KR20000046140A - Organic electroluminescent display panel and method therefor - Google Patents
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Abstract
발광 효율을 증대시키는 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판 위에 스트립 형태로 제 1 전극을 형성하고, 기판 위에 은 화합물을 분산시킨 포토레지스트층을 코팅한 후, 코팅된 포토레지스트층을 프리베이크(prebake)하고 노광 및 현상시킨 다음, 포토레지스트를 열처리 하여 경화시키고, 포토레지스트내의 은 화합물을 환원시켜 표면에 은 반사경을 형성하여 제 1 전극 스트립 사이에 은 반사경을 갖는 격벽을 형성한다. 이어, 격벽을 가진 기판 전면에 1층 이상의 유기층을 형성하고, 유기층 전면에 전극층을 형성하여 격벽에 의한 단차에 의해 제 1 전극과 직교하는 방향으로 서로 절연되는 스트립 형태의 제 2 전극을 형성함으로써, 발광시 격벽으로 투과 흡수되는 빛의 양을 최소화하여 발광 효율을 높인다. 또한, 종래의 격벽 공정 방법을 그대로 유지하고 은 반사경을 형성시키기 때문에 공정이 간단하고 은 화합물이 비싸지 않기 때문에 저렴한 가격으로 발광 효율을 최대화할 수 있을 뿐만 아니라, 포토레지스트를 금속으로 막을 입히기 때문에 포토레지스트내에 있는 솔벤트나 외부로부터 들어오는 산소나 수분을 차단함으로써 유기막의 수축 현상을 방지하여 소자의 수명을 증가시킨다.An organic EL display panel for increasing luminous efficiency and a method of manufacturing the same, comprising: forming a first electrode in a strip form on a substrate, coating a photoresist layer in which a silver compound is dispersed on the substrate, and then coating the coated photoresist layer After prebaking, exposure and development, the photoresist is heat treated to cure, and the silver compound in the photoresist is reduced to form a silver reflector on the surface to form a partition having a silver reflector between the first electrode strips. Subsequently, by forming one or more organic layers on the entire surface of the substrate having partitions, and forming an electrode layer on the entire surface of the organic layer to form a second electrode in the form of a strip insulated from each other in a direction orthogonal to the first electrodes by a step caused by the partitions. When emitting light, it minimizes the amount of light transmitted through the partition wall to increase the light emitting efficiency. In addition, since the conventional bulkhead processing method is maintained and the silver reflector is formed, the process is simple and the silver compound is not expensive. Therefore, the luminous efficiency can be maximized at a low price, and the photoresist is coated with a metal because the film is coated with a metal. By blocking the solvent or the oxygen or moisture coming from the outside to prevent the shrinkage of the organic film to increase the life of the device.
Description
본 발명은 디스플레이 패널에 관한 것으로 특히, 발광 효율을 증대시키는 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display panel, and more particularly, to an organic EL display panel for increasing luminous efficiency and a method of manufacturing the same.
최근에는 유기 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)라고도 불리는 유기 EL 소자의 기술이 빠른 속도로 발전하고 있으며, 이미 몇 가지 시제품들이 발표된 바 있다.Recently, the technology of an organic EL device, also called an organic light emitting diode (LED), is rapidly developing, and several prototypes have already been announced.
유기 EL 소자는 전극을 통해 주입된 전자와 정공이 발광 영역까지 이동되고 전자와 정공이 결합되어 에너지 여기상태인 엑시톤(exciton)을 형성한 후, 기저상태로 떨어지면서 발광하는 원리를 이용한 소자이다.The organic EL device is a device using a principle that electrons and holes injected through an electrode are moved to a light emitting region, electrons and holes are combined to form an exciton in an energy excited state, and then emit light while falling to a ground state.
이 유기 EL 소자는 매우 얇고, 매트릭스 형태로 어드레스 할 수 있으며, 15V 이하의 낮은 전압으로도 구동이 가능한 장점이 있다.This organic EL device is very thin, can be addressed in a matrix form, and can be driven at a low voltage of 15V or less.
또한, 유기 EL 소자는 넓은 시야각과 플라스틱과 같이 휠 수 있는(flexible) 투명기판 위에도 형성할 수 있어 차세대 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)에 적합한 소자이며, 또한 자체 발광으로 인한 넓은 시야각과 고콘트라스트, 고속 응답성 등 뛰어난 특성을 가지고 있기 때문에 그래픽, 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면 광원의 픽셀로서 사용될 수 있다.In addition, the organic EL device can be formed on a flexible transparent substrate such as a wide viewing angle and plastic, and thus is suitable for a next-generation flat panel display (FPD), and also has a wide viewing angle and high contrast due to self-luminous. Because of its excellent properties such as high speed response, it can be used as a pixel of graphic, television image display or surface light source.
그리고, 잘 알려진 LCD (Liquid Crystal Display)에 비해 백라이트(backlight)가 필요치 않으므로 전력 소모가 적은 장점도 있다.In addition, compared to a well-known liquid crystal display (LCD), a backlight is not required, and thus power consumption is low.
이와 같은 장점을 갖는 유기 EL 소자의 픽셀 형성 방법은 도 1과 같다.The pixel formation method of the organic EL device having such an advantage is shown in FIG.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이 투명 기판(1) 위에 투명 전극인 ITO(Indium Tin Oxide)를 화학적 식각(chemical etching)방법으로 띠(stripe) 형태의 애노드(anode)(2)(이하, 제 1 전극이라 함)를 형성하고, 그 위에 유기 EL 층(4)을 진공 증착 방법으로 입힌 다음, 띠 형태의 제 1 전극(2)과 수직 방향으로 캐소드(cathode)(3)(이하, 제 2 전극이라 함)를 입혀 소자를 제작한다.That is, as shown in FIG. 1, an anode 2 having a stripe shape (hereinafter, referred to as a second electrode) is formed on the transparent substrate 1 by chemical etching of indium tin oxide (ITO), which is a transparent electrode. A first electrode), and an organic EL layer 4 coated thereon by a vacuum deposition method, and then a cathode 3 (hereinafter referred to as a second) in a direction perpendicular to the band-shaped first electrode 2 An electrode) to fabricate the device.
또한, 좀 더 미세한 제 2 전극 띠들을 형성하기 위해 도 2a 내지 2d와 같이 격벽을 이용하였다.In addition, partition walls were used to form finer second electrode strips as shown in FIGS. 2A to 2D.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이 투명 기판(1)위에 일정 간격을 갖는 제 1 전극(2) 띠(stripe)를 형성하고, 도 2b에 도시된 바와 같이 제 1 전극(2) 위에 제 2 전극 띠간의 전기적인 절연을 위하여 미리 소정 간격을 갖는 격벽(5)을 형성한다.First, as shown in FIG. 2A, a stripe of the first electrode 2 having a predetermined interval is formed on the transparent substrate 1, and as shown in FIG. 2B, the second electrode is formed on the first electrode 2. In order to electrically insulate the bands, partition walls 5 having a predetermined interval are formed in advance.
그리고, 도 2c에 도시된 바와 같이 격벽(5)을 포함한 제 1 전극(2) 위에 유기 EL 층(4)을 형성하고, 도 2d에 도시된 바와 같이 그 위에 제 2 전극(3)을 형성함으로써 유기 EL 디스플레이 소자를 제작한다.Then, by forming the organic EL layer 4 on the first electrode 2 including the partition wall 5 as shown in FIG. 2C, and forming the second electrode 3 thereon as shown in FIG. 2D. An organic EL display element is produced.
이때, 유기 EL 층(4)과 제 2 전극(3)은 격벽(5)에 의해 각 픽셀간에 전기적으로 절연된다.At this time, the organic EL layer 4 and the second electrode 3 are electrically insulated between the pixels by the partition wall 5.
그러나, 이와 같이 제작되는 유기 EL 디스플레이 패널에서는 발광 효율이 그다지 좋지 않았다.However, the luminous efficiency was not so good in the organic electroluminescent display panel produced in this way.
일반적으로 유기 EL 디스플레이 소자는 앞서 설명한 바와 같이 전자와 정공이 결합되어 에너지 여기 상태인 엑시톤을 형성한 후 기저 상태로 떨어지면서 발광하는 소자인데, 이때 발광하는 유효한 엑시톤의 상태는 싱글렛-싱글렛 엑시톤(singlet-singlet exciton)뿐이다.In general, the organic EL display device is a device that emits light when the electrons and holes are combined to form an exciton, which is an energy excited state, and then fall to a ground state, and the effective exciton that emits light is a singlet-single exciton. (singlet-singlet exciton).
실제로 싱글렛-싱글렛 엑시톤만이 빛으로 발하는데 사용되는 엑시톤인데, 그 확률이 조합적으로 1/4이 되기 때문에 유기 EL 디스플레이 소자에서 발광 효율을 말할 때 25%가 최고값이 된다.In fact, only singlet-single excitons are excitons used to emit light, and since the probability is 1/4 in combination, 25% is the highest when referring to luminous efficiency in organic EL display elements.
하지만, 이 25%도 실제로는 소자내에서 여러 경로를 통해 소멸되고 전면 발광으로 나오는 빛의 양은 약 5% 밖에 되지 않는다.However, this 25% is actually lost through various paths in the device and only about 5% of the light is emitted to the front emission.
또한, 유기 EL 디스플레이 패널을 구동할 때, 시간이 경과함에 따라 외부 또는 내부의 인자들, 즉 공기중의 산소나 수분 그리고 격벽내에 잔존해 있는 솔벤트(solvent)의 영향으로 소자가 축소되어 수명이 감소된다.In addition, when driving an organic EL display panel, the device shrinks due to the influence of external or internal factors such as oxygen or moisture in the air and solvent remaining in the partition wall as the time elapses, thereby reducing the lifetime. do.
본 발명은 이와 같은 문제들을 해결하기 위한 것으로, 모노-(mono-), 멀티-(multi-) 또는 풀-컬러(full-color) 평판 디스플레이 패널에서 발광의 효율을 증대시키는 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such problems, and an organic EL display panel and a light emitting device for increasing the efficiency of light emission in a mono-, multi- or full-color flat panel display panel and its The purpose is to provide a manufacturing method.
도 1은 일반적인 유기 EL 디스플레이 패널을 보여주는 도면1 is a view showing a general organic EL display panel
도 2a 내지 2d는 종래 기술에 따른 유기 EL 디스플레이 패널의 제조공정을 보여주는 공정단면도2A to 2D are cross-sectional views showing a manufacturing process of an organic EL display panel according to the prior art.
도 3은 본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널의 구조를 보여주는 구조단면도Fig. 3 is a structural sectional view showing the structure of an organic EL display panel according to the present invention.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 기판 2 : 제 1 전극1 substrate 2 first electrode
3 : 제 2 전극 4 : 유기 EL 층3: second electrode 4: organic EL layer
5 : 격벽5: bulkhead
본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널의 특징은 기판 위에 스트립 형태로 형성되는 제 1 전극과, 제 1 전극 스트립 사이에 형성되고, 표면에 은 반사경을 갖는 격벽과, 격벽을 가진 기판 전면에 형성되는 1층 이상의 유기층과, 유기층 전면에 전극층을 형성하여 격벽에 의한 단차에 의해 제 1 전극과 직교하는 방향으로 서로 절연되어 형성되는 스트립 형태의 제 2 전극으로 구성되는데 있다.A feature of the organic EL display panel according to the present invention is a first electrode formed in a strip form on a substrate, a partition formed between the first electrode strips, a partition having a silver reflector on the surface, and a 1 formed on the front surface of the substrate having a partition. An organic layer of more than a layer and an electrode layer are formed on the entire surface of the organic layer, and the second electrode in a strip form is formed to be insulated from each other in a direction orthogonal to the first electrode by a step by a partition.
본 발명의 다른 특징은 격벽을 표면에 반사경을 갖는 제 1 격벽과, 표면에 반사경을 갖지 않는 제 2 격벽으로 형성시키는데 있다.Another feature of the present invention is to form the partition wall as a first partition having a reflector on the surface and a second partition having no reflector on the surface.
본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법의 특징은 기판 위에 스트립 형태로 제 1 전극을 형성하는 단계와, 제 1 전극 스트립 사이에 표면에 은 반사경을 갖는 격벽을 형성하는 단계와, 격벽을 가진 기판 전면에 1층 이상의 유기층을 형성하는 단계와, 유기층 전면에 전극층을 형성하여 격벽에 의한 단차에 의해 제 1 전극과 직교하는 방향으로 서로 절연되는 스트립 형태의 제 2 전극을 형성하는 단계로 이루어지는데 있다.Features of the method for manufacturing an organic EL display panel according to the present invention include the steps of forming a first electrode in a strip form on a substrate, forming a partition wall having a silver reflector on the surface between the first electrode strips, and a substrate having a partition wall. Forming at least one organic layer on the front surface, and forming an electrode layer on the front surface of the organic layer to form a second electrode in a strip form insulated from each other in a direction orthogonal to the first electrode by a step by a partition wall. .
본 발명의 다른 특징은 상기 격벽을 기판 위에 은 화합물을 분산시킨 포토레지스트층을 코팅하는 제 1 단계와, 코팅된 포토레지스트층을 프리베이크(prebake)하고 노광 및 현상시키는 제 2 단계와, 포토레지스트를 열처리 하여 경화시키는 제 3 단계와, 포토레지스트내의 은 화합물을 환원시켜 표면에 은 반사경을 형성하는 제 4 단계로 형성하는데 있다.Other features of the present invention include a first step of coating a photoresist layer in which a silver compound is dispersed on a substrate, a second step of prebake, exposing and developing the coated photoresist layer, and a photoresist. And a fourth step of hardening by heat treatment and a fourth step of reducing the silver compound in the photoresist to form a silver reflector on the surface.
본 발명의 또 다른 특징은 격벽내의 은 화합물 첨가 비율을 0.01 ∼ 50wt%로 하는데 있다.Another feature of the present invention is that the ratio of adding silver compound in the partition wall is 0.01-50 wt%.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 실시예별로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an organic EL display panel and a method of manufacturing the same according to the present invention having the above characteristics will be described with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명의 개념은 종래 기술을 이용하여 격벽에 반사경(mirror)을 인위적으로 만듦으로써 소자에서 발광된 빛이 격벽을 통해 투과 내지 흡수되는 현상을 막아 전면으로 빛을 유도하여 발광 효율을 높이는데 있어 소자의 구조나 재료에 일차적으로 구애받지 않고 효율을 증대시키는데 있다.First, the concept of the present invention by using a prior art to artificially create a mirror (mirror) on the partition wall to prevent the light emitted from the device is transmitted or absorbed through the partition wall to induce the light to the front to increase the luminous efficiency This is to increase the efficiency regardless of the structure and material of the device.
즉, 종래의 격벽을 만드는 공정을 그대로 이용하고 단지 격벽의 재료로 사용하는 포토레지스트에 은(Ag) 화합물을 첨가한 후, 환원제를 이용하여 은 이온으로 만든 다음, 약알칼리 용액에서 약간의 열처리를 통해 격벽에 은 반사경을 형성시키는 방법이다.That is, using a conventional process of making a bulkhead as it is, adding a silver (Ag) compound to the photoresist used only as a material of the bulkhead, using a reducing agent to make silver ions, and then a slight heat treatment in a weak alkali solution This is a method of forming a silver reflector on the partition wall.
도 3은 본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널의 구조를 보여주는 구조단면도로서, 도 3을 참조하여 본 발명의 제작과정을 설명하면 다음과 같다.3 is a structural cross-sectional view showing the structure of an organic EL display panel according to the present invention. Referring to FIG. 3, the manufacturing process of the present invention will be described.
제 1 실시예First embodiment
도 3에 도시된 바와 같이, 먼저 기판(1) 위에 스트립 형태의 제 1 전극(2)을 일정 간격으로 형성하고, 제 1 전극(2)이 형성된 기판(1)을 세정한다.As shown in FIG. 3, first, a first electrode 2 in strip form is formed on the substrate 1 at regular intervals, and the substrate 1 on which the first electrode 2 is formed is cleaned.
이어, 기판(1)을 HMDS 처리를 한 후, 은 화합물을 분산(disperse)시킨 파지티브 포토레지스트(positive photoresist)를 스핀 코팅한다.Subsequently, the substrate 1 is subjected to HMDS treatment, followed by spin coating a positive photoresist having a silver compound dispersed therein.
이때, 격벽내의 은 화합물 첨가 비율은 0.01 ∼ 50wt%로 한다.At this time, the silver compound addition ratio in a partition shall be 0.01-50 wt%.
그리고, 코팅된 포토레지스트를 프리베이크(prebake)하고 자외선에 노출시킨다.The coated photoresist is then prebaked and exposed to ultraviolet light.
이어, 포토레지스트를 MCB(Mono-chloro Benzene)에 담그고, 현상시킨 다음, 포토레지스트를 하드-베이킹(hard-baking)하고 딥 유브이 하드닝(deep UV hardning)하여 경화시킨다.Subsequently, the photoresist is immersed in Mono-chloro Benzene (MCB), developed, and then the photoresist is hard-baked and deep UV hardened to cure.
이어, 포토레지스트내의 은 화합물을 2-amino-2-methyl-aceticacid로 환원시켜 은 이온(Ag+)으로 만든 후, 약알칼리 용액(약암모니아수)에 담근 다음, 수조(waterbath)를 통해 가열하면 격벽(5) 표면에 박막의 은 반사경이 형성된다.Subsequently, the silver compound in the photoresist is reduced to 2-amino-2-methyl-aceticacid to make silver ions (Ag + ), soaked in a weak alkali solution (weak ammonia water), and heated through a water bath to partition the partition wall. (5) A silver reflector of a thin film is formed on the surface.
이 은 반사경이 형성된 후, 증류수로 세정하고 건조하면 제 1 전극(2) 스트립 사이에 은 반사경을 갖는 격벽(5)이 형성된다.After the silver reflecting mirror is formed, it is washed with distilled water and dried to form a partition 5 having a silver reflecting mirror between the strips of the first electrode 2.
여기에서 격벽(5)을 형성하기 전에 버퍼층(도시되지 않음)을 미리 형성한 다음 그 위에 격벽(5)을 세워도 된다.Here, before forming the partition 5, a buffer layer (not shown) may be formed in advance, and then the partition 5 may be erected thereon.
만일, 네거티브 포토레지스트(negative photoresiet)를 이용하는 경우에는 버퍼층이 사용되어야 하므로 버퍼층 측면에 반사경을 만들면 된다.If a negative photoresiet is used, a buffer layer should be used, so a reflector may be formed on the side of the buffer layer.
버퍼층 측면에 반사경을 만드는 공정은 버퍼층 물질에 은 화합물을 분산시켜서 만들면 된다.The process of making the reflector on the side of the buffer layer is made by dispersing the silver compound in the buffer layer material.
여기서, 제 1 전극은 염산이나 질산에 에칭되기 때문에 환원제나 약알칼리 용액에서 에칭될 염려가 전혀 없어 제 1 전극을 보호하기 위한 또 다른 보호막을 입힐 필요가 없으므로 공정이 간단하고 쉽다.Here, since the first electrode is etched in hydrochloric acid or nitric acid, there is no fear of being etched in a reducing agent or a weak alkali solution, and there is no need to coat another protective film for protecting the first electrode, so that the process is simple and easy.
이와 같이 격벽(5)이 형성되면, 격벽을 가진 기판 전면에 1층 이상의 유기 EL 층(4)을 진공 증착시키고 유기 EL 층(4) 전면에 전극층을 형성하여 격벽(5)에 의한 단차에 의해 제 1 전극(2)과 직교하는 방향으로 서로 절연되는 스트립 형태의 제 2 전극(3)을 형성함으로써, 유기 EL 디스플레이 패널을 제작한다.When the partition wall 5 is formed in this manner, one or more organic EL layers 4 are vacuum deposited on the entire surface of the substrate having the partition walls, and an electrode layer is formed on the entire organic EL layer 4, resulting in a step by the partition wall 5. An organic EL display panel is produced by forming the strip-shaped second electrodes 3 that are insulated from each other in a direction orthogonal to the first electrodes 2.
그러나, 제 1 실시예에서는 격벽 표면에 은 금속이 형성되어 있기 때문에 전극으로 사용되는 금속들과 단락 현상이 생길 수도 있는 가능성이 있을 수 있기 때문에 이를 방지하기 위한 다른 제작 방법을 설명하면 다음과 같다.However, in the first embodiment, since silver metal is formed on the partition wall surface, there may be a possibility that a short circuit phenomenon may occur with the metals used as electrodes.
제 2 실시예Second embodiment
제 2 실시예에서는 제 1 실시예처럼 제 1 전극(2)이 형성된 기판(1)을 세정하고, 기판(1)을 HMDS 처리를 한 후, 은 화합물을 분산(disperse)시킨 파지티브 포토레지스트(positive photoresist)를 스핀 코팅한다.In the second embodiment, as in the first embodiment, the substrate 1 on which the first electrode 2 is formed is cleaned, the substrate 1 is subjected to an HMDS treatment, and then a positive photoresist in which silver compounds are dispersed. Spin coating the positive photoresist.
이어, 그 위에 은 화합물이 첨가되지 않은 포토레지스트를 한번 더 코팅하여 2층 구조로 제작한다.Subsequently, a photoresist having no silver compound added thereon is coated once more to produce a two-layer structure.
이와 같이 2층 구조로 제작하면 전극들의 단락을 방지할 수 있다.In this way, the two-layer structure can prevent the short circuit of the electrodes.
그 외의 제작 공정은 본 발명 제 1 실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.Other fabrication processes are the same as in the first embodiment of the present invention, so detailed description thereof will be omitted.
본 발명에 따른 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.The organic EL display panel and its manufacturing method according to the present invention have the following effects.
본 발명은 종래의 격벽 제조방법에 단지 은 반사경을 형성시킬 수 있는 물질을 첨가하여 격벽의 표면에 반사경을 형성시킴으로써 발광시 격벽으로 투과 흡수되는 빛의 양을 최소화하여 발광 효율을 높인다.The present invention increases the luminous efficiency by minimizing the amount of light transmitted and absorbed into the partition wall by forming a reflector on the surface of the partition wall by adding a material capable of forming only a silver reflector in the conventional partition wall manufacturing method.
또한, 종래의 격벽 공정 방법을 그대로 유지하고 은 반사경을 형성시키기 때문에 공정이 간단하고 은 화합물이 비싸지 않기 때문에 저렴한 가격으로 발광 효율을 최대화할 수 있다.In addition, since the conventional partition process is maintained and the silver reflector is formed, the process is simple and the silver compound is inexpensive, thereby maximizing the luminous efficiency at a low price.
그리고, 포토레지스트를 금속으로 막을 입히기 때문에 포토레지스트내에 있는 솔벤트나 외부로부터 들어오는 산소나 수분을 차단함으로써 유기막의 수축 현상을 방지하여 소자의 수명을 증가시킨다.In addition, since the photoresist is coated with a metal, a solvent in the photoresist, oxygen or moisture coming in from the outside are blocked to prevent shrinkage of the organic layer, thereby increasing the life of the device.
Claims (14)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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