[go: up one dir, main page]

KR20080035312A - Heater disconnection detector - Google Patents

Heater disconnection detector Download PDF

Info

Publication number
KR20080035312A
KR20080035312A KR1020060101841A KR20060101841A KR20080035312A KR 20080035312 A KR20080035312 A KR 20080035312A KR 1020060101841 A KR1020060101841 A KR 1020060101841A KR 20060101841 A KR20060101841 A KR 20060101841A KR 20080035312 A KR20080035312 A KR 20080035312A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heater
resistance value
disconnection
sensing circuit
heating wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
KR1020060101841A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
고혁준
전진배
Original Assignee
(주)이노시티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)이노시티 filed Critical (주)이노시티
Priority to KR1020060101841A priority Critical patent/KR20080035312A/en
Publication of KR20080035312A publication Critical patent/KR20080035312A/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

본 발명은 종형열처리장치에 사용되는 히터의 단선 감지장치에 관한 것으로, 종형열처리장치에 사용되는 히터 중 열선이 병렬로 연결되어 있는 곳의 전류와 전압을 측정한 후 이에 대한 저항값을 측정하여 저항값의 변화에 따라 단선 유무를 감지하여 경보장치를 통해 알리도록 한 것이다.The present invention relates to a disconnection detection device for a heater used in a vertical heat treatment apparatus, and measures a resistance value after measuring current and voltage where a heating wire is connected in parallel among heaters used in a vertical heat treatment apparatus. It detects the disconnection according to the change of value and informs it through the alarm device.

Description

히터 단선 감지장치{Device for sensing disconnection of heater}Device for sensing disconnection of heater

도 1은 종래의 종형열처리장치의 챔버를 개략적으로 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing a chamber of a conventional vertical heat treatment apparatus.

도 2는 도 1의 종형열처리장치의 챔버에 사용되는 열선들을 도시한 도면.FIG. 2 is a view showing hot wires used in a chamber of the vertical heat treatment apparatus of FIG.

도 3a는 도 1의 종형열처리장치의 챔버 CL 구역의 열선 구성이 2개의 좌우측 반원형 열선구조를 도시한 평면도.FIG. 3A is a plan view showing two left and right semicircular hot wire structures of the heat wire configuration of the chamber CL region of the vertical heat treatment device of FIG. 1; FIG.

도 3b 내지 도 3c는 도 1의 종형열처리장치의 챔버 CL 구역의 열성 구성이 상하 원형 2개 이상의 열선구조를 도시한 정면도.3B to 3C are front views showing two or more hot wire structures in which the thermal configuration of the chamber CL region of the vertical heat treatment apparatus of FIG.

도 4는 종형열처리장치에 사용되는 히터 중 열선이 병렬로 연결되어 있는 회로에 결합하여 히터의 단선 유무를 감지하는 본 발명의 히터 단선 감지장치 블록도.Figure 4 is a block diagram of the heater disconnection detection device of the present invention for detecting the disconnection of the heater by coupling to a circuit in which the heating wire is connected in parallel among the heaters used in the vertical heat treatment device.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 챔버 3 : 히터1: chamber 3: heater

4 : 열선 5 : 써모커플4: heating wire 5: thermocouple

10 : 전압감지회로 20 : 전류감지회로10: voltage sensing circuit 20: current sensing circuit

30 : 마이컴 40 : 히터단선 경보출력 연결장치30: micom 40: heater disconnection alarm output connection device

본 발명은 종형열처리장치(Vertical Furnace)에 사용되는 히터 중 열선이 병렬로 연결되어 있는 곳의 전류와 전압을 측정한 후, 이에 대한 저항값을 측정하여 저항값의 변화에 따라 히터의 단선 유무를 감지하도록 한 히터 단선 감지장치에 관한 것이다.The present invention measures the current and voltage where the heating wire is connected in parallel among the heaters used in the vertical furnace (Vertical Furnace), and then measure the resistance value to determine whether the heater is disconnected according to the change in the resistance value. It relates to a heater disconnection detection device for sensing.

종래의 종형열처리장치 챔버(1)는 도 1 내지 3c에 도시한 바와 같이 내부에 웨이퍼(2)를 위치시키고 그 외부 둘레에 다수의 열선(4)으로 이루어진 히터(3)를 배치하여 웨이퍼 공정 시 균일한 열을 전달하도록 되어 있다.In the conventional vertical heat treatment apparatus chamber 1, as illustrated in FIGS. 1 to 3C, the wafer 2 is positioned inside the heater 2, and the heater 3 including the plurality of heating wires 4 is arranged around the outside thereof, during the wafer process. It is designed to transmit uniform heat.

상기 종형열처리장치의 챔버(1)의 히터 열선구조는 3단, 4단, 및 5단 등 웨이퍼(2)를 적재할 수 있는 공간의 크기 및 높이 등의 사용용도에 적합하도록 여러 개의 층을 두어 열을 발산하는데 도 2에 도시한 바와 같이 4단 구조를 예로 들어 설명하면 4단 구조의 열선은 상부(U)(upper), 중상부(CU)(center upper), 중하부(CL)(center low) 및 하부(L)(low)로 구분되고 각각의 열선(4)에 위치한 웨이퍼(2)의 온도를 체크하도록 써모커플(T/C)(5)을 배치한다.The heater heating wire structure of the chamber 1 of the vertical heat treatment apparatus is provided with several layers so as to suit the purpose of use, such as the size and height of the space in which the wafer 2, such as 3, 4, and 5 stages can be loaded. As shown in FIG. 2, the heat dissipation of the four-stage structure includes the upper, upper, center upper, and lower centers. A thermocouple (T / C) 5 is arranged to check the temperature of the wafer 2, which is divided into low and low (L) (low) and located on each hot wire 4.

이 같은 구성에 따라 T/C(5)의 감지에 의해 웨이퍼(2)의 온도에 변화가 생긴 경우(온도가 기준치를 벗어났을 경우) 종형열처리장치의 챔버(1)에 구성된 LCD 또는 램프 등의 알림장치를 통해 사용자에게 열 발산에 문제가 발생하였음을 알리도록 되어 있다.According to such a configuration, when the temperature of the wafer 2 changes due to the detection of the T / C 5 (the temperature is out of the reference value), the LCD or the lamp configured in the chamber 1 of the vertical heat treatment apparatus The notification device is used to notify the user of a problem in heat dissipation.

상기 열선 구조에서 U, CU, 및 L 구역의 열선은 직렬로 구성되어 어느 하나의 열선이 단선될 경우 바로 그 위치에 있는 웨이퍼(2)의 온도에 변화가 생기므로 이를 T/C(5)에서 바로 감지가 가능하다.In the hot wire structure, the hot wires of the U, CU, and L zones are configured in series so that when one of the hot wires is disconnected, a change occurs in the temperature of the wafer 2 at the position. It can be detected immediately.

그러나, CL 구역의 경우 병렬 구조로 되어 있어 하나의 열선(4)이 단선되더라도 다른 하나의 열선(4)으로 인해 열이 웨이퍼에 전달되므로 T/C(5)에서는 초기의 설정온도가 변하지 않게 되어 열선(4)의 이상유무를 판단하지 못하는 문제점으로 인해 CL 구역내에서 단선되지 않은 열선부위의 높은 온도와 단선된 열선부위의 낮은 온도로 불균일한 웨이퍼 성막을 생성하는 문제점이 발생한다.However, since the CL zone has a parallel structure, even if one hot wire 4 is disconnected, heat is transferred to the wafer due to the other hot wire 4, so that the initial set temperature does not change in the T / C 5. Due to the problem of not being able to determine the abnormality of the hot wire 4, there is a problem in that a non-uniform wafer film formation is generated at a high temperature of the unheated hot wire portion and a low temperature of the disconnected hot wire portion in the CL region.

도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이 CL 구역의 열선(4) 구성이 좌우측 반원형 열선 2개일 경우, 좌측이 단선되면 웨이퍼(2)의 좌측은 비정상 성막이 우측은 정상 성막이 이루어지게 되며, 그 반대도 같은 현상이 발생하게 된다. 또한 상하 원형 2개 이상으로 구성될 경우, 한 개의 열선(4)이 단선되면 단선된 열선(4) 측은 비정상 성막이 다른 정상적인 열선(4) 측은 정상 성막이 형성되게 되므로 CL 구역에 위치한 웨이퍼(2)에 불균일한 성막이 발생할 뿐만 아니라, 이를 통해 웨이퍼(2) 간의 균일성 불량으로 품질 문제가 발생한다. As shown in FIGS. 3A and 3B, when the configuration of the heating wires 4 in the CL region is two left and right semicircular heating wires, when the left side is disconnected, abnormal deposition is formed on the left side of the wafer 2 and normal deposition is formed on the right side. The same thing happens in reverse. In addition, when one or more circular wires are formed, when one heating wire 4 is disconnected, the disconnected heating wire 4 side has abnormal film formation on the other side, and the normal heating wire 4 side forms a normal film formation. In addition to non-uniform film formation, the quality problem is caused by poor uniformity between the wafer (2).

또한, 히터 열선(4)의 단선을 확인 할 수가 없어 후속 공정에서도 많은 문제점이 야기되고 있는 실정이다.In addition, since the disconnection of the heater heating wire 4 cannot be confirmed, many problems are caused in subsequent processes.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명 의 목적은 종형열처리장치에 히터 열선이 병렬로 구성되어 있는 곳의 전류와 전압을 측정한 후, 이에 대한 저항값을 측정하여 저항값의 변화에 따라 히터의 단선 유무를 즉시 감지하도록 한 히터 단선 감지장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to measure the resistance and current by measuring the current and voltage where the heater heating wire is configured in parallel in the vertical heat treatment apparatus It is to provide a heater disconnection detection device to immediately detect the presence or absence of heater disconnection in accordance with the change of the value.

상기 목적을 달성하기 위한 히터 열선 양단을 연결하여 전압을 감지하는 전압감지회로; 상기 히터 열선에 흐르는 전류를 감지하는 전류감지회로; 상기 전압감지회로와 전류감지회로로부터 각각 전압값과 전류값을 전달받아 저항값을 연산하고 기존 저항값과 비교하여 저항값의 변화에 따라 상기 히터 열선의 단선 유무를 감지하는 마이컴; 및 상기 마이컴에서 히터 열선의 단선이 감지되면 이를 사용자에게 알림장치를 통해 인지가능하도록 전송하는 히터단선 경보출력 연결장치로 구성된 것을 특징으로 한다.A voltage sensing circuit sensing voltage by connecting both ends of a heater heating wire to achieve the above object; A current sensing circuit for sensing a current flowing in the heater heating wire; A microcomputer that receives a voltage value and a current value from the voltage sensing circuit and the current sensing circuit, respectively, calculates a resistance value and detects the disconnection of the heater heating wire according to the change of the resistance value by comparing with the existing resistance value; And a heater disconnection alarm output connection device for transmitting a disconnection of the heater heating wire in the micom so as to be recognized by the notification device to the user.

본 발명의 마이컴은 전압감지회로와 전류감지회로로부터 각각의 측정값을 전달받아 저항값을 연산하고 연산된 저항값을 고유저항값과 실시간으로 비교 연산하는 것을 특징으로 한다.The microcomputer of the present invention is characterized in that it receives the respective measured values from the voltage sensing circuit and the current sensing circuit to calculate the resistance value and compare the calculated resistance value with the intrinsic resistance value in real time.

이하, 본 발명에 의한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 종형열처리장치에 사용되는 히터 중 열선이 병렬로 연결되어 있는 회로에 결합하여 히터의 단선 유무를 감지하는 본 발명의 히터 단선 감지장치 블록도이다.Figure 4 is a block diagram of the heater disconnection detection device of the present invention to detect the disconnection of the heater is coupled to a circuit that the heating wire is connected in parallel among the heaters used in the vertical heat treatment apparatus.

이해를 돕기 위해 종래의 종형열처리장치의 히터 구성부분을 동일한 부호로 명기한다.For ease of understanding, the heater components of the conventional vertical heat treatment apparatus are denoted by the same reference numerals.

도 4에 도시한 바와 같이 본 발명의 히터 단선 감지장치(100)는, 히터 열선(4) 양단을 연결하여 전압을 감지하는 전압감지회로(10)와, 상기 히터 열선(4)에 흐르는 전류를 감지하는 전류감지회로(20)와, 상기 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)로부터 각각 전압값과 전류값을 전달받아 저항값을 연산하고 기존 저항값과 비교하여 저항값의 변화에 따라 상기 히터 열선(4)의 단선 유무를 감지하는 마이컴(MICOM)(30) 및, 상기 마이컴(30)에서 히터 열선(4)의 단선이 감지되면 이를 사용자에게 알림장치를 통해 인지가능하도록 전송하는 히터단선 경보출력 연결장치(40)로 구성된다.As shown in FIG. 4, the heater disconnection detecting apparatus 100 according to the present invention includes a voltage sensing circuit 10 for detecting voltage by connecting both ends of the heater heating wire 4 and a current flowing in the heater heating wire 4. Receives a voltage value and a current value from the current sensing circuit 20, the voltage sensing circuit 10, and the current sensing circuit 20, respectively, and calculates a resistance value and compares it with an existing resistance value to change the resistance value. According to the MICOM (30) for detecting the disconnection of the heater heating wire (4), and if the disconnection of the heater heating wire (4) is detected in the micom (30) to transmit to the user to recognize it through the notification device Heater break alarm output connection device 40 is configured.

상기 전압감지회로(10)는 종형열처리장치 챔버(1)에 여러 개의 층으로 구성되어 있는 히터 열선(4) 중 병렬구조로 되어 있는 히터 열선(4)의 양 단부에 각각의 회로를 연결해 전압을 측정한 후 측정값을 상기 마이컴(30)으로 전송하도록 구성된다.The voltage sensing circuit 10 connects the respective circuits to both ends of the heater heating wire 4 having a parallel structure among the heater heating wires 4 having a plurality of layers in the vertical heat treatment chamber 1. After the measurement is configured to transmit the measured value to the microcomputer (30).

상기 전류감지회로(20)는 상기 종형열처리장치의 병렬구조로 되어 있는 히터 열선(4) 회로에 전류변환기(50)를 설치하여 상기 전류변환기(50)를 통해 얻은 전류값을 상기 마이컴(30)으로 전송하도록 구성된다.The current sensing circuit 20 installs a current converter 50 in a heater heating wire 4 circuit having a parallel structure of the vertical heat treatment device, and outputs a current value obtained through the current converter 50 to the microcomputer 30. Is configured to transmit.

상기 마이컴(30)은 상기 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)로부터 전달되는 전압값(V)과 전류값(A)을 옴의 법칙(R=V/I)을 통해 저항값(R)을 연산하고 고유저항값과 비교하는 연산프로그램이 내장된다.The microcomputer 30 transmits the voltage value V and the current value A transmitted from the voltage sensing circuit 10 and the current sensing circuit 20 through the Ohm's law (R = V / I). A calculation program is built in that calculates R) and compares it with the specific resistance value.

상기 마이컴(30)에 내장되어 있는 연산프로그램을 통해 히터 열선(4)이 단선되지 않았을 때의 정상적인 저항값 즉, 고유저항값을 데이터베이스(DB)로 저장하였다가 실시간으로 연산되는 저항값과 비교하여 저항값이 일치하지 않을 경우, 히터 열선(4)의 단선으로 간주하고 상기 히터단선 경보출력 연결장치(40)를 통해 이를 관리자에게 인지시키도록 한다.The normal resistance value when the heater heating wire 4 is not disconnected through the calculation program built into the microcomputer 30, that is, the specific resistance value is stored in the database DB and compared with the resistance value calculated in real time. If the resistance value does not match, it is regarded as disconnection of the heater heating wire 4 and the manager is notified through the heater disconnection alarm output connecting device 40.

상기 마이컴(30)에 저장되는 고유저항값은 단선시 저항값이 2배로 증가하므로 ㅁ 50% 범위 안에서 감지가 가능하도록 마이컴(30)을 설정해둔다.The resistance value stored in the microcomputer 30 is increased by twice the resistance value when disconnection, so the microcomputer 30 is set to be able to be detected within 50% range.

상기 히터단선 경보출력 연결장치(40)는 상기 마이컴(30)을 통해 히터 열선(4)의 단선을 전달받아 종형열처리장치에 구성되어 있는 LCD 모니터, 램프 및 스피커 등의 알림장치를 통해 관리자에게 인지시키도록 알림장치(도시 생략)와 연결 구성된다.The heater disconnection alarm output connection device 40 receives the disconnection of the heater heating wire 4 through the microcomputer 30 and recognizes it to the administrator through a notification device such as an LCD monitor, a lamp, and a speaker configured in the vertical heat treatment device. It is connected to the notification device (not shown) to be configured.

본 발명의 히터 단선 감지장치는 전압과 전류는 온도 안정화 상태에 따라 측정값의 변화가 없는 관계로 각각의 전압과 전류값을 측정하여 히터 저항값을 체크하는 것이다.In the heater disconnection detecting apparatus of the present invention, the voltage and current are not changed according to the temperature stabilization state, so that the heater resistance is checked by measuring the respective voltage and current values.

상기와 같이 구성된 본 발명의 히터 단선 감지장치의 동작 흐름을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation flow of the heater disconnection detection apparatus of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 종형열처리장치의 히터 열선 중 병렬로 구성되어 있는 히터 열선(4)의 회로에 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)를 각각 연결하고 히터 단선 경보출력장치(40)는 관리자에게 단선 상태를 인지시킬 수 있는 LCD 모니터, 램프 및 스피커 등의 알림장치와 연결한다.First, the voltage sensing circuit 10 and the current sensing circuit 20 are respectively connected to the circuits of the heater heating wires 4 which are arranged in parallel among the heater heating wires of the vertical heat treatment device, and the heater disconnection alarm output device 40 is connected to the manager. Connect with alarm devices such as LCD monitor, lamp and speaker that can detect disconnection.

또한, 상기 마이컴(30)에 히터 열선(4)이 단선되지 않을 때의 고유저항값을 DB로 저장해둔다.In addition, the specific resistance value when the heater heating wire 4 is not disconnected in the microcomputer 30 is stored in the DB.

이후, 상기 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)를 통해 마이컴(30)에 실시간으로 전달되는 각각의 전압값과 전류값을 연산하여 최초 상기 마이컴(30)에 설정되어 있는 고유저항값과 실시간으로 비교한다.Thereafter, the voltage resistance circuit 10 and the current sensing circuit 20 calculate the respective voltage values and the current values that are delivered to the microcomputer 30 in real time, and then set the resistivity values initially set in the microcomputer 30. Compare in real time with.

상기 마이컴(30)에서 실시간으로 연산된 저항값과 비교 기준이 되는 고유저항값을 비교하여 일치하지 않을 경우, 이를 히터 열선(4)이 단선된 것으로 간주하여 히터단선 경보출력 연결장치(40)로 신호를 보낸다.If the micom 30 compares the resistance value calculated in real time with the intrinsic resistance value which is a comparison criterion, it is regarded as the heater heating wire 4 is disconnected, and the heater break alarm output connection device 40 Send a signal

이에 따라 히터단선 경보출력 연결장치(40)에서는 상기 마이컴(30)으로부터 단선 신호를 받아 관리자가 인지가능하도록 알림장치(LCD 모니터, 램프 및 스피커)를 통해 단선된 것을 알린다.Accordingly, the heater disconnection alarm output connection device 40 receives the disconnection signal from the microcomputer 30 to notify that the administrator is disconnected through the notification device (LCD monitor, lamp and speaker) so that the administrator can recognize.

본 발명은 특정한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 기술적사상의 범주내에서는 수정 및 변형 실기가 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described with reference to specific embodiments, the present invention is not limited thereto, and modifications and variations may be made within the scope of the technical idea of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 히터단선 감지장치는 종형열처리장치의 히터 열선 중 병렬 연결된 히터 열선의 저항값을 실시간으로 측정 연산하고 이를 단 선 되지 않을 때의 정상적인 저항값과 비교하여 병렬 구성으로 되어 있는 열선 중 하나의 열선이 단선되는 것을 감지하도록 함으로써 웨이퍼에 가해지는 온도의 균일성을 보장하여 웨이퍼 증착 및 성막시 효율적인 공정 수행이 가능하다.As described above, the heater disconnection detection apparatus according to the present invention measures the resistance value of the heater heating wires connected in parallel among the heater heating wires of the vertical heat treatment device in real time, and compares them with the normal resistance value when not disconnected to form a parallel configuration. By detecting the disconnection of one of the heating wires, the uniformity of the temperature applied to the wafer can be ensured, thus enabling efficient processing during wafer deposition and film formation.

Claims (2)

히터 열선(4) 양단을 연결하여 전압을 감지하는 전압감지회로(10);A voltage sensing circuit 10 connecting both ends of the heater heating wire 4 to sense a voltage; 상기 히터 열선(4)에 흐르는 전류를 감지하는 전류감지회로(20);A current sensing circuit 20 for sensing a current flowing in the heater heating wire 4; 상기 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)로부터 각각 전압값과 전류값을 전달받아 저항값을 연산하고 기존 저항값과 비교하여 저항값의 변화에 따라 상기 히터 열선(4)의 단선 유무를 감지하는 마이컴(30); 및Receiving a voltage value and a current value from the voltage sensing circuit 10 and the current sensing circuit 20, respectively, calculating a resistance value and comparing the existing resistance value with or without disconnection of the heater heating wire 4 according to the change in the resistance value. Microcomputer 30 for detecting the; And 상기 마이컴(30)에서 히터 열선(4)의 단선이 감지되면 이를 사용자에게 알림장치를 통해 인지가능하도록 전송하는 히터단선 경보출력 연결장치(40)로 구성된 것을 특징으로 하는 히터 단선 감지장치.Heater disconnection detection device, characterized in that consisting of a heater disconnection alarm output connection device 40 for transmitting a disconnection of the heater heating wire (4) in the micom 30 so as to be recognized by the user notification device. 제1항에 있어서, 상기 마이컴(30)은 전압감지회로(10)와 전류감지회로(20)로부터 각각의 측정값을 전달받아 저항값을 연산하고 연산된 저항값을 고유저항값과 실시간으로 비교 연산하는 것을 특징으로 하는 히터 단선 감지장치.The method of claim 1, wherein the microcomputer 30 receives the respective measured values from the voltage sensing circuit 10 and the current sensing circuit 20 to calculate a resistance value and compare the calculated resistance value with the intrinsic resistance value in real time. Heater disconnection detection device, characterized in that the calculation.
KR1020060101841A 2006-10-19 2006-10-19 Heater disconnection detector Ceased KR20080035312A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060101841A KR20080035312A (en) 2006-10-19 2006-10-19 Heater disconnection detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060101841A KR20080035312A (en) 2006-10-19 2006-10-19 Heater disconnection detector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080035312A true KR20080035312A (en) 2008-04-23

Family

ID=39574324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060101841A Ceased KR20080035312A (en) 2006-10-19 2006-10-19 Heater disconnection detector

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080035312A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160025739A (en) 2014-08-28 2016-03-09 린나이코리아 주식회사 Apparatus and Method for Judging for State on Sheath Heater
US12520386B2 (en) 2016-07-25 2026-01-06 Altria Client Services Llc Heater management based on heater resistance

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160025739A (en) 2014-08-28 2016-03-09 린나이코리아 주식회사 Apparatus and Method for Judging for State on Sheath Heater
US12520386B2 (en) 2016-07-25 2026-01-06 Altria Client Services Llc Heater management based on heater resistance

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113571811B (en) Formation temperature control system and control method thereof
CN114779067B (en) Circuit breaker, circuit breaker terminal contact resistance detection device and method
CN103702458A (en) Heating device and electric device with a heating device
CN104750140B (en) Reaction chamber method for heating and controlling and device
US20230164885A1 (en) Control system for controlling a heater
US5702624A (en) Compete hot plate temperature control system for hot treatment
US20150102823A1 (en) Circuit integrity detection system for detecting the integrity of a sensing wire in electrically heated textiles
WO2014201867A1 (en) Probe module for detecting contact effect
KR20120113306A (en) Detecting device for temperature of terminal
TWI697749B (en) heating equipment
JP2020501145A (en) Temperature transmitter and transmitter assembly with diagnostic element for diagnosing thermocouple short circuit
KR20080035312A (en) Heater disconnection detector
CN106504461A (en) A kind of electric fire monitoring device and method
CN114414945B (en) A method for detecting damage of sensor enameled wire
KR101843143B1 (en) Electric range having function for detecting overflow and method for detecting overflow of electric range
CN105700508B (en) One kind heating method for detecting abnormality
US20150082879A1 (en) Fluid flow sensor with reverse-installation detection
KR20040003885A (en) Temperature detecting device of a diffusion furnace
KR102523812B1 (en) Heater disconnection detecting system and detecting method for parallel-serial connection
JP4335507B2 (en) Sensor wire break detection device
KR20160094057A (en) Heater short detecting system and method of reaction chamber
KR101746560B1 (en) Multi-layered resistive-thermocouple type temperature measuring wafer sensor and method for fabricating the same
KR20230120295A (en) Refractory wear detection sensor and system
KR100665849B1 (en) Heater overheat prevention device
CN107688361A (en) A kind of safety control circuit for food size processing

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20061019

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20070828

Patent event code: PE09021S01D

E90F Notification of reason for final refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Final Notice of Reason for Refusal

Patent event date: 20080227

Patent event code: PE09021S02D

PG1501 Laying open of application
E601 Decision to refuse application
E801 Decision on dismissal of amendment
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20080827

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20080227

Comment text: Final Notice of Reason for Refusal

Patent event code: PE06011S02I

Patent event date: 20070828

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

PE0801 Dismissal of amendment

Patent event code: PE08012E01D

Comment text: Decision on Dismissal of Amendment

Patent event date: 20080827

Patent event code: PE08011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20080404

Patent event code: PE08011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20071029