KR20140081261A

KR20140081261A - Apparatus for inspecting panel

Info

Publication number: KR20140081261A
Application number: KR1020120150821A
Authority: KR
Inventors: 최백영; 이수현; 박세호
Original assignee: 주식회사 쓰리비 시스템
Priority date: 2012-12-21
Filing date: 2012-12-21
Publication date: 2014-07-01

Abstract

본 발명은 패널의 결점을 검사하는 패널 검사장치에 관한 것으로서, 반사 조명부와, 투과 조명부와, 재귀 반사부와, 촬상부와, 이미지 처리부와, 제어부를 포함한다. 반사 조명부는 패널에 반사광을 조사한다. 투과 조명부는 패널에 투과광을 조사한다. 재귀 반사부는 반사 조명부로부터 조사된 반사광이 패널에서 반사되어 입사되며, 입사된 광을 입사 방향과 동일하게 패널로 재귀 반사시킨다. 촬상부는 반사 조명부로부터 조사되어 재귀 반사부에서 재귀 반사된 반사광을 이용하여 패널의 이미지를 촬상하거나 투과 조명부로부터 조사되어 패널을 투과한 투과광을 이용하여 패널의 이미지를 촬상한다. 이미지 처리부는 촬상부로부터 이미지를 전송받아, 반사광에 의한 이미지와 투과광에 의한 이미지를 구분하여 각각 결합한다. 제어부는 반사광에 의한 이미지로부터는 패널의 결점을 검출하고, 투과광에 의한 이미지로부터는 패널에 기재된 문자를 인식한다.The present invention relates to a panel inspection apparatus for inspecting defects of a panel, and includes a reflective illumination unit, a transmissive illumination unit, a retroreflective unit, an imaging unit, an image processing unit, and a control unit. The reflective illumination unit irradiates the panel with reflected light. The transmission illumination section irradiates the panel with transmitted light. The retroreflective portion reflects the light reflected from the reflective illuminating portion on the panel, and retroreflects the incident light to the panel in the same direction as the incident direction. The image pickup section picks up an image of the panel using the reflected light irradiated from the reflective illuminating section and retroreflected from the retroreflecting section or picks up an image of the panel using the transmitted light that has been irradiated from the transmission illuminating section and transmitted through the panel. The image processing unit receives the image from the imaging unit, and separates the image by the reflected light and the image by the transmitted light, and combines them. The control unit detects defects of the panel from the image by the reflected light and recognizes the characters written on the panel from the image by the transmitted light.

Description

Apparatus for inspecting panel

본 발명은 패널 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널에 광을 조사하여 요철 등의 결점을 검사하고, 패널에 기재된 문자를 인식하는 패널 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a panel inspection apparatus, and more particularly, to a panel inspection apparatus for inspecting defects such as irregularities by irradiating a panel with light and recognizing characters written on the panel.

평판 디스플레이 패널은 제조 공정 또는 취급 과정에서 불량이 발생하게 되며, 패널의 불량은 LCD 모듈이나 PDP 모듈의 불량을 유발하는 주요 원인이 된다. 이런 불량 요소를 포함하고 있는 패널의 유출을 방지하기 위해 제조사들은 검사 공정을 운영하고 있는데, 기술이 발전함에 따라 작업자의 육안 검사를 효과적으로 대체할 수 있는 패널 자동검사장치의 도입 및 적용이 늘어가고 있는 추세이다.The flat panel display panel is defective in the manufacturing process or the handling process, and the defective panel is a main cause of defective LCD module or PDP module. In order to prevent the leakage of panels containing such defective components, manufacturers are operating the inspection process. As technology develops, introduction and application of panel automatic inspection devices, which can effectively replace the visual inspection of workers, are increasing Trend.

패널의 검사는 제조 공정에서 발생할 수 있는 다양한 결점을 검출해야 하므로, 비전부, 예컨대 조명과 카메라 등을 이용한 정확한 이미지 획득 및 자동 검사 처리를 통한 불량품 유출 방지가 가장 중요한 기술 과제이다. 다양한 결점에 대응하기 위해서는 결점 종류에 따라 이미지 획득 방법을 달리 사용해야 하며 적용된 이미지 획득 방법에 맞춰 결점의 영상 획득을 위한 광학계 수량을 설정하여 검사장비에 설치해야 한다.Since inspection of the panel needs to detect various defects that can occur in the manufacturing process, it is a most important technical problem to prevent the leakage of defective products through accurate inspection of images and automatic inspection processing using non-electric parts such as illumination and cameras. In order to cope with various defects, the image acquisition method should be used differently according to the type of defect, and the number of optical systems for image acquisition of defects must be set in accordance with the applied image acquisition method and installed in the inspection equipment.

패널을 순차적으로 자동검사장비에 투입하면 컨베이어, 롤 등을 사용하여 패널을 이송시키게 되며, 이송 도중 광학계를 통과하면서 패널의 일부분에 포함되어 있는 결점의 이미지를 획득하게 된다.When the panel is sequentially inserted into the automatic inspection equipment, the panel is conveyed using a conveyor, a roll, etc., and an image of a defect included in a part of the panel is obtained while passing through the optical system during conveyance.

도 1은 종래의 패널 검사장치의 일례를 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional panel inspection apparatus.

도 1을 참조하면, 종래의 패널 검사장치는 패널(10)이 이동할 때 광원(21)은 패널(10)과 경사지게 광을 조사하고, 카메라(22)는 패널(10)을 촬상하기 위하여 패널(10)에 경사지게 설치되어 패널(10)을 라인 스캐닝한다.1, a conventional panel inspection apparatus irradiates light obliquely with the panel 10 when the panel 10 moves, and the camera 22 illuminates panels (not shown) 10 so that the panel 10 is line-scanned.

패널(10)은 유리 또는 플라스틱 재질의 베이스 기판(11)과, 베이스 기판(11)의 상하측에 각각 부착되는 광학필름(12)으로 구성된다. 베이스 기판(11)과 광학필름(12) 사이에 파티클이 삽입되어 있으면 카메라(22)를 통해 이미지를 획득하고 분석하여 이를 결점(1)으로 인식한다.The panel 10 is composed of a base substrate 11 made of glass or plastic and an optical film 12 attached to the upper and lower sides of the base substrate 11, respectively. If particles are inserted between the base substrate 11 and the optical film 12, an image is obtained and analyzed through the camera 22 and recognized as a defect (1).

한편, 일반적으로 패널(10)에는 모델 번호 등과 같은 문자(16)가 기재되어 있다. 패널 검사장치에서는 현재 검사되고 있는 패널(10)의 문자(16)를 확인하여 잘못된 모델의 패널(10)이 검사되고 있는지 여부를 확인한다.On the other hand, a character 16 such as a model number is described in the panel 10 in general. In the panel inspection apparatus, the character 16 of the panel 10 being inspected at present is checked to check whether the panel 10 of the wrong model is inspected.

그러나, 종래의 패널 검사장치에서는 패널(10)에서 반사된 광을 이용하여 이미지를 획득함에 따라 패널의 문자(16)를 제대로 인식하지 못하고, 결점(1)으로 인식하는 오류가 자주 발생하였다. 따라서, 패널(10)의 모델 번호를 제대로 확인하지 못한 상태에서 패널의 검사가 수행되어 패널(10)의 공정관리에 문제가 발생하였고, 이러한 문제를 해결하기 위해 패널의 문자(16)를 인식하기 위한 별도의 장치를 마련하여 생산 비용이 증가하는 문제가 있다.However, in the conventional panel inspecting apparatus, errors are often recognized as defects (1) because the images are obtained by using the light reflected from the panel (10) and the characters (16) of the panel are not correctly recognized. Accordingly, the panel is inspected in a state in which the model number of the panel 10 is not correctly confirmed, thereby causing a problem in the process management of the panel 10. To solve this problem, There is a problem that the production cost is increased.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반사광을 이용하여 패널의 결점을 검사하고, 투과광을 이용하여 패널의 문자를 인식함으로써, 패널의 결점 및 문자에 대한 선명한 이미지를 획득할 수 있고, 패널의 모델 번호 등을 확인하여 패널의 공정 관리를 효율적으로 수행할 수 있는 패널 검사장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for detecting defects on a panel using transmitted light, The present invention provides a panel inspection apparatus capable of efficiently managing the process of a panel by confirming the model number of the panel and the like.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 패널 검사장치는, 패널의 결점을 검사하는 패널 검사장치에 있어서, 상기 패널에 반사광을 조사하는 반사 조명부; 상기 패널에 투과광을 조사하는 투과 조명부; 상기 반사 조명부로부터 조사된 반사광이 상기 패널에서 반사되어 입사되며, 입사된 광을 입사 방향과 동일하게 상기 패널로 재귀 반사시키는 재귀 반사부; 상기 반사 조명부로부터 조사되어 상기 재귀 반사부에서 재귀 반사된 반사광을 이용하여 상기 패널의 이미지를 촬상하거나 상기 투과 조명부로부터 조사되어 상기 패널을 투과한 투과광을 이용하여 상기 패널의 이미지를 촬상하는 촬상부; 상기 촬상부로부터 이미지를 전송받아, 상기 반사광에 의한 이미지와 상기 투과광에 의한 이미지를 구분하여 각각 결합하는 이미지 처리부; 및 상기 반사광에 의한 이미지로부터는 상기 패널의 결점을 검출하고, 상기 투과광에 의한 이미지로부터는 상기 패널에 기재된 문자를 인식하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a panel inspection apparatus for inspecting defects of a panel, the apparatus comprising: a reflective illumination unit for irradiating reflected light to the panel; A transmissive illumination unit for irradiating the panel with transmitted light; A retroreflective portion that reflects the light reflected from the reflective illumination portion and is incident on the panel and retroreflects the incident light to the panel in the same direction as the incident direction; An image pickup unit for picking up an image of the panel using the reflected light reflected from the reflective illuminating unit and retroreflected by the retroreflecting unit or for picking up an image of the panel using the transmitted light that is emitted from the transparent illumination unit and transmitted through the panel; An image processing unit receiving an image from the image pickup unit and separating an image by the reflected light and an image by the transmitted light, respectively, and combining the images; And a control unit for detecting defects of the panel from the image by the reflected light and recognizing characters written on the panel from the image by the transmitted light.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 투과광에 의한 이미지에서 상기 패널의 문자가 기재된 문자 위치를 추출하고, 상기 반사광에 의한 이미지에서 상기 문자 위치에 해당하는 영역은 결점으로 처리하지 않는다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that the control section extracts a character position on which characters of the panel are written in the image by the transmitted light, and an area corresponding to the character position in the image by the reflected light is Do not treat it as a defect.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 투과광에 의한 이미지로부터 상기 패널 내부의 결점을 휘점 형태로 검출한다.In the panel inspecting apparatus according to the present invention, preferably, the control section detects defects in the panel from the image by the transmitted light, in the form of spots.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 패널은 베이스 기판과, 상기 베이스 기판에 부착된 광학필름을 구비하고, 상기 베이스 기판에 대하여 상기 광학필름이 정위치에 부착되었는지 여부를 검사하는 정렬 검사부;를 더 포함한다.Preferably, in the panel inspection apparatus according to the present invention, the panel has a base substrate and an optical film attached to the base substrate, and it is checked whether or not the optical film is attached to the base substrate in a predetermined position And an alignment inspection unit.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 정렬 검사부는, 상기 광학필름의 에지와 상기 베이스 기판의 에지를 촬상하고, 상기 광학필름의 에지와 상기 베이스 기판의 에지 사이의 간격을 검사한다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that the alignment inspection section picks up an edge of the optical film and an edge of the base substrate, and checks an interval between an edge of the optical film and an edge of the base substrate do.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 정렬 검사부는, 상기 패널의 전단부와 후단부를 감지하여 상기 패널에 대한 촬상을 명령하는 트리거 신호를 송신하는 센서;를 더 포함한다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, the alignment inspection unit may further include a sensor for sensing a front end portion and a rear end portion of the panel and transmitting a trigger signal for instructing imaging of the panel.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 정렬 검사부에 의해 불량 판정된 불량 패널을 회수하기 위하여 상기 불량 패널이 수납되는 패널 회수부;를 더 포함한다.The panel inspecting apparatus according to the present invention may further include a panel collecting unit in which the defective panel is housed in order to collect the defective panel determined to be defective by the alignment inspecting unit.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 반사 조명부, 상기 투과 조명부, 상기 재귀 반사부 및 상기 촬상부는 2개조가 마련되고, 1개조는 상기 패널의 상면을 검사하고, 나머지 1개조는 상기 패널의 하면을 검사한다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that the reflection illumination unit, the transmission illumination unit, the retroreflecting unit, and the imaging unit are provided in two tiers, one tier examines the top surface of the panel, Inspects the lower surface of the panel.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제어부는 상기 반사광에 의한 이미지와 상기 투과광 이미지를 중첩시켜 상기 패널의 손상 여부를 검사한다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, preferably, the controller overlaps the image of the reflected light with the transmitted light image to check whether the panel is damaged.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 촬상부와 상기 패널 사이에 배치되고, 상기 패널을 경유하여 상기 촬상부로 입사되는 광의 일부를 차단하는 나이프 에지;를 더 포함한다.The panel inspection apparatus according to the present invention may further comprise a knife edge disposed between the image sensing unit and the panel and intercepting a part of light incident on the image sensing unit via the panel.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 투과 조명부와 상기 패널 사이에 설치되고, 소정 영역 개구된 슬릿을 구비하며, 상기 슬릿 이외의 영역에서는 상기 투과광이 상기 패널에 전달되는 것을 차단하는 차단부;를 더 포함한다.In the panel inspecting apparatus according to the present invention, preferably, a slit is provided between the transparent illumination section and the panel and is opened to a predetermined area, and in the area other than the slit, the transmitted light is prevented from being transmitted to the panel And a shielding portion for shielding the antenna.

본 발명에 따른 패널 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 차단부의 슬릿은 사각 형상이고, 상기 슬릿을 통과하는 투과광의 광량을 조정하기 위하여 상기 슬릿의 폭은 변경 가능하다.In the panel inspection apparatus according to the present invention, preferably, the slit of the blocking portion is rectangular, and the width of the slit may be changed in order to adjust the amount of transmitted light passing through the slit.

본 발명의 패널 검사장치에 따르면, 패널의 결점 및 문자에 대한 선명한 이미지를 획득할 수 있고, 패널의 모델 번호 등을 확인하여 패널의 공정 관리를 효율적으로 수행할 수 있다.According to the panel inspection apparatus of the present invention, it is possible to acquire clear images of defects and characters of the panel, and to confirm the model number of the panel, and to efficiently perform the process management of the panel.

또한, 본 발명의 패널 검사장치에 따르면, 결점이 아닌데도 결점의 과검출로 인한 장치의 생산 효율의 저하를 방지할 수 있다.Further, according to the panel inspection apparatus of the present invention, it is possible to prevent the deterioration of the production efficiency of the apparatus due to the detection of the defect even when the defect is not a defect.

또한, 본 발명의 패널 검사장치에 따르면, 정상 제품에 대하여만 검사를 수행하여 장치의 생산 효율을 향상시킬 수 있다.Further, according to the panel inspection apparatus of the present invention, it is possible to improve the production efficiency of the apparatus by performing inspection only for the normal product.

또한, 본 발명의 패널 검사장치에 따르면, 돌출 또는 함몰된 결점에 대하여 명확하고 정확하게 판별하여 결점의 검출 정확도를 높일 수 있다.Further, according to the panel inspection apparatus of the present invention, it is possible to clearly and accurately discriminate protruding or recessed defects, thereby improving the accuracy of detection of defects.

또한, 본 발명의 패널 검사장치에 따르면, 다양한 패널에 대하여 효과적인 결점 검사를 수행할 수 있고, 지나친 광량으로 인한 포화 현상 발생을 방지할 수 있다.Further, according to the panel inspection apparatus of the present invention, effective defect inspection can be performed on various panels, and saturation phenomenon due to excessive light quantity can be prevented.

도 1은 종래의 패널 검사장치의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 패널 검사장치의 이미지 처리부를 도시한 도면이고,
도 4는 도 2의 패널 검사장치의 정렬 검사부의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고,
도 5는 도 2의 패널 검사장치의 센서의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고,
도 6은 도 2의 패널 검사장치의 이미지 처리부의 추가적인 기능을 설명하기 위한 도면이고,
도 7은 도 2의 패널 검사장치의 나이프 에지의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고,
도 8은 도 2의 패널 검사장치의 차단부를 도시한 도면이고,
도 9는 도 2의 패널 검사장치를 이용하여 노멀리 블랙 모드의 LCD 패널을 검사하는 경우 촬상되는 이미지를 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional panel inspection apparatus,
2 is a view schematically showing a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,
3 is a view showing an image processing unit of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 4 is a view for explaining the operation principle of the alignment inspection unit of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 5 is a view for explaining the operation principle of the sensor of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 6 is a diagram for explaining an additional function of the image processing unit of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 7 is a view for explaining the operation principle of the knife edge of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 8 is a view showing a blocking portion of the panel inspection apparatus of FIG. 2,
FIG. 9 is a view showing an image taken when the LCD panel of the normally black mode is inspected using the panel inspection apparatus of FIG. 2. FIG.

이하, 본 발명에 따른 패널 검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of a panel inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 패널 검사장치의 이미지 처리부를 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 패널 검사장치의 정렬 검사부의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 도 2의 패널 검사장치의 센서의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 도 2의 패널 검사장치의 이미지 처리부의 추가적인 기능을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 2의 패널 검사장치의 나이프 에지의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 도 2의 패널 검사장치의 차단부를 도시한 도면이다.FIG. 2 is a view schematically showing a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing an image processing unit of the panel inspection apparatus of FIG. 2, FIG. 5 is a view for explaining the operation principle of the sensor of the panel inspection apparatus of FIG. 2, and FIG. 6 is a view for explaining the additional function of the image processing unit of the panel inspection apparatus of FIG. FIG. 7 is a view for explaining the operation principle of the knife edge of the panel inspection apparatus of FIG. 2, and FIG. 8 is a view showing a cutoff portion of the panel inspection apparatus of FIG.

도 2 내지 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 패널 검사장치(100)는, 패널에 광을 조사하여 요철 등의 결점을 검사하고, 패널에 기재된 문자를 인식하는 것으로서, 반사 조명부(110)와, 투과 조명부(120)와, 재귀 반사부(130)와, 촬상부(140)와, 이미지 처리부(150)와, 정렬 검사부(160)와, 패널 회수부(170)와, 나이프 에지(180)와, 차단부(190)를 포함한다.Referring to FIGS. 2 to 8, the panel inspection apparatus 100 according to the present embodiment is configured to illuminate the panel to inspect defects such as irregularities, recognize characters described on the panel, An image inspection unit 150, an alignment inspection unit 160, a panel collection unit 170, a knife edge 180 (see FIG. 1) 180, a retroreflective unit 130, an image pickup unit 140, And a shutoff unit 190. The shutoff unit 190 includes a shutoff unit 190,

우선 본 발명의 패널 검사장치(100)에 의해 검사되는 패널(10)은, 유리 또는 플라스틱 재질의 베이스 기판(11)과, 베이스 기판(11)의 상하측에 각각 부착되는 광학필름(12)으로 구성된다. 패널(10)은 LCD 패널, PDP 패널 또는 OLED 패널 등 평판 디스플레이 산업에 이용되는 다양한 패널이 될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 패널(10)에는 모델 번호 등과 같은 문자(16)가 기재되어 있다.The panel 10 inspected by the panel inspection apparatus 100 of the present invention comprises a base substrate 11 made of glass or plastic and an optical film 12 adhered on the upper and lower sides of the base substrate 11 . The panel 10 may be various panels used in the flat panel display industry such as an LCD panel, a PDP panel or an OLED panel. As shown in Fig. 3, characters 16 such as a model number and the like are described in the panel 10.

상기 반사 조명부(110)는, 패널(10)에 반사광(L1)을 조사하며, 패널(10)을 기준으로 상측 및 하측 중 어느 한 측에 설치된다. 반사 조명부(110)로부터 출사된 반사광(L1)은 패널(10)의 표면에서 반사되어 후술할 재귀 반사부(130)로 입사된다. 반사 조명부(110)로는 고출력의 LED 조명유닛을 이용하며, 반사 조명부(110)는 후술할 촬상부(140)의 입구부에 동축적으로 설치된다.The reflective illumination unit 110 is provided on either the upper side or the lower side with respect to the panel 10 by irradiating the panel 10 with the reflected light L1. The reflected light L1 emitted from the reflective illumination unit 110 is reflected by the surface of the panel 10 and is incident on the retroreflective unit 130 to be described later. A high-output LED illumination unit is used as the reflective illumination unit 110, and the reflective illumination unit 110 is coaxially installed at the entrance of the imaging unit 140, which will be described later.

상기 투과 조명부(120)는, 패널(10)에 투과광(L2)을 조사하며, 패널(10)을 기준으로 상측 및 하측 중 다른 한 측에 설치된다. 투과 조명부(120)로부터 출사된 투과광(L2)은 패널(10)을 투과하여 후술할 촬상부(140)로 입사된다. 투과 조명부(120) 역시 반사 조명부(110)와 마찬가지로 고출력의 LED 조명유닛을 이용한다.The transmissive illumination unit 120 irradiates the transmitted light L2 to the panel 10 and is installed on the other side of the upper side and the lower side with respect to the panel 10. [ The transmitted light L2 emitted from the transmission illumination unit 120 passes through the panel 10 and is incident on the imaging unit 140, which will be described later. The transmissive illumination unit 120 also uses a high-output LED illumination unit like the reflective illumination unit 110.

상기 재귀 반사부(130)는, 입사되는 반사광(L1)을 입사 방향과 동일한 방향으로 재귀 반사시키는 부재이다. 반사 조명부(110)로부터 조사된 반사광(L1)은 패널(10)에서 반사되어 재귀 반사부(130)로 입사되며, 재귀 반사부(130)에 입사된 반사광(L1)은 입사 방향과 동일한 방향으로 패널(10) 측으로 재귀 반사된다.The retroreflector 130 is a member that retroreflects the incident reflected light L1 in the same direction as the incident direction. The reflected light L1 irradiated from the reflective illumination unit 110 is reflected by the panel 10 and is incident on the retroreflecting unit 130. The reflected light L1 incident on the retroreflecting unit 130 is reflected in the same direction as the incident direction And is retroreflected toward the panel 10 side.

상기 촬상부(140)는, 패널(10)의 결점(1)을 검출하기 위하여 또는 패널(10)의 문자(16)를 인식하기 위하여, 패널(10)의 이미지를 획득한다.The imaging unit 140 acquires an image of the panel 10 to detect a defect 1 of the panel 10 or to recognize the characters 16 of the panel 10. [

반사 조명부(110)로부터 조사되어 재귀 반사부(130)에서 재귀 반사된 반사광(L1)은 다시 패널(10)에서 반사되어 촬상부(140)에 입사된다. 촬상부(140)는 이러한 반사광(L1)을 이용하여 패널(10)의 결점(1)을 검출하기 위한 이미지를 획득한다.The reflected light L1 reflected from the reflective illumination unit 110 and retroreflected by the retroreflecting unit 130 is reflected by the panel 10 again and is incident on the imaging unit 140. [ The imaging unit 140 acquires an image for detecting the defect 1 of the panel 10 using the reflected light L1.

또한, 투과 조명부(120)로부터 조사된 투과광(L2)은 패널(10)을 투과하여 촬상부(140)에 입사된다. 촬상부(140)는 이러한 투과광(L2)을 이용하여 패널(10)의 문자(16)를 인식하기 위한 이미지를 획득한다.The transmitted light L2 emitted from the transmissive illumination unit 120 is transmitted through the panel 10 and is incident on the imaging unit 140. The image sensing unit 140 acquires an image for recognizing the character 16 of the panel 10 using the transmitted light L2.

패널(10)이 패널의 진행방향(A)을 따라 진행하는 동안 반사 조명부(110)와 투과 조명부(120)는 교차하여 점등되며, 반사 조명부(110)를 이용한 이미지와 투과 조명부(120)를 이용한 이미지가 교차하여 획득된다.The reflective illumination unit 110 and the transmissive illumination unit 120 are turned on while crossing the panel 10 along the progress direction A of the panel and the image using the reflective illumination unit 110 and the transmissive illumination unit 120 Images are acquired crossed.

촬상부(140)로는 CCD 소자 등이 장착된 라인 카메라(line camera)가 이용되는 것이 바람직하고, 이외 패널 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.As the image pickup unit 140, a line camera equipped with a CCD element or the like may be used, and various image capturing means used in other panel inspection apparatuses may be used.

상기 이미지 처리부(150)는, 촬상부(140)로부터 이미지를 전송받아, 반사광(L1)에 의한 이미지와 투과광(L2)에 의한 이미지를 구분하여 각각 결합한다.The image processing unit 150 receives an image from the image sensing unit 140 and separates the image by the reflected light L1 and the image by the transmitted light L2.

도 3을 참고하면, 반사 조명부(110)와 투과 조명부(120)가 교차하여 점등되면서 이미지 처리부(150)에는 반사 조명부(110)를 이용한 이미지와 투과 조명부(120)를 이용한 이미지가 교차하여 저장되는데, 반사광(L1)에 의한 이미지만을 따로 떼어내어 하나의 반사광 이미지(I11)로 결합하고, 투과광(L2)에 의한 이미지만을 따로 떼어내어 하나의 투과광 이미지(I21)로 결합한다.3, the reflective illumination unit 110 and the transmissive illumination unit 120 are crossed with each other so that the image using the reflective illumination unit 110 and the image using the transmissive illumination unit 120 are stored in the image processing unit 150 in an intersecting manner Only the image by the reflected light L1 is separated and combined into one reflected light image I11 and only the image by the transmitted light L2 is separated and combined into one transmitted light image I21.

반사광 이미지(I11)에는 패널(10)의 결점(1)과 문자(16a)가 표시되는데 문자(16a)는 정확하게 표시되지 못하고 마치 결점과 같은 형상으로 잘못 표시된다. 투과광 이미지(I21)에는 패널(10)의 문자(16)가 정확하게 표시된다.In the reflected light image I11, the defect 1 and the character 16a of the panel 10 are displayed, and the character 16a is not displayed correctly and is erroneously displayed as a defect. The letter 16 of the panel 10 is accurately displayed on the transmitted light image I21.

상기 제어부(미도시)는, 반사광에 의한 이미지(I11)로부터는 패널의 결점(1)을 검출하고, 투과광에 의한 이미지(I21)로부터는 패널에 기재된 문자(16)를 인식한다.The controller (not shown) detects the defect 1 of the panel from the image I11 by reflected light and recognizes the character 16 written on the panel from the image I21 by the transmitted light.

도 3에 도시된 바와 같이 반사광 이미지(I11)에는 문자(16a)가 정확하게 표시되지 못하고 마치 결점과 같은 형상으로 잘못 표시된다. 이 상태에서 반사광 이미지(I11)만을 가지고 그레이 레벨 등의 분석 방법을 활용하여 결점(1) 검출을 수행하면 문자(16a) 부분은 결점이 아님에도 불구하고, 결점(1)으로 인식하는 오류가 발생한다.As shown in FIG. 3, the character 16a is not displayed correctly in the reflected light image I11, and is erroneously displayed as a defect-like shape. In this state, if defect (1) detection is performed using only the reflected light image I11 using an analysis method such as gray level or the like, an error recognized as defect (1) occurs even though the character (16a) do.

따라서, 제어부는 투과광 이미지(I21)에서 패널의 문자(16)가 기재된 문자 위치를 추출하고, 반사광 이미지(I11)에서 문자 위치에 해당하는 영역은 결점으로 처리하지 않는다. 반사광 이미지(I11)에서 문자 위치 이외의 영역에서는 결점(1)을 검출하고, 투과광 이미지(I21)에서는 패널에 기재된 문자(16)를 정확히 인식함으로써, 결점(1) 검사와 문자(16) 인식을 동시에 수행할 수 있다.Therefore, the control section extracts the character position on which the character 16 of the panel is written in the transmitted light image I21, and does not process the area corresponding to the character position in the reflected light image I11 as a defect. The defect 1 and the character 16 are detected by detecting the defect 1 in the region other than the character position in the reflected light image I11 and correctly recognizing the character 16 described in the panel in the transmitted light image I21 Can be performed simultaneously.

한편, 도 6을 참조하면, 제어부는 패널(10)의 손상 여부를 검사할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 6, the controller may check whether the panel 10 is damaged.

패널의 베이스 기판(11)이 손상된 경우, 투과광 이미지(I22)에는 잘 표시되지 않지만 반사광 이미지(I12)에는 패널의 베이스 기판(11)의 손상이 정확하게 표시된다. 반사광 이미지(I12)와 투과광 이미지(I22)를 중첩시켜(I12+I22) 이미지의 외곽선이 서로 일치하지 않다고 분석되면, 제어부는 패널의 베이스 기판(11)의 에지 영역(PD)이 손상되었다고 판단한다.When the base substrate 11 of the panel is damaged, the reflected light image I12 is not displayed well on the transmitted light image I22, but the damage of the base substrate 11 of the panel is accurately displayed. When the reflected light image I12 and the transmitted light image I22 are superimposed (I12 + I22) and the outline of the image is analyzed to be inconsistent with each other, the controller determines that the edge area PD of the base substrate 11 of the panel is damaged .

상기 정렬 검사부(160)는, 베이스 기판(11)에 대하여 광학필름(12)이 정위치에 부착되었는지 여부를 검사한다. 정렬 검사부(160)는 패널의 진행방향(A)을 기준으로 반사 조명부(110), 투과 조명부(120), 재귀 반사부(130) 및 촬상부(140)의 상류 측에 설치되며, 카메라(161)와, 조명(162)과, 센서(163)를 포함한다.The alignment inspection unit 160 checks whether or not the optical film 12 is attached to the base substrate 11 in a predetermined position. The alignment inspection unit 160 is installed on the upstream side of the reflective illuminating unit 110, the transmissive illuminating unit 120, the retroreflecting unit 130 and the image sensing unit 140 on the basis of the traveling direction A of the panel, A light 162, and a sensor 163. The light source 162 is a light source.

도 2를 참조하면, 카메라(161)는 CCD 소자 등이 장착된 에어리어 카메라(area camera)가 이용되는 것이 바람직하고, 조명(162)은 넓은 면적을 효과적으로 조사할 수 있는 링 형상의 LED 조명유닛이 바람직하다.2, it is preferable that an area camera equipped with a CCD element or the like is used as the camera 161, and the illumination 162 is a ring-shaped LED lighting unit capable of effectively irradiating a large area desirable.

도 4를 참조하면, 정렬 검사부(160)는 광학필름의 에지(10a)와 베이스 기판의 에지(10a)를 촬상하고, 광학필름의 에지와 베이스 기판의 에지 사이의 간격을 검사한다. 광학필름(12)의 에지와 베이스 기판(11)의 에지의 x좌표의 차이(dx)와 y좌표의 차이(dy)를 산출하여 미리 정해진 오차 범위 내에 들어오는지 확인한다. 오차 범위 내에 들어오는 패널(10)은 정상 패널로 판정하여 반사 조명부(110), 투과 조명부(120), 재귀 반사부(130) 및 촬상부(140)를 이용하여 결점 검사 및 문자 인식을 수행한다. 오차 범위 내에 들어오지 못한 패널(10)은 불량 패널로 판정하여 결점 검사 및 문자 인식을 생략하고, 컨베이어 등의 이송유닛(101)에 의해 후술할 패널 회수부(170)로 곧장 이송된다.Referring to FIG. 4, the alignment inspection unit 160 images the edge 10a of the optical film and the edge 10a of the base substrate, and checks the gap between the edge of the optical film and the edge of the base substrate. The difference (dx) between the edge of the optical film 12 and the x-coordinate of the edge of the base substrate 11 and the difference (dy) between the y-coordinates are calculated and checked to see if they fall within a predetermined error range. The panel 10 within the error range is determined as a normal panel and defect inspection and character recognition are performed using the reflective illumination unit 110, the transmissive illumination unit 120, the retroreflective unit 130, and the imaging unit 140. The panel 10 which is not within the error range is judged as a defective panel and skipped the defect inspection and character recognition and is directly transferred to the panel collection unit 170 to be described later by the transfer unit 101 such as a conveyor.

정렬 검사부의 센서(163)는 패널의 전단부(10b)와 후단부(10c)를 감지하여 패널(10)에 대한 촬상을 명령하는 트리거 신호(TS1, TS2)를 송신한다.The sensor 163 of the alignment inspection unit senses the front end portion 10b and the rear end portion 10c of the panel and transmits trigger signals TS1 and TS2 for instructing imaging of the panel 10. [

도 5를 참조하면, 이송유닛(101)에 의해 패널의 진행방향(A)을 따라 패널(10)이 이송되면서 패널의 전단부(10b)가 센서(163)에 인식되면 센서(163)에는 패널 인식 신호가 온(on)되고 이러한 온 신호를 패널(10)에 대한 촬상을 명령하는 트리거 신호(TS1)로서 카메라(161)에 송신한다. 이때, 카메라(161)는 패널(10)의 4개의 에지 중 전단부(10b)의 2개의 에지 영역을 촬상한다.5, when the front end portion 10b of the panel is recognized by the sensor 163 while the panel 10 is being conveyed along the advancing direction A of the panel by the conveying unit 101, The recognition signal is turned on and this ON signal is transmitted to the camera 161 as the trigger signal TS1 for commanding the imaging of the panel 10. [ At this time, the camera 161 picks up two edge regions of the front end portion 10b out of the four edges of the panel 10.

이후, 패널(10)이 이송되면서 패널의 후단부(10c)가 센서(163)에 인식되면 센서(163)에는 패널 인식 신호가 오프(off)되고 이러한 오프 신호를 패널(10)에 대한 촬상을 명령하는 트리거 신호(TS2)로서 카메라(161)에 송신한다. 이때, 카메라(161)는 패널(10)의 4개의 에지 중 후단부(10c)의 2개의 에지 영역을 촬상한다.Thereafter, when the rear end portion 10c of the panel is recognized by the sensor 163 while the panel 10 is being conveyed, the panel recognition signal is turned off to the sensor 163 and the off signal is applied to the panel 10 To the camera 161 as a trigger signal TS2 to be commanded. At this time, the camera 161 picks up two edge regions of the rear end portion 10c out of the four edges of the panel 10.

상기 패널 회수부(170)는, 정렬 검사부(160)에 의해 불량 판정된 불량 패널을 회수하기 위하여 불량 패널이 수납된다. 패널의 진행방향(A)을 기준으로 반사 조명부(110), 투과 조명부(120), 재귀 반사부(130) 및 촬상부(140)의 하류 측에 설치되며, 수납부(171)와, 승강 핸드(172)로 구성된다.The panel recovery unit 170 stores a defective panel to recover the defective panel determined to be defective by the alignment inspection unit 160. The retroreflecting unit 130 and the image pickup unit 140 on the downstream side of the reflective illumination unit 110, the transmissive illumination unit 120, the retroreflecting unit 130, and the image sensing unit 140 based on the moving direction A of the panel, (172).

정렬 검사부(160)에 의해 불량 판정된 불량 패널은 결점 검사 및 문자 인식을 수행하지 않고, 이송유닛(101)에 의해 곧장 패널 회수부(170)가 설치된 위치로 이송된다. 승강 핸드(172)를 이용하여 불량 패널을 수납부(171)에 수납함으로써, 검사 라인에서 불량 패널을 제거한다.The defective panel determined to be defective by the alignment inspection unit 160 is conveyed to the position where the panel collection unit 170 is installed by the transfer unit 101 without carrying out defect inspection and character recognition. The defective panel is housed in the storage section 171 by using the lifting / lowering hand 172, thereby removing the defective panel from the inspection line.

상기 나이프 에지(180)는, 재귀 반사부(130)에 의해 재귀반사되고 패널(10)을 경유하여 다시 촬상부(140)로 입사되는 반사광(L1)의 일부를 차단하며, 촬상부(140)와 패널(10) 사이에 배치된다.The knife edge 180 is retroreflected by the retroreflecting part 130 and cuts off part of the reflected light L1 incident on the image pickup part 140 again via the panel 10, And the panel (10).

도 7을 참조하면, 패널(10)에서 반사된 반사광(L1)은 나이프 에지(180)를 통과하여 촬상부(140)로 입사되는데, 나이프 에지(180)는 다시 촬상부(140)로 입사되는 반사광(L1)의 일부를 차단하여 패널(10)의 결점(1)을 선명하게 드러내어 결점(1) 검사를 용이하게 한다.7, the reflected light L1 reflected by the panel 10 passes through the knife edge 180 and is incident on the image sensing unit 140. The knife edge 180 is again incident on the image sensing unit 140 A part of the reflected light L1 is blocked and the defect 1 of the panel 10 is clearly exposed to facilitate the inspection of the defect 1. [

도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 반사광(L1)이 결점(1)의 우측에서 반사되면 나이프 에지(180)에 의해 반사광(L1)이 차단되어 촬상부(140)에 입사되지 못한다. 한편, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 반사광(L1)이 결점(1)의 좌측에서 반사되면 나이프 에지(180)에 의해 반사광(L1)이 차단되지 않고 촬상부(140)에 입사된다.7A, when the reflected light L1 is reflected from the right side of the defect 1, the reflected light L1 is blocked by the knife edge 180 and is not incident on the image sensing unit 140. As shown in FIG. 7 (b), when the reflected light L1 is reflected from the left side of the defect 1, the reflected light L1 is not blocked by the knife edge 180 and is incident on the imaging unit 140 do.

따라서, 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 촬상부(140)에 의해 획득된 이미지(1a) 상에는 우측 일부(1c)는 어둡고 좌측 일부(1b)는 밝은 결점 이미지(1a)가 나타난다. 결점 이미지(1a)의 좌측(1b)에서 우측(1c)으로 가는 과정에서 광량의 변화가 급격하게 나타난다. 나이프 에지(180) 없이 촬상하는 경우 전체적으로 희미하게 나타나 결점(1) 여부를 명확히 판단하기 어려우나, 나이프 에지(180)를 이용함으로써 요철형(돌출 또는 함몰) 결점(1)에 대하여 명확하게 판별할 수 있다.Therefore, as shown in Fig. 7C, the right part 1c is dark and the left part 1b shows a bright defect image 1a on the image 1a obtained by the imaging part 140. [ A change in the quantity of light is abruptly displayed in the process from the left side 1b to the right side 1c of the defect image 1a. It is difficult to clearly determine whether or not the defect (1) is present. On the other hand, when the knife edge 180 is used, it is possible to clearly discriminate the irregularity (protrusion or depression) defect (1) have.

본 실시예에서 반사 조명부, 투과 조명부, 재귀 반사부, 촬상부 및 나이프 에지(180)는 2개조가 패널의 진행방향을 따라 마련된다. 1개조는 패널(10)의 상면을 검사하고, 나머지 1개조는 패널(10)의 하면을 검사한다. 본 실시예에서는 1개조의 반사 조명부(110), 투과 조명부(120), 재귀 반사부(130), 촬상부(140) 및 나이프 에지(180)가 상류 측에 설치되어 패널의 상면을 검사하고, 나머지 1개조의 반사 조명부(110'), 투과 조명부(120'), 재귀 반사부(130'), 촬상부(140') 및 나이프 에지(180')가 하류 측에 설치되어 패널의 하면을 검사한다.In this embodiment, the reflection illumination unit, the transmission illumination unit, the retroreflecting unit, the imaging unit, and the knife edge 180 are provided along two directions in the progress direction of the panel. The one-side inspection inspects the upper surface of the panel (10), and the remaining one inspection inspects the lower surface of the panel (10). In this embodiment, one set of the reflective illumination unit 110, the transmissive illumination unit 120, the retroreflective unit 130, the imaging unit 140, and the knife edge 180 are provided on the upstream side to inspect the upper surface of the panel, The other one set of the reflective illumination unit 110 ', the transmissive illumination unit 120', the retroreflective unit 130 ', the imaging unit 140' and the knife edge 180 ' do.

상기 차단부(190)는, 소정 영역 개구된 슬릿(191)을 구비하며, 슬릿 이외의 영역에서는 투과광(L2)이 패널(10)에 전달되는 것을 차단한다. 차단부(190)는 투과 조명부(120)와 패널(10) 사이에 설치된다.The blocking unit 190 has a slit 191 opened to a predetermined area and blocks transmitted light L2 from being transmitted to the panel 10 in a region other than the slit. The blocking portion 190 is provided between the transmissive illumination portion 120 and the panel 10.

일부 LCD 패널, 예컨대 노멀리 블랙 모드의 LCD 패널의 경우 전원이 인가되지 않은 상태에는 광을 잘 투과시키지 않기 때문에, 패널(10)에 투과광(L2)을 투과시키고자 할 때 광을 분산시키지 않고 집광시켜 이용하는 것이 바람직하다. 따라서, 투과 조명부(120)와 패널(10) 사이에 렌즈부(192)를 배치하여, 투과 조명부(120)의 투과광(L2)을 선형으로 집광시킨 후, 집광된 투과광(L2)을 패널(10)로 조사한다.In some LCD panels, for example, a normally black mode LCD panel, light does not pass through the panel 10 in a state where power is not applied. Therefore, when transmitting the transmitted light L2 through the panel 10, . A lens unit 192 is disposed between the transmissive illumination unit 120 and the panel 10 to linearly condense the transmitted light L2 of the transmissive illumination unit 120 and transmit the condensed transmitted light L2 to the panel 10 ).

투과 조명부(120)와 패널(10) 사이에 차단부(190)를 설치함으로써, 집광된 투과광(L2)을 패널(10) 전체로 분산시키지 않고, 패널(10)에서 투과광(L2)이 투과되기를 원하는 영역에 대응하도록 사각 형상의 슬릿(191)을 배치하여 슬릿(191)을 통과한 투과광(L2)이 패널(10)로 전달되고, 슬릿 이외의 영역에서는 투과광(L2)이 패널(10)에 전달되는 것을 차단하도록 한다. The shielding part 190 is provided between the transmissive illumination part 120 and the panel 10 so that the transmitted light L2 is transmitted through the panel 10 without dispersing the condensed transmitted light L2 into the entire panel 10 The rectangular slit 191 is disposed so as to correspond to a desired region so that the transmitted light L2 having passed through the slit 191 is transmitted to the panel 10 and the transmitted light L2 is transmitted to the panel 10 To be transmitted.

또한, 투과 조명부(120)로부터 조사된 투과광(L2)의 광량이 지나치게 많은 경우 슬릿(191)의 양단부에서 지나친 광량으로 인한 포화(saturation) 현상이 발생할 수 있다. 따라서, 조정부재(193)를 슬릿(191)의 양단부에 각각 설치하고, 슬릿의 폭(w) 방향을 따라 이동시켜 슬릿의 폭(w)을 변경 가능하게 함으로써, 슬릿(191)을 통과하는 투과광(L2)의 광량을 조정하여 지나친 광량으로 인한 포화 현상을 방지할 수 있다.In addition, when the amount of the transmitted light L2 emitted from the transmission illumination unit 120 is excessively large, a saturation phenomenon due to an excess amount of light at both ends of the slit 191 may occur. Therefore, the adjustment member 193 is provided at both ends of the slit 191, and the width w of the slit can be changed by moving the adjustment member 193 along the width w of the slit 191, The saturation phenomenon due to excessive light quantity can be prevented by adjusting the light amount of the light L2.

한편, 도 9를 참조하면, 제어부는 투과광 이미지(I21')로부터 패널 내부의 결점(2)을 휘점 형태로 검출할 수도 있다. 노멀리 블랙 모드의 LCD 패널의 경우 패널(10) 내부의 결점(2) 부위로 집광된 투과광(L2)을 투과시키면, 결점 이외의 영역은 어둡게 표시되고, 결점(2)의 가장자리에서 빛의 반사가 일어나 결점(2)이 밝은 휘점 형태로 표시된다. 따라서, 노멀리 블랙 모드의 LCD 패널에서는 반사광 이미지(I11')로부터 요철형 결점(1)을 검출할 수 있고, 투과광 이미지(I21')로부터 패널 내부의 결점(2)을 휘점 형태로 검출할 수 있다.Referring to FIG. 9, the controller may detect defects 2 in the panel from the transmitted light image I21 'in the form of spots. In the case of the LCD panel in the normally black mode, when the transmitted light L2 converged at the defect 2 in the panel 10 is transmitted, the area other than the defect is darkened, and the reflection of the light at the edge of the defect 2 And defects (2) are displayed in the form of bright spots. Therefore, in the normally black mode LCD panel, the irregular defect 1 can be detected from the reflected light image I11 'and the defect 2 within the panel can be detected from the transmitted light image I21' have.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 패널 검사장치는, 반사광을 이용하여 패널의 결점을 검사하고, 투과광을 이용하여 패널의 문자를 인식함으로써, 패널의 결점 및 문자에 대한 선명한 이미지를 획득할 수 있고, 패널의 모델 번호 등을 확인하여 패널의 공정 관리를 효율적으로 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The panel inspecting apparatus according to this embodiment configured as described above inspects the defects of the panel using reflected light and recognizes the characters of the panel using the transmitted light to obtain a clear image of defects and characters of the panel And it is possible to obtain an effect that the process management of the panel can be efficiently performed by confirming the model number of the panel and the like.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 패널 검사장치는, 반사광에 의한 이미지에서 패널의 문자가 기재된 영역에 대하여 결점으로 처리하지 않음으로써, 결점이 아닌데도 결점의 과검출로 인한 장치의 생산 효율의 저하를 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the panel inspection apparatus according to the present embodiment configured as described above does not process defects in areas where characters of a panel are described in an image by reflected light, so that the production efficiency of the apparatus due to over detection of defects Can be prevented.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 패널 검사장치는, 패널의 정렬 여부를 검사하여 불량 패널에 대하여 검사를 수행하지 않고 바로 회수함으로써, 정상 제품에 대하여만 검사를 수행하여 장치의 생산 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the panel inspection apparatus according to the present embodiment configured as described above checks whether or not the panels are aligned so as to immediately retrieve the defective panel without performing inspection, Can be improved.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 패널 검사장치는, 촬상부에 입사되는 광의 일부를 차단하는 나이프 에지를 이용함으로써, 돌출 또는 함몰된 결점에 대하여 명확하고 정확하게 판별하여 결점의 검출 정확도를 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, the panel inspection apparatus according to this embodiment configured as described above can accurately and accurately discriminate the protruding or recessed defect by using the knife edge that cuts off part of the light incident on the image pickup unit, It is possible to obtain an effect that can be increased.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 패널 검사장치는, 슬릿을 통해서만 투과광을 패널에 전달시키는 차단부를 구비하고, 슬릿의 폭을 변경 가능하게 함으로써, 다양한 패널에 대하여 효과적인 결점 검사를 수행할 수 있고, 지나친 광량으로 인한 포화 현상 발생을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the panel inspection apparatus according to the present embodiment configured as described above has a cut-off portion for transmitting transmitted light to the panel only through the slit, and can perform effective defect inspection on various panels by changing the width of the slit And it is possible to prevent the occurrence of saturation due to excessive light quantity.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

100: 패널 검사장치
110: 반사 조명부
120: 투과 조명부
130: 재귀 반사부
140: 촬상부
150: 이미지 처리부100: Panel Inspection Device
110:
120:
130: Retroreflective portion
140:
150:

Claims

A panel inspection apparatus for inspecting defects of a panel,
A reflective illumination unit for irradiating the panel with reflected light;
A transmissive illumination unit for irradiating the panel with transmitted light;
A retroreflective portion that reflects the light reflected from the reflective illumination portion and is incident on the panel and retroreflects the incident light to the panel in the same direction as the incident direction;
An image pickup unit for picking up an image of the panel using the reflected light reflected from the reflective illuminating unit and retroreflected by the retroreflecting unit or for picking up an image of the panel using the transmitted light that is emitted from the transparent illumination unit and transmitted through the panel;
An image processing unit receiving an image from the image pickup unit and separating an image by the reflected light and an image by the transmitted light, respectively, and combining the images; And
And a control unit for detecting defects of the panel from the image by the reflected light and recognizing characters written on the panel from the image by the transmitted light.

The method according to claim 1,
Wherein,
Wherein a character position on which characters of the panel are written is extracted from the image by the transmitted light and an area corresponding to the character position in the image by the reflected light is not treated as a defect.

The method according to claim 1,
Wherein,
And detects defects in the panel from the image by the transmitted light in a speckled form.

The method according to claim 1,
Wherein the panel comprises a base substrate and an optical film attached to the base substrate,
Further comprising: an alignment inspection unit for checking whether the optical film is attached to the base substrate in a predetermined position.

5. The method of claim 4,
Wherein the alignment check unit comprises:
Wherein an edge of the optical film and an edge of the base substrate are imaged to inspect an interval between an edge of the optical film and an edge of the base substrate.

5. The method of claim 4,
Wherein the alignment check unit comprises:
Further comprising: a sensor for sensing a front end portion and a rear end portion of the panel and transmitting a trigger signal for instructing imaging of the panel.

5. The method of claim 4,
Further comprising: a panel recovery unit for storing the defective panel to recover a defective panel determined to be defective by the alignment inspection unit.

The method according to claim 1,
Wherein the reflection illumination unit, the transmission illumination unit, the retroreflecting unit, and the imaging unit are provided in two tiers,
Wherein one panel inspects an upper surface of the panel and the other panel inspects a lower surface of the panel.

The method according to claim 1,
Wherein the controller inspects whether the panel is damaged by superimposing the image of the reflected light on the transmitted light image.

The method according to claim 1,
Further comprising a knife edge disposed between the image sensing unit and the panel and intercepting a part of light incident on the image sensing unit via the panel.

The method according to claim 1,
And a shielding portion provided between the transmissive illumination portion and the panel and having a slit opened in a predetermined region and shielding the transmitted light from being transmitted to the panel in a region other than the slit. Device.

12. The method of claim 11,
Wherein the slit of the blocking portion has a rectangular shape,
Wherein a width of the slit is variable in order to adjust an amount of transmitted light passing through the slit.