KR200193244Y1 - Vacuum pump control device - Google Patents
Vacuum pump control device Download PDFInfo
- Publication number
- KR200193244Y1 KR200193244Y1 KR2019980009541U KR19980009541U KR200193244Y1 KR 200193244 Y1 KR200193244 Y1 KR 200193244Y1 KR 2019980009541 U KR2019980009541 U KR 2019980009541U KR 19980009541 U KR19980009541 U KR 19980009541U KR 200193244 Y1 KR200193244 Y1 KR 200193244Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- motor
- drive
- unit
- drive signal
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
본 고안은 진공펌프 제어장치에 관한 것으로, 작업자는 과부하가 걸려서 진공펌프가 멈출때마다 또한 정전시 재가동시킬 때마다 펌프를 직접 뜯어내어 고착분말을 떼어내어 재가동시켜야 하는 불편함이 있었다.The present invention relates to a vacuum pump control device, the operator has an inconvenience to have to remove the sedimentation powder by restarting the pump every time the vacuum pump is stopped due to the overload and whenever the vacuum pump is restarted.
본 고안은 예시도면 도 2에서와 같이, 모터(30)구동을 위한 주전원공급의 펌프제어부(10)와, 모터(30)의 과부하를 감지하여 상기 주전원을 차단해주는 자기접촉기(12)와, 상기 전원차단을 감지하여 재구동신호를 출력하는 재구동신호출력부(14)와, 상기 재구동신호 입력으로 모터구동을 단속하는 단속구동부(16)와, 상기 단속구동부(16)의 작동신호 입력으로 모터를 연속구동하도록 통전하는 연속구동부(18)와, 정전으로 인한 모터작동의 멈춤을 감지하여 단속구동부(16)로 재구동신호를 출력하는 정전감지/구동신호출력부(20)와, 상기한 재구동신호출력부(14)와 정전감지/구동출력부(20)로부터 신호입력으로 과부하경보장치(24)와 정전경보장치(26)를 구동하는 경보제어부(22)로 이루어진 것으로, 분말입자의 고착으로 모터에 과부하가 걸려 작동 중지되더라도 자동으로 원인을 스스로 제거하여 연속작업이 가능하게 되고, 정전후 복구되었을 때도 펌프장비 자체에서 센서 자가진단 시간이 2분 소요됨으로 단속 구동 및 연속 구동시간이 2분 이상되도록 카운터(54)시간이 설정되어 있어서 가동상태를 계속 유지할 수 있는 효과가 있다.The present invention, as shown in Figure 2, the main motor supply pump control unit 10 for driving the motor 30, the magnetic contactor 12 for detecting the overload of the motor 30 to cut off the main power, and A re-drive signal output unit 14 for detecting a power interruption and outputting a re-drive signal, an intermittent drive unit 16 for controlling the motor drive by the re-drive signal input, and an operation signal input of the intermittent drive unit 16 A continuous driving unit 18 for energizing the motor for continuous driving, an electrostatic detection / drive signal output unit 20 for detecting a stop of motor operation due to a power failure and outputting a re-drive signal to the intermittent driving unit 16; It consists of an alarm control unit 22 for driving the overload alarm device 24 and the electrostatic alarm device 26 by signal input from the re-drive signal output unit 14 and the power failure detection / drive output unit 20. Even if the motor is overloaded and stopped working due to It is possible to continuously work by removing the cause by itself, and even when it is recovered after a power failure, the self-diagnosis time of the sensor takes 2 minutes in the pump equipment itself. Therefore, there is an effect that can keep the operating state.
Description
본 고안은 진공펌프 제어장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로세싱 가스의 분말고착으로 모터가 과부하되어 진공펌프가 순간 정지하게 되면 모터를 단속구동시켜서 고착 분말을 제거하여 연속가동을 용이하게 하고, 정전후 복구시에도 일정시간 동안 모터의 가동상태를 계속 유지할 수 있게 하여 과부하를 제어토록 한 진공펌프 제어장치이다.The present invention relates to a vacuum pump control device, and more particularly, when the motor is overloaded due to powder fixation of processing gas and the vacuum pump stops momentarily, the motor is intermittently driven to remove the stuck powder to facilitate continuous operation, It is a vacuum pump control device that can control the overload by keeping the motor running for a certain time even after recovery.
반도체 제조공정에서 배출되는 다종의 프로세싱 가스는 대개가 유독성이고 다른 가스와 혼합하면 폭발할 수도 있어서 공정상 주의를 요하며, 특히 온도변화에 따라 진공펌프 및 덕트내에 분말들이 고착하는 경향도 있어서 가스의 배기 후처리에 대한 환경보호적 문제와 더불어 분말의 고착을 해결하는 문제가 더욱 중요하게 여겨지고 있다.Many types of processing gases emitted from semiconductor manufacturing processes are usually toxic and may explode if mixed with other gases, requiring process caution. Particularly, the temperature tends to cause powders to adhere to vacuum pumps and ducts due to temperature changes. In addition to environmental protection issues for exhaust post-treatment, the problem of solving powder seizure is becoming more important.
예시도면 도 1은 프로세싱 가스의 배기경로를 도시한 바와 같이, 상부의 챔버에는 프로세싱 가스 흡입라인과 클린가스 흡입라인이 연결되어 있어서 반도체 웨이퍼를 이 프로세싱 가스로 처리하게 되고, 이 과정을 거친 프로세싱 가스는 진공펌프의 모터작동으로 형성된 부압에 의해 후방으로 배출되게 된다.Exemplary Drawing FIG. 1 illustrates an exhaust path of a processing gas. A processing gas suction line and a clean gas suction line are connected to an upper chamber to process a semiconductor wafer with the processing gas. Is discharged to the rear by the negative pressure formed by the motor operation of the vacuum pump.
배출된 프로세싱 가스는 밸로우즈 타입의 밸브를 지나 가스 소각정화용 스크러버로 보내져서 정화되어지는데, 상기 밸브는 챔버내의 공정후 프로세싱 가스와 챔버를 세척해주는 클린가스의 배기과정을 엄격하게 구분하는 밸브이다.The discharged processing gas is passed through a bellows-type valve and sent to a gas incineration scrubber for purification, which strictly distinguishes between the processing gas in the chamber and the clean gas exhaust process for cleaning the chamber.
이러한 프로세싱 가스는 아주 작은 미립자 분말(powder)상이어서 배기라인상의 온도변화가 있을 때 분말입자의 활성화 에너지가 저하하고 입자간 충돌로 분말입자들끼리 응집하려는 성질때문에 배출경로인 진공펌프와 배기덕트내에 고착되는 경향이 있어서, 공정중에 진공펌프내 모터날개에 분말입자들이 들러붙어 모터 회전시 과부하(Over Load)를 발생하게 된다.These processing gases are in the form of very small particulate powders, so when the temperature change on the exhaust line decreases, the activation energy of the powder particles decreases and the particles collide with each other due to collision between particles. Due to the tendency to stick, powder particles stick to the motor blades in the vacuum pump during the process, causing overload when the motor rotates.
또한, 작업중 정전으로 인해 조업이 중단되었을 때도 이러한 경향이 쉽게 나타나므로, 과부하신호를 감지한 펌프제어부에서 진공펌프의 동작을 중지시키고 경보신호를 발하여 펌프손상을 방지함과 동시에 작업자에게 후속조치를 취하도록 한다.In addition, even when the operation is stopped due to a power failure during the operation, this tendency easily appears, so the pump control unit that detects the overload signal stops the operation of the vacuum pump and issues an alarm signal to prevent the pump damage and take follow-up measures to the operator. Do it.
이때 챔버로 부터 가스를 흡입하여 스크러버로 배출시키지 못하게 되는 시간이 길어질 수록 더욱더 많은 분말입자들이 진공펌프의 모터에 단단하게 굳어져 펌프의 재가동을 더욱 어렵게 한다.At this time, the longer the time that the intake of the gas from the chamber to be discharged to the scrubber is more and more powder particles are firmly solidified in the motor of the vacuum pump to make it difficult to restart the pump.
따라서, 작업자는 과부하가 걸려서 진공펌프가 멈출때마다 또한 정전시 재가동시킬 때마다 펌프를 직접 뜯어내어 고착입자들을 떼어내어 재가동시켜야 하는 불편함이 있었다.Therefore, the operator was inconvenient to overload the vacuum pump every time it stops and to restart the power outage to remove the fixed particles by removing the pump directly to restart.
이에 본 고안은 상기 불편함을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 공정진행중에 진공펌프의 모터에 다량의 분말고착으로 과부하가 걸려 모터회전이 순간 정지하게 되더라도 자동으로 모터를 단속구동 시켜줌으로써 고착 분말을 쉽게 떨어낼 수 있어서 연속구동이 가능하게 되고, 정전후 복구시 일정시간 동안 모터의 가동상태를 계속 유지할 수 있게 하여 모터의 과부하를 제어토록 한 진공펌프 제어장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.Therefore, the present invention was devised to solve the above inconveniences, and it is easy to fix the powder by intermittently driving the motor even when the motor stops momentarily due to overload due to a large amount of powder stuck to the motor of the vacuum pump during the process. The purpose of the present invention is to provide a vacuum pump control device capable of controlling the overload of the motor by being able to fall and enabling continuous driving and maintaining the operating state of the motor for a predetermined time during recovery after a power failure.
이를 위해 본 고안은 모터구동을 위한 주전원공급의 펌프제어부와, 모터의 과부하를 감지하여 상기 주전원을 차단해주는 자기접촉기와, 상기 전원차단을 감지하여 재구동신호를 출력하는 재구동신호출력부와, 상기 재구동신호 입력으로 모터구동을 단속하는 단속구동부와, 상기 단속구동부의 작동신호 입력으로 모터를 연속구동하도록 통전하는 연속구동부와, 정전으로 인한 모터작동의 멈춤을 감지하여 단속구동부로 재구동신호를 출력하는 정전감지/구동신호출력부와, 상기한 재구동신호출력부와 정전감지/구동출력부로부터 신호입력으로 과부하경보장치와 정전경보장치를 구동하는 경보제어부로 이루어진 것이다.To this end, the present invention provides a pump control unit for supplying a main power for driving a motor, a magnetic contactor to cut off the main power by detecting an overload of the motor, a re-drive signal output unit for outputting a restart signal by detecting the power interruption; An intermittent driving unit for regulating the motor drive by the re-drive signal input, a continuous driving unit for energizing the motor continuously by the operation signal input of the intermittent driving unit, and a re-driving signal for detecting the stopping of the motor operation due to a power failure And an alarm control unit for driving the overload alarm device and the power failure alarm device as signal inputs from the re-drive signal output unit and the power failure detection / drive output unit.
따라서, 본 고안은 진공펌프내의 모터에 분말고착으로 과부하가 발생하였을 경우 단속적으로 모터를 구동시켜 자동으로 고착분말을 제거하여 모터의 과부하와 작동중지를 방지하고, 정전시에도 일정시간동안 구동상태를 계속 유지할 수 있는 효과를 얻도록 하는 것이다.Therefore, the present invention prevents overloading and stopping operation of the motor by intermittently driving the motor and automatically removing the stuck powder when an overload occurs due to powder fixation on the motor in the vacuum pump. The effect is to keep it going.
도 1 은 프로세싱 가스의 배기경로를 보인 설명도,1 is an explanatory diagram showing an exhaust path of a processing gas;
도 2 는 본 고안에 따른 진공펌프 제어장치의 회로도이다.2 is a circuit diagram of a vacuum pump control apparatus according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
10 - 펌프제어부, 12 - 자기접촉기,10-pump control unit, 12-magnetic contactor,
14 - 재구동신호출력부, 16 - 단속구동부,14-re-drive signal output, 16-intermittent drive,
18 - 연속구동부, 20 - 정전감지/구동신호출력부,18-continuous drive part, 20-power failure detection / drive signal output part,
22 - 경보제어부, 24 - 과부하경보장치,22-alarm control unit, 24-overload alarm,
26 - 정전경보장치, 30 - 모터,26-blackout alarm, 30-motor,
40,46 - 센서, 52 - 카운터,40,46-sensor, 52-counter,
54,56 - 자기접촉기.54,56-magnetic contactor.
이하 첨부된 예시도면과 함께 본 고안을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 고안은 모터(30)구동을 위한 주전원공급의 펌프제어부(10)와, 모터(30)의 과부하를 감지하여 상기 주전원을 차단해주는 자기접촉기(12)와, 상기 전원차단을 감지하여 재구동신호를 출력하는 재구동신호출력부(14)와, 상기 재구동신호 입력으로 모터구동을 단속하는 단속구동부(16)와, 상기 단속구동부(16)의 작동신호 입력으로 모터를 연속구동하도록 통전하는 연속구동부(18)와, 정전으로 인한 모터작동의 멈춤을 감지하여 단속구동부(16)로 재구동신호를 출력하는 정전감지/구동신호출력부(20)와, 상기한 재구동신호출력부(14)와 정전감지/구동출력부(20)로부터 신호입력으로 과부하경보장치(24)와 정전경보장치(26)를 구동하는 경보제어부(22)로 이루어진 진공펌프 제어장치이다.The present invention is the pump control unit 10 of the main power supply for driving the motor 30, the magnetic contactor 12 to cut off the main power by detecting the overload of the motor 30, and the re-drive signal by detecting the power cut off A re-drive signal output unit 14 for outputting the control unit, an intermittent drive unit 16 for controlling the motor drive by the re-drive signal input, and a continuous electric current to continuously drive the motor with the operation signal input of the intermittent drive unit 16; The driving unit 18, an electrostatic detection / drive signal output unit 20 for detecting a stop of motor operation due to a power failure and outputting a re-drive signal to the intermittent drive unit 16, and the re-drive signal output unit 14 described above. And an alarm control unit 22 which drives the overload alarm device 24 and the electrostatic alarm device 26 with signal input from the power failure detection / drive output unit 20.
예시도면 도 2 는 본 고안에 따른 진공펌프 제어장치의 회로도이다.2 is a circuit diagram of a vacuum pump control apparatus according to the present invention.
여기서 본 고안은 진공펌프의 모터(30)가 구동하는 공정작업중에 프로세싱 가스의 분말입자들이 고착되는 양이 많아져 어느 한도 이상이 되어 과부하가 발생하면 모터구동전류가 급격히 증가함에 따라 자기접촉기(12)가 오프되면서 모터(30)가 정지하게 된다. 이렇게 진공펌프의 모터(30)가 정지되면 프로세싱 가스를 챔버로 부터 흡입하여 배출시킬 수가 없기 때문에 모터(30)에는 시간이 경과할수록 분말의 고착은 더욱 진행될 뿐만 아니라 단단하게 굳어져 모터는 영구불능상태에 빠지게 된다.The present invention is a magnetic contactor (12) as the motor driving current increases rapidly when the overload occurs because the amount of powder particles of the processing gas is fixed during the process operation of the motor 30 of the vacuum pump increases. ) Is off, the motor 30 is stopped. In this way, when the motor 30 of the vacuum pump is stopped, the processing gas cannot be sucked out of the chamber and discharged, so that the seizure of powder is further progressed as the time passes, and it becomes hard. You will fall in love with it.
이러한 현상을 막기위하여 자기접촉기(12)가 오프된 직후에 센서(40)에서는 이를 감지하여 모터 재구동신호를 출력하게 되고, 이 신호를 트랜지스터(42)와 다이오드(44)를 순차적으로 매개하여 단속구동부(16)의 카운터(52)에 전달하게 된다.In order to prevent this phenomenon, immediately after the magnetic contactor 12 is turned off, the sensor 40 detects this and outputs a motor restart signal. The signal is intermittently intercepted through the transistor 42 and the diode 44. It is transmitted to the counter 52 of the drive unit 16.
이렇게 전달된 재구동신호를 입력받은 카운터(52)는 정해진 시간동안 일정주기의 단속 구동신호를 출력하여 단속구동부(16)의 자기접촉기(54)를 온/오프 단속구동시켜서 자기접촉기(12)의 입력 주전원으로 모터(30)를 일정시간 동안 온/오프/온/오프...를 반복하도록 단속구동 시킨다.The counter 52 receiving the re-drive signal thus transmitted outputs an intermittent driving signal at a predetermined period for a predetermined time to turn on / off the magnetic contactor 54 of the intermittent driver 16 so that the magnetic contactor 12 The motor 30 is intermittently driven to repeat the on / off / on / off ... for a predetermined time as the input main power.
이때 경보제어부(22)에서는 자기접촉기(12)의 오프상태를 센서(40)로부터 입력받아 모터의 정지상태와 재구동 스타트 상태임을 알리는 과부하경보장치(24)를 작동시키게 된다.At this time, the alarm control unit 22 receives the off state of the magnetic contactor 12 from the sensor 40 to operate the overload alarm device 24 informing that the motor is in a stopped state and a restarting start state.
상기한 모터(30)의 단속구동으로 인해 고착되었던 분말입자들이 회전/멈춤에 의한 충격으로 제거되게 된다.Powder particles that have been stuck due to the intermittent driving of the motor 30 are removed by the impact of the rotation / stop.
이와 함께 카운터(52)에서 일정수의 단속구동신호가 종료되면 연속 구동신호를 연속구동부(18)로 출력하게 되는 바, 상기 연속구동부(18)는 연속구동신호의 입력으로 자기접촉기(60)에 연속구동 전기신호를 인가하여 자기접촉기(12)의 입력 주전원을 모터(30)에 보내주게 되므로써 모터(30)가 구동되게 된다.In addition, when a certain number of intermittent drive signals are terminated in the counter 52, the continuous drive signal is outputted to the continuous drive unit 18. The continuous drive unit 18 inputs the continuous drive signal to the magnetic contactor 60. The motor 30 is driven by applying a continuous drive electric signal to send the input main power of the magnetic contactor 12 to the motor 30.
이와 같이 모터(30)가 연속구동하게 된 후에 작업자는 경보신호를 듣고서 자기접촉기(12)를 원래 온상태로 놓게 되고, 이때 센서(40)는 복구상태를 감지하여 단속 및 연속 구동부를 리셋(Reset)하게 된다.As described above, after the motor 30 is continuously driven, the operator hears the alarm signal and the magnetic contactor 12 is originally turned on. At this time, the sensor 40 detects a recovery state and resets the intermittent and continuous driving units. )
따라서 상기 시스템은 과부하 감시를 위한 비상대기 상태로 자동전환되어 감시체계를 유지하게 된다.Therefore, the system is automatically switched to the emergency standby state for overload monitoring to maintain the monitoring system.
상기한 단속구동으로 모터(30)에 고착된 분말들이 떨어져서 정상적일 때는 자기접촉기(60)의 온상태가 계속 유지되어 모터(30)는 연속회전을 하게 되나, 막약 단속구동에도 고착분말이 제거되지 않아서 과부하상태가 계속 유지될 경우에는 초기에만 전원을 공급하였다가 자기접촉기(60)가 과부하상태임을 스스로 감지하여 오프로 전환되게 된다.When the powders adhered to the motor 30 are separated by the intermittent driving, the magnetic contactor 60 is kept on continuously so that the motor 30 is continuously rotated, but the adherent powder is not removed even in the intermittent driving. If the overload state is maintained, so that power is supplied only at the beginning, and the magnetic contactor 60 detects that the overload state is switched to off.
이러한 상태에서는 단속 및 연속구동신호 모두가 정지하게 되어 모터의 구동 전원이 모두 제거된 상태 즉, 멈춤상태를 계속 유지하게 되므로, 작업자가 펌프의 모터를 정비하여야 하며, 정비후 초기 가동시에는 자기접촉기(60)를 온상태로 하여 과부하 감시상태를 계속 유지하도록 해야 한다.In this state, both the intermittent and continuous drive signals are stopped and the driving power of the motor is removed. That is, the motor is maintained in the stopped state. Therefore, the operator must maintain the motor of the pump. (60) shall be turned on to maintain overload monitoring.
한편, 공정진행 도중에 정전이 발생하였을 경우에 본 고안의 동작을 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the operation of the present invention when the power outage occurs in the process proceeds as follows.
정전상태가 0.3초 이내의 정전일 때에는 펌프장비 자체에 백업 배터리(Back Up Battery)기능이 내장되어 있기 때문에 모터구동에는 별 문제가 없으나 분말고착이 시작되는 시간인 0.3초 이상의 정전일 경우에는 정전감지/구동출력부(20)내의 센서(46)가 정전상태를 감지하여 감지신호를 트랜지스터(48)와 다이오드(50)를 거쳐 다시 센서(46)의 신호를 전기적 신호로 변환하여 단속구동부(16)의 카운터(52)에 전달한다.In case of power failure within 0.3 seconds, there is no problem in motor driving because back up battery function is built in the pump equipment itself. The sensor 46 in the driving output unit 20 detects an electrostatic state and converts the detection signal through the transistor 48 and the diode 50 to convert the signal of the sensor 46 into an electrical signal to control the intermittent driver 16. To the counter 52.
이와 함께 센서(46)에서 정전상태를 감지하면 정전 감지신호를 경보제어부(22)로 출력하게 되고, 상기 경보제어부(22)는 정전 확인후 재가동 상태임을 알리는 정전경보장치(26)를 구동하게 된다.In addition, when the sensor 46 detects a power failure state, the power failure detection signal is output to the alarm control unit 22, and the alarm control unit 22 drives the power failure alarm device 26 indicating that the power is restarted. .
한편, 카운터(52)에 재구동 전기신호가 입력되면 정해진 시간동안 과부하상태에서와 마찬가지로 일정주기의 단속 구동신호를 자기접촉기(54)를 온/오프 단속구동시켜서 입력 주전원을 모터(30)에 인가하여 상기 모터(30)를 단속구동시킨다.On the other hand, when the re-drive electric signal is input to the counter 52, the input main power is applied to the motor 30 by intermittently driving the magnetic contactor 54 with the intermittent driving signal of a predetermined period as in the overload state for a predetermined time. To intermittently drive the motor 30.
이하 단속구동 종료후의 구동상태는 과부하 구동상태시와 같이 연속구동 --> 자기접촉기(60)의 수동복구 --> 자동 리셋의 순서로 진행한다.The driving state after the intermittent driving ends is performed in the order of continuous driving-> manual recovery-> automatic reset of the magnetic contactor 60 as in the case of overload driving.
이와 같이 정전에 따른 전원이 복구된 상태후에는 펌프장비 자체에서 센서 자가진단 시간이 2분 소요됨으로 단속 구동 및 연속 구동시간이 2분 이상되도록 카운터(54)시간이 설정되어 있다.As such, after the power is restored due to the power failure, the self-diagnosis time of the sensor takes 2 minutes in the pump equipment itself, so the counter 54 time is set such that the intermittent driving and the continuous driving time are more than 2 minutes.
그리고, 연속구동후 자기접촉기(12)는 장비관리자가 수동복구 하여야 하는데 이는 최초 자기접촉기(12)의 오프상태를 감지했을 때 챔버 및 기타 장비들이 정지상태를 유지하고 있기 때문에 모터가 구동하여도 공정작업이 진행되지 않을 수 있기 때문에 이를 유의하여야 한다.In addition, after continuous driving, the magnetic contactor 12 needs to be manually repaired by the equipment manager. When the initial state of the magnetic contactor 12 is sensed, the chamber and other equipment maintain the stationary state. You should be aware that this may not work.
상기한 바와 같이 본 고안은 공정진행중 분말입자의 고착으로 모터에 과부하가 걸려 작동이 일시 중지되더라도 자동으로 단속구동으로 원인을 스스로 제거할 수 있어서 연속작업이 가능하게 되고, 정전이 일어나 작업이 일시 중단되었다가 복구되었을 때도 펌프장비 자체에서 센서 자가진단 시간이 2분 소요됨으로 단속 구동 및 연속 구동시간이 2분 이상되도록 카운터(54)시간이 설정되어 있어서 가동상태를 계속 유지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention, even if the motor is overloaded due to the adhesion of powder particles during the process, the operation can be automatically eliminated by intermittent driving even if the operation is suspended, so that continuous work is possible, and work is suspended due to a power failure. Even when it is recovered, the self-diagnosis time of the sensor takes 2 minutes in the pump equipment itself, so that the counter 54 time is set so that the intermittent driving and the continuous driving time are more than 2 minutes.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980009541U KR200193244Y1 (en) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | Vacuum pump control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980009541U KR200193244Y1 (en) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | Vacuum pump control device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000000206U KR20000000206U (en) | 2000-01-15 |
| KR200193244Y1 true KR200193244Y1 (en) | 2000-09-01 |
Family
ID=19535105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019980009541U Expired - Fee Related KR200193244Y1 (en) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | Vacuum pump control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200193244Y1 (en) |
-
1998
- 1998-06-05 KR KR2019980009541U patent/KR200193244Y1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000000206U (en) | 2000-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4990057A (en) | Electronic control for monitoring status of a compressor | |
| US20130141026A1 (en) | Motor with circuits for protecting motor from input power outages or surges | |
| US6893221B2 (en) | Fan control | |
| KR200193244Y1 (en) | Vacuum pump control device | |
| CN116658450B (en) | Fan control system, server system, fan control method and device | |
| CN218120108U (en) | Upwind starting control device for air conditioner external fan and air conditioning equipment | |
| JPH09236362A (en) | Refrigerator controller | |
| CN1231403C (en) | Monitoring protection method for band conveyer adhesive tape broken by current floating difference | |
| JP2000023345A (en) | Overcurrent protection control device | |
| JP6182936B2 (en) | Control device and sheet glass manufacturing device | |
| JPH08338372A (en) | Water feeding device | |
| CN115264755A (en) | Upwind starting control device for air conditioner external fan and air conditioning equipment | |
| CN117121361A (en) | Motor driving device provided with fan motor and control method for motor driving device | |
| JP2004363506A (en) | Method and apparatus for protecting electronic component mounting machine during power outage | |
| CN221678004U (en) | A safety protection device for extruder | |
| CN107688381A (en) | A kind of automatic protective system based on computer burst power-off | |
| WO2019230453A1 (en) | Discharge control device | |
| CN111788015B (en) | Control method for a high-pressure cleaning appliance and high-pressure cleaning appliance, in particular for carrying out the method | |
| JP3614630B2 (en) | Automatic water supply device | |
| JPH1059548A (en) | Prevention method for biting trip of rotary valve and control circuit therefor | |
| CN114289327A (en) | An uninterrupted power system for express sorting and conveying | |
| CA2016134C (en) | Electronic control for monitoring status of a compressor | |
| JP2003139066A (en) | Water supply device | |
| JPH06108988A (en) | Water pump controller | |
| KR100331975B1 (en) | Supply Power Control Method of Semiconductor Processing Device and Supply Power Control Device of Semiconductor Processing Device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| R17-X000 | Change to representative recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000 |
|
| UA0108 | Application for utility model registration |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-UA0108 |
|
| UA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-UA0201 |
|
| UG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-UG1501 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| UE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-UE0701 |
|
| REGI | Registration of establishment | ||
| UR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-UR0701 |
|
| UR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-UR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| UG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-UG1601 |
|
| UR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| UR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20050610 Year of fee payment: 6 |
|
| UR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-UR1001 Fee payment year number: 6 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
| UC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-UC1903 Not in force date: 20060610 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE |
|
| UC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-UC1903 Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20060610 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |