KR20100118981A

KR20100118981A - 평면표시패널용 머더기판의 분리장치 및 분리방법

Info

Publication number: KR20100118981A
Application number: KR1020107017662A
Authority: KR
Inventors: 히데아키 후나다; 히로아키 요시무라
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2008-02-29
Filing date: 2009-02-27
Publication date: 2010-11-08
Anticipated expiration: 2029-02-27
Also published as: CN101959813A; TWI419852B; WO2009107794A1; JP5178814B2; JPWO2009107794A1; KR101171875B1; TW200946469A; CN101959813B

Abstract

본 발명에 관한 평면표시체 머더기판의 분리장치는 1매의 상기 평면표시체 패널을 흡인하여 고정하는 복수의 테이블과 복수의 테이블 일부를, 그 이외의 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 평면표시체 패널의 주면 상의 적어도 1축방향으로 이동시키는 이동장치로 이루어진다. 여기에서 평면표시체 패널에는 제품 크기의 패널 조각으로 분리하기 위한 스크라이브 라인이 형성되어 있다. 복수의 테이블 상에 1매의 평면표시체 패널을 고정한 상태에서 이동장치에 의한 적어도 1축방향으로의 이동에 의하여, 인접하는 복수의 패널 조각 사이의 불필요한 부재를 분리할 수 있다. 이것에 의하여 패널 조각에 흠집을 내지 않고, 패널 조각 사이의 불필요한 부재를 확실하게 분리한다.

Description

평면표시패널용 머더기판의 분리장치 및 분리방법{SEPARATION DEVICE AND SEPARATION METHOD OF MOTHER BOARD FOR PLANE DISPLAY PANEL}

본 발명은, 스크라이브(scribe)(및 브레이크(break))가 완료된 평면표시체 패널(平面表示體 panel)로부터 제품 크기의 패널 조각(panel 片)을 분리하기 위한 분리장치(分離裝置) 및 분리방법(分離方法)에 관한 것이다.

도1은 액정표시용 패널(液晶表示用 panel), PDP패널(plasma display panel), LCOS 패널(liquid crystal on silicon panel) 등을 포함하는 평면표시체 패널(머더기판(mother 基板))로부터 제품 크기의 패널 조각의 절단 과정을 나타낸다. 도1의 (A)와 (B)의 평면도와 측면도에 나타나 있는 바와 같이 평면표시체 패널(W)에서는, 상하의 글래스 판(glass 板) 사이에 설치한 씰(seal)(Z)로 상하의 글래스 판을 서로 접합함과 아울러 이 씰(Z)로 둘러싸인 갭(gap)에 주입구(PI)로부터 액정을 주입한다. 이렇게 해서, 평면표시체 패널(W)에는 6개의 패널 조각(w)이 형성된다. 이 평면표시체 패널(W)로부터 6개의 패널 조각(w)을 분리하기 위하여, 상하의 글래스 판 표면에 있어서 패널 조각(w)의 주위에 스크라이브 장치에 의한 스크라이브가 실시되어 있다.

도1의 (C)는 스크라이브한 부분을 브레이크 장치(break 裝置)에 의하여 절단한 모양을 나타낸다. 이 후에 (D)에 나타나 있는 바와 같이 분리장치로 이송(移送)하고, 그 테이블 상에서 불필요한 부재(部材)(Q1~Q3)를 제거함으로써 최종적으로 6개의 패널 조각(w)을 얻는다. 하측의 글래스 판(TFT기판)에 있는 돌출부(U)는, TFT를 포함하는 회로를 위한 전극이 형성되기 위한 단자가 되는 부분이다. 상측의 글래스 판은 CF(컬러 필터(color filter))를 포함하는 CF기판이다.

도1의 (D)에서 알 수 있는 바와 같이, 테두리부의 불필요한 부재(Q1 및 Q3)에 대해서는, 로봇(robot) 등에 의하여 상방으로부터 충격력(衝擊力)을 줌으로써 간단하게 제거된다. 그러나 중간의 불필요한 부재(Q2)의 경우에는, 하측 글래스 판(TFT기판)의 단자(U)가 돌출되어 있기 때문에 같은 방법으로는 제거되지 않아, 그 제거는 번거로웠다.

또한 평면표시체 패널을 반전(反轉)시키면, 중간의 불필요한 부재도 불편함없이 간단하게 제거할 수 있다. 그러나 표시면측인 CF기판이 하측이 되기 때문에 그 CF기판에 흠집을 내는 문제가 발생하고, 또한 다음 공정으로 이송할 때에 패널을 반전시킬 필요가 있어 공정수가 증가하게 되었다.

일본국 공개특허공보 특개평11-116260호공보에는, 고침투용(高浸透用)의 커터 휠(cutter wheel)이나 레이저 광(lazer 光)의 조사(照射) 등에 의하여 판유리의 두께방향으로 깊은 크랙(crack)(스크라이브 라인)이 형성된 액정패널(液晶panel)의 머더 글래스기판(mother glass基板)을, 진공흡착(眞空吸着)이 가능한 1매(枚)의 제재 테이블(除材 table)(예로서 도15의 제재부(除材部)(Z2))에 재치(載置)하고 반송로봇(搬送robot)(반전로봇(反轉robot)(45))에 의하여 액정패널의 머더기판으로부터 크랙을 따라 제품 크기의 패널 조각을 분리시키는 분리장치가 개시(開示)되어 있다. 이 분리장치에서는, 스크라이브 후에 제재 테이블(Z2)에 재치된 머더기판으로부터 반송로봇에 의하여 복수(複數)의 패널 조각이 순차적으로 다음 공정으로 반송되고, 그 때에 패널 조각은 서로 순차적으로 분리된다. 그러나 모든 패널조각이 반송된 후의 제재 테이블에 다수의 불필요한 단재(端材)가 남겨져, 이들을 새로운 머더기판의 가공때마다 작은 컬릿(cullet)과 함께 제재 테이블 상으로부터 모두 완전하게 제거시키는 작업이 필요하여 생산효율향상의 큰 장해가 되고 있었다.

또한 브레이크 테이블(break table)은 특정한 크기의 머더 글래스 기판에 맞추어 형성되므로, 머더 글래스 기판의 크기가 변경되면 브레이크 테이블의 신설이나 개조가 요구되는 경우가 있어, 생산 효율 향상의 점에서 장해가 되고 있었다.

또한 머더 글래스 기판 1매당의 제품 패널 수가 변경된 경우에는 반송로봇 등의 설치 위치나 동작 프로그램을 변경시킬 필요가 있어, 생산 효율 향상의 점에서 장해가 되고 있었다.

본 발명은, 패널 조각에 흠집을 내지 않고 불필요한 부재를 용이하게 제거할 수 있는 분리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은, 평면표시체 패널의 1매당의 제품 패널 수가 변경되거나 평면표시체 패널(W)의 크기가 변경된 경우에, 이들에 용이하게 대응하여 분리공정(分離工程)을 효율화(效率化)하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 평면표시체 머더기판의 분리장치는, 제품 크기의 패널 조각으로 분리하기 위한 스크라이브 라인이 형성된 평면표시체 패널로부터 상기 각 패널 조각을 분리하기 위한 분리장치이다. 이 분리장치는, 1매의 상기 평면표시체 패널을 흡인(吸引)하여 고정(固定)하는 복수의 테이블과, 상기 복수의 테이블 일부를 그 이외의 상기 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 상기 평면표시체 패널의 주면(主面) 상의 적어도 1축방향으로 이동시키는 이동장치로 이루어진다. 여기에서 상기 복수의 테이블 상에 1매의 상기 평면표시체 패널을 고정한 상태에서 상기 이동장치에 의한 상기 적어도 1축방향으로의 이동에 의하여 인접하는 복수의 상기 패널 조각 사이의 불필요한 부재를 분리할 수 있다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 평면표시체 패널의 주면 상의 1축방향으로 더 연장된 가이드축(guide 軸)과, 상기 가이드축이 결합하고 상기 복수의 테이블 중 적어도 일부를 각각 상기 가이드축의 축선(軸線)을 따라 이동할 수 있도록 지지하는 지지체(支持體)와, 상기 지지체를 상기 가이드축의 축선을 따라 반송하는 반송장치를 구비한다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 복수의 테이블 중 적어도 일부는, 각각 테이블 베이스와 상기 테이블 베이스의 상에 재치되어 상기 평면표시체 패널을 흡인하여 고정하는 흡인고정 테이블로 이루어지고, 상기 이동장치는, 상기 복수의 테이블 베이스 중 일부를 그 이외의 상기 테이블 베이스에 대하여 상대적으로 이동시키는 제1장치와, 상기 복수의 흡인고정 테이블 중 일부를 그 이외의 상기 흡인고정 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 이동시키는 제2장치의 적어도 일방으로 이루어진다.

여기에서 상기 복수의 흡인고정 테이블 상에 1매의 상기 평면표시체 패널을 흡인하여 고정한 상태에 있어서의 상기 제1장치 또는 제2장치에 의한 상기 이동에 의하여, 인접하는 복수의 상기 패널 조각 사이의 불필요한 부재를 분리할 수 있다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 평면표시체 패널의 주면 상의 1축방향으로 연장된 가이드축과, 상기 가이드축을 결합하고 상기 복수의 테이블 베이스 중 적어도 일부를 각각 상기 가이드축의 축선을 따라 이동할 수 있도록 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 가이드축의 축선을 따라 반송하는 반송장치를 더 구비한다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 복수의 테이블 중 적어도 일부는 인접하는 테이블을 서로 결합하는 결합기구(結合機構)를 구비한다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 복수의 테이블은 2차원적으로 배치된다.

본 발명에 관한 분리방법은, 제품 크기의 패널 조각으로 분리하기 위한 스크라이브 라인이 형성된 평면표시체 패널을 상기 각 패널 조각으로 분리하기 위한 분리방법이다. 이 분리방법에 있어서, 상기 평면표시체 패널에 형성된 상기 복수의 패널 조각을 복수의 테이블 상에 흡인하여 고정하고, 이어서 상기 복수의 테이블 중 일부를 그 이외의 상기 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 상기 평면표시체 패널의 주면 상의 적어도 1축방향으로 이동시킨다. 이에 따라 당해(當該) 방향에서 인접하는 복수의 상기 패널 조각의 간격이 넓어짐으로써 상기 복수의 패널 조각 사이의 불필요한 부재가 분리된다.

상기 분리방법에 있어서 바람직하게는, 상기 평면표시체 패널의 크기 및/또는 1매당 패널 수에 따라, 상기 복수의 테이블을 상기 평면표시체 패널의 패널 조각을 흡인하여 고정할 수 있는 위치로 이동시킨다.

상기 분리장치에 있어서 바람직하게는, 상기 평면표시체 패널의 각 패널 조각은 TFT기판과 그 위에 포개지는 CF기판으로 이루어지고, 상기 TFT기판을 하측으로 상기 CF기판을 상측으로 하여 분리작업을 한다.

본 발명에서는, 테이블에 평면표시체 패널을 고정한 상태의 고정식 테이블(固定式 table)에 대하여, 가동식 테이블(可動式 table)을 이동시켜 테이블 상호간 분리되도록 함으로써 패널 조각 사이에 불필요한 재료 등이 자동적으로 분리되어 자체 중량으로 낙하(落下)하기 때문에, 각 테이블에는 제품 크기의 패널 조각만이 얻어진다. 이 방식이라면, 표시측이 되는 CF기판을 상측으로 한 상태에서(즉 CF기판에 흠집을 내지 않고) 분리작업을 할 수 있다.

본 발명에서는, 분리의 대상이 되는 평면표시체 패널의 머더 기판에 대한 크기(세대 표시(世代表示)되는 규격 크기를 포함한다)나 1매당의 패널 수가 분리공정 중에 변경된 경우에도 그 절차를 바꾸어서 자동화하여 고속화할 수 있다.

도1은 평면표시체 패널로부터 제품 크기 패널 조각의 분리과정을 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명의 제1실시예의 분리장치의 정면도이다.
도3은 본 발명의 제1실시예의 분리장치의 평면도이다.
도4는 본 발명의 제1실시예의 분리장치의 정면도이다.
도5는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 절단동작을 나타낸 사시도이다.
도6은 본 발명의 제2실시예의 분리장치와 그 위에 재치된 평면표시체 패널의 도이다.
도7은 본 발명의 제2실시예의 분리장치의 테이블 유닛의 정면도이다.
도8은 본 발명의 제2실시예의 분리장치와 그 상에 재치한 평면표시체 패널의 사시도이다.
도9는 본 발명의 제2실시예의 분리장치의 정면도이다.

이하에 첨부 도면을 참조하여 발명의 실시예를 설명한다. 도면에 있어서, 동일한 부재에 대해서는 공통의 부호를 붙이고 있다.

우선, 본 발명의 분리장치의 가공대상에 대해서 설명한다. 액정표시용 패널, PDP 패널, LCOS 패널 등을 포함하는 평면표시체 패널(머더 기판)에는 제품 크기의 복수의 패널 조각이 형성되어 있다. 도1의 (A)와 (B)의 평면도와 측면도에 나타나 있는 바와 같이 평면표시체 패널(W)에서는 상하의 글래스 판의 사이에 설치한 씰(Z)로 상하의 글래스 판을 서로 접합시킴과 아울러 이 씰(Z)로 둘러싸인 갭에 주입구(PI)로부터 액정을 주입한다. 도면에 나타낸 평면표시체 패널(W)의 한 예에서는 6개의 패널 조각(w)이 형성되어 있다. 패널 조각(w)은 이 예에서 돌출부를 가지고 있다. 평면표시체 패널(W)로부터 6개의 패널 조각(w)을 분리하기 위하여, 상하의 글래스 판표면에 있어서 패널 조각(w)의 주위에 스크라이브 장치에 의한 스크라이브가 실시되어 있다. 여기에서 평면표시체 패널용의 머더기판의 절단공정에서 수직 크랙을 기판의 두께 80%이상의 깊이까지 형성시킬 수 있는 고침투성의 스크라이브용 휠 칼날(이하, 간단하게 칼날이라고 기재)을 사용한 경우에는, 간소화(簡素化)된 브레이크 장치에 의한 브레이크 공정이 채용되며, 또한 머더 기판의 두께가 종래의 주류(主流)이었던 0.7∼0.4mm 이하의 두께인 경우에는, 브레이크 공정을 채용하지 않더라도 고침투성의 칼날에 의한 스크라이브 공정으로 기판의 뒤쪽까지 도달하는 수직크랙의 형성이 가능하다. 이러한 경우에는, 「풀 보디 커트」(full body cut)라고 불리는 머더 기판을 반전시켜 스크라이브 라인을 따라 브레이크 시키는 대규모의 브레이크 공정은 불필요하다. 또한 레이저를 조사하여 상기한 바와 마찬가지로 풀 보디 커트의 수직크랙의 형성이 가능하다. 이하의 실시예에서는, 상기 풀 보디 커트시킨 평면표시체 패널용의 머더 기판을 분리 대상으로 하여 설명한다.

〔제1실시예〕

도2는 본 발명의 제1실시예의 분리장치의 정면도이다. 각 테이블은 (T1-T1')(T2a-T2a')(T2b-T2b')(T3-T3')과 같이, 하측의 테이블 베이스(T1', T2a', T2b', T3')와 상측의 흡착고정 테이블(吸着固定 table)(T1, T2a, T2b, T3)로 이루어지는 2층구조로 되어 있다. 상측의 흡착고정 테이블(T1, T2a, T2b, T3)은 각각 하측의 테이블 베이스(T1', T2a', T2b', T3')에 대하여 도면 중 좌우방향(X축방향이라고 한다)으로 이동할 수 있도록 설치되어 있다. 또한 이들 상측의 흡착고정 테이블에는 평면표시체 패널(W)을 흡인 고정하기 위한 흡착 고정장치(吸着固定裝置)가 구비된다. 흡착고정 테이블(T1∼T3)은 흡착이 필요한 위치의 테이블에 대하여 흡착동작을 하게 할 수 있다.

도2에 나타내는 3개의 테이블이 일렬에 배치되어 있는 상태에서 각각의 테이블(T1-T1'), (T3-T3')은 수직방향으로 배치되는 2기(基)의 지지판(11a, 11b)에 의하여 지지된다. 양측의 테이블 베이스(T1' 및 T3')를 지지하는 지지판(11a)의 소정부(所定部)에 에어 실린더(21)(air cylinder)가 고정되어, 에어 실린더(21)의 실린더 축(22)(cylinder 軸)은 “ㄷ”자 형상을 이루고, 그 타단(他端)이 흡착고정 테이블(T1 및 T3)의 테두리에 결합하고 있다. 이 기구에 의하여, 흡착고정 테이블(T1 및 T3)은 에어 실린더(21)의 구동(驅動)에 의하여 각각 좌측(화살표(a) 방향)과 우측(화살표(b) 방향)으로 슬라이드(slide)하여 이동한다. 흡착고정 테이블(T2a 와 T2b)은 서로 결합하거나 결합을 해제하는 결합기구(30)에 의하여 결합되어 있다.

수평방향의 2개의 가이드축(13)이 2개의 측판(14) 사이에 배치되어, 테이블 베이스(T1', T2a', T2b' 및 T3')를 지지하는 지지판(11 및 11a)은, 수평한 2개의 가이드축(13)에 의하여 가이드축(13)을 따라 이동할 수 있도록 지지된다. 지지판(11 및 11a)은 부시(bush)(12)에 의하여 가이드축(13)에 부착되고, 부시(12)에 설치된 로크 핀(lock pin)(P)에 의하여 고정된다. 부착 기부에는 각 테이블을 가이드축(13)을 따라 원하는 위치로 이동시켜 로크(lock) 시킬 수 있는 반송 로크 기구(搬送 lock 機構)(19)를 각각 더 설치할 수 있다. 이 경우, 반송 로크 기구(19)가 로크 기구를 구비하기 때문에, 상기한 부시(12)에 설치된 로크 핀(P)을 생략할 수 있다. 그리고 측판(14)의 하단에는 대좌(臺座)(23)가 고정되고, 그들의 대좌(23)는 가이드 레일(guide rail)(24)을 따라 이 지면(紙面)과 연직방향(鉛直方向)으로 이동 가능하도록 되어 있다.

도3에 나타내는 분리장치에서는, 이상의 구성으로 이루어지는 3개의 테이블로 이루어지는 유닛(unit)(U1)의 배후(背後)에 이것과 같은 유닛(U2)이 위치된다. 유닛(U2)의 일방의 측판(14)의 소정부에 에어 실린더(25)가 부착되어 있으며, 그 에어 실린더(25)의 실린더 축(26)의 타단부가 유닛(U1)측의 측판(14)에 결합된다. (유닛(U1)만 사용되는 경우에는, 에어 실린더(25)는 불필요하다.) 예를 들어 유닛(U2)을 반고정(半固定)하여 에어 실린더(25)를 작동시키면, 유닛(U1)이 가이드 레일(24)을 따라 화살표(c)방향(Y축방향)으로 이동한다.

도3은 테이블이 6개인 경우를 나타내지만, 도4는 테이블을 4개(지면 안측의 2개는 도면에 나타내는 것을 생략)로 했을 때의 정면도를 나타낸다. 이 경우, 도2에 있어서 1개의 테이블을 구성하고 있었던 2개의 흡착고정 테이블(T2a 및 T2b)은 분리되어서, 결합기구(30)에 의하여 흡착고정 테이블(T1 및 T3)에 각각 결합되어 있다. 그 때문에 흡착고정 테이블(T1)의 이동 시에는 흡착고정 테이블(T2a)과 일체가 되어 이동하며, 또한 흡착고정 테이블(T3)의 이동 시에는 흡착고정 테이블(T2b)과 일체가 되어 이동한다.

테이블을 6개로 했을 때의 분리동작을 도5를 사용하여 설명한다. 여기에서 평면표시체 패널의 크기 및 또는 1매당의 패널 수에 따라, 복수의 테이블을 평면표시체 패널의 패널 조각을 흡인고정 가능한 위치로 이동시킨다. 이 예에서는, 평면표시체 패널(W)의 1매당의 제품 패널 수가 4장으로부터 6장으로 변경하는 것으로서 이하에 설명한다. 또, 평면표시체 패널(W)의 크기의 변경은 없는 것으로 한다.

테이블을, 도4에 나타낸 4개의 배열로부터 도2 및 도3에 나타낸 6개의 배열로 변경하는 동작을 설명한다. 우선, 도4에 나타낸 하부의 테이블 베이스(T2a' 및 T2b')를 지지하는 각 지지판(11)의 반송 로크 기구(19)를 구동하여 흡착고정 테이블(T2a 와 T2b)을 수평축(13)을 따라 이동시켜, 도2에 나타나 있는 바와 같이, 흡착고정 테이블(T2a 와 T2b)을 결합기구(30)에 의하여 결합한다. 이어서 도3에 나타낸 에어 실린더(25)를 구동해 실린더 축(26)을 통하여 두고 유닛(U1)과 유닛(U2)의 간격을 조정한다. 이에 따라 각 패널 조각(w1∼w6)이 각 테이블 상에 위치하도록 각 테이블의 위치가 결정된다. 이어서 도5의 (a)와 같이, 6개의 테이블 상에 스크라이브가 완료된 평면표시체 패널(W)(도1 참조)을 재치한다. 그리고 각 테이블에 평면표시체 패널(W)를 흡인하여 고정한다. 이 상태에서는, 평면표시체 패널(W)은 하측의 TFT기판과 그 위에 포개지는 CF기판으로 이루어지며, 도1에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브가 실시된 상태이다. 스크라이브 라인은 상측표면과 하측표면에 형성되어 있다.

그리고 유닛(U1 및 U2)에 있어서의 양측의 흡착고정 테이블(T1 및 T3)을 에어 실린더(21)(도2)의 구동에 의하여 각각 화살표(a), 화살표(b) 방향(평면표시체 패널의 주면 상의 1축방향)으로 몇 밀리(㎜)정도 이동시킨다. 이에 따라 외측의 패널 조각(w1, w2, w5, w6)이 중앙의 2개의 패널 조각(w3, w4)에 대하여 분리되는 방향으로 이동하기 때문에, 패널 조각 사이의 불필요한 중간의 부재(Q2)가 패널 조각으로부터 분리되어 자체 중량으로 낙하한다.

이어서 도5의 (b)에 나타나 있는 바와 같이 에어 실린더(25)(도3)의 구동에 의하여 유닛(U1)을 화살표(c) 방향(평면표시체 패널의 주면 상의 다른 1축방향)으로 몇 밀리정도 이동시킨다. 이에 따라 패널 조각(w2, w4, w6)이 패널 조각(w1, w3, w5)에 대하여 분리되는 방향으로 이동하기 때문에, 다음은 패널 조각 사이의 불필요한 중간 부재(Q2')가 패널 조각으로부터 분리되어 자체 중량으로 낙하한다. 이 분리방식이라면, 패널 조각이 돌출부를 가지고 있어도, 표시측이 되는 CF기판을 상측으로 한 상태에서 CF기판에 상처를 내지 않고 분리작업을 할 수 있다.

가장자리 부분의 절취재(切取材)(Q1)의 분리는 종래와 같이 하면 좋지만, 상기의 동작으로 자연스럽게 분리되어 낙하하게 된다. 테이블이 4개인 경우의 동작도 상기의 동작과 같아서, 각 테이블에는 패널 조각(w)만이 남는다. 각 테이블에 있어서의 흡인 고정동작이 해제되면, 그들의 패널 조각(w)은 다른 반송기 등에 의하여 스톡(stock) 등으로 반송된다.

이와 같이 평면표시체 패널(W)의 1매당의 제품 패널 수가 변경된 경우에, X축 및 Y축방향에 있어서의 흡착고정 테이블의 분리·결합 및 이동을 수동조작에 의존하지 않고 자동화할 수 있게 됨으로써, 각 테이블의 위치 변경을 고속으로 또한 정확하게 할 수 있다.

또한 패널 조각 사이의 상대 거리가 멀어지게 되도록 테이블을 이동시킴으로써, 패널 조각의 분리뿐만 아니라 패널 조각의 사이에 위치하는 단재도 제거가 가능하게 된다.

본 실시예에서는 도3에 있어서, 유닛(U2)을 고정하고 유닛(U1)을 화살표(c) 방향으로 이동시켰지만, 유닛(U1) 및 유닛(U2)을 서로 반대 방향으로 이동 가능한 구성으로 하더라도 좋다. 또한 본 실시예에서는 테이블의 수가 6개(결합에 의하여 4개)였지만, 더 많은 테이블 또는 더 많은 유닛 수를 구비하는 시스템에 있어서 적용할 수 있다.

본 실시예에서는 평면표시체 패널(W)의 크기를 변경하지 않고, 평면표시체 패널(W)의 1매당의 제품 패널 수가 4장에서 6장으로 변경되는 예를 설명하였지만, 평면표시체 패널(W)의 머더 패널로서의 크기가 변경되었을 경우이더라도 마찬가지로 각 테이블을 이동시켜서 적정위치에 배열할 수 있도록, 유닛(U1, U2)의 전체 길이나 c방향(Y축방향)에 있어서의 가동 범위를 설정하여 장치의 크기를 결정하면 용이하게 대응할 수 있는 것은 분명하다.

본 실시예에서는 모든 테이블 베이스를 가동식(可動式)으로 했지만, 예를 들면, 유닛(U1) 및 유닛(U2)에 있어서의 테이블 베이스(T1')만을 고정식으로 하고 다른 테이블 베이스를 가동식으로 하여도 좋다.

본 실시예에서는 유닛(U1) 및 유닛(U2)에 있어서의 테이블 베이스(T2a' 및 T2b')을 X축방향에 있어서 결합 및 분리가 가능했지만, Y축방향에 있어서 결합 및 분리가 가능하게 하여도 좋다.

가이드축 기구(guide軸機構)는, 축선방향으로부터 보아 모든 축선이 1개의 경사면을 따라 위치하도록 설치된 2개의 수평축(13)을 구비하기 때문에 불필요한 부재(Q2)를 수평축(13)에 머무르게 하지 않고 슈터(shooter)(15)로 인도할 수 있다. 또한 수평축(13)의 위쪽에 공기를 분출하기 위한 취출구(吹出口)를 설치함으로써, 보다 더 정확하게 슈터(15)로 인도할 수 있다.

〔제2실시예〕

도6∼도9를 사용해서 본 발명의 제2실시예를 설명한다.

제2실시예에서는 각 테이블을 수평축(13)을 따라 이동시키는 반송 로크 기구(19)가 생략된 점 및 흡착고정 테이블(T1∼T3)을 테이블 베이스(T1'∼T3')상에서 이동시키는 에어 실린더(21)가 생략되어 흡착고정 테이블(T1∼T3)이 테이블 베이스(T1'∼T3')와 일체가 된 점에서 제1실시예와 다르다. 제1실시예에서는 머더 기판의 치수가 변경되거나 패널 조각의 치수가 변경된 경우에, 각 테이블의 배치 위치가 자동으로 변경되도록 구성되어 있지만, 제2실시예에서는 작업자가 수동으로 각 테이블의 위치를 변경하거나 하여야 하지만, 장치를 대폭적으로 간략하게 할 수 있다.

도6의 사시도에 나타나 있는 바와 같이 제2실시예에 의한 분리장치는 예를 들면 6개의 테이블로 이루어지며, 각 테이블은 이들의 테이블 상에 재치되는 평면표시체 패널(W)의 각 패널 조각(w)에 대응하여 위치 결정되어 있다. 또, 중앙의 테이블은 2대의 협폭(狹幅)의 테이블(T2a, T2b)이 합체한 것이다. 각 테이블은, 테이블 위치에 재치되어 있는 패널 조각을 각 테이블 상에 흡인시켜 지지시키는 흡착고정 테이블(T1∼T3)이 상기한 테이블 베이스(T1'∼T3')(도면에 나타내는 것은 생략)와 일체로 형성되어 있다. 흡착고정 테이블(T1∼T3)은, 흡착이 필요한 위치의 테이블에 대하여 흡착동작을 하게 할 수 있다.

도7은, 도6의 화살표 방향으로부터 본 정면도를 나타내고 있다. 도7에서는 전방의 한 유닛을 나타내지만, 배후의 유닛도 동일한 구조로 되어 있다. 테이블(T1)(다른 테이블에 관해서도 같다)로부터 하방으로 향하는 지지판(11)에 설치된 2개의 부시(12)에 2개의 수평한 가이드축(13)이 관통하고 있고, 테이블(T)은 로크 핀(P)에 의하여 수평축(13)을 따라 원하는 위치에 고정할 수 있다. 가이드축(13) 자신은 양측의 측판(14)에 고정된다. 테이블의 하방으로는 상기 오려낸 조각 등의 단재를 받기 위한 슈터(15)가 설치되어 있다.

도8은, 평면표시체 패널(W)로부터 4개의 패널 조각(w)을 얻는 경우를 나타낸다. 이 경우는, 도9에서 나타나 있는 바와 같이 협폭의 테이블(T2a, T2b)은 분할되어, 각각 이웃의 테이블(T1, T3)과 합체된다. 또, 좌단에 나타낸 측판(14)에서 알 수 있는 것과 같이, 2개의 수평축(13)은 상하방향뿐만 아니라 서로 좌우방향으로 조금 벗어나서 위치한다. 각 테이블 상에 스크라이브 공정으로 풀 보디 커트 된 머더 기판이 재치되면, 머더 기판의 주변의 떨어지기 쉬운 단재는 각 작은 테이블의 사이로부터 자체 중량에 의하여 슈터(15)내로 낙하한다.

본 발명은, 실시예에 의하여 설명되었지만, 이것은 본 발명을 제한하는 것은 아니다. 다른 실시예나 변형도 가능하다는 것은 당업자(當業者)에 있어서 분명하다.

Claims

제품 크기의 패널 조각(panel 片)으로 분리(分離)하기 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 평면표시체 패널(平面表示體 panel)로부터 상기 각 패널 조각을 분리하기 위한 분리장치(分離裝置)로서,
1매의 상기 평면표시체 패널을 흡인(吸引)하여 고정(固定)하는 복수(複數)의 테이블(table)과,
상기 복수의 테이블 일부를, 그 이외의 상기 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 상기 평면표시체 패널의 주면(主面) 상의 적어도 1축방향(1軸方向)으로 이동시키는 이동장치(移動裝置)로
이루어지며,
상기 복수의 테이블 상에 1매의 상기 평면표시체 패널을 고정한 상태에서 상기 이동장치에 의한 상기 적어도 1축방향으로의 이동에 의하여, 인접(隣接)하는 복수의 상기 패널 조각 사이의 불필요한 부재(部材)를 분리할 수 있는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판(平面表示體 mother基板)의 분리장치.
제1항에 있어서,
상기 평면표시체 패널의 주면 상의 1축방향으로 연장된 가이드축(guide 軸)과,
상기 가이드축이 결합하고 상기 복수의 테이블 중 적어도 일부를 각각 상기 가이드축의 축선(軸線)을 따라 이동할 수 있도록 지지하는 지지체(支持體)와,
상기 지지체를 상기 가이드축의 축선을 따라 반송하는 반송장치(搬送裝置)를
더 구비하는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리장치.
제2항에 있어서,
상기 복수의 테이블 중 적어도 일부는 각각 테이블 베이스(table base)와, 상기 테이블 베이스의 상에 재치(載置)되어 상기 평면표시체 패널을 흡인하여 고정하는 흡인고정 테이블(吸引固定 table)로 이루어지고,
상기 이동장치는, 상기 복수의 테이블 베이스(table base) 중 일부를 그 이외의 상기 테이블 베이스에 대하여 상대적으로 이동시키는 제1장치와, 상기 복수의 흡인고정 테이블 중 일부를 그 이외의 상기 흡인고정 테이블에 대하여 상대적으로 이동시키는 제2장치의 적어도 일방(一方)으로 이루어지고,
상기 복수의 흡인고정 테이블 상에 1매의 상기 평면표시체 패널을 흡인하여 고정한 상태에 있어서 상기 제1장치 또는 제2장치에 의한 상기 이동에 의하여, 인접하는 복수의 상기 패널 조각 사이의 불필요한 부재를 분리할 수 있는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리장치.
제3항에 있어서,
상기 평면표시체 패널의 주면 상의 1축방향으로 연장된 가이드축과, 상기 가이드축과 결합하고 상기 복수의 테이블 베이스 중 적어도 일부를 각각 상기 가이드축의 축선을 따라 이동할 수 있도록 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 가이드축의 축선을 따라 반송하는 반송장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리장치.
제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
상기 복수의 테이블 중 적어도 일부는, 인접하는 테이블을 서로 결합하는 결합기구(結合機構)를 구비하는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리장치.
제1항 내지 제5항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
상기 복수의 테이블은 2차원적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리장치.
제품 크기의 패널 조각으로 분리하기 위한 스크라이브 라인이 형성된 평면표시체 패널을 상기 각 패널 조각으로 분리하기 위한 분리방법(分離方法)에 있어서,
상기 평면표시체 패널에 형성된 상기 복수의 패널 조각을 복수의 테이블 상에 흡인하여 고정하고,
이어서 상기 복수의 테이블의 일부를, 그 이외의 상기 테이블에 대하여 상대적으로 그리고 상기 평면표시체 패널의 주면 상의 적어도 1축방향으로 이동시켜서, 상기 방향에서 인접하는 복수의 상기 패널 조각의 간격이 넓어짐으로써 상기 복수의 패널 조각 사이의 불필요한 부재가 분리되는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리방법.
제7항에 있어서,
상기 평면표시체 패널의 크기 및/또는 1매당 패널 수에 따라, 상기 복수의 테이블을 상기 평면표시체 패널의 패널 조각을 흡인하여 고정할 수 있는 위치로 이동시키는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리방법.
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 평면표시체 패널의 각 패널 조각은 TFT기판과 그 위에 포개지는 CF기판으로 이루어지고, 상기 TFT기판을 하측으로 상기 CF기판을 상측으로 하여 분리작업을 하는 것을 특징으로 하는 평면표시체 머더기판의 분리방법.