KR20170066886A - Flexible copper clad laminate, printed circuit board using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층; 상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이다.A flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention includes: a resin layer; A tie coat layer formed on the resin layer; And a copper layer formed on the tie coat layer, wherein a binding ratio of CC, CN, CO and C = O appearing on the surface of the tie coat layer at the time of peeling between the resin layer and the tie coat layer ) Is at least 40 at%, at least 25 at%, at least 7 at%, and at least 10 at%.
Description
본 발명은, 연성동장 적층판(FCCL) 및 이를 이용한 인쇄회로 기판에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 기존이 연성동장 적층판 대비 고온 박리강도 특성이 우수한 연성동장 적층판 및 이를 이용한 인쇄회로 기판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
인쇄 회로기판(PCB; Printed circuit board)은 각종 부품을 접속할 전기 배선을 회로 설계에 따라 배선 도형으로 표현한 것으로 각종 부품을 연결하거나 지지해주는 역할을 한다. 특히, 노트북 컴퓨터, 휴대폰, PDA, 소형 비디오 카메라 및 전자수첩 등의 전자기기의 발달에 따라 인쇄 회로기판의 수요가 증대되었다. 나아가 상기의 전자기기들은 휴대성이 강조되면서 점점 소형화 및 경량화 되어가는 추세이다. 따라서 인쇄 회로기판은 더욱 집적화, 소형화, 경량화 되고 있다.A printed circuit board (PCB) is a wiring diagram that expresses the electrical wiring to connect various components according to the circuit design. It serves to connect or support various components. In particular, the demand for printed circuit boards has increased with the development of electronic devices such as notebook computers, mobile phones, PDAs, compact video cameras, and electronic notebooks. Furthermore, the above electronic devices are becoming increasingly smaller and lighter in weight as portability is emphasized. Therefore, printed circuit boards are being further integrated, miniaturized, and lightweight.
상기 인쇄 회로기판은 그 물리적 특성에 따라 리지드(rigid) 인쇄 회로기판, 연성(flexible) 인쇄 회로기판, 이 두 가지가 결합된 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판 및 리지드-플렉서블 인쇄 회로기판과 유사한 멀티-플렉서블 인쇄 회로기판으로 나뉜다. 특히, 연성 인쇄 회로기판의 원자재인 연성동장 적층판(FCCL; flexible copper clad laminate)은 휴대폰, 디지털캠코더, 노트북, LCD 모니터 등 디지털 가전제품에 사용되는 것으로서 굴곡성이 크고 경박단소화에 유리한 특성 때문에 최근 수요가 급속히 증가하고 있다.The printed circuit board may include a rigid printed circuit board, a flexible printed circuit board, a rigid-flexible printed circuit board coupled to the rigid printed circuit board, and a rigid-flexible printed circuit board similar to a multi- It is divided into printed circuit board. In particular, the flexible copper clad laminate (FCCL), which is a raw material for flexible printed circuit boards, is used in digital home appliances such as mobile phones, digital camcorders, notebooks, and LCD monitors. Due to its flexibility, Is rapidly increasing.
연성동장 적층판은 폴리머 필름층과 금속 전도층을 적층한 것으로 가요성을 갖는 것이 특징이다. 연성동장 적층판은 특히 유연성이나 굴곡성이 요구되는 전자기기 또는 전자기기의 소재 부분에 이용되며, 전자기기의 소형화, 경량화에 공헌하고 있다.The flexible copper-clad laminate is a laminate of a polymer film layer and a metal conductive layer, and is flexible. The flexible copper-clad laminate is used in a part of a material of electronic equipment or electronic equipment which requires flexibility and flexibility, and contributes to miniaturization and weight reduction of electronic equipment.
이와 같은 기술과 관련된 종래의 연성동장 적층판은 크게 동박에 폴리이미드계 수지를 도포하는 방식과 폴리머 필름 위에 구리를 증착하는 방식으로 나뉘어진다. 특히 구리 증착 방식은 매우 얇은 두께의 구리막 형성이 가능하다. Conventional flexible copper-clad laminates related to this technology are largely divided into a method of applying a polyimide resin to a copper foil and a method of depositing copper on a polymer film. Particularly, the copper deposition method can form a very thin copper film.
증착 방식의 연성동장 적층판은 폴리머 필름 위에 스퍼터링(sputtering) 방식으로 타이코트(tiecoat) 층을 형성한 후, 이를 구리 전해 도금조를 통해 연속적으로 통과시키면서 구리를 전해 도금하여 제조한다.The flexible copper clad laminate of the deposition type is produced by forming a tie coat layer on a polymer film by a sputtering method and then electrolytically plating copper while continuously passing the tiecoat layer through a copper electrolytic plating bath.
상기 제작된 연성동장 적층판은 회로 형성 후 회로상에 반도체 칩이나 전기 소자 등이 실장되어 사용되며, 드라이버 IC(Driver IC)의 소형화, 다핀화, 협 피치(pitch)화가 급속히 진행되고 있는 상황이다. 따라서, 에칭성, 박리강도, 박막 밀도 특성 등의 물성이 우수한 연성동장 적층판이 요구된다.In the fabricated flexible copper-clad laminate, a semiconductor chip, an electric element, or the like is mounted on a circuit after the circuit is formed, and the miniaturization, the multi-pin, and the narrow pitch of the driver IC are rapidly proceeding. Therefore, there is a demand for a flexible copper-clad laminate having excellent physical properties such as an etching property, a peel strength, and a thin film density characteristic.
이러한 동장 적층판의 물성들 중 박리강도 관련해서는, 특히 고온박리 강도 특성의 향상을 위한 많은 노력들이 있었으나, 여전히 충분히 만족할 만한 고온박리 강도를 얻어내지 못하고 있는 실정이다.Regarding the peel strength of the properties of such a copper-clad laminate, there have been many attempts to improve the high-temperature peel strength characteristics, but the high-temperature peel strength still satisfactory can not be obtained.
본 발명은 상술한 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온 박리강도를 현저히 향상시킬 수 있는 기술을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a technique capable of remarkably improving high-temperature peeling strength between a resin layer and a tie coat layer.
다만, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 과제에 제한되지 않으며, 위에서 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래에 기재된 발명의 설명으로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood, however, that the technical scope of the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and other technical subjects not mentioned above can be understood by those skilled in the art from the description of the invention described below.
본 발명자들은, 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온박리 강도를 향상시킬 수 있는 기술을 개발하기 위해 연구를 거듭하였다. 그 결과, 본 발명자들은, 수지 층과 금속 층간의 박리 후 금속 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O, C=O 결합비(binding ratio)가 일정 수준 이상이 되도록 제어 하고, 또한 박리 후의 금속 층 표면에서 나타나는 조도가 일정 범위 이내가 되도록 제어함으로써 요구되는 강도를 만족시키는 연성동장 적층판을 제조하기에 이르렀다.The present inventors have repeatedly studied to develop a technique for improving the high-temperature peeling strength between the resin layer and the tie coat layer. As a result, the inventors of the present invention have found that control is performed such that the CC, CN, CO, and C = O binding ratios appearing on the surface of the metal layer after peeling between the resin layer and the metal layer are at a certain level or more, So as to satisfy the required strength by controlling the illuminance appearing on the surface to be within a certain range to produce a flexible copper-clad laminate.
이와 같은 연구에 따라 개발된 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층; 상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 것이다.The flexible copper-clad laminate according to one embodiment of the present invention developed in accordance with the above-described study comprises: a resin layer; A tie coat layer formed on the resin layer; And a copper layer formed on the tie coat layer, wherein a binding ratio of CC, CN, CO and C = O appearing on the surface of the tie coat layer at the time of peeling between the resin layer and the tie coat layer ) Is at least 40 at%, at least 25 at%, at least 7 at%, and at least 10 at%.
상기 수지 층은, 상기 수지 층은 폴리이미드(PI) 수지로 이루어질 수 있다.In the resin layer, the resin layer may be made of a polyimide (PI) resin.
상기 수지 층은, 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상일 수 있다.The resin layer may have a binding ratio of C-C, C-N, C-O, and C = O at the surface thereof of 75 at% or more, 20 at% or more, 5 at% or more, and 10 at% or more.
상기 타이코트 층은, 상기 박리 후에 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 일 수 있다.The tie coat layer may have an illuminance appearing on the surface after peeling from 12 nm to 19 nm.
상기 타이코트 층은, Ni, Mo 및 Nb를 함유하는 합금으로 이루어질 수 있다.The tie coat layer may be made of an alloy containing Ni, Mo and Nb.
상기 타이코트 층은, 5nm 내지 35nm 의 두께로 형성될 수 있다.The tie coat layer may be formed to a thickness of 5 nm to 35 nm.
상기 구리 층은, 상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 시드 층; 및 상기 구리 시드 층 상에 형성되는 구리 피막 층을 포함할 수 있다.Wherein the copper layer comprises: a copper seed layer formed on the tie coat layer; And a copper coating layer formed on the copper seed layer.
상기 구리 시드 층은, 10nm 내지 100nm 의 두께로 형성될 수 있다.The copper seed layer may be formed to a thickness of 10 nm to 100 nm.
상기 구리 피막 층은, 5㎛ 내지 15㎛ 의 두께로 형성될 수 있다.The copper coating layer may be formed to a thickness of 5 탆 to 15 탆.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로 기판은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판의 구리 층에 형성된 배선 패턴을 구비한다.A printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a wiring pattern formed on a copper layer of a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판의 제조방법은, (a) 수지 층을 이루는 폴리머 필름을 준비하는 단계; (b) 수지 층 상에 플라즈마 전처리를 수행하는 단계; (c) 플라즈마 전처리가 수행된 상기 수지 층 상에 타이코트 층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 타이코트 층 상에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함하며, 상기 (b)단계는, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 수지 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이 되도록 플라즈마 처리를 수행하는 단계에 해당한다.A method of manufacturing a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention includes the steps of: (a) preparing a polymer film constituting a resin layer; (b) performing a plasma pretreatment on the resin layer; (c) forming a tie coat layer on the resin layer on which plasma pretreatment has been performed; And (d) forming a copper layer on the tie coat layer; Wherein a binding ratio of CC, CN, CO and C = O at the surface of the resin layer at the time of peeling between the resin layer and the tie coat layer is 40 at% Or more, 25 at% or more, 7 at% or more, and 10 at% or more.
상기 (b)단계는, 상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.The step (b) may be a step of performing a plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer after peeling is 12 nm to 19 nm.
상기 (b)단계는, 상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.The step (b) may be a step of performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer after peeling is 12 nm to 19 nm.
상기 (b)단계는, 질소 가스를 이용하여 2.0 내지 2.5kV 의 전압 조건 하에서 플라즈마 전처리를 수행하는 단계일 수 있다.The step (b) may be a step of performing a plasma pretreatment under a voltage condition of 2.0 to 2.5 kV using nitrogen gas.
본 발명의 일 측면에 따르면, 연성동장 적층판을 이루는 수지 층과 타이코트 층 사이의 고온 박리강도가 향상됨으로써 우수한 품질을 갖는 연성동장 적층판을 얻을 수 있게 된다.According to an aspect of the present invention, a high-temperature peel strength between a resin layer and a tie coat layer constituting a flexible copper-clad laminate is improved, thereby obtaining a flexible copper-clad laminate having excellent quality.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 연성동장 적층판의 품질을 향상시킴으로써 연성동장 적층판의 구리 층 상에 배선패턴을 형성하여 제조되는 인쇄 회로기판의 품질 또한 현저히 향상될 수 있다.According to another aspect of the present invention, the quality of the printed circuit board manufactured by forming the wiring pattern on the copper layer of the flexible copper clad laminate by improving the quality of the flexible copper clad laminate can be significantly improved.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 상술한 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동박 적층판의 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and form a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description of the invention given above, serve to further the understanding of the technical idea of the invention. And should not be construed as limiting.
1 is a sectional view of a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concept of the term appropriately in order to describe its own invention in the best way. It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.
도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판 및 그 제조방법을 설명하기로 한다.1, a flexible copper-clad laminate according to an embodiment of the present invention and a method of manufacturing the same will be described.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동박 적층판의 단면도이다.1 is a sectional view of a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판은, 수지 층(1), 타이코트 층(2) 및 구리 층(3)이 순차적으로 적층되어 이루어진다.Referring to FIG. 1, a flexible copper clad laminate according to an embodiment of the present invention includes a
상기 수지 층(1)은, 폴리 이미드(PI) 수지로 이루어진 필름에 해당한다.The
본 발명에 이용되는 상기 수지 층(1)은, 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상으로 나타난다.In the resin layer (1) used in the present invention, the binding ratios of C-C, C-N, C-O and C═O appearing on the surface are 75at% or more, 20at% or more, 5at% or more and 10at% or more, respectively.
상기 타이코트 층(2)은, 수지 층(1)과 구리 층(3) 사이의 접착력 향상을 위해 수지 층(1) 상에 형성되는 것으로서, 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo) 및 나이오븀(Nb)을 함유하는 합금으로 이루어진다.The
상기 타이코트 층(2)은, 수지 층(1) 상에 건식 도금법의 일종인 스퍼터링(sputtering)법에 의해 증착될 수 있으며, 대략 5nm 내지 35nm 범위의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.The
상기 타이코트 층(2)의 두께가 5mm 미만인 경우, 인쇄회로 기판의 제작을 위해 연성동장 적층판의 에칭을 통해 배선 패턴을 형성시키는 공정을 진행함에 있어서 수지 층(1)과 타이코트 층(2) 사이의 박리강도 저하의 우려가 있다.When the thickness of the
이와는 반대로, 상기 타이코트 층(2)의 두께가 35mm를 초과하는 경우에는 에칭 공정이 용이하지 않게 되는 문제점이 있다.On the contrary, when the thickness of the
상기 구리 층(3)은, 타이코트 층(2) 상에 형성되는 것으로서, 구리 시드 층(3a) 및 구리 피막 층(3b)을 포함한다. 상기 구리 시드 층(3a)은 타이코트 층(2) 상에 스퍼터링법에 의해 증착되어 형성되는 층으로서, 대략 10nm 내지 100nm 의 두께로 형성된다.The
상기 구리 피막 층(3b)은, 구리 시드 층(3a) 상에 전해 도금법에 의해 형성되는 층으로서, 대략 5㎛ 내지 15㎛ 범위의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the
한편, 본 발명에 있어서, 상기 수지 층(1) 표면의 오염 물질을 제거하고 표면을 개질하기 위해 상기 타이코트 층(2)의 형성에 앞서 수지 층(1)에 대한 플라즈마 전처리 공정이 수행된다.On the other hand, in the present invention, a plasma pretreatment process for the resin layer (1) is performed prior to the formation of the tie coat layer (2) in order to remove contaminants on the surface of the resin layer (1) and modify the surface.
이러한 플라즈마 전처리 공정은, DC 플라즈마 공정, RF 플라즈마 공정 또는 Ion 플라즈마 공정을 이용하여 수행될 수 있으며, 질소(N2) 가스를 이용하여 대략 2.0 내지 2.5kV의 전압 범위에서 수행될 수 있다.Such a plasma pretreatment process may be performed using a DC plasma process, an RF plasma process, or an Ion plasma process, and may be performed using a nitrogen (N 2 ) gas at a voltage range of approximately 2.0 to 2.5 kV.
이와 같이, 플라즈마 전처리 공정을 진행함에 있어서, 세부적인 공정 조건들을 제한함으로써, 연성동장 적층판의 물성을 조절할 수 있다.In this way, the physical properties of the flexible copper-clad laminate can be controlled by limiting the detailed process conditions in the plasma pretreatment process.
아래 표1을 참조하면, 상기 플라즈마 전처리 공정을 거친 수지 층(1)을 이용하여 제작된 연성동장 적층판에 대한 고온박리 강도 실험 결과가 나타나 있다.Referring to Table 1 below, the results of the high-temperature peel strength test for the flexible copper-clad laminate produced using the
평가시료의 준비Preparation of Evaluation Sample
기판으로 이용되는 폴리이미드(PI) 기재의 일 면에 스퍼터를 이용하여 타이코트 층(NiMoNb)를 20nm 두께로 증착하고, 그 위에 구리 시드 층을 60nm 두께로 증착하였다. 그리고, 전기도금을 이용하여 12㎛ 두께로 구리 피막 층을 형성하였다.A tie coat layer (NiMoNb) was deposited to a thickness of 20 nm on one surface of a polyimide (PI) substrate used as a substrate, and a copper seed layer was deposited thereon to a thickness of 60 nm. Then, a copper coating layer was formed to a thickness of 12 탆 by electroplating.
타이코트 층을 성막하기 전에 PI 표면을 플라즈마 처리를 통해 표면 개질을 해주게 되면, 고온 열처리 후의 연성동장 적층판에 있어서 우수한 고온박리강도 특성을 갖게 된다. 플라즈마 처리는 PI 표면의 기능기(functional group)의 비율을 변화시키고 이로 인해 금속 층과 수지 층 사이의 박리강도가 달라지게 된다.When the surface of the PI is subjected to surface modification through plasma treatment before forming the tie coat layer, the resulting soft copper-clad laminate after high-temperature heat treatment has excellent high-temperature peel strength characteristics. Plasma treatment changes the ratio of the functional group of the PI surface, which results in different peel strength between the metal layer and the resin layer.
물성 측정방법How to measure property
- 박리강도: 필강도 측정은 IPC-TM-650, NUMBER2.4.9 에 준거한 방법으로 행하였으며, UTM 장비를 사용하여 8개 측정 후 max, min 값을 제외한 나머지 값의 평균을 구하는 방식으로 결정하였다. 내열성의 지표로서 1mm의 리드를 형성한 필름 기재를 150℃의 오븐에 168시간 방치하고 꺼낸 후 박리강도를 평가하였다.- Peel Strength: Peel strength was measured in accordance with IPC-TM-650, NUMBER 2.4.9, and after 8 measurements using UTM equipment, the average value of the remaining values except min and min was determined . The film base on which a 1 mm lead was formed as an index of heat resistance was left in an oven at 150 캜 for 168 hours, and the peel strength was evaluated.
- 화학적 결합상태(XPS 분석): X-ray를 조사하여 원자의 core electron 의 운동 에너지를 측정하여 원자의 화학 결합 상태를 확인하였다(AXIS-His, KRATOS 社).- Chemical bonding state (XPS analysis): X-ray was irradiated to measure the kinetic energy of the core electron of the atom to confirm the chemical bonding state of the atom (AXIS-His, KRATOS).
- 표면조도(AFM 분석): micro tip을 이용하여 표면의 조도를 관찰하였다(NANO Stationall. Surface imaging system 社).- Surface roughness (AFM analysis): The surface roughness was observed using a micro tip (NANO Stationall. Surface imaging system).
상기 실험 결과에 따르면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성동장 적층판을 구성하는 수지 층(1)과 타이코트 층(2) 간의 박리 시에 타이코트 층(2)의 표면(박리 이 전에는 수지 층(1)과 맞닿아 있던 면)에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 경우 연성동장 적층판의 고온박리 강도가 높게 나타남을 확인할 수 있다.According to the results of the experiment, when the
또한, 상기 실험 결과에 따르면, 박리 이 후에 측정된 타이코트 층(2)의 표면(박리 이 전에는 수지 층(1)과 맞닿아 있던 면)의 조도는 12nm 내지 19nm 범위를 나타내는 경우 연성동장 적층판의 고온박리 강도가 충분히 높게 나타나는 것임을 확인할 수 있다.According to the above test results, when the roughness of the surface of the
한편, 상술한 바와 같은 물성을 갖는 연성동장 적층판의 구리 층(2) 및 타이코트 층(2)을 포토 에칭 등의 방법을 이용하여 에칭함으로써 원하는 배선 패턴을 형성할 수 있으며, 이로써 우수한 물성을 갖는 인쇄회로 기판(PCB)을 얻을 수 있게 된다.On the other hand, a desired wiring pattern can be formed by etching the
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not to be limited to the details thereof and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. And various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.
1: 폴리머 필름
2: 타이코트 층
3: 구리 층
3a: 구리 시드 층
3b: 구리 피막 층1: polymer film 2: tie coat layer
3:
3b: Copper coating layer
Claims (14)
상기 수지 층 상에 형성되는 타이코트 층; 및
상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 층을 포함하며,
상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)는 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상인 연성동장 적층판.Resin layer;
A tie coat layer formed on the resin layer; And
And a copper layer formed on the tie coat layer,
The binding ratios of CC, CN, CO and C = O appearing on the surface of the tie coat layer at the time of peeling between the resin layer and the tie coat layer are 40 at% or more, 25 at% or more, 7 at% or more, 10at% or more.
상기 수지 층은,
상기 수지 층은 폴리이미드(PI) 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.The method according to claim 1,
The resin layer
Wherein the resin layer is made of a polyimide (PI) resin.
상기 수지 층은,
표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼가 각각 75at% 이상, 20at% 이상, 5at% 이상 및 10at% 이상인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.3. The method of claim 2,
The resin layer
Wherein the binding ratios of CC, CN, CO and C = O appearing on the surface are 75at% or more, 20at% or more, 5at% or more and 10at% or more, respectively.
상기 타이코트 층은,
상기 박리 후에 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.The method according to claim 1,
The tie coat layer
Wherein the roughness appearing on the surface after peeling is 12 nm to 19 nm.
상기 타이코트 층은,
Ni, Mo 및 Nb를 함유하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.The method according to claim 1,
The tie coat layer
Ni, Mo and Nb. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
상기 타이코트 층은,
5nm 내지 35nm 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.The method according to claim 1,
The tie coat layer
Wherein the flexible copper clad laminate is formed to a thickness of 5 nm to 35 nm.
상기 구리 층은,
상기 타이코트 층 상에 형성되는 구리 시드 층; 및
상기 구리 시드 층 상에 형성되는 구리 피막 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.The method according to claim 1,
The copper layer may be formed,
A copper seed layer formed on the tie coat layer; And
And a copper coating layer formed on the copper seed layer.
상기 구리 시드 층은,
10nm 내지 100nm 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.8. The method of claim 7,
The copper seed layer may include,
Wherein the flexible copper clad laminate has a thickness of 10 nm to 100 nm.
상기 구리 피막 층은,
5㎛ 내지 15㎛ 의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판.8. The method of claim 7,
The copper coating layer may be formed,
Wherein the flexible copper clad laminate is formed to a thickness of 5 to 15 占 퐉.
(b) 수지 층 상에 플라즈마 전처리를 수행하는 단계;
(c) 플라즈마 전처리가 수행된 상기 수지 층 상에 타이코트 층을 형성하는 단계; 및
(d) 상기 타이코트 층 상에 구리 층을 형성하는 단계; 를 포함하며,
상기 (b)단계는, 상기 수지 층과 타이코트 층 간의 박리 시에 상기 수지 층의 표면에서 나타나는 C-C, C-N, C-O 및 C=O 의 바인딩 레이쇼(binding ratio)가 각각 40at% 이상, 25at% 이상, 7at% 이상 및 10at% 이상이 되도록 플라즈마 처리를 수행하는 단계인 연성동장 적층판의 제조방법.(a) preparing a polymer film constituting a resin layer;
(b) performing a plasma pretreatment on the resin layer;
(c) forming a tie coat layer on the resin layer on which plasma pretreatment has been performed; And
(d) forming a copper layer on the tie coat layer; / RTI >
Wherein the binding ratio of CC, CN, CO and C = O at the surface of the resin layer at peeling between the resin layer and the tie coat layer is 40 at% or more and 25 at% or more, Or more, 7 at% or more, and 10 at% or more of the total thickness of the flexible copper clad laminate.
상기 (b)단계는,
상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판의 제조방법.12. The method of claim 11,
The step (b)
And performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer after peeling becomes 12 nm to 19 nm.
상기 (b)단계는,
상기 박리 후에 상기 타이코트 층의 표면에서 나타나는 조도가 12nm 내지 19nm 가 되도록 플라즈마 전처리를 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판의 제조방법.12. The method of claim 11,
The step (b)
And performing plasma pretreatment so that the roughness appearing on the surface of the tie coat layer after peeling becomes 12 nm to 19 nm.
상기 (b)단계는,
질소 가스를 이용하여 2.0 내지 2.5kV 의 전압 조건 하에서 플라즈마 전처리를 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 연성동장 적층판의 제조방법.12. The method of claim 11,
The step (b)
And performing a plasma pretreatment under a voltage of 2.0 to 2.5 kV using nitrogen gas.
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|---|---|---|---|---|
| JP2006306009A (en) * | 2004-07-27 | 2006-11-09 | Kakogawa Plastic Kk | Two-layer film, method for producing two-layer film and method for manufacturing printed wiring board |
| KR20090092342A (en) * | 2007-01-24 | 2009-08-31 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | Two-layer flexible substrate, method for manufacturing the two-layer flexible substrate, and flexible printed wiring board manufactured from the two-layer flexible substrate |
| KR101189132B1 (en) * | 2012-01-20 | 2012-10-10 | 엘에스엠트론 주식회사 | Flexible circuit clad laminate, printed circuit board using it, and method of manufacturing the same |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006306009A (en) * | 2004-07-27 | 2006-11-09 | Kakogawa Plastic Kk | Two-layer film, method for producing two-layer film and method for manufacturing printed wiring board |
| KR20090092342A (en) * | 2007-01-24 | 2009-08-31 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | Two-layer flexible substrate, method for manufacturing the two-layer flexible substrate, and flexible printed wiring board manufactured from the two-layer flexible substrate |
| KR101189132B1 (en) * | 2012-01-20 | 2012-10-10 | 엘에스엠트론 주식회사 | Flexible circuit clad laminate, printed circuit board using it, and method of manufacturing the same |
| JP2013147016A (en) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Ls Mtron Ltd | Flexible circuit copper clad laminate, printed circuit board using the same, and method of manufacturing the same |
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