KR20200061757A - Display apparatus - Google Patents
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Abstract
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치는, 기판, 기판상에 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자, 발광소자 상에 있는 봉지부, 봉지부 상에 있는 터치 센서부의 제1 연결부, 제1 연결부 상에 배치되며 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함하는 제1 터치 절연층, 제1 터치 절연층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극, 및 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극상에 있는 제2 터치 절연층을 포함하고, 복수의 제1 터치전극은 제1 터치 절연층의 컨택홀을 통하여 제1 연결부와 연결될 수 있다. A display device according to an exemplary embodiment of the present specification includes a substrate, a thin film transistor on a substrate, a light emitting element on the thin film transistor, a sealing portion on the light emitting element, and a first connection portion of the touch sensor portion on the sealing portion, the first A first touch insulating layer disposed on the connection unit and including a contact hole exposing the first connection unit, a plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes, and a plurality of touch sensor units on the first touch insulation layer A first touch electrode and a second touch insulating layer on the plurality of second touch electrodes may be included, and the plurality of first touch electrodes may be connected to the first connection unit through contact holes of the first touch insulating layer.
Description
본 명세서는 터치 센서부를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.The present specification relates to a display device including a touch sensor unit.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device), 유기발광표시장치(OLED: Organic Light Emitting Display Device), 퀀텀닷 발광표시장치(QLED: Quantum-dot Light Emitting Display Device), 및 무기발광표시장치 등과 같은 여러 가지 타입의 표시장치가 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for a display device for displaying images is increasing in various forms, a liquid crystal display device (LCD), an organic light emitting display device (OLED), Various types of display devices such as a quantum dot light emitting display device (QLED) and an inorganic light emitting display device are used.
상기의 표시장치 중 퀀텀닷 발광표시장치, 무기발광표시장치, 및 유기발광표시장치는 자발광소자이고 응답속도, 시야각, 색재현성 등이 매우 우수하고 얇게 구형할 수 있어 최근에 각광받고 있다.Among the above display devices, the quantum dot light emitting display device, the inorganic light emitting display device, and the organic light emitting display device are self-luminous elements, and have excellent response speed, viewing angle, color reproducibility, etc. and can be thinly spherical.
또한, 표시장치는 키보드, 마우스 등의 다양한 입력장치를 통해 사용자의 명령을 입력받아 동작할 수 있는데, 표시장치의 화면을 터치하여 직관적이고 편리하게 사용자의 명령을 입력할 있도록 하는 터치패널 표시장치의 입력장치로 개발되고 있다. 터치패널은 표시장치의 화면 상에 배치되고 사용자가 표시장치의 화면의 특정 지점을 터치함으로써 표시장치는 사용자의 명령을 입력받게 될 수 있다. 터치패널은 터치좌표를 감지하기 때문에 터치 센서부라고 칭할 수 있다.In addition, the display device may operate by receiving a user's command through various input devices such as a keyboard and a mouse. The touch panel display device enables an intuitive and convenient user input by touching the screen of the display device. It is being developed as an input device. The touch panel is disposed on the screen of the display device, and the user can input a user command by touching a specific point on the screen of the display device. Since the touch panel detects a touch coordinate, it may be referred to as a touch sensor unit.
또한, 표시장치는 표시장치의 화면을 터치하기 위하여 터치 센서부가 추가되어, 공정이 복잡해지고 생산시간의 증가되는 문제점이 있다.In addition, the display device has a problem in that the touch sensor unit is added to touch the screen of the display device, and the process is complicated and the production time is increased.
본 명세서의 목적은 공정을 단순화할 수 있는 터치 센서부를 포함하는 표시장치를 제공하는 것이다.An object of the present specification is to provide a display device including a touch sensor unit capable of simplifying a process.
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치는, 기판, 기판상에 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자, 발광소자 상에 있는 봉지부, 봉지부 상에 있는 터치 센서부의 제1 연결부, 제1 연결부 상에 배치되며 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함하는 제1 터치 절연층, 제1 터치 절연층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극, 및 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극상에 있는 제2 터치 절연층을 포함하고, 복수의 제1 터치전극은 제1 터치 절연층의 컨택홀을 통하여 제1 연결부와 연결되는 표시장치를 제공하는 것이다. A display device according to an exemplary embodiment of the present specification includes a substrate, a thin film transistor on a substrate, a light emitting element on the thin film transistor, a sealing portion on the light emitting element, and a first connection portion of the touch sensor portion on the sealing portion, the first A first touch insulating layer disposed on the connection unit and including a contact hole exposing the first connection unit, a plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes, and a plurality of touch sensor units on the first touch insulation layer A first touch electrode and a second touch insulating layer on the plurality of second touch electrodes, and the plurality of first touch electrodes provide a display device connected to the first connection unit through a contact hole of the first touch insulating layer Is to do.
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치는, 기판, 기판상에 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자, 발광소자 상에 있는 제1 무기 봉지층, 제1 무기 봉지층 상에 있는 제3 무기 봉지층, 제1 무기 봉지층 및 제3 무기 봉지층 사이에 있는 제2 유기 봉지층, 제2 유기 봉지층 및 제3 무기 봉지층 사이에 있는 터치 센서부의 제1 연결부, 제3 무기 봉지층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극, 및 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극 상에 있는 터치 절연층을 포함하는 표시장치를 제공하는 것이다.The display device according to the exemplary embodiment of the present specification includes a substrate, a thin film transistor on a substrate, a light emitting element on the thin film transistor, a first inorganic encapsulation layer on the light emitting element, and a third inorganic on the first inorganic encapsulation layer. On the first connection, the third inorganic encapsulation layer, the second organic encapsulation layer between the encapsulation layer, the first inorganic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer, the touch sensor portion between the second organic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer It is to provide a display device including a plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes, and a touch insulating layer on the plurality of first touch electrodes and the plurality of second touch electrodes.
본 명세서의 실시예에 따르면, 공정을 단순화시킬 수 있고 제조비용을 절감할 수 있는 터치 센서부를 포함하는 표시장치 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, a display device including a touch sensor unit capable of simplifying a process and reducing manufacturing cost, and a manufacturing method thereof can be provided.
명세서의 실시예에 따르면, 표시장치의 봉지부상에 터치 센서부를 배치하여 공정을 단순화할 수 있다. 그리고, 표시장치의 두께를 줄일 수 있다. According to an embodiment of the present specification, a process may be simplified by disposing a touch sensor unit on an encapsulation portion of the display device. In addition, the thickness of the display device can be reduced.
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치에서 터치 센서부의 제1 연결부를 봉지부의 제2 유기 봉지층과 제3 무기 봉지층 사이에 배치하여, 터치 절연층의 두께를 감소할 수 있다. 그리고, 제조 공정단계를 줄일 수 있기에, 생산 비용도 절감할 수 있는 효과가 있다. 봉지부의 제3 무기 봉지층을 터치 절연층으로 이용하여, 터치 절연층의 전체 두께를 줄이게 되어, 표시 장치를 좀 더 얇게 제조 할 수 있다. 그리고, 터치 절연층의 형성 공정을 단순화하여, 생산 비용을 절감할 수 있다. In the display device according to the exemplary embodiment of the present specification, the first connection portion of the touch sensor unit is disposed between the second organic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer of the encapsulation unit, thereby reducing the thickness of the touch insulation layer. And, since it is possible to reduce the manufacturing process step, there is an effect that can also reduce the production cost. By using the third inorganic encapsulation layer of the encapsulation portion as a touch insulation layer, the overall thickness of the touch insulation layer is reduced, so that the display device can be made thinner. And, by simplifying the process of forming the touch insulating layer, it is possible to reduce the production cost.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치의 화소를 나타내는 회로도이다.
도 3 은 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치의 터치 센서부를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 명세서의 일 실시예에 따른 표시장치를 나타내는 단면도이다.
도 5은 본 명세서의 다른 실시예에 따른 표시장치를 나태는 단면도이다.1 is a schematic plan view of a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
2 is a circuit diagram illustrating pixels of a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
3 is a plan view illustrating a touch sensor unit of a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
4 is a cross-sectional view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
5 is a cross-sectional view showing a display device according to another exemplary embodiment of the present specification.
이하, 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치의 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 그리고, 본 명세서의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments of the display device according to the exemplary embodiment of the present specification will be described in detail. In adding reference numerals to the components of each drawing, the same components may have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing embodiments of the present specification, when it is determined that detailed descriptions of related well-known configurations or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof may be omitted.
또한, 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing components of the display device according to the exemplary embodiment of the present specification, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the essence, order, order, or number of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, but different components between each component It will be understood that the "intervenes" may be, or each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치의 실시예를 나타내는 개략적인 평면도이다. 1 is a schematic plan view illustrating an embodiment of a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
도 1을 참조하면, 표시장치(100)는 표시패널(11), 터치 센서부(12), 표시드라이버(14a), 터치드라이버(14b), 제어부(15)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the
표시패널(11)은 매트릭스 형태로 배열된 복수의 화소(P)를 포함할 수 있다. 각 화소(P)는 발광소자(light emitting diode: LED)와 발광소자(LED)에 구동전류를 공급하는 화소회로를 포함할 수 있다. 도 2를 참조하면, 화소회로는 게이트신호(gate)에 대응하여 데이터신호(Vdata)를 전달받아 구동전류를 생성하고 발광소자(LED)에 공급할 수 있다. 또한, 표시패널(11)은 복수의 전압을 전달받아 구동될 수 있다. 표시패널(11)에 전달되는 복수의 전압은 제1 전압(EVDD)과, 제1 전압(EVDD)보다 전압레벨이 낮은 제2 전압(EVSS)을 포함할 수 있다. 표시패널(11)은 제1 전압(EVDD)와 제2 전압(EVSS)에 의해 구동전류가 흐를 수 있다. 제1 전압(EVDD)은 화소 열 별로 공급되고 제2 전압(EVSS)는 복수의 화소(P)에 공통으로 공급되는 공통전압일 수 있다.The
터치 센서부(12)는 표시패널(11) 상에 배치될 수 있고 사용자의 터치를 감지할 수 있다. 여기서, 터치는 사용자의 물리적인 터치만을 의미하는 것은 아니며 일정한 간격으로 접근하는 것을 포함할 수 있다. The
표시드라이버(14a)는 게이트신호(gate)와 데이터신호(Vdata)를 표시패널(11)로 전달할 수 있다. 표시드라이버(14a)는 영상신호를 전달받아 데이터신호(Vdata)를 생성할 수 있다. 여기서, 표시드라이버(14a)의 수는 한 개인 것으로 도시되어 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 표시패널(11)의 크기 또는 해상도에 따라 그 수가 결정될 수 있다. 표시드라이버(14a)는 집적회로로 구현될 수 있다. The
터치드라이버(14b)는 터치 센서부(12)에 터치구동신호를 전달하고 터치구동신호에 대응하여 터치센싱신호를 전달받을 수 있다. 터치드라이버(14b)는 집적회로로 구현될 수 있다. The
제어부(15)는 표시드라이버(14a)와 터치드라이버(14b)를 각각 제어할 수 있다. 또한, 제어부(15)는 표시드라이버(14a)에 영상신호를 공급할 수 있다.The
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 화소(P)를 나타내는 회로도이다. 2 is a circuit diagram illustrating a pixel P according to an exemplary embodiment of the present specification.
도 2를 참조하면, 화소(P)는 발광소자(LED)와, 제1 내지 제3트랜지스터(T1 내지 T3) 및 캐패시터(C1)를 포함하는 화소회로를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 트랜지스터(T1)는 발광소자(LED)에 구동전류를 구동하는 구동트랜지스터일 수 있다.Referring to FIG. 2, the pixel P may include a pixel circuit including a light emitting device (LED), first to third transistors (T1 to T3 ), and a capacitor (C1 ). Here, the first transistor T1 may be a driving transistor that drives a driving current in the light emitting element (LED).
제1 트랜지스터(T1)는 제1 전극이 제1 전압라인(VL1)에 연결되어 제1 전압(EVDD)을 전달받고 제2 전극이 제2 노드(N2)에 연결되며 게이트전극이 제1 노드(N1)에 연결될 수 있다. 그리고, 제2 트랜지스터(T2)는 제1 전극이 데이터라인(DL)에 연결되고 제2 전극이 제1 노드(N1)에 연결되며 게이트전극이 게이트라인(GL)에 연결될 수 있다. 그리고, 제3 트랜지스터(T3)는 제1 전극이 제2 노드(N2)에 연결되고 제2 전극이 제2 전압라인(VL2)에 연결되고 제3 전극은 센싱제어신호라인(SEL)에 연결될 수 있다. 여기서, 센싱제어신호라인(SEL)은 게이트라인(GL)일 수 있다. 발광소자(LED)는 애노드전극이 제2 노드(N2)에 연결되고 캐소드전극에 제2 전압(EVSS)이 전달될 수 있다. 따라서, 캐소드전극은 제2 전압라인에 연결될 수 있다. 그리고, 제1 트랜지스터(T1)를 통해 공급되는 구동전류는 발광소자(LED)에 흐를 수 있다. 또한, 캐패시터(C1)는 제1 노드(N1)와 제2 노드(N2) 사이에 연결될 수 있고 제1 노드(N1)에 인가되는 전압을 유지시킬 수 있다. 제1 전압라인(VL1)은 제1 전압(EVDD)을 전달받고 제2 전압라인(VL2)은 제1 기준전압(Vref1)을 전달받을 수 있다.In the first transistor T1, the first electrode is connected to the first voltage line VL1 to receive the first voltage EVDD, the second electrode is connected to the second node N2, and the gate electrode is the first node ( N1). The second transistor T2 may have a first electrode connected to the data line DL, a second electrode connected to the first node N1, and a gate electrode connected to the gate line GL. In addition, the third transistor T3 may have a first electrode connected to a second node N2, a second electrode connected to a second voltage line VL2, and a third electrode connected to a sensing control signal line SEL. have. Here, the sensing control signal line SEL may be a gate line GL. In the light emitting device (LED), the anode electrode may be connected to the second node N2 and the second voltage EVSS may be transmitted to the cathode electrode. Therefore, the cathode electrode can be connected to the second voltage line. In addition, the driving current supplied through the first transistor T1 may flow in the light emitting device (LED). Further, the capacitor C1 may be connected between the first node N1 and the second node N2 and maintain the voltage applied to the first node N1. The first voltage line VL1 may receive the first voltage EVDD and the second voltage line VL2 may receive the first reference voltage Vref1.
도 3은 본 명세서의 실시예들에 따른 터치 센서부를 나타내는 평면도이다. 3 is a plan view illustrating a touch sensor unit according to embodiments of the present specification.
도 3을 참조하면, 터치 센서부는 표시패널(11)상에 배치되며, 복수의 터치전극을 포함할 수 있다. 그리고, 복수의 터치전극은 복수의 제1 터치전극(323a) 및 복수의 제2 터치전극(323b)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 터치전극(323a)은 터치구동전극일 수 있다. 그리고, 복수의 제2 터치전극(323b)은 터치감지전극일 수 있다. 복수의 제1 터치전극(323a)은 제1 연결부(322a)에 의해 행방향으로 연결되어 복수의 전극행을 이루게 되고, 복수의 제2 터치전극(323b)은 제2 연결부(322b)에 의해 종방향으로 연결되어 복수의 전극열을 이루게 될 수 있다. 여기서, 복수의 제1 터치전극(323a) 및 복수의 제2 터치전극(323b)이 4 x 3 형태로 배치되어 있는 것을 도시하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 터치전극들(323a)은 터치구동신호를 전달받을 수 있고 제2 터치전극들(323b)은 터치구동신호에 대응하는 터치센싱신호를 전달할 수 있다. 제1 터치전극들(323a)과 제2 터치전극들(323b)은 표시패널(11) 상에서 동일한 층에 형성될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.Referring to FIG. 3, the touch sensor unit is disposed on the
제1 연결부(322a)는 하나의 제1 터치전극(323a)이 다른 제1 터치전극(323a)과 연결되도록 할 수 있다. 또한, 제2 연결부(322b)는 하나의 제2 터치전극(323b)이 다른 제2 터치전극(323b)과 연결되도록 할 수 있다. 제1 연결부(322a)와 제2 연결부(322b)는 절연층을 사이에 두고 서로 교차하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 터치전극들(323a)과 제2 터치전극들(323b)이 동일한 층상에 배치된 경우, 제1 터치전극들(323a)과 제2 터치전극들(323b)이 직접적으로 연결되지 않도록 하기 위해 제1 터치전극들(323a)을 연결하는 제1 연결부(322a)는 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)들과 다른 층에 형성될 수 있다. 그리고, 제1 연결부(322a)는 컨택홀을 통해 제1 터치전극들(323a)과 연결될 수 있다. 그리고, 제2 터치전극(323b)들을 연결하는 제2 연결부(322b)는 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)과 동일한 층상에 배치될 수 있으며, 제2 연결부(322b)는 제2 터치전극들(323b)과 서로 연결된 일체형으로 이루어질 수 있다. 따라서, 제1 터치전극들(323a)을 연결하는 제1 연결부(322a)와 제2 터치전극들(323b)을 연결하는 제2 연결부(322b) 사이에는 절연층이 배치될 수 있다. The
또한, 제1 터치전극(323a)및 제2 터치전극(323b)은 도전성을 갖는 금속층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 또한, 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)은 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명물질로 형성될 수 있다. 또한, 패터닝된 제1 터치전극(323a)및 제2 터치전극(323b)은 메쉬(Mesh) 형태로 형성된 전극패턴을 포함할 수 있고 제1 터치전극(323a)및 제2 터치전극(323b)은 복수의 개구부를 포함할 수 있다. 표시장치(100)에서 방출된 빛이 ITO 전극으로 이루어진 제1 터치전극(323a)및 제2 터치전극(323b)을 투과하여 외부로 방출될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 표시 장치(100)에서 방출된 빛이 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)에 포함됨 복수의 개구부를 통해 외부로 방출될 수 있다.Also, the
메쉬 형태로 형성된 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)의 패턴들을 터치전극배선이라고 칭할 수 있다. 그리고, 제1 터치전극(323a)은 구동하는 구동신호가 터치전극에 인가되도록 하는 구동라인(321a, 321b)과 연결될 수 있다. 그리고, 제2 터치전극(323b)은 터치전극에서 감지한 터치에 대응하여 생성되는 센싱신호가 전달되도록 하는 센싱라인(321c)과 연결될 수 있다. The patterns of the
도 4는 본 명세서의 일 실시예에 따른 표시장치를 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present specification.
도 4를 참조하면, 본 명세서의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 기판(110), 제1 버퍼층(111), 제1 박막 트랜지스터(120), 제2 박막 트랜지스터(130), 스토리지 커패시터(140), 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 제2 게이트 절연층(115), 제2 층간 절연층(116), 제1 보호층(117), 제2 보호층(118), 연결전극(150), 뱅크(180), 제1 보조전극(160), 스페이서(190), 발광소자(220), 봉지부(220), 터치 절연층(311), 및 터치 센서부(320)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4, the
기판(110)은 표시 장치(100)의 다양한 구성요소들을 지지할 수 있다. 기판(110)은 유리, 또는 플렉서빌리티(flexibility)를 갖는 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. 기판(110)이 플라스틱 물질로 이루어지는 경우, 예를 들어, 폴리이미드(PI)로 이루어질 수도 있다. 기판(110)이 폴리이미드(PI)로 이루어지는 경우, 기판(110) 하부에 유리로 이루어지는 지지 기판이 배치된 상황에서 표시 장치의 제조 공정이 진행되고, 표시 장치의 제조 공정이 완료된 후 지지 기판이 릴리즈(release)될 수 있다. 또한, 지지 기판이 릴리즈된 후, 기판(110)을 지지하기 위한 백 플레이트(back plate)가 기판(110) 하부에 배치될 수도 있다.The
기판(110)이 폴리이미드(PI)로 이루어지는 경우, 수분성분이 폴리이미드(PI)로 이루어진 기판(110)을 뚫고 제1 박막 트랜지스터(120) 또는 발광 구조물(200)까지 투습이 진행되어 표시 장치(100)의 성능을 저하시킬 수 있다. 본 명세서의 일 실시예에 따른 표시 장치(100)는 투습에 의한 표시 장치(100)의 성능이 저하되는 것을 방지하기 위해 2중 폴리이미드(PI)로 구성할 수 있다. 그리고, 2개의 폴리이미드(PI) 사이에 무기막을 형성함으로써, 수분성분이 하부의 폴리이미드(PI)를 뚫고 지나가는 것을 차단하여 제품성능의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. When the
또한, 2개의 폴리이미드(PI) 사이에 무기막을 형성하는 경우, 하부에 배치된 폴리이미드(PI)에 차지(charge)된 전하가 백 바이어스(Back Bias)를 형성하여 제1 박막 트랜지스터(120)에 영향을 줄 수 있다. 따라서, 폴리이미드(PI)에 차지(charge)된 전하를 차단하기 위하여 별도의 금속층을 형성할 필요가 있다. 하지만, 본 명세서의 일 실시예에 따른 표시 장치(100)는 2개의 폴리이미드(PI) 사이에 무기막을 형성해 줌으로써, 하부에 배치된 폴리이미드(PI)에 차지(charge)된 전하를 차단하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 그리고, 폴리이미드(PI)에 차지(charge)된 전하를 차단하기 위하여 금속층을 형성하는 공정을 생략할 수 있으므로, 공정을 단순화하고 생산단가를 절감할 수 있다. In addition, when forming an inorganic film between two polyimides (PI), the charge charged in the polyimide (PI) disposed below forms a back bias to form the first
제1 버퍼층(111)은 기판(110)상에 배치될 수 있다. 제1 버퍼층(111)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 이루어질 수 있다. 제1 버퍼층(111)은 제1 버퍼층(111) 상에 형성되는 층들과 기판(110) 간의 접착력을 향상시키고, 기판(110)으로부터 유출되는 알칼리 성분 등을 차단하는 역할 등을 수행할 수 있다. 그리고, 제1 버퍼층(111)은 필수적인 구성요소는 아니며, 기판(110)의 종류 및 물질, 박막 트랜지스터의 구조 및 타입 등에 기초하여 생략될 수도 있다.The
본 명세서의 일 실시예에 따르면, 제1 버퍼층(111)은 이산화 규소(SiO2)와 질화 실리콘(SiNx)이 교번으로 형성된 다중층으로 형성될 수 있다. 그리고, 복수개의 층으로 이루어진 제1 버퍼층(111)에서 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)과 접촉하는 상부층을 제외한 복수의 다른 층들은 모두 같은 두께를 가질 수 있다. According to one embodiment of the present specification, the
제1 박막 트랜지스터(120)는 제1 버퍼층(111) 상에 배치될 수 있다. 제1 박막 트랜지스터(120)는 제1 액티브층(121), 제1 게이트 전극(124), 제1 소스 전극(122) 및 제1 드레인 전극(123)을 포함할 수 있다. 여기에서, 화소 회로의 설계에 따라서, 제1 소스 전극(122)이 드레인 전극이 될 수 있으며, 제1 드레인 전극(123)이 소스 전극이 될 수 있다. 제1 버퍼층(111) 상에는 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)이 배치될 수 있다.The first
제1 액티브층(121)은 저온 폴리 실리콘(Low Temperature Poly-Silicon; LTPS)을 포함할 수 있다. 폴리 실리콘 물질은 이동도가 높아(100㎠/Vs 이상), 에너지 소비 전력이 낮고 신뢰성이 우수하므로, 표시 소자용 박막 트랜지스터들을 구동하는 구동 소자용 게이트 드라이버 및/또는 멀티플렉서(MUX) 등에 적용될 수 있으며, 실시예에 따른 표시 장치에서 구동 박막 트랜지스터의 액티브층으로 적용될 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다. 예를 들면, 표시 장치의 특성에 따라 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층으로 적용될 수도 있다. 제1 버퍼층(111) 상에 아몰퍼스 실리콘(a-Si) 물질을 증착하고, 탈수소화 공정 및 결정화 공정을 수행하는 방식으로 폴리 실리콘이 형성되고, 폴리 실리콘을 패터닝하여 제1 액티브층(121)이 형성될 수 있다. 제1 액티브층(121)은 제1 박막 트랜지스터(120)의 구동 시 채널이 형성되는 제1 채널 영역(121a), 제1 채널 영역(121a) 양 측의 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)을 포함할 수 있다. 제1 소스 영역(121b)은 제1 소스 전극(122)과 연결된 제1 액티브층(121)의 부분을 의미하며, 제1 드레인 영역(121c)은 제1 드레인 전극(123)과 연결된 제1 액티브층(121)의 부분을 의미한다. 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)은 제1 액티브층(121)의 이온 도핑(불순물 도핑)에 의해 구성될 수 있다. 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)은 폴리 실리콘 물질에 이온 도핑하여 생성될 수 있으며, 제1 채널 영역(121a)은 이온 도핑되지 않고 폴리 실리콘 물질로 남겨진 부분을 의미할 수 있다.The first
제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121) 상에 제1 게이트 절연층(112)이 배치될 수 있다. 제1 게이트 절연층(112)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 제1 게이트 절연층(112)에는 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제1 드레인 전극(123) 각각이 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)의 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c) 각각에 연결되기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다.The first
제1 게이트 절연층(112) 상에 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 게이트 전극(124) 및 스토리지 커패시터(140)의 제1 커패시터 전극(141)이 배치될 수 있다. The
제1 게이트 전극(124) 및 제1 커패시터 전극(141)은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 제1 게이트 전극(124)은 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)의 제1 채널 영역(121a)과 중첩되도록 제1 게이트 절연층(112) 상에 형성될 수 있다. 제1 커패시터 전극(141)은 표시 장치(100)의 구동 특성과 박막 트랜지스터의 구조 및 타입등에 기초하여 생략될 수도 있다. 제1 게이트 전극(124)과 제1 커패시터 전극(141)은 동일공정에 의하여 형성될 수 있다. 그리고, 제1 게이트 전극(124)과 제1 커패시터 전극(141)은 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 동일한 층상에 형성될 수 있다. The
제1 게이트 절연층(112), 제1 게이트 전극(124), 및 제1 커패시터 전극(141) 상에 제1 층간 절연층(113)이 배치될 수 있다. 제1 층간 절연층(113)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 제1 층간 절연층(113)에는 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)의 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다.The first
제1 층간 절연층(113) 상에 스토리지 커패시터(140)의 제2 커패시터 전극(142)이 배치될 수 있다. 제2 커패시터 전극(142)은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 제2 커패시터 전극(142)은 제1 커패시터 전극(141)과 중첩되도록 제1 층간 절연층(113)상에 형성될 수 있다. 그리고, 제2 커패시터 전극(142)은 제1 커패시터 전극(141)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제2 커패시터 전극(142)은 표시 장치(100)의 구동 특성과 박막 트랜지스터의 구조 및 타입 등에 기초하여 생략될 수도 있다.The
제1 층간 절연층(113) 및 제2 커패시터 전극(142)상에 제2 버퍼층(114)이 배치될 수 있다. 제1 버퍼층(114)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 제2 버퍼층(114)에는 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)의 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 그리고, 스토리지 커패시터(140)의 제2 커패시터 전극(142)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. The
제2 버퍼층(114) 상에는 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 액티브층(131)이 배치될 수 있다. 제2 박막 트랜지스터(130)는 제2 액티브층(131), 제2 게이트 절연층(115), 제2 게이트 전극(134), 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)을 포함할 수 있다. 여기에서, 화소 회로의 설계에 따라서, 제2 소스 전극(132)이 드레인 전극이 될 수 있으며, 제2 드레인 전극(133)이 소스 전극이 될 수 있다.The second
제2 액티브층(131)은 제2 박막 트랜지스터(130)의 구동 시 채널이 형성되는 제2 채널 영역(131a), 제2 채널 영역(131a) 양 측의 제2 소스 영역(131b) 및 제2 드레인 영역(131c)을 포함할 수 있다. 제2 소스 영역(131b)은 제2 소스 전극(132)과 접촉하는 제2 액티브층(131)의 부분을 의미하며, 제2 드레인 영역(131c)은 제2 드레인 전극(133)과 접촉하는 제2 액티브층(131)의 부분을 의미할 수 있다.The second
제2 액티브층(131)은 산화물 반도체로 이루어질 수 있다. 산화물 반도체 물질은 실리콘 물질과 비교하여 밴드갭이 더 큰 물질이므로 오프(Off) 상태에서 전자가 밴드갭을 넘어가지 못하며, 이에 따라 오프-전류(Off-Current)가 낮다. 따라서, 산화물 반도체로 이루어진 액티브층을 포함하는 박막 트랜지스터는 온(On) 시간이 짧고 오프(Off) 시간을 길게 유지하는 스위칭 박막 트랜지스터에 적합할 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다. 표시 장치의 특성에 따라서, 구동 박막 트랜지스터로 적용될 수도 있다. 그리고, 오프-전류가 작으므로 보조 용량의 크기가 감소될 수 있으므로, 고해상도 표시 소자에 적합하다. 예를 들면, 제2 액티브층(131)은 금속 산화물로 이루어지고, 예를 들어, IGZO(indium-gallium-zinc-oxide) 등과 같은 다양한 금속 산화물로 이루어질 수 있다. 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 액티브층(131)은 다양한 금속 산화물 중 IGZO로 이루어지는 것을 가정하여 IGZO층을 기초로 형성되는 것으로 설명하였으나, 이에 제한되지 않고 IGZO가 아닌 IZO(indium-zinc-oxide), IGTO(indium-gallium-tin-oxide), 또는 IGO(indium-gallium-oxide) 등과 같은 다른 금속 산화물로 형성될 수도 있다.The second
제2 액티브층(131)은, 금속 산화물을 제2 버퍼층(114) 상에 증착하고, 안정화를 위한 열처리 공정을 수행한 후, 금속 산화물을 패터닝하여 형성될 수 있다. The second
제2 액티브층(131)을 포함한 기판 전체 면에 절연물질층 및 금속물질층을 차례로 형성하고, 금속물질층 상에 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있다. An insulating material layer and a metal material layer may be sequentially formed on the entire surface of the substrate including the second
절연물질층은 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition: CVD)법을 이용하여 형성하고, 금속물질층은 스퍼터링(Sputtering)법을 이용하여 형성할 수 있다. The insulating material layer may be formed using a chemical vapor deposition (CVD) method, and the metal material layer may be formed using a sputtering method.
포토레지스트 패턴(PR)을 마스크로 하여 금속물질층을 습식 식각하여 제2 게이트 전극(134)을 형성할 수 있다. 금속물질층을 식각하기 위한 습식 식각액은 금속물질층을 구성하는 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 또는 그들의 합금을 선택적으로 식각하고, 절연물질층을 식각하지 않는 물질이 이용될 수 있다.The
포토레지스트 패턴(PR) 및 제2 게이트 전극(134)을 마스크로 하여 절연물질층을 건식 식각하여 제2 게이트 절연층(115)을 형성할 수 있다. The second
건식 식각 공정을 통하여, 절연물질층이 식각되어 제2 액티브층(131) 상에 제2 게이트 절연층(115) 패턴이 형성될 수 있다. 그리고, 패터닝된 제2 게이트 절연층(115)에 의해 노출된 제2 액티브층(131)의 일부는 건식 식각 공정에 의해 도체화가 될 수 있다. Through the dry etching process, the insulating material layer may be etched to form a pattern of the second
제2 게이트 전극(134)이 형성된 영역에 대응하여 도체화가 되지 않은 제2 채널영역(131a)과 제2 액티브층(131)의 양단에서 각각 도체화 처리된 제2 소스 영역(131b) 및 제2 드레인 영역(131c)을 포함하는 제2 액티브층(131)이 형성될 수 있다. Corresponding to the region where the
도체화된 제2 액티브층(131)의 제2 소스 영역(131b) 및 제2 드레인 영역(131c)은 저항이 낮아짐으로써, 제2 박막 트랜지스터(130)의 소자 성능이 향상될 수 있으며, 이에 따라 본 명세서의 실시예에 따른 표시 장치(100)의 신뢰성이 향상될 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The
제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)은 제2 게이트 전극(134)과 중첩하여 배치될 수 있다. 그리고, 제2 액티브층(131)의 제2 소스 영역(131b) 및 제2 드레인 영역(131c)은 제2 채널영역(131a)의 양측에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 게이트 절연층(115)은 제2 게이트 전극(134)과 제2 액티브층(131) 사이에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 게이트 절연층(115)은 제2 게이트 전극(134) 및 제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)과 중첩하도록 배치될 수 있다. The
포토레지스트 패턴(PR)을 마스크로 절연물질층 및 금속물질층을 식각함에 따라 제2 게이트 절연층(115)과 제2 게이트 전극(134)은 동일한 패턴으로 형성될 수 있다. 제2 게이트 절연층(115)은 제2 액티브층(131) 상에 배치될 수 있다. 제2 게이트 절연층(115)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 제2 게이트 절연층(115)은 제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)과 중첩되도록 패터닝될 수 있다. 제2 게이트 전극(134)은 제2 게이트 절연층(114) 상에 배치될 수 있다. 제2 게이트 전극(134)은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 제2 게이트 전극(134)은 제2 액티브층(131) 및 제2 게이트 절연층(115)과 중첩되도록 패터닝될 수 있다. 제2 게이트 전극(134)은 제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)과 중첩되도록 패터닝될 수 있다. 그리고, 제2 게이트 절연층(115)은 제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)과 중첩되도록 패터닝될 수 있다. 따라서, 제2 게이트 전극(134) 및 제2 게이트 절연층(115)은 제2 액티브층(131)의 제2 채널영역(131a)과 중첩할 수 있다. 제2 층간 절연층(116)은 제2 버퍼층(114), 제2 액티브층(131), 제2 게이트 전극(134) 상에 배치될 수 있다. 제2 층간 절연층(116)에는 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121) 및 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 액티브층(131)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 층간 절연층(116)에는 제1 박막 트랜지스터(120)에서 제1 액티브층(121)의 제1 소스 영역(121b) 및 제1 드레인 영역(121c)을 노출하기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 그리고, 제2 층간 절연층(116)에는 제2 박막 트랜지스터(130)에서 제2 액티브층(131)의 제2 소스 영역(131b) 및 제2 드레인 영역(131c)을 노출하기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 제2 층간 절연층(116)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다.As the insulating material layer and the metal material layer are etched using the photoresist pattern PR as a mask, the second
제2 층간 절연층(116) 상에는 연결전극(150), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제2 드레인 전극(123), 그리고 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)이 배치될 수 있다. On the second
제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제1 드레인 전극(123)은 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 및 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통하여 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)과 연결될 수 있다. 따라서, 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122)은 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 및 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통하여 제1 액티브층(121)의 제1 소스 영역(121b)과 연결될 수 있다. 그리고, 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 드레인 전극(123)은 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 및 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통하여 제1 액티브층(121)의 제1 드레인 영역(121c)과 연결될 수 있다.The
그리고, 연결 전극(150)은 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)과 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고, 연결 전극(150)은 제2 버퍼층(114) 및 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통하여 스토리지 커패시터(140)의 제2 커패시터 전극(142)과 전기적으로 연결될 수 있다. 따라서, 연결 전극(150)은 스토리지 커패시터(140)의 제2 커패시터 전극(142)과 제 2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)을 전기적으로 연결시켜주는 역할을 할 수 있다. In addition, the
그리고, 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)은 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통해 제2 액티브층(131)과 연결될 수 있다. 따라서, 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132)은 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통해 제2 액티브층(131)의 제2 소스 영역(131b)과 연결될 수 있으며, 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)은 제2 층간 절연층(116)에 형성된 컨택홀을 통해 제2 액티브층(131)의 제2 드레인 영역(131c)과 연결될 수 있다.In addition, the
연결전극(150), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제2 드레인 전극(123), 그리고 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)은 동일한 공정에 의해 형성될 수 있다. 그리고, 연결전극(140), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제2 드레인 전극(123), 그리고 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)은 동일한 물질로 형성될 수 있다. 연결전극(140), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제1 드레인 전극(123), 그리고 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 연결전극(140), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제1 드레인 전극(123), 그리고 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)은 도전성 금속 물질로 이루어진 티타늄(Ti)/알루미늄(Al)/티타늄(Ti)의 3층 구조로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다. The
연결 전극(150)은 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)과 서로 연결된 일체형으로 형성될 수 있다.The
제1 보호층(117)은 연결전극(140), 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 소스 전극(122) 및 제2 드레인 전극(123), 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133) 그리고 제2 층간 절연층(116) 상에 배치될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 보호층(117)에는 제2 드레인 전극(133)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다. 예를 들면, 제1 보호층(117)에는 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 또는, 제1 보호층(117)에는 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)과 전기적으로 연결된 연결 전극(150)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수도 있다. 제1 보호층(117)은 제1 박막 트랜지스터(120)및 제2 박막 트랜지스터(130)의 상부를 평탄화하기 위한 유기물질층일수 있다. 예를 들면, 평탄화층(118)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기물질로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 제1 보호층(117)은 제1 박막 트랜지스터(120)및 제2 박막 트랜지스터(130)를 보호하기 위한 무기물질층일 수 있다. 예를 들면, 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)등의 무기물질로 형성될 수 있다. 제1 보호층(117)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. The first
보조전극(160)은 제1 보호층(117) 상에 배치될 수 있다. 그리고, 보조전극(160)은 제1 보호층(117)의 컨택홀을 통하여 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)과 연결될 수 있다. 보조전극(160)은 제2 박막 트랜지스터(130)과 발광소자(210)를 전기적으로 연결하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 보조전극(160)은 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 드레인 전극(133)과 발광소자(210)의 제1 전극(211)을 전기적으로 연결하는 역할을 할 수 있다. 보조전극(160)은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 보조전극(160)은 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 소스 전극(132) 및 제2 드레인 전극(133)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The
제2 보호층(118)은 보조전극(160) 및 제1 보호층(117) 상에 배치될 수 있다. 그리고, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 보호층(118)에는 보조전극(160)을 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 제2 보호층(118)은 제1 박막 트랜지스터(120) 및 제2 박막 트랜지스터(130)의 상부를 평탄화하기 위한 유기물질층일 수 있다. 예를 들면, 제2 보호층(118)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 및 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기물질로 형성될 수 있다.The second
발광소자(210)는 제2 보호층(118)상에 배치될 수 있다. 발광소자(210)는 제1 전극(211), 발광구조물(212), 및 제2 전극(213)을 포함할 수 있다. 발광소자(210)의 제1 전극(211)은 제2 보호층(118) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(211)은 제2 보호층(118)에 형성된 컨택홀을 통하여 보조전극(160)과 전기적으로 연결될 수 있다. 따라서, 발광소자(210)의 제1 전극(211)은 제2 보호층(118)에 형성된 컨택홀을 통하여 보조전극(160)과 연결됨으로써, 제2 박막 트랜지스터(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. The
제1 전극(211)은 투명 도전막 및 반사효율이 높은 불투명 도전막을 포함하는 다층 구조로 형성될 수 있다. 투명 도전막으로는 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 일함수 값이 비교적 큰 재질로 이루질 수 있다. 그리고, 불투명 도전막으로는 Al, Ag, Cu, Pb, Mo, Ti 또는 이들의 합금을 포함하는 단층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 전극 전극(211)은 투명 도전막, 불투명 도전막, 및 투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 투명 도전막 및 불투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로도 형성될 수 있다.The
본 명세서의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 상부 발광(Top Emission)표시 장치이므로, 제1 전극(211)은 애노드 전극일 수 있다. 표시 장치(100)가 하부 발광(Bottom Emission)인 경우에는 제2 보호층(118) 상에 배치된 제1 전극(211)은 캐소드 전극일 수 있다. Since the
제1 전극(211) 및 제2 보호층(118) 상에는 뱅크(180)가 배치될 수 있다. 뱅크(180)에는 재1 전극(211)을 노출하기 위한 개구부가 형성될 수 있다. 뱅크(180)는 표시 장치(100)의 발광영역을 정의할 수 있으므로 화소 정의막이라고 할 수도 있다. 뱅크(180) 상에는 스페이서(190)가 더 배치될 수 있다. The
제1 전극(211)상에는 발광층을 포함하는 발광 구조물(212)이 배치될 수 있다. A
발광소자(210)의 발광 구조물(212)은 제1 전극(211) 상에 정공층, 발광층, 전자층 순으로 또는 역순으로 적층되어 형성될 수 있다. 이외에도 발광 구조물(212)은 전하 생성층을 사이에 두고 대향하는 제1 및 제2 발광 구조물을 구비할 수도 있다. 이 경우, 제1 및 제2 발광 구조물 중 어느 하나의 발광층은 청색광을 생성하고, 제1 및 제2 발광 구조물 중 나머지 하나의 발광층은 노란색-녹색광을 생성함으로써 제1 및 제2 발광 구조물을 통해 백색광이 생성될 수 있다. 이 발광 구조물(212)에서 생성된 백색광은 발광 구조물(212) 상부에 위치하는 컬러 필터에 입사되어 컬러 영상을 구현할 수 있다. 이외에도 별도의 컬러 필터 없이 각 발광 구조물(212)에서 각 서브 화소에 해당하는 컬러광을 생성하여 컬러 영상을 구현할 수도 있다. 예를 들면, 적색(R) 서브 화소의 발광 구조물(212)은 적색광을, 녹색(G) 서브 화소의 발광 구조물(212)은 녹색광을, 청색(B) 서브 화소의 발광 구조물(212)은 청색광을 생성할 수도 있다.The
발광 구조물(212) 상에는 제2 전극(213)이 더 배치될 수 있다. 발광소자(210)의 제2 전극(213)은 발광 구조물(212)을 사이에 두고 제1 전극(211)과 대향하도록 발광 구조물(212)상에 배치될 수 있다. 본 명세서의 실시예에 따른 표시 장치(100)에서 제2 전극(213)은 캐소드 전극일 수 있다. 제2 전극(213) 상에는 수분 침투를 억제하는 봉지부(220)가 더 배치될 수 있다. The
봉지부(220)는 제1 무기 봉지층(221), 제2 유기 봉지층(222), 및 제3 무기 봉지층(223)을 포함할 수 있다. 봉지부(220)의 제1 무기 봉지층(221)은 제2 전극(213)상에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 유기 봉지층(222)은 제1 무기 봉지층(221)상에 배치될 수 있다. 또한, 제3 무기 봉지층(223)은 제2 유기 봉지층(222)상에 배치될 수 있다. 봉지부(220)의 제1 무기 봉지층(221) 및 제3 무기 봉지층(223)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)등의 무기 물질로 형성될 수 있다. 봉지부(220)의 제2 유기 봉지층(222)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 및 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기물질로 형성될 수 있다.The
터치 센서부(320)는 봉지부(220)의 제3 무기 봉지층(223) 상에 배치될 수 있다. 터치 센서부(320)는 터치전극(323) 및 연결부(322)를 포함할 수 있다. The
제3 무기 봉지층(223)상에 터치 센서부(320)의 연결부(322)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3 무기 봉지층(223)상에 연결부(322)의 제1 연결부가 배치될 수 있다. 제1 연결부(322a)는 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 투명 도전막으로 형성될 수도 있다. 연결부(322)의 제1 연결부(322a)의 하부면은 봉지부(220)의 상부면과 직접 접촉할 수 있다. 예를 들어, 제1 연결부(322a)의 하부면은 봉지부(220)의 제3 무기 봉지층(223)과 직접 접촉할 수 있다. The
봉지부(220) 및 제1 연결부(322a)상에 터치 절연층(311)의 제1 터치 절연층(311a)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결부(322a) 및 봉지부(220)의 제3 무기 봉지층(223)상에 제1 터치 절연층(311a)이 배치될 수 있다. 그리고, 제1 터치 절연층(311a)은 무기물질층 또는 유기물질층으로 이루어질 수 있다. 제1 터치 절연층(311a)이 무기물질층인 경우, 제1 터치 절연층(311a)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 그리고, 제1 터치 절연층(311a)이 유기물질층인 경우, 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기물질로 형성될 수 있다. 제1 터치 절연층(311a)에는 제1 연결부(322a)를 노출시키기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. The first
터치전극(323)의 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)이 제1 터치 절연층(311a)상에 배치될 수 있다. 그리고, 도 3을 참조하면, 제2 연결부(322b)도 제1 터치 절연층(311a)상에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 연결부(322b)는 복수의 제2 터치전극(323b)을 서로 연결할 수 있다. 제2 연결부(322b)는 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)과 동일한 층에 배치될 수 있다. The
제1 터치전극(323a)은 제1 터치 절연층(311a)의 컨택홀을 통하여 제1 연결부(322a)와 연결될 수 있다. 복수의 제1 터치전극(323a)은 제1 연결부(322a)에 의해 서로 연결될 수 있다. The
터치전극(323)의 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 투명 도전막으로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)은 개구부를 가지는 불투명 도전막으로 형성될 수도 있다. 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)이 개구부를 가지는 불투명 도전막으로 이루어지는 경우에는, 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 및 네오디뮴(Nd) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. The
터치 절연층(311)의 제2 터치 절연층(311b)은 제1 터치전극(323a), 제2 터치전극(323b), 및 제1 터치 절연층(311a)상에 배치될 수 있다. 제2 터치 절연층(311b)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다.The second
명세서의 실시예에 따른 표시장치(100)는, 봉지부(220)상에 터치 센서부(320)를 배치하여 공정을 단순화할 수 있다. 그리고, 표시장치(100)의 두께를 줄일 수 있다. The
도 5는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 표시장치를 나타내는 단면도이다. 도 4와 비교하여 차이점 위주로 설명하며, 중복된 설명은 생략하거나 간략히 설명하도록 한다. 예를 들면, 기판(110), 제1 버퍼층(111), 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 제2 게이트 절연층(115), 제2 층간 절연층(116), 제1 보호층(117), 제2 보호층(118), 제1 박막 트랜지스터(120), 제2 박막 트랜지스터(130), 스토리지 커패시터(140), 연결전극(150), 보조전극(160), 뱅크(180), 스페이서(190), 및 발광소자(210)는 실질적으로 동일하다. 따라서, 도 4와 실질적으로 동일한 도 5의 구성에 대한 중복된 설명은 생략하거나 간략히 설명한다. 5 is a cross-sectional view illustrating a display device according to another exemplary embodiment of the present specification. Compared to FIG. 4, the difference will be mainly described, and duplicate description will be omitted or briefly described. For example, the
도 5를 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 표시 장치(100)는 기판(110), 제1 버퍼층(111), 제1 게이트 절연층(112), 제1 층간 절연층(113), 제2 버퍼층(114), 제2 게이트 절연층(115), 제2 층간 절연층(116), 제1 보호층(117), 제2 보호층(118), 제1 박막 트랜지스터(120), 제2 박막 트랜지스터(130), 스토리지 커패시터(140), 연결전극(150), 보조전극(160), 뱅크(180), 스페이서(190), 발광소자(210), 봉지부(220), 터치 절연층(311), 및 터치 센서부(320)를 포함할 수 있다. 그리고, 제1 박막 트랜지스터(120)의 제1 액티브층(121)은 저온 폴리 실리콘 물질로 이루어질 수 있으며, 제2 박막 트랜지스터(130)의 제2 액티브층(131)은 산화물 반도체로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 5, the
기판(110)상에 제1 박막 트랜지스터(120) 및 제2 박막 트랜지스터(130)가 배치될 수 있다. 그리고, 제1 박막 트랜지스터(120) 및 제2 박막 트랜지스터(130)상에 발광소자(210)가 배치될 수 있다. The first
봉지부(220)가 발광소자(210)상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 봉지부(220)는 발광소자(210)의 제2 전극(213)상에 배치될 수 있다. 도 5를 참조하면, 봉지부(220)는 제1 무기 봉지층(221), 제2 유기 봉지층(222), 및 제3 무기 봉지층(223)을 포함할 수 있다. 봉지부(220)의 제1 무기 봉지층(221)이 발광소자(210)의 제2 전극(213)상에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 유기 봉지층(222)은 제1 무기 봉지층(221)상에 배치될 수 있다. The
터치 센서부(320)의 제1 연결부(322a)가 봉지부(220)의 제2 유기 봉지층(222)상에 배치될 수 있다. 그리고, 봉지부(220)의 제3 무기 봉지층(223)은 터치 센서부(320)의 제1 연결부(322a)상에 배치될 수 있다. 제3 무기 봉지층(223)은 터치 센서부(320)의 제1 연결부(322a)를 노출하기 위한 컨택홀이 형성될 수 있다. 예를 들어, 터치 센서부(320)의 제1 연결부(322a)는 제2 유기 봉지층(222)과 제3 무기 봉지층(223)사이에 배치될 수 있다. 그리고, 제1 연결부(322a)는 제3 무기 봉지층(223)의 컨택홀에 의해 노출될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결부(322a)의 하부면은 제2 유기 봉지층(222)의 상부면과 직접 접촉할 수 있으며, 제1 연결부(322a)의 상부면은 제3 무기 봉지층(223)의 하부면과 직접 접촉할 수 있다. 그리고, 제1 연결부(322a)의 상부면은 제3 무기 봉지층(223)의 컨택홀에 의해 노출될 수 있다. The
터치 센서부(320)의 터치전극(323)이 제3 무기 봉지층(223)상에 배치될 수 있다. 터치전극(323)은 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 터치전극(323)은 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)은 제3 무기 봉지층(223)상에 배치될 수 있다. 그리고, 제1 터치전극(323a)은 제3 무기 봉지층(223)의 컨택홀을 통하여 제1 연결부(322a)와 연결될 수 있다. 그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 터치전극(323a)은 제1 연결부(322a)를 통하여 서로 연결될 수 있다. 그리고, 제2 연결부(322b)도 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)이 배치된 동일한 층에 배치될 수 있다. 그리고, 제2 연결부(322b)는 복수의 제2 터치전극(323b)을 서로 연결할 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 연결부(322b)는 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)과 같이 제3 무기 봉지층(223)상에 배치될 수 있다. 그리고, 제3 무기 봉지층(223)상에 배치된 제2 연결부(322b)는 제2 터치전극(323b)과 연결될 수 있다. 복수의 제2 터치전극(323b)는 제2 연결부(322b)를 통하여 서로 연결될 수 있다. The
제3 무기 봉지층(223) 및 터치 센서부(320)의 제1 터치전극(323a) 및 제2 터치전극(323b)상에 터치 절연층(311)이 형성될 수 있다. 터치 절연층(311)은 터치 센서부(320)를 보호하기 위한 무기물질층일 수 있다. 예를 들면, 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)등의 무기물질로 형성될 수 있다. 터치 절연층(311)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)의 단일층 또는 이들의 다중층으로 구성될 수 있다. 터치 절연층(311)은 제3 무기 봉지층(223)과 직접 접촉할 수 있다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 터치 절연층(311)의 하부면은 제3 무기 봉지층(223)의 상부면과 직접 접촉할 수 있다. A
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치(100)에서 터치 센서부(320)의 제1 연결부(322a)를 봉지부(220)의 제2 유기 봉지층(222)과 제3 무기 봉지층(223)사이에 배치하여, 터치 절연층(311)의 두께를 감소할 수 있다. 그리고, 제조 공정단계를 줄일 수 있으므로, 생산 비용도 절감할 수 있는 효과가 있다. 봉지부(220)의 제3 무기 봉지층(223)을 터치 절연층(311)으로 이용하여, 터치 절연층(311)의 전체 두께를 줄일 수 있으므로, 표시 장치(100)를 더 얇게 제조할 수 있다. 그리고, 터치 절연층(311)의 형성 공정을 단순화하여, 생산 비용을 절감할 수 있다. The second
본 명세서의 실시예에 따른 표시 장치는 다음과 같이 설명될 수 있다.The display device according to the exemplary embodiment of the present specification may be described as follows.
본 명세서의 실시예에 따른 표시장치는, 기판, 기판상에 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자, 발광소자 상에 있는 봉지부, 봉지부 상에 있는 터치 센서부의 제1 연결부, 제1 연결부 상에 배치되며 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함하는 제1 터치 절연층, 제1 터치 절연층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극, 및 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극상에 있는 제2 터치 절연층을 포함하고, 복수의 제1 터치전극은 제1 터치 절연층의 컨택홀을 통하여 제1 연결부와 연결될 수 있다.A display device according to an exemplary embodiment of the present specification includes a substrate, a thin film transistor on a substrate, a light emitting element on the thin film transistor, a sealing portion on the light emitting element, and a first connection portion of the touch sensor portion on the sealing portion, the first A first touch insulating layer disposed on the connection unit and including a contact hole exposing the first connection unit, a plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes, and a plurality of touch sensor units on the first touch insulation layer A first touch electrode and a second touch insulating layer on the plurality of second touch electrodes may be included, and the plurality of first touch electrodes may be connected to the first connection unit through contact holes of the first touch insulating layer.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제1 연결부의 하부면은 봉지부의 상부면과 직접 접촉할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, the lower surface of the first connection portion may directly contact the upper surface of the encapsulation portion.
본 명세서의 실시예에 따르면, 봉지부는 제1 무기 봉지층, 제1 무기 봉지층 상에 있는 제3 무기 봉지층, 및 제1 무기 봉지층과 제3 무기 봉지층 사이에 있는 제2 유기 봉지층을 포함하며, 제1 연결부의 하부면은 봉지부의 제3 무기 봉지층과 직접 접촉할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, the encapsulation unit includes a first inorganic encapsulation layer, a third inorganic encapsulation layer on the first inorganic encapsulation layer, and a second organic encapsulation layer between the first inorganic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer. Including, the lower surface of the first connection portion may directly contact the third inorganic encapsulation layer of the encapsulation portion.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제1 터치 절연층상에 배치되며, 복수의 제2 터치전극과 연결되는 제2 연결부를 포함할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, the second connection unit is disposed on the first touch insulating layer and connected to the plurality of second touch electrodes.
본 명세서의 실시예에 따르면, 복수의 제1 터치전극은 제1 연결부에 의해 제1 방향으로 서로 연결되고, 복수의 제2 터치전극은 제2 연결부에 의해 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 서로 연결될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the plurality of first touch electrodes are connected to each other in the first direction by the first connection unit, and the plurality of second touch electrodes are in the second direction perpendicular to the first direction by the second connection unit. Can be connected to each other.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제1 연결부와 제2 연결부는 제1 터치 절연층을 사이에 두고 서로 교차할 수 있다. 본 명세서의 실시예에 따른 표시장치는, 기판, 기판상에 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자, 발광소자 상에 있는 제1 무기 봉지층, 제1 무기 봉지층 상에 있는 제3 무기 봉지층, 제1 무기 봉지층 및 제3 무기 봉지층 사이에 있는 제2 유기 봉지층, 제2 유기 봉지층 및 제3 무기 봉지층 사이에 있는 터치 센서부의 제1 연결부, 제3 무기 봉지층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극, 및 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극 상에 있는 터치 절연층을 포함할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the first connection portion and the second connection portion may intersect each other with the first touch insulating layer interposed therebetween. The display device according to the exemplary embodiment of the present specification includes a substrate, a thin film transistor on a substrate, a light emitting element on the thin film transistor, a first inorganic encapsulation layer on the light emitting element, and a third inorganic on the first inorganic encapsulation layer. On the first connection, the third inorganic encapsulation layer, the second organic encapsulation layer between the encapsulation layer, the first inorganic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer, the touch sensor portion between the second organic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer The touch sensor unit may include a plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes, and a touch insulating layer on the plurality of first touch electrodes and the plurality of second touch electrodes.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제3 무기 봉지층은 터치 센서부의 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the third inorganic encapsulation layer may include a contact hole exposing the first connection portion of the touch sensor unit.
본 명세서의 실시예에 따르면, 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극은 제3 무기 봉지층의 컨택홀을 통하여 제1 연결부와 연결될 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, the plurality of first touch electrodes of the touch sensor unit may be connected to the first connection unit through the contact hole of the third inorganic encapsulation layer.
본 명세서의 실시예에 따르면, 복수의 제1 터치전극은 제1 연결부에 의해 제1 방향으로 연결될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the plurality of first touch electrodes may be connected in the first direction by the first connection unit.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제3 무기 봉지층상에 배치되며, 복수의 제2 터치전극과 연결되는 제2 연결부를 포함할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present specification, the second connection unit is disposed on the third inorganic encapsulation layer and connected to the plurality of second touch electrodes.
본 명세서의 실시예에 따르면, 복수의 제2 터치전극은 제2 연결부에 의해 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 서로 연결될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the plurality of second touch electrodes may be connected to each other in a second direction perpendicular to the first direction by the second connection unit.
본 명세서의 실시예에 따르면, 제1 연결부와 제2 연결부는 제3 무기 봉지층을 사이에 두고 서로 교차할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the first connection portion and the second connection portion may intersect each other with the third inorganic encapsulation layer therebetween.
본 명세서의 실시예에 따르면, 터치 절연층의 하부면은 제3 무기 봉지층의 상부면과 직접 접촉할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present specification, the lower surface of the touch insulating layer may directly contact the upper surface of the third inorganic encapsulation layer.
이상에서의 설명 및 첨부된 도면은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 나타낸 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 구성의 결합, 분리, 치환 및 변경 등의 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description and the accompanying drawings are merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains combine combinations of configurations in a range not departing from the essential characteristics of the present invention. , Various modifications and variations such as separation, substitution and change will be possible. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical spirits within the equivalent range should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
100: 표시 장치
110: 기판
120: 제1 박막 트랜지스터
130: 제2 박막 트랜지스터
140: 스토리지 커패시터
210: 발광소자
220: 봉지부
221: 제1 무기 봉지층
222: 제2 유기 봉지층
223: 제3 무기 봉지층
320: 터치 센서부
322a: 제1 연결부
322b: 제2 연결부
311: 터치 절연층
311a: 제1 터치 절연층
311b: 제2 터치 절연층
323: 터치전극
323a: 제1 터치전극
323b: 제2 터치전극100: display device
110: substrate
120: first thin film transistor
130: second thin film transistor
140: storage capacitor
210: light emitting element
220: encapsulation
221: first inorganic encapsulation layer
222: second organic sealing layer
223: third weapon encapsulation layer
320: touch sensor unit
322a: first connection
322b: second connection
311: touch insulation layer
311a: first touch insulating layer
311b: second touch insulating layer
323: touch electrode
323a: first touch electrode
323b: second touch electrode
Claims (14)
상기 기판 상에 있는 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자;
상기 발광소자 상에 있는 봉지부;
상기 봉지부 상에 있는 터치 센서부의 제1 연결부;
상기 제1 연결부 상에 배치되며, 상기 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함하는 제1 터치 절연층,
상기 제1 터치 절연층 상에 있는 상기 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극; 및
상기 복수의 제1 터치전극 및 상기 복수의 제2 터치전극 상에 있는 제2 터치 절연층을 포함하며, 상기 복수의 제1 터치전극은 상기 제1 터치 절연층의 상기 컨택홀을 통하여 상기 제1 연결부와 연결되는, 표시장치.
Board;
A thin film transistor on the substrate;
A light emitting element on the thin film transistor;
An encapsulation portion on the light emitting element;
A first connection unit of the touch sensor unit on the encapsulation unit;
A first touch insulating layer disposed on the first connection portion and including a contact hole exposing the first connection portion,
A plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes of the touch sensor unit on the first touch insulating layer; And
And a second touch insulation layer on the plurality of first touch electrodes and the plurality of second touch electrodes, wherein the plurality of first touch electrodes are formed through the contact hole of the first touch insulation layer. A display device that is connected to the connection portion.
상기 제1 연결부의 하부면은 상기 봉지부의 상부면과 직접 접촉하는, 표시장치.
According to claim 1,
The lower surface of the first connection portion, the display device in direct contact with the upper surface of the sealing portion.
상기 봉지부는 제1 무기 봉지층, 상기 제1 무기 봉지층 상에 있는 제3 무기 봉지층, 및 상기 제1 무기 봉지층과 상기 제3 무기 봉지층 사이에 있는 제2 유기 봉지층을 포함하며,
상기 제1 연결부의 상기 하부면은 상기 봉지부의 상기 제3 무기 봉지층과 직접 접촉하는, 표시장치.
According to claim 2,
The encapsulation portion includes a first inorganic encapsulation layer, a third inorganic encapsulation layer on the first inorganic encapsulation layer, and a second organic encapsulation layer between the first inorganic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer,
The lower surface of the first connection portion, the display device in direct contact with the third inorganic encapsulation layer of the encapsulation.
상기 제1 터치 절연층 상에 배치되며, 상기 복수의 제2 터치전극과 연결되는 제2 연결부를 포함하는, 표시장치.
According to claim 1,
A display device disposed on the first touch insulating layer and including a second connection portion connected to the plurality of second touch electrodes.
상기 복수의 제1 터치전극은 상기 제1 연결부에 의해 제1 방향으로 서로 연결되고,
상기 복수의 제2 터치전극은 상기 제2 연결부에 의해 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 서로 연결되는, 표시장치.
The method of claim 4,
The plurality of first touch electrodes are connected to each other in a first direction by the first connection unit,
The plurality of second touch electrodes are connected to each other in a second direction perpendicular to the first direction by the second connection unit.
상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부는 상기 제1 터치 절연층을 사이에 두고 서로 교차하는, 표시장치.
The method of claim 4,
The first connecting portion and the second connecting portion intersect each other with the first touch insulating layer interposed therebetween.
상기 기판 상에 있는 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 있는 발광소자;
상기 발광소자 상에 있는 제1 무기 봉지층, 상기 제1 무기 봉지층 상에 있는 제3 무기 봉지층, 상기 제1 무기 봉지층 및 상기 제3 무기 봉지층 사이에 있는 제2 유기 봉지층;
상기 제2 유기 봉지층 및 상기 제3 무기 봉지층 사이에 있는 터치 센서부의 제1 연결부;
상기 제3 무기 봉지층 상에 있는 터치 센서부의 복수의 제1 터치전극 및 복수의 제2 터치전극; 및
상기 복수의 제1 터치전극 및 상기 복수의 제2 터치전극 상에 있는 터치 절연층을 포함하는, 표시장치.
Board;
A thin film transistor on the substrate;
A light emitting element on the thin film transistor;
A first inorganic encapsulation layer on the light emitting device, a third inorganic encapsulation layer on the first inorganic encapsulation layer, a second organic encapsulation layer between the first inorganic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer;
A first connection unit of a touch sensor unit between the second organic encapsulation layer and the third inorganic encapsulation layer;
A plurality of first touch electrodes and a plurality of second touch electrodes of the touch sensor unit on the third inorganic encapsulation layer; And
And a touch insulating layer on the plurality of first touch electrodes and the plurality of second touch electrodes.
상기 제3 무기 봉지층은 상기 터치 센서부의 상기 제1 연결부를 노출하는 컨택홀을 포함하는, 표시장치.
The method of claim 7,
The third inorganic encapsulation layer includes a contact hole exposing the first connection portion of the touch sensor unit.
상기 터치 센서부의 상기 복수의 제1 터치전극은 상기 제3 무기 봉지층의 상기 컨택홀을 통하여 상기 제1 연결부와 연결되는, 표시장치.
The method of claim 8,
The plurality of first touch electrodes of the touch sensor unit are connected to the first connection unit through the contact hole of the third inorganic encapsulation layer.
상기 복수의 제1 터치전극은 상기 제1 연결부에 의해 제1 방향으로 연결되는, 표시장치.
The method of claim 9,
The plurality of first touch electrodes are connected to the first direction by the first connection unit, a display device.
상기 제3 무기 봉지층상에 배치되며, 상기 복수의 제2 터치전극과 연결되는 제2 연결부를 포함하는, 표시장치.
The method of claim 10,
A display device disposed on the third inorganic encapsulation layer and including a second connection portion connected to the plurality of second touch electrodes.
상기 복수의 제2 터치전극은 상기 제2 연결부에 의해 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 서로 연결되는, 표시장치.
The method of claim 11,
The plurality of second touch electrodes are connected to each other in a second direction perpendicular to the first direction by the second connection unit.
상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부는 상기 제3 무기 봉지층을 사이에 두고 서로 교차하는, 표시장치.
The method of claim 11,
The first connecting portion and the second connecting portion intersect each other with the third inorganic encapsulation layer therebetween.
상기 터치 절연층의 하부면은 상기 제3 무기 봉지층의 상부면과 직접 접촉하는, 표시장치.The method of claim 7,
The lower surface of the touch insulating layer is in direct contact with the upper surface of the third inorganic encapsulation layer, a display device.
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