KR102892958B1

KR102892958B1 - 개폐 장치

Info

Publication number: KR102892958B1
Application number: KR1020240075524A
Authority: KR
Inventors: 동웨이 리; 다케히로 신도
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2021-03-17
Filing date: 2024-06-11
Publication date: 2025-11-28
Anticipated expiration: 2042-03-04

Abstract

개구부를 개폐하는 개폐 장치 및 반송실을 제공한다.
제1실과 상기 제1실에 인접하는 제2실을 연통하는 개구부를 개폐하는 개폐 장치이며, 상기 제1실에 배열된 코일을 갖는 평면 모터와, 상기 평면 모터 상을 이동하여, 상기 개구부를 폐색하는 밸브체를 갖는 이동체와, 상기 코일의 통전을 제어하는 제어부를 구비하는, 개폐 장치.

Description

개폐 장치{OPENING/CLOSING APPARATUS}

본 개시는 개폐 장치 및 반송실에 관한 것이다.

처리실과 반송실의 사이에 개폐 가능한 개폐 장치를 구비하는 반송실이 알려져 있다.

특허문헌 1에는, 평면 모터를 사용해서 기판을 반송하는 반도체 처리 설비가 개시되어 있다.

일본 특허 공표 제2018-504784호 공보

일 측면에서는, 본 개시는, 개구부를 개폐하는 개폐 장치 및 반송실을 제공한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 일 양태에 의하면, 제1실과 상기 제1실에 인접하는 제2실을 연통하는 개구부를 개폐하는 개폐 장치이며, 상기 제1실에 배열된 코일을 갖는 평면 모터와, 상기 평면 모터 상을 이동하여, 상기 개구부를 폐색하는 밸브체를 갖는 이동체와, 상기 코일의 통전을 제어하는 제어부를 구비하는 개폐 장치가 제공된다.

일 측면에 의하면, 개구부를 개폐하는 개폐 장치 및 반송실을 제공할 수 있다.

도 1은 일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 일례의 구성을 도시하는 평면도.
도 2는 개구부 및 개폐 장치의 일례를 도시하는 사시도.
도 3은 개폐 장치의 일례를 도시하는 사시도.
도 4는 개폐 장치의 구동 원리를 설명하는 사시도.
도 5는 개구부를 폐색했을 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 6은 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 7은 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 다른 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 8a는 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 또 다른 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 8b는 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 또 다른 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 8c는 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 또 다른 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 9는 다른 이동체를 구비하는 개폐 장치에서의, 시일 부재를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 10은 내벽면을 이동하는 이동체의 일례를 도시하는 사시도.
도 11은 내벽면을 이동하는 이동체를 구비하는 개폐 장치에서의, 개구부를 폐색했을 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도.
도 12는 복수의 밸브체를 갖는 이동체의 일례를 도시하는 측면도.

이하, 도면을 참조하여 본 개시를 실시하기 위한 형태에 대해서 설명한다. 각 도면에 있어서, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 붙이고, 중복된 설명을 생략하는 경우가 있다.

<기판 처리 시스템(100)>

일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(100)의 전체 구성의 일례에 대해서, 도 1을 사용해서 설명한다. 도 1은, 일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(100)의 일례의 구성을 도시하는 평면도이다.

도 1에 도시하는 기판 처리 시스템(100)은, 클러스터 구조(멀티 챔버 타입)의 시스템이다. 기판 처리 시스템(100)은, 복수의 처리실(110), 진공 반송실(120), 로드 로크실(130), 대기 반송실(140) 및 제어부(150)를 구비하고 있다.

처리실(110)은 소정의 진공 분위기로 감압되어, 그 내부에서 반도체 웨이퍼(W)(이하, 「웨이퍼(W)」라고도 함)에 원하는 처리(에칭 처리, 성막 처리, 클리닝 처리, 애싱 처리 등)를 실시한다. 처리실(110)은, 진공 반송실(120)에 인접해서 배치된다. 처리실(110)은, 웨이퍼(W)를 적재하는 적재대(111)를 갖는다. 또한, 처리실(110)에서의 처리를 위한 각 부의 동작은, 제어부(150)에 의해 제어된다.

진공 반송실(120)은 소정의 진공 분위기로 감압되어 있다. 진공 반송실(120)은, 처리실(110)과 진공 반송실(120)을 연통하는 개구부(121)를 갖고 있다. 또한, 진공 반송실(120)은, 로드 로크실(130)과 진공 반송실(120)을 연통하는 개구부(122)를 갖고 있다. 또한, 진공 반송실(120)에는, 개구부(121, 122)를 개폐하는 개폐 장치(평면 모터(10), 이동체(20))를 갖는다. 또한, 개폐 장치에 대해서는, 도 2 등을 사용해서 후술한다.

진공 반송실(120)은, 외부와 연통하는 개구부(123)를 갖고 있다. 개구부(123)는, 폐색 부재(124)에 의해 개폐 가능하게 폐색되어 있다.

또한, 진공 반송실(120)의 내부에는, 웨이퍼(W)를 반송하는 기판 반송 장치(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 기판 반송 장치는, 개구부(121)를 통해서, 처리실(110)과 진공 반송실(120)의 사이에서 웨이퍼(W)의 반입 및 반출을 행한다. 또한, 기판 반송 장치는, 개구부(122)를 통해서, 로드 로크실(130)과 진공 반송실(120)의 사이에서 웨이퍼(W)의 반입 및 반출을 행한다. 또한, 기판 반송 장치는 제어부(150)에 의해 제어된다.

로드 로크실(130)은, 진공 반송실(120)과 대기 반송실(140)의 사이에 마련되어 있다. 로드 로크실(130)은, 웨이퍼(W)를 적재하는 적재대(131)를 갖는다. 로드 로크실(130)은, 대기 분위기와 진공 분위기를 전환할 수 있도록 되어 있다. 로드 로크실(130)과 진공 분위기의 진공 반송실(120)은, 개폐 장치에 의해 개폐 가능한 개구부(122)를 통해서 연통한다. 로드 로크실(130)과 대기 분위기의 대기 반송실(140)은, 개폐 장치(도시하지 않음)에 의해 개폐 가능한 개구부(도시하지 않음)를 통해서 연통한다. 또한, 로드 로크실(130) 내의 진공 분위기 또는 대기 분위기의 전환은, 제어부(150)에 의해 제어된다.

대기 반송실(140)은 대기 분위기로 되어 있으며, 예를 들어 청정 공기의 다운 플로가 형성되어 있다. 또한, 대기 반송실(140)의 내부에는, 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 장치(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 반송 장치(도시하지 않음)는, 로드 로크실(130)과 대기 반송실(140)의 사이에서 웨이퍼(W)의 반입 및 반출을 행한다. 또한, 반송 장치(도시하지 않음)의 동작은 제어부(150)에 의해 제어된다.

또한, 대기 반송실(140)의 벽면에는, 로드 포트(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 로드 포트는, 웨이퍼(W)가 수용된 캐리어(도시하지 않음) 또는 빈 캐리어가 설치된다. 캐리어로서는, 예를 들어 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등을 사용할 수 있다.

대기 반송실(140)의 반송 장치(도시하지 않음)는, 로드 포트에 설치된 캐리어에 수용된 웨이퍼(W)를 빼내어, 로드 로크실(130)의 적재대(131)에 적재할 수 있다. 또한, 대기 반송실(140)의 반송 장치(도시하지 않음)는, 로드 로크실(130)의 적재대(131)에 적재된 웨이퍼(W)를 빼내어, 로드 포트에 설치된 캐리어에 수용할 수 있다.

제어부(150)는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 및 HDD(Hard Disk Drive)를 갖는다. 제어부(150)는, HDD에 한하지 않고 SSD(Solid State Drive) 등의 다른 기억 영역을 가져도 된다. HDD, RAM 등의 기억 영역에는, 프로세스의 수순, 프로세스의 조건, 반송 조건이 설정된 레시피가 저장되어 있다.

CPU는, 레시피에 따라서 각 처리실(110)에서의 웨이퍼(W)의 처리를 제어하고, 웨이퍼(W)의 반송을 제어한다. HDD나 RAM에는, 각 처리실(110)에서의 웨이퍼(W)의 처리나 웨이퍼(W)의 반송을 실행하기 위한 프로그램이 기억되어도 된다. 프로그램은, 기억 매체에 저장해서 제공되어도 되고, 네트워크를 통해서 외부 장치로부터 제공되어도 된다.

이어서, 개구부(121, 122)를 개폐하는 개폐 장치에 대해서, 도 2 내지 도 5를 사용해서 설명한다. 도 2는, 개구부(121) 및 개폐 장치의 일례를 도시하는 사시도이다. 도 3은, 개폐 장치의 이동체(20)의 일례를 도시하는 사시도이다.

개폐 장치는, 평면 모터(10)와, 이동체(20)를 구비한다.

평면 모터(10)는, 진공 반송실(120)의 바닥면에 배치된다.

이동체(20)는, 밸브체(21)와, 베이스(22)를 구비한다. 밸브체(21)는, 밸브 플레이트(211)와, 시일 부재(212)와, 확대부(213)와, 시일 부재(214)와, 지지부(215)를 구비한다. 밸브 플레이트(211)는, 확대부(213)로부터 돌출되어 형성된다. 밸브 플레이트(211)는, 개구부(121, 122)를 폐색하는 부재이며, 개구부(121, 122)보다도 크고, 개구부(123)보다도 작게 형성되어 있다. 밸브 플레이트(211)에는, 밸브 플레이트(211)가 개구부(121, 122)를 폐색했을 때 시일하는 시일 부재(212)가 마련되어 있다. 확대부(213)는, 개구부(123)를 폐색하는 부재이며, 개구부(123)보다도 크게 형성되어 있다. 확대부(213)에는, 확대부(213)가 개구부(123)를 폐색했을 때 시일하는 시일 부재(214)가 마련되어 있다. 지지부(215)는, 확대부(213)와 베이스(22)를 접속한다.

평면 모터(10) 및 이동체(20)의 베이스(22)에 대해서, 도 4를 사용해서 더 설명한다. 도 4는, 개폐 장치의 구동 원리를 설명하는 사시도이다.

평면 모터(10)는, 복수의 코일(10a)이 배열되어 있다. 코일(10a)은, 전류가 공급됨으로써 자장을 발생시킨다. 제어부(150)(도 1 참조)는, 각 코일(10a)에 통전하는 전류값을 개별로 제어 가능하게 구성되어 있다.

베이스(22)는, 복수의 영구 자석(22a)이 배열되어 있다. 코일(10a)이 생성하는 자장에 의해, 베이스(22)는 평면 모터(10) 상에서 자기 부상한다. 또한, 코일(10a)이 생성하는 자장에 의해, 베이스(22)는 평면 모터(10) 상을 이동한다.

이와 같은 구성에 의해, 제어부(150)(도 1 참조)는, 평면 모터(10)의 각 코일(10a)의 전류값을 제어함으로써, 베이스(22)의 위치, 배향, 부상량을 제어할 수 있도록 구성되어 있다.

제어부(150)는, 베이스(22)의 위치가 원하는 위치로 되도록, 평면 모터(10)의 각 코일(10a)의 통전을 제어함으로써, 진공 반송실(120) 내에서 이동체(20)를 이동 및/또는 선회시킬 수 있다. 바꾸어 말하면, 제어부(150)는, 평면 모터(10) 상의 이동체(20)를 이동시킴으로써, 밸브체(21)로 개구부(121, 122)를 개폐할 수 있다.

도 5는, 개구부(121)를 폐색했을 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도이다.

제어부(150)는, 이동체(20)를 이동시켜, 밸브체(21)의 밸브 플레이트(211)와 진공 반송실(120)의 내벽면에 맞닿게 함으로써, 밸브 플레이트(211)가 개구부(121)를 폐색할 수 있다. 또한, 시일 부재(212)에 의해 진공 반송실(120)의 내벽면과 밸브 플레이트(211)가 시일되어, 처리실(110)이 밀폐된다.

또한, 이동체(20)를, 개구부(121)를 폐색하는 위치(도 5 참조)로부터 이동시킴으로써, 개구부(121)를 개방할 수 있다(도 1 참조). 이에 의해, 처리실(110)과 진공 반송실(120)의 사이에 게이트 밸브(도시하지 않음) 등의 기계 구동에 의해 개폐하는 개폐 장치를 마련하는 구성과 비교하여, 기판 처리 시스템(100)의 점유 면적을 삭감할 수 있다.

이와 같이, 본 실시 형태의 개폐 장치는, 개구부(121)를 개폐할 수 있다. 마찬가지로, 개폐 장치는 개구부(122)를 개폐할 수 있다.

또한, 밸브체(21)의 밸브 플레이트(211)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 맞닿게 하여 개구부(121, 122)를 폐색했을 때, 밸브 플레이트(211)와 진공 반송실(120)의 내벽면의 맞닿음력을 보조하는 기구부(도시하지 않음)를 마련해도 된다. 예를 들어, 진공 반송실(120)의 내벽면에 밸브체(21)를 맞닿게 했을 때, 밸브체(21)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 고정하는 로크 기구부를 마련해도 된다. 이에 의해, 개구부(121)의 폐색을 확실하게 행할 수 있다.

또한, 밸브체(21)는, 진공 반송실(120)의 벽면에 흡착하는 마그네트(도시하지 않음)를 갖고 있어도 된다. 이에 의해, 개구부(121, 122)를 밸브체(21)로 막을 때, 밸브체(21)를 마그네트(도시하지 않음)에 의해 진공 반송실(120)의 벽면에 흡착시킬 수 있다.

도 6은, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도이다. 예를 들어, 시일 부재(212)는, 처리실(110)의 처리 가스에 노출되거나 함으로써 시일성이 저하된다. 시일 부재(212)의 시일성이 저하되면, 시일 부재(212)의 유지 관리(교환, 청소 등)가 행하여진다.

시일 부재(212)를 유지 관리할 때, 제어부(150)는 이동체(20)를 이동시켜서, 밸브체(21)의 확대부(213)와 진공 반송실(120)의 내벽면에 맞닿게 함으로써, 확대부(213)가 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 내측으로부터 폐색할 수 있다. 또한, 시일 부재(214)에 의해, 진공 반송실(120)의 내벽면과 확대부(213)가 시일되어, 진공 반송실(120)이 밀폐된다. 이때, 밸브 플레이트(211)는 개구부(123) 내에 삽입되어 있다.

그리고, 폐색 부재(124)(도 1 참조)를 진공 반송실(120)의 외벽면으로부터 떼어냄으로써, 진공 반송실(120)을 진공 분위기로 유지한 채, 진공 반송실(120)의 외부로부터 시일 부재(212)를 유지 관리(교환, 청소 등)할 수 있다.

이와 같이, 본 실시 형태의 개폐 장치에 의하면, 진공 반송실(120)의 진공 분위기를 유지한 채 시일 부재(214)를 유지 관리할 수 있다. 이에 의해, 유지 관리 작업의 작업 시간을 삭감할 수 있다.

또한, 진공 반송실(120)의 내부에는, 각 개구부(121, 122)를 개폐하는 이동체(20)에 더하여, 교환용 이동체(20)가 배치되어 있어도 된다. 이에 의해, 각 개구부(121, 122)를 개폐하는 이동체(20)를 교환용 이동체(20)와 교환함으로써, 시일성을 확보할 수 있다. 또한, 하나의 이동체(20)의 시일 부재(212)를 유지 관리할 때, 교환용 이동체(20)를 사용해서 개구부(121, 122)를 개폐할 수 있으므로, 기판 처리 시스템(100)을 정지시키지 않고 시일 부재(212)를 유지 관리할 수 있다.

또한, 기판 처리 시스템(100)은, 폐색 부재(124)의 개폐 및 시일 부재(214)의 유지 관리를 행하는 장치가 마련되어 있어도 된다. 이에 의해, 시일 부재(214)의 유지 관리를 자동화할 수 있다.

도 7은, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 다른 일례를 도시하는 수평 단면도이다.

진공 반송실(120)의 벽면에는, 고정 장치(125) 및 고정 장치(126)가 마련되어 있어도 된다. 고정 장치(125)는, 폐색 부재(124)를 진공 반송실(120)의 외벽면에 착탈 가능하게 고정한다. 고정 장치(126)는, 밸브체(21)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 착탈 가능하게 고정한다. 또한, 도 7의 예에서, 고정 장치(125, 126)는, 착탈 가능한 볼트인 것으로서 도시하고 있다.

시일 부재(212)를 유지 관리할 때, 제어부(150)는 이동체(20)를 이동시켜서, 밸브체(21)의 확대부(213)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 맞닿게 함으로써, 확대부(213)가 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 내측으로부터 폐색한다. 이어서, 고정 장치(126)를 사용하여, 밸브체(21)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 고정한다. 이어서, 고정 장치(125)를 해제하여, 폐색 부재(124)를 이동시키고, 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 외측으로부터 열어, 시일 부재(212)를 유지 관리한다. 이에 의해, 진공 분위기로 되는 진공 반송실(120)의 내부와 대기 분위기로 되는 진공 반송실(120)의 외부의 차압으로, 밸브체(21)가 어긋나는 것을 방지할 수 있어, 진공 반송실(120)을 기밀하게 유지할 수 있다.

또한, 도 7에서, 고정 장치(125, 126)는, 볼트인 것으로서 도시하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 로크 핀 등의 고정 장치이어도 된다.

도 8a 내지 도 8c는, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 또 다른 일례를 도시하는 수평 단면도이다.

도 8a에 도시하는 바와 같이, 폐색 부재(124)에는, 벤트 장치(127)가 마련되어 있어도 된다. 벤트 장치(127)는, 벤트 라인(127a)과, 밸브(127b)와, 접속부(127c)를 구비한다. 벤트 라인(127a)은, 가스가 통류 가능하게 형성된다. 벤트 라인(127a)의 일단은, 개구부(123)의 공간(폐색 부재(124)와 밸브 플레이트(211)의 사이의 공간)에 접속된다. 또한, 벤트 라인(127a)에는, 개폐 가능한 밸브(127b)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(127b)는 통상 폐쇄되어 있다. 벤트 라인(127a)의 타단에는, 후술하는 접속부(128c)와 접속 가능한 접속부(127c)가 마련되어 있다.

여기서, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때, 제어부(150)는 이동체(20)를 이동시켜서, 밸브체(21)의 확대부(213)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 맞닿게 함으로써, 확대부(213)가 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 내측으로부터 폐색한다. 이어서, 고정 장치(126)를 사용하여, 밸브체(21)를 진공 반송실(120)의 내벽면에 고정한다. 여기서, 개구부(123)의 공간은 진공 분위기로 되어 있다. 이어서, 밸브(127b)를 열고, 벤트 라인(127a)을 통해서, 개구부(123)의 공간과 대기 분위기로 되는 진공 반송실(120)의 외부를 연통시킨다. 이어서, 고정 장치(125)를 해제하여, 폐색 부재(124)를 이동시키고, 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 외측으로부터 열어서 시일 부재(212)를 유지 관리한다. 이에 의해, 개구부(123)의 공간과 진공 반송실(120)의 외부의 압력차를 감소시킬 수 있어, 폐색 부재(124)를 진공 반송실(120)의 외벽면으로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.

또한, 도 8b에 도시하는 바와 같이, 진공 반송실(120)의 외벽면에는, 진공화 장치(128)가 마련되어 있어도 된다. 진공화 장치(128)는, 진공화 라인(128a)과, 밸브(128b)와, 접속부(128c)를 구비한다. 진공화 라인(128a)은, 가스가 통류 가능하게 형성된다. 진공화 라인(128a)의 일단은, 진공 반송실(120) 내에 접속된다. 또한, 진공화 라인(128a)에는, 개폐 가능한 밸브(128b)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(128b)는 통상 폐쇄되어 있다. 진공화 라인(128a)의 타단에는, 접속부(127c)와 접속 가능한 접속부(128c)가 마련되어 있다. 또한, 진공화 라인(128a)의 적어도 일부는, 플렉시블한 배관 등으로 형성되어, 접속부(127c)와 접속부(128c)가 착탈 가능하게 구성되어 있다.

여기서, 시일 부재(212)를 유지 관리한 후, 폐색 부재(124)를 진공 반송실(120)의 외벽면에 설치함으로써, 폐색 부재(124)가 개구부(123)를 진공 반송실(120)의 외측으로부터 폐색한다. 이어서, 고정 장치(125)를 사용하여, 폐색 부재(124)를 진공 반송실(120)의 외벽면에 고정한다. 여기서, 개구부(123)의 공간은 대기 분위기로 되어 있다. 이어서, 접속부(127c)와 접속부(128c)를 접속하고, 밸브(127b) 및 밸브(128b)를 열어, 벤트 라인(127a) 및 진공화 라인(128a)을 통해서, 개구부(123)의 공간과 진공 분위기로 되는 진공 반송실(120)의 내부를 연통시킨다. 이에 의해, 진공 반송실(120)의 진공 펌프(도시하지 않음)에 의해, 개구부(123)의 공간을 완만하게 감압시켜, 개구부(123)의 공간을 진공 분위기에 접근시킨다. 또한, 개구부(123)의 공간을 감압한 후, 밸브(127b) 및 밸브(128b)를 닫아, 접속부(127c)와 접속부(128c)의 접속을 해제해도 된다. 이어서, 고정 장치(126)를 해제한다. 이어서, 제어부(150)는 이동체(20)를 이동시켜서, 밸브체(21)가 개구부(123)로부터 이격된다. 이에 의해, 밸브체(21)가 개구부(123)로부터 이격되었을 때, 진공 반송실(120)의 내부의 진공도가 크게 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 도 8c에 도시하는 바와 같이, 진공화 라인(128a)은 진공 펌프(129)에 접속해도 된다. 이에 의해, 진공 펌프(129)에 의해, 개구부(123)의 공간을 진공 분위기로 감압할 수 있다.

도 9는, 다른 이동체(20A)를 구비하는 개폐 장치에서의, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도이다. 도 9에 도시하는 이동체(20A)는, 시일 부재(212)가 마련되는 밸브 플레이트(211)가, 시일 부재(214)가 마련되는 확대부(213)에 대하여 착탈 가능하게 마련되고, 고정 장치(216)에 의해 밸브 플레이트(211)가 확대부(213)에 고정되어 있다. 또한, 도 9의 예에서, 고정 장치(216)는, 착탈 가능한 볼트인 것으로서 도시하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 로크 핀 등의 고정 장치이어도 된다. 이에 의해, 개구부(123)는, 시일 부재(214)가 마련되는 확대부(213)에 의해 진공 반송실(120)의 내측으로부터 폐색되어 있다. 또한, 시일 부재(212)를 유지 관리할 때는, 고정 장치(216)를 떼어내어, 밸브 플레이트(211)째로 시일 부재(212)를 교환한다. 이에 의해, 유지 관리 작업의 작업성을 향상시킬 수 있다.

이상, 일 실시 형태에 따른 개폐 장치에 대해서 설명했지만, 본 개시는 상기 실시 형태 등에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위에 기재된 본 개시의 요지의 범위 내에서 다양한 변형, 개량이 가능하다.

평면 모터(10)는, 진공 반송실(120)의 바닥면에 마련되는 것으로서 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 진공 반송실(120)의 천장면에 평면 모터(10)가 마련되고, 평면 모터(10)의 자력에 의해 이동체(20)가 진공 반송실(120)의 천장면을 이동하는 구성이어도 된다. 또한, 이동체(20)는, 진공 반송실(120)의 천장면에 마련된 평면 모터(10)에 의해 자기로 흡인되어, 진공 반송실(120)의 천장면과의 사이에 간격을 두고 부상하고 있다. 이에 의해, 예를 들어 진공 반송실(120)의 바닥면에 기판 반송 장치를 배치할 수 있다.

또한, 진공 반송실(120)의 내벽면에 평면 모터(10)가 마련되어, 평면 모터(10)의 자력에 의해 이동체(20B)가 진공 반송실(120)의 내벽면을 이동하는 구성이어도 된다. 도 10은, 내벽면을 이동하는 이동체(20B)의 일례를 도시하는 사시도이다. 도 11은, 내벽면을 이동하는 이동체(20B)를 구비하는 개폐 장치에서의, 개구부(121)를 폐색했을 때의 개폐 장치의 일례를 도시하는 수평 단면도이다.

개폐 장치는, 평면 모터(10)와, 이동체(20B)를 구비한다.

도 11에 도시한 바와 같이, 평면 모터(10)는, 개구부(121)가 형성되는 진공 반송실(120)의 벽에 배치된다. 평면 모터(10)는, 복수의 코일(10a)이 배열되어 있다. 코일(10a)은, 전류가 공급됨으로써 자장을 발생시킨다. 제어부(150)(도 1 참조)는, 각 코일(10a)에 통전하는 전류값을 개별로 제어 가능하게 구성되어 있다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 이동체(20B)는, 밸브체부(21B)와, 베이스부(22B)를 구비한다. 즉, 이동체(20B)는, 개구부(121, 122)를 폐색하는 밸브체부(21B)와 평면 모터(10) 상을 이동하는 베이스부(22B)가 일체로 형성되어 있다.

밸브체부(21B)는, 밸브 플레이트(211B)와, 시일 부재(212B)와, 확대부(213B)와, 시일 부재(214B)를 구비한다. 밸브 플레이트(211B)는, 확대부(213B)로부터 돌출되어 형성된다. 밸브 플레이트(211B)는, 개구부(121, 122)를 폐색하는 부재이며, 개구부(121, 122)보다도 크고, 개구부(123)보다도 작게 형성되어 있다. 밸브 플레이트(211B)에는, 밸브 플레이트(211B)가 개구부(121, 122)를 폐색했을 때 시일하는 시일 부재(212B)가 마련되어 있다. 확대부(213B)는, 개구부(123)를 폐색하는 부재이며, 개구부(123)보다도 크게 형성되어 있다. 확대부(213B)에는, 확대부(213B)가 개구부(123)를 폐색했을 때 시일하는 시일 부재(214B)가 마련되어 있다.

베이스부(22B)는, 복수의 영구 자석(22Ba)이 배열되어 있다. 또한, 도 10에 도시하는 이동체(20B)에서는, 밸브 플레이트(211B)의 맞닿음면에 수직인 방향에서 보아, 밸브체부(21B)의 확대부(213B)를 사이에 두고 이동체(20B)의 길이 방향의 양측에 베이스부(22B)가 마련되는 것으로서 도시하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 확대부(213B)의 전체면에 복수의 영구 자석(22Ba)이 배열되어, 베이스부(22B)가 구성되어 있어도 된다.

코일(10a)이 생성하는 자장에 의해, 베이스부(22B)는, 평면 모터(10) 상에서 자기 부상한다. 또한, 코일(10a)이 생성하는 자장에 의해, 베이스부(22B)는 평면 모터(10) 상을 이동한다.

이와 같은 구성에 의해, 제어부(150)(도 1 참조)는, 평면 모터(10)의 각 코일(10a)의 전류값을 제어함으로써, 이동체(20B)(베이스부(22B))의 위치, 배향, 부상량을 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 이동체(20B)(베이스부(22B))의 위치, 배향을 제어함으로써, 진공 반송실(120)의 내벽면에서 이동체(20B)를 이동 및/또는 선회시킬 수 있다. 또한, 이동체(20B)(베이스부(22B))의 부상량을 제어함으로써, 이동체(20B)(밸브체부(21B))에 의한 개구부(121, 122)의 개폐를 제어할 수 있다.

또한, 처리실(110)과 진공 반송실(120)의 개구부(121), 진공 반송실(120)과 로르 로크실(130)의 개구부(122)를 개폐하는 개폐 장치를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 로드 로크실(130)과 대기 반송실(140)을 연통하는 개구부(도시하지 않음)를 개폐하는 개폐 장치(평면 모터(10), 이동체(20))에 적용해도 된다. 또한, 평면 모터(10)는, 대기 반송실(140)의 천장면, 측면, 바닥면의 적어도 어느 것에 마련되어 있어도 된다. 또한, 대기 반송실(140)측에 이동체(20)가 배치되므로, 이동체(20)의 시일 부재(212)의 교환을 용이하게 할 수 있다.

또한, 1개의 이동체(20)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 1개의 밸브체(21)(밸브 플레이트(211), 시일 부재(212))를 갖는 것으로서 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 도 12는, 복수의 밸브체(21)를 갖는 이동체(20C)의 일례를 도시하는 측면도이다. 이동체(20C)는, 복수(2개)의 밸브체(21)와, 1개의 베이스(22)를 갖는다. 이에 의해, 개구부(121, 122)를 개폐하는 밸브체(21)를 전환함으로써, 시일 부재(212)의 유지 관리 빈도를 삭감할 수 있다.

Claims

제1실과 상기 제1실에 인접하는 제2실을 연통하는 개구부를 개폐하는 개폐 장치이며,
상기 제1실에 배열된 복수의 코일을 갖는 평면 모터 상을 이동하고, 상기 개구부를 폐색하는 밸브체를 반송하는 이동체를 갖고,
상기 이동체는, 영구 자석을 포함하고,
상기 이동체는, 상기 복수의 코일에 통전되는 전류값이 개별 제어되어 생성되는 자기장에 의해 상기 평면 모터 상에서 이동하여, 상기 개구부를 개폐하는,
개폐 장치.