KR20120000604A - 웨이퍼 링의 테이핑 방법과 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테이핑할 웨이퍼 링을 안착시키고, 필링테이프(Peeling Tape)와 점착테이프가 권취된 테이프(롤 테이프)를 공급하며, 상기 필링테이프와 점착테이프를 분리시켜 인출하고, 점착테이프를 웨이퍼링 위치까지 이동 인출시키며, 점착테이프를 웨이퍼링 상에 밀착시키고, 점착테이프 이면을 눌러서 웨이퍼링에 점착테이프가 테이핑 되도록 하며, 웨이퍼링의 외주연을 따라 테이프를 커팅(Cutting)하여 웨이퍼링에 점착테이프가 점착되도록 하는 테이핑 방법과, 테이프 공급부(100), 테이프 인출부(200), 지지프레임(300),커터부(400)로 이루어지는 테이핑 장치에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 링의 테이핑 방법과 그 장치{A Method and the apparatus for taping on wafer ring}

본 발명은 반도체 칩 제조공정중 스트립형태의 자재를 웨이퍼링에 점착시켜 다이싱(Dicing)하기 용이하도록 한 웨이퍼링의 테이핑 방법과 그장치에 관한 것이다.

반도체 칩을 생산하기 위한 후처리 공정에서는 웨이퍼의 백그라인딩(Back grinding)과 다이싱(Dicing)공정이 필요하게 되고, 백그라인딩 공정에서는 회로패턴이 형성된 웨이퍼 표면에 점착테이프를 붙인후 그 이면을 절삭연마하고, 이 작업이 끝나면 웨이퍼에 점착된 테이프를 분리시켜서 다음공정으로 가공된 웨이퍼를 보내게 된다. 또한 다이싱 공정에서는 웨이퍼 이면에 점착테이프를 붙인 후 링 프레임에 마운팅 한 다음 고속회전하는 커터로 절단하여 각 자재별로 분리시키게 된다.

개별의 반도체 칩으로 분리되기 전의 자재들은 웨이퍼 형태나 혹은 스트립형태로 일정갯수가 배열되어진 상태에서 다이싱 되어지므로, 다이싱할때 이들 자재가 흩어지지 않도록 고정시킬 수단으로는 개별 자재의 이면을 부압으로 흡착하거나 아니면 자재 이면에 테이프를 점착시켜서 흩어지지 않게 한 후 다음 공정으로 이송시키게 된다.

그런데, 자재들이 스트립으로 가공되어진 경우에는 이 스트립의 다이싱 (Dicing)을 위하여 개별자재들을 흡착한 상태로 일시 고정시켜 다이싱 해야하고, 이때 자재들을 흡착하기 위한 흡착판(Chuck)은 고무판이 덧대어진 상태이므로 크기가 다른 자재의 스트립을 다이싱하는 경우에는 흡착판을 교체해야하므로 비용이 많이 들 뿐만 아니라 고무판이 다이싱과정에서 손상되어 소모품이 되므로 잦은 교체로 작업이 중단되거나 불량률이 높은 문제가 있었다.

본 발명은 스트립 형태의 자재를 웨이퍼 마운터(링)를 이용하여 다이싱 할 수 있도록 웨이퍼 링에 테이프를 점착시키는 방법과 그 장치를 제공하여 종래의 문제점을 해결한 것이다.

스트립 형태의 자재를 웨이퍼 링을 이용한 테이프상에 점착시켜 다이싱하게 함으로써 자재의 크기에 상관없이 스트립의 다이싱에 활용할 수 있으며, 특히 다이싱 작업후에는 테이핑된 테이프를 제거하여 다시 테이핑한 후 사용하면 되므로 종래와 같이 자재크기별로 척을 마련하거나, 교체하는데 많은 시간이 소요되거나, 제품의 불량률이 높은 문제등을 해결할 수 있게 된다.

도1은 본 발명의 처리공정도,
도2는 본 발명의 전체 구성도,
도3은 본 발명에 사용되는 웨이퍼링의 형상 및 그 사용실시예시도,
도4는 본발명의 커터부 구성도면이다.

본 발명은 테이핑할 웨이퍼 링을 안착시키고, 필링테이프(Peeling Tape)와 점착테이프가 권취된 테이프(롤 테이프)를 공급하며, 상기 필링테이프와 점착테이프를 분리시켜 인출하고, 점착테이프를 웨이퍼링 위치까지 이동 인출시키며, 점착테이프를 웨이퍼링 상에 밀착시키고, 점착테이프 이면을 눌러서 웨이퍼링에 점착테이프가 테이핑 되도록 하며, 웨이퍼링의 외주연을 따라 테이프를 커팅(Cutting)하여 웨이퍼링에 점착테이프가 점착되도록 하는 테이핑 방법이다.

상기와 같이 테이핑하는 방법을 사용하는 본 발명은 롤 형태의 점착테이프(10)와 필링테이프(Peeling Tape,20)를 거치하고 분리하기 위한 수단이 갖추어진 테이프 공급부(100);

상기 점착테이프(10)를 인출하기 위하여 모우터(30)축에 연결되어 회동하는 벨트구동 로울러(210)와, 상기 벨트 구동 로울러(210)에 일측이 연결되고 타측은 상기 웨이퍼링의 테이핑부의 선단부에 형성된 피동축에 연결되어 캐터필러형태를 구성하는 컨베이어 벨트(220)와, 상기 컨베이어벨트(220)의 구동력으로 가이드 바(225)를 따라 이동하면서 점착테이프(10)를 인출하고 다시 원위치하는 왕복이동의 가이드 로울러(230) 및 누름 로울러(240)와, 상기 누름로울러(240) 하부위치에 설치되어 점착테이프의 선단부를 클램핑하는 클램퍼(250)로 구성되는 테이프 인출부(200);

상기 테이프 공급부(100)와 결합되며 웨이퍼 링(40)의 안착부(50)를 갖추고서 본 발명의 몸체를 구성하는 지지프레임(300);

상기 테이핑된 웨이퍼 링(40)의 외주연을 따라 점착 테이프를 절단하도록 커터(410)를 갖추고서 지지프레임(300)상부에 개폐되는 뚜껑형태로 설치되어지는 커터부(400)로 이루어지는 특징을 갖는다.

도2는 본 발명에 따른 장치의 전체 구성도로, 테이프 공급부(100)는 롤 테이프를 거치하기 위한 테이프 거치 로울러(110)와 필링테이프 권취 로울러(120), 상기 테이프 거치 로울러(110)의 회전을 억제시키면서 점착테이프(10)가 팽팽한 상태로 인출되도록 해주기 위한 클러치(130)로 구성됨을 보여준다. 도면중 미설명 부호 140은 점착테이프(10)를 팽팽한 상태로 인출시키기 위한 텐션 로울러이다.

또한, 상기 테이프 인출부(200)는 모우터(30)축에 연결되어 회동하는 벨트구동 로울러(210), 컨베이어 벨트(220), 한쌍의 테이프 인출로울러(230,240) 및 클램퍼(250)로 구성되고, 이들은 지지프레임(260)에 지지결합되어지되, 상기 지지프레임(260)은 도면상 좌측을 힌지점으로 하여 우측이 소정의 높이만큼 승강되도록 구성되어서 하강된 위치에서는 웨이퍼링(40)상에 점착테이프(10)가 접촉되어져 테이핑이 이루어질 수 있는 상태를 만들어주게 된다.

한편, 몸체를 구성하는 지지프레임(300)에는 웨이퍼링(40)이 놓여지는 안착부(50)가 설치되어지며, 특히 상기 웨이퍼링(40)은, 도3과 같이, 완전원형이 아닌 수평변을 갖춘 형태로 제작된 것으로, 따라서 안착부(50)와 테이프(110,120)를 교체하면 웨이퍼링(40)의 크기별로 호환적으로 사용할 수 있는 특징을 갖는다.

상기한 커터부(400)의 구성은 도4와 같이, 원형의 커터(410)가 한쌍으로 대칭되게 설치되며, 상기 커터(410)는 지지프레임(420)에 설치되는 회동축(430)의 회동에 의해 원을 그리며 회전하게 되고, 이때 커터(410)의 회전위치는 상기한 웨이퍼링(40)의 외주연에 맞게 조절되어 설치되므로 테이핑된 웨이퍼링(40)의 점착테이프(10)가 상기한 웨이퍼링(40)의 외주연을 따라 커팅되는 것이다. 특히 상기한 커터(410)는 회동축(430)과 결합된 회동바(440)의 브라켓(450)에 스프링(460)으로 탄지되어져 테이프 커팅시의 충격을 흡수하거나 적정한 커팅압력을 제공할 뿐 만 아니라, 회동바(440)에서 브라켓(450)을 좌우로 이동시켜서 양 커터(410)의 간격을 조절할 수 있으므로 웨이퍼링(10)의 크기별로 사용할 수 있는 호환성을 갖는다.

상기한 바와 같이 본발명은 필링테이프와 함께 롤 형태로 권취된 점착테이프를 이용하여 테이퍼링에 테이핑 하기 위한 것으로, 상기 테이프 공급수단은 롤 테이프가 회전하면서 인출되도록 거치되는 테이프 로울러와, 상기 점착테이프가 인출될때에 필링테이프가 분리되면서 권취될 수단으로 필링테이프 로울러를 포함한다.

테이프 공급수단으로 부터 인출되는 점착테이프는 팽팽한 상태로 인출되어지도록 하기 위하여 점착 테이프 인출수단에 당기는 힘을 부여하며, 이는 웨이퍼 링에 점착테이프가 점착될 때에 밀착된 상태로 점착될 뿐만 아니라 테이핑면에 공기층이 형성되는 부작용을 막아주게 된다.

점착테이프 인출수단은 가이드 로울러와 누름 로울러 및 클램퍼를 포함하며, 가이드 로울러는 인출되는 점착테이프의 점착면이 접촉하며 지나게 되지만 로울러에 점착되는 것을 방지하고 점착면도 보호하기 위하여 엠보싱처리된 표면으로 가공되고, 상기 누름로울러는 가이드 로울러로 부터 인출된 점착테이프의 이면이 감아지면서 클램퍼에 까지 점착테이프를 유도하며, 후술하는 웨이퍼링 테이핑 과정에서 점착테이프 이면을 눌러주어 웨이퍼둘레에 점착테이프를 점착시키는 역할을 하게 된다.

특히, 상기 점착테이프는 클램퍼에 클램핑된 상태에서 점착테이프 이동수단이 전진하게 되면 클램퍼도 함께 이동하며 롤 테이프로 부터 인출되는 것이므로 인출속도를 제어하여 테이프의 팽팽한 상태가 유지되도록 가이드 로울러와 테이프 로울러 사이에 클러치를 설치하고 인출되는 점착테이프가 이 클러치를 거쳐 인출되도록 하므로써 점착 테이프는 팽팽해진 상태로 인출된다.

한편, 상기 점착테이프 인출수단은 웨이퍼링에 점착테이프를 점착(Taping)시키기 위하여 지지 프레임의 길이방향을 따라 웨이퍼 링이 놓여진 위치를 넘어 지지프레임 후단변까지 이동시킬 구동부가 필요하게 되며, 또한 이동이 멈추면 점착테이프의 점착면이 웨이퍼 링 위에 접촉하게 하기 위한 수단으로 상기 지지프레임의 선단부를 힌지점으로 하여 후단부가 하강시키는 원리를 본 발명에 적용한다.

점착테이프의 점착면이 웨이퍼링에 닿게되면 점착테이프 인출수단의 누름 로울러가 점착테이프 이면을 누른 상태가 되며 이와동시에 상기 점착테이프 인출수단이 원래의 위치로 복귀하는 이동을 시작하면 누름로울러에 의해 웨이퍼링 상에 점착테이프가 점착되는 테이핑과정이 진행된다.

테이핑이 끝난 웨이퍼링은 테이핑 된 상태의 독립적인 웨이퍼링을 다음 공정에서 사용할 수 있도록 웨이퍼 링의 외주연을 따라 테이프가 절단되며, 이러한 반복동작으로 웨이퍼 링에 테이핑하는 공정이 완료된다.

10-점착테이프
20-필링테이프(Peeling Tape)
100-테이프 공급부
200-테이프 인출부
300-지지프레임
400-커터부

Claims (3)

1. 테이핑할 웨이퍼 링이 안착되고,
   필링테이프(Peeling Tape)와 점착테이프가 권취된 테이프(롤 테이프)이 공급되며,
   상기 필링테이프와 점착테이프가 분리인출되도록 하고,
   점착테이프가 웨이퍼링 위치까지 이동하여 인출되며,
   점착테이프를 웨이퍼링 상에 밀착시킨 후 점착테이프 이면이 눌려져서 웨이퍼링에 점착테이프가 테이핑 되도록 하며,
   테이핑된 웨이퍼링의 외주연을 따라 커팅(Cutting)하여 웨이퍼링에 점착테이프가 점착되도록 하는 테이핑 방법.
   
2. 제1항의 웨이퍼링 테이핑 방법을 수행하기 위하여
   점착테이프(10)와 필링테이프(Peeling Tape,20)를 거치하고 분리하기 위하여 거치 로울러(110)와 필링테이프 권취 로울러(120), 상기 거치로울러(110)와 맞물려 진 클러치(130), 상기 점착테이프(10)에 텐션을 부여하는 텐션 로울러(140)로 구성되는 테이프 공급부(100);
   상기 점착테이프(10)를 인출하기 위하여 모우터(30)축에 연결되어 회동하는 벨트구동 로울러(210)와, 상기 벨트 구동 로울러(210)에 일측이 연결되고 타측은 상기 웨이퍼링의 테이핑부의 선단부에 형성된 피동축에 연결되어 캐터필러형태를 구성하는 컨베이어 벨트(220)와, 상기 컨베이어벨트(220)의 구동력으로 가이드 바(225)를 따라 이동하면서 점착테이프(10)를 인출하고 다시 원위치하는 왕복이동의 가이드 로울러(230) 및 누름 로울러(240)와, 상기 누름로울러(240) 하부위치에 설치되어 점착테이프의 선단부를 클램핑하는 클램퍼(250)로 구성되는 테이프 인출부(200);
   상기 테이프 공급부(100)와 결합되며 웨이퍼 링(40)의 안착부(50)를 갖추고서 본 발명의 몸체를 구성하는 지지프레임(300);
   지지프레임(420)에 설치되는 회동축(430), 이 회동축(430)과 결합된 회동바(440)의 브라켓(450)에 스프링(460)으로 탄지되어져 상기 회동축(430)을 중심으로 원형으로 회동하는 한쌍의 원형 커터(410)를 갖춘 커터부(400)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 테이핑 장치.
   
3. 제2항에 있어서, 커터(410)는 회동바(440)에서 브라켓(450)을 좌우로 이동시켜서 양 커터(410)의 간격을 조절할 수 있도록 구성시킨 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 테이핑 장치.
   
   

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