KR20090045536A - Organic light emitting diode - Google Patents
Organic light emitting diode Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090045536A KR20090045536A KR1020070111416A KR20070111416A KR20090045536A KR 20090045536 A KR20090045536 A KR 20090045536A KR 1020070111416 A KR1020070111416 A KR 1020070111416A KR 20070111416 A KR20070111416 A KR 20070111416A KR 20090045536 A KR20090045536 A KR 20090045536A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light emitting
- wiring
- organic light
- layer
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D86/00—Integrated devices formed in or on insulating or conducting substrates, e.g. formed in silicon-on-insulator [SOI] substrates or on stainless steel or glass substrates
- H10D86/40—Integrated devices formed in or on insulating or conducting substrates, e.g. formed in silicon-on-insulator [SOI] substrates or on stainless steel or glass substrates characterised by multiple TFTs
- H10D86/441—Interconnections, e.g. scanning lines
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device.
본 발명은 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 발광층이 구비되고, 상기 발광층에서 전자와 정공이 쌍을 이루어 소멸하여 빛을 내는 유기전계발광소자에 있어서, 영상 신호를 표시하는 복수 개의 픽셀들; 및 상기 픽셀들과 연결되고 구동 신호를 공급하는 구동 장치를 포함하여 이루어지고, 데이터 전극과 연결된 제 1 배선부는, 소오스/드레인 전극과 연결된 제 2 배선부와 서로 간격을 달리하여 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자를 제공한다.The present invention provides an organic light emitting display device comprising: a light emitting layer disposed between an anode electrode and a cathode electrode, wherein electrons and holes disappear in pairs in the light emitting layer to emit light; And a driving device connected to the pixels and supplying a driving signal, wherein the first wiring part connected to the data electrode is formed at different intervals from the second wiring part connected to the source / drain electrode. An organic electroluminescent device is provided.
따라서, 본 발명에 의하면 유기전계발광소자의 발광영역과 TCP(Tape carrier package)를 연결하는 패드부에서, 상기 TCP와 발광부를 연결하는 배선의 폭을 조절하여 전체 유기전계발광소자의 부피를 감소시키고, 배선들과 FPC와의 합착에서의 얼라인(align)을 용이하게 할 수 있으며, Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 클 경우 정전기에 의한 쇼트를 방지할 수 있다.Therefore, according to the present invention, in the pad portion connecting the light emitting region of the organic light emitting diode and the tape carrier package (TCP), the width of the wiring connecting the TCP and the light emitting portion is controlled to reduce the volume of the entire organic light emitting diode. In this case, alignment of the wirings and the FPC can be easily aligned, and a short circuit due to static electricity can be prevented when the relative voltage difference is large, such as the Vdd terminal and the Vss terminal.
유기전계발광소자, 비발광영역, 더미 배선 Organic light emitting diode, non-emitting region, dummy wiring
Description
본 발명은 유기전계발광소자에 관한 것으로서, 특히 유기전계발광소자의 패드부의 배선 라인에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device, and more particularly, to a wiring line of a pad portion of an organic light emitting device.
멀티 미디어 시대의 도래와 함께 더 세밀하고, 더 크고, 더욱 자연색에 가까운 색을 표현해줄 수 있는 디스플레이 장치의 등장이 요구되고 있다. 그런데, 40인치 이상의 큰 화면을 구성하기에는 현재의 CRT(Cathode Ray Tube)는 한계가 있어서, 유기전계발광소자(Organic electroluminescence device)나 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 및 프로젝션 TV(Television) 등이 고화질 영상의 분야로 용도확대를 위해 급속도로 발전하고 있다.With the advent of the multimedia era, display devices that can express more detailed, larger, and more natural colors are required. However, the current CRT (Cathode Ray Tube) has a limit to constitute a large screen of 40 inches or more, and the organic electroluminescence device (LCD), liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP) and projection TV ( Television) is rapidly developing to expand its use in the field of high-definition video.
유기전계발광소자는 음극과 양극 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면, 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다. 따라서, 유기전계발광소자는 플라스틱과 같이 휠 수 있는 투명 기판 상에 소자를 형성할 수 있다. 또한, 플라즈마 디스플레이 패널이나 무기전계발광소자에 비하여 낮은 전압(약 10V 이하)에서 구동이 가능하다. 또한, 유기전계발광소자는 전력소모가 비교적 적고 색감이 뛰어나다는 장점이 있어서, 차세대 디스플레이로 주목받고 있다. 그리고, 낮 은 전압에서 구동하기 위하여 유기막의 총 두께는 100~200 나노미터 정도로 매우 얇고, 균일하면서도, 소자의 안정성을 유지하는 것이 중요하다.An organic electroluminescent device is a device that emits light when electrons and holes are paired and then disappear when electrons are injected into an organic film formed between a cathode and an anode. Therefore, the organic light emitting display device can form a device on a transparent substrate that can be bent, such as plastic. In addition, it is possible to drive at a lower voltage (about 10V or less) than a plasma display panel or an inorganic light emitting device. In addition, the organic light emitting diode has a relatively low power consumption and excellent color, attracting attention as a next-generation display. In addition, in order to drive at a low voltage, the total thickness of the organic film is very thin and uniform, such as 100 to 200 nanometers, and it is important to maintain the stability of the device.
유기전계발광소자는 서브픽셀을 구동하는 방식에 따라 전기신호의 스위치 컨트롤로 구동하는 방식인 패시브 매트릭스(Passive matrix)형 유기전계발광소자와 박막트랜지스터(TFT)를 이용하여 구동하는 방식인 액티브 매트릭스(Active matrix)형 유기전계발광소자로 나뉘어진다.The organic light emitting display device is an active matrix (Passive matrix type organic light emitting device and a thin film transistor (TFT) which is driven by a switch control of an electric signal according to a method of driving a subpixel). Active matrix) is divided into organic light emitting device.
종래의 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자를 설명하면 다음과 같다.The conventional active matrix organic light emitting display device will be described below.
종래의 액티브 매트릭스형 유기전계발광소자는 투명 기판 상에 박막트랜지스터와 층간 절연층 및 게이트 절연층이 형성되어 있다. 여기서, 박막트랜지스터는 소오스 전극과 드레인 전극과 활성층 및 게이트 전극를 포함하여 이루어진다. 그리고, 박막트랜지스터는 층간 절연층 및 게이트 절연층에 형성된 컨택홀을 통하여 소오스 전극 및 드레인과 접촉한다.In a conventional active matrix organic light emitting display device, a thin film transistor, an interlayer insulating layer, and a gate insulating layer are formed on a transparent substrate. The thin film transistor includes a source electrode, a drain electrode, an active layer, and a gate electrode. The thin film transistor contacts the source electrode and the drain through contact holes formed in the interlayer insulating layer and the gate insulating layer.
그리고, 게이트 절연층 및 금속 전극 상에는 평탄화막이 유기물로 형성되어 있다. 그리고, 상기 평탄화막 상에는 애노드 전극이 금속 전극과 전기적으로 연결되도록 형성되어 있다. 또한, 박막트랜지스터부가 구비된 위치 및 애노드 전극의 끝단 일부를 포함하는 영역 상에 절연층이 형성되어 있다. 상기 절연층 상에는 유기 발광층이 형성되어 있고, 유기 발광층 상에는 캐소드 전극이 형성되어 있다. 이 때, 유기 발광층은 정공 수송층과 레드, 그린 및 블루 발광층 및 전자 수송층으로 이루어져 있다.The planarization film is formed of an organic material on the gate insulating layer and the metal electrode. In addition, an anode electrode is formed on the planarization layer to be electrically connected to the metal electrode. In addition, an insulating layer is formed on a location including a portion where the thin film transistor unit is provided and a part of the end of the anode electrode. An organic light emitting layer is formed on the insulating layer, and a cathode electrode is formed on the organic light emitting layer. In this case, the organic light emitting layer includes a hole transporting layer, a red, green and blue light emitting layer, and an electron transporting layer.
여기서, 정공 수송층은 정공 주입층과 정공 전달층으로 이루어져 있고, 전자 수송층은 전자 전달층과 전자 주입층으로 이루어져 있다.Here, the hole transport layer is composed of a hole injection layer and a hole transport layer, the electron transport layer is composed of an electron transport layer and an electron injection layer.
그러나, 상술한 종래의 유기전계발광소자는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the above-described conventional organic electroluminescent device has the following problems.
유기전계발광소자의 상술한 발광영역은 패드부 등을 통하여 유기전계발광소자를 구동하는 TCP(Tape carrier package)와 연결되어 있다. 그리고, 패드부에서 상기 TCP와 발광부를 연결하는 배선은 화소의 수가 증가함에 따라 그 수가 많이 필요하여, 전체 유기전계발광소자의 부피를 증가시키는 원인이 되고 있다.The above-described light emitting region of the organic light emitting diode is connected to a tape carrier package (TCP) for driving the organic light emitting diode through a pad part or the like. The wiring connecting the TCP to the light emitting part in the pad part requires a large number as the number of pixels increases, which causes the volume of the entire organic light emitting diode to increase.
그리고, 상술한 배선들과 FPC와의 합착에서의 얼라인(align)이 쉽지 않거나, Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 클 경우 정전기에 의한 쇼트(short)가 생길 수 있다.In addition, if the above-mentioned wirings and the FPC are not aligned, or if the relative voltage difference is large, such as Vdd and Vss, short circuits may occur due to static electricity.
본 발명의 목적은 유기전계발광소자의 발광영역과 TCP(Tape carrier package)를 연결하는 패드부에서, 상기 TCP와 발광부를 연결하는 배선의 폭을 조절하여 전체 유기전계발광소자의 부피를 감소시키고자 하는 것이다.An object of the present invention is to reduce the volume of the entire organic light emitting device by adjusting the width of the wiring connecting the TCP and the light emitting unit in the pad portion connecting the light emitting region and the TCP (Tape carrier package) of the organic light emitting device. It is.
본 발명의 다른 목적은 배선들과 FPCB와의 합착에서의 얼라인(align)을 용이하게 하는 것이다Another object of the present invention is to facilitate alignment in the bonding of the wirings and the FPCB.
본 발명의 또 다른 목적은, Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 큰 경우 정전기에 의한 쇼트를 방지하는 것이다.Still another object of the present invention is to prevent a short circuit due to static electricity when the relative voltage difference is large, such as the Vdd stage and the Vss stage.
상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 발광층이 구비되고, 상기 발광층에서 전자와 정공이 쌍을 이루어 소멸하여 빛을 내는 유기전계발광소자에 있어서, 영상 신호를 표시하는 복수 개의 픽셀들; 및 상기 픽셀들과 연결되고 구동 신호를 공급하는 구동 장치를 포함하여 이루어지고, 데이터 전극과 연결된 제 1 배선부는, 소오스/드레인 전극과 연결된 제 2 배선부와 서로 간격을 달리하여 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a light emitting layer provided between the anode electrode and the cathode electrode, and in the organic light emitting device for emitting light by pairing and disappearing electrons and holes in the light emitting layer, to display an image signal A plurality of pixels; And a driving device connected to the pixels and supplying a driving signal, wherein the first wiring part connected to the data electrode is formed at different intervals from the second wiring part connected to the source / drain electrode. An organic electroluminescent device is provided.
본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 기판 상의 발광 영역에, 애노드와 발광층 및 캐소드를 적층하는 단계; 상기 기판 상의 비발광 영역에, 데이터 전극과 연결된 제 1 배선부를 형성하는 단계; 및 상기 비발광 영역에, 소오스/드레인 전극과 연결되고 상기 제 1 배선부와 간격이 상이한 제 2 배선부를 형성하는 단계를 포함 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, the method comprises: laminating an anode, a light emitting layer, and a cathode in a light emitting region on a substrate; Forming a first wiring part connected to a data electrode in a non-light emitting area on the substrate; And forming a second wiring portion connected to a source / drain electrode in the non-light emitting region and spaced apart from the first wiring portion, wherein the organic light emitting diode is manufactured.
본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the effects of the organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention.
첫째, 유기전계발광소자의 발광영역과 TCP(Tape carrier package)를 연결하는 패드부에서, 상기 TCP와 발광부를 연결하는 배선의 폭을 조절하여 전체 유기전계발광소자의 부피를 감소시킬 수 있다.First, in the pad portion connecting the light emitting region of the organic light emitting diode and the tape carrier package (TCP), the volume of the entire organic light emitting diode can be reduced by adjusting the width of the wiring connecting the TCP and the light emitting portion.
둘째, 유기전계발광소자에서 배선들과 FPCB와의 합착에서의 얼라인(align)을 용이하게 할 수 있다.Second, alignment in wirings and FPCBs in the organic light emitting diode can be facilitated.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings.
이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention, in which the above object can be specifically realized, are described with reference to the accompanying drawings.
첨부된 도면에서는 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타냈으며, 도면에 나타난 각 층간의 두께 비가 실제 두께 비를 나타내는 것은 아니다. 한편, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 형성 또는 위치한다고 할 때, 이는 다른 부분의 바로 위에 형성되어 직접 접촉하는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 존재하는 경우도 포함하는 것을 이해하여야 한다.In the accompanying drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. On the other hand, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is formed or positioned on another part, it is formed directly on the other part and not only in direct contact but also when another part exists in the middle thereof. It should also be understood to include.
도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 일실시예의 패드부의 평면도이 다. 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.1 is a plan view of a pad portion of an embodiment of an organic light emitting display device according to the present invention. Hereinafter, an embodiment of an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIG. 1.
도 1에서 패드부에는 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)가 구비되어 있다. 여기서, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)는 복수 개의 픽셀들이 구비된 액티브 영역(140) 및 드라이브 IC(130)와 연결되어 있다. 그리고, 본 실시예에서 상기 제 2 배선부(120)는 상기 제 1 배선부(110)의 좌,우에 한 쌍이 구비되어 있다. 상기 제 1 배선부(110)는 유기전계발광소자의 데이터 전극과 연결되어 구동 데이터를 공급한다. 그리고, 상기 제 2 배선부(120)는 유기전계발광소자의 소오스/드레인 전극과 연결되어 형성된다. 이 때, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)는 도시된 바와 같이 각각 복수 개의 배선들로 이루어져 있다.In FIG. 1, the pad part includes a
여기서, 상기 제 1 배선부(110)를 이루는 각각의 배선들은 그 폭이, 상기 제 2 배선부(120)를 이루는 각각의 배선들의 폭과 상이한 것을 특징으로 한다. 여기서, '상이하다'함은 제조기술 상의 오차가 아닌 설계상의 차이인 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 상기 제 1 배선부(110)를 이루는 각각의 배선들의 폭은, 상기 제 2 배선부(120)를 이루는 각각의 배선들의 폭보다 좁다. 여기서, 상기 제 1 배선부(110)를 이루는 각각의 배선들의 폭은 120~180 마이크로 미터이고, 상기 제 2 배선부(120)를 이루는 각각의 배선들의 폭은 160~240 마이크로 미터이다.Here, the widths of the respective wires constituting the
여기서, 각각의 배선들의 폭을 너무 좁게 하면 전류가 많이 흐를 때 배선이 끊길 위험이 있기 때문이고, 각각의 배선들의 폭을 너무 넓게 하면 패드부의 용량이 너무 증가한다. 그리고, 배선들의 폭을 달리하는 이유는 상기 제 2 배선부(120) 에는 상기 제 1 배선부(110)보다 더 큰 전압이 인가될 수 있다. 따라서, 데이터 신호 등에 비하여 상대적으로 큰 전압이 인가되는 Vdd단 등의 경우 배선의 폭을 넓게 할 수 있는 것이다.Here, if the widths of the respective wires are too narrow, there is a risk that the wires are disconnected when a large amount of current flows. If the widths of the individual wires are too wide, the capacity of the pad portion is increased too much. The reason why the widths of the wirings are different may be greater than that of the
그리고, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120) 중 적어도 하나는, 적어도 하나의 더미(dummy) 배선을 포함하여 이루어질 수 있다. 여기서, 더미 배선은 FPC와의 합착을 위한 얼라인(align) 및 Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 클 경우 정전기에 의한 쇼트(short)를 위하여 형성된다.At least one of the
그리고, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)를 이루는 각각의 배선들은, 서로 소정 거리 이격되어 있다. 여기서, 소정 거리는 각각의 배선들의 폭의 1~1.5배의 거리이다. 즉, 상기 제 1 배선부(110)를 이루는 각각의 배선들보다 상기 제 2 배선부(120)를 이루는 각각의 배선들이 서로 더 많이 이격되어 있다. 상술한 이격 거리는 단락의 방지 및 패드부의 용량을 고려한 수치이다.In addition, the respective wirings forming the
그리고, 상기 제 1 배선부(110)를 이루는 배선들은 Nd(네오디늄), Ta(탄타륨), Nb(니오비움), Mo(몰리브덴), W(텅스텐), Ti(티타늄), Si(실리콘), B(붕소), Ni(니켈) 및 Al(알루미늄)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.The wirings forming the
또한, 상기 제 2 배선부(120)를 이루는 배선들은 3층 구조를 가질 수 있다. 여기서, 3층 구조라 함은 전기 신호를 전달하는 도전층의 양측면에 보호층과 계면활성층이 구비된 구조를 의미한다. 여기서, 도전층은 상기 제 1 배선부(110)와 같 이 Al(알루미늄) 등으로 이루어질 수 있다. 그리고, 보호층은 Ti(티타늄) 또는 텅스텐(W) 등으로 이루어질 수 있고, 계면 활성층은 티타늄(Ti) 또는 몰리브덴(Mo) 등으로 이루어질 수 있다. 이 때, 보호층과 계면 활성층은 모두 유기전계발광소자의 증착 공정에서 X-선 등으로부터 도전층이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 계면 활성층은 소오스 전극의 계면 접착력을 증대시킬 수 있다. 그리고, 상기 보호층과 계면 활성층은 다른 물질로 대체될 수 있으나, 이 때 X-선의 차단과 계면 접착력의 향상을 위한 재료이어야 함은 당연하다.In addition, the wirings forming the
그리고, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)의 상부과 하부에 절연막이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)의 하부에 절연막이 형성되면, 고온이나 고습의 상태에서도 상기 배선부들의 변형을 막을 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선부(110)와 제 2 배선부(120)의 상부에 유기 또는 무기절연막이 형성되어, 상기 배선부들을 수분 등으로부터 보호할 수 있다.An insulating film may be provided on the upper and lower portions of the
이어서, 도 2를 참조하여 액티브 영역(active area)의 구성을 설명한다. 액티브 매트릭스형의 탑-에미션 방식의 유기전계발광소자의 경우, 액태브 영역은 투명 기판(100) 상에 복수 개의 박막 트랜지스터(210)와 층간 절연층(220) 및 게이트 절연층(230)이 형성되어 있다. 여기서, 투명 기판(100)은 유리, 석영 또는 사파이어 등으로 이루어질 수 있다. 그리고, 투명 기판(100)과 박막 트랜지스터(210)의 사이에는 층간 절연층(220)이 형성되어, 기판 내의 각종 불순물들이 실리콘막으로 침투하는 것을 방지할 수 있다.Next, the configuration of the active area will be described with reference to FIG. 2. In the case of an active matrix type top-emitting organic light emitting diode, the active region may include a plurality of
박막 트랜지스터(210)는 소오스 영역(211), 드레인 영역(212), 채널 영 역(213), 게이트 전극(214) 및 제 1,2 금속 전극(215, 216)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 제 1, 2 금속 전극(215, 216)은 상기 층간 절연층(220)과 게이트 절연층(230)을 통하여 상기 박막 트랜지스터(210)의 소오스 영역(211) 및 드레인 영역(212)과 접촉하여 형성된 것을 특징으로 한다.The
그리고, 박막 트랜지스터(210)를 포함한 투명 기판(100)의 전면에, 화소 영역의 평탄화를 위하여 평탄화막(240)이 형성되어 있다. 여기서, 평탄화막(230)은 아크릴(acryl)계 유기화합물, 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzo Cyclo Butene) 또는 PFCB 등과 같은 유기 절연물질로 이루어질 수 있으며, 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물질로 이루어질 수도 있다.The
여기서, 평탄화막(240) 상에는 상기 컨택 홀을 통하여 제 1, 2 금속 전극(215, 216) 중 어느 하나와 연결되는 애노드 전극(250)이 형성되어 있다. 여기서, 애노드 전극(250)은, ITO(Indium-Tin-Oxide) 또는 IZO(Indium-Zinc-Oxide) 등과 같이 빛을 투과하는 투명 도전막으로 이루어진다. 그리고, 박막 트랜지스터(210)가 구비된 위치와 대응되는 위치에 절연막(258)이 구비되어 있다. 여기서, 절연막(258)은 도 2에 도시된 바와 같이 애노드 전극(250)의 끝단 일부를 덮도록 형성되어 있다.Here, an
여기서, 상기 절연막(258)이 상기 애노드 전극(250)의 한쪽 끝단을 덮는 부분은, 상기 애노드 전극(250)의 폭의 3~10%인 것을 특징으로 하는 한다. 즉, 절연막(258)이 애노드 전극(250)을 덮어도, 상기 애노드 전극(250)의 개구율은 80~95%가 되도록 한다. 구체적인 애노드 전극(250)의 크기와 절연막(258)의 중첩 폭은 유 기전계발광소자의 화소 크기에 따라 상이할 것이다. 일 예로, 애노드 전극(250) 하나의 크기를 100 마이크로 미터라고 가정하면, 절연막은(258) 상기 애노드 전극의 끝단을 3~10 마이크로 미터만큼 덮게 된다. 그리고, 절연막(260)은 실리콘 질화막(Sinx) 또는 실리콘 산화막(SiO2) 등의 무기 절연물질로 이루어질 수 있다.Here, the portion of the insulating layer 258 covering one end of the
만일, 절연막(258)이 애노드 전극(250)을 덮는 폭이 상술한 수치보다 크면 유기전계발광소자의 개구율이 지나치게 저하될 수 있다. 또한, 절연막(258)이 애노드 전극을 덮는 폭이 상술한 수치보다 좁은 경우, 후술하는 바와 같이 제조공정 상의 어려움이 있다.If the width of the insulating layer 258 covering the
그리고, 상기 절연막(258)과 애노드 전극(250) 상에는 유기 발광층과 캐소드 전극(290)이 차례로 형성되어 있다. 상기 유기 발광층은 정공 주입층(hole injection layer, 260), 정공 수송층(hole transfer layer, 165), 발광층(emitting layer, 270), 전자 수송층(electron transfer layer, 280) 및 전자 주입층(electron injection layer, 285)이 차례로 적층되어 이루어진다. 그리고, 상기 유기 발광층 상에는, 배면 발광을 위한 전극이 상기 유기전계발광소자의 캐소드 전극(290)으로 적층된다.The organic emission layer and the
여기서, 전자 수송층(280)이 상기 발광층(270)과 캐소드 전극(290)의 사이에 구비되어, 상기 캐소드 전극(290)으로부터 발광층(270)으로 주입된 전자의 대부분은 정공과 재결합하기 위하여 애노드 전극(250) 쪽으로 이동하게 된다. 그리고, 정공 수송층(280)이 상기 애노드 전극(250)과 발광층(270) 사이에 구비되어, 발광 층(270)에 주입된 전자는 상기 정공 수송층(280)과의 계면에 막혀 더 이상 애노드 전극(250) 쪽으로 이동하지 못하고 발광층(270)에만 존재하므로 재결합 효율이 향상될 수 있다.Here, an
이하에서, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 제조방법의 일실시예의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing an embodiment of a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention will be described.
먼저, 발광 영역의 제조공정을 설명한다. 유리, 석영 또는 사파이어 등으로 이루어진 투명 기판을 준비한다. 그리고, 도시된 바와 같이 투명 기판 상에, 소정 두께의 층간 절연층과 채널 영역을 형성한다. 여기서, 채널 영역은 비정질 실리콘막을 저압 화학 기상 증착법(low pressure chemical vapor deposition) 또는 플라즈마 화학 기상 증착법(plasma enhanced chemical vapor deposition) 등에 의하여 형성하는데, 약 200~800 옹스트롱(Å)의 두께로 형성한다. 그리고, 레이저 어닐링(laser annealing) 등의 방법으로 상기 채널 영역을 다결정실리콘으로 결정화시킨다.First, the manufacturing process of a light emitting area is demonstrated. A transparent substrate made of glass, quartz, sapphire, or the like is prepared. As shown, an interlayer insulating layer and a channel region having a predetermined thickness are formed on the transparent substrate. Here, the channel region is formed by a low pressure chemical vapor deposition (CVD) or plasma enhanced chemical vapor deposition (CVD), the amorphous silicon film is formed to a thickness of about 200 ~ 800 angstroms . The channel region is crystallized from polycrystalline silicon by a method such as laser annealing.
이어서, 사진 식각 공정 등의 방법으로 상기 다결정 실리콘 활성층을 패터닝하여, 단위 화소 내의 박막 트랜지스터 영역에 채널 영역을 형성한다. 그리고, 후술할 비정질 실리콘 막의 결정화 중에 상기 투명 기판 내의 각종 불순물들이 실리콘 막으로 침투하는 것을 방지하기 위하여, 층간 절연층을 형성할 수도 있다. 그리고, 상술한 게이트막의 패터닝 공정에서 사용되는 포토마스크를 이용하여 불순물 이온 주입을 실시함으로써 채널 영역의 양측 표면에 후술할 박막 트랜지스터의 소오스 영역 및 드레인 영역을 형성한다.Next, the polycrystalline silicon active layer is patterned by a method such as a photolithography process to form a channel region in the thin film transistor region in the unit pixel. In addition, in order to prevent various impurities in the transparent substrate from penetrating into the silicon film during the crystallization of the amorphous silicon film, which will be described later, an interlayer insulating layer may be formed. Impurity ion implantation is then performed using the photomask used in the patterning process of the gate film described above to form source and drain regions of the thin film transistor, which will be described later, on both surfaces of the channel region.
그리고, 소오스 및 드레인 영역의 도핑된 영역을 활성화시키고 실리콘층의 손상을 회복시키기 위하여, 레이저 어닐링 또는 퍼니스 어닐링을 실시한다. Then, laser annealing or furnace annealing is performed to activate the doped regions of the source and drain regions and to recover damage to the silicon layer.
이어서, 층간 절연층과 채널 영역 상에, 실리콘 산화물을 증착하여 게이트 절연층을 형성한다. 여기서, 상기 실리콘 산화물은 플라즈마 화학 기상 증착법 등의 방법으로 증착되며, 게이트 절연층은 약 1000~2000 옹스트롱의 두께로 증착될 수 있다. 그리고, 게이트 절연층 상에 게이트 전극을 형성한다. 여기서, 게이트 전극은 알룸미늄-네오디늄(AlNd) 등을 스퍼터링하여 약 1500~5000 옹스트롱의 두께로 증착한 후, 사진 식각 동정으로 패터닝하여 형성될 수 있다. 이어서, 상기 소오스 및 드레인 영역의 일부분을 노출시키는 컨택홀들을 형성하는데, 사진식각 공정 등으로 수행될 수 있다.Subsequently, silicon oxide is deposited on the interlayer insulating layer and the channel region to form a gate insulating layer. Here, the silicon oxide is deposited by a method such as plasma chemical vapor deposition, the gate insulating layer may be deposited to a thickness of about 1000 ~ 2000 Angstroms. Then, a gate electrode is formed on the gate insulating layer. Here, the gate electrode may be formed by sputtering aluminum-neodymium (AlNd) or the like to deposit a thickness of about 1500 to 5000 angstroms, and then patterning the same by photolithography. Subsequently, contact holes exposing portions of the source and drain regions may be formed, and may be performed by a photolithography process or the like.
그리고, 몰리텅스텐(MoW) 또는 알리미늅-네오디뮴 등을 3000~6000 옹스트롱의 두께로 증착하여 도전층을 형성한 후, 상기 도전층을 사진식각 공정으로 패터닝하여 상기 소오스 및 드레인 영역과 각각 컨택되는 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성한다. 소오스 전극과 드레인 전극은 스퍼터링법으로 증착하거나, 전자빔 증착법으로 형성할 수 있다. 그리고, Al(알루미늄) 등의 도전성 물질을 200~500 나노미터의 두께로 적층하여 형성된다.In addition, after depositing molybdenum (MoW) or aluminium-neodymium to a thickness of 3000 ~ 6000 angstroms to form a conductive layer, the conductive layer is patterned by a photolithography process to contact the source and drain regions, respectively Source and drain electrodes are formed. The source electrode and the drain electrode may be deposited by sputtering or may be formed by electron beam deposition. And conductive materials, such as Al (aluminum), are laminated | stacked and formed in thickness of 200-500 nanometers.
이어서, 박막 트랜지스터를 포함한 케이트 절연층 상에 평탄화막을 형성한다. 여기서, 평탄화막은 애노드 전극의 평탄화를 위한 것이며, 유기 또는 무기 절연물질을 약 1000~5000 옹스트롱의 두께로 증착되어 형성된다. 그리고, 사진식각 공정으로 평탄화막을 식각하여 소오스 및 드레인 전극 중 하나를 노출시키는 컨택 홀을 형성한다. 그리고, 상기 평탄화막과 컨택홀 상에 ITO 또는 IZO 등의 투명 도전막을 증착한 후 사진식각 공정으로 패터닝하여, 컨택홀을 통하여 드레인 전극과 연결되는 애노드 전극을 형성한다. 여기서, 애노드 전극은 ITO 등의 투명 도전성 물질을 사용한다.Next, a planarization film is formed on the gate insulating layer including the thin film transistor. Here, the planarization film is for planarization of the anode electrode, and is formed by depositing an organic or inorganic insulating material to a thickness of about 1000 to 5000 angstroms. The planarization layer is etched by a photolithography process to form a contact hole exposing one of the source and drain electrodes. In addition, a transparent conductive film such as ITO or IZO is deposited on the planarization layer and the contact hole, and then patterned by photolithography to form an anode electrode connected to the drain electrode through the contact hole. Here, the anode electrode uses a transparent conductive material such as ITO.
그리고, 상기 결과물의 전체 상부면에, 상기 결과물의 전체 상부면에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막 등으로 이루어진 절연물질을 약 1000~2000 옹스트롱의 두께로 증착한다. 그리고, 상기 절연물질을 패터닝하여 절연막을 형성한다. 절연물질의 패터닝 공정은 선택적 노광 및 현상으로 이루어진다. 즉, 도시된 바와 같이, 절연물질 상에 마스크를 씌우고, 상기 절연물질을 선택적으로 노광한 후 현상하여, 자외선 등에 노출된 부분만이 남게 된다.An insulating material made of a silicon nitride film or a silicon oxide film is deposited on the entire upper surface of the resultant to a thickness of about 1000 to 2000 angstroms. The insulating material is patterned to form an insulating film. The patterning process of the insulating material consists of selective exposure and development. That is, as shown in the figure, a mask is placed on the insulating material, and the exposed insulating material is selectively exposed and then developed, leaving only the portions exposed to ultraviolet rays or the like.
여기서, 선택적 노광을 위한 마스크는, 애노드 전극의 양 끝단을 덮도록 구비되어야 한다. 애노드 전극이 100 마이크로 미터의 선폭을 갖는 다면, 마스크는 상기 애노드 전극의 양 끝단을 각각 3~10 마이크로 미터만큼 덮도록 위치하여야 한다. 그리고, 마스크가 상기 애노드 전극의 양 끝단을 3 마이크로 미터 이하로 덮게 되면, 노광 공정에서의 오차 등으로 인하여 절연막이 상기 애노드 전극을 덮지 않게 패터닝될 수도 있다.Here, a mask for selective exposure should be provided to cover both ends of the anode electrode. If the anode electrode has a line width of 100 micrometers, the mask should be positioned to cover both ends of the anode electrode by 3 to 10 micrometers each. When the mask covers both ends of the anode electrode at 3 micrometers or less, the insulating film may be patterned so as not to cover the anode electrode due to an error in an exposure process.
상술한 마스크를 통한 선택적 노광 공정과 현상 공정 후에 형성된 절연막은, 상기 애노드 전극의 폭의 3~10%만큼 상기 애노드 전극의 양 끝단을 덮는다. 즉, 상기 애노드 전극의 개구율은 80~95%가 된다. 구체적인 애노드 전극의 크기와 절연막의 중첩 폭은 유기전계발광소자의 화소 크기에 따라 상이할 것이다. 일 예로, 애노 드 전극 하나의 크기를 100 마이크로 미터라고 가정하면, 절연막은 상기 애노드 전극의 끝단을 3~10 마이크로 미터만큼 덮게 된다.The insulating film formed after the selective exposure process and the development process through the mask described above covers both ends of the anode electrode by 3 to 10% of the width of the anode electrode. That is, the aperture ratio of the anode electrode is 80 to 95%. The size of the specific anode electrode and the overlap width of the insulating layer will be different depending on the pixel size of the organic light emitting diode. For example, assuming that the size of one anode electrode is 100 micrometers, the insulating film covers the end of the anode electrode by 3 to 10 micrometers.
그리고, 개구부를 포함하는 영역 상에 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 순차적으로 적층하여 유기 발광층을 형성한다. 이어서, 상기 결과물의 전체 상부면에 소정 두께의 유기전계발광소자의 캐소드 전극을 형성한다.The organic light emitting layer is formed by sequentially laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer on a region including the opening. Subsequently, the cathode of the organic light emitting diode having a predetermined thickness is formed on the entire upper surface of the resultant.
여기서, 정공 주입층은 구리 프탈로시아닌(copper phthalocyanine(CuPC))을 10~30 나노미터의 두께로 증착하여 형성한다. 그리고, 정공 수송층은 4,4'-qltm[N-(1-나프틸)-N-페닐아미노]바이페닐(4,4'-bis[N-(1-naphthyl)-N-phenthylamino]-biphenyl(NPB)을 30~60 나노미터의 두께로 증착하여 형성한다. 그리고, 발광층은 적색과 녹색 및 청색 픽셀에 따라 유기 발광 물질을 사용하며, 필요에 따라 도펀트를 첨가하여 형성된다.Here, the hole injection layer is formed by depositing copper phthalocyanine (CuPC) to a thickness of 10 to 30 nanometers. And, the hole transport layer is 4,4'-qltm [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenthylamino] -biphenyl (NPB) is formed by depositing a thickness of 30 to 60 nanometers, and the light emitting layer is formed by using an organic light emitting material according to red, green, and blue pixels, and adding dopants as necessary.
이어서, 비발광 영역의 제조공정을 설명한다.Next, the manufacturing process of a non-light emitting area is demonstrated.
복수 개의 픽셀들이 구비된 액티브 영역 및 드라이브 IC와 연결되게, 제 1 배선부 및 제 2 배선부를 형성한다. 이 때, 상기 제 2 배선부를 상기 제 1 배선부의 좌,우에 한 쌍으로 형성할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 배선부는 유기전계발광소자의 데이터 전극과 연결되도록 형성한다. 그리고, 상기 제 2 배선부는 유기전계발광소자의 소오스/드레인 전극과 연결되도록 형성한다. 이 때, 상기 제 1 배선부와 제 2 배선부는 각각 복수 개의 배선들로 이루어져 있다.The first wiring part and the second wiring part are formed to be connected to the active area and the drive IC including the plurality of pixels. In this case, the second wiring part may be formed in a pair on the left and right sides of the first wiring part. The first wiring part is formed to be connected to the data electrode of the organic light emitting diode. The second wiring portion is formed to be connected to the source / drain electrodes of the organic light emitting diode. At this time, the first wiring portion and the second wiring portion are each composed of a plurality of wirings.
그리고, 상기 제 1 배선부를 이루는 각각의 배선들은 그 폭이, 상기 제 2 배 선부를 이루는 각각의 배선들의 폭과 상이하도록 형성한다. 구체적으로, 상기 제 1 배선부를 이루는 각각의 배선들의 폭은, 상기 제 2 배선부를 이루는 각각의 배선들의 폭보록 형성한다. 여기서, 상기 제 1 배선부를 이루는 각각의 배선들의 폭은 120~180 마이크로 미터로 형성하고, 상기 제 2 배선부를 이루는 각각의 배선들의 폭은 160~240 마이크로 미터로 형성한다.Each of the wirings forming the first wiring portion is formed such that its width is different from the width of each of the wirings forming the second wiring portion. Specifically, the width of each of the wirings forming the first wiring portion is formed to be the width of each of the wirings forming the second wiring portion. Here, the width of each of the wirings forming the first wiring portion is formed to 120 to 180 micrometers, the width of each of the wirings forming the second wiring portion is formed to 160 to 240 micrometers.
상술한 바와 같이, 배선들의 폭을 달리하는 이유는 상기 제 2 배선부에는 상기 제 1 배선부보다 더 큰 전압이 인가될 수 있다. 따라서, 큰 전압이 인가되는 Vdd단 등의 경우 배선의 폭을 넓게 형성한다.As described above, the reason why the widths of the wirings are different may be greater than that of the first wiring portion. Therefore, in the case of the V dd stage to which a large voltage is applied, the width of the wiring is widened.
그리고, 상기 제 1 배선부 및/또는 제 2 배선부 중 적어도 하나는 상기 전극과 연결되지 않게 형성하여, 더미 배선을 이루도록 한다. 여기서, 더미 배선은 FPC와의 합착을 위한 얼라인(align) 및 Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 클 경우 정전기에 의한 쇼트(short)를 위하여 형성된다.At least one of the first wiring part and / or the second wiring part is not connected to the electrode to form a dummy wiring. Here, the dummy wiring is formed for alignment due to bonding with the FPC and for shorting due to static electricity when the relative voltage difference is large, such as the Vdd terminal and the Vss terminal.
그리고, 상기 제 1 배선부와 제 2 배선부를 이루는 각각의 배선들은, 각각의 배선들의 폭의 1~1.5배의 거리로 이격되도록 한다. 따라서 상기 제 1 배선부를 이루는 각각의 배선들보다 상기 제 2 배선부를 이루는 각각의 배선들이 서로 더 많이 이격되도록 한다.Each of the wires forming the first wire part and the second wire part is spaced at a distance of 1 to 1.5 times the width of each wire. Therefore, each of the wirings forming the second wiring portion is spaced apart from each other more than the respective wirings of the first wiring portion.
그리고, 상기 제 1 배선부를 이루는 배선들은 Nd(네오디늄), Ta(탄타륨), Nb(니오비움), Mo(몰리브덴), W(텅스텐), Ti(티타늄), Si(실리콘), B(붕소), Ni(니켈) 및 Al(알루미늄)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질을 포함하여 형성한다.The wirings forming the first wiring portion may include Nd (neodymium), Ta (titanium), Nb (niobium), Mo (molybdenum), W (tungsten), Ti (titanium), Si (silicon), and B ( Boron), Ni (nickel), and Al (aluminum).
또한, 상기 제 2 배선부를 이루는 배선들은 3층 구조로 형성할 수 있으며, 상세한 구조는 상술한 바와 같다.In addition, the wirings forming the second wiring portion may be formed in a three-layer structure, and the detailed structure is as described above.
그리고, 상기 제 1 배선부와 제 2 배선부의 상부과 하부에 절연막을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 배선부와 제 2 배선부의 하부에 절연막이 형성되면, 고온이나 고습의 상태에서도 상기 배선부들의 변형을 막을 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선부와 제 2 배선부의 상부에 유기 또는 무기절연막이 형성하여, 상기 배선부들을 수분 등으로부터 보호할 수 있다.In addition, an insulating film may be formed on the upper and lower portions of the first wiring portion and the second wiring portion. Here, when an insulating film is formed under the first wiring part and the second wiring part, deformation of the wiring parts can be prevented even in a high temperature or high humidity state. In addition, an organic or inorganic insulating film may be formed on the first wiring part and the second wiring part to protect the wiring part from moisture or the like.
상술한 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 제조방법은, 발광층과 캐소드 전극의 증착 공정에서 자외선 등을 절연막이 차단하여, 박막 트랜지스터의 성능 열화를 방지할 수 있다.In the method of manufacturing the organic light emitting device according to the present invention described above, the insulating film may block ultraviolet rays and the like in the deposition process of the light emitting layer and the cathode, thereby preventing performance degradation of the thin film transistor.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 첨부된 청구범위에서 알 수 있는 바와 같이 본 발명이 속한 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형이 가능해도 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and such modifications are included in the scope of the present invention even if modifications are possible by those skilled in the art to which the present invention pertains.
본 발명에 따른 유기전계발광소자 및 그 제조방법은, 패드부에서 배선의 폭을 조절하여 전체 유기전계발광소자의 부피를 감소시킬 수 있고, 상기 배선들과 FPCB와의 합착에서의 얼라인(align)을 용이하게 할 수 있으며, Vdd단과 Vss단과 같이 상대적인 전압차가 큰 경우 정전기에 의한 쇼트를 방지할 수 있다.According to the present invention, an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same may reduce the volume of the entire organic light emitting display device by adjusting the width of the wiring in the pad part, and align the bonding between the wirings and the FPCB. In this case, when the relative voltage difference is large, such as the Vdd stage and the Vss stage, the short circuit caused by static electricity can be prevented.
도 1는 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 일실시예의 패드부의 평면도1 is a plan view of a pad portion of an embodiment of an organic light emitting display device according to the present invention;
도 2는 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 일실시예의 액티브 영역의 구성을 나타낸 도면이다.2 is a view showing the configuration of an active region of an embodiment of an organic light emitting display device according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 투명 기판 110 : 제 1 배선부100: transparent substrate 110: first wiring portion
120 : 제 2 배선부 130 : 드라이브 IC120: second wiring portion 130: drive IC
140 : 발광 영역 210 : 박막 트랜지스터140: light emitting region 210: thin film transistor
211 : 소오스 영역 212 : 드레인 영역211
213 : 채널 영역 214 : 게이트 전극213: channel region 214: gate electrode
215 : 제 1 금속 전극 216 : 제 2 금속 전극215: first metal electrode 216: second metal electrode
220 : 층간 절연층 230 : 게이트 절연층220: interlayer insulating layer 230: gate insulating layer
240 : 평탄화막 250 : 애노드 전극240
253 : 절연물질 256 : 마스크253: insulating material 256: mask
258 : 절연막 260 : 정공 주입층258: insulating film 260: hole injection layer
265 : 정공 수송층 270 : 발광층265
280 : 전자 전달층 285 : 전자 수송층280: electron transport layer 285: electron transport layer
290 : 캐소드 전극290: cathode electrode
Claims (10)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070111416A KR101429908B1 (en) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | Organic electroluminescence device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070111416A KR101429908B1 (en) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | Organic electroluminescence device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20090045536A true KR20090045536A (en) | 2009-05-08 |
| KR101429908B1 KR101429908B1 (en) | 2014-08-13 |
Family
ID=40855625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020070111416A Active KR101429908B1 (en) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | Organic electroluminescence device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101429908B1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9275574B2 (en) | 2013-03-25 | 2016-03-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display |
| US9472507B2 (en) | 2013-06-17 | 2016-10-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Array substrate and organic light-emitting display including the same |
| US10403689B2 (en) | 2017-10-12 | 2019-09-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102457057B1 (en) | 2017-12-22 | 2022-10-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3755030B2 (en) * | 2002-03-26 | 2006-03-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Polarized organic electroluminescent device and manufacturing method thereof |
| KR100692845B1 (en) * | 2004-10-14 | 2007-03-13 | 엘지전자 주식회사 | Organic electroluminescent display and manufacturing method |
| KR101156424B1 (en) * | 2005-05-14 | 2012-06-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Substrate for organic light emitting device |
-
2007
- 2007-11-02 KR KR1020070111416A patent/KR101429908B1/en active Active
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9275574B2 (en) | 2013-03-25 | 2016-03-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display |
| US9472507B2 (en) | 2013-06-17 | 2016-10-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Array substrate and organic light-emitting display including the same |
| US10553619B2 (en) | 2013-06-17 | 2020-02-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Array substrate and organic light-emitting display including the same |
| US11264408B2 (en) | 2013-06-17 | 2022-03-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Array substrate and organic light-emitting display including the same |
| US11916087B2 (en) | 2013-06-17 | 2024-02-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Array substrate and organic light-emitting display including the same |
| US10403689B2 (en) | 2017-10-12 | 2019-09-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101429908B1 (en) | 2014-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100592273B1 (en) | Flat panel display device | |
| JP4208854B2 (en) | Electroluminescent display device and manufacturing method thereof | |
| US20090091254A1 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
| KR101416718B1 (en) | Organic electroluminescent display device | |
| JP4315902B2 (en) | Organic electroluminescence device | |
| KR20210004795A (en) | Display apparatus having an oxide semiconductor pattern | |
| JP2001100654A (en) | El display device | |
| KR101308466B1 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
| KR20160091529A (en) | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof | |
| US8766530B2 (en) | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof | |
| KR100635061B1 (en) | Flat panel display and manufacturing method thereof | |
| KR101100885B1 (en) | Thin film transistor array panel for organic light emitting display | |
| JP2001100655A (en) | El display device | |
| KR101560233B1 (en) | Organic electroluminescence display device and manufacturing method thereof | |
| KR20080074565A (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
| KR101429908B1 (en) | Organic electroluminescence device | |
| KR101296657B1 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
| US20080197354A1 (en) | Thin film transistor, an organic light emitting device including the same, and a manufacturing method thereof | |
| US8927970B2 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
| KR101469477B1 (en) | Organic light emitting display and manufacturing method thereof | |
| KR101319343B1 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
| KR100563065B1 (en) | Electroluminescent display device and manufacturing method thereof | |
| KR100813841B1 (en) | Organic light emitting display device | |
| KR20090036743A (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof | |
| KR20090046129A (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000 |
|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| E13-X000 | Pre-grant limitation requested |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170713 Year of fee payment: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 6 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 7 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 8 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 9 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 10 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 11 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 12 |
|
| U11 | Full renewal or maintenance fee paid |
Free format text: ST27 STATUS EVENT CODE: A-4-4-U10-U11-OTH-PR1001 (AS PROVIDED BY THE NATIONAL OFFICE) Year of fee payment: 12 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |