пирометра, работающего вначале по алгоритму пирометра спектрального отношени .
Пусть значени длин волн такого пирометра AI 1,6микрон и А2 2,5 микрон, а поверхностью излучени вл етс алюминий , В этом случае ei 0,12 и Ј2 0,08. Т.е. излучательна способность убывает с увеличением длины волны.
Дл нагл дности положим, что спектральна отражательна способность отра- жател -2 такова, что KI 0. Это можно получить покрыва зеркало-2 отражающим слоем, например, светофильтром, который пропускает излучение с 2 и полностью поглощает излучение на AI , т.е. Kt 0. К2 - положим равным 0,25 и будем считать, что геометри системы такова, что достаточно рассматривать только одно отражение.
Положим также, что истинна температура поверхности равна 800 К. Тогда, без отражающего зеркала методическа поправка будет
Сг fff -f-Ј In %; ЛТ 1--
т.е. Л74388
-Л . Я г. Я
- b,h микрон
С отражающим зеркалом
517707806
-1 Л - Ј т методическа погрешность в этом способе
лт с f 4-Ј К (f+Ј )будет определ тьс выражением:
.. 0,2dT-. L. Еп° °8 „a J
44388408 008-0,250-0,08) Ј4 1пЈ 1П0,Ъ n УГ
1ДТ 1 x 3,7микрон
Л Теперь4положим. что за счет по влени При «утствии зеркала In | 0 . и елешероховатости излучательна способность довательно ДТ О алюминиевой поверхности увеличилась иПри увеличении шероховатости:
стала:Ј, 0,35 I/ Ј2 0,25/
Ј1 0.35; 0,25,, ,55Ш -,
ЛТ 6125 23 М ИЈ Н; Тогда погрешность в обычном методе
спектрального отношени , без сближени . т ,д . ЛТ в
значений излучательных способностей бу--on, - / /о .
дет:При использовании предлагаемого спо соба сближени
Ат-1 4,44-106, 0,35 лмЈ, 0,12.; (-Ј) к .
14388 (Г25 Реиипрон; 222 2 ,
0,,08 (1-0,ОВ)0.25 0,098Ь}
,4%. 25
епЈ in 0,12 ОУ
При применении предлагаемого способа сближени :ПРИ глаДкой поверхности
30
AT 1 4 l4388°6 . ffOl12v
& с2 -3 7 1 ш омш щъ
ЛТ 5реуь/«рон; ДТ К .
П 0.25 + 0.25°(f- 0,25) 0,25 50 35
При шероховатой поверхности
Т 32 К; т.е. погрешность измерени ., 6
при вариации излучательной способности 40ДТ 1 in
С2 Л Т 49 - 49
1.25%.0351.09
|П 0.25+0.25 (1-0.25)-0.25 - Т.о. в традиционном методе бихромати- 45 ческой пирометрии спектрального отношени предлагаемый способ уменьшает зад-j- д . ДТ 9 - 4 Q с о/ счет сближени значений EI и ег методиче- Т 800 скую погрешность в 3 раза.
Claims (1)
12,5 -9 3,5% без зеркала;50 Итак, в бихроматическом методе с про5-4 1 % с зеркалом.стейшей автоматической коррекцией, предП ри ме р2. Рассмотрим теперь приме- лагаемый способ сближени позвол ет нение способа сближени в бихроматиче- уменьшить методическую погрешность от ском пирометре с автоматической вариации излучательной способности на коррекцией. Здесь дл коррекции примен - 55 250-300%, т.е. в три раза, етс возведение напр жени , пропорционального первой спектральной ркости вФормула изобретени степень п, где n In Ј2 min/ln ei min, т.о.,
Способ полихроматического определени истинной температуры объектов, имеющих в исследуемом интервале длин волн возрастающий, убывающий или неселективный характер спектральной зависимости отражательной или излучательной способности, включающий измерение отношений составл ющих спектра излучени , в том числе возведенных в степень, отличающийс тем, что, с целью повышени точности за счет сближени значений коэффициентов излучательной способности в исследуемом интервале длин волн, излучение переотражают поверхностью, имеющей неселективный или качественно такой же, что и у объекта, возрастающий или убывающий характер зависимости коэффициента отражени от длины волны.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904841551A RU1770780C (ru) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Способ полихроматического определени истинной температуры |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904841551A RU1770780C (ru) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Способ полихроматического определени истинной температуры |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1770780C true RU1770780C (ru) | 1992-10-23 |
Family
ID=21522191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU904841551A RU1770780C (ru) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Способ полихроматического определени истинной температуры |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1770780C (ru) |
-
1990
- 1990-06-20 RU SU904841551A patent/RU1770780C/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Свет Д.Я. Оптические методы измерени истинных температур. -М .Наука, 1982, с. 214-216. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR970011746B1 (ko) | 박막 두께 측정 장치 및 방법 | |
| US5120966A (en) | Method of and apparatus for measuring film thickness | |
| US4243882A (en) | Infrared multilayer film thickness measuring method and apparatus | |
| US4826321A (en) | Thin dielectric film measuring system | |
| US5337150A (en) | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology using a correlation reflectometer | |
| WO1992009880A3 (en) | Method and apparatus for automatic optical inspection | |
| TW200532164A (en) | Film thickness measuring method and apparatus | |
| JPH10508379A (ja) | 電気光学的氷検出方法および装置 | |
| SU1584759A3 (ru) | Фотометрическое устройство дл измерени и управлени толщиной оптически активных слоев | |
| US4320967A (en) | Apparatus for measuring a radiation affecting parameter of a film or coating | |
| US4952061A (en) | Method and apparatus for sensing or determining one or more properties or the identity of a sample | |
| JPH0423202B2 (ru) | ||
| RU1770780C (ru) | Способ полихроматического определени истинной температуры | |
| SU1747877A1 (ru) | Интерференционный способ измерени толщины полупроводниковых слоев | |
| US6549291B1 (en) | Process for continuous determination of the optical layer thickness of coatings | |
| US4425041A (en) | Measuring apparatus | |
| GB2183821A (en) | A temperature sensor | |
| US20200036936A1 (en) | System and method for reducing ghost images in a laser imaging system | |
| JP4882067B2 (ja) | 絶対反射率の測定方法及び測定装置 | |
| JPH07113547B2 (ja) | 試料面位置測定装置 | |
| WO2004010094A1 (en) | Emissivity corrected radiation pyrometer integral with a reflectometer and roughness sensor for remote measuring of true surface temperatures | |
| Leonov et al. | Influence of substrate material and geometric features of measurement slits on the measurement results of infrared optical system quality characteristics | |
| JPS61277026A (ja) | 偏光角検出方法および偏光角検出装置 | |
| JP2970020B2 (ja) | コーティング薄膜の形成方法 | |
| SU1143993A1 (ru) | Способ измерени разности температур |