KR970007103B1

KR970007103B1 - 반도체 기억 장치

Info

Publication number: KR970007103B1
Application number: KR1019930006104A
Authority: KR
Inventors: 마사끼 오기하라
Original assignee: 사또오 후미오; 가부시기가이샤 도시바; 오카모토 세이시; 도시바 마이크로 일렉트로닉스 가부시기가이샤
Priority date: 1992-04-16
Filing date: 1993-04-13
Publication date: 1997-05-02
Anticipated expiration: 2013-04-13
Also published as: EP0566153A2; KR930022384A; JP2557594B2; US5371710A; EP0566153A3; JPH0628893A

Abstract

내용없음

Description

반도체 기억 장치

제1도는 본 발명의 제1의 실시예를 나타낸 구성도.

제2도는 본 발명의 제2의 실시예를 나타낸 구성도.

제3도는 워드선의 선택 방법의 일례를 설명하기 위한 도면.

제4도는 제1도에 나타낸 제1의 실시예에 적용되는 워드선 승압 회로를 나타낸 회로도.

제5도는 제2도에 나타낸 제2의 실시예에 적용되는 워드선 승압 회로를 나타낸 회로도.

제6도는 제어 신호(BI)의 발생 회로의 일례를 나타낸 회로도.

제7도는 번인 시험 동작시의 입력 신호의 시퀀스를 나타낸 타이밍 차트.

제8도는 제어 신호(BI)의 발생 회로의 다른 예를 나타낸 회로도.

제9도는 제어 신호(BI)의 발생 회로의 다른 예를 나타낸 회로도.

제10도는 제어 신호(BI)의 발생 회로의 다른 예를 나타낸 회로도.

제11도는 종래의 반도체 기억 장치를 나타낸 구성도.

제12도는 제11도에 나타낸 메모리셀 어레이중 하나의 메모리셀 어레이를 상세히 나타낸 구성도.

제13도는 종래의 워드선 승압 회로를 나타낸 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 메모리셀 어레이 12 : 로디코더

21 : 제어 신호 발생 회로 22 : 레벨 검출 회로

23 : 앤드 회로 24 : 칩

25 : 패드 Ai : 어드레스 신호

BI : 제어 신호 RAS : 로어드레스 스트로브 신호

CAS : 컬럼 어드레스 스트로브 신호 WE : 라이트 인에이블 신호

본 발명은 예를 들어 반도체 기억 장치의 번인 시험에 관한 것이며, 특히 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터의 결합 스크리닝에 적용되는 반도체 기억 장치에 관한 것이다.

종래 반도체 디바이스의 신뢰성을 확보하기 위해 결합을 잠재적으로 포함하는 디바이스를 시험에 의해 제거하는 스크리닝이 행해지고 있다. 이 스크리닝에는 주로 전계 가속, 온도 가속이라고 하는 수법이 사용되고 있다. 또, 스크리닝 수법으로서는 상기 계속 가속 및 온도 가속을 동시에 실현할 수 있는 번인 시험이 다용되고 있다. 이 번인 시험은 초기에 동작 불량을 일이클 가능성이 있는 디바이스에 대해 유효하다. 이 번인 시험에 의한 반도체 기억 장치의 스크리닝은 패키지에 수납된 반도체 기억 장치를 고온, 고전압 상태로 다수개 동시에 어드레스 순으로 스캔하여 워드선을 순서대로 액세스 하는 방법이 사용되고 있다. 일반적으로 약 10000개라고 하는 극히 많은 수의 반도체 기억 장치를 동시에 고온, 고전압으로 시험하기 위해, 번인 시험시의 동작 사이클을 1.5μ초 정도와 그 반도체 장치의 최소 동작 사이클(예를 들면 150n초)에 비해 충분한 시간을 들여 행해진다.

한편, 근래의 반도체 기억 장치, 특히 DRAM에서는 동작시 전류에서 가장 지배적인 비트선의 충방전 전류를 적게 하기 위해, 셀어레이 분할 동작이 일반적으로 이루어지고 있다. 이 셀어레이 분할 동작은 전체 메모리셀을 복수개의 셀어레이로 분할하고, 동작시는 외부 입력 어드레스 신호에 대응하여 전체 셀어레이중의 몇개만을 동작시키는 것이다.

또 DRAM은 특유한 리프레시 동작의 사이클수가 정해져 있다. 이 때문에 1 사이클로 액세스되는 워드선의 갯수는 필연적으로 이 리프레시 사이클에 의해 결정되어 버린다. 예를 들어 4M 비트 DRAM에 대해서 보면 리프레시 사이클은 1024회/16ms로 정해져 있기 때문에 워드선이 4096개인 경우에는 셀어레이가 몇분할이더라도 1 사이클에 4개의 워드선을 선택할 필요가 있다. 따라서 셀어레이이 분할수가 많을수록 비트선의 충방전 전류를 적게 할 수 있다.

제11도는 예를 들어 전체 메모리셀을 4개의 셀어레이로 분할하고, 동작시에는 전체 셍어레이중 2개만이 동작하는 경우의 반도체 기억 장치를 나타내고 있다. 외부에서 입력된 셍어레이를 선택하기 위한 어드레스 신호(Ai)에 의해 4개의 셀어레이중 2개만을 선택하고 있다. 어드레스 신호(Ai)가 하이레벨이면 좌측 2개의 셀어레이가 선택되고, 어드레스 신호 Ai가 로렐벨이면 우측 2개의 셀어레이가 선택된다.

제12도는 제11도의 셀어레이중 하나를 상세하게 나타낸 것이다. 메모리셀 어레이(10)에는 복수의 트랜스퍼 트랜지스터(Tr) 및 캐패시터(C)가 설치되어 있다. 어드레스 신호(Ai)는 워드선의 구동 전압(WDRV)이 공급되는 앤드 회로(11)를 통해 메모리셀 어레이(10)에 접속된 로디코더(12)를 제어하는 동시에 센스 앰프(13), 및 센스 앰프(13)에 접속된 컬럼 디코더(14), 입출력 버퍼(15)를 제어한다. 즉, 어드레스 신호(Ai)는 DRAM 특유의 리프레시 동작을 포함하는 워드선의 선택 및 셀데이타의 리스트와 컬럼 어드레스에 대응하여 비트선의 데이타의 독출과 기록을 하기 위한 데이타 전달 경로의 연결을 제어하고 있다. 그리고, 컬럼 디코더(14)를 전체 셀어레이 또는 복수개의 셀어레이에서 공용하는 회로 구성을 사용하는 일도 있다. 이 경우는 컬럼 디코너(14)를 어드레스 신호(Ai)로 제어할 필요는 없다.

제13도는 어드레스 신호(Aj)에 의해 선택된 메모리셀 어레이에 복수개 있는 워드선중의 하나를 제어하기 위한 종래의 워드선 승압 회로를 나타낸 것이다. 제13도에 있어서, 제12도와 동일 부분에는 동일부호를 사용한다. 상기워드선의 구동 전압(WDRV)은 어드레스 신호 An, /An(이하, /는 반전 신호를 나타냄)이 입력단에 접속되는 오어 회로(OR)의 출력단에 접속된 승압용 캐패시터(CI)에 의해 생성된다

상기 구성에 있어서, 어드레스 신호 Aj∼An이 입력되는 복수의 로디코더(12)의 하나가 선택됨으로써 하나의 워드선이 선택된다. DRAM에서는 메모리셀에 전원 전위(Vcc)를 재기록하기 위해 워드선을 Vcc+V_TH(메모리셀 트랜지스터의 드레쉬 홀드)이상의 전위로 승압할 필요가 있다. 그래서 로디코더(12)에 입력되는 어드레스가 확실하게 결정된 것을 감지한 다음, 상기 승압용 패패시터(CI)를 사용하여 워드선을 소정의 전위로 승압하고 있다. 이 승압용 캐패시터(CI)의 용량은 동작시에 선택되는 워드선의 갯수분의 용량과, 승압해야 할 소정의 전위로 계산되고 있다.

상술한 바와같이, 번인 시험에 의한 반도체 기억 장치의 스크리닝은 어드레스 순으로 워드선을 순서대로 액세쇄하는 방법이 사용되고 있다. 그런데 번인 시험시에 원드선을 순서대로 액세스 한다고 하는것은 워드선에 접속된 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터에 대해서 보면, 주변 회로의 트랜지스터보다 휠씬 적은 빈도로 밖에 전압 스트레스가 인가되지 않는 것으로 된다.

예를들면 4M 비트 DRAM의 경우, 워드선은 4096개 있으며, 이들 중 1사이클에 선택되는 갯수는 4개 뿐이다. 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터의 시험은 1024사이클 행함으로써 완료하게 된다. 따라서, 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터는 주변 회로의 트랜지스터에 비해 1024분의 1의 시간밖에 전압 스트레스를 받지 않게 된다. 이것은 양품 디바이스를 열화시키거나 불량품으로 하지 않다록 결함디바이스를 제거한다고 하는 스크리닝의 취지에서 볼 때 바람직한 것은 아니다.

또한, 근년의 DRAM은 메모리셀의 캐패시터 전극에 전원 전압의 절반(Vcc/2)을 인가하는 것이 일반적으로 되어 있다. 이 때문에 캐패시터 절연막은 막 두께가 얇아도 전계가 완화되기 때문에 신뢰성상 문제가 되는 일이 적다. 이것에 대해 승압된 전위(예를들면 1.5×Vcc 근방)가 인가되는 트랜지스터의 게이트 산화막은 두께가 두꺼워도 전계는 크기 때문에 신뢰성상 문제가 될 가능성이 크다. 따라서, 이와같은 승압된 전위가 인가되는 트랜지스터는 적극적으로 스크리닝의 대상으로 하고 싶은 것이다. 이와같은 승압 전위가 인가되는 트랜지스터에는 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터가 포함되어 있다. 그러나, 그 스크리닝은 상술한 바와같이 1024사이클에 1회이기 때문에 좋지 않다.

또, 일반적으로 DRAM의 집적도가 4배 올라가는 것에 대해 리프레시 사이클은 2배로 되어 있고, 집적도가 올라가면 올라갈수록 번인 시험 시간은 길어진다.

이처럼 종래는 적극적으로 스크리닝의 대상으로 하고 싶은 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터에는 적은 빈도로만 전압 스트레스가 인가된다고 하는 결점이 있었다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터의 스트레스 가속 효율을 오릴 수 있고, 메모리셀의 트랜지스퍼 트랜지스터에 전압 스트레스가 인가되는 빈도를 높일 수 있는 반도체 기억 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 번인 시험시에는 번인 시험을 나타내는 제어 신호에 따라 디코드 수단을 제어하고, 통상 동작시보다 많은 워드선 또는 메모리셀 어레이 또는 메모리셀 어레이중의 복수의 워드선을 선택시키기 위한 회로 수단을 가지고 있다.

또 디코드 수단은 하나의 센스 앰프에 접속되는 비트선쌍중 한쪽의 비트선에 접속된 메모리셀만을 선택한다.

또한 회로 수단은 상기 메모리셀 어레이를 제어하는 복수의 입력 신호가 통상 동작과는 다른 시퀀스일 경우, 상기 제어 신호를 생성하는 생성 수단의 가지고 있다.

또, 회로 수단은 전원의 전압이 통상 동작시의 전압과 다를 경우, 상기 제어 신호를 생성하는 생성 수단을 가지고 있다.

또한 회로 수단은 전원의 전압이 통상 동작시의 전압과 다른 경우, 제1의 제어 신호를 생성하는 제1의 생성 수단과, 상기 메모리셀 어레이를 제어하는 복수의 입력 신호가 통상 동작과는 다른 시퀀스일경우, 상기 제2의 제어신호를 생성하는 제2의 생성 수단과, 이들 제1, 제2의 생성 수단에서 상기 제1, 제2의 제어 신호가 출력되었을 경우, 상기 제어 신호를 출력하는 제3의 생성 수단을 가지고 있다.

또, 회로 수단은 상기 제어 신호를 외부에서 끌어 들이기 위한 단자를 가지고 있다.

즉, 본 발명은 번인 시험시에 통상 동작시보다 많은 워드선 또는 메모리셀 어레이, 또는 메모리셀 어레이중의 복수의 워드선을 선택하고 있다. 따라서 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터에 전압 스트레스가 인가되는 빈도를 올릴 수 있어서 번인 시험의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 동시에 번인 시험 기간을 대폭 단축시킬 수 있다.

또 번인 시험을 나타내는 제어 신호는 메모리셀 어레이를 제어하는 복수의 입력 신호가 통상 동작과는 다른 시퀀스일 경우에 생성하거나 전원의 전압이 통상 동작시의 전압과 상이할 경우에 생성하거나 또는 이들의 조합으로 생성하거나 나아가서는 제어 신호를 외부에서 직접 끌어들임으로써 용이하게 얻을 수 있다.

이하 본 발명의 일실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

제1도는 본 발명의 제1의 실시예를 나타낸 것이며, 번인 시험시에 동작시키는 셀어레이의 수를 통상 동작시보다 많게 한 것이다. 메모리셀 어레이(10)에 있어서, 워드선 WL과 비트선(BL)의 교차부에는 트랜스퍼 트랜지스터(Tr) 및 캐패시터(C)가 설치되어 있다.

번인 시험의 동작 모드를 설정하기 위한 제어 신호 BI는 어드레스 신호(Ai)와 함께 오어 회로(17)에 공급된다. 이 오어 회로(17)의 출려 신호는 워드선의 구동전압(WDRV)이 공급되는 앤드 회로(11)를 통해 메모리셀 어레이(10)에 접속된 로디코더(12)를 제어하는 동시에 센스 앰프(13), 이 센스 앰프(13)에 접속된 컬럼 디코더(14)를 제어한다. 또, 상기 센스 앰프(13)에 접속된 입출력 버퍼(15)는 어드레스 신호(Ai)에 의해 제어된다. 상기 로디코더(12)는 어드레스 신호 Aj∼An을 디코드하여 워드선(WL)을 선택한다. 센스 앰프(13)는 비트선(BL)에서 독출된 신호를 증폭한다. 컬럼 디코더(14)는 어드레스 신호(Ai)에 따라 비트선(BL)을 선택한다. 입출력 버퍼(15)는 데이타의 기록시 기록 데이타(Din)를 상기 센스 앰프(13)에 공급하고, 데이타의 독출시, 센스 앰프(13)에서 공급된 데이타를 출력한다. 이 데이타는 버퍼 회로(16)를 통해 출력 데이타(Dout)로서 출력된다. 상기 제어 신호(BI)의 생성 방법에 대해서는 후술한다.

상기 구성에 있어서, 제12도와 상이한 점은 어드레스 신호(Ai)에 의해 직접 제어되는 것은 입출력 버퍼(15)뿐이며, 로디코더(12), 센스 앰프(13), 컬럼 디코더(14)의 제어에는 어드레스 신호(Ai)외에 제어 신호(BI)가 가해지는 점이다. 통상 동작시에 있어서, 제어 신호(BI)를 로레벨로 고정시켜 두면 제12도와 동등한 회로로 되어, 전적으로 같은 동작을 할 수 있다.

한편, 번인 시험을 할 때는 제어 신호(BI)를 하이 레벨로 함으로써, 로디코더(12), 센스 앰프(13), 컬럼 디코더(14)가 어드레스 신호(Ai)에 의해 제어되지 않도록 한다. 그러면 통상 동작시에는 예를들어 4 메모리셀 어레이중의 2 메모리셀 어레이만 동작하고 있던 것이 전메모리셀 어레이가 동작하게끔 된다. 그러나 입출력 버퍼(15)는 어드레스 신호(Ai)에 의해 제어되고 있기 때문에 데이타의 독출과 기록은 통상 동작과 같이 행해진다. 즉, 번인 시험을 할 때는 메모리셀의 리프레시 사이클이 절반으로 된것과 같은 동작을 하고 있다고 할 수 있다.

또 이 회로와 동등한 회로를 사용하면 예를들어 메모리셀 어레이를 8분할하고, 통상 동작시에는 1 메모리셀 어레이만 동작하는 디바이스가 있다고 할 때, 특수 동작 모드시에는 2 메모리셀 어레이 또는 4메모리셀 어레이를 동작시키는 회로 구성으로 할 수도 있다.

제2도는 본 발명의 제2의 실시예를 나타낸 것으로서 제1도와 동일부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다. 이 실시예에 있어서, 로디코더(12), 센스 앰프(13), 컬럼 디코더(14) 입출력 버퍼(15)는 어드레스 신호 Ai에 의해 제어된다. 또, 예를들어 어드레스 신호(Ai)와 제어 신호(BI)는 오어 회로(18)를 통해 로디코더(12)에 공급된다. 제어 신호(BI)에 의해 제어되는 어드레스 신호는 Aj에 한정되는 것은 아니며, Aj∼An의 어느 것이라도 좋다.

이와같은 구성의 경우, 번인 시험시에 동작시키는 메모리셀 어레이의 수는 통상 동작시와 같다. 그러나 1 메모리셀 어레이태에서 복수개의 워드선을 동시에 선택할 수 있다. 즉 제어 신호(BI)에 의해 어드레스 신호(Aj)의 하이레벨 또는 로 레벨에 불구하고 복수의 로디코더를 선택함으로써, 1 메모리셀 어레이내의 복수개의 워드선을 동시에 선택할 수 있다. 이때, 어드레스 신호 Aj∼An의 전부를 제어하여 전워드선을 동작시킬 수도 있다. 그러나 어떤 특정한 워드선만을 동작시키는 것이 바람직하다.

통상, 워드선에 의해 선택된 메모리셀의 데이타는 센스 앰프에 의해 Vcc 또는 Vss로 증포되어 메모리셀에 재기록된다. 비트선이 Vss로 증폭되었을때 셀트랜지스터의 게이트(워드선)와 드레인(비트선)간에 생기는 전계가 가장 크고, 이것에 의한 게이트 산화막 파괴를 스크리닝하는 것이 번인 시험의 최대의 목적이다.

그러나 제3도에 타나낸 것처럼 전워드선 WL0∼WL4를 동작시켰을 경우, 하나의 센스 앰프(S/A)에 접속된 비트선쌍 BL0과 BL1, BL2와 BL3에 접속된 메모리셀 M1, M2가 동시에 선택되어 버린다. 이때문에 센스 앰프가 동작했을 때 비트선쌍 BL0과 BL1, BL2와 BL3의 어느 한쪽이 Vss로 되거나 메모리셀의 데이타에 의존하지 않게 된다. 이 때문에 스크리닝이 불충분해질 염려가 있다. 그래서 어드레스 신호 Aj∼An중 비트선쌍의 한쪽에 접속된 메모리셀 트랜지스터의 게이트로 되는 워드선만을 선택하도록 어드레스 신호 Aj∼An을 제어하는 것이 바람직하다. 즉 위드선 WL0, WL1 및 WL4, 또는 WL2와 WL3을 선택하고 워드선 WL0, WL1 및 WL4, 및 WL2와 WL3를 동시에 선택하지 않도록 제어하면 된다.

이들 2개의 실시예의 어느 것의 경우도 통상 동작시와 비교하여 번인 시험 동작시에 선택되는 워드선의 갯수가 많다. 종래의 워드선의 승압 회로는 통상 동작시에 선택되는 워드선의 갯수분의 용량에서 산출된 승압용 캐패시터밖에 구비하고 있지 않다. 이 때문에 번인 시험 동작시보다 많은 워드선이 선택되면 소정의 전위까지 승압되지 않는다. 그래서 제4도, 제5도에 나타낸 바와같은 워드선 승압 회로를 구비할 필요가 있다.

제4도는 제1도에 나타낸 제1의 실시예에 적용되는 워드선 승압 회로를 나타낸 것이며, 제5도는 제2도에 나타낸 제2의 실시예에 적용되는 워드선 승압 회로를 나타내는 것이다.

제4도, 제5도에 있어서, 어드레 신호 Am, /Am은 오어 회로(19)의 입력된에 공급된다. 이 오어 회로(19)의 출력 신호는 승압용 캐패시터 C2의 일단에 공급되는 동시에 앤드 회로(20)의 한쪽 입력단에 공급되고 있다. 이 앤드 회로(20)의 다른쪽 입력단에는 제어 신호(BI)가 공급되고 있다. 이 앤드 회로(20)의 출력 신호는 승압용 캐패시터(C3)의 일단에 공급되고 있다. 승압용 캐패시터(C2, C3)의 타단은 앤드 회로(11)의 한쪽 입력단에 접속되어 있다.

상기 구성에 의하면, 미리 2개의 승압용 캐패시터(C2, C3)를 설치하고 승압용 캐패시터(C3)에 제어신호(BI)를 가하고 있다. 이 때문에 통상 동작시에는 BI 신호의 제어가 가해지지 않는 승압용 캐패시터(C2)만에 의해 워드선의 구동전압(WDRV)이 생성되고, 번인 시험 동작시에는 양쪽의 승압용 캐패시터(C2, C3)에 의해 워드선의 구동 전압(WDRV)이 생성된다. 따라서, 통상 동작시와 번인 시험 동작시의 어느것의 경우에도 동일한 소정 전위로 워드선을 승압할 수 있다.

다음에 상기 제어 신호(BI)의 생성 방법에 대해 설명한다. 이것에는 몇가지 방법을 생각할 수 있다.

제6도는 칩외부에서 주어지는 입력 신호에 통상 동작시에는 사용되지 않는 시퀀스의 입력 신호를 부여함으로써 제어 신호(BI)를 발생하는 회로이다. 즉 제어 신호 발생 회로(21)에는 RAS(로어드레스스트로브 신호), CAS(컬럼어드레스스트로보 신호), WE(라이트 인에이블 신호) 및 어드레스 신호(ADD)가 공급된다. RAS, CAS, WE는 데이타의 기록, 독출 등의 통상 동작시의 시퀀스가 정해져 있다.

제7도는 제어 신호(BI)를 발생하는 경우에 있어서는 RAS, CAS, WE의 시퀀스를 일례를 나타내는 것이다. 이 시퀀스를 동상 동작시에는 사용되지 않는 것이다. 즉, 번인 시험 모드에 들어갈 경우, RAS, CAS, WE를 제7도에 나타낸 것처럼 통상 동작시에는 사용되지 않는 시퀀스로 한다. 제어 신호 발생 회로(21)는 RAS, CAS, WE의 시퀀스를 판별하여, 이들이 통상 동작시가 아닐 경우 제어 신호(BI)를 발생한다. 그리고, RAS, CAS, WE에 의한 제어외에 어드레스 신호의 입력 상태에 의해 제어 신호(BI)를 발생하게끔 하는 것도 생각할 수 있다.

제8도는 레벨 검출 회로(22)에 의해 전원 Vcc의 레벨을 검출하고, 이 검출된 레벨이 통상 동작시에는 사용되지 않는 레벨일 경우 제어 신호(BI)를 발생하는 것이다.

제9도는 제6도와 제8도에 나타낸 회로를 조합한 것이며, 제어 신호 발생 회로(21)에 의해 판별된 RAS, CAS, WE의 시퀀스가 통상 동작이 아니고 레벨 검출 회로(22)에 의해 검출된 레벨이 통상 동작시에 사용되지 않는 레벨일 경우 앤드 회로(23)에서 제어 신호(BI)를 발생하는 것이다.

제10도는 칩내부에서 제어 신호(BI)를 발생하는 것이 아니라, 칩(24)에 전용 패드(25)를 설치하고, 직접 제어 신호(BI)를 외부에서 부여하는 구성으로 한 것이다. 칩(24)을 패키지(26)에 수납할 때에는 통상의 입출력 신호용의 핀외에 새로 제어 신호(BI)전용의 핀(27)을 설치하고, 이 핀(27)에 소정의 전위를 부여함으로써 번인 시험 모드에 들어간다

또, 웨이퍼 상태에서 이 핀에 소정의 전위를 부여하면, 번인 시험과 유사한 시험을 웨이퍼 상태에서 할 수도 있다.

그리고 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 발명의 요지를 바꾸지 않는 범위내에서 여러가지 변형이 가능한 것은 물론이다.

이상 상세히 기술한 바와같이, 본 발명에 의하면 번인 시험시에 통상 동작시보다 많은 워드선 또는 메모리셀 어레이나 메모리셀 어레이중의 복수의 워드선을 선택하고 있다. 따라서 메모리셀의 트랜스퍼 트랜지스터에 전압스트레스가 인가되는 빈도를 높일 수 있고, 번인 시험의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 동시에, 번인 시험 시간을 대폭 단축할 수 있는 반도체 기억 장치를 제공할 수 있다.

Claims

복수의 워드선, 비트선 및 메모리셀을 구비하고 각 메모리셀이 대응하는 워드선 및 대응하는 비트선에 접속되어 있는 메모리셀 어레이와; 어드레스신호에 따라 메모리셀 어레이의 워드선을 선택하는 워드선 선택수단과; 상기 위드선 선택수단에 의해 워드선을 구동하는 워드선 구동수단과; 반도체장치를 통상동작모드에서 동작시킬 것인지 시험모드에서 동작시킬 것인지를 나타내는 시험모드 신호에 응답하여 통상동작모드에서는 제1개수의 워드선들을 선택하도록 상기 워드선 선택수단을 제어하고, 시험모드에서는 상기 제1개수보다 더 많은 제2개수의 워드선들을 선택하도록 상기 워드선 선택수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항 있어서, 대응하는 비트선쌍에 접속된 센스앰프를 추가로 포함하고, 상기 워드선 선택 수단은 비트선쌍중 하나에 접속된 메모리셀의 워드선을 선택하도록 워드선들을 선택하는 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 복수의 입력신호가 공급되고 있고 특정 시퀀스의 입력신호가 검출될 때 시험모드신호를 생성하는 생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 전원전압이 공급되고 있고 특정 전원전압이 검출될 때 시험모드신호를 생성하는 생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 전원전압이 공급되고 있고, 특정 전원전압이 검출될 때 제1제어신호를 생성하는 제1생성수단과; 복수의 입력신호가 공급되고 있고 특정 시퀀스의 입력신호가 검출될 때 제2제어신호를 생성하는 제2생성수단과; 상기 제1 및 제2생성수단이 제1 및 제2제어신호를 생성할 때 시험모드 신호를 생성하는 제3생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 상기 제어수단은 외부로 부터 시험모드 신호를 수신하기 위한 단자를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 상기 워드선 구동수단은, 상기 통상동작 모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 제1의 소정전압까지 승압시키고 상기 시험모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 상기 제1의 소정전압보다 더 높은 제2의 전압까지 승압시키는 워드선 부스트수단을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
복수의 메모리셀을 각각 구비하는 복수의 메모리셀 어레이와 제1어드레스 신호에 따라 메모리셀 어레이를 선택수단과 반도체장치를 통상동작모드에서 동작시킬 것인지 시험모드에서 동작시킬 것인지를 나타내는 시험모드 신호에 응답하여 통상동작모드에서는 제1개수의 메모리셀 어레이들을 선택하도록 상기 어레이 선택수단을 제어하고 시험 모드에서는 상기 제1개수보다 더 많은 제2개수의 메모리셀 어레이들을 선택하도록 상기 어레이 선택수단을 제어하는 제어수단을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 복수의 입력신호가 공급되고 있고 특정 시퀀스의 입력신호가 검출될 때 시험모드신호를 생성하는 생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 전원전압이 공급되고 있고 특정 전원전압이 검출될 때 시험모드신호를 생성하는 생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 전원전압이 공급되고 있고 특정 전원전압이 검출될 때 제1제어신호를 생성하는 제1생성수단과; 복수의 입력신호가 공급되고 있고 특정 시퀀스의 입력신호가 검출될 때 제2제어신호를 생성하는 제2생성수단과; 상기 제2 및 제2생성수단이 제1 및 제2제어신호를 생성할 때 시험모드 신호를 생성하는 제3생성수단을 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 상기 제어수단은 외부로 부터 시험모드 신호를 수신하기 위한 단자를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 제2어드레스 신호에 따라 각 메모리셀 어레이의 워드선들을 선택하는 워드선 선택수단과; 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들을 구동하는 워드선 구동수단을 추가로 포함하고, 상기 워드선 구동수단은 상기 통상동작 모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선드의 전위를 제1의 소정전압까지 승압시키고 상기 시험모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 상기 제1의 소정전압보다 더 높은 제2의 전압까지 승압시키는 워드선 부스트 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
복수의 워드선, 비트선 및 메모리셀을 구비하고, 각 메모리셀이 대응하는 워드선 및 대응하는 비트선에 접속되어 있는 복수의 메모리셀 어레이와; 어드레스신호에 따라 각 메모리셀 어레이의 워드선들을 선택하는 워드선 선택수단과; 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들을 구동하는 워드선구동수단과; 반도체장체를 통상동작모드에서 동작시킬 것인지 시험모드에서 동작시킬 것인지를 나타내는 시험모드 신호를 생성하는 생성수단과; 상기 시험모드 신호에 응답하여 통상동작모드에서는 제1개수의 워드선들을 선택하도록 상기 워드선 선택수단을 제어하고, 시험모드에서는 상기 제1개수보다 더많은 제2개수의 워드선들을 선택하도록 상기 워드선 선택수단을 제어하는 제어수단을 포함하고, 상기 워드선 구동수단은 상기 통상동작 모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 제1의 소정전압까지 승압시키고 상기 시험모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 상기 제1의 소정전압보다 더 높은 제2의 전압까지 승압시키는 워드선 부스트 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
복수의 메모리셀을 각각 구비하는 메모리셀 어레이와, 제 1어드레스신호에 따랄 각 메모리셀 어레이의 워드선들을 선택하는 워드선 선택수단과; 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들을 구동하는 워드선 구동수단과; 제2어드레스 신호에 따라 메모리셀 어레이를 선택하는 어레이 선택수단과 반도체장치를 통상동작모드에서 동작시킬 것인지 시험모드에서 동작시킬 것인지를 나타내는 시험모드신호를 생성하는 생성수단과; 상기 시험모드 신호에 응답하여 통상동작모드에서는 제1개수의 메모리셀 어레이들을 선택하도록 상기 어레이 선택수단을 제어하고, 시험모드에서는 상기 제1개수보다 더 많은 제2개수의 메모릴 어레이들을 선택하도록 상기 어레이 선택수단을 제어하는 제어수단을 포함하고, 상기 워드선 구동수단은 상기 통상동작 모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 제1의 소정전압까지 승압시키고 상기 시험모드에서 상기 워드선 선택수단에 의해 선택된 워드선들의 전위를 상기 제1의 소정전압보다 더 높은 제2의 전압까지 승압시키는 워드선 부스트 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제3항에 있어서, 상기 입력신호는 반도체 기억장치의 동작을 제어하기 위해 반도체 기억장치에 공급된 제어신호이고, 상기 특정 시퀀스의 입력신호는 통상동작 모드에서 반도체 기억장치에 공급되는 제어신호의 시퀀스와 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제4항에 있어서, 상기 특정 전원전압은 통상동작 모드의 전원전압과는 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제5항에 있어서, 상기 특정 전원전압은 통상동작 모드의 전원전압과는 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제5항에 있어서, 상기 입력시호는 반도체 기억장치의 동작을 제어하기 위해 반도체 기억장치에 공급된 제어신호이고, 상기 특정 시퀀스의 입력시호는 통상동작 모드에서 반도체 기억장치에 공급되는 제어신호의 시퀀스와 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제9항에 있어서, 상기 입력신호는 반도체 기억장치의 동작을 제어하기 위해 반도체 기억장치에 공급된 제어신호이고, 상기 특정 시퀀스의 입력신호는 통상동작 모드에서 반도체 기억장치에 공급되는 제어신호의 시퀀스와 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제10항에 있어서, 상기 특정 전원전압은 통상동작 모드의 전원전압과는 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제11항에 있어서 상기 특정 전원전압은 통상동작 모드의 전원전압과는 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제11항에 있어서, 상기 입력신호는 반도체 기억장치의 동작을 제어하기 위해 반도체 기억장치에 공급된 제어신호이고, 상기 특정 시퀀스의 입력시호는 통상동작 모드에서 반도체 기억장치에 공급되는 제어신호의 시퀀스와 다른 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 시험모드 신호가 공급되는 제1입력, 상기 어드레스 신호가 공급되는 제2입력 및 상기 워드선 선택수단을 제어하기 위한 출력을 갖는 OR회로를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제8항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 시험모드 신호가 공급되는 제1입력, 상기 제1어드레스 신호가 공급되는 제2입력 및 상기 어레이 선택수단을 제어하기 위한 출력을 갖는 OR회로를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제14항에 있어서 상기 제어수단은 상기 시험모드 신호가 공급되는 제1입력 상기 어드레스 신호가 공급되는 제2입력 및 상기 워드선 선택수단을 제어하기 위한 출력을 갖는 OR회로를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제15항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 시험모드 신호가 공급되는 제1입력, 상기 제1어드레스 신호가 공급되는 제2입력 및 상기 어레이 선택수단을 제어하기 위한 출력을 갖는 OR회로를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제7항에 있어서, 상기 워드선 부스트수단은, 제1전극이 워드 부스트선에 접속된 제1부스트 캐패시터와; 제1전극이 상기 워드 부스트선에 접속된 제2부스트 캐패시터와; 상기 시험모드신호가 공급되는 입력 및 상기 제2부스트 캐패시터의 제2전극에 접속된 출력을 가지며, 상기 시험모드신호가 상기 시험모드를 나타내는 제1의 2진 논리레벨을 가질때에 상기 제2부스트 캐패시터를 여기시키는 AND 게이트를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제13항에 있어서, 상기 워드선 부스트수단은 제1전극이 워드 부스트선에 접속된 제1부스트 캐패시터와 제1전극이 상기 워드 부스트선에 접속된 제2부스트 캐패시터의 제2전극에 접속된 출력을 가지며, 상기 시험모드를 나타내는 제1의 2진 논리레벨을 갖는 상기 시험모드신호에 응답하여 상기 제2부스트 캐패시터를 여기시키는 AND게이트를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제14항에 있어서, 상기 워드선 부스트수단은, 제1전극이 워드 부스트선에 접속된 제1부스트 캐패시터와 제1전극이 상기 워드 부스트선에 접속된 제2부스트 캐패시터와 상기 시험모드신호가 공급되는 입력 및 상기 제2부스트 캐패시터의 제2전극에 접속된 출력을 가지며, 상기 시험모드를 나타내는 제1의 2진 논리레벨을 갖는 상기 시험모드신호에 응답하여 상기 제2부스트 캐패시터를 여기시키는 AND게이트를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.
제15항에 있어서, 상기 워드선 부스트수단은, 제1전극이 워드 부스트선에 접속된 제1부스트 캐패시터와 제1전극이 상기 워드 부스트선에 접속된 제2부스트 캐패시터와 상기 시험모드가 공급되는 입력 및 상기 제2부스트 캐패시터의 제2전극에 접속된 출력을 가지며, 상기 시험모드를 나타내는 제1의 2진 논리레벨을 갖는 상기 시험모드신호에 응답하여 상기 제2부스트 캐패시터를 여기시키는 AND 게이트를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 기억장치.