KR20100055977A - Thin film transistor substrate for liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치용 박막트랜지스터 어레이 기판에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정표시장치용 박막트랜지스터 어레이 기판은 인접하여 형성된 제1, 제2 게이트 라인과, 상기 제1, 제2 게이트 라인과 교차하여 제1, 제2 화소를 정의하는 공통 데이터라인과, 상기 제1, 제2 게이트 라인에서 소정 돌출되어 형성된 제1, 제2 게이트 전극과, 상기 제1, 제2 게이트 라인에서 상기 제1, 제2 화소내로 소정 돌출된 게이트 라인의 제1, 제2 보조전극과, 상기 공통 데이터 라인에서 상기 제1, 제2 게이트 전극으로 돌출된 제1, 제2 소스전극, 상기 제1, 제2 소스전극과 소정간격 이격되어 상기 제1, 제2 게이트 전극과 소정 중첩된 제1, 제2 드레인 전극과, 상기 제1, 제2 화소에 각각 형성된 화소전극과, 상기 화소전극에서 상기 제1, 제2 게이트 라인으로 돌출되어, 상기 게이트 라인의 제1, 제2 보조전극과 일정 부분 중첩되면서 동시에 상기 드레인 전극과 접속하는 화소전극의 제1, 제2 보조전극을 구비한다. The present invention relates to a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device, wherein the thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device intersects first and second gate lines formed adjacent to each other and the first and second gate lines. Common data lines defining first and second pixels, first and second gate electrodes protruding from the first and second gate lines, and the first and second gate lines. First and second auxiliary electrodes of a gate line protruding into a second pixel, and first and second source electrodes protruding from the common data line to the first and second gate electrodes, and the first and second sources First and second drain electrodes spaced apart from the electrode by a predetermined distance and overlapping the first and second gate electrodes, pixel electrodes formed in the first and second pixels, respectively, and the first and second electrodes in the pixel electrode. 2 protrudes into the gate line, the As the overlapping first and second auxiliary electrodes and a portion of the byte at the same time line includes a first, a second auxiliary electrode of the pixel electrode connected with the drain electrode.
Description
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 데이터배선을 공유하는 액정표시장치용 박막 트랜지스터 어레이기판에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device sharing data wiring.
정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel), ELD(electro luminescent display), VFD(vacuum fluorescent display)와 같은 여러가지 평판표시장치가 활용되고 있다. 평판표시장치 중 액정표시장치는 소형화, 경량화, 박형화, 저전력 구동의 장점을 가지고 있어 현재 널리 사용되고 있다. As the information society develops, the demand for display devices for displaying images is increasing in various forms. Recently, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and VFD (vacuum) Various flat panel displays such as fluorescent displays are used. Among flat panel displays, liquid crystal displays are widely used because they have advantages of miniaturization, light weight, thinness, and low power driving.
액정표시장치는 서로 마주보는 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이에 개재된 액정을 포함하여 구성된다. 일반적으로, 액정표시장치는 두 기판에 형성된 화소전극과 공통전극 사이에 발생된 전계에 의해 액정 배열을 변화시켜 영상을 표시하는 방식으로 구동된다. The liquid crystal display device includes a liquid crystal interposed between a thin film transistor substrate and a color filter substrate facing each other. In general, a liquid crystal display device is driven by displaying an image by changing a liquid crystal array by an electric field generated between a pixel electrode and a common electrode formed on two substrates.
이러한 액정표시장치용 박막 트랜지스터 어레이기판은 일반적으로 하나의 데 이터배선에 대하여 동일열의 화소는 동일한 위치에 박막트랜지스터가 배열되지만, 데이터구동IC의 수를 감소시키기 위하여 데이터 배선을 좌우로 인접하는 화소와 공유하는 액정표시장치용 박막 트랜지스터 어레이기판를 사용할 수 있다. A thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device generally has thin film transistors arranged at the same position in the same column for one data wiring, but in order to reduce the number of data driver ICs, the data wirings are adjacent to the left and right pixels. A shared thin film transistor array substrate can be used.
도 1은 종래 기술에 따른 데이터배선을 공유하는 액정표시장치용 박막 트랜지스터 어레이기판의 평면도이고, 도 2a는 도 1의 제1 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 2b는 도 2a의 Ⅰ- Ⅰ'선상의 단면도이다. 1 is a plan view of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device sharing a data wiring according to the prior art, FIG. 2A is a detailed view of the first thin film transistor of FIG. 1, and FIG. 2B is a line II ′ of FIG. 2A. It is a cross section of.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판은 좌, 우로 인접하여 배치된 화소가 데이터 라인을 공유하며, 각 화소에 데이터를 시분할하여 제공하는 구조를 가진다. As shown in FIG. 1, a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to the related art has a structure in which pixels disposed adjacent to left and right share a data line and time-division data to each pixel.
본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판은 이웃하는 제1, 2 화소(P1, P2) 각각에 제공되는 제1, 2게이트 라인(111a, 111b)과, 상기 제 1, 2 게이트 라인(111a, 111b)과 수직으로 교차하며 제 1, 2 화소(P1, P2)에 시분할된 데이터 신호를 공급하는 공동 데이터 라인(112)이 형성되어 있으며, 상기 제 1, 2 게이트 라인(111a, 111b)과 상기 데이터 라인(112)의 교차점에는 제 1, 2 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2)가 형성된다. The thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to the present invention includes first and
상기 제 1, 2 게이트 라인(111a, 111b)은 화소를 사이에 두고 이격되어 있으며, 상기 제 1, 2 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2)는 공동 데이터 라인(112)을 사이에 두고 엇갈려 대칭되는 위치에 형성된다. The first and
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)는 상기 제 1 게이트 라인(111a)에서 소정 돌출된 게이트 전극(121a)과, 상기 게이트 전 극(121a)상에 형성된 게이트 절연막(125), 상기 게이트 절연막(125) 상에 형성된 반도체층(116a)과, 상기 반도체층(116a) 상에 소정 영역 접촉된 소스 전극(122a) 및 드레인 전극(124a)과, 상기 소스 전극(122a) 및 드레인 전극(124a) 상에 형성된 보호막(127)과, 상기 보호막(127)상에 상기 드레인 전극(124a)과 접속하여 제 1 화소(P1)에 형성된 화소 전극(113a)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIGS. 2A and 2B, the first thin film transistor TFT1 includes a
여기서, 상기 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)는 상기 게이트 전극(121a)과 상기 드레인 전극(124a) 사이에 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs1)를 형성하고 있으며, 상기 게이트 배선(111a)에서 제1 화소(P1) 내부로 소정 돌출된 보조 전극(131a)과 상기 보조 전극(131a) 인근으로 연장되어 형성된 드레인 전극(124a) 사이에 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1)를 형성하고 있다. Here, the first thin film transistor TFT1 forms a first gate-source capacitor Cgs1 between the
상기 게이트 전극(121a)과 상기 드레인 전극(124a) 사이에서 형성된 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs1)값과 상기 보조 전극(131a)과 상기 드레인 전극(124a) 사이에서 형성된 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1) 값의 총합은 거의 일정하게 된다. A first gate-source capacitor Cgs1 value formed between the
즉, 상기 소스 전극(122a) 및 드레인 전극(124a) 패턴을 형성하기 위한 포토 공정시, 포토 마스크가 틀어져 상기 소스 전극(122a) 및 드레인 전극(124a) 패턴이 상, 하, 좌, 우로 틀어질 경우가 발생할 수 있고, 이로 인해 제1 게이트- 소스 캐패시터의 용량인 기생용량(Cgs)차이가 발생하게 되므로, 레벨 시프트 전압이 달라지고, 좌우로 인접한 화소 사이에서 휘도차이가 발생하게 된다. 이러한 레벨 시프트 전압의 차이는 세로 방향으로 딤(dim)형태의 화질불량이 발생하게 된다. 따라 서, 제1 박막 트랜지스터(TFT1)의 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs1)값의 증감은 상기 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1)에 의해 보상될 수 있으므로, 상기 게이트 전극(121a)과 상기 드레인 전극(124a) 사이에서 형성된 제 1 게이트-소스 캐패시터(Cgs1) 값과, 상기 보조 전극(131a)과 상기 드레인 전극(124a) 사이에서 형성된 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1) 값의 총합은 거의 일정하게 된다. That is, during the photo process for forming the
한편, 상기와 같은 박막트랜지스터 어레이 기판을 제조하는 과정에서 박막트랜지스터와 게이트 라인 및/또는 데이터 라인 생성 후 잔존하는 도전 이물질에 의해 박막트랜지스터의 게이트 전극과 소스 전극(또는 드레인 전극) 및 게이트 라인과 데이터 라인에 쇼트가 발생할 수 있다. Meanwhile, the gate electrode, the source electrode (or the drain electrode), the gate line, and the data of the thin film transistor are formed by the conductive foreign material remaining after the thin film transistor and the gate line and / or data line are generated in the process of manufacturing the thin film transistor array substrate as described above. Short lines may occur.
이때, 레이저등의 수단을 이용한 웰딩(welding)공정을 통해 절단하여 해당 박막 트랜지스터를 암점화함으로써, 리페어하는 방법을 이용하게 되는 데, 상기와 같은 데이터 배선을 공유하는 박막 트랜지스터 어레이 기판에는 도 2b에 도시된 바와 같이, 게이트 전극(121a)과 드레인 전극(124a)이 중첩되는 영역 즉, 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs1) 및 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1)가 형성된 지점(A, B)각각에 레이저를 조사하여 상기 게이트 전극(121a)와 드레인 전극(124a)을 전기적으로 연결되도록 도통시킴으로써 불량화소를 암점화하게 된다. In this case, the thin film transistor is cut through a welding process using a laser or the like to darken the thin film transistor, and a repairing method is used. The thin film transistor array substrate sharing the data wiring as described above is shown in FIG. 2B. As shown, the regions A and B where the
그러나, 상기 레이저가 조사되는 영역인 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx1)가 형성된 지점(B)는 상기와 같이 제1 게이트-소스 캐패시터의 값을 보상하기 위해 요구되는 면적이므로, 소스전극 및 드레인전극 패턴형성에 따른 변동치를 고려하면 제한된 면적을 가질 수 밖에 없다. However, the point B on which the first auxiliary gate-source capacitor Cx1 is formed, which is a region to which the laser is irradiated, is an area required to compensate the value of the first gate-source capacitor as described above. Considering the variation according to the electrode pattern formation has a limited area.
따라서, 상기와 같이 제한된 면적에 상기 웰딩공정을 수행하면, 웰딩공정의 성공율이 저하되고, 암점화를 통한 수율향상이 저하되는 문제점이 있다. Therefore, when the welding process is performed in the limited area as described above, there is a problem that the success rate of the welding process is lowered and the yield improvement through dark ignition is lowered.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 웰딩공정의 성공율을 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판을 제공함에 있다. An object of the present invention for solving the above problems is to provide a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device that can improve the success rate of the welding process.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 박막트랜지스터 어레이 기판은 인접하여 형성된 제1, 제2 게이트 라인과, 상기 제1, 제2 게이트 라인과 교차하여 제1, 제2 화소를 정의하는 공통 데이터라인과, 상기 제1, 제2 게이트 라인에서 소정 돌출되어 형성된 제1, 제2 게이트 전극과, 상기 제1, 제2 게이트 라인에서 상기 제1, 제2 화소내로 소정 돌출된 게이트 라인의 제1, 제2 보조전극과, 상기 공통 데이터 라인에서 상기 제1, 제2 게이트 전극으로 돌출된 제1, 제2 소스전극, 상기 제1, 제2 소스전극과 소정간격 이격되어 상기 제1, 제2 게이트 전극과 소정 중첩된 제1, 제2 드레인 전극과, 상기 제1, 제2 화소에 각각 형성된 화소전극과, 상기 화소전극에서 상기 제1, 제2 게이트 라인으로 돌출되어, 상기 게이트 라인의 제1, 제2 보조전극과 일정 부분 중첩되면서 동시에 상기 드레인 전극과 접속하는 화소전극의 제1, 제2 보조전극을 구비한다. According to an exemplary embodiment of the present invention, a thin film transistor array substrate for liquid crystal display devices includes adjacent first and second gate lines and first and second gate lines intersecting the first and second gate lines. A common data line defined, first and second gate electrodes formed to protrude from the first and second gate lines, and gates protruded into the first and second pixels from the first and second gate lines. The first and second auxiliary electrodes of the line and the first and second source electrodes protruding from the common data line to the first and second gate electrodes, the first and second source electrodes being spaced apart from each other by a predetermined distance. First and second drain electrodes overlapping with the first and second gate electrodes, pixel electrodes formed in the first and second pixels, and protruding from the pixel electrode to the first and second gate lines, and First and second auxiliary electrodes and certain portions of the gate line As the overlap at the same time a first, a second auxiliary electrode of the pixel electrode connected with the drain electrode.
상기 제1, 제2 게이트 전극과 상기 제1, 제2 드레인 전극의 중첩 영역에 캐패시터가 형성되고, 상기 게이트 라인의 제1, 제2 보조전극과 상기 화소전극의 제1, 제2 보조전극의 중첩영역에 보조 캐패시터가 형성된다. A capacitor is formed in an overlapping region of the first and second gate electrodes and the first and second drain electrodes, and the first and second auxiliary electrodes of the gate line and the first and second auxiliary electrodes of the pixel electrode. An auxiliary capacitor is formed in the overlap region.
상기 캐패시터와 보조 캐패시터 용량의 합은 일정한 값을 갖는다. The sum of the capacitor and the auxiliary capacitor capacity has a constant value.
상기 제1 게이트 전극과 상기 제1 드레인 전극의 중첩 영역과 상기 게이트 라인의 제1 보조 전극과 상기 화소전극의 제1 보조전극의 중첩영역의 합은 상기 제2 게이트 전극과 상기 제1 드레인 전극의 중첩 영역과 상기 게이트 라인의 제2 보조 전극과 상기 화소전극의 제2 보조전극의 중첩영역의 합과 동일하다. The sum of the overlapping region of the first gate electrode and the first drain electrode and the overlapping region of the first auxiliary electrode of the gate line and the first auxiliary electrode of the pixel electrode is equal to that of the second gate electrode and the first drain electrode. It is equal to the sum of the overlapping region and the overlapping region of the second auxiliary electrode of the gate line and the second auxiliary electrode of the pixel electrode.
상기 캐패시터를 형성하는 상기 제1, 제2 드레인 전극과, 상기 보조 캐패시터를형성하는 상기 화소전극의 제1, 제2 보조전극은 웰딩공정을 수행하기 위해 레이저가 조사되는 영역이다. The first and second drain electrodes forming the capacitor and the first and second auxiliary electrodes of the pixel electrode forming the auxiliary capacitor are areas irradiated with a laser to perform a welding process.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 박막트랜지스터 어레이기판은 게이트 배선의 보조 전극과 상기 화소전극의 보조전극을 통해 제1 보조 게이트-소스 캐패시터를 형성함으로써, 제1 게이트-소스 캐패시터값의 증감을 보상하게 되고 동시에 게이트 전극(또는 라인)과 소스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트발생시 수행되는 웰딩공정의 성공율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. A thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to the present invention for achieving the above object is formed by forming a first auxiliary gate-source capacitor through an auxiliary electrode of a gate wiring and an auxiliary electrode of the pixel electrode, thereby forming a first gate-source. Compensation of the capacitor value is increased and at the same time, it is possible to improve the success rate of the welding process performed when a short occurs between the gate electrode (or line) and the source electrode (or data line).
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이고, 도 4a는 도 2의 제1 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 4b는 도 4a의 Ⅱ- Ⅱ'선상의 단면도이고, 도 5a는 도 2의 제2 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 5b는 도 5a의 Ⅲ- Ⅲ'선상의 단면도이다. 3 is a plan view showing a portion of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 4A is a detailed view of the first thin film transistor of FIG. 2, and FIG. 4B is II- of FIG. 4A. FIG. 5A is a detailed view of the second thin film transistor of FIG. 2, and FIG. 5B is a cross-sectional view of the III-III ′ line of FIG. 5A.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스 터 어레이 기판은 좌, 우로 인접하여 배치된 화소가 데이터 라인을 공유한다. As illustrated in FIG. 3, in the thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to the present invention, pixels arranged adjacent to the left and the right share a data line.
본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판은 이웃하는 제1, 2 화소(P1, P2) 각각에 제공되는 제 1, 2 게이트 라인(211a, 211b)과, 상기 제1, 2 게이트 라인(211a, 211b)과 수직으로 교차하며 제1, 2 화소(P1, P2)에 시분할된 데이터 신호를 공급하는 공동 데이터 라인(212)이 형성되어 있으며, 상기 제1, 2 게이트 라인(211a, 211b)과 상기 데이터 라인(212)의 교차점에는 제1, 2 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2)가 형성된다. In an exemplary embodiment, a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device may include first and
상기 제1, 2 게이트 라인(211a, 211b)은 화소를 사이에 두고 이격되어 있으며, 상기 제 1, 2 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2)는 공동 데이터 라인(212)을 사이에 두고 엇갈려 대칭되는 위치에 형성된다. The first and
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 박막 트랜지스터(TFT1)는 상기 제1 게이트 라인(211a)에서 소정 돌출된 게이트 전극(221a)과, 상기 게이트 전극(221a) 상에 형성된 반도체층(216a)과, 상기 반도체층(216a) 상에 소정 영역 접촉된 소스 전극(222a) 및 드레인 전극(224a)과, 상기 드레인 전극(224a)과 접속하여 제 1 화소(P1)에 형성된 화소 전극(213a)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIGS. 4A and 4B, the first thin film transistor TFT1 may include a
여기서, 상기 제1 박막 트랜지스터(TFT1)는 상기 게이트 전극(221a)과 상기 드레인 전극(224a) 사이에 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11)를 형성하고, 상기 게이트 배선(211a)에서 제 1 화소(P1) 내부로 소정 돌출된 보조 전극(231a)과 상기 화소 전극(213a)에서 게이트 배선(211a) 방향으로 소정 돌출된 보조 전극(233a) 사이에 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)를 형성한다. Here, the first thin film transistor TFT1 forms a first gate-source capacitor Cgs11 between the
이때, 화소전극의 보조전극(233a)는 게이트 배선의 보조전극(231a)와 오버랩되면서 드레인 전극(224a)과도 오버랩된다. At this time, the
상기 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)를 형성하는 게이트 배선의 보조 전극(231a)과 상기 화소전극의 보조전극(233a)은 상기 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11)값의 증감을 보상하기 위해 형성되고 동시에 게이트 전극(또는 라인)과 소스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트발생시 웰딩공정이 수행되는 영역으로 이용된다. The
다시 말해, 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)는 도 4b에 도시된 바와 같이, 게이트 전극의 보조전극(231a), 게이트 절연막(217), 보호막(227), 화소전극의 보조전극(233a)이 적층되어 캐패시턴스를 형성함으로써, 상기 소스전극 및 드레인전극 패턴을 형성하기 위한 포토 공정시, 포토 마스크가 틀어져 상기 소스전극 및 드레인 전극 패턴이 상하좌우로 틀어질 경우 발생될 수 있는 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11)값의 증감을 보상할 수 있다. In other words, as shown in FIG. 4B, the first auxiliary gate-source capacitor Cx11 includes the
따라서, 제1 박막 트랜지스터(TFT1)의 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11)값의 증감은 상기 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)에 의해 보상될 수 있으므로, 상기 게이트 전극(221a)과 상기 드레인 전극(224a) 사이에서 형성된 제 1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11) 값과, 상기 게이트 전극의 보조 전극(231a)과 상기 화소전극의 보조전극(233a) 사이에서 형성된 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11) 값의 총합은 거의 일정하게 된다. Accordingly, the increase and decrease of the value of the first gate-source capacitor Cgs11 of the first thin film transistor TFT1 may be compensated by the first auxiliary gate-source capacitor Cx11, and thus the
더불어, 상기 박막 트랜지스터의 형성공정에서 게이트 전극(또는 라인)과 소 스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트가 발생할 수 있는 데, 이때 레이저등의 수단을 이용한 웰딩(welding)공정을 통해 절단하여 해당 박막 트랜지스터를 암점화하게 된다. In addition, a short circuit between a gate electrode (or a line) and a source electrode (or a data line) may occur in a process of forming the thin film transistor. The transistor is darkened.
상기와 같은 데이터 배선을 공유하는 박막 트랜지스터 어레이 기판에는 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs11)의 드레인전극(224a) 및 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)의 화소전극(233a)에 레이저를 조사하여 드레인전극(224a) 및 화소전극(233a)을 절단하여 게이트 전극(222a) 및 보조전극(231a)각각과 관통하게 된다(도 4b에 도시된 C, D의 경로대로 관통함). 이때, 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)의 최상층인 화소전극의 보조전극(233a)은 종래의 드레인전극의 면적보다 넓은 면적으로 가지게 되므로, 용이한 레이저 조사가 수행되고, 이로 인해 웰딩공정의 성공율을 향상시킬 수 있게 된다. As shown in FIG. 4B, the
한편, 상기 제 1 화소(P1)와 공동 데이터 라인(212)을 공유하며 이웃하는 제 2 화소(P2)에서, 상기 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 제2 게이트 라인(211b)에서 소정 돌출된 게이트 전극(221b)과, 상기 게이트 전극(221b) 상에 형성된 반도체층(216b)과, 상기 반도체층(216b) 상에 소정 영역 접촉된 소스 전극(222b) 및 드레인 전극(224b)과, 상기 드레인 전극(224b)과 접속하여 제2 화소(P2)에 형성된 화소 전극(213b)을 포함하여 이루어진다. Meanwhile, in the neighboring second pixel P2 that shares the
여기서, 상기 제2 박막 트랜지스터(TFT2)는 상기 게이트 전극(221b)과 상기 드레인 전극(224b) 사이에 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs12)를 형성하고, 상기 게 이트 배선(211b)에서 제2 화소(P2) 내부로 소정 돌출된 보조 전극(231b)과 상기 화소 전극(213b)에서 게이트 배선(211b) 방향으로 소정 돌출된 보조 전극(233b) 사이에 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)를 형성한다. Here, the second thin film transistor TFT2 forms a second gate-source capacitor Cgs12 between the
이때, 화소전극의 보조전극(233b)는 게이트 배선의 보조전극(231b)와 오버랩되면서 드레인 전극(224b)과도 오버랩된다. At this time, the
상기 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)를 형성하는 게이트 배선의 보조 전극(231b)과 상기 화소전극의 보조전극(233b)은 상기 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs12)값의 증감을 보상하기 위해 형성되고 동시에 게이트 전극(또는 라인)과 소스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트발생시 웰딩공정이 수행되는 영역으로 이용된다. The
다시 말해, 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)는 게이트 전극의 보조전극(231b), 게이트 절연막(217), 보호막(227), 화소전극의 보조전극(233b)이 적층되어 캐패시턴스를 형성함으로써, 상기 소스전극 및 드레인전극 패턴을 형성하기 위한 포토 공정시, 포토 마스크가 틀어져 상기 소스전극 및 드레인 전극 패턴이 상하좌우로 틀어질 경우 발생될 수 있는 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs12)값의 증감을 보상할 수 있다. In other words, the second auxiliary gate-source capacitor Cx12 forms a capacitance by stacking the
따라서, 제2 박막 트랜지스터(TFT2)의 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs12)값의 증감은 상기 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)에 의해 보상될 수 있으므로, 상기 게이트 전극(221b)과 상기 드레인 전극(224b) 사이에서 형성된 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs1b) 값과, 상기 게이트 전극의 보조 전극(231b)과 상기 화소전극의 보 조전극(233b) 사이에서 형성된 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12) 값의 총합은 거의 일정하게 된다. Therefore, the increase and decrease of the value of the second gate-source capacitor Cgs12 of the second thin film transistor TFT2 may be compensated by the second auxiliary gate-source capacitor Cx11, and thus the
더불어, 박막 트랜지스터의 형성공정에서 게이트 전극(또는 라인)과 소스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트가 발생할 수 있는 데, 이때 레이저등의 수단을 이용한 웰딩(welding)공정을 통해 절단하여 해당 박막 트랜지스터를 암점화하게 된다. In addition, a short circuit between the gate electrode (or line) and the source electrode (or data line) may occur in the process of forming the thin film transistor. In this case, the thin film transistor is cut by a welding process using a laser or the like. Darkening.
상기와 같은 데이터 배선을 공유하는 박막 트랜지스터 어레이 기판에는 도 5b에 도시된 바와 같이, 제1 게이트-소스 캐패시터(Cgs12)의 드레인전극(224b) 및 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)의 화소전극(233b)에 레이저를 조사하여 드레인전극(224b) 및 화소전극(233b)을 절단하여 게이트 전극(222b) 및 보조전극(231b)각각과 관통하게 된다(도 5b에 도시된 C, D의 경로대로 관통함). 이때, 제1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)의 최상층인 화소전극의 보조전극(233b)은 종래의 드레인전극의 면적보다 넓은 면적으로 가지게 되므로, 용이한 레이저 조사가 수행되고, 이로 인해 웰딩공정의 성공율을 향상시킬 수 있게 된다. As shown in FIG. 5B, the
그러므로, 상기 공동 데이터 라인(212)에 의해 구동되는 제 1 박막 트랜지스터(TFT1) 및 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)에서, 상기 소스 전극들(222a, 222b) 및 드레인 전극들(224a, 224b)의 패턴이 틀어진다고 하더라도 상기 제1 및 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs11, Cgs12) 값과 제1 및 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11, Cx12)의 값의 합들은 최초 설계시의 캐패시턴스와 같을 뿐만 아니라, 상기 제 1 게이트-소스 캐패시터 값(Cgs11)과 제 1 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11)의 값의 합 은 상기 제2 게이트-소스 캐패시터(Cgs12) 값과 제 2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)의 값과 거의 같다. Therefore, in the first thin film transistor TFT1 and the second thin film transistor TFT2 driven by the
즉, 상기 공동 데이터 라인(212)을 사용하는 제 1, 2 화소(P1, P2)에서 상기 공동 데이터 라인(212)에서 분기된 소스 전극(222a, 222b)과 드레인 전극(224a, 224b) 패턴이 상, 하, 좌, 우 어느 한 방향으로 쉬프트(shift)되어 형성될 경우 상기 제1, 2 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2)에 각각 형성되는 제 1, 2 게이트-소스 캐패시터(Cgs11, Cgs12)의 값은 제1, 2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx11, Cx12)에 의해 보상되므로 제1, 2 화소(P1, P2)에서 전체적인 게이트-소스 캐패시터 용량이 균일해지며 화질 불량을 방지할 수 있다. That is, patterns of the
더불어, 제1 및 제2 보조 게이트-소스 캐패시터(Cx12)의 최상층인 화소전극의 보조전극(233a, 233b)는 웰딩공정이 수행되는 영역인 종래의 드레인전극의 면적보다 넓은 면적으로 가지게 되어, 게이트 전극(또는 라인)과 소스 전극(또는 데이터 라인)간의 쇼트발생시 수행되는 웰딩공정의 성공율을 향상시킬 수 있게 된다. In addition, the
도 1은 종래 기술에 따른 데이터배선을 공유하는 액정표시장치용 박막 트랜지스터 어레이기판의 평면도1 is a plan view of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display device sharing data wiring according to the prior art.
도 2a는 도 1의 제1 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 2b는 도 2a의 Ⅰ- Ⅰ'선상의 단면도FIG. 2A is a detailed view of the first thin film transistor of FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2A.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도3 is a plan view illustrating a portion of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4a는 도 2의 제1 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 4b는 도 4a의 Ⅱ- Ⅱ'선상의 단면도4A is a detailed view of the first thin film transistor of FIG. 2, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 4A.
도 5a는 도 2의 제2 박막 트랜지스터의 상세 도면이고, 도 5b는 도 5a의 Ⅲ- Ⅲ'선상의 단면도FIG. 5A is a detailed view of the second thin film transistor of FIG. 2, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 5A.
Claims (5)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020080114900A KR20100055977A (en) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | Thin film transistor substrate for liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020080114900A KR20100055977A (en) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | Thin film transistor substrate for liquid crystal display device |
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Family Applications (1)
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-
2008
- 2008-11-18 KR KR1020080114900A patent/KR20100055977A/en not_active Ceased
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Legal Events
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| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20141215 Patent event code: PE09021S01D |
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| E601 | Decision to refuse application | ||
| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20150604 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20141215 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |