KR20160124384A - Sensor element for sensing particle concentration - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스혼합물내의 입자농도를 측정하기 위한 가스 센서용 센서소자에 관한 것으로, 센서소자(10)가 측정될 가스에 노출되는 적어도 하나의 측정전극(14, 16), 센서소자(10)에 통합구성되는 적어도 하나의 온도측정요소(30)와, 센서소자(10)에 통합구성되어 있고 센서소자(10) 내에서 공간적으로 측정전극(14, 16)과 온도측정요소(30) 사이에 배치되는 적어도 하나의 가열요소(40)를 포함한다.The present invention relates to a sensor element for a gas sensor for measuring the concentration of particles in a gas mixture, wherein the sensor element (10) comprises at least one measuring electrode (14, 16) exposed to the gas to be measured, At least one temperature measuring element 30 integrated with the sensor element 10 and arranged in a space between the measuring electrodes 14 and 16 and the temperature measuring element 30 in the sensor element 10, At least one heating element (40).
Description
본 발명은 가스혼합물에서 입자농도를 측정하기 위한 센서소자에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor element for measuring particle concentration in a gas mixture.
환경관련법률이 한층 강화됨에 따라 연소배기가스 내에 포함되어 있는 매연입자를 여과하거나 제거할 수 있는 배기가스 후처리시스템은 그 중요성이 증가하고 있다. 이러한 배기가스 후처리시스템의 신뢰성을 체크하거나 모니터하기 위하여, 장시간 사용하여도 연소배기가스 내에 존재하는 순간입자농도를 정확히 확인할 수 있는 센서가 요구된다. 아울러, 시스템의 안전도를 높여 보다 비용효율적인 필터재료를 사용할 수 있도록 하기 위하여, 이러한 센서를 이용함으로써, 배기가스 시스템에 제공된 디젤입자필터의 포화도를 예측할 수 있어야 한다.As environmental legislation is further strengthened, the importance of the exhaust gas aftertreatment system, which can filter or remove the soot particles contained in the combustion exhaust gas, is increasing. In order to check or monitor the reliability of such an exhaust gas aftertreatment system, there is a need for a sensor that can accurately determine the instantaneous particle concentration present in the exhaust gas even when used for a long time. In addition, by using such sensors, it is necessary to predict the degree of saturation of the diesel particulate filter provided in the exhaust gas system, in order to increase the safety of the system and enable the use of more cost effective filter materials.
종래 기술로서, 미국특허공개공보 제2013/0257460 A1호(2013.10.03) "Particulate matter sensor with two pairs of sensing electrodes and methods of using same"는 유체흐름 내의 물질을 검출하기 위한 센서를 기술하고 있으며, 이러한 센서는 세라믹 다층기판상에 배치된다. 상기 센서는 상대측에 대하여 거리를 두고 배치되어 있으며 검출될 연소배기가스에 노출되는 두 개의 측정전극을 포함한다. 만약 매연입자가 두 전극 사이에 쌓여 퇴적되면 이러한 매연입자는 측정전극에 인가되는 전압에 응답하여 측정전극사이에 전류가 흐르도록 한다. 층의 형태로 구성된 가열요소는 발열을 통하여 전극과 그 주위에 쌓인 매연입자를 제거할 수 있도록 한다. As prior art, U.S. Patent Application Publication No. 2013/0257460 A1 (Feb. 3, 2013) "Particulate matter sensor with two pairs of sensing electrodes and methods of using same" describes a sensor for detecting a substance in a fluid flow, Such a sensor is disposed on a ceramic multilayer substrate. The sensor includes two measuring electrodes disposed at a distance from the counterpart and exposed to the combustion exhaust gas to be detected. If soot particles are piled up between two electrodes, these soot particles cause a current to flow between the measuring electrodes in response to the voltage applied to the measuring electrodes. The heating element, in the form of a layer, is able to remove the soot accumulated on the electrode and its surroundings through heat generation.
그러나, 이러한 종래의 센서구조에서 측정전극은 금속 도체로 구성되므로 금속 도체의 특성상 온도에 따라 팽창 및 축소가 일어나 결국 측정전극의 전기 저항은 온도에 따라 변화된다. 더구나, 이러한 온도 변화에 따른 저항 변화뿐만 아니라 매연입자에 의한 저항 변화가 동시에 일어나므로, 측정신호의 오류를 야기하게 된다.However, in such a conventional sensor structure, since the measuring electrode is formed of a metal conductor, due to the nature of the metal conductor, expansion and contraction occur depending on the temperature, so that the electrical resistance of the measuring electrode changes with temperature. Moreover, resistance changes due to such temperature changes as well as resistance changes due to soot particles occur at the same time, resulting in errors in the measurement signal.
본 발명의 목적은 정확한 온도조절이 이루어질 수 있도록 하고 비용효율적으로 수행될 수 있는 가스혼합물 내 입자의 농도를 측정하기 위한 입자농도측정용 센서소자를 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to provide a sensor element for measuring the concentration of particles for measuring the concentration of particles in a gas mixture which can be precisely controlled in temperature and can be carried out cost-effectively.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 센서 소자는 가스혼합물 내의 입자농도를 측정하기 위한 센서 소자로서, 서로 인터디지털 형으로 교차배열되도록 이격되어 전압이 인가되는 2개의 측정 전극으로 구성되되, 가스혼합물에 노출되고 상기 가스혼합물 내의 입자가 상기 2개의 측정 전극 간에 퇴적되어 이로써 상기 2개의 측정 전극 간에 저항이 변동되어 전류가 발생할 수 있는 측정요소와; 상기 측정장치의 온도를 감지하는 온도측정요소와; 공간적으로 상기 측정요소 및 온도측정요소의 사이에 배치되고 상기 측정요소를 가열하여 축적된 입자를 제거하는 가열요소를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, a sensor element according to the present invention is a sensor element for measuring a concentration of a particle in a gas mixture, the sensor element being composed of two measurement electrodes separated from each other so as to be cross- A measuring element which is exposed to the mixture and in which particles in the gas mixture are deposited between the two measuring electrodes so that the resistance between the two measuring electrodes fluctuates so that a current can be generated; A temperature measuring element for sensing the temperature of the measuring device; And a heating element disposed between the measurement element and the temperature measurement element spatially and heating the measurement element to remove the accumulated particles.
그리고, 위의 입자는 상기 입자는 매연입자일 수 있고, 본 발명에 의한 센서 소자는 상기 측정요소의 저항값 또는 전류값으로부터 가스혼합물 내의 입자농도를 평가한다.And, the above particles may be the soot particles, and the sensor element according to the present invention evaluates the particle concentration in the gas mixture from the resistance value or current value of the measuring element.
또한, 상기 측정요소, 가열요소 및 온도측정요소는 별개의 전기절연성 기판상에 형성되거나, 또는 상기 측정요소는 상기 가열요소 및 온도측정요소중의 적어도 하나와 동일한 전기절연성 기판상에 배치될 수 있다.In addition, the measurement element, the heating element and the temperature measurement element may be formed on a separate electrically insulating substrate, or the measurement element may be disposed on the same electrically insulating substrate as at least one of the heating element and the temperature measurement element .
또한, 상기 측정요소와 상기 가열요소 간의 거리와 상기 측정요소와 상기 온도측정요소 간의 거리는 동일하게 설계될 수 있다.In addition, the distance between the measurement element and the heating element and the distance between the measurement element and the temperature measurement element can be designed to be the same.
또한, 상기 전기절연성 기판의 재질은 알루미나, 코디어라이트 및 뮬라이트로 이루어진 군에서 선택될 수 있고, 상기 전기절연성 기판의 표면은 바륨함유 알루미나로 된 세라믹 절연막으로 코팅될 수 있다.Also, the material of the electrically insulating substrate may be selected from the group consisting of alumina, cordierite, and mullite, and the surface of the electrically insulating substrate may be coated with a ceramic insulating film made of barium-containing alumina.
또한, 상기 측정 전극의 재질은 Pt, 또는 Al2O3가 함유된 Pt로 될 수 있다.The material of the measuring electrode may be Pt or Pt containing Al 2 O 3 .
또한, 상기 온도측정요소 및 온도측정요소는 Pt, 또는 Al2O3가 함유된 Pt로 되는 재질의 전극으로 구성될 수 있다. 그리고, 상기 온도측정요소의 적어도 일부는 절연막으로 코팅될 수 있다.The temperature measuring element and the temperature measuring element may be composed of Pt or an electrode made of Pt containing Al 2 O 3 . At least a part of the temperature measuring element may be coated with an insulating film.
또한, 상기 측정요소의 상기 2개의 측정 전극은 상기 전기절연성 기판상의 일 종단부에 배치되고, 상기 2개의 측정 전극은 상기 일 종단부와 대향하는 상기 전기절연성 기판상의 다른 일 종단부에 배치된 2개의 단자와 각각 길이방향으로 연장된 2개의 리드선을 통하여 별개로 연결되고 이로써 상기 단자로부터 각각 전압을 공급받을 수 있다. 이때, 상기 2개의 리드선은 절연막으로 코팅될 수 있다.The two measuring electrodes of the measuring element are arranged at one end of the electrically insulating substrate, and the two measuring electrodes are arranged at the other end of the electrically insulating substrate opposite to the one end of the measuring electrode. And are separately connected through two lead wires extending in the longitudinal direction, respectively, thereby receiving a voltage from each of the terminals. At this time, the two lead wires may be coated with an insulating film.
도 1은 본 발명에 따른 센서소자의 구성을 보인 분해사시도.
도 2는 도 1에서 각각 본 발명에 의한 센서를 구성하고 있는 측정전극, 가열요소 및 온도측정요소를 보인 부분 사시도.1 is an exploded perspective view showing a configuration of a sensor element according to the present invention.
FIG. 2 is a partial perspective view showing a measuring electrode, a heating element and a temperature measuring element constituting the sensor according to the present invention in FIG. 1; FIG.
본 발명은 위와 같은 센서소자의 두 측정 전극을 서로 인터디지털(interdigital) 형으로 교차배열하여 전극 간을 폭이 좁고 구불구불한 형태로 구성한다. 이리하면 이들 전극 간의 저항이 매연입자의 미소한 퇴적량에도 크게 영향을 받게 되므로 전기적 감도가 크게 증가될 수 있다. In the present invention, the two measurement electrodes of the above-described sensor element are arranged in an interdigital manner so as to form a narrow width and a serpentine shape between the electrodes. In this case, the resistance between these electrodes is greatly influenced by the minute accumulation amount of the soot particles, so that the electrical sensitivity can be greatly increased.
또한, 본 발명에서는 이러한 측정전극 영역의 온도를 감지하고 온도변화에 따른 전류변화를 모니터링함으로써 측정값의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. Further, in the present invention, the reliability of the measured value can be improved by sensing the temperature of the measuring electrode region and monitoring the current change according to the temperature change.
이하 본 발명을 해당 도면을 참조하며 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 센서소자의 일 실시형태의 구조를 보인 것으로, 도 1은 센서소자의 분해사시도이고, 도 2는 센서소자를 구성하는 측정전극, 가열전극 및 온도전극을 보인 부분 사시도이다.1 and 2 show a structure of an embodiment of a sensor element according to the present invention. FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor element, and FIG. 2 shows a measurement electrode, a heating electrode, Partial perspective view.
도 1~2를 참조하면, 이러한 세라믹 센서소자(10)는 주위의 가스혼합물에서 매연농도와 같은 입자농도를 측정하기 위하여 사용된다. Referring to Figs. 1 and 2, such a
센서소자(10)는 예를 들어 복수의 절연층 또는 절연기판 (11a, 11b)이 적층된 구조형태를 포함한다. 이들 절연층의 재질은 알루미나(Al2O3), 코디어라이트 및 뮬라이트로 이루어진 군에서 선택되는 절연물질로 됨이 바람직하고, 예를 들어 세라믹 포일 또는 평면상 세라믹 동체의 형태로 구성될 수 있다. 그리고, 이러한 절연층은 위와 같은 세라믹 조성 슬러리를 예를 들어 통상의 닥터 블레이드 등을 이용하여 테이프 캐스팅하여 각각 적층될 수 있다.The
그리고, 위의 절연층(11a, 11b)의 표면상에는 복수의 절연막(12a, 12b)이 코팅되되, 예를 들어 세라믹 페이스트를 스크린 인쇄하여 형성될 수 있다. 이러한 세라믹 조성은 장시간의 온도변화(예컨대, 600℃ 이상의 범위에서)와 수분 및 배기가스의 압력 변화에서도 일정하게 높은 전기저항값을 유지하는 바륨(Ba) 함유 알루미나(Al2O3)가 바람직하다. 그러나, 이 대신 CeO2가 사용되거나 또는 기타 알칼리토류 산화물이 첨가될 수도 있다. 그리고, 위와 같이 적층된 세라믹 동체는 아래 설명하는 측정전극, 가열전극 및 온도전극과 동시 소성된다.A plurality of
도 1~2에 도시하듯이, 센서소자(10)의 일면에는 예를 들어 2개의 측정전극(14, 16)이 도포되며, 이는 상호 교차배치되는 인터디지털형 전극으로 구성될 수 있다. 이러한 인터디지털형 전극은 서로 교차배치되므로 이들 전극 간에 부착되는 매연물질에 민감하게 전기저항 또는 전도성이 변화된다. 이러한 측정전극(14, 16)은 금속도체, 바람직하게는 Pt로 되거나 또는 알루미나 등의 세라믹이 함유된 Pt의 재질로 되는 것이 바람직하다.As shown in FIGS. 1 and 2, for example, two measuring
그리고, 측정전극(14, 16)의 단자(18, 20)는 가스혼합물로부터 멀리 떨어진 반대측 단부영역에 형성됨이 바람직하고, 아울러 이들 단자(18, 20)로부터 측정전극(14, 16)까지의 리드선 영역은 가스혼합물로부터의 차폐를 위하여 절연막(12b)으로 코팅될 수 있다. 이러한 절연막은 상기 2개의 측정 전극의 높이보다 더 큰 두께를 갖도록 함이 바람직하다.The
직류나 교류의 전원이 인가된 센서소자(10)의 주위에 가스혼합물을 유동시키면, 가스혼합물이 매연을 포함하는 경우, 매연 입자는 특히 센서소자(10)의 표면에 퇴적될 것이다. 그리고, 측정전극(14, 16)의 표면이 매연으로 충분히 포화된 경우, 매연 입자는 소정의 전도성을 가지므로, 그 포화정도에 따라 측정전극(14, 16) 간에 전류가 증가하게 된다. 그리고, 본 발명에 의하면, 측정전극(14, 16)에 공급되는 인가전압을 조정하면, 발생하는 전류 크기를 조절하여 감도를 조정할 수 있다.When the gas mixture is flowed around the
이러한 전류값의 변화를 감지하여 다음과 같이 가스혼합물의 입자들에 대한 데이터를 수집할 수 있다. 일 예로서, 시간에 대한 전류량의 적분값으로부터, 퇴적입자질량과 순간입자질량 유동, 특히 매연입자질량 유동, 가스혼합물에서의 입자농도 등에 관한 결론을 도출해낼 수 있다. 다른 일 예로서, 시간에 대한 전류의 증가, 즉 시간에 대한 전류 미분계수로부터 퇴적입자질량, 순간입자질량, 특히 매연입자질량 및 가스혼합물에서의 입자농도에 관하여 결론을 도출할 수 있다. 즉, 이러한 측정값은 가스혼합물의 유동속도에 기초하여 입자농도를 계산해낼 수 있고, 이러한 가스혼합물의 유동속도나 체적유량은 별도의 적절한 센서에 의해 측정가능하다.By sensing the change in the current value, data on the particles of the gas mixture can be collected as follows. As an example, conclusions can be drawn from the integrated value of the amount of current over time for sediment particle mass and momentary particle mass flow, in particular soot particle mass flow, particle concentration in the gas mixture, and the like. As another example, conclusions can be drawn regarding the accumulation particle mass, the instantaneous particle mass, in particular the soot particle mass and the particle concentration in the gas mixture, from the current differential over time, i.e. current differential coefficient with time. That is, these measured values can be used to calculate the particle concentration based on the flow rate of the gas mixture, and the flow rate or volumetric flow rate of such a gas mixture can be measured by a suitable sensor.
또한, 센서소자(10)의 측정전극(14, 16) 간에 위와 같이 가스혼합물질이 퇴적이 지속적으로 축적되면 연속된 측정이 어려워지므로 이를 가스혼합물의 온도까지 가열하여 센서소자(10)의 표면에 퇴적된 매연입자를 연소시키기 위한 가열전극(40)을 구비함이 바람직하다. 이러한 가열전극(40)은 전기저항회로 도체로서 구성되되, 저항회로 도체는 특히 Pt, 또는 Al2O3 등의 세라믹이 함유된 Pt의 조성으로 되는 것이 바람직하다. 이러한 가열전극(40)의 단자(41, 42)는 예를 들어 도 1에 도시하듯이 바이어 홀(51, 52)을 통해 단자전극(61, 62)과 연결됨으로써 외부의 전원으로부터 전압을 인가받아 작동할 수 있다. 또한, 이러한 전압은 가열온도를 조절하도록 가변될 수 있다.If the accumulation of the gas mixture material continuously accumulates between the
한편, 센서소자(10)에서 측정전극(14, 16) 간의 전기저항은 온도에 크게 의존하므로 온도를 모니터링하는 것이 필요하다. 이를 위하여, 본 발명에 의하면, 도 1에 도시하듯이 금속 도체, 특히 Pt, 또는 Al2O3 등의 세라믹이 함유된 Pt의 조성으로 되는 전극으로 구성된 온도전극(30)이 구비된다. 이러한 온도전극(30)은 또한 통상의 측온 저항체(RTD: Resistance Temperature Detector)로 구성될 수도 있다.On the other hand, it is necessary to monitor the temperature because the electrical resistance between the
상기 온도전극(30)은 그의 종단에 배치된 단자(31, 32)를 통해 온도에 따라 변화하는 저항을 감지하여 온도를 산출할 수 있다. 아울러, 측정전극(14, 16)의 리드선과 마찬가지로, 온도전극(30)은 적어도 일부가 가스혼합물로부터의 차폐를 위하여 절연막(12a)으로 코팅될 수 있다. 예를 들어, 온도전극(30)은 그 전부가 또는 도 1에 도시하듯이 단자(31, 32) 영역을 제외한 나머지 부분이 절연막(12a)으로 코팅될 수 있다.The
특히, 이러한 온도전극(30)은 도 1과 같이 측정전극(14, 16) 층면에서의 공간부족으로 인해 측정전극(14, 16) 층으로부터 가열전극(40) 층을 사이에 두고 떨어져 배치되므로, 측정되는 온도값에 대해 가열전극(40)의 온도 또한 고려해야한다. 즉, 측정전극(14, 16)과 온도전극(30)에 대하여 가열전극(40)의 배열이 대칭이거나 등거리로 배치되면, 이를 기초로 온도전극(30)에 의해 측정되는 온도로 측정전극(14, 16)의 온도를 계산해낼 수 있다.In particular, since the
위와 같은 구조의 본 발명에 의한 센서소자는 가스혼합물 내의 입자농도를 측정할 수 있으며, 특히 센서의 온도를 항상 모니터링하여 정확한 입자의 농도를 측정가능하므로, 예를 들어 배기가스 후처리시스템, 특히 디젤엔진의 작동상태를 모니터하고 입자필터의 신뢰도 또는 포화도를 모니터링하기에 적합하다.The sensor element according to the present invention having the above structure can measure the concentration of particles in the gas mixture, and in particular, it is possible to always monitor the temperature of the sensor and accurately measure the concentration of the particles. Thus, for example, It is suitable for monitoring the operating condition of the engine and for monitoring the reliability or saturation of the particle filter.
아울러 본 발명의 위와 같이 개시된 내용은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be seen as belonging.
10: 센서소자, 11a, 11b: 절연층, 12a, 12b: 절연막, 14, 16: 측정전극, 18, 20: 측정전극 단자, 30: 온도전극, 31, 32: 온도전극 단자, 40: 가열전극, 41, 42: 가열전극 단자, 51, 52: 바이어 홀, 61, 62: 단자전극The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: , 41, 42: heating electrode terminal, 51, 52: via hole, 61, 62: terminal electrode
Claims (14)
서로 인터디지털 형으로 교차배열되도록 이격되어 전압이 인가되는 2개의 측정 전극으로 구성되되, 가스혼합물에 노출되고 상기 가스혼합물 내의 입자가 상기 2개의 측정 전극 간에 퇴적되어 이로써 상기 2개의 측정 전극 간에 저항이 변동되어 전류가 발생할 수 있는 측정요소와;
상기 측정장치의 온도를 감지하는 온도측정요소와;
공간적으로 상기 측정요소 및 온도측정요소의 사이에 배치되고 상기 측정요소를 가열하여 축적된 입자를 제거하는 가열요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 소자.A sensor element for measuring a particle concentration in a gas mixture,
Wherein the two measuring electrodes are arranged such that they are interdigitally arranged in an interdigital fashion and are impressed with voltage, wherein the particles in the gas mixture are deposited between the two measuring electrodes so that the resistance between the two measuring electrodes A measurement element capable of generating a current that fluctuates;
A temperature measuring element for sensing the temperature of the measuring device;
And a heating element disposed between the measurement element and the temperature measurement element spatially and heating the measurement element to remove accumulated particles.
상기 입자는 매연입자인 것을 특징으로 하는 센서 소자.The method according to claim 1,
Wherein the particle is a soot particle.
상기 측정요소의 저항값 또는 전류값으로부터 가스혼합물 내의 입자농도를 평가하는 것을 특징으로 하는 센서 소자.The method according to claim 1,
And the particle concentration in the gas mixture is evaluated from the resistance value or the current value of the measurement element.
상기 측정요소, 가열요소 및 온도측정요소는 별개의 전기절연성 기판상에 형성되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 1,
Wherein the measuring element, the heating element and the temperature measuring element are formed on a separate electrically insulating substrate.
상기 측정요소는 상기 가열요소 및 온도측정요소중의 적어도 하나와 동일한 전기절연성 기판상에 배치되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 1,
Wherein the measuring element is disposed on the same electrically insulating substrate as at least one of the heating element and the temperature measuring element.
상기 측정요소와 상기 가열요소 간의 거리와 상기 측정요소와 상기 온도측정요소 간의 거리는 동일한 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 4 or 5,
Wherein the distance between the measurement element and the heating element and the distance between the measurement element and the temperature measurement element are the same.
상기 전기절연성 기판의 재질은 알루미나, 코디어라이트 및 뮬라이트로 이루어진 군에서 선택된 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 4 or 5,
Wherein the material of the electrically insulating substrate is selected from the group consisting of alumina, cordierite, and mullite.
상기 전기절연성 기판의 표면은 바륨함유 알루미나로 된 세라믹 절연막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 4 or 5,
Wherein the surface of the electrically insulating substrate is coated with a ceramic insulating film made of barium-containing alumina.
상기 측정 전극의 재질은 Pt, 또는 Al2O3가 함유된 Pt로 되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 1,
Wherein the measuring electrode is made of Pt or Pt containing Al 2 O 3 .
상기 온도측정요소는 Pt, 또는 Al2O3가 함유된 Pt로 되는 재질의 전극으로 구성되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 1,
Wherein the temperature measuring element is made of Pt or an electrode made of Pt containing Al 2 O 3 .
상기 측정요소의 상기 2개의 측정 전극은 상기 전기절연성 기판상의 일 종단부에 배치되고, 상기 2개의 측정 전극은 상기 일 종단부와 대향하는 상기 전기절연성 기판상의 다른 일 종단부에 배치된 2개의 단자와 각각 길이방향으로 연장된 2개의 리드선을 통하여 별개로 연결되고 상기 단자로부터 각각 전압을 공급받는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 4 or 5,
Wherein the two measurement electrodes of the measurement element are disposed at one end of the electrically insulating substrate, and the two measurement electrodes have two terminals arranged on another end of the electrically insulating substrate opposite to the one end, And two lead wires extending in the longitudinal direction, respectively, and are supplied with voltages from the terminals, respectively.
상기 2개의 리드선은 절연막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 센서소자.12. The method of claim 11,
Wherein the two lead wires are coated with an insulating film.
상기 온도측정요소는 Pt, 또는 Al2O3가 함유된 Pt로 되는 재질의 전극으로 구성되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 1,
Wherein the temperature measuring element is made of Pt or an electrode made of Pt containing Al 2 O 3 .
상기 온도측정요소의 적어도 일부는 절연막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 센서소자.The method according to claim 4 or 5,
Wherein at least a part of the temperature measuring element is coated with an insulating film.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190102195A (en) * | 2016-12-28 | 2019-09-03 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | Sensor element for detecting particles of the measuring gas in the measuring gas chamber |
| WO2021020597A1 (en) * | 2019-07-26 | 2021-02-04 | (주)인터플렉스 | Temperature sensor and heating structure comprising same |
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2015
- 2015-04-17 KR KR1020150054662A patent/KR20160124384A/en not_active Ceased
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