KR20100080025A

KR20100080025A - 웨이퍼 검사장치 및 검사방법

Info

Publication number: KR20100080025A
Application number: KR1020080138641A
Authority: KR
Inventors: 박상주; 이상균
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2008-12-31
Filing date: 2008-12-31
Publication date: 2010-07-08

Abstract

본 발명은, 복수개의 관통구를 구비하며 승강가능하도록 구성된 척; 및 상기 복수개의 관통구를 통해 상기 척 위로 돌출될 수 있도록 승강가능하도록 구성된 복수개의 리프트 핀을 포함하여 이루어진 웨이퍼 검사장치, 및 웨이퍼 검사방법에 관한 것으로서,

본 발명은 웨이퍼가 안착되는 척을 승강가능하게 구성함으로써, 종래와 같이 리프트 플레이트를 하강하여 웨이퍼를 척 상에 안착시키는 대신에 척을 상승하여 웨이퍼를 척 상에 안착시키기 때문에 웨이퍼가 안착되는 과정에서 흔들리는 문제가 해소된다.

웨이퍼, 검사

Description

웨이퍼 검사장치 및 검사방법{Apparatus and Method for testing a wafer}

본 발명은 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 웨이퍼를 정확한 위치에 안정하게 안착한 상태에서 웨이퍼에 대한 검사를 수행할 수 있는 웨이퍼 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.

웨이퍼에는 다수의 반도체 칩들이 형성되고, 이와 같은 반도체 칩들은 그 불량 여부에 대한 검사공정을 거치게 된다. 상기 반도체 칩들은 개별적으로 검사공정을 수행하게 되는데, 생산성 향상을 위해서는 웨이퍼 상태에서 각각의 반도체 칩들에 대해 일괄적으로 검사공정을 수행하는 것이 바람직하고, 이를 위해서 웨이퍼 검사장치가 개발된 바 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 검사장치의 개략적인 단면도이다.

도 1에서 알 수 있듯이, 종래의 웨이퍼 검사장치는, 웨이퍼(W)를 안착시키기 위한 척(10), 웨이퍼(W) 내의 반도체 칩들을 테스트하는 테스터기(20), 및 웨이퍼(W)를 상기 척(10) 상에 안착시키기 위한 리프트 플레이트(30)를 포함하여 이루어진다.

상기 척(10)에는 복수 개의 관통구(11)가 형성되어 있다. 상기 테스터기(20) 에는 복수 개의 탐침(21)이 구비된 프로브 카드가 장착되어 있어 상기 탐침(21)이 웨이퍼(W) 내의 반도체 칩들과 전기적으로 접속하게 된다. 상기 리프트 플레이트(30)에는 복수 개의 리프트 핀(31)이 연결되어 있고, 상기 복수 개의 리프트 핀(31)은 상기 관통구(11)를 통해 상기 척(10) 위로 돌출되도록 구성된다.

이와 같은 종래의 웨이퍼 검사장치는 웨이퍼(W)를 상기 척(10) 상에 안착시키는 로딩공정, 웨이퍼(W) 내의 반도체 칩들에 대해서 테스트하는 테스트공정, 및 테스트 완료된 웨이퍼(W)를 상기 척(10)에서 분리하는 언로딩공정을 수행하는데, 이에 대해서 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

우선, 상기 로딩공정에 대해서 설명하면, 상기 리프트 플레이트(30)가 상승하여 상기 관통구(11)를 통해 상기 척(10)의 상부로 상기 리프트 핀(31)이 돌출하게 된다. 그 상태에서 로봇암(미도시)이 웨이퍼(W)를 이송하여 상기 리프트 핀(31) 위에 안착시킨다. 그 후, 상기 리프트 플레이트(30)가 하강하여 상기 관통구(11)를 통해 상기 척(10)의 하부로 상기 리프트 핀(31)이 하강하게 되고, 그에 따라, 상기 리프트 핀(31)에 안착된 웨이퍼(W)가 상기 척(10) 상에 안착하게 되어 로딩공정이 완성된다.

다음, 상기 테스트공정에 대해서 설명하면, 상기 테스터기(20)의 탐침(21)이 웨이퍼(W) 내의 반도체 칩들과 전기적으로 접속하고, 그 상태에서 상기 반도체 칩들에 대한 테스트 공정을 수행한다.

다음, 상기 언로딩 공정에 대해서 설명하면, 상기 언로딩 공정은 상기 로딩공정의 역순으로 진행한다. 즉, 상기 리프트 플레이트(30)가 상승하여 상기 척(10) 의 관통구(11)를 통해 상기 리프트 핀(31)이 돌출함에 따라 상기 척(10) 상에 안착된 웨이퍼(W)가 상기 리프트 핀(31)에 의해 지지된다. 그 후, 로봇암이 진입하여 상기 리프트 핀(31)에 의해 지지된 웨이퍼(W)를 이후 공정장비로 이송하게 된다.

그러나, 이와 같은 종래의 웨이퍼 검사장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

종래의 웨이퍼 검사장치는 웨이퍼(W)를 상기 척(10) 상에 안착시키는 로딩공정을 수행함에 있어서, 상기 척(10)은 움직임 없이 고정되고 상기 리프트 플레이트(30)가 웨이퍼(W)를 지지한 상태에서 하강함으로써 상기 척(10) 상에 웨이퍼(W)가 안착되는데, 이 과정에서 웨이퍼(W)가 흔들릴 수 있어 상기 척(10) 상의 정확한 위치에 안정하게 웨이퍼(W)가 안착되지 못하는 문제점이 발생할 수 있다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 웨이퍼를 척의 정확한 위치에 안정하게 안착한 상태에서 웨이퍼에 대한 검사를 수행할 수 있도록 하는 웨이퍼 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 복수개의 관통구를 구비하며 승강가능하도록 구성된 척; 및 상기 복수개의 관통구를 통해 상기 척 위로 돌출될 수 있도록 승강가능하도록 구성된 복수개의 리프트 핀을 포함하여 이루어진 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

여기서, 상기 복수개의 리프트 핀은 리프트 플레이트에 연결되어 있고, 상기 리프트 플레이트는 연결부재를 통해 제1승강장치와 연결되어 있어, 상기 리프트 플레이트의 승강에 의해 상기 복수개의 리프트 핀이 승강할 수 있다. 상기 복수개의 리프트 핀의 상단에는 진공홀이 구비되어 있고, 상기 진공홀은 진공장치와 연결될 수 있다.

상기 척을 지지하는 척 플레이트가 상기 척 하부에 추가로 구성되어 있고, 상기 척 플레이트에는 제2승강장치가 연결되어 있어, 상기 척 플레이트의 승강에 의해 상기 척이 승강할 수 있다. 이때, 상기 척 플레이트의 승강시 상기 척 플레이트가 상기 복수 개의 리프트 핀에 의해 간섭을 받지 않도록 하기 위해서, 상기 척 플레이트는 비어있는 공간을 구비할 수 있다. 또한, 상기 척 플레이트에는 회전기구가 연결되어 있어, 상기 회전기구에 의해 상기 척 플레이트 및 상기 척 플레이트에 의해 지지되는 척이 회전가능하도록 구성될 수 있다.

본 발명은 또한, 척에 구비된 관통구를 통해 복수 개의 리프트 핀을 상승시켜 복수 개의 리프트 핀을 상기 척 위로 돌출시키는 공정; 상기 복수 개의 리프트 핀 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정; 상기 척을 상승시켜 상기 척 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정; 및 상기 웨이퍼 내의 반도체칩을 테스터기의 탐침과 접속하여 상기 반도체칩에 대한 테스트를 수행하는 공정을 포함하여 이루어진 웨이퍼 검사방법을 제공한다.

여기서, 상기 척 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정 이후에, 상기 척 상에 웨이퍼가 정확히 정렬되었는지를 확인한 후 상기 웨이퍼가 정확히 정렬되지 않은 경우 상기 웨이퍼를 재정렬하는 공정을 추가로 수행할 수 있다. 이때, 상기 웨이퍼를 재정렬하는 공정은 상기 척 하부에 구성된 척 플레이트를 회전하는 공정으로 이루어질 수 있다.

상기 복수 개의 리프트 핀 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정은, 상기 리프트 핀 상단에 구비된 진공홀을 통해 상기 리프트 핀이 상기 웨이퍼를 진공흡착하는 공정을 포함할 수 있다.

상기 테스트 공정 이후에, 상기 척을 하강시켜 상기 웨이퍼를 상기 복수 개의 리프트 핀 상에 안착시키는 공정; 및 상기 복수 개의 리프트 핀 상에 안착된 웨이퍼를 로봇암을 이용하여 이송하는 공정을 추가로 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 본 발명은 웨이퍼가 안착되는 척을 승강가능하게 구성함으로써, 종래와 같이 리프트 플레이트를 하강하여 웨이퍼를 척 상에 안착시키는 대신에 척을 상승하여 웨이퍼를 척 상에 안착시키기 때문에 웨이퍼가 안착되는 과정에서 흔들리는 문제가 해소된다.

둘째, 본 발명은 리프트 핀의 상단에 진공홀을 형성함으로써 웨이퍼가 리프트 핀 상에 진공흡착상태로 보다 안정하게 고정될 수 있다.

셋째, 본 발명은 웨이퍼가 안착되는 척을 회전가능하게 구성함으로써, 척 상에 웨이퍼가 정확하게 정렬되지 않은 경우 웨이퍼를 재정렬할 수 있다.

이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사장치의 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 개략적인 사시도이다.

도 2 및 도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사장치(1)는, 척(100) 및 리프트 핀(200)을 포함하여 이루어진다.

상기 척(100)은 웨이퍼(W)가 안착되는 것으로서, 상기 척(100)에는 복수개의 관통구(110)가 구비되어 있다. 상기 관통구(110)는 상기 리프트 핀(200)의 통로역 할을 하는 것으로서, 상기 리프트 핀(200)은 상기 관통구(110)를 통해 상기 척(100) 상부로 돌출된다. 상기 관통구(110)는 상기 척(100)의 정중앙을 중심으로 한 동심원 상에서 복수개가 형성될 수 있으며, 바람직하게는 상기 척(100)의 정중앙에서 서로 동일한 각도(즉, 120도의 각도)를 유지하면 세개가 형성될 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.

상기 리프트 핀(200)은 상기 척(100)에 구비된 관통구(110)에 대응하는 개수로 형성되어, 상기 관통구(110)를 통해 상기 척(100)의 하부에서 상부로 상승하거나 또는 상기 척(100)의 상부에서 하부로 하강한다. 상기 리프트 핀(200)은 리프트 플레이트(210)에 연결되어 있어, 상기 리프트 플레이트(210)의 승강에 의해서 상기 리프트 핀(200)이 승강하게 된다. 상기 리프트 플레이트(210)는 원형으로 구성될 수 있지만 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 상기 리프트 플레이트(210)는 연결부재(230)를 통해서 제1승강장치(250)와 연결되어 있으며, 상기 제1승강장치(250)의 작동에 의해서 상기 연결부재(230) 및 그와 연결된 리프트 플레이트(210)가 승강하게 된다. 상기 제1승강장치(250)는 실린더 장치를 이용할 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.

도 4를 참조하면, 상기 리프트 핀(200)의 상단에는 진공홀(201)이 구비되어 있고, 상기 진공홀(201)은 진공장치(290)와 연결되어 있다. 보다 구체적으로는 상기 진공홀(201)과 연통되는 홀(203)이 상기 리프트 핀(200)의 길이방향으로 형성되어 있고, 상기 홀(203)의 말단은 배관(270)을 통해 진공장치(290)와 연결되어 있다. 따라서, 상기 리프트 핀(200) 상에 웨이퍼가 안착된 상태에서 상기 진공장 치(290)를 작동하면 상기 웨이퍼가 상기 리프트 핀(200)에 진공흡착되어 움직임 없이 안정하게 고정된다.

상기 척(100)의 하부에는 상기 척(100)을 지지하는 척 플레이트(300)가 구성된다. 상기 척 플레이트(300)는 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 및 상기 리프트 플레이트(210)가 승강할 수 있도록 제1공간(301)을 구비한다. 즉, 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 및 상기 리프트 플레이트(210)가 하강할 때 간섭을 받지 않도록 하기 위해서, 상기 척 플레이트(300)는 그 중앙부에 비어 있는 제1공간(301)을 구비하는 것이다. 또한, 상기 척 플레이트(300)는 상기 연결부재(230)가 승강할 수 있도록 제2공간(302)을 구비한다. 즉, 상기 연결부재(230)가 하강할 때 간섭을 받지 않도록 하기 위해서, 상기 척 플레이트(300)는 상기 연결부재(230)가 형성되는 위치에 대응하는 위치에 비어있는 제2공간(302)을 구비하는 것이다.

상기 척 플레이트(300)는 제2승강장치(320)와 연결되어 있으며, 상기 제2승강장치(320)의 작동에 의해서 상기 척 플레이트(300)가 승강하게 되고, 그에 따라 상기 척(100)이 승강하게 된다. 상기 제2승강장치(320)는 볼 스크류장치를 이용할 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 상기 볼 스크류장치는 모터, 상기 모터에 의해 회전되는 볼스크류, 및 상기 볼스크류의 회전에 의해 승강하며 상기 척 플레이트(300)에 고정되는 체결부재를 포함하여 구성될 수 있는데, 이 경우, 상기 모터가 상기 볼스크류를 회전시키면 상기 체결부재가 승강하게 되고, 그에 따라 상기 체결부재에 고정된 척 플레이트(300)가 승강하게 된다. 경우에 따라서, 상기 모터와 볼스크류를 풀리와 벨트를 통해 연결할 수 있으며, 이 경우는 모터와 볼스 크류의 위치를 적절히 변경하여 공간을 유용하게 활용할 수 있는 장점이 있다.

상기 척 플레이트(300)는 전술한 제1공간(301) 및 제2공간(302)을 구비하고 있기 때문에, 상기 척 플레이트(300)가 승강시 리프트 핀(200), 리프트 플레이트(210), 및 연결부재(230)에 의해 간섭을 받지 않게 된다.

상기 척 플레이트(300)에는 회전기구(340)가 연결되어 있어, 상기 회전기구(340)를 좌우로 이동시킬 경우 상기 척 플레이트(300)가 회전하게 되고, 그에 따라 척(100)이 회전하게 되는데, 이와 같은 구성을 통해 척(100)에 안착된 웨이퍼(W)의 위치를 재정렬할 수 있다. 즉, 웨이퍼(W)가 척(100) 위의 정확한 위치에 정렬되지 않은 경우에는, 테스터기(미도시)에 장착된 프로브 카드의 탐침이 웨이퍼(W) 내의 반도체칩들과 접속불량을 유발할 수 있기 때문에, 웨이퍼(W)를 정확한 위치에 정렬하는 것이 요구되며, 이를 위해서는 상기 웨이퍼(W)가 안착된 척(100)를 회전시킬 필요가 있다. 따라서, 상기 척 플레이트(300)에 회전기구(340)를 연결하여 상기 척 플레이트(300)를 회전가능하게 구성함으로써, 상기 척(100)을 필요한 만큼 회전시켜 웨이퍼(W)의 위치를 재정렬할 수 있게 된다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사방법의 흐름도로서, 이하에서는 도 5 및 전술한 도 2 내지 도 4를 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사방법에 대해서 설명하기로 한다.

우선, 척(100)에 구비된 관통구(110)를 통해 복수 개의 리프트 핀(200)을 상승시켜, 복수 개의 리프트 핀(200)을 상기 척(100) 위로 돌출시킨다(1S).

상기 복수 개의 리프트 핀(200)을 상승시키는 공정은 제1승강장치(250)를 작 동시켜 수행한다. 즉, 상기 제1승강장치(250)를 구성하는 실린더 장치의 실린더 로드를 상부로 연장할 경우, 상기 실린더 로드와 연결되는 연결부재(230)가 상승하고, 상기 연결부재(230)가 상승하면 그에 연결된 리프트 플레이트(210)가 상승하고, 그에 따라 상기 리프트 플레이트(210)에 연결된 복수 개의 리프트 핀(200)이 상승하게 된다. 상기 복수 개의 리프트 핀(200)은 상기 척(100)에 구비된 관통구(110)를 통해 상승하게 되는데, 상기 관통구(110)를 관통하여 상기 척(100) 위로 소정 거리만큼 돌출될 때까지 상기 복수 개의 리프트 핀(200)을 상승시킨다.

다음, 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 상에 웨이퍼(W)를 안착시킨다(2S).

상기 웨이퍼(W)는 로봇암을 이용하여 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 상에 안착된다. 상기 웨이퍼(W)를 안착시키는 공정시, 진공장치(290)를 작동시켜 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단에 형성된 진공홀(201)을 통해 상기 웨이퍼(W)를 진공흡착하는 것이 웨이퍼(W)를 움직임없이 안정하게 지지할 수 있어 바람직하다.

다음, 상기 척(100)을 상승시켜 상기 척(100) 상에 웨이퍼(W)를 안착시킨다(3S).

상기 척(100)을 상승시키는 공정은 제2승강장치(320)를 작동시켜 수행한다. 즉, 상기 제2승강장치(320)를 구성하는 볼 스크류를 회전시켜 체결부재를 상승시킬 경우, 상기 체결부재와 연결된 척 플레이트(300)가 상승하고, 그에 따라 상기 척 플레이트(300)에 연결된 척(100)이 상승하게 된다.

상기 척(100)이 상기 웨이퍼(W)의 하면과 접촉하여 상기 웨이퍼(W)가 상기 척(100) 상에 안착될 때까지 상기 척(100)을 상승시켜야 하며, 따라서, 상기 척(100)은 그 상면이 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단과 일치될 때까지 또는 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단 보다 높은 위치가 될 때까지 상승시킨다.

상기 웨이퍼(W)가 상기 복수 개의 리프트 핀(200)에 진공흡착된 상태에서 상기 척(100)을 그 상면이 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단 위치 보다 높은 위치가 될 때까지 상승시킬 경우, 상기 척(100) 상에 웨이퍼(W)를 안정하게 안착시킬 수 없기 때문에, 이 경우에는 상기 리프트 핀(200)에 의한 상기 웨이퍼(W)의 진공흡착을 해제해야 한다. 상기 척(100)을 그 상면이 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단과 일치될 때까지 상승시킬 경우에는 반드시 상기 리프트 핀(200)에 의한 웨이퍼(W)의 진공흡착을 해제할 필요는 없지만, 이 경우에도 진공을 해제한 상태에서 공정을 진행하는 것이 바람직하다.

다음, 상기 척(100) 상에 웨이퍼(W)가 정확히 정렬되었는지를 확인한다(4S)

상기 척(100) 상에 웨이퍼(W)가 정확히 정렬되었는지는 소정의 비전(Vision)장치를 이용해서 확인할 수 있다.

다음, 상기 웨이퍼(W)가 정확히 정렬되지 않은 경우 상기 웨이퍼(W)를 재정렬하고(5S), 상기 웨이퍼(W)가 정확히 정렬된 경우 상기 웨이퍼(W) 내의 반도체칩을 테스터기의 탐침과 접속하여 상기 반도체칩에 대한 테스트를 수행한다(6S). .

상기 웨이퍼(W)를 재정렬하는 공정은 회전기구(340)를 이용하여 수행한다. 즉, 상기 회전기구(340)를 좌측 또는 우측으로 이동시킬 경우, 상기 회전기구(340)에 연결된 척 플레이트(300)가 회전하게 되고, 상기 척 플레이트(300)가 회전할 경우 상기 척(100)이 회전하게 되며, 그에 따라 상기 척(100) 상에 안착된 웨이퍼(W) 가 정확한 위치로 재정렬된다. 이와 같이 웨이퍼를 재정렬한 후에는 웨이퍼(W)가 정확한 위치에 정렬되었는지 다시 확인한 후(4S), 정렬오류가 없다고 판단될 때 테스트 공정(6S)을 수행한다.

상기 테스트를 수행하기 위해서는 상기 웨이퍼(W)와 테스터기의 탐침을 접속시키는 공정이 요구되는데, 이를 위해서 상기 척(100)을 추가로 상승시켜 상기 웨이퍼(W)를 상기 테스터기 쪽으로 이동시킬 수도 있고, 상기 웨이퍼(W)는 고정한 채로 상기 테스터기를 하강시켜 상기 탐침을 상기 웨이퍼(W) 쪽으로 이동시킬 수도 있다.

다음, 테스트 공정을 완료한 후에는, 상기 척(100)을 하강시켜 상기 웨이퍼(W)를 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 상에 안착시킨다(7S).

상기 척(100)을 하강시키는 공정은 제2승강장치(320)를 작동시켜 수행한다. 즉, 상기 제2승강장치(320)를 구성하는 볼 스크류를 회전시켜 체결부재를 하강시킬 경우, 상기 체결부재와 연결된 척 플레이트(300)가 하강하고, 그에 따라 상기 척 플레이트(300)에 연결된 척(100)이 하강하게 된다.

상기 리프트 핀(200)이 상기 웨이퍼(W)의 하면과 접촉하여 상기 웨이퍼(W)가 상기 리프트 핀(200) 상에 안착될 때까지 상기 척(100)을 하강시켜야 하며, 따라서, 상기 척(100)을 그 상면이 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단과 일치될 때까지 또는 상기 복수 개의 리프트 핀(200)의 상단 보다 낮은 위치가 될 때까지 하강시킨다.

상기 리프트 핀(200) 상에 웨이퍼(W)가 안착될 때에는, 진공장치(290)를 작 동시켜 상기 리프트 핀(200)이 상기 웨이퍼(W)를 진공흡착하는 것이 바람직하다.

다음, 상기 복수 개의 리프트 핀(200) 상에 안착된 웨이퍼(W)를 로봇암을 이용하여 이송한다(8S). 로봇암을 이용하여 웨이퍼(W)를 이송하는 공정은 상기 리프트 핀(200)에 의한 웨이퍼(W)의 진공흡착을 해제한 상태에서 수행한다.

도 1은 종래의 웨이퍼 검사장치의 개략적인 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사장치의 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사장치의 분해 사시도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 개략적인 사시도이다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사방법의 흐름도이다.

<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>

100: 척 110: 관통구

200: 리프트 핀 210: 리프트 플레이트

230: 연결부재 250: 제1승강장치

300: 척 플레이트 320: 제2승강장치

340: 회전기구 W: 웨이퍼

Claims

복수개의 관통구를 구비하며 승강가능하도록 구성된 척; 및

상기 복수개의 관통구를 통해 상기 척 위로 돌출될 수 있도록 승강가능하도록 구성된 복수개의 리프트 핀을 포함하여 이루어진 웨이퍼 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 복수개의 리프트 핀은 리프트 플레이트에 연결되어 있고, 상기 리프트 플레이트는 연결부재를 통해 제1승강장치와 연결되어 있어, 상기 리프트 플레이트의 승강에 의해 상기 복수개의 리프트 핀이 승강하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 복수개의 리프트 핀의 상단에는 진공홀이 구비되어 있고, 상기 진공홀은 진공장치와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 척을 지지하는 척 플레이트가 상기 척 하부에 추가로 구성되어 있고, 상기 척 플레이트에는 제2승강장치가 연결되어 있어, 상기 척 플레이트의 승강에 의해 상기 척이 승강하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
제4항에 있어서,

상기 척 플레이트의 승강시 상기 척 플레이트가 상기 복수 개의 리프트 핀에 의해 간섭을 받지 않도록 하기 위해서, 상기 척 플레이트는 비어있는 공간을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
제5항에 있어서,

상기 비어 있는 공간은, 상기 리프트 핀 및 상기 리프트 핀에 연결되는 리프트 플레이트에 대응하는 위치에 형성된 제1공간, 및 상기 리프트 플레이트 연결되는 연결부재에 대응하는 위치에 형성된 제2공간을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
제4항에 있어서,

상기 척 플레이트에는 회전기구가 연결되어 있어, 상기 회전기구에 의해 상기 척 플레이트 및 상기 척 플레이트에 의해 지지되는 척이 회전가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
척에 구비된 관통구를 통해 복수 개의 리프트 핀을 상승시켜 복수 개의 리프트 핀을 상기 척 위로 돌출시키는 공정;

상기 복수 개의 리프트 핀 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정;

상기 척을 상승시켜 상기 척 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정; 및

상기 웨이퍼 내의 반도체칩을 테스터기의 탐침과 접속하여 상기 반도체칩에 대한 테스트를 수행하는 공정을 포함하여 이루어진 웨이퍼 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 척 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정 이후에, 상기 척 상에 웨이퍼가 정확히 정렬되었는지를 확인한 후 상기 웨이퍼가 정확히 정렬되지 않은 경우 상기 웨이퍼를 재정렬하는 공정을 추가로 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
제9항에 있어서,

상기 웨이퍼를 재정렬하는 공정은 상기 척 하부에 구성된 척 플레이트를 회전하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 복수 개의 리프트 핀 상에 웨이퍼를 안착시키는 공정은, 상기 리프트 핀 상단에 구비된 진공홀을 통해 상기 리프트 핀이 상기 웨이퍼를 진공흡착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
제8항에 있어서,

상기 테스트 공정 이후에,

상기 척을 하강시켜 상기 웨이퍼를 상기 복수 개의 리프트 핀 상에 안착시키는 공정; 및

상기 복수 개의 리프트 핀 상에 안착된 웨이퍼를 로봇암을 이용하여 이송하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.