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KR200166130Y1 - 폐가스 처리 시스템 - Google Patents

폐가스 처리 시스템 Download PDF

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KR200166130Y1
KR200166130Y1 KR2019990015232U KR19990015232U KR200166130Y1 KR 200166130 Y1 KR200166130 Y1 KR 200166130Y1 KR 2019990015232 U KR2019990015232 U KR 2019990015232U KR 19990015232 U KR19990015232 U KR 19990015232U KR 200166130 Y1 KR200166130 Y1 KR 200166130Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
waste gas
powder
air
chamber
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
KR2019990015232U
Other languages
English (en)
Inventor
김경균
Original Assignee
유니온산업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유니온산업주식회사 filed Critical 유니온산업주식회사
Priority to KR2019990015232U priority Critical patent/KR200166130Y1/ko
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Publication of KR200166130Y1 publication Critical patent/KR200166130Y1/ko
Priority to TW089107955A priority patent/TW478959B/zh
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

싸이클론 포집기를 통과한 폐가스가 필터 포집기를 통과하여 필터링된 후 배기되도록 구성되며, 필터 포집기는 내부에 설치된 필터 어셈블리에 흡착되는 파우더 등을 에어 충격으로 제거하도록 구성됨으로써 파우더에 의한 배기구 막힘을 방지한 폐가스 처리 시스템에 관한 것이며, 이는 매니폴드, 히팅 챔버 및 쿨링 챔버로 구성되며 포집통을 갖는 전 처리 설비, 싸이클론 포집기 및 필터 포집기로 구성된다. 필터 포집기는 상기 싸이클론 포집기로부터 유입되는 폐가스에 포함된 파우더를 필터 챔버에서 필터 어셈블리로 필터링하고, 상기 필터 어셈블리에 흡착되는 파우더는 에어 공급으로 분리시키며, 상기 에어 공급으로 분리된 파우더는 상기 필터 챔버 하부에 구성되는 제 3 포집통으로 수집하도록 구성된다. 여기에서 필터 포집기는 복수 개 병렬로 구성될 수 있다.
따라서, 필터 포집기에 의하여 파우더가 필터링됨에 따라서 배기구의 막힘이 방지되고, 폐가스 처리 시스템이 가동율이 개선될 수 있다.

Description

폐가스 처리 시스템{system for disposal of waste gas}
본 고안은 폐가스 처리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 싸이클론 포집기를 통과한 폐가스가 필터 포집기를 통과하여 필터링된 후 배기되도록 구성되며, 필터 포집기는 내부에 설치된 필터 어셈블리에 흡착되는 파우더 등을 에어 충격으로 제거하도록 구성됨으로써 파우더에 의한 배기구 막힘을 방지한 폐가스 처리 시스템에 관한 것이다.
반도체 산업에는 다양한 제조 설비들이 사용되고 있으며, 반도체 공정에 이용되는 제조 설비들은 공정의 특성상 인체에 유해한 각종 유독성, 부식성 또는 인화성을 갖는 폐가스들을 다량 배출한다.
제조 설비들로부터 배출되는 유해한 폐가스들은 반드시 폐가스 처리 시스템에 의하여 정제 처리된 후 방출되며, 이를 위한 폐가스 처리 시스템은 가연성 및 유독성 등을 갖는 폐가스를 가열 방법 또는 화학적 반응에 의하여 무독성 가스로 변환시키는 건식 처리 방법과, 수용성을 갖는 폐가스를 용해 방법으로 무독성 가스로 변환시키는 습식 처리 방법으로 구분될 수 있다.
특히, 건식 처리 방법을 이용하는 폐가스 처리 시스템은 폐가스 처리 과정 중에 발생되는 파우더를 필터링하기 위한 장치를 구비하며, 그 대표적인 예로써 싸이클론 포집기가 이용된다.
그러나, 싸이클론 포집기를 이용하더라도 이를 통과한 폐가스는 소정 양의 파우더를 포함하고 있으며, 잔류된 파우더는 배기관을 막아서 폐가스 처리 시스템의 성능 저하를 초래한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하여 폐가스 처리 시스템으로써 폐가스를 건식 방법으로 처리하면서 파우더에 의한 시스템 성능이 저하되지 않는 장치의 적용이 소망된다.
본 고안의 목적은 폐가스가 배기되는 출구에 파우더를 필터링하며, 수시로 필터에 흡착된 파우더를 포집하여 폐가스를 배출하는 배기관의 막힘을 방지함에 있다.
본 고안의 다른 목적은 폐가스가 배기되는 출구에서 설치되는 필터에 흡착된 파우더를 에어 충격으로 분리시켜서 포집함으로써 파우더에 의한 배기구 막힘을 방지함에 있다.
본 고안의 또다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
도 1은 본 고안에 따른 폐가스 처리 시스템의 바람직한 실시예를 나타내는 도면
도 2는 본 고안에 따른 폐가스 처리 시스템의 다른 실시예를 나타내는 도면
도 3은 본 고안에 따른 실시예들의 필터 포집기에 설치되는 필터 어셈블리의 분해 조립도
도 4는 필터 어셈블리의 조립된 상태를 나타내는 단면도
본 고안에 따른 폐가스 처리 시스템은, 폐가스를 안정화시키기 위하여 불활성 가스와 혼합시키는 매니폴드, 불활성 가스와 혼합된 폐가스를 가열하여 산화시키는 히팅 챔버 및 가열된 폐가스를 냉각시키는 쿨링 챔버로 구성되고, 상기 쿨링 챔버에 흡착되는 파우더를 수집하는 제 1 포집통으로 구성되는 전 처리 설비; 상기 쿨링 챔버에서 냉각된 폐가스에 포함된 파우더가 싸이클론 챔버에서 원심 분리 방법으로 분리되어서 하부의 제 2 포집통에 수집하고 정제된 폐가스는 배출하는 싸이클론 포집기 및 상기 싸이클론 포집기로부터 유입되는 폐가스에 포함된 파우더를 필터 챔버에서 필터 어셈블리로 필터링하고, 상기 필터 어셈블리에 흡착되는 파우더는 에어 공급으로 분리시키며, 상기 에어 공급으로 분리된 파우더는 상기 필터 챔버 하부에 구성되는 제 3 포집통으로 수집하는 필터 포집기를 구비하여 이루어지고, 필터 포집기가 복수 개 병렬로 구성될 수 있다.
그리고, 상기 필터 포집기는 하부로 상기 폐가스가 유입되고 상부로 파우더가 필터링된 폐가스가 배출되도록 배관이 형성되는 필터 챔버, 상기 필터 챔버의 내부에 설치되어서 상기 폐가스에 포함된 파우더를 필터링하는 필터 어셈블리, 상기 필터 어셈블리 상부의 필터 챔버 내부 압력을 체크하는 센서, 에어를 압축 저장하고, 상기 센서의 신호로써 일정압 이하로 상기 필터 챔버 내부 압력이 떨어지면 상기 압출 저장된 에어를 상기 필터 어셈블리로 분사하여 흡착된 파우더를 제거시키는 에어 공급부 및 상기 필터 챔버의 하부에 설치되어서 파우더를 수거하는 제 3 포집통을 구비함이 바람직하다.
또한, 상기 필터 어셈블리는, 상기 필터 챔버와 밀착 고정되며 소정 수의 관통구를 갖는 지지플레이트, 상기 지지 플레이트에 형성된 관통구의 주연에 걸쳐지는 원형 입구와 상기 입구에 결합되어 상기 관통구로 삽입되는 주머니 형상으로 소정 용적을 갖는 필터막으로 이루어진 백 필터 및 상기 백 필터의 원형 입구를 포함하며서 상기 지지 플레이트에 결합되는 환형 테두리와 이에 일체로 형성되고 상기 필터막 내부에 삽입되어 상기 필터막의 형상 유지를 지지하는 측면이 격자형 창살 구조를 가지면서 밑면은 막힌 원판 구조의 몸체를 갖는 필터 케이지를 구비할 수 있다.
그리고, 상기 에어 공급부는 상기 필터 챔버 내부에 구성되며, 상기 지지 플레이트의 각 관통구들을 향하여 에어를 분사하도록 구성된 복수 개의 노즐을 갖는 노즐부 및 상기 에어를 압축 저장하고 상기 센서로부터 입력되는 신호에 따라서 상기 노즐부로 에어를 공급하는 것이 선택적으로 이루어지는 에어 탱크를 구비할 수 있다.한편, 본 발명에 따른 폐가스 처리 시스템은 소정 유입구로부터 유입되는 폐가스에 포함된 파우더를 필터 어셈블리로 필터링하여 소정 배출구로 배출하며, 상기 필터 어셈블리에 부착되는 파우더에 임의 시간 간경으로 충격을 가하는 충격 수단을 구비하여 상기 파우더를 충격으로 상기 필터 어셈블리에서 분리시키도록 구성된 필터 챔버 및 상기 필터 챔버에서 필터링된 파우더와 상기 충격으로 분리된 파우더를 포집하는 포집통을 구비하는 필터 포집기가 폐가스 배출 라인에 설치되어 구성될 수 있다.여기에서 상기 필터 챔버는 상기 폐가스가 상기 유입구로부터 상기 배출구로 이동되는 경로 중간에 필터 어셈블리가 구성되고, 상기 필터 어셈블리는, 상기 필터 챔버와 밀착 고정되며 소정 수의 관통구를 갖는 지지플레이트, 상기 지지 플레이트에 형성된 관통구의 주연에 걸쳐지는 원형 입구와 상기 입구에 결합되어 상기 관통구로 삽입되는 주머니 형상으로 소정 용적을 갖는 필터막으로 이루어진 백 필터 및 상기 백 필터의 원형 입구를 포함하면서 상기 지지 플레이트에 결합되는 환형 테두리와 이에 일체로 형성되고 상기 필터막 내부에 삽입되어 상기 필터막의 형상 유지를 지지하는 측면이 격자형 창살 구조를 가지면서 밑면은 막힌 원판 구조의 몸체를 갖는 필터 케이지를 구비하여 이루어질 수 있다.그리고,상기 충격 수단은 에어를 상기 필터 어셈블리로 주기적으로 공급함으로써 발생되는 공기압으로 상기 파우더를 분리시키거나, 또는 상기 에어의 공급이 상기 필터 챔버 내부의 압력이 일정 수준 이하로 떨어지면 이루어지도록 구성될 수 있다.
이하, 본 고안에 따른 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 고안에 따른 폐가스 처리 시스템은 크게 매니폴드(Manifold)(10), 히팅 챔버(Heating chamber)(12), 쿨링 챔버(Cooling chamber)(14) 및 포집통(16)으로 이루어지는 전(前) 처리 설비를 구비하며, 이와 배관들로 연결되는 싸이클론(Cyclone) 포집기(18)와 필터(Filter) 포집기(20)를 구비한다.
전 처리 설비는 폐가스의 안정화를 위하여 소정 배관(도시되지 않음)을 통하여 공급되는 불활성 가스를 혼합시키는 매니폴드(10)와, 매니폴드(10)로부터 공급되는 폐가스를 소정 온도 건식 가열하여 폐가스의 화학적 성향을 변환시키는 히팅 챔버(12) 및 히팅된 폐가스가 유입되어서 냉각되는 쿨링 챔버(14)를 구비하며, 매니폴드(10)는 내부의 압력을 체크하기 위한 압력계(22)를 구비하여 내부의 압력을 체크 및 표시하도록 구성된다.
그리고, 쿨링 챔버의 하부에는 포집통(16)이 구성된다. 포집통(16)은 폐가스가 히팅 챔버(12)와 쿨링 챔버(14)를 경유하면서 가열되고 냉각되는 과정에 발생된 파우더를 수집하기 위하여 구성된다.
구체적으로 히팅 챔버(12)에서 폐가스가 가열되면 산화를 포함한 화학 반응이 발생되고, 그 결과 파우더가 발생된다. 이 파우더가 쿨링 챔버(10)로 유입되면 쿨링 챔버(14)의 차가운 내벽에 파우더가 부착된다. 쿨링 챔버(14) 내벽에 부착되는 파우더는 별도의 스크래칭 장치(도시되지 않음)에 의하여 긁어지며, 스크래칭 장치에 의하여 긁어진 파우더는 쿨링 챔버 하부에 설치된 포집통(16)에 수집된다.
상술한 전 처리 설비는 폐가스가 매니폴드(10), 히팅 챔버(12) 및 쿨링 챔버(14)를 통하도록 연통된 구조를 가지며, 건식 정제된 폐가스는 쿨링 챔버(14)에 연결되는 배관(24)을 통하여 싸이클론 포집기(18)로 배출된다. 이때 일부 미세 파우더가 싸이클론 포집기(18)로 배출되는 폐가스에 실려서 이동된다.
싸이클론 포집기(18)는 사이클론 챔버(26)와 포집통(28)으로 구성되며, 사이클론 챔버는 본 출원인이 대한민국 실용신안등록출원 제 98-25587호에 개시된 바와 동일한 구성을 가지면서 유입되는 폐가스를 원심 분리하여 포함된 파우더를 하부로 이동시킨다.
싸이클론 챔버(18)의 하부에는 포집통(28)이 바이패스용 밸브(30)를 통하여 연통되게 연결되고, 하부로 이동되는 파우더는 포집통(28)에 수집된다. 그리고, 바이패스용 밸브(30)는 포집통(28)의 교체 등의 특정한 상황 이외에는 항상 개방된다.
그리고, 싸이클론 챔버(26)는 원심 분리 방식에 의하여 정제된 폐가스를 상부에 구성되는 배관(30)을 통하여 배출한다. 따라서, 싸이클론 챔버(26)에서 필터링된 파우더는 포집통(28)에 수거되고, 정제된 폐가스는 상부의 배관(30)에 연결된 배관(34)을 통하여 필터 포집기(20)의 필터 챔버(36)로 공급되며, 배관(34)에는 바이패스용 필터(32)가 구성된다.
그리고, 배관(30)에는 바이패스용 밸브(38)가 구성되며, 배관(30)은 후술될 필터 챔버(36)의 상부에 연결되고, 바이패스용 밸브(40)가 형성된 배관(42)과 합체되어 배기관을 이룬다. 배기관의 단부에는 모터(도시되지 않음)를 구비하는 송풍기가 구성되어서 폐가스를 배기시킨다.송풍기는 정상적인 상태에서 폐가스를 배기함으로써 필터 챔버(36) 내부의 압력을 조절한다.
한편, 필터 포집기(20)는 필터 챔버(36)와 포집통(46)으로 구성되며, 필터 챔버(36)의 하부에 폐가스가 유입되는 배관(34)이 연결되고 상부에 파우더가 필터링된 폐가스가 배출되는 바이패스용 밸브(40)가 설치된 배관(42)이 연결된다. 그리고, 내부에는 필터 어셈블리(44)가 설치되며, 그 하부에는 포집통(46)이 연통되어 설치된다.
필터 어셈블리(44)는 지지플레이트(50)가 필터 챔버(36)의 측벽에 압착 고정되고, 지지플레이트(50)는 다수 개의 관통구를 갖는다. 각 관통구에는 백 필터(52)와 필터 케이지(Filter cage)(54)가 조립된 상태로 설치된다.
즉, 도 3과 같이 지지플레이트(50)에 형성된 관통구에 먼저 백 필터(52)가 삽입되고, 백 필터(52)의 내부에 필터 케이지(54)가 끼워진다.
백 필터(52)는 지지플레이트(56)의 관통구 주연에 걸쳐지는 원형 입구(58)와 입구(58)에 결합된 주머니 형상으로 소정 용적을 갖는 필터막(59)으로 이루어진다.
그리고, 필터 케이지(54)의 입구는 환형 테두리(56)를 가지며 테두리(56)의 밑면에 백필터(52)의 입구(58)를 포함하면서 지지플레이트(50)와 결합되며, 필터 케이지(54)의 몸체는 원통 형상을 가지며 측면은 격자형 창살 구조를 갖고 벽면에 격자형상으로 창살이 형성되며 밑면은 백 필터(52)의 지지를 위하여 막힌 원판 구조를 갖는다. 도 3과 같은 구조를 갖는 지지플레이트(50)와, 백 필터(52) 및 필터 케이지(54)는 도 4와 같이 조립된다.
그리고, 필터 챔버(36)의 필터 어셈블리(44) 상부에는 에어 공급부(60)가 구성된다. 에어 공급부(60)는 필터 챔버(36)의 측벽을 관통하여 구성되고 내부에는 복수 개의 에어 분사 노즐을 갖는 노즐부(62)가 구성되며 외부에는 노즐부(62)에 에어를 공급하는 에어 탱크(64)가 구성된다.
에어 탱크(64)는 에어를 공급하는 에어 공급관(68)을 통하여 공급되는 에어를 일정압 이상 압축 저장하며, 필터 챔버(36)의 상부에 구성되는 센서(66)로부터 센싱 신호를 인가받아서 동작되도록 구성된다.
구체적으로 센서(66)는 필터 어셈블리(44) 상부의 내부 압력을 체크하며 그에 대한 센싱 신호를 에어 탱크(64)로 출력하며, 에어 탱크(64)는 필터 챔버(36)의 압력이 일정압 이하로 떨어지면 노즐부(62)로 에어를 공급하여 필터 어셈블리(44)에 필터링된 파우더에 공기압(충격)을 가하여 필터로부터 분리시킨다.
에어 탱크(64)는 매니폴드(10)에 구성된 압력계(22)로부터 해당 압력에 대한 신호를 제공받고 일정압 이하로 판단되면 상술한 바와 같은 에어 공급 동작을 하도록 구성할 수 있다.
상술한 도 1과 같이 실시예가 구성됨으로써 폐가스의 정제와 그 과정에서 발생된 파우더 같은 불순물의 필터링이 이루어진다.
도 1의 실시예는 반도체 공정을 거쳐서 배출되는 폐가스를 매니폴드(10)를 거쳐서 공급받으며, 폐가스는 매니폴드(10)에서 불활성 가스와 혼합되어서 반응성이 억제된 후 히팅 챔버(12)로 공급된다.
히팅 챔버(12)는 유입된 폐가스를 일정한 온도로 가열시키며 이 과정에서 폐가스는 산화되어 유독성, 부식성 또는 인화성과 같은 성질이 변화되면서 정제되고 부산물로 파우더가 발생된다.
히팅 챔버(12)를 통과한 파우더를 포함한 폐가스는 고온 상태이므로 상온 수준으로 냉각을 위하여 쿨링 챔버(14)로 공급된다. 쿨링 챔버(14)를 통과하면서 폐가스는 냉각되지만 폐가스에 포함된 파우더는 내부의 차가운 벽면에 흡착된다.
파우더의 흡착을 방치하면 쿨링 챔버(14)의 효율성이 떨어지므로 스크래칭 장치에 의하여 긁어서 파우더를 포집통(16)으로 수집한다. 포집통(16)은 주기적으로 교체된다.
쿨링 챔버(14)에서 상온 수준으로 냉각된 폐가스는 배관(24)을 통하여 싸이클론 포집기(18)로 이송되며, 싸이클론 포집기(18)의 싸이클론 챔버(26)에서 폐가스에 포함된 파우더의 원심 분리 공정이 이루어진다.
싸이클론 챔버(26)에서 원심 분리에 의하여 수집되는 파우더는 바이패스용 밸브(30)를 통하여 포집통(28)으로 수거되고 폐가스는 싸이클론 챔버(26)의 상부에 연결된 배관(30, 34)을 통하여 필터 포집기(20)로 유입된다. 이때 바이패스용 밸브(38)는 특정한 경우를 제외하고는 항상 닫힌 상태이며, 바이패스용 밸브(32)는 열린 상태이므로, 폐가스는 자연히 필터 챔버(36)로 이송된다.
필터 챔버(36)의 하부로 유입되는 폐가스는 상부로 이동되면서 배관(42)을 통하여 배출되며, 이때 폐가스의 이동은 배관(42)의 단부에 설치되는 송풍기(도시되지 않음)의 펌핑력에 의하여 이루어진다.
폐가스가 필터 챔버(36) 내부의 하부에서 상부로 이동되는 과정에 필터 어셈블리(44)에 의하여 잔류된 파우더가 필터링된다.
즉, 폐가스는 필터 어셈블리(44)의 백 필터(52)가 설치된 지지플레이트(50)의 관통구를 통하여 상부로 이동되며, 폐가스는 백 필터(52)의 필터막(59)을 통과할 때 포함된 파우더가 필터링된다.
백필터(52)는 유연한 재질이며 상부로 이동되는 폐가스에 의하여 형상이 변화될 수 있으나, 필터 케이지(54)에 의하여 형상이 유지될 수 있도록 지지된다.
그리고, 폐가스가 백 필터(52)에 도달하기 전 싸이클론 챔버(26)에서 필터 챔버(36)로 이동될 때 속도보다 필터 챔버(36) 내부에 유속이 떨어지기 때문에 무게가 무거운 일부 파우더는 자연 낙하되어 포집통(46)으로 수거된다.
그리고, 폐가스는 백 필터(52)를 통과하면서 백 필터(52)의 필터막(59)에서 파우더가 걸러지며, 백 필터(52)의 필터막(59)에는 하부에서 상부로 이동되는 폐가스의 흡입력과 파우더 자체의 흡착력에 의하여 필터링이 지속됨에 따라서 파우더가 적층된다. 백 필터(52)에 파우더가 누적되면 자연히 백 필터(52)의 필터막(59)을 통과할 수 있는 폐가스의 양이 줄어들고 그에 따라서 필터 어셈블리(44) 상부의 압력이 떨어진다. 즉, 송풍기(도시되지 않음)의 펌핑력에 의하여 배관(42)을 통하여 배출되는 공기의 양보다 필터 어셈블리(44)를 통하여 유입되는 공기의 양이 적어지므로 압력이 떨어진다.
센서(66)는 그에 해당하는 압력에 대한 센싱 신호를 에어 탱크(64)로 출력하고, 에어 탱크(64)는 노즐부(62)로 압축된 에어를 공급하여 각 노즐로 에어를 강하게 분사시킨다.
그에 따라서 백 필터(54)의 필터지(59)에 누적 흡착된 파우더가 에어 분사 충격과 공기압에 의하여 분리되고, 분리된 파우더는 낙하되어 포집통(46)에 수집된다.
필터 어셈블리(44)의 상부의 압력이 일정 수준 이상으로 상승되면 에어 탱크(64)의 에어 공급이 중지되고, 백 필터(54)의 필터지(59)에는 흡착된 파우더가 제거된 상태이므로 폐가스는 필터 어셈블리(44)를 통하여 파우더가 필터링되면서 상부로 이동되는 상술한 공정이 이루어진다.
그리고, 포집통(46)은 주기적으로 교체될 수 있다.
상술한 바와 같이 폐가스 처리 시스템이 구성됨에 따라서 폐가스에 포함된 파우더가 완전히 제거되고, 폐가스가 배출되는 배출관이 파우더의 흡착에 의하여 막히는 현상이 방지되며, 폐가스 처리 시스템은 배출관의 막힘에 의한 성능이 저하되거나 가동이 중지되는 문제점이 발생되지 않는다.
본 고안은 도 1에 개시된 실시예에 대하여 구체적인 동작이 설명되었으나, 도 2에 개시된 바와 같이 도 1에 개시된 실시예의 구성에서 필터 포집기가 하나 더 병렬로 구성될 수 있으며, 필터 포집기의 각각의 구성은 도 1에서와 동일하다.
병렬 구성되는 필터 포집기로 싸이클론 포집기에서 배출되는 폐가스의 이동 경로를 결정하기 위하여 분기된 배관에 쓰리웨이 밸브를 구성되며, 각 필터 포집기의 배출관은 합쳐져서 공통 배관을 통하여 폐가스를 배출하도록 구성된다.
그에 따라서 전 처리 설비와 전 처리 설비에서 정제된 폐가스는 필터 포집기 둘 중 어느 하나로 공급되며, 먼저 하나의 필터 포집기로 폐가스에 포함된 파우더의 필터링이 이루어지고 점검이 필요한 경우 쓰리웨이 밸브를 조절하여 폐가스의 이동 경로를 다른 필터 포집기로 변경시킨다. 그러면 폐가스가 공급되는 필터 포집기는 폐가스의 필터링을 수행하고 다른 필터 포집기는 점검이 이루어진다.
따라서, 도 2의 경우 도 1에 구성된 실시예보다 폐가스 처리 시스템의 운영이 더욱 원활해질 수 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안은 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 고안이 속하는 기술 분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 본 고안의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 고안을 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시할 수 있음을 알 수 있을 것이다.
따라서, 반도체 공정에 이용되어 배출되는 폐가스에 포함된 파우더가 완전히 제거되고, 폐가스가 배출되는 배출관이 파우더의 흡착에 의하여 막히는 현상이 방지되므로, 폐가스 처리 시스템의 가동율과 신뢰도가 향상된다.
물론, 필터 포집기가 병렬로 설치되어 운영되면 그 효과는 더욱 개선될 수 있다.

Claims (12)

  1. 폐가스를 안정화시키기 위하여 불활성 가스와 혼합시키는 매니폴드, 불활성 가스와 혼합된 폐가스를 가열하여 산화시키는 히팅 챔버 및 가열된 폐가스를 냉각시키는 쿨링 챔버로 구성되고, 상기 쿨링 챔버에 흡착되는 파우더를 수집하는 제 1 포집통으로 구성되는 전 처리 설비;
    상기 쿨링 챔버에서 냉각된 폐가스에 포함된 파우더가 싸이클론 챔버에서 원심 분리 방법으로 분리되어서 하부의 제 2 포집통에 수집하고 정제된 폐가스는 배출하는 싸이클론 포집기 및
    상기 싸이클론 포집기로부터 유입되는 폐가스에 포함된 파우더를 필터 챔버에서 필터 어셈블리로 필터링하고, 상기 필터 어셈블리에 흡착되는 파우더는 에어 공급으로 분리시키며, 상기 에어 공급으로 분리된 파우더는 상기 필터 챔버 하부에 구성되는 제 3 포집통으로 수집하는 필터 포집기를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 필터 포집기는,
    하부로 상기 폐가스가 유입되고 상부로 파우더가 필터링된 폐가스가 배출되도록 배관이 형성되는 필터 챔버;
    상기 필터 챔버의 내부에 설치되어서 상기 폐가스에 포함된 파우더를 필터링하는 필터 어셈블리;
    상기 필터 어셈블리 상부의 필터 챔버 내부 압력을 체크하는 센서;
    에어를 압축 저장하고, 상기 센서의 신호로써 일정압 이하로 상기 필터 챔버 내부 압력이 떨어지면 상기 압출 저장된 에어를 상기 필터 어셈블리로 분사하여 흡착된 파우더를 제거시키는 에어 공급부; 및
    상기 필터 챔버의 하부에 설치되어서 파우더를 수거하는 제 3 포집통을 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 필터 어셈블리는,
    상기 필터 챔버와 밀착 고정되며 소정 수의 관통구를 갖는 지지플레이트;
    상기지지 플레이트에 형성된 관통구의 주연에 걸쳐지는 원형 입구와 상기 입구에 결합되어 상기 관통구로 삽입되는 주머니 형상으로 소정 용적을 갖는 필터막으로 이루어진 백 필터; 및
    상기 백 필터의 원형 입구를 포함하며서 상기 지지 플레이트에 결합되는 환형 테두리와 이에 일체로 형성되고 상기 필터막 내부에 삽입되어 상기 필터막의 형상 유지를 지지하는 측면이 격자형 창살 구조를 가지면서 밑면은 막힌 원판 구조의 몸체를 갖는 필터 케이지를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 에어 공급부는,
    상기 필터 챔버 내부에 구성되며, 상기 지지 플레이트의 각 관통구들을 향하여 에어를 분사하도록 구성된 복수 개의 노즐을 갖는 노즐부; 및
    상기 에어를 압축 저장하고 상기 센서로부터 입력되는 신호에 따라서 상기 노즐부로 에어를 공급하는 것이 선택적으로 이루어지는 에어 탱크를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 포집기는 상기 싸이클론 포집기에 병렬로 연결됨으로써 번갈아서 동작되게 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  6. (추가) 소정 유입구로부터 유입되는 폐가스에 포함된 파우더를 필터 어셈블리로 필터링하여 소정 배출구로 배출하며, 상기 필터 어셈블리에 부착되는 파우더에 임의 시간 간격으로 충격을 가하는 충격 수단을 구비하여 상기 파우더를 충격으로 상기 필터 어셈블리에서 분리시키도록 구성된 필터 챔버; 및
    상기 필터 챔버에서 필터링된 파우더와 상기 충격으로 분리된 파우더를 포집하는 포집통;
    을 구비하는 필터 포집기가 폐가스 배출 라인에 설치됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  7. (추가) 제 6 항에 있어서, 상기 필터 챔버는,
    상기 폐가스가 상기 유입구로부터 상기 배출구로 이동되는 경로 중간에 필터 어셈블리가 구성되고,
    상기 필터 어셈블리는,
    상기 필터 챔버와 밀착 고정되며 소정 수의 관통구를 갖는 지지플레이트;
    상기 지지 플레이트에 형성된 관통구의 주연에 걸쳐지는 원형 입구와 상기 입구에 결합되어 상기 관통구로 삽입되는 주머니 형상으로 소정 용적을 갖는 필터막으로 이루어진 백 필터; 및
    상기 백 필터의 원형 입구를 포함하면서 상기 지지 플레이트에 결합되는 환형 테두리와 이에 일체로 형성되고 상기 필터막 내부에 삽입되어 상기 필터막의 형상 유지를 지지하는 측면이 격자형 창살 구조를 가지면서 밑면은 막힌 원판 구조의 몸체를 갖는 필터 케이지를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  8. (추가) 제 6 항에 있어서,
    상기 충격 수단은 에어를 상기 필터 어셈블리로 주기적으로 공급함으로써 발생되는 공기압으로 상기 파우더를 분리시킴을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  9. (추가) 제 6 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 충격 수단은,
    상기 필터 챔버 내부에 구성되며, 상기 지지 플레이트의 각 관통구들을 향하여 에어를 분사하도록 구성된 최소한 하나 이상의 노즐을 갖는 노즐부; 및
    상기 에어를 압축 저장하고 주기적으로 노즐부로 에어를 공급하는 에어 탱크를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  10. (추가) 제 6 항에 있어서,
    상기 충격 수단은 에어를 상기 필터 어셈블리로 공급하고, 상기 에어의 공급은 상기 필터 챔버 내부의 압력이 일정 수준 이하로 떨어지면 이루어지며, 상기 에어의 공급으로 발생되는 공기압으로 상기 파우더를 분리시킴을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  11. (추가) 제 6 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 충격 수단은,
    상기 필터 챔버 내부의 압력을 센싱하여 내부 압력이 일정 수준 이하로 떨어지면 그에 대한 센싱 신호를 출력하는 센싱수단;
    상기 필터 챔버 내부에 구성되며, 상기 지지 플레이트의 각 관통구들을 향하여 에어를 분사하도록 구성된 복수 개의 노즐을 갖는 노즐부; 및
    상기 에어를 압축 저장하고 상기 센서로부터 입력되는 신호에 따라서 상기 노즐부로 에어를 공급하는 것이 선택적으로 이루어지는 에어 탱크를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
  12. (추가) 제 6 항에 있어서,
    상기 필터 포집기는 복수 개가 병렬로 구성되어서 서로 번갈아 가면서 동작되게 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 시스템.
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