[go: up one dir, main page]

KR200406115Y1 - Mask frame for manufacturing organic light emitting device - Google Patents

Mask frame for manufacturing organic light emitting device Download PDF

Info

Publication number
KR200406115Y1
KR200406115Y1 KR2020050030964U KR20050030964U KR200406115Y1 KR 200406115 Y1 KR200406115 Y1 KR 200406115Y1 KR 2020050030964 U KR2020050030964 U KR 2020050030964U KR 20050030964 U KR20050030964 U KR 20050030964U KR 200406115 Y1 KR200406115 Y1 KR 200406115Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask frame
light emitting
organic light
mask
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
KR2020050030964U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김대삼
김영회
Original Assignee
김대삼
김영회
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김대삼, 김영회 filed Critical 김대삼
Priority to KR2020050030964U priority Critical patent/KR200406115Y1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200406115Y1 publication Critical patent/KR200406115Y1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H10P76/4085—

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 고안은 유기전계발광소자의 제조시 소정 패턴의 슬롯이 형성된 증착마스크를 이용하여 유기발광층이나 전극을 투명재질의 절연기판 상에 증착시키는 과정에서 상기 증착마스크의 외곽을 지지하도록 마련되는 마스크프레임에 관한 것으로, 이러한 본 고안의 목적은 유기전계발광소자의 제조시 증착과정에서 사용되는 마스크프레임을 장기간 사용할 수 있도록 하면서도 마스크프레임의 생산단가를 효과적으로 줄일 수 있도록 마련된 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임을 제공하는 것이다. The present invention is a mask frame provided to support the outside of the deposition mask in the process of depositing an organic light emitting layer or electrode on an insulating substrate of a transparent material using a deposition mask having a predetermined slot formed in the manufacturing of the organic light emitting device It is an object of the present invention to provide a mask frame for manufacturing an organic light emitting device, which is provided to effectively reduce the production cost of the mask frame while allowing the use of the mask frame used in the deposition process for a long time in the manufacture of the organic light emitting device. will be.

이를 위해 본 고안에 따른 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임은 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질 중 어느 하나로 마련되는 복수개의 조각편을 인접한 것끼리 상호 용접하여 결합시키고 결합된 상기 각 조각편의 용접부위를 상기 조각편의 표면과 동일평면을 이루도록 연마하여 마련된다. To this end, the mask frame for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention combines a plurality of pieces provided by any one of INVAR or titanium (Ti) materials to each other by welding adjacent pieces to each other and joins the welded portions of the pieces. It is provided by grinding to form the same plane as the surface of the piece.

Description

유기전계발광소자 제조용 마스크프레임{MASK FRAME FOR MANUFACTURING OF ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DIODE}Mask frame for manufacturing organic electroluminescent device {MASK FRAME FOR MANUFACTURING OF ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DIODE}

도 1은 일반적인 OLED의 구조를 대략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a structure of a general OLED.

도 2는 일반적인 OLED의 제조시 증착과정에서 사용되는 마스크프레임과 증착마스크의 구조를 도시한 사시도이다. 2 is a perspective view showing the structure of a mask frame and a deposition mask used in the deposition process in the manufacture of a typical OLED.

도 3은 일반적인 OLED의 제조시 유기발광층을 절연단자에 증착시키는 과정을 대략적으로 나타낸 것이다. FIG. 3 schematically illustrates a process of depositing an organic light emitting layer on an insulating terminal when manufacturing a general OLED.

도 4는 OLED의 제조시 증착과정에서 사용되는 종래 마스크프레임이 형성되는 과정을 순서대로 도시한 것이다. Figure 4 illustrates in sequence the process of forming a conventional mask frame used in the deposition process in the manufacturing of the OLED.

도 5는 OLED의 제조시 증착과정에서 사용되는 본 고안의 일 실시예에 따른 마스크프레임이 형성되는 과정을 순서대로 도시하여 나타낸 것이다.Figure 5 shows in order the process of forming the mask frame according to an embodiment of the present invention used in the deposition process in the manufacture of the OLED.

도 6은 도 5의 마스크프레임을 뒤집은 상태로 도시한 사시도이다. FIG. 6 is a perspective view illustrating the mask frame of FIG. 5 in an inverted state.

도 7의 a와 b는 각각의 조각편이 용접된 상태에 있는 본 고안의 다른 실시예에 따른 마스크프레임의 구조를 나타낸 평면도이다.7A and 7B are plan views showing the structure of a mask frame according to another embodiment of the present invention in which each piece is welded.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10,10′: 일자형바(bar) 10″: 절곡형바(bar)10,10 ′: Straight bar 10 ″: Bent bar

11,10′,10″: 용접부 20,20′,20″: 1차가공프레임11,10 ', 10 ": Welded part 20,20', 20": Primary processing frame

30: 2차가공프레임 40: 마스크프레임30: secondary processing frame 40: mask frame

41: 장착홈41: mounting groove

본 고안은 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기전계발광소자의 제조시 소정 패턴의 슬롯이 형성된 증착마스크를 이용하여 유기발광층이나 전극을 투명재질의 절연기판 상에 증착시키는 과정에서 상기 증착마스크의 외곽을 지지하도록 마련되는 마스크프레임에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame for manufacturing an organic light emitting device, and more particularly, to deposit an organic light emitting layer or an electrode on an insulating substrate made of a transparent material by using a deposition mask in which a slot of a predetermined pattern is formed in manufacturing the organic light emitting device. It relates to a mask frame provided to support the outside of the deposition mask in the process.

일반적으로 유기전계발광소자(ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DIODE), 즉 OLED는 전압을 가하면 스스로 발광하는 유기발광물질의 특성을 이용해서 원하는 문자와 영상 등이 표시되도록 하는 소자를 말한다. In general, an organic light emitting diode (ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DIODE), that is, OLED refers to a device that displays the desired characters and images by using the characteristics of the organic light emitting material that emits itself when voltage is applied.

이러한 OLED는 빠른 응답속도를 가질 뿐만 아니라 컬러필터 없이도 자체 발광할 수 있어 휘도에 있어서도 우수하고, 별도의 광원이 필요 없게 되어 전력소모가 줄어들도록 하는 등 기존 LCD(LIQUID CRYSTAL DISPLAY)의 문제점을 극복할 수 있게 되어 최근 LCD를 대신하는 차세대 평판디스플레이 소자로 각광 받고 있다. This OLED not only has a fast response speed but also can emit light without color filter, so it is excellent in brightness, and it does not need a separate light source to overcome the problems of the existing LCD (LIQUID CRYSTAL DISPLAY). Recently, it is being spotlighted as the next generation flat panel display device replacing LCD.

도 1에는 이러한 OLED의 대략적인 구조가 도시된다. 1 shows a schematic structure of such an OLED.

도 1에 도시된 바와 같이, OLED는 유리나 투명필름으로 마련되는 투명재질의 절연기판(1)과, 이러한 절연기판(1) 상에 차례로 적층되는 것으로 양극인 투명전극(2)과, 유기전계발광층(3)과, 음극인 금속전극(4)을 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, an OLED is an insulating substrate 1 made of a transparent material made of glass or a transparent film, a transparent electrode 2 which is an anode, which is sequentially stacked on the insulating substrate 1, and an organic light emitting layer. (3) and the metal electrode 4 which is a cathode.

따라서 상기 투명전극(2)과 금속전극(4)에 각각 양전압(+)과 음전압(-)을 인가하면, 각 전극(2,4) 측에서 유기발광층(3)으로 홀(hole)과 전자가 각각 이동하게 되고, 유기발광층(3)에서 만난 전자와 홀(hole)은 높은 에너지를 갖는 여기자(exciton)를 생성하게 되는데, 이때 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 빛을 발생하게 된다. Therefore, when a positive voltage (+) and a negative voltage (-) are applied to the transparent electrode 2 and the metal electrode 4, respectively, the holes and the organic light emitting layer 3 are formed on the electrodes 2 and 4 side. The electrons move, and the electrons and holes encountered in the organic light emitting layer 3 generate excitons having high energy, and the excitons fall to low energy to generate light.

이러한 빛은 유기발광층(3)을 구성하는 유기물질의 종류에 따라 달라지게 되며, OLED는 레드(red) 그린(green) 블루(blue) 빛을 발생시킬 수 있는 각각의 유기물질을 통해 유기발광층(3)을 구성함에 따라 모든 칼라를 구현할 수 있게 된다.The light varies depending on the type of organic material constituting the organic light emitting layer 3, and the OLED is formed through the organic light emitting layer through each organic material capable of generating red, green, blue light. By configuring 3) it is possible to implement all colors.

그리고 이러한 OLED에 있어서 상기 투명전극(2)은 통상 상기 절연기판(1)에 코팅된 ITO(INDIUM TIN OXIDE)막을 공지의 포토리소그래피(PHOTOLITHOGRAPHY)공정으로 패턴화하여 형성되고, 그 위에 마련되는 상기 유기발광층(3)과 금속전극(4)은 열증착 공정을 통해 적층되는데, 이러한 유기발광층(3)과 금속전극(4)의 증착과정에서는 증착마스크(5)가 사용된다.In the OLED, the transparent electrode 2 is usually formed by patterning an ITO (INDIUM TIN OXIDE) film coated on the insulating substrate 1 by a known photolithography process, and the organic material provided thereon. The light emitting layer 3 and the metal electrode 4 are stacked by a thermal evaporation process. In the deposition process of the organic light emitting layer 3 and the metal electrode 4, a deposition mask 5 is used.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 투명전극(2)이 적층된 절연기판(1)의 투명전극(2) 상에 상기 유기발광층(3)을 형성하기 위해서는 먼저 유기발광층(3)의 패턴대로 형성된 슬롯(5a)을 구비하는 증착마스크(5)를 그 외곽이 폐루프 형상을 갖는 프레임(6)의 상면에 용접작업 등을 통해 고정되도록 한다. As shown in FIGS. 2 and 3, in order to form the organic light emitting layer 3 on the transparent electrode 2 of the insulating substrate 1 on which the transparent electrode 2 is stacked, first, a pattern of the organic light emitting layer 3 is formed. The deposition mask 5 having the slots 5a formed as described above is fixed to the upper surface of the frame 6 having a closed loop shape by welding or the like.

증착마스크(5)가 용접된 마스크프레임(6)은 진공챔버 내부로 위치된 상태에서 하면에 형성된 장착홈(6a)을 통해 그 둘레부가 고정지그(7)에 고정되고, 상기 흡착마스크(5)의 상부에는 상기 절연기판(1)이 투명전극(2)이 하부를 향하도록 하 여 밀착되게 위치된다. The mask frame 6 to which the deposition mask 5 is welded is fixed to the fixing jig 7 through the mounting groove 6a formed on the lower surface of the mask frame 6 in which the deposition mask 5 is welded, and the suction mask 5 In the upper portion of the insulating substrate 1 is placed in close contact with the transparent electrode 2 facing downward.

따라서 이 상태에서 마스크프레임(6)의 하부에 설치되는 증발용기(8)를 통해 유기물을 증발시키게 되면, 증발된 유기물이 증착마스크(5)의 각 슬롯(5a)을 통하여 투명전극(2) 상에 증착되며 유기발광층(3)을 형성하게 된다. Therefore, in this state, when the organic matter is evaporated through the evaporation vessel 8 installed under the mask frame 6, the evaporated organic matter is formed on the transparent electrode 2 through each slot 5a of the deposition mask 5. Deposited to form an organic light emitting layer (3).

또 유기발광층(3)이 증착된 절연기판(1)은 상기 증착마스크(5)에서 분리된 상태로 또 다른 진공챔버 내부로 이송된 후 이와 동일한 공정을 거치면서 상기 금속전극(4)이 절연기판(1)의 유기발광층(3) 상에 증착되도록 한다. In addition, the insulating substrate 1 on which the organic light emitting layer 3 is deposited is transferred to another vacuum chamber in a state separated from the deposition mask 5, and then the metal electrode 4 is insulated from the insulating substrate. It is made to deposit on the organic light emitting layer 3 of (1).

한편 이러한 진공증착 과정 중 진공챔버 내부 온도는 증발용기(8)로부터 발생하는 열에 의해 큰 폭으로 상승하게 되는데, 이에 따라 진공증착 과정이 반복적으로 진행되면서 마스크프레임(6)을 장기간 사용하게 될 경우에는 열팽창에 의해 마스크프레임(6)이 변형될 우려가 있으며, 마스크프레임(6)이 열적으로 변형된 상태에서는 증착마스크(5)의 수평을 정확히 유지할 수 없게 되어 마스크프레임(6)과 절연기판(1) 상의 투명전극(2) 사이에 간격이 발생하게 되는 등 증착마스크(5)가 절연기판(1)에 밀착된 상태를 유지할 수 없게 된다. 따라서 이러한 상태에서는 유기발광층(3)이나 금속전극(4)을 절연기판(1) 상에 정확히 증착시킬 수 없게 되어 마스크프레임(6)을 새것으로 교체하여야 하기 때문에 마스크프레임(6)의 수명이 단축된다. On the other hand, the temperature inside the vacuum chamber during the vacuum deposition process is greatly increased by the heat generated from the evaporation container (8). Accordingly, when the vacuum evaporation process is repeatedly performed, the mask frame 6 is used for a long time. The mask frame 6 may be deformed due to thermal expansion. In the state where the mask frame 6 is thermally deformed, the deposition mask 5 may not be accurately leveled, and thus the mask frame 6 and the insulating substrate 1 may be deformed. The deposition mask 5 cannot maintain the state in which the deposition mask 5 is in close contact with the insulating substrate 1 such that a gap is generated between the transparent electrodes 2 on the surface of the electrode. Therefore, in this state, the organic light emitting layer 3 or the metal electrode 4 cannot be deposited accurately on the insulating substrate 1, and thus the life of the mask frame 6 is shortened because the mask frame 6 must be replaced with a new one. do.

따라서 종래에는 이러한 마스크프레임(6)을 철과 니켈이 64:36의 비율로 첨가된 인바(INVAR)와 같은 합금이나 티타늄(Ti) 등 스테인레스에 비해 열팽창계수가 작은 재질을 통해 제작하여 마스크프레임(6)의 사용수명이 연장되도록 하고 있다. Therefore, in the related art, the mask frame 6 is made of an alloy such as INVAR in which iron and nickel are added at a ratio of 64:36, or a material having a coefficient of thermal expansion smaller than that of stainless steel such as titanium (Ti). The service life of 6) is to be extended.

도 4에는 종래 이러한 종래 마스크프레임(6)이 형성되는 과정이 도시된다. 4 illustrates a process of forming such a conventional mask frame 6.

도 4와 같이, 종래 마스크프레임(6)은 먼저 인바(INVAR)나 티타늄(Ti)재질로 마련된 평판(A)을 준비한 다음, 이러한 평판(A) 내측을 가상선으로 도시한 절개선(Aa)을 따라 절개하여 절개선(Aa) 내측 사각판상의 제거부(Ab)가 제거되도록 함으로써 사각형의 폐루프형상을 갖는 1차가공프레임(B)을 형성하고, 이러한 1차가공프레임(B)에 상기 장착홈(6a) 등을 가공하여 최종적인 마스크프레임(6)으로 형성되었다.As shown in FIG. 4, the conventional mask frame 6 first prepares a flat plate A made of INVAR or titanium (Ti) material, and then cuts the cut line Aa inside the flat plate A as an imaginary line. The primary cutting frame B having the rectangular closed loop shape is formed by removing the cutting portion Ab on the inner side of the cutting line Aa by cutting along the cut line Aa. The mounting grooves 6a and the like were processed to form a final mask frame 6.

그러나 이러한 종래 마스크프레임(6)은 일반 스테인레스에 비해 월등히 비싼 인바(INVAR)나 티타늄(Ti)과 같은 재질을 통해 마련되면서도 그 형성과정에서 상기 평판(A)의 제거부(Ab) 만큼의 재료손실이 발생하게 되기 때문에, 그 생산단가가 과도하게 증가되는 문제점이 있었다. However, while the conventional mask frame 6 is made of a material such as INVAR or titanium (Ti), which is much more expensive than general stainless steel, material loss as much as the removal portion (Ab) of the flat plate (A) is formed during the formation process. Since this occurs, there was a problem that the production cost is excessively increased.

본 고안은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 고안의 목적은 유기전계발광소자의 제조시 증착과정에서 사용되는 마스크프레임을 장기간 사용할 수 있도록 하면서도 마스크프레임의 생산단가를 효과적으로 줄일 수 있도록 마련된 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임을 제공하는 것이다.The present invention is to solve this problem, an object of the present invention is to provide a long-term use of the mask frame used in the deposition process during the manufacturing of the organic light emitting device, while reducing the production cost of the mask frame organic electroluminescence It is to provide a mask frame for device manufacturing.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 고안에 따른 마스크프레임은 유기전계발광소자의 제조시 소정 패턴의 슬롯이 형성된 증착마스크를 이용하여 유기발광층이나 금속전극을 투명재질의 절연기판 상에 증착시키는 과정에서 상기 증착마스크의 외 곽을 지지하도록 마련되는 것으로, 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질 중 어느 하나로 마련되는 복수개의 조각편을 인접한 것끼리 상호 용접하여 결합시키고 결합된 상기 각 조각편의 용접부위를 상기 조각편의 표면과 동일평면을 이루도록 연마하여 마련된 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the mask frame according to the present invention is deposited in the process of depositing an organic light emitting layer or a metal electrode on an insulating substrate of a transparent material using a deposition mask having a predetermined slot formed in manufacturing an organic light emitting device. It is provided to support the outer edge of the mask, the plurality of pieces provided by any one of the Invar (INVAR) or titanium (Ti) are bonded to each other adjacently bonded to each other and the welded portions of the combined pieces of the pieces It is characterized in that the polishing provided to form the same plane as the surface.

그리고 상기 조각편은 상기 마스크프레임의 각 변을 형성하는 일자형 바(bar)를 포함하는 것을 특징으로 한다.And the piece is characterized in that it comprises a straight bar (bar) forming each side of the mask frame.

또한 상기 조각편은 상기 마스크프레임의 모서리부를 형성하는 절곡부를 갖는 절곡형 바(bar)를 포함하고, 상기 용접부위는 상기 마스크프레임의 각 변 사이에 마련된 것을 특징으로 한다.In addition, the piece piece is characterized in that it comprises a bent bar (bar) having a bent portion forming the corner portion of the mask frame, the welding portion is characterized in that provided between each side of the mask frame.

또한 상기 연마된 용접부위에 기공이 발생할 경우, 상기 기공이 형성된 부위를 재용접하여 메우고, 재용접된 기공 측을 재연마하여 마련된 것을 특징으로 한다.In addition, when pores are generated in the polished welding site, it is characterized in that it is provided by re-welding the portion where the pores are formed, re-polishing the re-welded pore side.

다음은 본 고안에 따른 유기전계발송소자 제조용 마스크프레임을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.Next will be described in detail with reference to the accompanying drawings, the mask frame for manufacturing an organic field transport device according to the present invention.

참고로 본 고안에 따른 마스크프레임이 채용되는 유기전계발광소자의 제조과정 및 유기전계발광소의 동작은 이미 상술한 바 있는 일반적인 유기전계발광소자의 제조과정 및 유기전계발광소자의 동작과 동일하므로, 이하에서는 본 고안에 따른 마스크프레임에 관해서만 상세히 기술하도록 한다.For reference, the manufacturing process of the organic light emitting diode and the operation of the organic light emitting diode employing the mask frame according to the present invention is the same as the manufacturing process of the conventional organic light emitting diode and the operation of the organic light emitting diode as described above, In the following description, only the mask frame according to the present invention will be described in detail.

우선 본 고안에 따른 마스크프레임은 상술한 바와 같이, 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질 중 어느 하나로 마련되는 복수개의 조각편을 인접한 것 끼리 용접 가공을 통해 상호 결합시켜 폐루프 형상을 갖도록 마련되는데, 이는 열팽창계수가 극히 적은 고가의 재질을 통해 마스크프레임이 형성되도록 하여 마스크프레임을 오래 사용할 수 있도록 하면서도, 완성된 마스크프레임과 마스크프레임을 형성하기 위한 재료의 량이 거의 같아지도록 하여 마스크프레임의 형성과정에서 고가의 재료손실이 큰 폭으로 줄어들도록 함으로써 마스크프레임의 생산단가를 효과적으로 저감시키기 위한 것이다. First, as described above, the mask frame according to the present invention is provided to have a closed loop shape by combining a plurality of pieces provided with one of an INVAR or titanium (Ti) material by welding the adjacent ones to each other. This allows the mask frame to be formed by using an expensive material having a very low coefficient of thermal expansion so that the mask frame can be used for a long time, while the amount of material used to form the mask frame and the mask frame is approximately equal to that in the process of forming the mask frame. It is to effectively reduce the production cost of the mask frame by significantly reducing the expensive material loss.

도 5와 도 6을 참고하면, 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크프레임(40)은 사각형의 폐루프 형상을 갖도록 마련되되, 이러한 마스크프레임(40)은 마스크프레임(40)의 각 변을 형성하게 될 일자형바(bar)(10)를 상기 조각편으로 하여 각 일자형바(bar)(10)를 인접한 것끼리 상호 용접하여 결합시킴으로써 1차가공프레임(20)의 상태가 된다. 5 and 6, the mask frame 40 according to the preferred embodiment of the present invention is provided to have a closed loop shape of a rectangle, and the mask frame 40 may define each side of the mask frame 40. By forming a straight bar (bar) 10 to be formed as the piece pieces, each of the straight bar (bar) (10) is welded to each other adjacent to each other to join the state of the primary processing frame (20).

이때 상기 일자형바(bar)(10)는 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질로 마련되어 스테인레스에 비해 월등히 작은 열팽창계수를 갖게 됨으로써 이를 통해 형성되는 상기 마스크프레임(40)이 긴 사용수명을 갖도록 한다. At this time, the straight bar (bar) 10 is made of an INVAR or titanium (Ti) material has a thermal expansion coefficient significantly smaller than that of stainless, so that the mask frame 40 formed through it has a long service life. .

여기서 일자형바(bar)(10)를 상호 결합시키는 용접가공은 모재인 일자형바(bar)(10)와 동일한 인바(INVAR)재질의 금속전극 간에 아이크를 튀겨서 금속전극 자체가 용해되며 용접되도록 하는 아크용접이 사용되는데, 이때는 용접부위(11)에 기공이 발생하지 않도록 금속전극이 용해되는 시점에서 각 일자형바(bar)(10)를 그 사이의 용접부위(11)가 상호 밀착되도록 가압하는 것이 바람직하다. In this case, the welding process for coupling the bar 10 to each other is an arc in which the metal electrode itself is melted and welded by splashing the Ike between the metal bars of the same INVAR material as the base bar 10. Welding is used. In this case, it is preferable to press each of the straight bars 10 so that the welding portions 11 are in close contact with each other when the metal electrode is dissolved so that no pores are generated in the welding portions 11. Do.

또 이후에는 1차가공프레임(20)의 하면에 마스크프레임(40)을 진공챔버 내부 의 고정지그(7)에 안착 지지되도록 하는 상기 안착홈(41)을 1차적으로 그 절삭면이 다소 거칠게 형성되도록 밀링가공을 통해 형성하여 2차가공프레임(30)을 형성하게 되는데. 이때는 각 일자형바(bar)(10) 사이의 용접부위(11)의 돌출된 부위를 함께 절삭하여 후술하게 될 연마작업에서 용접부위(11)의 연마가 용이하게 되도록 하는 것이 바람직하다.Subsequently, the cutting groove 41 is formed on the lower surface of the primary processing frame 20 to allow the mask frame 40 to be seated and supported by the fixing jig 7 inside the vacuum chamber. Forming through milling process to form a secondary processing frame (30). In this case, it is preferable to cut the protruding portions of the welding portions 11 between the straight bars 10 so as to facilitate the polishing of the welding portions 11 in the polishing operation to be described later.

그리고 이처럼 안착홈(41)이 형성되고 용접부위(11)의 돌출부위가 절삭된 2차가공프레임(30)은 평면연마가공을 통해 각 일자형바(bar)(10) 사이의 용접부위(11)와 이에 인접한 각 일자형바(bar)(10) 표면이 동일평면을 이루도록 하여 전체 2차가공프레임(30)의 평면도 오차가 없도록 하고, 상기 장착홈(41)의 절삭면도 정확한 치수를 갖는 반들반들한 면이 되도록 하여 최종적으로 완성된 마스크프레임(40)이 되며, 이에 따라 완성된 마스크프레임(40)은 그 상부에 지지되는 증착마스크(5)가 정확한 수평을 유지할 수 있도록 됨은 물론 상기 장착홈(41)을 통해 상기 고정지그(7)에 정확히 지지될 수 있게 된다.The secondary processing frame 30 in which the seating groove 41 is formed and the protruding portion of the welding portion 11 is cut is welded portion 11 between each straight bar 10 through planar polishing. And the surface of each straight bar (10) adjacent thereto to form the same plane so that there is no flatness error of the entire secondary processing frame 30, and the cutting surface of the mounting groove 41 is also smooth The mask frame 40 is finally completed by making a surface, and thus, the completed mask frame 40 allows the deposition mask 5 supported thereon to maintain an accurate level as well as the mounting groove 41. Through) can be accurately supported on the fixing jig (7).

따라서 이와 같이 마련되는 마스크프레임(40)은 인바(INVAR)와 티타늄(Ti) 같은 고가의 재료의 손실이 줄어들도록 하면서도 종래와 마스크프레임과 동일한 형상과 기능을 수행할 수 있게 된다. Therefore, the mask frame 40 provided as described above can perform the same shape and function as the conventional mask frame while reducing loss of expensive materials such as INVAR and titanium.

한편, 상술한 바와 같이, 각 상호 용접되는 일자형바(bar)(10)를 그 사이의 용접부위(11)가 상호 밀착되도록 가압하게 되더라도 더러는 소정의 기공이 형성될 우려가 있으며, 용접부위(11)에 기공이 형성된 경우에는 용접부위(11)를 연마하는 과정에서 이러한 기공이 외부로 노출될 우려가 있다,On the other hand, as described above, even if the bar (10) to be welded to each other is pressed so that the welding portion 11 therebetween close contact with each other, there is a risk that some pores are formed, the welding portion 11 In the case where pores are formed), such pores may be exposed to the outside during the polishing of the welding part 11.

따라서 이와 같이 연마된 용접부위(11)에 기공이 발생하게 될 경우에는 기공이 형성된 부위를 재용접하여 메우고, 이렇게 재용접된 기공 측을 재연마하여 용접부위(11)가 기공이 전혀 없는 평면을 이루도록 하는 것이 바람직하다. Therefore, when pores are generated in the polished welding part 11, the welded part is rewelded and filled, and the re-welded pore side is regrinded so that the welded part 11 forms a plane without pores at all. It is desirable to.

또한, 본 실시예에 있어서, 마스크프레임(40)을 형성하는 조각편으로는 마스크프레임(40)의 각 변을 형성하는 일자형바(bar)(10)가 채용되고, 이러한 일자형바(bar)(10)는 상호 수직으로 접하도록 마련되어 있으나, 본 고안에 따른 마스크프레임(40)은 이와 다른 여러 가지 실시예를 가질 수 있다. In addition, in the present embodiment, as the piece pieces forming the mask frame 40, a straight bar 10 for forming each side of the mask frame 40 is employed, and such a straight bar 10 ) Are provided to be in contact with each other vertically, the mask frame 40 according to the present invention may have a number of other embodiments.

즉, 조각편이 용접된 상태에 있는 본 고안의 다른 실시예에 따른 마스크프레임의 1차가공프레임(20′)을 도시한 도 8의 a와 같이 상기 조각편은 마스크프레임(40)의 각 변을 형성하는 일자형바(bar)(10′)로 마련되되, 각 일자형바(bar)(10′) 사이의 용접부위(11′)가 상호 사선으로 접하도록 마련될 수도 있으며, 도 8의 b에 도시된 또 다른 실시예에 따른 1차가공프레임(20″)과 같이 상기 조각편은 마스크프레임(40)의 각 모서리부를 형성하는 절곡부를 갖는 절곡형바(bar)(10″)로 마련되어 각 절곡형바(bar)(10″) 사이의 용접부위(11″)가 상기 1차가공프레임(20″)의 각 변 사이에 마련되도록 할 수도 있다.That is, as shown in a of FIG. 8, which illustrates the primary processing frame 20 ′ of the mask frame according to another embodiment of the present invention in which the pieces are welded, the pieces form each side of the mask frame 40. The bar (10 ') is provided, but the welding portion (11') between each bar (10 ') may be provided to be in contact with each other diagonally, as shown in b of FIG. Like the primary processing frame 20 ″ according to another embodiment, the piece is provided with a bent bar 10 ″ having a bent portion forming each corner of the mask frame 40. A welding portion 11 ″ between (10 ″) may be provided between each side of the primary processing frame 20 ″.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임에 있어서 마스크프레임은 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질중 어느 하나로 마련되는 복수개의 조각편을 인접한 것 끼리 용접가공을 통해 상호 결합시키고 결합된 각 조각편의 용접부위를 연마하여 용접부위가 조각편의 표면과 동일 평면을 이루도록 마련된다. As described in detail above, in the mask frame for manufacturing an organic light emitting device according to the present invention, the mask frame is a plurality of pieces provided by any one of the Invar (INVAR) or titanium (Ti) material through the welding process between the adjacent ones. The welded portions are bonded and polished to weld the welded portions of each piece to be coplanar with the surface of the pieces.

따라서 본 고안에 따른 마스크프레임은 종래 마스크프레임과 동일한 기능을 수행할 수 있게 됨과 동시에 그 사용수명이 증대됨은 물론 완성된 마스크프레임과 마스크프레임을 형성하기 위한 재료의 량이 거의 같아지게 됨으로써, 마스크프레임의 형성과정에서 재료의 손실이 큰 폭으로 줄어들게 되어 마스크프레임의 생산단가가 효과적으로 줄어들도록 하는 이점을 갖는다.Accordingly, the mask frame according to the present invention can perform the same function as the conventional mask frame and at the same time increase the service life of the mask frame, the amount of material for forming the mask frame and the finished mask frame is almost the same, In the formation process, the loss of material is greatly reduced, which has the advantage of effectively reducing the production cost of the mask frame.

Claims (4)

유기전계발광소자의 제조시 소정 패턴의 슬롯이 형성된 증착마스크를 이용하여 유기발광층이나 금속전극을 투명재질의 절연기판 상에 증착시키는 과정에서 상기 증착마스크의 외곽을 지지하도록 마련되는 폐루프 형상의 마스크프레임에 있어서, Closed loop mask provided to support the outside of the deposition mask in the process of depositing an organic light emitting layer or a metal electrode on an insulating substrate of a transparent material using a deposition mask having a slot formed in a predetermined pattern when manufacturing the organic light emitting device In the frame, 상기 마스크프레임은 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질 중 어느 하나로 마련되는 복수개의 조각편을 인접한 것끼리 상호 용접하여 결합시키고 결합된 상기 각 조각편의 용접부위를 상기 조각편의 표면과 동일평면을 이루도록 연마하여 마련된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임.The mask frame is bonded to a plurality of pieces adjacent to each other by bonding a plurality of pieces provided in any one of the invar (INVAR) or titanium (Ti) material and polish the welded portions of the combined pieces to form the same plane as the surface of the piece. Mask frame for manufacturing an organic light emitting device, characterized in that provided. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 조각편은 상기 마스크프레임의 각 변을 형성하는 일자형 바(bar)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임.The engraving piece is a mask frame for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that it comprises a straight bar (bar) forming each side of the mask frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 조각편은 상기 마스크프레임의 모서리부를 형성하는 절곡부를 갖는 절곡형 바(bar)를 포함하고, 상기 용접부위는 상기 마스크프레임의 각 변 사이에 마련된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임.The engraving piece includes a bent bar (bar) having a bent portion forming the corner portion of the mask frame, the welding portion is a mask frame for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that provided between each side of the mask frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 연마된 용접부위에 기공이 발생할 경우, 상기 기공이 형성된 부위를 재용접하여 메우고 재용접된 기공 측을 재연마하여 마련된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조용 마스크프레임.When pores are generated in the polished welding part, the mask frame for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the re-welded portion filled with the pores and re-polishing the re-welded pore side.
KR2020050030964U 2005-11-01 2005-11-01 Mask frame for manufacturing organic light emitting device Expired - Lifetime KR200406115Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020050030964U KR200406115Y1 (en) 2005-11-01 2005-11-01 Mask frame for manufacturing organic light emitting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020050030964U KR200406115Y1 (en) 2005-11-01 2005-11-01 Mask frame for manufacturing organic light emitting device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050103778 Division 2005-11-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200406115Y1 true KR200406115Y1 (en) 2006-01-20

Family

ID=41757847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020050030964U Expired - Lifetime KR200406115Y1 (en) 2005-11-01 2005-11-01 Mask frame for manufacturing organic light emitting device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200406115Y1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101384278B1 (en) * 2013-09-04 2014-04-09 최종성 Organic light emitting diodes mask frame and the manufacture method
KR101615301B1 (en) * 2014-12-22 2016-05-11 주식회사 파인디앤씨 Zig-mask frame for display panel film deposition and method making it
KR101642041B1 (en) 2016-05-12 2016-07-22 최종성 Manufacture method for 3D printing of Mask Frame for Organic Light Emitting Diodes with type of recycling
KR101658801B1 (en) 2016-05-12 2016-09-22 최종성 Mask Frame for Organic Light Emitting Diodes with type of recycling
KR101700655B1 (en) 2016-05-12 2017-01-31 최종성 Automatic welding machine for Organic Light Emitting Diodes Mask Frame with welding robot
KR102193917B1 (en) 2019-11-28 2020-12-22 (주)위지트 Method of manufacturing mask base frame for depositing thin film
KR20250136058A (en) 2024-03-07 2025-09-16 (주)템스코 8th generation large-area mask frame using pre-assembled magnets

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101384278B1 (en) * 2013-09-04 2014-04-09 최종성 Organic light emitting diodes mask frame and the manufacture method
KR101615301B1 (en) * 2014-12-22 2016-05-11 주식회사 파인디앤씨 Zig-mask frame for display panel film deposition and method making it
KR101642041B1 (en) 2016-05-12 2016-07-22 최종성 Manufacture method for 3D printing of Mask Frame for Organic Light Emitting Diodes with type of recycling
KR101658801B1 (en) 2016-05-12 2016-09-22 최종성 Mask Frame for Organic Light Emitting Diodes with type of recycling
KR101700655B1 (en) 2016-05-12 2017-01-31 최종성 Automatic welding machine for Organic Light Emitting Diodes Mask Frame with welding robot
KR102193917B1 (en) 2019-11-28 2020-12-22 (주)위지트 Method of manufacturing mask base frame for depositing thin film
KR20250136058A (en) 2024-03-07 2025-09-16 (주)템스코 8th generation large-area mask frame using pre-assembled magnets

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101384278B1 (en) Organic light emitting diodes mask frame and the manufacture method
JP4006173B2 (en) Metal mask structure and manufacturing method thereof
TWI463022B (en) Mask assembly and manufacturing methods thereof
CN102094167B (en) Mask for evaporation, and method and apparatus for manufacturing the same
JP2001237073A (en) Metal mask for multiple patterning and manufacturing method thereof
JP2008059757A (en) Manufacturing method of organic light emitting display device
KR20130071823A (en) Organic light emitting display device and method for fabricating the same
KR102106333B1 (en) Mask assembly and method of fabricating organic light emitting display device using the same
KR100982021B1 (en) Split mask assembly
JP2008227326A (en) Organic EL light emitting device and method for manufacturing the same
KR200406115Y1 (en) Mask frame for manufacturing organic light emitting device
CN105474752A (en) Top-emission organic electroluminescence display device and production method therefor
JP2011127218A (en) Thin film deposition device and manufacturing method of organic emission display device utilizing it
JP6329711B1 (en) Organic EL display device and method of manufacturing organic EL display device
KR100353904B1 (en) Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same
JP2010034035A (en) Organic el display device and method of manufacturing the same
JP2013533602A (en) ORGANIC LIGHT EMITTING ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
KR102229155B1 (en) Manufacturing method of mask frame material for vapor deposition and manufacturung method of mask frame for vapor deposition using the same
JP2020042115A (en) Display panel manufacturing apparatus and display panel manufacturing method
JP2020008741A (en) Apparatus and method for manufacturing display panel
JP2013182787A (en) Device manufacturing method and donor substrate for transfer
KR102109037B1 (en) Method for manufacturing organic deposition mask using multi array electrode
KR101314452B1 (en) Organic light emitting device and manufacturing method thereof
KR20090103012A (en) Apparatus and method for fabricating Organic Light Emitting Diodes
KR20120017976A (en) Deposition mask unit for organic light emitting display device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
U107 Dual application of utility model
UA0107 Dual application for utility model registration

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-UA0107

UR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-UR1002

Fee payment year number: 1

REGI Registration of establishment
UR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-UR0701

UG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-UG1601

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 2

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 4

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 5

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 6

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130222

Year of fee payment: 8

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140224

Year of fee payment: 9

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150706

Year of fee payment: 10

UR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001

Fee payment year number: 10

EXPY Expiration of term
UC1801 Expiration of term

St.27 status event code: N-4-6-H10-H14-oth-UC1801

Not in force date: 20151102

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : EXPIRATION_OF_DURATION

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000