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KR20190097447A - tilting up-down device of substrate chuck - Google Patents

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KR20190097447A
KR20190097447A KR1020180016893A KR20180016893A KR20190097447A KR 20190097447 A KR20190097447 A KR 20190097447A KR 1020180016893 A KR1020180016893 A KR 1020180016893A KR 20180016893 A KR20180016893 A KR 20180016893A KR 20190097447 A KR20190097447 A KR 20190097447A
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elevating unit
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Abstract

본 발명은 진공챔버의 하부로부터 진공챔버의 내측으로 승하강하는 기판 척의 기울기를 오토 튜닝하는 기술로서, 기판 척을 승하강시키는 복수 개의 유닛에 대해 싱크 제어 및 개별 제어를 수행함으로써 기판 척의 틸팅을 효과적으로 수행하도록 하는 기술이다. 특히, 복수 개의 유닛에 대한 개별 제어시 기울기 센서를 통한 현재의 수평상태를 감안함에 따라 자동으로 기판 척의 목적하는 기울기가 조정되도록 하는 기술이다. 본 발명에 따르면, 기판 척을 승하강시키는 구동수단을 그대로 이용하여 기판 척의 승하강시 틸팅까지 수행하는 장점을 나타낸다.The present invention is a technique for auto-tuning the inclination of the substrate chuck raising and lowering from the bottom of the vacuum chamber to the inside of the vacuum chamber, and effectively tilts the substrate chuck by performing sink control and individual control on a plurality of units that raise and lower the substrate chuck. It is a technique to perform. In particular, it is a technology to automatically adjust the desired inclination of the substrate chuck in consideration of the current horizontal state through the inclination sensor for the individual control of the plurality of units. According to the present invention, by using the driving means for raising and lowering the substrate chuck as it is, it shows the advantage of performing the tilt up and down when the substrate chuck.

Description

기판 척의 틸팅 승하강 장치 {tilting up-down device of substrate chuck}Tilting up-down device of substrate chuck

본 발명은 진공챔버 내에서 승하강하는 기판 척의 기울기를 오토 튜닝하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for autotuning the inclination of the substrate chuck rising and falling in the vacuum chamber.

더욱 상세하게는, 본 발명은 기판 척을 승하강시키는 복수 개의 유닛에 대해 싱크 제어 및 개별 제어를 수행함으로써 기판 척의 틸팅을 효과적으로 수행하도록 하는 기술이다. 특히, 복수 개의 유닛에 대한 개별 제어시 기울기 센서를 통한 현재의 수평상태를 감안함에 따라 자동으로 기판 척의 목적하는 기울기가 조정되도록 하는 기술이다.More specifically, the present invention is a technique for effectively performing tilting of the substrate chuck by performing sink control and individual control on a plurality of units that raise and lower the substrate chuck. In particular, it is a technology to automatically adjust the desired inclination of the substrate chuck in consideration of the current horizontal state through the inclination sensor for the individual control of the plurality of units.

일반적으로 기판(예: 웨이퍼, 글래스)은 진공챔버 내의 기판 척(예: 진공척, 정전척, 히팅척)에 안착된 상태에서 그 기판에 대한 노광 등 여러 단계의 공정을 거치게 된다.In general, a substrate (eg, a wafer or glass) is subjected to various steps such as exposure to the substrate while being mounted on a substrate chuck (eg, a vacuum chuck, an electrostatic chuck, or a heating chuck) in a vacuum chamber.

그런데, 그 기판 척에 안착된 웨이퍼의 수평이 아주 미세하게라도 어긋나는 경우에는 해당 공정을 거친 웨이퍼가 불량으로 판정되기 때문에 웨이퍼의 수평을 정밀하게 맞추는 일은 대단히 중요하고 어려운 일이다.By the way, when the level of the wafer seated on the substrate chuck is evenly misaligned, it is very important and difficult to precisely level the wafer because the wafer having undergone the process is judged to be defective.

한편, 웨이퍼나 글래스가 대규격(예: 2200*1800)일 경우에는 기판 척에 안착된 상태에서도 그 기판 큰 규격으로 인해 정확한 수평이 이루어지지 않고, 부분으로 기울어지는 경우가 발생한다. 이러한 경우에는 기판 척을 틸팅함으로써 대규격의 기판에 대한 수평을 조정하기도 한다. On the other hand, when the wafer or glass is a large standard (for example, 2200 * 1800), even when it is seated on the substrate chuck, the substrate may be inclined to a portion without being precisely horizontal due to the large size of the substrate. In this case, the substrate chuck may be tilted to adjust the horizontality of the large size substrate.

종래에는 엔지니어가 직접 기판의 수평을 모니터링한 후 기울어짐의 정도에 대응하여 기판 척에 마련된 스페이서를 조정하여 기판 척을 틸팅함으로써 결국 기판의 수평을 조정하기도 하였다.In the related art, the engineer directly monitors the horizontal level of the substrate and then adjusts the spacer provided in the substrate chuck in response to the degree of inclination, thereby tilting the substrate chuck.

하지만, 이처럼 엔지니어의 숙련도에 따라 달라지는 정밀도는 제품의 일정한 양산성에 바람직하지 못한 결과를 가져오는 문제가 있다.However, such precision, which depends on the skill of the engineer, has a problem in that it is undesirable to produce a certain mass of the product.

다른 한편, 보통 진공챔버의 하부에 마련된 개구공을 관통하는 승하강 유닛이 진공챔버 내에 위치하는 기판 척의 하면에 연결됨에 따라 그 승하강 유닛이 연직으로 승하강하면 기판 척은 진공챔버의 내측에서 승하강하게 된다.On the other hand, as the elevating unit penetrating through the opening hole provided in the lower part of the vacuum chamber is connected to the lower surface of the substrate chuck located in the vacuum chamber, if the elevating unit is raised and lowered vertically, the substrate chuck is raised and lowered inside the vacuum chamber. do.

그 결과, 기판 척에 대한 틸팅은 승하강 유닛의 구동으로 기판 척이 진공챔버 내의 최고점 부근까지 승강된 상태에서 그 기판 척에 안착되는 기판의 종류나 규격에 대응하여 스페이서 등의 조작으로 이루어진다.As a result, the tilting of the substrate chuck is performed by operation of a spacer or the like corresponding to the type or standard of the substrate seated on the substrate chuck while the substrate chuck is raised to the vicinity of the highest point in the vacuum chamber by the driving of the lifting unit.

이처럼, 엔지니어의 숙련도에 따라 달라지는 정밀도의 문제를 해결하기 위해 기판 척의 틸팅을 오토 튜닝할 수 있는 기술의 구현이 요구되고 있다.As such, there is a demand for the implementation of a technique capable of autotuning the tilting of the substrate chuck to solve the problem of precision that depends on the skill of the engineer.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 진공챔버의 하부로부터 진공챔버의 내측으로 승하강하는 기판 척을 틸팅하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치를 제공함에 있다.The present invention has been proposed in view of the foregoing, and an object of the present invention is to provide a tilting device of a substrate chuck for tilting a substrate chuck that is lifted up and down from the bottom of the vacuum chamber to the inside of the vacuum chamber.

또한, 본 발명의 목적은 기판 척의 현재 기울기를 감안하여 기판 척을 틸팅하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치를 제공함에 있다.It is also an object of the present invention to provide a tilting device of a substrate chuck tilting the substrate chuck in view of the current inclination of the substrate chuck.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판 척의 틸팅 승하강 장치는 기판 척의 하면에 연직 하방향으로 연결되어 상하방향으로 움직이면서 기판 척의 승하강 운동을 담당하는 승하강 유닛; 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 승하강 유닛을 승하강시키는 메인 회전스크류; 승하강 유닛의 움직임에 연동하여 상하방향으로 움직이면서 자신이 위치한 현재의 기울기를 감지하는 기울기 센서; 메인 회전스크류와 나란히 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 메인 회전스크류와 협동하여 승하강 유닛을 승하강시키며 메인 회전스크류가 멈춘 상태에서 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 제자리 회전함에 따라 승하강 유닛의 기울기를 조정하는 제 1 서브 회전스크류; 메인 회전스크류와 나란히 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 메인 회전스크류와 협동하여 승하강 유닛을 승하강시키며 메인 회전스크류가 멈춘 상태에서 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 제자리 회전함에 따라 제 1 서브 회전스크류와 협동으로 승하강 유닛의 기울기를 조정하는 제 2 서브 회전스크류; 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 제 1 서브 회전스크류와 제 2 서브 회전스크류의 제자리 회전을 독립적으로 제어하는 구동제어부;를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the tilting device of the substrate chuck according to the present invention includes a lifting unit which is connected to the lower surface of the substrate chuck in a vertical downward direction and moves in the vertical direction to take the lifting movement of the substrate chuck; A main rotating screw connected to the side of the elevating unit to elevate the elevating unit as the unit rotates; An inclination sensor which detects a current inclination of the current while the device moves upward and downward in association with the movement of the elevating unit; It is connected to the side of the elevating unit side by side with the main rotating screw to rotate the elevating unit in cooperation with the main rotating screw, and rotates in place based on the tilt detected by the tilt sensor while the main rotating screw is stopped. A first sub-screw for adjusting the inclination of the elevating unit; It is connected to the side of the elevating unit side by side with the main rotating screw to rotate the elevating unit in cooperation with the main rotating screw, and rotates in place based on the tilt detected by the tilt sensor while the main rotating screw is stopped. A second sub rotating screw for adjusting the inclination of the elevating unit in cooperation with the first sub rotating screw; And a driving controller for independently controlling the rotation of the first sub-rotation screw and the second sub-rotation screw based on the inclination sensed by the tilt sensor.

이때, 바람직하게는 메인 회전스크류, 제 1 서브 회전스크류, 제 2 서브 회전스크류는 승하강 유닛의 연직 방향 중심부를 중심점으로 하여 상호 동일한 반경과 이격각도로 배치된다.At this time, preferably, the main rotating screw, the first sub rotating screw, the second sub rotating screw are disposed at the same radius and separation angle from each other with the center point in the vertical direction of the elevating unit as the center point.

그리고, 메인 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 승하강 유닛에 연결되어 메인 회전스크류의 제자리 회전에 따라 메인 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 자신에 연결된 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 메인 이동스크류; 제 1 서브 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 승하강 유닛에 연결되어 제 1 서브 회전스크류의 제자리 회전에 따라 제 1 서브 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 메인 이동스크류와 협동으로 자신에 연결된 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 제 1 서브 이동스크류; 제 2 서브 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 승하강 유닛에 연결되어 제 2 서브 회전스크류의 제자리 회전에 따라 제 2 서브 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 메인 이동스크류, 제 1 서브 이동스크류와 협동으로 자신에 연결된 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 제 2 서브 이동스크류;를 더 포함하여 구성될 수 있다.And, one or more connected to the elevating unit in a screw-joined form to surround the main rotating screw to move the elevating unit connected to itself while moving up and down in the longitudinal direction of the main rotating screw according to the rotation of the main rotating screw in place. Main moving screw; It is connected to the elevating unit in the state of being screwed in the form of surrounding the first sub-screw, and moves up and down along the longitudinal direction of the first sub-screw, in coordination with the main movable screw. At least one first sub-movement screw for moving the lifting unit connected to the lifting unit; The main moving screw and the first sub are connected to the elevating unit while being screwed in a form of enclosing the second sub rotating screw, and move up and down along the longitudinal direction of the second sub rotating screw according to the rotation of the second sub rotating screw. One or more second sub-movement screw for moving the lifting unit connected to itself in cooperation with the moving screw; may be configured to further include.

또한, 메인 회전스크류의 하부에 연결되어 메인 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 메인 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 메인모터; 제 1 서브 회전스크류의 하부에 연결되어 제 1 서브 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 제 1 서브 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 제 1 서브모터; 제 2 서브 회전스크류의 하부에 연결되어 제 2 서브 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 제 2 서브 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 제 2 서브모터;를 더 포함하여 구성되고, 구동제어부는 메인모터, 제 1 서브모터, 제 2 서브모터의 구동을 직접 제어함에 따라 메인 이동스크류, 제 2 서브 이동스크류, 제 2 서브 이동스크류의 움직임을 간접으로 제어하도록 구성될 수 있다.In addition, the main motor is connected to the lower portion of the main rotating screw to move the main rotating screw in the vertical direction as the main rotating screw rotates in place; A first sub-motor connected to a lower portion of the first sub-screw to move the first sub-screw in the vertical direction as the first sub-screw rotates in position; A second sub-motor connected to a lower portion of the second sub-screw, for moving the second sub-screw in the vertical direction as the second sub-screw rotates in place; the drive control unit includes a main motor, The direct movement of the first sub-motor and the second sub-motor may be configured to indirectly control the movement of the main moving screw, the second sub moving screw, and the second sub moving screw.

한편, 외부의 지지프레임에 연결되어 고정된 상태를 유지하며, 승하강 유닛이 상하방향으로 관통하는 중공홀이 형성되고 그 중공홀로부터 측방향으로 소정 거리 이격된 위치에 메인 회전스크류, 제 1 서브 회전스크류, 제 2 서브 회전스크류가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 메인 회전스크류, 제 1 서브 회전스크류, 제 2 서브 회전스크류의 각 상부를 일체로 연결시키는 상부수평 플레이트; 상부수평 플레이트의 하부에 배치되어 상부수평 플레이트와 일체로 연결되며 메인 회전스크류, 제 1 서브 회전스크류, 제 2 서브 회전스크류가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 메인 회전스크류, 제 1 서브 회전스크류, 제 2 서브 회전스크류의 각 하부를 일체로 연결시키는 하부수평 플레이트; 상단부가 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 메인모터에 연결되어 메인모터를 하부수평 플레이트에 고정시키는 메인 고정블록; 상단부가 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 제 1 서브모터에 연결되어 제 1 서브모터를 하부수평 플레이트에 고정시키는 제 1 서브 고정블록; 상단부가 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 제 2 서브모터에 연결되어 제 2 서브모터를 하부수평 플레이트에 고정시키는 제 2 서브 고정블록;을 더 포함하여 구성될 수 있다.On the other hand, the main rotating screw, the first sub at a position spaced apart a predetermined distance from the hollow hole is formed in the hollow hole is connected to the external support frame to maintain a fixed state, the lifting unit penetrates in the vertical direction An upper horizontal plate integrally connecting the upper parts of the main rotating screw, the first sub rotating screw, and the second sub rotating screw so that the rotating screw and the second sub rotating screw can be rotated independently of each other; It is disposed under the upper horizontal plate and connected integrally with the upper horizontal plate and the main rotating screw, the first sub rotating screw, the second sub rotating screw to independently rotate the main rotating screw, the first sub rotating screw, A lower horizontal plate integrally connecting each lower portion of the second sub-screw; A main fixing block having an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate and a lower end connected to the main motor to fix the main motor to the lower horizontal plate; A first sub fixing block having an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate and a lower end connected to the first sub motor to fix the first sub motor to the lower horizontal plate; And a second sub fixing block having an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate and a lower end connected to a second sub motor to fix the second sub motor to the lower horizontal plate.

여기서, 승하강 유닛은, 기판 척의 하면에 직접 연결되는 지지샤프트; 지지샤프트를 감싸는 형태로 자신의 내벽이 지지샤프트의 외표면과 소정 거리 이격 배치되는 가이드 하우징;를 포함하여 구성되고, 지지샤프트의 외표면에 메인 이동스크류, 제 1 서브 이동스크류, 제 2 서브 이동스크류가 직접 연결될 수 있다.Here, the elevating unit, the support shaft directly connected to the lower surface of the substrate chuck; A guide housing having an inner wall of the support shaft spaced apart from the outer surface of the support shaft by a predetermined distance, the main moving screw, the first sub moving screw, and the second sub moving on the outer surface of the support shaft. The screw can be connected directly.

또한, 지지샤프트의 상부가 출입하는 챔버의 개구부에 고정되어 챔버 내외부를 출입하는 지지샤프트의 움직임으로부터 가이드 하우징을 고정시키는 고정 플랜지부; 가이드 하우징의 상단부와 고정 플랜지부 사이에 대응하는 가이드 하우징의 외표면을 감싸는 형태로 배치되어 지지샤프트가 출입하는 챔버의 개구부에 대한 기밀을 유지하는 밸로우즈부;를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the fixing flange portion which is fixed to the opening of the chamber in which the upper portion of the support shaft in and out to fix the guide housing from the movement of the support shaft in and out of the chamber; And a bellows portion disposed between the upper end portion of the guide housing and the fixing flange portion so as to surround the outer surface of the guide housing to maintain the airtightness of the opening of the chamber through which the support shaft enters and exits.

본 발명은 기판 척을 승하강시키는 구동수단을 그대로 이용하여 기판 척의 승하강시 틸팅까지 수행하는 장점을 나타낸다.The present invention exhibits the advantage of performing the tilting at the time of raising and lowering the substrate chuck by using the driving means for raising and lowering the substrate chuck as it is.

또한, 본 발명은 기판 척의 현재 기울기를 모니터링하는 기울기 센서를 구비함에 따라 승강중인 기판 척의 현재 기울기를 감안하여 기판 척에 대한 정밀한 틸팅이 가능하다는 장점도 나타낸다.In addition, the present invention also provides an advantage that the precise tilting of the substrate chuck is possible in view of the current tilt of the substrate chuck being lifted by having a tilt sensor for monitoring the current tilt of the substrate chuck.

[도 1]은 본 발명에 따른 기판 척의 틸팅 승하강 장치를 도시한 사시도,
[도 2]는 [도 1]에서 내측에 위치하는 일부의 구성을 발췌하여 도시한 도면,
[도 3]은 [도 2]에서 내측에 위치하는 일부의 구성을 발췌하여 도시한 도면,
[도 4]는 [도 1]에서 중앙부를 연직 하방향으로 소정 각도 절개한 단면을 나타낸 도면,
[도 5]는 본 발명에 따른 구동제어부가 각 모터를 제어하는 과정을 나타낸 블록구성도이다.1 is a perspective view showing a tilting device of the substrate chuck according to the present invention;
2 is a view showing an extract of a part of the configuration located on the inner side in FIG.
FIG. 3 is a view showing an extract of a part of the structure located inward in FIG. 2;
FIG. 4 is a cross-sectional view of the central portion cut in a vertical downward direction in FIG. 1;
5 is a block diagram showing a process of controlling each motor by the drive control unit according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[도 1]은 본 발명에 따른 기판 척의 틸팅 승하강 장치를 도시한 사시도이고, [도 2]는 [도 1]에서 내측에 위치하는 일부의 구성을 발췌하여 도시한 도면이고, [도 3]은 [도 2]에서 내측에 위치하는 일부의 구성을 발췌하여 도시한 도면이고, [도 4]는 [도 1]에서 중앙부를 연직 하방향으로 소정 각도 절개한 단면을 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a tilting device of the substrate chuck according to the present invention, FIG. 2 is a view showing an extract of a part of the configuration located in the inner side in FIG. 2 is a view showing an extract of a part of the configuration located in the inner side in Fig. 2, Figure 4 is a view showing a cross-section cut in a vertical angle in the vertical portion in the center in Fig.

[도 1] 내지 [도 4]를 참조하면, 본 발명은 기판 척(10)이 진공챔버(미도시) 내에서 승하강 하는 중에 그 승하강 유닛을 제어하여 기판 척(10)의 틸팅까지 수행하도록 하는 기술로서, 승하강 유닛(110), 메인 회전스크류(120), 메인 이동스크류(121), 기울기 센서(130), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 1 서브 이동스크류(141), 제 2 서브 회전스크류(150), 제 2 서브 이동스크류(151), 구동제어부(200)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 1 to 4, the present invention controls the lifting unit while the substrate chuck 10 moves up and down in a vacuum chamber (not shown) to perform tilting of the substrate chuck 10. As a technique to make, the lifting unit 110, the main rotating screw 120, the main moving screw 121, the tilt sensor 130, the first sub rotating screw 140, the first sub moving screw 141, The second sub rotating screw 150, the second sub moving screw 151, the drive control unit 200 is configured to include.

승하강 유닛(110)은 상단부가 기판 척(10)의 하면에 연직방향으로 연결되어 복수 개의 모터 구동에 따라 상하방향으로 움직이면서 기판 척(10)의 승하강 운동을 담당한다. 여기서, 승하강 유닛(110)은 지지샤프트(111)와 가이드 하우징(112)을 포함하여 구성된다.The elevating unit 110 is connected to the lower surface of the substrate chuck 10 in a vertical direction and moves up and down in response to a plurality of motor driving to handle the elevating movement of the substrate chuck 10. Here, the lifting unit 110 is configured to include a support shaft 111 and the guide housing 112.

먼저, 지지샤프트(111)는 기판 척(10)의 하면에 직접 연결되어 상하방향으로 움직이면서 기판 척(10)의 승하강을 직접 가이드한다.First, the support shaft 111 is directly connected to the lower surface of the substrate chuck 10 and moves in the vertical direction to directly guide the lifting and lowering of the substrate chuck 10.

가이드 하우징(112)은 지지샤프트(111)를 감싸는 형태로 자신의 내벽이 지지샤프트(111)의 외표면과 소정 거리 이격 배치된 상태로 진공챔버(미도시)의 하면에 내외부 기밀유지가 가능하도록 거치된다.The guide housing 112 surrounds the support shaft 111 so that internal and external airtightness can be maintained on the bottom surface of the vacuum chamber (not shown) with its inner wall spaced apart from the outer surface of the support shaft 111 by a predetermined distance. Is mounted.

즉, 가이드 하우징(112)은 지지샤프트(111)를 감싸는 형태로 진공챔버의 개구공에 기밀유지 가능하도록 연결되기 때문에 지지샤프트(111)가 진공챔버의 하부를 관통하여 출입함에도 그 진공챔버의 진공상태를 그대로 유지할 수 있다.That is, since the guide housing 112 is connected to the opening hole of the vacuum chamber in such a way as to surround the support shaft 111 so that it can be kept airtight, the vacuum of the vacuum chamber even when the support shaft 111 penetrates through the lower part of the vacuum chamber. You can keep it as it is.

한편, 지지샤프트(111)의 측벽에는 메인 이동스크류(121), 제 1 서브 이동스크류(141), 제 2 서브 이동스크류(151)가 직접 연결된다.Meanwhile, the main moving screw 121, the first sub moving screw 141, and the second sub moving screw 151 are directly connected to the sidewall of the support shaft 111.

여기서, 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)가 제자리 회전할 때 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)에 각각 회동가능하게 연결된 메인 이동스크류(121), 제 1 서브 이동스크류(141), 제 2 서브 이동스크류(151)가 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150) 각각의 길이 방향을 따라 이동하게 된다.Here, the main rotating screw 120, the first sub rotating screw 140, the second sub rotating screw 150, when the main rotating screw 120, the first sub rotating screw 140, the second sub The main moving screw 121, the first sub moving screw 141, and the second sub moving screw 151 rotatably connected to the rotating screw 150, respectively, are the main rotating screw 120 and the first sub rotating screw 140. ), The second sub rotating screw 150 is moved along the length of each.

그 결과, 메인 이동스크류(121), 제 1 서브 이동스크류(141), 제 2 서브 이동스크류(151)에 연결된 지지샤프트(111)가 승하강 운동을 하게 된다.As a result, the support shaft 111 connected to the main moving screw 121, the first sub moving screw 141, and the second sub moving screw 151 is moved up and down.

상세하게, 메인 회전스크류(120)는 지지샤프트(111)에 연결되어 제자리 회전함에 따라 간접으로 지지샤프트(111)를 승하강시킨다. 그리고, 메인 이동스크류(121)는 메인 회전스크류(120)를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 지지샤프트(111)의 측벽에 하나이상 연결된다.In detail, the main rotating screw 120 is connected to the support shaft 111 to raise and lower the support shaft 111 indirectly as it rotates in place. In addition, the main moving screw 121 is connected to at least one side wall of the support shaft 111 in a screw-coupled state to surround the main rotating screw 120.

이때, 메인 이동스크류(121)는 메인 회전스크류(120)의 제자리 회전에 따라 메인 회전스크류(120)의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 자신에 연결된 지지샤프트(111)를 승하강시킨다.At this time, the main moving screw 121 moves up and down along the longitudinal direction of the main rotating screw 120 in accordance with the in-situ rotation of the main rotating screw 120 to raise and lower the support shaft 111 connected to it.

기울기 센서(130)는 승하강 유닛(110)의 움직임에 연동하여 상하방향으로 움직이면서 자신이 위치한 현재의 기울기를 감지한다. 이렇게 감지된 기울기값은 구동제어부(200)에 전달됨에 따라 구동제어부(200)가 그 기울기값을 기초로 제 1,2 서브모터(220,230)의 구동을 독립적으로 제어하여 결국 기판 척(10)의 기울기를 목적하는 수준까지 조정한다.The inclination sensor 130 detects a current inclination where the tilt sensor 130 is located while moving in the vertical direction in association with the movement of the elevating unit 110. As the sensed inclination value is transmitted to the driving control unit 200, the driving control unit 200 independently controls the driving of the first and second sub-motors 220 and 230 based on the inclination value, thereby eventually causing the substrate chuck 10 to be removed. Adjust the slope to the desired level.

제 1 서브 회전스크류(140)는 메인 회전스크류(120)와 나란히 지지샤프트(111)의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 메인 회전스크류(120)와 협동하여 지지샤프트(111)를 승하강시킨다.The first sub-screw screw 140 is connected to the side of the support shaft 111 side by side with the main rotary screw 120 to cooperate with the main rotary screw 120 to raise and lower the support shaft 111.

그리고, 제 1 서브 회전스크류(140)는 메인 회전스크류(120)가 멈춘 상태에서 구동제어부(200)를 통한 기울기 센서(130)의 기울기값을 기반으로 제자리 회전함에 따라 결국 지지샤프트(111)의 움직임을 통한 기판 척(10)의 기울기를 조정한다.In addition, the first sub-rotation screw 140 rotates in position based on the inclination value of the inclination sensor 130 through the driving control unit 200 in the state in which the main rotation screw 120 is stopped. Adjust the inclination of the substrate chuck 10 through the movement.

여기서, 제 1 서브 이동스크류(141)는 제 1 서브 회전스크류(140)를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 지지샤프트(111)에 하나이상 연결된다.Here, the first sub-movement screw 141 is connected to the support shaft 111 at least one in a screwed state to surround the first sub-rotation screw 140.

그리고, 제 1 서브 이동스크류(141)는 지지샤프트(111)에 연결된 상태에서 제 1 서브 회전스크류(140)의 제자리 회전에 따라 제 1 서브 회전스크류(140)의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 메인 이동스크류(121)와 협동으로 자신에 연결된 지지샤프트(111)를 이동시킨다.In addition, the first sub-movement screw 141 moves up and down in the longitudinal direction of the first sub-rotation screw 140 according to the rotation of the first sub-rotation screw 140 in a state connected to the support shaft 111. The support shaft 111 connected to itself is moved in cooperation with the moving screw 121.

제 2 서브 회전스크류(150)는 메인 회전스크류(120)와 나란히 지지샤프트(111)의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 메인 회전스크류(120)와 협동하여 지지샤프트(111)를 승하강시킨다.The second sub-rotation screw 150 is connected to the side of the support shaft 111 in parallel with the main rotation screw 120 to cooperate with the main rotation screw 120 to raise and lower the support shaft 111.

그리고, 제 2 서브 회전스크류(150)는 메인 회전스크류(120)가 멈춘 상태에서 구동제어부(200)를 통한 기울기 센서(130)의 기울기값을 기반으로 제자리 회전함에 따라 제 1 서브 회전스크류(140)와 협동으로 결국 지지샤프트(111)의 움직임을 통한 기판 척(10)의 기울기를 조정한다.The second sub rotating screw 150 rotates in place based on the inclination value of the inclination sensor 130 through the driving controller 200 in the state where the main rotating screw 120 is stopped. ) And eventually adjust the inclination of the substrate chuck 10 through the movement of the support shaft 111.

제 2 서브 이동스크류(151)는 제 2 서브 회전스크류(150)를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 지지샤프트(111)에 하나이상 연결된다.The second sub-movement screw 151 is connected to the support shaft 111 at least one in a screwed state to surround the second sub-rotation screw 150.

그리고, 제 2 서브 이동스크류(151)는 제 2 서브 회전스크류(150)의 제자리 회전에 따라 제 2 서브 회전스크류(150)의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 메인 이동스크류(121) 및 제 1 서브 이동스크류(141)와 협동으로 자신에 연결된 지지샤프트(111)를 이동시킨다.In addition, the second sub-movement screw 151 moves up and down along the longitudinal direction of the second sub-rotation screw 150 in accordance with the rotation of the second sub-rotation screw 150. The support shaft 111 connected to itself is moved in cooperation with the moving screw 141.

여기서, 구동제어부(200)는 기울기 센서(130)가 감지한 기울기를 기반으로 제 1 서브 회전스크류(140)와 제 2 서브 회전스크류(150)의 제자리 회전을 독립적으로 제어한다.Here, the driving controller 200 independently controls the in-situ rotation of the first sub-rotation screw 140 and the second sub-rotation screw 150 based on the inclination sensed by the inclination sensor 130.

상세하게, 구동제어부(200)는 메인모터(210)의 구동을 멈춘 후, 기울기 센서(130)가 감지한 기울기값을 기초로 기판 척(10)의 틸팅을 어느 정도로 수행할지 판단한다.In detail, the driving controller 200 stops driving the main motor 210 and then determines how much to tilt the substrate chuck 10 based on the inclination value detected by the inclination sensor 130.

그리고, 그 판단 결과, 제 1 서브모터(220)와 제 2 서브모터(230)의 구동을 개별적으로 제어하여 제 1 서브 이동스크류(141)와 제 2 서브 이동스크류(151)의 상하방향 이동을 조정한다.As a result of the determination, the driving of the first sub-motor 220 and the second sub-motor 230 is individually controlled to move the first sub-movement screw 141 and the second sub-movement screw 151 in the vertical direction. Adjust

그 결과, 제 1 서브 이동스크류(141)와 제 2 서브 이동스크류(151)의 상하방향 이동에 따라 기판 척(10)을 목적하는 수준으로 틸팅할 수 있게 된다. 여기서, 바람직하게는 구동제어부(200)를 통한 제 1,2 서브모터(220,230)의 구동제어를 통해 대략 10-3 각도 수준까지 기판 척(10)의 틸팅을 제어할 수 있다.As a result, the substrate chuck 10 can be tilted to a desired level according to the vertical movement of the first sub-movement screw 141 and the second sub-movement screw 151. Here, the tilting of the substrate chuck 10 may be controlled to a level of approximately 10 −3 angles through driving control of the first and second sub-motors 220 and 230 through the driving control unit 200.

한편, [도 3]을 참조하면, 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)는 지지샤프트(111)의 연직 방향 중심부를 중심점으로 하여 상호 동일한 반경과 이격 각도로 배치됨이 바람직하다.Meanwhile, referring to FIG. 3, the main rotating screw 120, the first sub rotating screw 140, and the second sub rotating screw 150 are identical to each other with the center point in the vertical direction of the support shaft 111 as the center point. It is preferred to be arranged at a radius and separation angle.

즉, 지지샤프트(111)의 연직 방향 중심부를 중심각으로 하여 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150) 상호 간 대략 120°사잇각을 유지한다.That is, the main rotating screw 120, the first sub-screw 140, and the second sub-screw 150 are maintained at about 120 ° with the center angle of the support shaft 111 as the center angle.

메인모터(210)는 메인 회전스크류(120)의 하부에 연결되어 메인 회전스크류(120)를 제자리 회전시킴에 따라 메인 이동스크류(121)를 상하방향으로 이동시킨다.The main motor 210 is connected to the lower portion of the main rotating screw 120 to move the main rotating screw 121 in the vertical direction as the main rotating screw 120 is rotated in place.

제 1 서브모터(220)는 제 1 서브 회전스크류(140)의 하부에 연결되어 제 1 서브 회전스크류(140)를 제자리 회전시킴에 따라 제 1 서브 이동스크류(141)를 상하방향으로 이동시킨다.The first sub-motor 220 is connected to the lower portion of the first sub-screw screw 140 to move the first sub-screw 141 in the vertical direction as the first sub-screw screw 140 rotates in place.

제 2 서브모터(230)는 제 2 서브 회전스크류(150)의 하부에 연결되어 제 2 서브 회전스크류(150)를 제자리 회전시킴에 따라 제 2 서브 이동스크류(151)를 상하방향으로 이동시킨다.The second sub-motor 230 is connected to the lower portion of the second sub-rotation screw 150 to move the second sub-movement screw 151 in the vertical direction as the second sub-rotation screw 150 rotates in place.

여기서, 구동제어부(200)는 메인모터(210), 제 1 서브모터(220), 제 2 서브모터(230)의 구동을 독립적으로 직접 제어함에 따라 메인 이동스크류(121), 제 2 서브 이동스크류(151), 제 2 서브 이동스크류(151)의 움직임을 간접으로 제어하게 된다.Here, the driving control unit 200 directly and independently controls the driving of the main motor 210, the first sub-motor 220, the second sub-motor 230, the main moving screw 121, the second sub moving screw. 151, the movement of the second sub-movement screw 151 is indirectly controlled.

한편, 본 발명은 [도 2]에서와 같이 상부싱크 플레이트(161)와 하부싱크 플레이트(162)를 더 포함하여 구성될 수 있다.Meanwhile, the present invention may further include an upper sink plate 161 and a lower sink plate 162 as shown in FIG. 2.

상부싱크 플레이트(161)는 상부에 위치하는 메인 이동스크류(121), 제 2 서브 이동스크류(151), 제 2 서브 이동스크류(151)에 일체로 연결되고, 하부싱크 플레이트(162)는 상대적으로 하부에 위치하는 메인 이동스크류(121), 제 2 서브 이동스크류(151), 제 2 서브 이동스크류(151)에 일체로 연결될 수 있다.The upper sink plate 161 is integrally connected to the main moving screw 121, the second sub moving screw 151, and the second sub moving screw 151 located at the upper portion, and the lower sink plate 162 is relatively It may be integrally connected to the main moving screw 121, the second sub moving screw 151, the second sub moving screw 151 located below.

이때, 메인모터(210)가 멈춘 상태에서 구동제어부(200)가 제 1 서브모터(220), 제 2 서브모터(230)의 구동을 독립적으로 제어함에 따라 메인 이동스크류(121)를 기준으로 제 1 서브 이동스크류(141)와 제 2 서브 이동스크류(151)가 서로 다른 높낮이로 움직일 때 상부싱크 플레이트(161)와 하부싱크 플레이트(162)는 그 서로 다른 높낮이에 따라 정밀하게 틸팅되면서 그 틸팅을 지지샤프트(111)에 그대로 반영하게 된다.At this time, the driving control unit 200 independently controls the driving of the first sub-motor 220 and the second sub-motor 230 in the state in which the main motor 210 is stopped, based on the main moving screw 121. When the first sub-movement screw 141 and the second sub-movement screw 151 move at different heights, the upper and lower sink plates 161 and 162 are tilted precisely according to their different heights, and the tilting thereof is performed. Reflected on the support shaft 111 as it is.

상부수평 플레이트(310)는 지지프레임(330)에 연결되어 고정된 상태를 유지하며, 승하강 유닛(110)이 상하방향으로 관통하는 중공홀이 형성되고 그 중공홀로부터 측방향으로 소정 거리 이격된 위치에 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)의 각 상부를 일체로 연결시킨다.The upper horizontal plate 310 is connected to the support frame 330 to maintain a fixed state, and the lifting unit 110 is formed with a hollow hole penetrating in the vertical direction and spaced apart a predetermined distance from the hollow hole laterally The main rotary screw 120, the first sub-swivel screw 140, the second sub-swivel screw 150 in each position independently of the main rotation screw 120, the first sub-screw screw 140 to enable the rotation. , The upper portion of each of the second sub-swivel screw 150 is integrally connected.

여기서, 메인모터(210)의 구동이 멈춘 상태에서 구동제어부(200)에 의한 제 1 서브모터(220), 제 2 서브모터(230)의 구동을 독립적으로 제어하면 메인 이동스크류(121)를 기준으로 제 1,2 이동스크류(141,151)의 높낮이가 달라지는데, 이렇게 제 1,2 이동스크류(141,151)의 달라지는 높낮이에 따라 지지샤프트(111)의 기울어짐이 발생하고 그 지지샤프트(111)의 기울어짐에 연동하여 기판 척(10)의 틸팅이 이루어진다.Here, if the driving of the first sub-motor 220 and the second sub-motor 230 by the drive control unit 200 in the state in which the driving of the main motor 210 is stopped independently, the main moving screw 121 is referred to. As the height of the first and second moving screws 141 and 151 is different, the tilt of the support shaft 111 occurs according to the height of the first and second moving screws 141 and 151, and the tilt of the support shaft 111 is changed. Tilting of the substrate chuck 10 is performed in conjunction with.

이때, 제 1,2 이동스크류(141,151)의 달라지는 높낮이에 따라 지지샤프트(111)의 기울어짐이 발생할 때 상부수평 플레이트(310)는 메인 회전스크류(120), 제 1,2 서브 회전스크류(140,150)가 현재 위치를 유지하도록 지탱한다.At this time, when the support shaft 111 is inclined according to the changing heights of the first and second moving screws 141 and 151, the upper horizontal plate 310 is the main rotating screw 120, the first and second sub rotating screws 140 and 150. To keep the current position.

하부수평 플레이트(320)는 상부수평 플레이트(310)의 하부에 배치되어 상부수평 플레이트(310)와 일체로 연결되며 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 메인 회전스크류(120), 제 1 서브 회전스크류(140), 제 2 서브 회전스크류(150)의 각 하부를 일체로 연결시킨다.The lower horizontal plate 320 is disposed below the upper horizontal plate 310 and is integrally connected to the upper horizontal plate 310 and has a main rotating screw 120, a first sub rotating screw 140, and a second sub rotating screw. Each lower portion of the main rotating screw 120, the first sub rotating screw 140, the second sub rotating screw 150 is integrally connected so that the 150 can be rotated independently of each other.

여기서, 하부수평 플레이트(320)는 메인 이동스크류(121)를 기준으로 제 1,2 이동스크류(141,151)의 달라지는 높낮이에 따라 지지샤프트(111)의 기울어짐이 발생할 때 상부수평 플레이트(310)와 협동으로 메인 회전스크류(120), 제 1,2 서브 회전스크류(140,150)가 현재 위치를 유지하도록 지탱한다.Here, the lower horizontal plate 320 and the upper horizontal plate 310 when the inclination of the support shaft 111 occurs in accordance with the height of the first and second moving screws 141 and 151 with respect to the main moving screw 121. In cooperation, the main rotating screw 120, the first and second sub-screws 140, 150 support to maintain the current position.

한편, 상부수평 플레이트(310)의 하면과 하부수평 플레이트(320)의 상면에 끼움 결합되는 지지프레임(330)을 더 구비함이 바람직하다. 지지프레임(330)은 상부수평 플레이트(310)와 하부수평 플레이트(320)를 견고하게 연결시킴으로써 지지샤프트(111)의 기울어짐이 발생할 때 메인 회전스크류(120), 제 1,2 서브 회전스크류(140,150)을 보다 견고하게 지지한다.On the other hand, it is preferable to further include a support frame 330 is fitted to the lower surface of the upper horizontal plate 310 and the upper surface of the lower horizontal plate 320. The support frame 330 firmly connects the upper horizontal plate 310 and the lower horizontal plate 320 so that the inclination of the support shaft 111 occurs when the main rotating screw 120 and the first and second sub rotating screws ( 140, 150 more firmly supports.

메인 고정블록(410)은 상단부가 하부수평 플레이트(320)의 하부에 연결되고, 하단부가 메인모터(210)에 연결되어 메인모터(210)를 하부수평 플레이트(320)에 고정시킨다.The main fixing block 410 has an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate 320, and a lower end connected to the main motor 210 to fix the main motor 210 to the lower horizontal plate 320.

제 1 서브 고정블록(420)은 상단부가 하부수평 플레이트(320)의 하부에 연결되고, 하단부가 제 1 서브모터(220)에 연결되어 제 1 서브모터(220)를 하부수평 플레이트(320)에 고정시킨다.The first sub fixing block 420 has an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate 320, and a lower end connected to the first sub motor 220 to connect the first sub motor 220 to the lower horizontal plate 320. Fix it.

제 2 서브 고정블록(430)은 상단부가 하부수평 플레이트(320)의 하부에 연결되고, 하단부가 제 2 서브모터(230)에 연결되어 제 2 서브모터(230)를 하부수평 플레이트(320)에 고정시킨다.The second sub fixing block 430 has an upper end connected to the lower portion of the lower horizontal plate 320, and a lower end connected to the second sub motor 230 to connect the second sub motor 230 to the lower horizontal plate 320. Fix it.

고정 플랜지부(510)는 지지샤프트(111)의 상부가 출입하는 진공챔버의 개구부에 고정되어 챔버 내외부를 출입하는 지지샤프트(111)의 움직임으로부터 가이드 하우징(112)을 고정시킨다.The fixing flange 510 is fixed to the opening of the vacuum chamber through which the upper portion of the support shaft 111 enters and fixes the guide housing 112 from the movement of the support shaft 111 entering and exiting the chamber.

밸로우즈부(520)는 가이드 하우징(112)의 상단부와 고정 플랜지부(510) 사이에 대응하는 가이드 하우징(112)의 외표면을 감싸는 형태로 배치되어 지지샤프트(111)가 출입하는 챔버의 개구부에 대한 기밀을 유지한다.The bellows portion 520 is disposed between the upper end of the guide housing 112 and the fixed flange portion 510 so as to surround the outer surface of the guide housing 112 so that the opening of the chamber into which the support shaft 111 enters and exits. Maintain confidentiality about

[도 5]는 본 발명에 따른 구동제어부가 각 모터를 제어하는 과정을 나타낸 블록구성도이다. [도 5]를 참조하여 본 발명에 따른 기판 척의 틸팅 승하강 장치가 동작하는 과정을 살펴 보면 다음과 같다.5 is a block diagram showing a process of controlling each motor by the drive control unit according to the present invention. Referring to FIG. 5, a process of operating the tilting device of the substrate chuck according to the present invention is as follows.

먼저, 구동제어부(200)가 메인모터(210)와 제 1,2 서브모터(220,230)에 대해 구동명령을 내려 목적하는 위치까지 메인 이동스크류(121)와 제 1,2 서브 이동스크류(141,151)를 이동시킨다. 이때, 메인모터(210)와 제 1,2 서브모터(220,230)에 대한 구동은 바람직하게는 싱크(sync) 제어한다.First, the driving control unit 200 issues a driving command to the main motor 210 and the first and second sub-motors 220 and 230 to the desired position, and the main moving screw 121 and the first and second sub moving screws 141 and 151. Move it. At this time, the driving of the main motor 210 and the first and second sub-motors 220 and 230 is preferably synchronized.

이어서, 메인 이동스크류(121)와 제 1,2 서브 이동스크류(141,151)가 목적하는 위치로 이동하면 구동제어부(200)는 메인모터(210)의 구동을 멈추고 기울기 센서(130)로부터 제공받는 기울기값을 기초로 제 1,2 서브모터(220,230)의 구동을 독립적으로 제어한다.Subsequently, when the main moving screw 121 and the first and second sub moving screws 141 and 151 move to the desired positions, the driving controller 200 stops driving the main motor 210 and receives the inclination provided from the inclination sensor 130. The driving of the first and second sub-motors 220 and 230 is independently controlled based on the value.

이때, 구동제어부(200)는 기울기 센서(130)로부터 실시간 현재 기울기값을 제공받으면서 기판 척(10)이 목적하는 틸팅에 도달할 때까지 제 1,2 서브모터(220,230)의 구동을 독립적으로 연속하여 제어한다.At this time, the driving controller 200 independently drives the first and second sub-motors 220 and 230 until the substrate chuck 10 reaches the desired tilt while receiving the real-time current tilt value from the tilt sensor 130. To control.

한편, 구동제어부(200)는 포지션 센서(182,183)가 감지한 메인 이동스크류(121)의 현재 위치로부터 메인 이동스크류(121)가 상하한 위치를 초과하지 않음을 식별하여 메인모터(210)의 재구동 여부를 판단한다.Meanwhile, the driving controller 200 identifies that the main moving screw 121 does not exceed the upper and lower positions from the current position of the main moving screw 121 sensed by the position sensors 182 and 183 so that the main motor 210 is rebuilt. Determine whether it is running.

다른 한편, 구동제어부(200)는 진동센서(170)가 감지한 진동값을 기초로 메인 이동스크류(121)와 제 1,2 서브 이동스크류(141,151)가 각각 메인 회전스크류(120)와 제 1,2 서브 회전스크류(140,150)를 따라 이동할 때 발생하는 백래쉬의 크기를 점검할 수도 있다.On the other hand, the drive control unit 200 is the main moving screw 121 and the first and second sub-screws 141 and 151, respectively, based on the vibration value detected by the vibration sensor 170, the main rotating screw 120 and the first Also, the size of the backlash generated when moving along the second sub-screws 140 and 150 may be checked.

10 : 기판 척
110 : 승하강 유닛
111 : 지지샤프트
112 : 가이드 하우징
120 : 메인 회전스크류
121 : 메인 이동스크류
130 : 기울기 센서
140 : 제 1 서브 회전스크류
141 : 제 1 서브 이동스크류
150 : 제 2 서브 회전스크류
151 : 제 2 서브 이동스크류
161 : 상부싱크 플레이트
162 : 하부싱크 플레이트
170 : 진동 센서
181,182,183 : 포지션 센서
200 : 구동제어부
210 : 메인모터
220 : 제 1 서브모터
230 : 제 2 서브모터
310 : 상부수평 플레이트
320 : 하부수평 플레이트
330 : 지지프레임
410 : 메인 고정블록
420 : 제 1 서브 고정블록
430 : 제 2 서브 고정블록
510 : 고정 플랜지부
520 : 밸로우즈부10: substrate chuck
110: lifting unit
111: support shaft
112: guide housing
120: main rotating screw
121: main screw
130: tilt sensor
140: first sub-screw
141: first sub moving screw
150: second sub-screw
151: second sub-movement screw
161: upper sink plate
162: lower sink plate
170: vibration sensor
181,182,183: Position Sensor
200: drive control unit
210: main motor
220: first sub-motor
230: second sub-motor
310: upper horizontal plate
320: lower horizontal plate
330: support frame
410: main fixed block
420: first sub fixed block
430: second sub fixed block
510: fixed flange
520: Bellows part

Claims (7)

기판 척의 하면에 연직 하방향으로 연결되어 상하방향으로 움직이면서 기판 척의 승하강 운동을 담당하는 승하강 유닛(110);
상기 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 상기 승하강 유닛을 승하강시키는 메인 회전스크류(120);
상기 승하강 유닛의 움직임에 연동하여 상하방향으로 움직이면서 자신이 위치한 현재의 기울기를 감지하는 기울기 센서(130);
상기 메인 회전스크류와 나란히 상기 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 상기 메인 회전스크류와 협동하여 상기 승하강 유닛을 승하강시키며 상기 메인 회전스크류가 멈춘 상태에서 상기 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 제자리 회전함에 따라 상기 승하강 유닛의 기울기를 조정하는 제 1 서브 회전스크류(140);
상기 메인 회전스크류와 나란히 상기 승하강 유닛의 측부에 연결되어 제자리 회전함에 따라 상기 메인 회전스크류와 협동하여 상기 승하강 유닛을 승하강시키며 상기 메인 회전스크류가 멈춘 상태에서 상기 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 제자리 회전함에 따라 상기 제 1 서브 회전스크류와 협동으로 상기 승하강 유닛의 기울기를 조정하는 제 2 서브 회전스크류(150);
상기 기울기 센서가 감지한 기울기를 기반으로 상기 제 1 서브 회전스크류와 상기 제 2 서브 회전스크류의 제자리 회전을 독립적으로 제어하는 구동제어부(200);
를 포함하여 구성되는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
A lifting unit 110 connected to the lower surface of the substrate chuck in a vertical downward direction and moving in the vertical direction to handle the lifting movement of the substrate chuck;
A main rotating screw 120 connected to the side of the elevating unit to elevate the elevating unit as the elevating unit rotates;
An inclination sensor 130 which detects a current inclination of the present location while moving in the vertical direction in association with the movement of the elevating unit;
It is connected to the side of the elevating unit side by side with the main rotating screw to rotate the elevating unit in cooperation with the main rotating screw in accordance with the rotation of the elevating unit, the tilt detected by the tilt sensor in the state that the main rotating screw stopped A first sub rotating screw 140 for adjusting the inclination of the elevating unit as the base rotates;
It is connected to the side of the elevating unit side by side with the main rotating screw to rotate the elevating unit in cooperation with the main rotating screw in accordance with the rotation of the elevating unit, the tilt detected by the tilt sensor in the state that the main rotating screw stopped A second sub rotating screw 150 for adjusting the inclination of the elevating unit in cooperation with the first sub rotating screw as the base rotates in position;
A driving control unit 200 for independently controlling the rotation of the first sub-rotation screw and the second sub-rotation screw based on the inclination sensed by the inclination sensor;
Tilting lifting device of the substrate chuck configured to include.
청구항 1에 있어서,
상기 메인 회전스크류, 상기 제 1 서브 회전스크류, 상기 제 2 서브 회전스크류는 상기 승하강 유닛의 연직 방향 중심부를 중심점으로 하여 상호 동일한 반경과 이격각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
The method according to claim 1,
And the main rotating screw, the first sub rotating screw, and the second sub rotating screw are disposed at the same radius and separation angle as the center point of the vertical direction of the raising and lowering unit. .
청구항 2에 있어서,
상기 메인 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 상기 승하강 유닛에 연결되어 상기 메인 회전스크류의 제자리 회전에 따라 상기 메인 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 자신에 연결된 상기 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 메인 이동스크류(121);
상기 제 1 서브 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 상기 승하강 유닛에 연결되어 상기 제 1 서브 회전스크류의 제자리 회전에 따라 상기 제 1 서브 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 상기 메인 이동스크류와 협동으로 자신에 연결된 상기 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 제 1 서브 이동스크류(141);
상기 제 2 서브 회전스크류를 감싸는 형태로 나사결합된 상태에서 상기 승하강 유닛에 연결되어 상기 제 2 서브 회전스크류의 제자리 회전에 따라 상기 제 2 서브 회전스크류의 길이 방향을 따라 상하방향 움직이면서 상기 메인 이동스크류, 상기 제 1 서브 이동스크류와 협동으로 자신에 연결된 상기 승하강 유닛을 이동시키는 하나이상의 제 2 서브 이동스크류(151);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
The method according to claim 2,
The elevating unit connected to the elevating unit in a screw-joined form surrounding the main rotating screw is moved up and down along the longitudinal direction of the main rotating screw in accordance with the rotation of the main rotating screw to move the elevating unit connected thereto. At least one main moving screw 121;
The main movement is connected to the elevating unit in a screw-connected state to surround the first sub-rotating screw and move vertically along the longitudinal direction of the first sub-rotating screw in accordance with the rotation of the first sub-rotating screw. One or more first sub-movement screws 141 for moving the elevating unit connected thereto in cooperation with a screw;
The main movement is connected to the elevating unit in a screw-joined form to surround the second sub-rotation screw and move up and down along the longitudinal direction of the second sub-rotation screw according to the rotation of the second sub-rotation screw. At least one second sub-movement screw 151 for moving the elevating unit connected to the screw in cooperation with the screw and the first sub-movement screw;
Tilting lifting device of the substrate chuck characterized in that it further comprises.
청구항 3에 있어서,
상기 메인 회전스크류의 하부에 연결되어 상기 메인 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 상기 메인 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 메인모터(210);
상기 제 1 서브 회전스크류의 하부에 연결되어 상기 제 1 서브 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 상기 제 1 서브 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 제 1 서브모터(220);
상기 제 2 서브 회전스크류의 하부에 연결되어 상기 제 2 서브 회전스크류를 제자리 회전시킴에 따라 상기 제 2 서브 이동스크류를 상하방향으로 이동시키는 제 2 서브모터(230);
를 더 포함하여 구성되고,
상기 구동제어부(200)는 상기 메인모터, 상기 제 1 서브모터, 상기 제 2 서브모터의 구동을 직접 제어함에 따라 상기 메인 이동스크류, 상기 제 2 서브 이동스크류, 상기 제 2 서브 이동스크류의 움직임을 간접으로 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
The method according to claim 3,
A main motor 210 connected to a lower portion of the main rotating screw to move the main moving screw in a vertical direction as the main rotating screw rotates in place;
A first sub-motor 220 connected to a lower portion of the first sub-rotation screw to move the first sub-movement screw vertically as the first sub-rotation screw rotates in place;
A second sub-motor 230 connected to a lower portion of the second sub-rotation screw to move the second sub-movement screw in an up and down direction as the second sub-rotation screw rotates in place;
It is configured to include more
The driving controller 200 controls the movement of the main moving screw, the second sub moving screw, and the second sub moving screw by directly controlling driving of the main motor, the first sub motor, and the second sub motor. Tilting lifting device of the substrate chuck characterized in that the indirect control.
청구항 4에 있어서,
외부의 지지프레임에 연결되어 고정된 상태를 유지하며, 상기 승하강 유닛이 상하방향으로 관통하는 중공홀이 형성되고 그 중공홀로부터 측방향으로 소정 거리 이격된 위치에 상기 메인 회전스크류, 상기 제 1 서브 회전스크류, 상기 제 2 서브 회전스크류가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 상기 메인 회전스크류, 상기 제 1 서브 회전스크류, 상기 제 2 서브 회전스크류의 각 상부를 일체로 연결시키는 상부수평 플레이트(310);
상기 상부수평 플레이트의 하부에 배치되어 상기 상부수평 플레이트와 일체로 연결되며 상기 메인 회전스크류, 상기 제 1 서브 회전스크류, 상기 제 2 서브 회전스크류가 각각 독립적으로 제자리 회전이 가능하도록 상기 메인 회전스크류, 상기 제 1 서브 회전스크류, 상기 제 2 서브 회전스크류의 각 하부를 일체로 연결시키는 하부수평 플레이트(320);
상단부가 상기 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 메인모터에 연결되어 상기 메인모터를 상기 하부수평 플레이트에 고정시키는 메인 고정블록(410);
상단부가 상기 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 제 1 서브모터에 연결되어 상기 제 1 서브모터를 상기 하부수평 플레이트에 고정시키는 제 1 서브 고정블록(420);
상단부가 상기 하부수평 플레이트의 하부에 연결되고, 하단부가 제 2 서브모터에 연결되어 상기 제 2 서브모터를 상기 하부수평 플레이트에 고정시키는 제 2 서브 고정블록(430);
을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
The method according to claim 4,
The main rotating screw and the first screw are connected to an external support frame to maintain a fixed state, and a hollow hole through which the elevating unit penetrates in the up and down direction is formed and is spaced a predetermined distance laterally from the hollow hole. An upper horizontal plate 310 which integrally connects the upper portions of the main rotating screw, the first sub rotating screw, and the second sub rotating screw so that the sub rotating screw and the second sub rotating screw can be independently rotated in place. );
The main rotating screw disposed under the upper horizontal plate and integrally connected to the upper horizontal plate, and the main rotating screw, the first sub rotating screw, and the second sub rotating screw independently rotate in place; A lower horizontal plate 320 for integrally connecting each lower portion of the first sub-rotation screw and the second sub-rotation screw;
An upper end portion connected to a lower portion of the lower horizontal plate, and a lower end portion connected to the main motor to fix the main motor to the lower horizontal plate;
A first sub fixing block 420 having an upper end connected to a lower part of the lower horizontal plate and a lower end connected to a first sub motor to fix the first sub motor to the lower horizontal plate;
A second sub fixing block 430 having an upper end connected to a lower portion of the lower horizontal plate and a lower end connected to a second sub motor to fix the second sub motor to the lower horizontal plate;
Tilting lifting device of the substrate chuck characterized in that it further comprises.
청구항 5에 있어서,
상기 승하강 유닛(110)은,
상기 기판 척의 하면에 직접 연결되는 지지샤프트(111);
상기 지지샤프트를 감싸는 형태로 자신의 내벽이 상기 지지샤프트의 외표면과 소정 거리 이격 배치되는 가이드 하우징(112);
를 포함하여 구성되고,
상기 지지샤프트의 외표면에 상기 메인 이동스크류, 상기 제 1 서브 이동스크류, 상기 제 2 서브 이동스크류가 직접 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.
The method according to claim 5,
The elevating unit 110,
A support shaft 111 connected directly to a bottom surface of the substrate chuck;
A guide housing 112 having an inner wall of the support shaft spaced apart from the outer surface of the support shaft by a predetermined distance;
It is configured to include,
And the main moving screw, the first sub moving screw, and the second sub moving screw are directly connected to an outer surface of the support shaft.
청구항 6에 있어서,
상기 지지샤프트의 상부가 출입하는 챔버의 개구부에 고정되어 상기 챔버 내외부를 출입하는 상기 지지샤프트의 움직임으로부터 상기 가이드 하우징을 고정시키는 고정 플랜지부(510);
상기 가이드 하우징의 상단부와 상기 고정 플랜지부 사이에 대응하는 상기 가이드 하우징의 외표면을 감싸는 형태로 배치되어 상기 지지샤프트가 출입하는 상기 챔버의 개구부에 대한 기밀을 유지하는 밸로우즈부(520);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 척의 틸팅 승하강 장치.The method according to claim 6,
A fixing flange portion 510 fixed to an opening of a chamber through which the upper portion of the support shaft is moved in and out to fix the guide housing from movement of the support shaft in and out of the chamber;
A bellows portion 520 disposed between the upper end portion of the guide housing and the fixing flange portion to surround an outer surface of the guide housing so as to maintain airtightness with respect to an opening of the chamber through which the support shaft enters and exits;
Tilting lifting device of the substrate chuck characterized in that it further comprises.
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