[go: up one dir, main page]

KR20100070966A - Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction - Google Patents

Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction Download PDF

Info

Publication number
KR20100070966A
KR20100070966A KR1020080132661A KR20080132661A KR20100070966A KR 20100070966 A KR20100070966 A KR 20100070966A KR 1020080132661 A KR1020080132661 A KR 1020080132661A KR 20080132661 A KR20080132661 A KR 20080132661A KR 20100070966 A KR20100070966 A KR 20100070966A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
edge
area
lighting devices
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1020080132661A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이호영
김영식
방의찬
Original Assignee
(주)제노정보시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)제노정보시스템 filed Critical (주)제노정보시스템
Priority to KR1020080132661A priority Critical patent/KR20100070966A/en
Publication of KR20100070966A publication Critical patent/KR20100070966A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765Method using an image detector and processing of image signal
    • G01N2021/177Detector of the video camera type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513Liquid crystal panels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에 관한 것으로, 더욱 자세히 설명하면, 유리기판의 이송방향과 직각인 유리기판의 상단과 하단의 에지면 영상을 획득하기 위해, 유리기판의 이송 방향 대비 수직선상으로 다수 개의 에어리어 카메라들을 배열하고, 유리기판의 상단 에지면의 진입 또는 하단 에지면의 진출을 감지센서가 감지하여 미리 프로그램화된 정확한 타이밍에 유리기판의 상단 에지면과 하단 에지면의 영상을 획득하여 유리기판이 이송중에 유리기판의 에지면의 결함을 검출할 수 있는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a defect detection device of the edge surface of the glass substrate in the traveling direction, and more specifically, to obtain the edge image of the top and bottom of the glass substrate perpendicular to the conveying direction of the glass substrate, Arrange a plurality of area cameras in a vertical line with respect to the conveying direction, and the sensor detects the entrance of the upper edge of the glass substrate or the entry of the lower edge of the glass substrate, and the upper edge of the upper surface and the lower edge of the glass substrate at an accurate pre-programmed timing. An apparatus for detecting a defect of an edge surface of a glass substrate in a direction in which a glass substrate is acquired to detect a defect of an edge surface of a glass substrate during transfer.

Description

유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치{Apparatus for Detecting Defect on the Edge of Glass Panel in the Moving Direction}Apparatus for Detecting Defect on the Edge of Glass Panel in the Moving Direction}

본 발명은 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에 관한 것으로, 더욱 자세히 설명하면, 유리기판의 이송방향과 직각인 유리기판의 상단과 하단의 에지면 영상을 획득하기 위해, 유리기판의 이송 방향 대비 수직선상으로 다수 개의 에어리어 카메라들을 배열하고, 유리기판의 상단 에지면의 진입 또는 하단 에지면의 진출을 감지센서가 감지하여 미리 프로그램화된 정확한 타이밍에 유리기판의 상단 에지면과 하단 에지면의 영상을 획득하여 유리기판이 이송중에 유리기판의 에지면의 결함을 검출할 수 있는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a defect detection device of the edge surface of the glass substrate in the traveling direction, and more specifically, to obtain the edge image of the top and bottom of the glass substrate perpendicular to the conveying direction of the glass substrate, Arrange a plurality of area cameras in a vertical line with respect to the conveying direction, and the sensor detects the entrance of the upper edge of the glass substrate or the entry of the lower edge of the glass substrate, and the upper edge of the upper surface and the lower edge of the glass substrate at an accurate pre-programmed timing. An apparatus for detecting a defect of an edge surface of a glass substrate in a direction in which a glass substrate is acquired to detect a defect of an edge surface of a glass substrate during transfer.

유리기판은 일정한 동영상 화면 등이 디스플레이되는 디스플레이제품에 사용되고 있고, 대표적인 것으로 CRT (Cathode Ray Tube), PDP (Plasma Display Panel), LCD (Liquid Crystal Display), OLED (Organic Light Emitting Diode) 등이 있다.Glass substrates are used in display products that display certain moving image screens, and the representative ones are CRT (Cathode Ray Tube), PDP (Plasma Display Panel), LCD (Liquid Crystal Display), and OLED (Organic Light Emitting Diode).

CRT (Cathode Ray Tube) 란 음극선관을 말하며 일명 브라운관이라고도 하는데, 전기신호를 전자빔(beam)으로 형광면에 쏘아 광학상으로 변환하여 화상을 표시하는 장치를 말한다. CRT는 종래의 텔레비전이나 모니터에 가장 많이 채용되던 것 중에 하나이다. 프로젝션이나 LCD, PDP보다 가격이 저렴하여 경제적으로 부담이 적으며, 프로젝션, PDP, LCD 보다는 화질이 뛰어나다. 하지만, 예를 들어 34 인치 이상으로는 제작하기가 쉽지 않기 때문에 대형화면을 즐기기 어렵다.CRT (Cathode Ray Tube) is a cathode ray tube, also known as a brown tube, is an apparatus that displays an image by converting an electrical signal into an optical image by emitting an electron beam to a fluorescent surface. CRT is one of the most widely used in conventional televisions and monitors. It is cheaper than projection, LCD, and PDP, so it is economically less expensive, and it has better image quality than projection, PDP, and LCD. However, for example, it is difficult to enjoy large screens because it is not easy to produce more than 34 inches.

PDP(Plasma Display Panel)는 이온과 전자의 혼합물질인 소위, 플라즈마의 현상을 이용한 것이다. PDP는 두께가 아주 얇기 때문에 벽걸이용으로도 적합하며, 동영상 방식에서도 잔상이 거의 남지 않는 이점이 있고 색감이 상대적으로 우수하다. 다만, 열이 많이 발생할 뿐만 아니라 다른 것들에 비해 전력소비가 상대적으로 높다는 단점이 있다.Plasma Display Panel (PDP) utilizes the phenomenon of plasma, which is a mixture of ions and electrons. PDP is very thin, so it is also suitable for wall-mounting. It has the advantage that almost no afterimage remains even in the video system, and the color is excellent. However, there is a drawback that not only generates a lot of heat but also consumes relatively high power compared to other things.

LCD (Liquid Crystal Display) 는 두 장의 유리기판 사이에 액정 (Liquid Crystal)을 넣은 것을 말한다. LCD는 반도체 공정에 의해 생산되기 때문에 해상도 면에선 PDP 보다 유리한 특성을 가지고 있다. LCD 는 응답속도가 느리다는 단점을 가지고 있었으나 이러한 단점도 최근에는 많이 개선되어 있다. LCD (Liquid Crystal Display) is a liquid crystal (Liquid Crystal) between the two glass substrates. LCD is more advantageous than PDP in resolution because it is produced by semiconductor process. LCD has a disadvantage of slow response time, but these disadvantages have been improved a lot recently.

OLED(Organic Light Emitting Diode)는 전술한 LCD를 대체할 차세대 디스플레이로 간주된다. 에너지 효율이 월등히 높고 밝기도 밝아 소형 가전제품의 디스플레이용으로 적합하다. 소위, 유기EL 이라고도 불리는 OLED는 자체 발광 방식으로 전장을 가하면 빛이 나는 방식으로 이루어졌으며 선명한 컬러와 가벼운 구조, 빠른 응답 속도를 자랑한다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are considered to be next-generation displays that will replace the aforementioned LCDs. The high energy efficiency and bright brightness make it suitable for the display of small home appliances. OLED, also called organic EL, is made by emitting light by applying electric field with its own light emitting method. It boasts vivid color, light structure and fast response speed.

종래의 디스플레이장치로서 채용되는 스크린의 크기는 14 인지에서 30 인지 정도의 크기가 대부분이었다. 하지만 근자에 들어서는 보다 넓은 화면 감상을 위해 40 인지 이상의 대형 스크린을 선호하고 있다. 따라서 사용되는 유리기판의 규격이 점차 대형화 되는 추세이다.The size of the screen employed as a conventional display device is mostly from about 14 to about 30 screens. In recent years, however, they prefer large screens of 40 or more for wider viewing. Therefore, the size of the glass substrate used is gradually increasing in size.

유리기판은 원료를 통해 유리기판을 성형하는 성형공정을 거친 후, 해당 규격으로 절단하는 절단공정, 해당 부위를 연마하는 연마공정을 거쳐 기본적인 규격사항을 만족한 상태에 제품으로 출시된다. 물론, 절단 및 연마공정 외에도 필요시 검사공정이나 리페어(Repair) 공정 등을 수반하기도 한다.The glass substrate goes through a molding process of forming a glass substrate through raw materials, and is then released as a product in a state that satisfies basic specifications through a cutting process of cutting to a corresponding standard and a polishing process of polishing a corresponding part. Of course, in addition to the cutting and polishing process, it also involves an inspection process or a repair process if necessary.

유리기판을 성형하는 것으로부터 시작하여 최종적인 제품으로 출시되기까지 여러 가지 요인으로 인해 유리기판에는 결함이 발생할 수 있다. A variety of factors can cause defects in glass substrates, starting with shaping glass substrates and getting to the final product.

유리기판에 발생할 수 있는 결함들 중에서 유리기판의 단부면인 에지(edge)에 결함이 발생하는 것을 유리기판의 에지면 결함이라 한다. Among defects that may occur in the glass substrate, a defect occurs at an edge, which is an end surface of the glass substrate, is called an edge defect of the glass substrate.

유리기판의 에지면 결함이란 유리기판의 에지면이 평행하지 않고 울퉁불퉁한 상태 또는 충격에 의해 금이 가능 경우 등을 가지는 것을 말하는데 에지면 결함의 정도에 따라 리페어(Repair) 공정을 통해 수리하기도 한다. 그러나 에지면의 결함 정도가 심하면 해당 유리기판을 폐기하기도 한다. The edge defect of the glass substrate means that the edges of the glass substrate are not parallel and have cracks or bumps due to impacts. Depending on the extent of the edge defect, the glass substrate may be repaired through a repair process. However, if the level of defects on the edge is severe, the glass substrate may be discarded.

인-라인 자동화 생산라인에서 고속으로 이송 중인 유리기판을 멈추지 아니하고 에지면의 검사를 하기 위해서는 유리기판의 이송 방향을 기준으로 좌우 양끝단에 라인스캔 카메라를 설치하여 획득되는 영상 데이터를 분석 처리하여 에지면의 결함 여부를 판단하는 방법이 일반적이었다. 그러나 이러한 종래의 방법은 유리기판의 이송방향을 기준으로 유리기판의 상단 및 하단의 에지면의 결함은 파악할 수 없다는 단점이 있었다.In order to inspect the edge of the glass substrate without stopping the glass substrate being transported at high speed in the in-line automated production line, the edges are analyzed by analyzing the image data obtained by installing line scan cameras at both ends of the glass substrate. The method of judging the defect of the cotton was common. However, this conventional method has a disadvantage in that the defects of the edges of the top and bottom of the glass substrate based on the transport direction of the glass substrate cannot be grasped.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 인-라인 자동화 생산라인에서 유리기판의 이송되는 과정을 유리기판의 이송방향과 직각인 유리기판의 상단 및 하단의 에지면의 검사를 위하여 유리기판의 이송을 중지하지 아니하고 유리기판의 이송중에 유리기판의 상단과 하단의 에지면의 결함을 검사할 수 있는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, the process of the glass substrate in the in-line automated production line for the inspection of the edge of the upper and lower surfaces of the glass substrate perpendicular to the conveying direction of the glass substrate An object of the present invention is to provide a flaw detection device for the edge surface of the glass substrate in a direction in which the glass substrate can be inspected for defects in the upper and lower edges of the glass substrate while the glass substrate is not stopped.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치는, 대형의 유리기판 (10) 을 에지면의 결함검출을 위하여 이송시키는 이송장치 (30); 상기 유리기판 (10) 의 진행 방향측 에지면을 촬영하는 다수개의 에어리어 카메라들 (50, 52); 상기 에어리어 카메라들 (50, 52) 을 일렬로 지지하는 카메라지지프레임 (55); 상기 카메라지지프레임 (55) 을 지지하고, 모터 등의 구동장치에 의하여 상하로 승강하게 할 수 있는 메인프레임 (60); In order to achieve the above object, the defect detection apparatus of the edge surface of the advancing direction of the glass substrate according to the present invention, the transfer device 30 for transferring the large glass substrate 10 for defect detection of the edge surface; A plurality of area cameras 50 and 52 for photographing an edge surface of the glass substrate 10 in the direction of travel direction; A camera support frame 55 for supporting the area cameras 50 and 52 in a row; A main frame 60 supporting the camera support frame 55 and capable of lifting up and down by a driving device such as a motor;

상기 이송장치 (30) 에 의해 이송되어 지나가는 상기 유리기판 (10) 의 밑면 및, 상기 에어리어 카메라들 (50, 52) 의 바로 밑부분인 카메라 렌즈들이 가리키는 쪽에 거리를 이격되게 설치되어 있는 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22); First and second distances provided on the bottom surface of the glass substrate 10 transferred by the transfer device 30 and on the side indicated by camera lenses immediately below the area cameras 50 and 52; Second lighting devices 20 and 22;

상기 유리기판 (10) 의 진입 및 진출을 감지하는 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42); 상기 유리기판 (10) 의 진입 및 진출에 따른 신호를 감지하고, 감지된 신호에 따라 에어리어 카메라 (50, 52) 가 촬영하는 타이임을 조절하는 회로를 포함하는 제어장치 (100); 및First and second detection sensors 40 and 42 for detecting entry and exit of the glass substrate 10; A control device (100) including a circuit for sensing a signal according to the entry and exit of the glass substrate (10) and adjusting a time taken by the area camera (50, 52) according to the detected signal; And

상기 에어리어 카메라 (50, 52) 에 의해 촬영된 유리기판 (10) 의 진행방향측 에지의 결함을 판독하는 판독용 컴퓨터 (120) 를 포함하는 것을 특징으로 하고,And a reading computer 120 for reading out defects of the edges in the traveling direction of the glass substrate 10 photographed by the area cameras 50 and 52,

상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 발광다이오드 및 확산판으로 구성된 역광조명인 것을 특징으로 하고,The first and second lighting devices (20, 22) is characterized in that the backlight is composed of a light emitting diode and a diffusion plate,

상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 상기 유리기판 (10) 의 진행방향에 대해 서로 일정 거리 만큼 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하고,The first and second lighting devices (20, 22) is characterized in that are installed spaced apart from each other by a predetermined distance with respect to the traveling direction of the glass substrate 10,

상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 의 각각의 길이는 상기 유리기판 (10) 이 이송되는 방향과 직각인 상단과 하단의 유리기판 (10) 의 전체길이의 1/2 보다 더 긴 것을 특징으로 하고,The length of each of the first and second lighting devices 20, 22 is longer than 1/2 of the total length of the upper and lower glass substrates 10 perpendicular to the direction in which the glass substrates 10 are conveyed. Characterized in that,

상기 다수개의 에어리어 카메라들 (50, 52) 로부터 촬영되는 상기 유리기판의 상단 및 하단의 영상은 1 대의 상기 판독용 컴퓨터에서 출력되고 처리되는 것을 특징으로 하고,The images of the top and bottom of the glass substrate photographed from the plurality of area cameras (50, 52) is output and processed in one of the reading computer,

상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 가 설치된 위치에 대응되는 위치의 상부에 각각 다수개의 에어리어 카메라들 (50, 52) 이 설치되는 것을 특징으로 한다.A plurality of area cameras 50 and 52 are respectively installed on tops of positions corresponding to positions where the first and second lighting devices 20 and 22 are installed.

본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에서는, 유리기판의 이송을 중지함이 없이 유리기판의 이송방향에 직각인 유리기판의 상단 및 하단 에지면의 결함을 검사할 수 있음으로 인하여 검사시간 및 검사방법에 따른 로스(Loss) 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있다.In the defect detection device of the edge surface of the glass substrate in the traveling direction according to the present invention, it is possible to inspect the defects of the upper and lower edges of the glass substrate perpendicular to the feeding direction of the glass substrate without stopping the transfer of the glass substrate. Therefore, it is possible to improve productivity by reducing loss caused by inspection time and inspection method.

본 발명의 바람직한 실시예, 장점 및 특징 등은 첨부된 도면을 참조하여 아래에서 상세히 설명된다.Preferred embodiments, advantages and features of the present invention are described in detail below with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치의 사시도이다.1 and 2 are perspective views of a defect detection apparatus of the edge surface of the glass substrate according to the present invention in the traveling direction.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치는 대형의 유리기판 (10) 을 에지면의 결함검출을 위하여 이송시키는 이송장치 (30), 유리기판 (10) 의 진행 방향측 에지면을 촬영하는 다수개의 제 1 및 제 2 에어리어 카메라들 (50, 52), 에어리어 카메라들 (50, 52) 을 일렬로 지지하는 카메라지지프레임 (55), 카메라지지프레임 (55) 을 지지하고, 모터 등의 구동장치에 의하여 상하로 승강하게 할 수 있는 메인프레임 (60), 이송장치 (30) 에 의해 이송되어 지나가는 유리기판 (10) 의 밑면에, 제 1 및 제 2 에어리어 카메라들 (50, 52) 의 바로 밑부분, 즉, 카메라 렌즈들이 가리키는 쪽에 거리를 이격하 게 설치되어 있는 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22), 유리기판 (10) 의 진입 및 진출을 감지하는 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42), 유리기판 (10) 의 진입 및 진출에 따른 신호를 감지하고, 감지된 신호에 따라 에어리어 카메라들 (50, 52) 이 촬영하는 타이임을 조절하는 회로 또는 컴퓨터 프로그램을 포함하는 제어장치 (100), 에어리어 카메라 (50, 52) 에 의해 촬영된 유리기판 (10) 의 진행방향측 에지의 결함을 판독하는 회로 또는 프로그램이 탑재된 판독용 컴퓨터 (120) 를 포함하도록 구성한다.1 and 2, the defect detecting apparatus of the edge surface of the glass substrate according to the present invention according to the present invention transfers a large glass substrate 10 to the defect detection of the edge of the glass substrate. Camera support frame 55, camera for supporting a plurality of first and second area cameras 50 and 52, area cameras 50 and 52 in a line, photographing the edge surface of the direction of the substrate 10 in advance. On the underside of the main frame 60 which can support the support frame 55, and can move up and down by the drive apparatus, such as a motor, and the glass substrate 10 conveyed by the conveying apparatus 30, the 1st And the first and second lighting devices 20 and 22 and the glass substrate 10, which are installed at a lower portion of the second area cameras 50 and 52, that is, on the side indicated by the camera lenses, at a distance from each other. First and second detection sensors 40 and 42 for detecting entry and exit, glass substrate Control device 100, area camera including a circuit or a computer program for detecting a signal according to the entry and exit of the (10), and adjusts the time taken by the area cameras (50, 52) in accordance with the detected signal ( And a reading computer 120 equipped with a circuit or a program for reading out defects in the edges in the direction of the direction of travel of the glass substrate 10 photographed by 50 and 52.

본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치에서 검출대상이 되는 유리기판 (10) 은 상대적으로 큰 사이즈를 가지는 대형 유리기판이 검출대상에 해당한다. 본 발명에 따른 실시예에서는, 유리기판 (10) 의 진행방향측 폭 (A) 이 2.2 m 이상인 유리기판 (10) 이 에지면의 결함 검사대상에 해당한다. 다만, 이와 같은 유리기판 (10) 의 진행방향측 폭 (A) 의 길이는 2.2 m 에 한정되지 아니하고 자유로이 변형이 가능하다.The glass substrate 10 to be detected in the defect detection device on the edge side of the glass substrate according to the present invention corresponds to a large glass substrate having a relatively large size. In the embodiment according to the present invention, the glass substrate 10 whose width A in the advancing direction side of the glass substrate 10 is 2.2 m or more corresponds to the defect inspection object on the edge surface. However, the length of the width A of the traveling direction side of the glass substrate 10 is not limited to 2.2 m and can be freely modified.

본 발명에 따른 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 이송되는 유리기판 (10) 의 하부에 설치되어 에어리어 카메라들 (50, 52) 에 의한 유리기판 (10) 의 앞부분과 뒷부분 (유리기판 (10) 의 진행방향과 직각) 의 에지면의 촬영시 빛을 조사하는 역할을 한다. 본 발명에 따른 조명장치 (20, 22) 는 바람직하게는 발광다이오드 (LED) 와 확산판을 포함하고, 발광다이오드의 불빛은 확산판을 이용하여 조사되는 역광조명인 것을 특징으로 하도록 구성되어 있다. The first and second lighting apparatuses 20 and 22 according to the present invention are installed at the lower part of the glass substrate 10 to be transported, and the front and rear portions of the glass substrate 10 by the area cameras 50 and 52 (glass It serves to irradiate light when the edge surface of the substrate 10 is perpendicular to the advancing direction of the substrate 10. The lighting apparatus 20, 22 according to the present invention preferably comprises a light emitting diode (LED) and a diffusion plate, wherein the light of the light emitting diode is configured to be backlit illumination irradiated using the diffusion plate.

본 발명에 따른 에지면의 결함 검출장치의 검출대상이 되는 유리기판 (10) 은 진행방향측 폭 (A) 이 2.2 m 이상인 유리기판 (10) 이기 때문에 조명장치 (20, 22) 의 전체 길이가 유리기판 (10) 의 진행방향측 폭 (A) 보다 길어야 한다. 이와같은 길이를 가지는 조명장치 (20, 22) 는 확산판의 전체길이 역시 2. 2m 이상의 길이를 가지는 것을 요구한다. 그러나, 현재 확산판을 생산하는 생산업체로부터는 확산판의 전체길이가 2.2 m 이상인 것을 공급받기가 어렵고, 전체길이가 2.2m 이상인 확산판을 공급받기 위해서는 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다. Since the glass substrate 10 to be detected by the defect detection apparatus of the edge surface according to the present invention is a glass substrate 10 having a width A of 2.2 m or more in the traveling direction, the total length of the lighting devices 20 and 22 is increased. It should be longer than the width A of the advancing side of the glass substrate 10. Lighting devices 20 and 22 having such lengths require that the overall length of the diffuser plate also has a length of at least 2. 2 m. However, currently, it is difficult to supply a diffuser plate having a total length of 2.2 m or more from a producer producing a diffuser plate, and a manufacturing cost increases to receive a diffuser plate having a total length of 2.2 m or more.

또한, 2장의 확산판을 설치하여 길이가 2.2m 이상인 조명장치를 구성하는 경우에는 2 장의 확산판이 겹치는 경계부분의 조명이 불균일되는 문제점이 발생할 수도 있고. 이러한 문제점은 유리기판 (10) 의 에치면의 검사에 정확도를 저해하는 문제점이 될 수도 있다. In addition, in the case of constructing a lighting device having a length of 2.2m or more by installing two diffusion plates, there may be a problem that the illumination of the boundary portion where two diffusion plates overlap is uneven. Such a problem may be a problem that impairs the accuracy of the inspection of the etched surface of the glass substrate 10.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에서는 조명장치 (20, 22) 가 앞 뒤로 일정한 거리만큼 이격을 두고 제 1 및 제 2 의 조명장치 (20, 22) 를 설치하게 구성되어 있다. 각각의 조명장치 (20, 22) 는 다수개의 발광다이오드와 1 개의 확산판을 포함하도록 구성되고, 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 의 각각의 길이 B1, B2 는 유리기판 (10) 의 이송방향과 수직인 에지면의 폭 (A) 의 길이의 1/2 보다는 더 길게 형성하도록 구성된다.In order to solve this problem, in the present invention, the lighting apparatuses 20 and 22 are configured to install the first and second lighting apparatuses 20 and 22 at a predetermined distance from each other. Each illumination device 20, 22 is configured to include a plurality of light emitting diodes and one diffuser plate, each length B1, B2 of the first and second illumination devices 20, 22 being a glass substrate 10. It is configured to form longer than half of the length of the width (A) of the edge surface perpendicular to the conveying direction of.

본 발명의 실시예에서 유리기판 (10) 의 진행방향측 폭 (A) 의 길이가 2.2 m 이기 때문에 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 의 각각의 길이 B1, B2 는 1.2 m 씩 구성하는 것이 바람직하다.In the embodiment of the present invention, since the length A of the width direction A of the glass substrate 10 is 2.2 m, the lengths B1 and B2 of the first and second lighting devices 20 and 22 are 1.2 m each. It is desirable to.

도 1 및 도 2 의 실시예에서 보면 유리기판 (10) 의 이송장치 (30) 에 의해 화살표 방향으로 이송되는 유리기판 (10) 의 이송방향측 우측 에지면은 제 2 감지센서 (42) 에 의해 유리기판 (10) 의 진입이 감지되고, 감지된 신호가 제어장치 (100) 로 전송되고, 제어장치 (100) 는 제 2 감지센서 (42) 가 감지한 신호를 딜레이 시켜서 카메라 트리거 신호로 전환시키고 카메라를 동작시킨다. 1 and 2, the ground surface on the right side of the glass substrate 10, which is conveyed in the direction of the arrow by the conveying device 30 of the glass substrate 10, is formed by the second detection sensor 42. The entrance of the glass substrate 10 is detected, the detected signal is transmitted to the control device 100, and the control device 100 delays the signal detected by the second detection sensor 42 and converts it into a camera trigger signal. Operate the camera.

본 발명에 따른 제어장치 (100) 는 카메라 작동 트리거신호를 제 2 조명장치 (22) 와 마주보는 상단의 카메라지지프레임 (55) 에 설치된 제 2 에어리어 카메라들 (52) 에게 전송하여 제 2 조명장치 (22) 와, 제 2 조명장치 (22) 와 마주보는 상단의 카메라지지프레임 (55) 에 설치된 에어리어 카메라들 (52) 들에 의해 유리기판 (10) 상단의 1/2 에 해당하는 우측에지면을 촬영하여 에지면의 결함여부를 검사한다.The control device 100 according to the present invention transmits a camera operation trigger signal to the second area cameras 52 installed in the camera support frame 55 on the upper side facing the second lighting device 22 to the second lighting device. The floor 22 on the right side corresponding to 1/2 of the upper end of the glass substrate 10 by the area cameras 52 installed on the camera support frame 55 on the upper side facing the second lighting device 22. Take a picture and inspect the edges for defects.

그리고, 유리기판 (10) 의 이송장치 (30) 에 의해 화살표 방향으로 이송되는 유리기판 (10) 의 이송방향측 좌측 에지면은 제 1 감지센서 (40) 에 의해 유리기판 (10) 의 진입이 감지되고, 제 1 조명장치 (20) 와, 제 1 조명장치 (20) 와 마주보는 상단의 카메라지지프레임 (55) 에 설치된 제 1 에어리어 카메라들 (50) 들에 의해 유리기판 (10) 상단의 1/2 에 해당하는 좌측에지면이 검사된다.Then, the surface of the left side of the glass substrate 10, which is conveyed in the direction of the arrow by the conveying device 30 of the glass substrate 10, enters the glass substrate 10 by the first sensor 40. The first area cameras 50 are detected and installed on the first lighting device 20 and the first area cameras 50 installed on the upper camera support frame 55 facing the first lighting device 20. The ground on the left side, corresponding to 1/2, is examined.

유리기판 (10) 의 진행방향측 하단부의 에치면의 검사는 유리기판 (10) 의 상단부의 에치면의 검사 후, 유리기판 (10) 이 이송장치 (30) 를 따라 화살표 방향으로 이송되는 도중에 제 2 감지센서 (42) 가 유리기판 (10) 의 부존재를 감지하면 일정시간이 지난 후 제 2 조명장치 (22) 와 제 2 조명장치 (22) 와 마주보는 위치에 설치된 제 2 에어리어 카메라 (52) 가 유리기판 (10) 의 하단의 오른쪽 1/2 에 치면 영역을 촬영하여 에치의 결함을 검사한다. The inspection of the etched surface of the lower end of the glass substrate 10 in the advancing direction is performed after the inspection of the etched surface of the upper end of the glass substrate 10 while the glass substrate 10 is conveyed in the direction of the arrow along the feeder 30. 2 When the detection sensor 42 detects the absence of the glass substrate 10, the second area camera 52 installed at a position facing the second lighting device 22 and the second lighting device 22 after a predetermined time has passed. Is photographed on the right half of the lower end of the glass substrate 10 to examine the defect of the etch.

그리고, 유리기판 (10) 이 이송장치 (20) 를 따라 좀 더 전진한 후 제 1 감지센서 (40) 가 유리기판 (10) 의 부존재를 감지하면 일정시간이 지난 후 제 1 조명장치 (20) 와 제 1 조명장치 (20) 와 마주보는 위치에 설치된 제 1 에어리어 카메라 (50) 가 유리기판 (10) 의 하단의 왼쪽 1/2 에치면 영역을 촬영하여 진행방향과 직각인 유리기판 (10) 의 왼쪽 하단부분의 에치면의 결함을 검사한다. Then, after the glass substrate 10 advances further along the transfer device 20 and the first sensor 40 detects the absence of the glass substrate 10, the first lighting device 20 after a predetermined time has passed. And the first area camera 50 installed at the position facing the first lighting device 20 photographs the left half etched area of the bottom of the glass substrate 10 to be perpendicular to the traveling direction. Inspect the defect of the etched surface of the lower left part of the machine.

본 발명에 따른 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42) 는 유리기판 (10) 과 같은 반사율이 낮은 (투명도가 높은) 물체를 감지하는 광전 센서인 것이 바람직하다.The first and second detection sensors 40, 42 according to the present invention are preferably photoelectric sensors that detect objects with low reflectivity (high transparency), such as the glass substrate 10.

본 발명에 따른 에어리어 카메라들 (50, 52) 은 카메라지지프레임 (55) 상에서 이동이 가능하도록 지지되고, 카메라지지프레임 (55) 은 메인프레임 (60) 을 따라 상하로 이동이 가능하다. 유리기판 (10) 의 상단 및 하단의 에지면의 최적의 촬영을 위하여 각각의 카메라의 위치는 카메라지지프레임 (55) 상의 각 에어리어카메라들 (50, 52) 의 위치변화 및 메인프레임 (60) 을 따라 카메라지지프레임 (55) 을 이동시켜 조절할 수 있다.The area cameras 50 and 52 according to the present invention are supported to be movable on the camera support frame 55, and the camera support frame 55 is movable up and down along the main frame 60. For optimal shooting of the edges of the upper and lower surfaces of the glass substrate 10, the position of each camera is used to change the position of each of the area cameras 50 and 52 and the main frame 60 on the camera support frame 55. The camera support frame 55 can be moved and adjusted accordingly.

본 발명에 따른 각각의 에어리어 카메라들 (50, 52) 은 모두 랜으로 연결되어 촬영된 영상신호가 동시에 판독용컴퓨터 (120) 로 전송되어 진다.Each of the area cameras 50 and 52 according to the present invention is connected to the LAN so that the captured image signal is simultaneously transmitted to the reading computer 120.

도 3 및 도 4 는 도 1 및 도 2 에 도시된 본 발명에 따른 에지면 결함 검출장치의 구성 및 검출동작을 설명하는 동작도이다.3 and 4 are operation diagrams illustrating the configuration and detection operation of the edge defect detecting apparatus according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2.

도 3 및 도 4 를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판 (10) 의 에지면 결함 검사는 판독용 컴퓨터 (120) 에 설치된 프로그램에 의해서 수행되고, 에지면 결함 검사 프로그램은, 크게 에어리어 카메라 (50, 52) 에 의하여 유리기판 (10) 을 촬영하는 단계; 상기 촬영된 영상을 디지털 코드로 변환하는 단계; 상기 디지털 코드를 정상적 데이터와 수학적으로 비교 연산하는 단계; 및 상기 수학적 비교 연산치가 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한다.3 and 4, the edge defect inspection of the glass substrate 10 according to the present invention is performed by a program installed in the reading computer 120, and the edge defect inspection program is largely an area camera 50. Photographing the glass substrate 10 by 52; Converting the photographed image into a digital code; Mathematically comparing the digital code with normal data; And warning if the mathematical comparison operation exceeds a user specified tolerance.

본 발명에 따른 에어리어 카메라들 (50, 52) 에 의하여 촬영된 영상은 판독용 컴퓨터 (120) 에 의해 실시간으로 디지털 코드(digital code)로 바뀌어 유리기판 (10) 의 상단 및 하단의 에지면의 손상 여부 등을 판단할 수 있게 된다. The images captured by the area cameras 50 and 52 according to the present invention are converted into digital codes in real time by the reading computer 120 to damage the edges of the top and bottom of the glass substrate 10. It is possible to determine whether or not.

유리기판 (10) 을 촬영하여 입력되는 영상을 디지털 코드 등의 숫자로 변환하고, 이를 미리 입력된 정상적인 유리기판 (10) 의 데이터와 실시간으로 수학적 비교 연산을 하여, 이때 나타나는 차이를 확인하여 사용자가 지정한 특정 허용범위 이상으로 그 차이가 발생하는 경우 유리기판 (10) 의 에지면에 문제가 있다고 판단하여 작업자에게 경고할 수 있다. Taking the glass substrate 10 and converting the input image into a number such as a digital code, and performing a mathematical comparison operation with the data of the normal glass substrate 10 input in advance in real time, by checking the difference appearing at this time If the difference occurs beyond the specified specific allowable range, it may be determined that there is a problem with the edge of the glass substrate 10, and the worker can be warned.

정상적 데이터는 유리기판 (10) 의 에지면에 결함이 없는 유리기판 (10) 이 본 발명에 따른 에지 검사장치를 통과하면서 본 발명에 따른 에어리어 카메라 (50, 52) 에 의하여 촬영된 영상의 디지털 코드 변환 값을 말한다.The normal data is a digital code of an image taken by the area cameras 50 and 52 according to the present invention while the glass substrate 10 having no defects on the edges of the glass substrate 10 passes through the edge inspection device according to the present invention. The conversion value.

본 발명에 따른 판독용 컴퓨터 (120) 에서 작업자는 에어리어카메라들 (50, 52) 이 촬영한 에지면의 영상을 시각적으로 볼 수 있다. In the reading computer 120 according to the present invention, the operator can visually view an image of the edge surface photographed by the area cameras 50 and 52.

본 발명에 따른 제어장치 (100) 는 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42) 에서 감지한 유리기판 (10) 상단의 진입 및 유리기판 (10) 하단의 진출을 감지하여 에어리 어 카메라들 (50, 52) 및 제 1 및 제 2 조명장치들 (20, 22) 의 작동을 제어하고, 본 발명에 따른 판독용 컴퓨터 (120) 는 에어리어카메라 (50) 에서 촬영한 영상을 디지털 코드로 바꾸거나 수학적 연산 등을 행하는 등 에지 결함여부의 검사의 전반적인 동작을 제어한다.The control device 100 according to the present invention detects the entrance of the upper portion of the glass substrate 10 and the exit of the lower portion of the glass substrate 10 detected by the first and second detection sensors 40 and 42. 50, 52 and the operation of the first and second lighting devices 20, 22, and the reading computer 120 according to the present invention converts the image taken by the area camera 50 into a digital code or The overall operation of the inspection for the presence of edge defects, such as performing mathematical operations and the like, is controlled.

본 발명에 따른 유리기판 (10) 상단 및 하단의 에지면이 결함여부는 다음과 같은 순서로 검출된다.Defects of the upper and lower edges of the glass substrate 10 according to the present invention are detected in the following order.

먼저, 유리기판 (10) 이 이송장치 (30) 에 놓여져 에지면의 검사를 위하여 이송된다. 유리기판 (10) 이 유입되는 곳에 설치된 제 2 감지센서 (42) 에 의해 유리기판 (10) 상단의 유입이 감지되고, 감지된 신호는 제어장치 (100) 에 전송되고, 제어장치 (100) 는 제 2 조명장치 (22) 와 제 2 조명장치 (22) 상단부의 제 2 에어리어카메라 (52) 들을 작동시키고, 유리기판 (10) 상단의 우측 1/2 영역의 에지면은 촬영되어 판독용 컴퓨터로 전송되고, 판독용 컴퓨터 (120) 에서 디지털 코드로 바꾸고, 수학적 연산을 통해 촬영된 유리기판 (10) 상단의 우측 1/2 영역의 에지면 결함 유무를 확인한다. First, the glass substrate 10 is placed on the conveying apparatus 30 and conveyed for inspection of the edge surface. The inflow of the upper portion of the glass substrate 10 is detected by the second detection sensor 42 installed where the glass substrate 10 is introduced, and the detected signal is transmitted to the controller 100, and the controller 100 is The second area 22 and the second area cameras 52 of the upper end of the second lighting device 22 are operated, and the edge surface of the right half area of the upper portion of the glass substrate 10 is photographed to the reading computer. Transmitted, converted to a digital code in the computer 120 for reading, and through the mathematical operation to check the presence of the edge of the edge of the right half of the upper portion of the glass substrate 10 photographed.

이어서 동일한 방식으로 유리기판 (10) 상단의 좌측 1/2 영역의 에지면 결함 유무가 제 1 감지센서 (40) 에 의해 유리기판의 진입이 감지되고, 감지된 신호는 제어장치 (100) 에 전송되고, 제어장치 (100) 는 제 1 조명장치 (20) 와 제 1 조명장치 (20) 상단부의 제 1 에어리어카메라 (50) 들을 작동시키고, 유리기판 (10) 상단의 좌측 1/2 영역의 에지면을 촬영하여 판독용 컴퓨터 (120) 로 전송되고, 판독 용컴퓨터 (120) 는 디지털 코드로 바꾸고, 수학적 연산을 통해 촬영된 유리기판 (10) 상단의 좌측 1/2 영역의 에지면 결함 유무를 확인한다. Subsequently, in the same manner, the presence of a defect in the edge of the upper left half of the upper portion of the glass substrate 10 is detected by the first sensor 40 to enter the glass substrate, and the detected signal is transmitted to the controller 100. The controller 100 operates the first area cameras 50 at the upper end of the first lighting device 20 and the first lighting device 20, and the edge of the left half area of the upper surface of the glass substrate 10. The surface is photographed and transmitted to the reading computer 120, and the reading computer 120 is converted into a digital code, and the edge of the edge of the left half of the upper half of the photographed glass substrate 10 is determined by mathematical operation. Check it.

본 발명에 따른 에어리어카메라들 (50, 52) 과 조명장치 (20, 22) 의 작동 타이밍은 제어장치 (100) 에 의해 감지센서 (40,42) 에 의해 감지된 시간과 유리기판 (10) 의 이송되는 속도를 참고하여 트리거 (trigger) 되도록 프로그램화된다. The operation timings of the area cameras 50 and 52 and the lighting devices 20 and 22 according to the present invention are based on the time detected by the sensor 100 and the glass substrate 10 by the control device 100. It is programmed to trigger with reference to the feed rate.

그리고, 유리기판 (10) 은 계속해서 이송되고, 제 2 감지센서 (42) 에 의해 유리기판 (10) 의 부존재가 감지되는 순간, 감지된 신호는 제어장치 (100) 에 전송되고, 제어장치 (100) 는 제 2 조명장치 (22) 와 제 2 조명장치 (22) 상단부의 제 2 에어리어카메라 (52) 들을 작동시켜 유리기판 (10) 하단의 우측 1/2 영역의 에지면을 촬영하여, 촬영된 영상은 판독용 컴퓨터 (120) 로 전송되어 디지털 코드로 바뀌고, 수학적 연산을 통해 촬영된 유리기판 (10) 하단의 우측 1/2 영역의 에지면 결함 유무를 확인한다. Then, the glass substrate 10 continues to be transferred, and at the moment when the absence of the glass substrate 10 is detected by the second detection sensor 42, the detected signal is transmitted to the controller 100, and the controller ( 100 operates the second area camera 52 of the upper end of the second lighting device 22 and the second lighting device 22 to photograph the edge surface of the right half region of the lower half of the glass substrate 10, and The captured image is transmitted to the reading computer 120 to be converted into a digital code, and the presence or absence of edge defects in the right half of the lower portion of the glass substrate 10 photographed through a mathematical operation is checked.

이어서 동일한 방식으로 유리기판 (10) 하단의 좌측 1/2 영역의 에지면 결함 유무가 제 1 감지센서 (40) 에 의해 유리기판 (10) 의 부존재가 감지되고, 감지된 신호는 제어장치 (100) 에 전송되고, 제어장치 (100) 는 제 1 조명장치 (20) 와 제 1 조명장치 (20) 상단부의 제 1 에어리어카메라 (50) 들을 작동시켜 유리기판 (10) 하단의 좌측 1/2 영역의 에지면을 촬영하고, 촬영된 영상은 판독용 컴퓨터 (120) 로 전송되어 디지털 코드로 바뀌고, 수학적 연산을 통해 촬영된 유리기판 (10) 하단의 좌측 1/2 영역의 에지면 결함 유무를 확인한다. Subsequently, in the same manner, the presence or absence of an edge defect in the left half region of the lower half of the glass substrate 10 is detected by the first sensor 40, and the absence of the glass substrate 10 is detected. The control apparatus 100 operates the first area cameras 50 of the upper part of the first lighting device 20 and the first lighting device 20, and the left half area of the lower left side of the glass substrate 10. The edge of the film, and the captured image is sent to the reading computer 120 to be converted into a digital code, and through the mathematical operation to check for edge defects in the left half of the lower half of the photographed glass substrate 10. do.

도 4 에서와 같이 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42) 가 유리기판 (10) 의 존 재를 일단 감지한 후에는 유리기판 (10) 이 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42) 위로 이송되는 동안에는 더 이상 제어장치 (100) 는 에어리어 카메라 (50, 52) 가 작동하도록 트리거신호를 보내지 않는다.As shown in FIG. 4, once the first and second detection sensors 40 and 42 detect the existence of the glass substrate 10, the glass substrate 10 is the first and second detection sensors 40 and 42. The controller 100 no longer sends a trigger signal for the area cameras 50 and 52 to operate while being transported upward.

도 5 는 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면이 1/2 씩 결함검사를 받는 모습을 정면에서 바라본 구성도이다.Figure 5 is a front view of the state in which the edge surface of the advance direction of the glass substrate according to the present invention is subjected to defect inspection by 1/2.

도 5 를 참조하면, 각각의 에어리어 카메라 (50) 에 의해 촬영되는 범위는 겹치도록 하여 겹쳐지는 영역 (C) 이 생기도록 하는 것이 바람직하다. Referring to Fig. 5, it is preferable that the ranges photographed by the area cameras 50 overlap so that overlapping regions C are generated.

도 6 은 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면이 1/2 씩 결함검사를 받는 모습을 위에서 바라본 평면 구성도이다.6 is a plan view from above of a state in which the edge surface of the glass substrate according to the present invention is subjected to defect inspection by 1/2.

도 6 을 참조하면, 앞 뒤로 이격되어 설치되는 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 이송되는 유리기판 (10) 의 밑부분에 위치되도록 설치되고, 에어리어 카메라 (50, 52) 들과는 상하로 마주보는 위치에 설치되게 된다. Referring to FIG. 6, the first and second lighting devices 20 and 22, which are spaced apart from the front and rear, are installed to be positioned at the bottom of the glass substrate 10 to be transported, and are vertically spaced up and down with the area cameras 50 and 52. It will be installed in the opposite position.

또한, 앞 뒤로 이격되어 설치되는 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 각각의 조명장치 (20, 22) 에 의해 유리기판 (10) 에 조사되는 부분이 겹쳐지는 겹치는 영역 (D) 이 있도록 설치되어 유리기판 (10) 의 상단 및 하단의 에지면이 전체적으로 검사되게 한다.In addition, the first and second lighting devices 20 and 22 which are spaced apart from the front and rear are overlapped areas D in which portions irradiated to the glass substrate 10 by the respective lighting devices 20 and 22 overlap. Installed so that the edges of the top and bottom of the glass substrate 10 are inspected as a whole.

본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치는 검사대상 이 되는 유리기판의 진입방향의 상단 및 하단 에지면의 전체길이의 1/2 보다 더 길게 구성되는 조명장치를 앞뒤로 2 개 설치하여 각각의 조명장치와 대응되는 상부에 다수개의 에어리어 카메라들을 설치하여 폭이 2m 가 넘는 대형 유리기판의 이송장치에 의한 진입방향의 상단 및 하단의 에지면의 결합도 검출할 수 있는 현저한 효과가 있다.The defect detection apparatus of the edge surface of the glass substrate in the traveling direction according to the present invention includes two lighting apparatuses configured to be longer than 1/2 of the total length of the upper and lower edges of the glass substrate to be inspected. By installing a plurality of area cameras in the upper part corresponding to each lighting device, the remarkable effect of detecting the combination of the upper and lower edges of the entry direction by the conveying device of a large glass substrate larger than 2 m in width can be detected. have.

검사대상이 되는 대형의 유리기판의 이송방향과 직각인 면과 동일한 길이를 가지는 조명장치를 설치하는 대신에, 조명장치를 2 개로 나누어 각각의 길이가 유리기판의 이송방향과 직각인 면의 전체 길이의 1/2 보다 약간만 길게 구성하여 보다 낮은 코스트로 발광다이오드 및 확산판을 포함하여 역광조명이 가능한 조명장치를 구성하는 효과가 있다.Instead of installing the lighting device having the same length as the surface perpendicular to the conveying direction of the large glass substrate to be inspected, the lighting device is divided into two and the total length of the surface perpendicular to the conveying direction of the glass substrate. It is effective to construct a lighting device capable of backlighting including a light emitting diode and a diffusion plate at a lower cost by configuring only a little longer than 1/2.

본 발명의 바람직한 실시례가 특정 용어들을 사용하여 기술되어 왔지만, 그러한 기술은 오로지 설명을 하기 위한 것이며, 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것으로 이해 되어져야 한다.While the preferred embodiments of the present invention have been described using specific terms, such descriptions are for illustrative purposes only, and it is understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the following claims. Should be done.

도 1 및 도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치의 사시도이다.1 and 2 are perspective views of a defect detection apparatus of the edge surface of the glass substrate according to the present invention in the traveling direction.

도 3 및 도 4 는 도 1 및 도 2 에 도시된 본 발명에 따른 에지면 결함 검출장치의 구성 및 검출동작을 설명하는 동작도이다.3 and 4 are operation diagrams illustrating the configuration and detection operation of the edge defect detecting apparatus according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2.

도 5 는 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면이 1/2 씩 결함검사를 받는 모습을 정면에서 바라본 구성도이다.Figure 5 is a front view of the state in which the edge surface of the advance direction of the glass substrate according to the present invention is subjected to defect inspection by 1/2.

도 6 은 본 발명에 따른 유리기판의 진행 방향측 에지면이 1/2 씩 결함검사를 받는 모습을 위에서 바라본 평면 구성도이다.6 is a plan view from above of a state in which the edge surface of the glass substrate according to the present invention is subjected to defect inspection by 1/2.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

10: 유리기판 20, 22: 조명장치10: glass substrate 20, 22: lighting device

30: 이송장치 40, 42: 센서30: transfer unit 40, 42: sensor

50, 52: 에어리어 카메라 55: 카메라지지프레임50, 52: area camera 55: camera support frame

60: 메인프레임 100: 제어장치60: mainframe 100: controller

120: 판독용컴퓨터120: reading computer

Claims (6)

상기 유리기판 (10) 의 진행 방향측 에지면을 촬영하는 다수개의 에어리어 카메라들 (50); A plurality of area cameras 50 for photographing an edge surface of the glass substrate 10 in a traveling direction; 상기 에어리어 카메라들 (50, 52) 을 일렬로 지지하는 카메라지지프레임 (55); A camera support frame 55 for supporting the area cameras 50 and 52 in a row; 상기 카메라지지프레임 (55) 을 지지하고, 모터 등의 구동장치에 의하여 상하로 승강하게 할 수 있는 메인프레임 (60); A main frame 60 supporting the camera support frame 55 and capable of lifting up and down by a driving device such as a motor; 이송되어 지나가는 상기 유리기판 (10) 의 밑면 및, 상기 에어리어 카메라들 (50, 52) 의 바로 밑부분인 카메라 렌즈들이 가리키는 쪽에 거리를 이격하게 설치되어 있는 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22); First and second lighting devices 20 and 22 provided at a distance from the bottom surface of the glass substrate 10 to be transferred and on the side indicated by the camera lenses immediately below the area cameras 50 and 52. ); 상기 유리기판 (10) 의 진입 및 진출을 감지하는 제 1 및 제 2 감지센서 (40, 42); First and second detection sensors 40 and 42 for detecting entry and exit of the glass substrate 10; 상기 유리기판 (10) 의 진입 및 진출에 따른 신호를 감지하고, 감지된 신호에 따라 에어리어 카메라 (50, 52) 가 촬영하는 타이임을 조절하는 회로를 포함하는 제어장치 (100); 및A control device (100) including a circuit for sensing a signal according to the entry and exit of the glass substrate (10) and adjusting a time taken by the area camera (50, 52) according to the detected signal; And 상기 에어리어 카메라 (50) 에 의해 촬영된 유리기판 (10) 의 진행방향측 에지의 결함을 판독하는 판독용 컴퓨터 (120) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.And a reading computer (120) which reads out defects in the edge in the direction of travel of the glass substrate (10) photographed by the area camera (50). . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 발광다이오드 및 확산판으로 구성된 역광조명인 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.And said first and second lighting devices (20, 22) are backlights composed of a light emitting diode and a diffuser plate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 는 상기 유리기판 (10) 의 진행방향에 대해 서로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.And the first and second lighting devices (20, 22) are spaced apart from each other with respect to the traveling direction of the glass substrate (10). 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 의 각각의 길이는 상기 유리기판 (10) 이 이송되는 방향과 직각인 상단과 하단의 유리기판 (10) 의 전체길이의 1/2 보다 더 긴 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.The length of each of the first and second lighting devices 20, 22 is longer than 1/2 of the total length of the upper and lower glass substrates 10 perpendicular to the direction in which the glass substrates 10 are conveyed. The defect detection apparatus of the edge surface of the advancing direction side of a glass substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수개의 에어리어 카메라들 (50, 52) 로부터 촬영되는 상기 유리기판의 상단 및 하단의 영상은 1 대의 상기 판독용 컴퓨터에서 출력되고 처리되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.Detecting defects on the edge surface of the glass substrate in the direction of progress of the glass substrate, characterized in that the image of the top and bottom of the glass substrate taken from the plurality of area cameras (50, 52) is output and processed by one of the reading computer Device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 조명장치 (20, 22) 가 설치된 위치에 대응되는 위치의 상부에 각각 다수개의 에어리어 카메라들 (50, 52) 이 설치되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 진행 방향측 에지면의 결함 검출장치.A plurality of area cameras 50 and 52 are respectively installed on tops of positions corresponding to positions where the first and second lighting devices 20 and 22 are installed. Fault detection device.
KR1020080132661A 2008-12-23 2008-12-23 Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction Withdrawn KR20100070966A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080132661A KR20100070966A (en) 2008-12-23 2008-12-23 Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080132661A KR20100070966A (en) 2008-12-23 2008-12-23 Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080129717A Division KR100902709B1 (en) 2008-12-18 2008-12-18 Defect detection device of edge surface of glass substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100070966A true KR20100070966A (en) 2010-06-28

Family

ID=42368634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080132661A Withdrawn KR20100070966A (en) 2008-12-23 2008-12-23 Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20100070966A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170050612A (en) * 2015-10-30 2017-05-11 주식회사 엘지화학 The apparatus and method inspecting optical member using filter assembly
US9772296B2 (en) 2013-10-31 2017-09-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of inspecting a surface of a substrate and apparatus for performing the same
CN116626034A (en) * 2023-05-09 2023-08-22 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 An automatic detection mechanism around the edge of a glass substrate
CN116908199A (en) * 2023-06-27 2023-10-20 张家港宏昌钢板有限公司 Surface quality detector and control method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9772296B2 (en) 2013-10-31 2017-09-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of inspecting a surface of a substrate and apparatus for performing the same
KR20170050612A (en) * 2015-10-30 2017-05-11 주식회사 엘지화학 The apparatus and method inspecting optical member using filter assembly
CN116626034A (en) * 2023-05-09 2023-08-22 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 An automatic detection mechanism around the edge of a glass substrate
CN116908199A (en) * 2023-06-27 2023-10-20 张家港宏昌钢板有限公司 Surface quality detector and control method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101286534B1 (en) inspection apparatus of Liquid crystal display apparatus and inspection method using the same
US7166856B2 (en) Apparatus and method to inspect display panels
KR100951461B1 (en) Substrate edge inspection device and method
US20120242986A1 (en) Apparatus for optical inspection
TWI393878B (en) Panel inspection device and inspection method of panel
KR100902709B1 (en) Defect detection device of edge surface of glass substrate
KR20130136806A (en) Apparatus for testing display device module and method for testing the same
CN101718714A (en) System and method for detecting surface defects of flat glass
KR101400757B1 (en) Display panel inspection apparatus
CN113245242B (en) A glass slide defect detection and sorting system
US9709506B2 (en) Substrate damage inspection apparatus, production system and inspection method
KR20120110666A (en) Apparatus and method for manufacturing display device of in-line type
KR20150034419A (en) Vision inspection apparatus
KR20100070966A (en) Apparatus for detecting defect on the edge of glass panel in the moving direction
CN108489715B (en) Automatic optical detection equipment for panel
KR20130006221A (en) Apparatus for testing display panel
KR100953203B1 (en) Board Quality Inspection Device
KR101829846B1 (en) Testing apparatus of flexibe printed circuit board
US8610889B2 (en) Automated optical inspection device and calibration method thereof
TWI470210B (en) Defect inspection method of optical layer part of display device
CN117405693B (en) Equipment and method for processing quality inspection of touch screen substrate
KR20120115801A (en) Apparatus for testing display panel
CN206947297U (en) Substrate alignment and detection device and substrate processing machine
KR20120110658A (en) Apparatus and method for testing display panel
KR20160108662A (en) The electronic component testing apparatus and testing method

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
PA0107 Divisional application

Comment text: Divisional Application of Patent

Patent event date: 20081223

Patent event code: PA01071R01D

PG1501 Laying open of application
PC1203 Withdrawal of no request for examination
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid