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KR20080054596A - Inspection device and method of flat panel display - Google Patents

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Publication number
KR20080054596A
KR20080054596A KR1020060127045A KR20060127045A KR20080054596A KR 20080054596 A KR20080054596 A KR 20080054596A KR 1020060127045 A KR1020060127045 A KR 1020060127045A KR 20060127045 A KR20060127045 A KR 20060127045A KR 20080054596 A KR20080054596 A KR 20080054596A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
color filter
change
amount
substrate
color
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1020060127045A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
양정욱
김영일
손형일
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060127045A priority Critical patent/KR20080054596A/en
Publication of KR20080054596A publication Critical patent/KR20080054596A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치는 얼룩이 발생한 색필터가 형성되어 있는 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 아래에 배치되어 있는 조사 장치, 상기 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 위에 배치되어 있으며, 상기 색필터에 발생한 얼룩 및 그 주변의 복수개의 지점을 촬상하는 촬상 장치, 상기 촬상 장치에 연결되며, 상기 촬상 장치로부터 수신된 색필터 영상의 촬상 지점에서의 색좌표의 변화량을 이용하여 색필터의 불량 여부를 판정하는 영상 처리 장치를 포함하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법은 복수개의 지점에서의 색좌표의 변화량 및 색필터의 폭의 변화량을 측정함으로써, 색필터의 불량 여부를 신속하고 정확하게 판단할 수 있으므로, 제조 공정 시간을 줄이고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.An inspection apparatus of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention is disposed on the substrate spaced apart from the substrate spaced apart from the substrate on which the spot color filter is formed and spaced apart from the substrate. An image pickup device for picking up spots generated in the color filter and a plurality of points around the color filter; and an image pickup device connected to the image pickup device, and using a change amount of color coordinates at an image pickup point of a color filter image received from the image pickup device. It is preferable to include an image processing device for determining whether or not the filter is defective. Accordingly, the inspection apparatus and the inspection method of the flat panel display device according to an embodiment of the present invention can determine whether the color filter is defective quickly and accurately by measuring the amount of change in the color coordinates and the amount of change in the width of the color filter at a plurality of points. Therefore, the manufacturing process time can be shortened and the yield of the product can be improved.

Description

평판 표시 장치의 검사 장치 및 방법{APPARATUS FOR INSPECTING FLAT PANEL DISPLAY AND METHOD THEREOF}Inspection apparatus and method of flat panel display device {APPARATUS FOR INSPECTING FLAT PANEL DISPLAY AND METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an inspection apparatus of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 얼룩이 발생한 색필터 표시판의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view of a color filter display panel in which spots shown in FIG. 1 are generated.

도 3은 도 2의 색필터 표시판을 III-III를 따라 잘라 도시한 단면도와 도 1의 평판 표시 장치의 검사 장치를 이용하여 돌기에 의해 발생한 얼룩을 촬상하는 상태를 도시한 도면이다.3 is a cross-sectional view illustrating the color filter display panel of FIG. 2 taken along line III-III, and a state of photographing an unevenness generated by projections using the inspection apparatus of the flat panel display device of FIG. 1.

도 4는 도 1에 도시된 색필터 표시판에서 얼룩과 그 주변 영역을 확대 도시한 도면이다.FIG. 4 is an enlarged view illustrating spots and surrounding areas of the color filter display panel of FIG. 1.

도 5는 공정 오차 등에 의해 색필터의 폭이 변화되어 얼룩을 발생하는 상태를 도시한 도면이다. 5 is a diagram illustrating a state in which a width of a color filter is changed due to a process error or the like to cause spots.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 순서대로 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating an inspection method of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention in order.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 조사 장치 20: 촬상 장치 10: irradiation device 20: imaging device

30: 이송 장치 40: 영상 처리 장치 30: transfer device 40: image processing device

본 발명은 평판 표시 장치의 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus and method for a flat panel display.

액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display)등과 같은 평판 표시 장치(flat panel display, FPD) 등의 제조 과정 중 또는 제조 완료 후에는 검사 공정을 진행하여 양품과 불량품을 선별하게 된다.During or after completion of the manufacturing process of flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays (LCDs), organic light emitting diode displays (OLED displays), etc. Proceed to screen the good and defective products.

평판 표시 장치의 색필터 표시판의 검사 장치는 얼룩을 검출하는 얼룩 검출 장치 및 얼룩의 불량 여부를 판정하는 불량 판정 장치로 이루어진다. 얼룩 검출 장치는 색필터 표시판을 잡고 움직일 수 있는 로봇과 얼룩을 관찰할 수 있는 조명으로 이루어지며, 불량 판정 장치는 색필터 표시판을 이송시킬 수 있는 스테이지와 분광 측정을 할 수 있는 카메라 및 조명으로 이루어진다. 검사자가 얼룩 검출 장치의 로봇을 조정하여 색필터 표시판을 움직이고 이를 고정된 조명 아래에서 육안으로 검사하여 얼룩을 검출한다. 그리고, 검사자는 불량 판정 장치를 이용하여 검출된 얼룩의 특성을 파악하여 얼룩의 불량 여부를 판정한다. The inspection apparatus of the color filter display plate of the flat panel display device is composed of a spot detection device for detecting spots and a defect determination device for determining whether a spot is defective. The spot detection device consists of a robot that can hold and move the color filter display plate, and an illumination that can observe the spot, and the defect determination device is composed of a stage for transferring the color filter display plate, a camera for illumination and spectroscopic measurement. . The inspector adjusts the robot of the spot detection device to move the color filter display panel and visually inspects it under a fixed light to detect spots. Then, the inspector grasps the characteristic of the detected spot using the defect determining apparatus and determines whether the spot is defective.

이 경우, 얼룩 검출 방법은 검사자의 조작에 의해 수동으로 이루어지므로, 검사자에 대한 의존도가 너무 높다. 이로 인해, 검사 시간이 지연되고, 검사 신뢰도가 저하된다. 또한, 불량 판정 장치에서 분광 측정 방법은 정형화되어 있지 않으며, 불량 판정 기준이 모호하다. 그리고, 얼룩 검출 장치와 불량 판정 장치는 분리되어 있으므로 검출 및 판정에 과도한 시간이 요구되어 생산성이 저하된다. In this case, since the stain detection method is performed manually by the inspector's operation, the dependence on the inspector is too high. For this reason, test time is delayed and test reliability falls. In addition, the spectroscopic measurement method in a failure determination apparatus is not standardized, and the failure determination criteria are ambiguous. And since the spot detection apparatus and the defect determination apparatus are separated, excessive time is required for detection and determination, and productivity falls.

본 발명의 기술적 과제는 자동으로 색필터 표시판의 얼룩의 불량 여부를 판정할 수 있는 평판 표시 장치의 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus and method for a flat panel display device that can automatically determine whether or not a defect of a color filter display plate is defective.

본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치는 얼룩이 발생한 색필터가 형성되어 있는 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 아래에 배치되어 있는 조사 장치, 상기 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 위에 배치되어 있으며, 상기 색필터에 발생한 얼룩 및 그 주변의 복수개의 지점을 촬상하는 촬상 장치, 상기 촬상 장치에 연결되며, 상기 촬상 장치로부터 수신된 색필터 영상의 촬상 지점에서의 색좌표의 변화량을 이용하여 색필터의 불량 여부를 판정하는 영상 처리 장치를 포함하는 것이 바람직하다.An inspection apparatus of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention is disposed on the substrate spaced apart from the substrate spaced apart from the substrate on which the spot color filter is formed and spaced apart from the substrate. An image pickup device for picking up spots generated in the color filter and a plurality of points around the color filter; and an image pickup device connected to the image pickup device, and using a change amount of color coordinates at an image pickup point of a color filter image received from the image pickup device. It is preferable to include an image processing device for determining whether or not the filter is defective.

또한, 상기 영상 처리 장치는 상기 촬상 지점에서의 상기 색필터의 폭의 변화량을 이용하여 상기 색필터의 불량 여부를 더 판정하는 것이 바람직하다.The image processing apparatus may further determine whether the color filter is defective by using an amount of change in the width of the color filter at the imaging point.

또한, 상기 조사 장치와 상기 기판 사이에는 확산기가 배치되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the diffuser is arrange | positioned between the said irradiation apparatus and the said board | substrate.

또한, 상기 촬상 지점에서의 상기 색좌표의 변화량은 상기 색필터의 얼룩에서의 높이 차이에 의해 발생하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the amount of change of the color coordinate at the imaging point is caused by the height difference in the unevenness of the color filter.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법은 얼룩이 색필터에 발생하였는 지 여부를 확인하는 단계, 상기 색필터에 발생한 얼룩 및 그 주 변 영역의 복수개의 지점을 촬상하는 단계, 상기 복수개의 지점에서의 색좌표의 변화량을 측정하는 단계, 상기 색좌표의 변화량이 색좌표 기준 변화량보다 큰 경우에는 상기 색필터를 불량으로 판정하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the inspection method of the flat panel display device according to an embodiment of the present invention comprises the steps of confirming whether or not a stain occurs in the color filter, photographing the spots generated in the color filter and a plurality of points of the surrounding area, It is preferable to include the step of measuring the change amount of the color coordinates at the plurality of points, the step of determining the color filter as defective when the change amount of the color coordinate is larger than the color coordinate reference change amount.

또한, 상기 복수개의 지점에서의 색필터의 폭의 변화량을 측정하는 단계, 상기 색필터의 폭의 변화량이 폭 기준 변화량보다 큰 경우에도 색필터를 불량으로 판정하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. The method may further include measuring a change amount of the width of the color filter at the plurality of points, and determining the color filter as defective even when the change amount of the width of the color filter is larger than the change of the width reference.

그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Then, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

이제 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.An inspection apparatus of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 얼룩이 발생한 색필터 표시판의 평면도이고, 도 3은 도 2의 색필터 표시판을 III-III를 따라 잘라 도시한 단면도와 도 1의 평판 표시 장치의 검사 장치를 이용하여 돌기에 의해 발생한 얼룩을 촬상하는 상태를 도시한 도면이고, 도 4는 도 1에 도시된 색필터 표시판에서 얼룩과 그 주변 영역을 확대 도시한 도면이고, 도 5는 공정 오차 등에 의해 색필터의 폭이 변화되어 얼룩을 발생하는 상태를 도시한 도면이다. 1 is a diagram illustrating an inspection apparatus of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a color filter display panel in which unevenness is shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a view of the color filter display panel of FIG. 2. A cross-sectional view taken along the line III-III and a state of photographing the spots generated by the projections using the inspection apparatus of the flat panel display device of FIG. 1, and FIG. 4 is a spots of the color filter display panel shown in FIG. And an enlarged view of a peripheral area thereof, and FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which a width of the color filter changes due to a process error or the like to cause unevenness.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치는 얼룩(AA)이 발생한 색필터(230)가 형성된 기판(210) 즉, 색필터 표시판(200)과 소정 간격 이격되어 기판(210) 아래에 배치되어 있는 조사 장치(10), 기판(200)과 소정 간격 이격되어 기판(210) 위에 배치되어 있는 촬상 장치(Charge-Coupled Device, CCD)(20), 촬상 장치(20)에 연결된 영상 처리 장치(40), 그리고 기판(100)을 탑재하여 이송시키는 이송 장치(30)를 포함한다.1 to 4, the inspection apparatus for a flat panel display according to an exemplary embodiment of the present invention may include a substrate 210 on which a color filter 230 in which spots AA are formed, that is, a color filter display panel 200. ) And an irradiation apparatus 10 disposed below the substrate 210 spaced apart from the substrate 210, and an imaging device (Charge-Coupled Device, CCD) 20 disposed above the substrate 210 spaced apart from the substrate 200. ), An image processing device 40 connected to the imaging device 20, and a transfer device 30 for mounting and transferring the substrate 100.

색필터 표시판(200)은 절연 기판(210), 블랙 매트릭스(220), 색필터(230), 오버 코트막(250) 및 공통 전극(270)을 포함한다. 절연 기판(210)은 투명한 재질로 이루어지고, 화상을 표시하는 다수의 화소 영역(PX)으로 구획된다. 블랙 매트릭스(220)는 매트릭스 형태로 형성되어 화소 영역을 구분하며 빛이 누설되는 것을 방지한다. 색필터(230)는 블랙 매트릭스(220)의 일부와 중첩되어 블랙 매트릭스(220) 사이에 화상을 표시한다. 오버 코트막(250)은 블랙 매트릭스(220) 및 색필터(230)를 보호하기 위해 블랙 매트릭스(220) 및 색필터(230)를 덮고 있으며, 색필터 표시판(200)을 평탄화시킨다. 공통 전극(270)은 오버 코트막(250) 위에 형성되어 박막 트랜지스터 표시판의 화소 전극(도시하지 않음)과 함께 전계를 형성한다. The color filter panel 200 includes an insulating substrate 210, a black matrix 220, a color filter 230, an overcoat layer 250, and a common electrode 270. The insulating substrate 210 is made of a transparent material and is divided into a plurality of pixel areas PX for displaying an image. The black matrix 220 is formed in a matrix form to distinguish pixel areas and to prevent light leakage. The color filter 230 overlaps a portion of the black matrix 220 to display an image between the black matrices 220. The overcoat layer 250 covers the black matrix 220 and the color filter 230 to protect the black matrix 220 and the color filter 230, and planarizes the color filter display panel 200. The common electrode 270 is formed on the overcoat layer 250 to form an electric field together with a pixel electrode (not shown) of the thin film transistor array panel.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 색필터(230)의 일부는 색필터(230) 형성 시 잔존한 이물질 등에 의해 돌출되어 돌기(230a)를 가질 수 있다. 이러한 돌기(230a)에 의해 돌기(230a)의 주변 영역(OA)과 색이 다르게 보이는 소정 영역인 얼룩(AA)이 발생하게 된다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 공정 오차에 의해 색필터(230)의 폭이 L1에서 L2로 변화한 영역에도 얼룩(AA)이 발생하게 된다. 이러 한 얼룩(AA)이 색필터(230)에 발생하였는 지 여부는 얼룩 검출 장치(도시하지 않음)를 이용하여 확인한다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, a part of the color filter 230 may protrude by foreign matters remaining when the color filter 230 is formed, and may have a protrusion 230a. The protrusion 230a generates spots AA, which are predetermined areas that are different in color from the peripheral area OA of the protrusion 230a. In addition, as illustrated in FIG. 5, unevenness AA occurs in a region where the width of the color filter 230 changes from L1 to L2 due to a process error. Whether or not such a stain AA has occurred in the color filter 230 is checked using a stain detection apparatus (not shown).

조사 장치(10)는 색필터 표시판(200)에 빛을 조사하는 장치이고, 촬상 장치(20)는 색필터(230)를 통과한 빛이 입사되어 전기로 변환하여 영상을 생성하는 장치이다. 촬상 장치(20)는 색필터(230)에 발생한 얼룩(AA) 및 그 주변 영역(OA)의 복수개의 지점(P)을 촬상한다. The irradiation apparatus 10 is a device for irradiating light to the color filter display panel 200, and the imaging device 20 is a device for generating an image by converting light passing through the color filter 230 into electricity. The imaging device 20 captures the spots AA generated in the color filter 230 and the plurality of points P of the peripheral area OA.

영상 처리 장치(40)는 색좌표 프로그램을 이용하여 복수개의 지점(P)에서의 색좌표의 변화량을 측정하거나 색필터(230)의 폭의 변화량을 측정하여 색필터(230)의 불량 여부를 판정한다. The image processing apparatus 40 determines whether the color filter 230 is defective by measuring a change amount of the color coordinates at the plurality of points P or a change amount of the width of the color filter 230 using the color coordinate program.

돌기(230a)에 의한 색필터(230)의 미세한 높이 차이는 조사 장치(10)로부터 조사된 빛의 투과량을 다르게 하여 색좌표의 차이를 발생시킨다. 구체적으로, 조사 장치(10)로부터 출사된 빛(L)은 색필터 표시판(200)을 투과하여 외부로 출사된다. 색필터 표시판(200)에서 빛(L)의 투과율은 색필터 표시판(200)의 두께가 두꺼울수록 저하된다. 특히, 돌기(230a)가 형성된 돌기 영역(AA)은 다른 영역(OA)보다 두께가 두껍기 때문에, 돌기 영역(AA)의 빛 투과율이 다른 영역보다 저하되어 돌기 영역(AA)의 휘도가 감소한다. 이에 따라, 촬상 장치(20)에서 생성된 영상에서 돌기 영역(AA)은 돌기 영역(AA)을 둘러싼 주변 영역(OA)보다 어둡게 표시된다. 따라서, 촬상 장치(20)에서 생성된 영상에서 돌기 영역(AA)의 색과 주변 영역(OA)의 색이 다르게 표시되므로, 돌기 영역(AA)에 대응하는 색좌표 값과 주변 영역(OA)에 대응하는 색좌표 값이 서로 다르게 된다. The minute height difference of the color filter 230 by the protrusion 230a causes a difference in color coordinates by varying the amount of light transmitted from the irradiation device 10. Specifically, the light L emitted from the irradiation device 10 passes through the color filter display panel 200 and is emitted to the outside. The transmittance of the light L in the color filter display panel 200 decreases as the thickness of the color filter display panel 200 becomes thicker. In particular, since the protrusion area AA in which the protrusion 230a is formed is thicker than the other area OA, the light transmittance of the protrusion area AA is lower than that of the other areas, thereby reducing the luminance of the protrusion area AA. Accordingly, the projection area AA is darker than the peripheral area OA surrounding the projection area AA in the image generated by the imaging device 20. Accordingly, since the color of the projection area AA and the color of the peripheral area OA are displayed differently in the image generated by the imaging device 20, the color coordinate values corresponding to the projection area AA and the peripheral area OA are displayed. The color coordinate values are different.

따라서, 색좌표의 변화량이 큰 경우에는 색필터(230)를 불량으로 판정하며, 색필터(230)의 폭의 변화량이 큰 경우에도 색필터(230)를 불량으로 판정한다. Therefore, when the change amount of the color coordinate is large, the color filter 230 is determined to be defective, and even when the change amount of the width of the color filter 230 is large, the color filter 230 is determined to be defective.

촬상 장치(20)와 색필터 표시판(200) 사이에는 확산기(50)를 설치하여 촬상 장치(20)에서 나온 빛이 균일하게 색필터(230)를 통과하게 하여 보다 정확하게 얼룩의 불량 여부를 판정하게 한다.A diffuser 50 is provided between the imaging device 20 and the color filter display panel 200 so that the light emitted from the imaging device 20 uniformly passes through the color filter 230 to more accurately determine whether there is a defect. do.

이하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치를 이용하여 색필터에 발생한 얼룩의 불량 여부를 판정하는 방법에 대하여 도면을 참조하여 이하에서 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of determining whether or not a defect occurs in a color filter by using an inspection apparatus of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 순서대로 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating an inspection method of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention in order.

도 6에 도시한 바와 같이, 우선, 얼룩 검출 장치(도시하지 않음)를 이용하여 얼룩(AA)이 색필터(230)에 발생하였는 지 여부를 확인한다(S110).As shown in FIG. 6, first, it is checked whether a spot AA has occurred in the color filter 230 by using a spot detection apparatus (not shown) (S110).

다음으로, 색필터(230)에 발생한 얼룩(AA) 및 그 주변 영역(OA)의 복수개의 지점(P)을 촬상한다(S120). Next, the spot AA generated in the color filter 230 and the plurality of points P of the peripheral area OA are captured (S120).

다음으로, 복수개의 지점(P)에서의 색좌표의 변화량을 측정하거나 색필터(230)의 폭의 변화량을 측정한다(S130).Next, the amount of change in the color coordinates at the plurality of points P is measured or the amount of change in the width of the color filter 230 is measured (S130).

다음으로, 색좌표의 변화량이 색좌표 기준 변화량보다 큰 경우에는 색필터(230)를 불량으로 판정하며, 색필터(230)의 폭의 변화량이 폭 기준 변화량보다 큰 경우에도 색필터(230)를 불량으로 판정한다(S140). 색좌표의 기준 변화량이나 폭 기준 변화량은 영상 처리 장치에 이미 설정되어 있거나, 얼룩 검출 장치로 색필 터(230)를 촬상 시 측정한다. Next, when the amount of change in the color coordinates is greater than the reference amount of change in the color coordinates, the color filter 230 is determined to be defective. Even when the amount of change in the width of the color filter 230 is larger than the amount of change in the width reference, the color filter 230 is regarded as defective. It is determined (S140). The reference change amount and the width reference change amount of the color coordinate are already set in the image processing apparatus or are measured when the color filter 230 is picked up by the spot detection apparatus.

따라서, 색필터의 불량 여부를 명확한 기준 하에 신속하고 정확하게 판단할 수 있으므로, 제조 공정 시간을 줄이고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.Therefore, it is possible to quickly and accurately determine whether the color filter is defective under a clear standard, thereby reducing the manufacturing process time and improving the yield of the product.

또한, 색필터의 불량 여부는 영상 처리 장치에서 자동으로 이루어지므로, 검사자의 조작을 최소화할 수 있고, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.In addition, whether or not the color filter is defective is automatically performed by the image processing apparatus, thereby minimizing an operator's manipulation and improving inspection reliability.

본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 장치 및 방법은 복수개의 지점에서의 색좌표의 변화량 및 색필터의 폭의 변화량을 측정함으로써, 색필터의 불량 여부를 신속하고 정확하게 판단할 수 있으므로, 제조 공정 시간을 줄이고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.In the inspection apparatus and method of the flat panel display device according to an embodiment of the present invention, by measuring the amount of change in the color coordinates and the change in the width of the color filter at a plurality of points, it is possible to quickly and accurately determine whether the color filter is defective, It can reduce manufacturing process time and improve product yield.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention as defined in the following claims also fall within the scope of the present invention.

Claims (6)

얼룩이 발생한 색필터가 형성되어 있는 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 아래에 배치되어 있는 조사 장치,An irradiating apparatus disposed below the substrate at a predetermined interval from the substrate on which the color filter in which the spot is formed is formed; 상기 기판과 소정 간격 이격되어 상기 기판 위에 배치되어 있으며, 상기 색필터에 발생한 얼룩 및 그 주변의 복수개의 지점을 촬상하는 촬상 장치, An image pickup device spaced apart from the substrate by a predetermined distance and disposed on the substrate and configured to pick up spots generated in the color filter and a plurality of points around the substrate; 상기 촬상 장치에 연결되며, 상기 촬상 장치로부터 수신된 색필터 영상의 촬상 지점에서의 색좌표의 변화량을 이용하여 색필터의 불량 여부를 판정하는 영상 처리 장치An image processing device connected to the imaging device and determining whether or not the color filter is defective using an amount of change in color coordinates at an image pickup point of the color filter image received from the imaging device; 를 포함하는 평판 표시 장치의 검사 장치. Inspection device of the flat panel display device comprising a. 제1항에서,In claim 1, 상기 영상 처리 장치는 상기 촬상 지점에서의 상기 색필터의 폭의 변화량을 이용하여 상기 색필터의 불량 여부를 더 판정하는 평판 표시 장치의 검사 장치.And the image processing apparatus further determines whether the color filter is defective by using an amount of change in the width of the color filter at the imaging point. 제2항에서,In claim 2, 상기 조사 장치와 상기 기판 사이에는 확산기가 배치되어 있는 평판 표시 장치의 검사 장치. And a diffuser is arranged between the irradiation device and the substrate. 제1항에서,In claim 1, 상기 촬상 지점에서의 상기 색좌표의 변화량은 상기 색필터의 얼룩에서의 높이 차이에 의해 발생하는 평판 표시 장치의 검사 장치. And an amount of change in the color coordinates at the imaging point is caused by a height difference in unevenness of the color filter. 얼룩이 색필터에 발생하였는 지 여부를 확인하는 단계,Checking whether a spot has occurred in the color filter, 상기 색필터에 발생한 얼룩 및 그 주변 영역의 복수개의 지점을 촬상하는 단계,Imaging the spots generated in the color filter and a plurality of points in the peripheral area thereof; 상기 복수개의 지점에서의 색좌표의 변화량을 측정하는 단계,Measuring a change amount of color coordinates at the plurality of points; 상기 색좌표의 변화량이 색좌표 기준 변화량보다 큰 경우에는 상기 색필터를 불량으로 판정하는 단계Determining the color filter as defective if the amount of change in the color coordinates is greater than the reference amount of change in the color coordinates 를 포함하는 평판 표시 장치의 검사 방법.Inspection method of a flat panel display device comprising a. 제5항에서,In claim 5, 상기 복수개의 지점에서의 색필터의 폭의 변화량을 측정하는 단계,Measuring an amount of change in the width of the color filter at the plurality of points; 상기 색필터의 폭의 변화량이 폭 기준 변화량보다 큰 경우에도 색필터를 불량으로 판정하는 단계Determining the color filter as bad even if the change amount of the width of the color filter is larger than the width reference change amount 를 더 포함하는 평판 표시 장치의 검사 방법. Inspection method of a flat panel display device further comprising.
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