KR900006407B1

KR900006407B1 - 와형유량계

Info

Publication number: KR900006407B1
Application number: KR1019860004754A
Authority: KR
Inventors: 데쯔오 이와모도; 히로유끼 아메모리; 시게루 니시야마
Original assignee: 도끼꼬 주식회사; 가와아이노보루
Priority date: 1985-06-20
Filing date: 1986-06-16
Publication date: 1990-08-30
Also published as: KR870001459A

Abstract

내용 없음.

Description

와형유량계

제1도는 본 발명인 와형유량계의 제1실시예의 배면도.

제2도는 제1도의 와형유량계의 종단 측면도.

제3도는 제1도의 와형유량계의 Ⅲ-Ⅲ선을 따른 횡단 평면도.

제4도는 제1도의 와형유량계에 쓰여지는 검출회로의 회로도.

제5도는 와류발생기둥의 다른 실시예의 횡단 평면도.

제6도는 본 발명인 와힝유량켸의 제2실시예의 종단 배면도.

제7도는 제6도의 와형유량계의 검출부의 걔략 평면도.

제8도는 제6도의 와형유량계의 종단 측면도.

제9도는 제6도의 와형유량계에 쓰여지는 검출 회로의 회로도.

제10도는 검출부의 다른 실시예의 개략 평면도.

본 발명은 와형유량계에 관한 것이며, 특히 유체유로중에 설치되어 피측유체에 카아맨(Karmann)와류를 발생시키는 와류발생의 구성을 간단하게 하고 또한 배관진동이 있어도 계측정도가 저하치 않게한 와형유량계에 관한 것이다.

종래부터, 유로중에 와류발생체를 설치하여, 이 와류발생체에 의하여 그 하류측의 피측유체에 발생하는 카아맨와류에 대응하는 압력변화를 검출하고, 피측유체의 유속, 유량을 검출하는 와형유량계가 실용화 되어있다.

종래의 와형유량계에서는, 정전 용량식 검출부를 보유하는 것은 와류발생체의 양측면에 요부를 설치하고, 그곳에 고정 전극판을 설치함과 동시에 이 전극과 미소한 간격을 두고 피측유체의 압력변화를 받는 가동전극으로서의 다이어프렘을 설치하며, 전극판과 다이어프렘과의 사이의 공간에 액체를 봉입함과 동시에 1쌍의공간을 연통시켜 봉입액을 봉입하여 구성한 것이 있었다. 이 와형유량계에서는 피측유체의 흐름에 따라 와류 발생체의 양측을 통과한 피측유체에 상호 카아맨와류가 발생하여, 그 압력변화에 응하여 1쌍의 다이어프렘이 변위하고, 다이어프렘과 고정전극과의 사이의 정전 용량이 변화하는 것을 전기적으로 검출하여 유량을 검출한다.

그렇지만 배관에는 배관유로내의 유체의 이송에 따른 진동이 발생하고 있어서, 배관에 직접고정된 유량검출부에도 배관으로부터의 진동이 전달되어 유량검출부는 배관으로부터의 진동을 받으면서 유량계측을 행하고 있다.

일반적으로 와류발생에 의한 차압을 검출하는 1쌍의 센서부는 배관의 길이방향에 대향하여 직교하는 수평방향에 설치되어 있다. 그렇지만, 배관을 전달하는 진동으로서 배관길이방향의 진동은 일어나기 어렵고, 발생하여도 비교적 적게 되지만, 배관길이방향과 직교하는 수평방향 및 수직방향의 진동성분은 비교적 크다. 이 때문에 종래의 와류유량계에서는 1쌍의 센서부가 배관길이방향과 직교하는 수평방향에 설치하여 있으므로, 배관에 수평방향으로의 진동이 발생하면 1쌍의 센서부의 다이어프렘실 및 연통로에 충전된 봉입액이 수평방향으로 요동한다.

따라서, 종래의 와형유량계에서는 배관의 수평방향의 진동이 발생하는 것 때문에 봉입액이 1쌍의 센서부에서 가속도를 받아, 이 봉입액의 완성에 의하여 금속 다이어프렘이 변위하여 버린다.

이경우 이와같은 배관진동에 의한 금속 다이어프렘의 변위에 의하여 정전용량의 변화가 검지되어 신호가 출력되어 버린다는 결점이 있다.

또한 금속 다이어프렘의 변위가 작은 미소유량을 계측할때, 카아맨와류에 의한 차압으로 금속 다이어프렘이 변위하였는지, 배관진동에 의하여 금속 다이어프렘이 변위하였는지를 판별치 못한다. 따라서, 저유량의 측정시에는 배관진동에 따른 금속 다이어프렘의 편의에 의한 정전용량의 변화를 검출치 않게 하는 전기회로의 증폭감도를 저하시킬 필요가 있다.

그러므로, 카아맨와류의 발생에 따른 금속 다이어프렘의 변위가 작은 미소유량을 계측하지 못하고, 유량계측범위가 협소하여 진다는 결점이 있다. 그래서, 본 발명은 상기한 종래의 결점을 제거한 신규이고 또한 유용한 와형유량계를 제공하는 것이며, 이하 도면과 같이 각기의 실시예에 대하여 설명한다.

제l도 내지 제3도에 표시한 본 발명인 와형유량계의 제1실시예로서의 와형유량계(l0)는, 대략 플렌지를 갖는 관로(11)와, 관로(1l)의 중앙에 수직방향으로 뻗어 설치된 와류발생기둥(12)과, 와류발생기둥(12)에 관련하여 관로(l1) 바깥 상부에 설치된 검출부(13)와, 검출부(13)와 전기적으로 접속된 후술하는 검출회로로 된다.

와류발생기둥(12)의 양측면(12a),(12b)중간상부에 각기 차압도입개구(14a),(14b)가 열려 있다. 이 개구(14a),(14b)로부터 연통하여 차압도입금(15a),(15b)가 와류발생기둥(12)속을 뒷쪽으로 뻗어있다. 또한 개구(14a),(14b)는 와류 발생기둥(12)에 좌우 대칭으로 설치되어 있으면 충분하고 캐구(14a),(14b) 차압도입공(15a),(15b)의 구멍설치 정밀도의 엄밀성은 요구치 않으며 와류발생기둥(12)을 염가로 제조할 수 있다. 와류발생체(12)의 상부는 관로(11)의 관벽을 관통하고 있다.

관로(11)의 관벽외주와 검출부(13)와의 사이에 도입공형성부재(16)에는 차압도입공(15a),(15b)에 연통하는 경사진 차압도입공(17a),(17b)이 형성되어 있으며, 또한 그 상면에는 차압도입공(17a),(17b)이 열리는 원형요부(l8a),(18b)가 설치되어 있다. 부재(16)상에는 검출부(l3)가 부착되어 있다.

검출부(13)에 있어서, 요부(l8a),(18b)에 면하여 원형의 가동전극으로서의 스텐레스제의 다이어프렘(19a),(19b)이 설치되어 있고, 또 다이어프렘(19a),(19b)과는 그 사이에 공간(20a),(20b)을 두고 원형의 고정전극으로서 도전박(箔)과 같이된 전극(21a),(21b)이 설치되어 있다.

상기공간(20a),(20b)은 전극(21a),(21b)을 관통하여 연통로(22)와 연통하여 있고, 이들의 공간(20a),(20b) 및 연통공(22)에는 비 압축성의 유체, 예로서 실리콘오일 등의 액체(23)가 봉입되어 있다.

다이어프렘(19a)과 전극(21a)과는 하나의 센서부로서의 가변용량 콘덴서(24a)를 형성하며, 다이어프렘(l9b)과 전극(21b)과는 다른 하나의 센서부로서의 가변용량 큰덴서(24b)를 형성하고 있다.

이 가변용량 콘덴서에 접속된 리드선(도시치 않음)은 관(25)내를 통하여 각기 전기회로수용 케이스(도시치 않음)내에 도입되어, 검출회로에 접속되어 있다, 여기에서, 1쌍의 가변 용량 콘덴서(24a),(24b)는 관로(11)의 길이방향에 연하는 방향으로 사이를 두고 배설되어 있고, 관로(11)의 길이방향과 직교하는 방향으로 사이를 두고 설치되어 있는 개구(11a),(11b)부터의 차압을 관로(11)의 긴 방향으로 사이를 두고 설치되어있는 요부(l8a),(18b)에 도입하기 위하여 경사진 차압도임공(17a),(17b)이 설치되어 있다.

콘덴서(24a) 및 (24b)와 같이 브리지 회로(30)를 형성하는 코일(3l)(32)이 브리지 회로(30)에 교류를 공급하는 교류전원(33), 브리지회로(30)의 출력을 증폭하는 증폭회로(34), 복조회로(復調回路)(35) 및 슈이트회로(36)가 설치되어 있다. 슈미트회로(36)부터는, 피측유체의 유속에 비례한 반복 주파수를 보유하는 펄스신호가 출력되며, 출력단자(37)로부터의 후속의 회로에 공급된다.

상기구성의 와형유량계(10)에 있어서, 관로(11)에 피측유체가 F 방향으로 흐르면 와류 발생기둥(12)에 의해 카아맨 와류(26)가 그 양측면(12a),(l2b)에 제3도에 표시한 것과 같이 교대로 발생된다. 이때 카아맨와류가 생기는 쪽의 압력도 저하하고 카아맨와류가 발생하지 않는 쪽의 압력은 상승한다.

따라서, 카아맨 와류가 생기는 쪽의 압력(예로서는 측면12a) 및 카아맨 와류가 생기지 않는쪽의 압력(예로서는 측면 12b)는 개구(14a), 차압 도입공(15a),(17a) 요부(18a)를 경유하여 다이어프렘(19a)의 한쪽면에 또는 개구(14b), 차압도입공(15b),(17b), 요부(18b)를 경유하여 다이어프렘(19b)의 한쪽면에 유도되기때문에 다이어프렘(19a)은 하방으로 변위하고 다이어프렘(19b)은 상방으로 변위하는 것이다.

이 결과, 피측유체가 흐르면 와류발생기둥(12)에 의해 카아맨 와류가 그 양측으로 제3도에 도시한 바와같이 상호발생하고 이에 의해 양측면(12a) 및 (12b)에는 피측유체의 역위상의 압력이 발생하여 이 피측유체의 역위상의 압력변화는 개구(14a),(14b) 차압도입공(15a),(15b)(17a)(17b) 요부(18a),(18b)를 통하여 다이어프렘(19a) 및 (19b)의 한쪽 면에 도입된다. 다이어프렘(19a) 및 (19b)는, 이 압력변화를 받아서, 역위상에서 서로 상하로 변위되고, 이에따라 콘덴서(24a)의 용량은 증감되며, 콘덴서(24b)의 용량도 증감한다. 콘덴서(24a) 및 (24b)의 용량변화의 주기는, 와류(26)의 발생주기에 대응하고 있으며, 유속에 역비례하고 있다.

따라서 브리지 회로(30)는 교류전원(33)의 신호를 유속에 비례한 진폭 변조한 출력을 발생시키고, 유속에 비례한 반복주파수의 펄스신호가 슈미트회로(36)으로부터 출력된다. 이 출력신호의 주기 또는 출력신호의 개수를 계측하는 것으로서 유속 또는 유량을 구할 수가 있다.

여기에서, 관로(11)에 외부진동이 가해지면 검출부(13)도 같이 진동한다.

그러나 전술함과 같이 관로(11)에 가해지는 진동은 관로의 길이방향의 진동보다는 세로방향의 진동쪽이 많다. 그러나 상기와 같이, 검출부(13)의 가변용량콘덴서(24a),(24b)는 관로(11)의 길이방향에 병열설치되어 있고, 양 가변용량 콘덴서(24a),(24b)의 공간(20a),(20b)을 묶어 봉입액(23)이 봉입되어 있는 연통공(22)은 관로(11)의 길이방향으로 뻗어 있다. 따라서 관로(11)가 세로 방향으로 진동하며, 봉입액(23)이 똑같이 진동하여도 다이어프렘(19a)(19b)에는 봉입액(23)의 진동에 의한 압력 변화가 가해지는 일은 없다.

또, 다이어프렘(19a),(19b)에 봉입액(23)의 진동에 의한 압력변화가 가하여 지더라도 같은 위상이므로 이는 서로 상쇄되어 틀린 검출 출력이 생기는 일은 없다.

또한, 상기실시예에서는 관로(11)의 세로방향에 사이를 두고 위치하는 요부(18a),(18b)와를 연통하기 위하여 경사진 차압도입공(17a),(17b)을 갖는 부재(16)를 사용하고 있으나, 제5도에 횡단면을 표시한 와류발생기둥(40)을 사용함으로서 부재(16)를 생략하여도 좋다. 이경우, 와류발생기둥(40)에 있어서, 양측면의 개구(14a),(14b)로부터 서로 역방향으로 뻗은 구멍(41a),(41b)와, 그 홈부분으로부터 수직방향 윗쪽으로 뻗는 구멍(42a),(42b)들이 뚫려 있다.

구멍(42a),(42b)는 관로(11)의 길이방향으로 사이를 두고 있고, 제2도에 표시한 것과같이 관로(11)의 길이방향에 사이를 두고 있는 요부(18a),(18b)에 그대로 연봉된다.

다음에 제6도 내지 제8도와 같이 본 발명의 와형유량계 제2실시예에 대하여 설명한다.

상기와 같이 관로의 진동 가운데 관로의 길이방향의 진동은 일어나기 어렵고, 관로의 길이방향에 대하여 직각의 방향의 진동은 일어나기 쉽다고는 하지만, 관로길이방향의 진동도 다소는 있다. 상기 제1실시예에서는 1쌍의 가변 콘덴서가 관로의 길이방향에 따라 배설되어 있으므로, 관로의 길이방향의 진동이 있으면 계측정밀도가 저하하는 문제점이 있다.

본제2실시예에서는, 관로의 길이방향에 대향하여 직각의 방향의 진동뿐만 아니라, 관로의 길이방향의 진동이 있다하더라도, 계측정밀도가 저하하지 않게 한 것이다. 가동전극으로서의 금속다이어프렘과 이와공간을 두고 대향하는 고정전극과 같이한 센러부로서의 가변콘덴서의 구성, 1쌍의 가변콘덴서 각기의 공간이 연통로를 통하여 연통하며 그 속에 봉입액이 채워져 있는 구성은 상기 실시예와 동일함므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 본 실시예의 와형유량계(50)는 검출부(51)의 구성은 상기 실시예와는 다르다.

관로(11)의 외벽위에 설치된 도입공 형성부재(52)는 각각 차압도입공(15a)에 연동하며 서로 대략 역방향에 경사지게 뻗은 차압도입공(53a),(53b), 차압도입공(15b)에 연통하여 서로 대략 역방향으로 경사지게 뻗은 차압도입공(53a),(53b)가 설치되어 있다. 차압도입공(53a)과 (53b)는 입체적으로 교차되어 있다. 부재(52)의 윗면에는 차압도입공(53a)-53(b)의 열리는 요부(54a)-(54b)가 설치되어 있다.

여기에서 제7도에 잘 표시되어 있는 것과 같이 차압도입공(15a)부터 차압도입공(53a)(53b)를 통하여 서로 동일한 차압을 도입하는 요부(54a)(54b)는 액체의 흐르는 방향 F에 대향하여 왼쪽앞, 오른쪽 뒤에 배설되어 있으며, 차압도입공(15b)로부터 차압도입공(53b),(53c)를 통하여 서로 동일한 차압을 도입하는 요부(54b),(54c)는 오른쪽앞, 왼쪽뒤에 배설되어 있다.

부재(52)위에는 부착부재(56)가 부착되어 있으며 부착부재(56)의 하면에는 요부(54a)-(54b)에 각각 대향하여 가변콘덴서(55a)-(55d)가 설치되어 있다. 여기에서 관로의 길이방향(유체의 흐르는 방향 F와 동일함)에 대하여 직교하는 방향에 옆으로 병열하고 있는 l쌍의 가변콘덴서(55c),(55d)는 가동전극과 고정전극과 그 사이의 공간은 연통로(58)를 통하여 연통되어 있으며 그 사이에 액이 채워져 있다. 똑같이 옆으로 병열되어 있는 다른 1쌍의 가변콘덴서(55a),(55b)에 대하여도 각기의 공간은 액이 채워진 연통로(57)를 통하여 연통되어 있다.

이들 콘덴서(55a)-(55b)는 제9도에 표시한 것과 같이 접속되어 있다. 제4도와 제9도와의 비료로서 명백한 것과 같이, 코일(31)(32)와 결합된 브리지 회로중 제4도의 콘덴서(24a)에 해당하는 쪽의 콘덴서(55a)와 (55c)의 병열회로가 접속되며, 콘덴서(24b)에 해당하는 쪽의 콘덴서(55b)와 (55c)의 병열회로가 접속되어 있다.

유량켸측에 있어서 관로(11)내를 흐르는 피측유체의 유량에 대응하여 와류 발생기둥(12)의 하류측에 발생하는 카아맨 와류에 의한 차압이 와류발생기둥(12)의 개구(14a),(14b), 차압도입공(15a),(15b),(53a)-(53d)을 통하여 각각의 요부(54a)-(54d)에 도입된다. 여기에서 요부(54a)와는 동일한 차압이 도입되며,요부(54b)와 (54c)도 동일한 차압이 도입된다.

따라서 차압변화에 의하여 콘덴서(55a),(55b)의 정전용량이 같이 증감하면 이것과 역위상으로 되어 콘덴서(55b)(55c)는 정전용량이 같이 증감한다.

상기 구성의 와형유량계(50)에 있어서, 배관진동이 생겨 검출부(51)에 진동이 전달되는 경우에 대하여 설명한다.

우선, 검출부(51)가 관로(11)의 길이방향에 따르는 화살표 Z 방향에 진동을 받았을 경우에 대하여 연통로(57),(58)는 Z 방향과 직교하는 방향으로 뻗어 있으므로, 연통로(57),(58) 및 각 콘덴서(55a)-(55d)의 공간에 채워져 있는 봉입액은 각기의 다이어프렘을 변위시키는 것과 같은 가속도는 받지 않는다.

따라서 이 Z 방향의 진동이 있어도 계측 정밀도는 저하하지 않는다.

다음에 유량검출부(51)가 관로(11)의 길이방향과 직교하는 상하수직방향(제6도중 화살표 Y 방향)으로 진동한 경우, 각 콘덴서(55a)-(55d)의 가동전극으로서의 다이어프렘이 각각 동일한 Y 방향으로 전동하며, 다이어프렘의 관셩력에 의한 변위는 같은 위상으로 된다.

이 콘덴서(55a)-(55d)의 같은 위상의 정전용량 변화는 브리지회로(60})에서 꺼진다 따라서 이 화살표 Y방향의 진동이 생겨도 계측정도가 저하하는 일은 없다.

다음에 유량검출부(51)가 관로(11)의 길이방향으로 직교하는 수평방향(제6도중 화살표 X₁X₂방향)으로 진동하는 경우에 대하여 설명한다. 화살표 X₁방향의 진동성분이 유량검출부(51)에 작용하면 연통로(57),(58)내의 봉입액이 상대적으로 X₂방향으로 가속도를 받는다.

이때문에 봉입액의 관성력이 좌측의 콘덴서(55a),(55c)의 각 공간에 작용하여 다이어프렘이 고정전극으로부터 사이를 두는 방향으로 변위한다. 또한 우측의 캐페시터(Capacitor)(55b)(55d)의 다이어프렘의 고정전극에 근접하는 방향으로 변위한다.

이때문에, 콘덴서(55a),(55c)의 정전용량이 감소함과 동시에 콘덴서(55b),(55d)의 정전용량이 증가한다. 따라서, 제9도의 브리지회로(60)에 있어서, 병열회로의 한쪽 콘덴서(55a)의 정전용량이 감소함과 동시에 다른쪽의 콘덴서(55a)의 정전용량이 증가한다 똑같이 다른 병열회로의 한쪽의 콘덴서(55b)의 정전용량이 증가함과 동시에 다른쪽의 콘덴서(55c)의 정전용량이 감소한다, 이 때문에 콘덴서(55a),(55d)(55b)(55c)의 정전용량변화가 꺼진다.

이와같이 관로진동에 의하여 화살표 X₁방향으로 유량검출부(51)가 변위하여도 브리지 회로(66)의 평형이 무너지는 일이 없으며, 브리지회로(20)로부터 신호가 출력되지 않는다.

또, 관로 진동의 화살표 X₂방향의 진동성분이 유량검출부(51)에 작용한 경우도 똑같이 되어 브리지회로(60)의 평형이 유지되어 오인검출 신호는 출력되지 않는다.

이와같이 본 실시예의 와형유량계(50)는 어느 방향으로의 진동이 생겨도, 진동의 영향에 의하여 오인검출신호를 출력하는 일이 없으며, 정확히 유량계측을 할 수 있다.

또 관로 진동에 의하여 브리지회로(60)가 오인검출 신호를 출력하는 일이 없으므로 증폭회로(34)의 케인을 올릴 수가 있으며, 저유량 영역까지 광범위하게 정확히 유량계측할 수 있다.

또,2쌍의 센서부(55a)와 (55b),(55c)와 (55d)가 설치되어 있으므로 이로서 한쪽의 센서부(55a),(55b)가 고장을 일으켰을 경우에도 다른쪽의 센서부(55c),(55d)에 의하여 응급적으로 유량계측 된다.

따라서, 수리를 할때까지의 공백을 유량계측을 중단하지 않을 수 있어 메인테넌스의 면에서 유리하다.

또한 상기 실시예에서는 차압도입공(15a),(15b)가 각각 분기하여 차압도입공(53a)-(53d)에 연통하는 구성으로 하고 있으나, 이에 한하지 않고 예로서 차압도입공(53a)-(53d)에 별개로 연통하는 4개의 차압도입공을 와류 발생기둥에 설치하여도 좋다

검출부(51)의 다른 실시예로서의 검출부(51A)를 제10도에 표시하였다. 이 실시예에서는 와류발생기둥(12)의 대신에 제5도에 표시한 와류발생기둥(40)을 사용한다. 1쌍의 요부(54a)(54b) 콘덴서(55a)(55b)는 유체의 흐르는 방향 F에 대향하여 왼쪽앞, 오른쪽 뒤에 배설되며, 다른 1쌍의 요부(54c),(54d), 콘덴서(55c),(55d)의 왼쪽 뒤, 오른쪽 앞에 배설되어 있다.

콘덴서(55a),(55b)의 공간은 액체를 봉입한 연통로(57)로서 연통되며, 콘덴서(55c),(55d)의 공간은 액체를 봉입한 연통로(58)로 연통되어 있다. 여기에서 연통로(57)과 (58)은 입체적으로 교차되어 있다. 관로길이 방향에 대향하여 직교방향에 옆으로 병열하고 있는 요부(54a),(54b)는 차압도입공(41b),(42b)에 연통한 차압도입공(70a),(70d)에 연통하고 있다.

또 요부(54b),(54c)는 차압도입공(41a),(42b)에 연통한 차압도입공(70b),(70c)에 연통하여 있다. 이 구성에 있어서도 검출부(51)의 경우와 동일한 효과가 얻어지는 것이다.

Claims

피측유체의 흐르는 관로(11)와 그 관로중에 배설되어 이 관로를 흐르는 피측유체에 카아맨 와류를 발생시켜, 양측으로 열리고 한쪽에 관통 연장하여 그 피측유체의 카아맨 와류발생에 따른 압력변화를 도입하는 한쌍의 차압도입공(15a),(15b)이 뚫려있는 와류발생기둥(12)과 검출부 본체(13)와 그것으로부터 이루어진 와류유량계에 있어서, 그 검출부 본체에 길이방향으로 사이를 두고 설치된 차압도입공으로부터의 차압에 대응하여 유량계측 신호를 출력하기 위한 적어도 한쌍의 센서부(24a),(24b)를 가진 것을 특징으로 한 와형유량계.
제1항에 있어서, 이 한쌍의 센서부는 이 검출부 본체에 뚫린 한쌍의 요부(18a),(18b)와 이 요부에 고정된 한쌍의 고정전극(21a),(21b)과 그 고정전극과 소정 간격을 두고 그 사이에 공간(20a),(20b)을 두어설치된 한쌍의 가동전극(19a),(19b)과 한쌍의 고정전극과 가동전극과의 사이에 한쌍의 공간을 연통하여 검출부 본체에 뚫린 연통공(22)과, 그 한쌍의 공간 및 연통공에 채워진 봉입액(23)으로 이루어지며, 이 가동전극은 봉입액에 접하는 면과 반대쪽 면은 이 와류발생체에 의하여 도입된 피측유체의 압력변화를 받아서 변위하고, 이 한쌍의 고정전극과 한쌍의 가동전극과는 한쌍의 가변용량콘덴서를 형성하고, 이 한쌍의 센서부의 가변용량 콘덴서의 용량번화에 따라 검출회로(30)로부터 신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 와형유량계.
제1항에 있어서, 이 관로의 길이방향에 사이를 두고 설치된 한쌍의 센서부(55a),(55b)와 별도로, 이한쌍의 센서부의 옆에 이 관로 길이방향으로 사이를 두고 설치된 다른 한쌍의 센서부(55c)(55d)를 가지고, 각 센서부는 가동전극으로서의 다이어프렘과 다이어프렘의 사이에 액이 채워진 공간에 설치된 고정전극 등을 갖는 가변콘덴서로 되며, 이 차압도입공의 하나는 두짱의 센서부의 각각 어느하나의 센서부와 다이어프렘에 차압을 도입하도록 연통하고, 그 차압도입공의 다른 하나는 이 두쌍의 센서부의 각각 다른 하나의 센서부에 다이어프렘에 차압을 도입하도록 연통하여 있고, 하나의 쌍의 상기한 어느 하나의 센서부와 이것과 다른쌍의 다른 하나의 센서부와의 공간을 액으로 채운 하나의 연통로로서 연통하고, 이 하나의 쌍의 다른 하나의 센서부와 이와다른 쌍의 상기한 하나의 센서부와의 공간을 액으로 채운 하나의 연통로로서 연통하여서 된 것을 특징으로 한 와형유량계.
제3항에 있어서, 각 연통로(58)(57)는 관로의 길이 방향으로 직교하는 방향으로 평행하게 뻗어있는 것을 특징으로한 와형유량계
제3항에 있어서, 각 연통로는 관로의 길이방향으로 대향하여 경사진 "+"자 형으로 입체적으로 교차되어 있는 것을 특징으로 하는 와형유량계.
제3항에 있어서, 이 차압도입공의 하나에 연통하여 동일한 차압을 도입하는 센서부로서의 가변콘덴서는 병렬로 접속되어 제1의 병열 접속을 이루고, 이 차입도입공의 다른 하나에 연통하여 동일한 차압을 도입하는 센서부로서의 병열로 접속되어 제2의 병열접속을 이루며, 그 제1, 제2의 병열접속은 각각 코일과 브리지 접속되어 검출회로를 구성하는 것을 특징으로 하는 와형유량계.