KR102869903B1 - Transfer apparatus - Google Patents
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Abstract
이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 자재의 이송을 위한 컨베이어 유닛과, 상기 컨베이어 유닛 상의 상기 자재를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛과, 상기 자재가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고 이어서 상기 자재가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함한다.A transport device is disclosed. The transport device includes a conveyor unit for transporting materials, an alignment unit for aligning the materials on the conveyor unit at a preset alignment position, and a control unit for controlling the operation of the conveyor unit so that the materials stop at the preset preliminary alignment position and then controlling the operation of the alignment unit so that the materials are aligned at the alignment position.
Description
본 발명의 실시예들은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼들의 수납을 위해 사용되는 용기와 같은 자재의 이송을 위해 사용되는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transport device. More specifically, they relate to a transport device used for transporting materials, such as containers used for storing wafers in a semiconductor device manufacturing process.
일반적으로 반도체 장치의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들은 증착, 노광, 식각, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치되는 클린룸들로 구성될 수 있다. 상기 클린룸들에서는 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼에 대하여 반도체 장치의 제조를 위한 일련의 단위 공정들이 수행될 수 있다.Typically, a semiconductor device manufacturing line is configured in multiple layers, and each layer may be comprised of clean rooms equipped with equipment for performing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning. In these clean rooms, a series of unit processes for manufacturing semiconductor devices may be performed on semiconductor wafers used as semiconductor substrates.
상기 클린룸들에서 자재의 이송은 오버헤드 호이스트 이송(Overhead Hoist Transport; OHT) 장치 또는 무인 반송차에 의해 수행될 수 있으며, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다. 상기 클린룸들의 내부에는 자재 보관을 위한 스토커 설비가 배치될 수 있으며, 일 예로서, 반도체 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기는 상기 OHT 장치에 의해 상기 스토커(Stocker) 설비로 이송될 수 있다.In the above clean rooms, material transport can be performed by an overhead hoist transport (OHT) device or an unmanned transport vehicle, and material transport between the above floors can be performed by a tower lift installed vertically through the above floors. A stocker facility for storing materials can be placed inside the above clean rooms, and as an example, a container such as a front-opening unified pod (FOUP) containing semiconductor substrates can be transported to the stocker facility by the OHT device.
한편, 상기 OHT 장치와 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트 사이에는 상기 자재의 이송을 위한 이송 장치가 배치될 수 있으며, 상기 이송 장치는 상기 반송물이 놓여지는 제1 포트와 제2 포트 및 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치에 의해 상기 제1 포트 상에 상기 자재가 로드된 후 상기 이송 로봇은 상기 자재를 상기 제1 포트로부터 상기 제2 포트 상으로 이송할 수 있으며, 이어서 상기 자재는 상기 스토커 설비에 구비되는 스토커 로봇 또는 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 상기 제2 포트로부터 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트의 내부로 이송될 수 있다. 즉, 상기 이송 장치는 상기 OHT 장치와 스토커 설비 또는 타워 리프트 사이에서 상기 자재의 전달을 위해 사용될 수 있다.Meanwhile, a transport device for transporting the material may be arranged between the OHT device and the stocker facility or the tower lift, and the transport device may include a first port and a second port on which the returned material is placed, and a transport robot for transporting the returned material. For example, after the material is loaded onto the first port by the OHT device, the transport robot may transport the material from the first port onto the second port, and then the material may be transported from the second port into the interior of the stocker facility or the tower lift by a stocker robot provided in the stocker facility or a carriage robot of the tower lift. That is, the transport device may be used for transporting the material between the OHT device and the stocker facility or the tower lift.
본 발명의 실시예들은 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 사용되는 보다 개선된 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention aim to provide a more improved transport device used for transporting materials in a semiconductor device manufacturing process.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치는, 자재의 이송을 위한 컨베이어 유닛과, 상기 컨베이어 유닛 상의 상기 자재를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛과, 상기 자재가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고 이어서 상기 자재가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.A transport device according to one embodiment of the present invention may include a conveyor unit for transporting materials, an alignment unit for aligning the materials on the conveyor unit at a preset alignment position, and a control unit for controlling the operation of the conveyor unit so that the materials stop at the preset preliminary alignment position and then controlling the operation of the alignment unit so that the materials are aligned at the alignment position.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재를 밀어서 상기 정렬 위치에 위치시킬 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the alignment unit can push the material stopped at the preliminary alignment position to position it at the alignment position.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재를 검출하기 위한 제1 검출 센서와 제2 검출 센서를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재를 이동시키며, 상기 제어 유닛은 상기 제1 검출 센서에 의해 상기 자재가 검출된 후 상기 제2 검출 센서에 의해 상기 자재의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고, 상기 제1 검출 센서에 의한 상기 자재의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재를 밀어서 정렬하도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the control unit includes a first detection sensor and a second detection sensor arranged in the direction of movement of the material and configured to detect the material, the conveyor unit moves the material so that the rear portion of the material is sequentially detected by the first and second detection sensors, the control unit controls the operation of the conveyor unit so that the movement of the material is stopped when the rear portion of the material is detected by the second detection sensor after the material is detected by the first detection sensor, and controls the operation of the alignment unit so as to push and align the material until the detection state of the material by the first detection sensor is released.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성된 한 쌍의 컨베이어 벨트들을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the conveyor unit may include a pair of conveyor belts configured to support each of the two opposite sides of the material.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은, 상기 컨베이어 벨트들 사이에서 상기 자재의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더와, 상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the alignment unit may include a pneumatic cylinder arranged between the conveyor belts in the direction of movement of the material and configured to enable linear reciprocating motion and rotational motion of the cylinder rod, and a hand member mounted at an end of the cylinder rod for moving the material in the direction of movement.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재를 검출하기 위한 검출 센서를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 검출 센서에 의해 먼저 검출되도록 상기 자재를 이동시키며, 상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 검출 센서에 의해 검출된 후 상기 검출 센서의 검출 상태가 해제되는 경우 상기 자재가 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하며 이를 통해 상기 자재를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킬 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the control unit includes a detection sensor for detecting the material, the conveyor unit moves the material so that a rear portion of the material is first detected by the detection sensor, and the control unit controls the operation of the conveyor unit so that the material is stopped when the detection state of the detection sensor is released after the material is detected by the detection sensor, thereby stopping the material at the preliminary alignment position.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정렬 유닛은, 상기 자재를 지지하기 위한 핸드 부재와, 상기 핸드 부재 상에 배치되며 상기 자재의 하부에 구비되는 정렬홈들에 대응하는 정렬핀들과, 상기 핸드 부재를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the alignment unit may include a hand member for supporting the material, alignment pins disposed on the hand member and corresponding to alignment grooves provided at the lower portion of the material, and a vertical driving unit for moving the hand member in a vertical direction.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재가 상기 정렬핀들에 의해 상기 정렬 위치에서 정렬되도록 상기 핸드 부재를 상승시키고 이어서 상기 자재가 상기 컨베이어 유닛 상에 놓여지도록 상기 핸드 부재를 하강시키도록 상기 수직 구동부의 동작을 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the control unit can control the operation of the vertical drive unit to raise the hand member so that the material is aligned at the alignment position by the alignment pins and then lower the hand member so that the material is placed on the conveyor unit.
종래 기술의 경우 상기 OHT 장치에서 물류 정체가 발생되는 경우 상기 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트로 전달될 수 있으나, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재를 이동시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 사용함으로써 상기 OHT 장치의 물류 정체가 발생되는 경우 복수의 자재들을 상기 컨베이어 유닛 상에서 대기시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 OHT 장치의 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트로 전달되지 않도록 할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킨 후 상기 정렬 유닛을 이용하여 상기 자재를 상기 정렬 위치에 정확하게 위치시킬 수 있으므로, 상기 자재의 전달 과정에서 상기 자재의 정렬 오류에 의한 문제점이 해결될 수 있다.In the case of the prior art, when a logistics congestion occurs in the OHT device, the logistics congestion can be transferred to the stocker facility or the tower lift. However, according to the embodiments of the present invention as described above, by using the conveyor unit to move the materials, when a logistics congestion occurs in the OHT device, a plurality of materials can be made to wait on the conveyor unit, thereby preventing the logistics congestion in the OHT device from being transferred to the stocker facility or the tower lift. In addition, according to the embodiments of the present invention, after stopping the materials at the preliminary alignment position, the materials can be accurately positioned at the alignment position using the alignment unit, so that a problem caused by an alignment error of the materials during the transfer of the materials can be solved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도들이다.FIG. 1 is a schematic plan view illustrating a transport device according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic front view for explaining the transport device shown in Figure 1.
Figures 3 to 5 are schematic plan views for explaining the operation of the transport device illustrated in Figure 1.
Figures 6 and 7 are schematic front views illustrating a transport device according to another embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following embodiments are provided not to fully complete the present invention, but rather to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements may be interposed between them. Conversely, when an element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, and third may be used to describe various items, such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the items are not limited by these terms.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The technical terms used in the embodiments of the present invention are used solely for the purpose of describing specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Furthermore, unless otherwise specified, all terms, including technical and scientific terms, have the same meaning as would be understood by a person skilled in the art having ordinary knowledge in the technical field of the present invention. Terms such as those defined in conventional dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with their meaning within the context of the relevant technology and the description of the present invention, and will not be interpreted as idealistic or overly superficially intuitive unless explicitly defined.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic drawings of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the drawings, such as variations in manufacturing methods and/or tolerances, are fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes of the regions illustrated in the drawings, but include deviations from those shapes. The elements illustrated in the drawings are purely schematic, and their shapes are not intended to describe the precise shapes of the elements, nor are they intended to limit the scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.FIG. 1 is a schematic plan view for explaining a transport device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic front view for explaining the transport device illustrated in FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 복수의 웨이퍼들을 수납하기 위한 용기(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기(10)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치와 스토커 설비 또는 타워 리프트 사이에서 상기 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 다른 예로서, 상기 이송 장치(100)는 상기 스토커 설비와 상기 타워 리프트 사이에서 상기 자재(10)를 이송하기 위해 사용될 수도 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a transport device (100) according to an embodiment of the present invention can be used to transport a material (10) in a semiconductor device manufacturing process. For example, the transport device (100) can be used to transport a container (10) for storing a plurality of wafers, for example, a container (10) such as a FOUP (Front Opening Unified Pod). In particular, the transport device (100) can be used to transport the material (10) between an OHT device and a stocker facility or a tower lift. As another example, the transport device (100) can also be used to transport the material (10) between the stocker facility and the tower lift.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 자재(10)의 이송을 위한 컨베이어 유닛(110)과, 상기 컨베이어 유닛(110) 상의 상기 자재(10)를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛(130)과, 상기 자재(10)가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛(110)의 동작을 제어하고 상기 자재(10)가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛(130)의 동작을 제어하는 제어 유닛(미도시)을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transport device (100) may include a conveyor unit (110) for transporting the material (10), an alignment unit (130) for aligning the material (10) on the conveyor unit (110) to a preset alignment position, and a control unit (not shown) for controlling the operation of the conveyor unit (110) so that the material (10) stops at the preset preliminary alignment position and controlling the operation of the alignment unit (130) so that the material (10) is aligned to the alignment position.
예를 들면, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성되는 한 쌍의 컨베이어 벨트들(112)과, 상기 컨베이어 벨트들(112)을 회전시키기 위한 모터(114)와, 상기 컨베이어 벨트들(112)이 권취되며 상기 모터에 연결되는 풀리들(116, 118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 컨베이어 벨트들(112)을 회전시키기 위한 구동 풀리들(116)과 종동 풀리들(118)을 포함할 수 있으며, 상기 구동 풀리들(116) 사이는 회전축(120)에 의해 서로 연결될 수 있다. 또한, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 컨베이어 벨트들(112)의 처짐을 방지하기 위한 아이들 풀리들(122)을 포함할 수 있다.For example, the conveyor unit (110) may include a pair of conveyor belts (112) configured to support both sides of the material (10), a motor (114) for rotating the conveyor belts (112), and pulleys (116, 118) around which the conveyor belts (112) are wound and connected to the motor. For example, the conveyor unit (110) may include drive pulleys (116) and driven pulleys (118) for rotating the conveyor belts (112), and the drive pulleys (116) may be connected to each other by a rotation shaft (120). In addition, the conveyor unit (110) may include idle pulleys (122) for preventing sagging of the conveyor belts (112).
상기 정렬 유닛(130)은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재(10)를 수평 이동시켜 상기 정렬 위치에 위치시킬 수 있으며, 일 예로서 스윙 클램프 공압 장치를 사용하여 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 컨베이어 벨트들(112) 사이에서 상기 자재(10)의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더(132)와, 상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재(10)를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재(134)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 자재(10)를 이동시키는 동안 상기 자재(10)의 방향을 일정하게 유지하기 위하여 상기 컨베이어 벨트들(112)에 각각 인접하도록 한 쌍의 정렬 유닛들(130)이 사용될 수 있다. 아울러, 도시된 바에 의하면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 공압 실린더(132)의 신장 방향으로 상기 자재(10)를 밀어서 정렬하고 있으나, 상기와 반대로 상기 공압 실린더(132)의 배치 방향을 반대로 하여 상기 공압 실린더(132)의 수축 방향으로 상기 자재(10)의 정렬이 이루어질 수도 있다.The above alignment unit (130) can horizontally move the material (10) stopped at the preliminary alignment position to position it at the alignment position, and can be configured using a swing clamp pneumatic device as an example. For example, the alignment unit (130) can include a pneumatic cylinder (132) arranged in the movement direction of the material (10) between the conveyor belts (112) and configured to enable linear reciprocating motion and rotational motion of the cylinder rod, and a hand member (134) mounted at an end of the cylinder rod to move the material (10) in the movement direction. In particular, a pair of alignment units (130) can be used so as to be adjacent to each of the conveyor belts (112) in order to keep the direction of the material (10) constant while moving the material (10). In addition, as shown, the alignment unit (130) aligns the material (10) by pushing it in the extension direction of the pneumatic cylinder (132), but in contrast to the above, the alignment of the material (10) may be achieved in the contraction direction of the pneumatic cylinder (132) by reversing the arrangement direction of the pneumatic cylinder (132).
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재(10)를 검출하기 위한 제1 검출 센서(140)와 제2 검출 센서(142)를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들(140, 142)에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재(10)를 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 검출 센서들(140, 142)로는 광 센서들이 사용될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the control unit is arranged in the direction of movement of the material (10) and includes a first detection sensor (140) and a second detection sensor (142) for detecting the material (10), and the conveyor unit (110) can move the material (10) so that the rear portion of the material (10) is sequentially detected by the first and second detection sensors (140, 142). For example, optical sensors can be used as the first and second detection sensors (140, 142).
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.Figures 3 to 5 are schematic plan views for explaining the operation of the transport device illustrated in Figure 1.
도 3을 참조하면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)의 이송을 위해 상기 컨베이어 유닛(110)을 동작시킬 수 있다. 이때, 상기 컨베이어 유닛(110) 상의 자재(10)는 후면이 전방을 향하도록 이동될 수 있다. 아울러, 상기 제어 유닛은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 검출 센서(140)에 의해 상기 자재(10)의 후면 부위가 검출된 후 상기 제2 검출 센서(142)에 의해 상기 자재(10)의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재(10)의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛(110)의 동작을 제어할 수 있다. 상기와 같이 컨베이어 유닛(110)에 의해 이동된 위치가 상기 예비 정렬 위치가 될 수 있으며, 이때 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태는 그대로 유지될 수 있다. 상기와 같은 자재(10)의 검출을 위해 상기 제1 검출 센서(140)와 제2 검출 센서(142)는 상기 자재(10)의 전후 방향 폭보다 좁은 간격으로 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the control unit may operate the conveyor unit (110) to transport the material (10). At this time, the material (10) on the conveyor unit (110) may be moved so that the rear side faces forward. In addition, as shown in FIG. 4, the control unit may control the operation of the conveyor unit (110) so that the movement of the material (10) is stopped when the rear side of the material (10) is detected by the second detection sensor (142) after the rear side of the material (10) is detected by the first detection sensor (140). As described above, the position moved by the conveyor unit (110) may become the preliminary alignment position, and at this time, the detection state of the material (10) by the first detection sensor (140) may be maintained as is. In order to detect the material (10) as described above, the first detection sensor (140) and the second detection sensor (142) may be arranged at a narrower interval than the front-rear width of the material (10).
이어서, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 컨베이어 유닛(110) 상에서 정지된 상기 자재(10)를 상기 자재(10)의 이동 방향으로 수평 이동시킴으로써 상기 자재(10)를 상기 정렬 위치에서 정렬시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재(10)를 상기 이송 방향으로 수평 이동시킬 수 있으며, 상기 제1 검출 센서(140)에 의한 상기 자재(10)의 검출 상태가 해제되는 위치가 상기 정렬 위치일 수 있다.Next, the alignment unit (130) can align the material (10) at the alignment position by horizontally moving the material (10) stopped on the conveyor unit (110) in the movement direction of the material (10). For example, the alignment unit (130) can horizontally move the material (10) in the transport direction until the detection state of the material (10) by the first detection sensor (140) is released, and the position at which the detection state of the material (10) by the first detection sensor (140) is released may be the alignment position.
구체적으로, 상기 정렬 유닛(130)은 상기 공압 실린더(132)의 신장 동작을 통해 상기 핸드 부재(134)를 회전시킬 수 있다. 즉, 상기 자재(10)가 상기 정렬 유닛(130)의 상부를 통과하는 동안 상기 공압 실린더(132)는 후진된 상태일 수 있고 이때 상기 핸드 부재(134)는 수평 상태로 위치될 수 있다. 상기 자재(10)가 상기 정렬 유닛(130)의 상부를 통과한 후 상기 공압 실린더(132)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 핸드 부재(134)를 전진시킬 수 있으며 이때 상기 핸드 부재(134)는 수직 상태가 되도록 회전될 수 있다. 즉, 상기 핸드 부재(134)는 상기 공압 실린더(132)에 의해 상기 자재(10)의 전면과 마주하도록 회전될 수 있으며 이어서 상기 핸드 부재(134)의 전진에 의해 상기 자재(10)가 도 1에 도시된 바와 같이 상기 정렬 위치로 이동될 수 있다. 이때, 상기 정렬 유닛(130)의 동작은 상기 제1 검출 센서(140)의 신호에 기초하여 상기 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다.Specifically, the alignment unit (130) can rotate the hand member (134) through the extension motion of the pneumatic cylinder (132). That is, while the material (10) passes through the upper portion of the alignment unit (130), the pneumatic cylinder (132) can be in a backward state, and at this time, the hand member (134) can be positioned in a horizontal state. After the material (10) passes through the upper portion of the alignment unit (130), the pneumatic cylinder (132) can advance the hand member (134) as shown in FIG. 5, and at this time, the hand member (134) can be rotated to be in a vertical state. That is, the hand member (134) can be rotated by the pneumatic cylinder (132) to face the front surface of the material (10), and then, by the advancement of the hand member (134), the material (10) can be moved to the alignment position as shown in FIG. 1. At this time, the operation of the alignment unit (130) can be controlled by the control unit based on the signal of the first detection sensor (140).
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자재(10)의 크기 즉 상기 용기의 크기가 다른 경우에도 상기 자재(10)의 전면 부위를 기준으로 상기 자재(10)를 정렬할 수 있으며, 이에 따라 여러 종류의 자재들(10)을 이송하는 경우에도 항상 일정한 위치에서 상기 자재들(10)을 정렬할 수 있다.According to one embodiment of the present invention as described above, even when the size of the material (10), i.e. the size of the container, is different, the material (10) can be aligned based on the front portion of the material (10), and accordingly, even when transporting various types of materials (10), the materials (10) can always be aligned at a constant position.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도들이다.Figures 6 and 7 are schematic front views illustrating a transport device according to another embodiment of the present invention.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)를 검출하기 위한 검출 센서(150)를 포함하고, 상기 컨베이어 유닛(110)은 상기 자재(10)의 후면 부위가 상기 검출 센서(150)에 의해 먼저 검출되도록 상기 자재(10)를 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 제어 유닛은 상기 자재(10)가 상기 검출 센서(150)에 의해 검출된 후 계속 이동하여 상기 검출 센서(150)에 의한 검출 상태가 해제되는 경우 상기 자재(10)가 정지되도록 상기 컨베이어 유닛(110)을 제어할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재(10)를 상기 예비 정렬 위치에 위치시킬 수 있다.Referring to FIGS. 6 and 7, according to another embodiment of the present invention, the control unit includes a detection sensor (150) for detecting the material (10), and the conveyor unit (110) can move the material (10) so that the rear portion of the material (10) is first detected by the detection sensor (150). At this time, the control unit can control the conveyor unit (110) so that the material (10) continues to move after being detected by the detection sensor (150), and when the detection state by the detection sensor (150) is released, the material (10) is stopped, thereby positioning the material (10) at the preliminary alignment position.
이때, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 상기 자재(10)의 정렬을 위한 정렬 유닛(160)을 포함할 수 있으며, 상기 정렬 유닛(160)은, 상기 자재(10)를 지지하기 위한 핸드 부재(162)와, 상기 핸드 부재(162) 상에 배치되며 상기 자재(10)의 하부에 구비되는 정렬홈들(12)에 대응하는 정렬핀들(164)과, 상기 핸드 부재(162)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(166)를 포함할 수 있다.At this time, according to another embodiment of the present invention, the transport device (100) may include an alignment unit (160) for aligning the material (10), and the alignment unit (160) may include a hand member (162) for supporting the material (10), alignment pins (164) that are arranged on the hand member (162) and correspond to alignment grooves (12) provided at the lower portion of the material (10), and a vertical driving unit (166) for moving the hand member (162) in a vertical direction.
상기 제어 유닛은 상기 예비 정렬 위치에 위치된 상기 자재(10)가 정렬 위치에 정확하게 위치될 수 있도록 상기 정렬 유닛(160)의 동작을 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 수직 구동부(166)는 상기 핸드 부재(162) 상에 상기 자재(10)가 위치되도록 상기 핸드 부재(162)를 상승시킬 수 있으며, 이때 상기 핸드 부재(162) 상의 정렬핀들(164)이 상기 자재(10)의 정렬홈들(12)에 삽입될 수 있고, 이 과정에서 상기 자재(10)의 위치가 상기 핸드 부재(162) 상에서 정렬될 수 있다. 이어서, 상기 수직 구동부(166)는 상기 정렬된 자재(10)가 상기 컨베이어 유닛(110) 상에 다시 놓여지도록 상기 핸드 부재(162)를 하강시킬 수 있다.The control unit can control the operation of the alignment unit (160) so that the material (10) positioned at the preliminary alignment position can be accurately positioned at the alignment position. Specifically, the vertical driving unit (166) can raise the hand member (162) so that the material (10) is positioned on the hand member (162), and at this time, the alignment pins (164) on the hand member (162) can be inserted into the alignment grooves (12) of the material (10), and in this process, the position of the material (10) can be aligned on the hand member (162). Subsequently, the vertical driving unit (166) can lower the hand member (162) so that the aligned material (10) is placed again on the conveyor unit (110).
종래 기술의 경우 상기 OHT 장치에서 물류 정체가 발생되는 경우 상기 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 타워 리프트로 전달될 수 있으나, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재(10)를 이동시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛(110)을 사용함으로써 상기 OHT 장치의 물류 정체가 발생되는 경우 복수의 자재들(10)을 상기 컨베이어 유닛(110) 상에서 대기하도록 할 수 있으며, 이에 따라 상기 OHT 장치의 물류 정체가 상기 스토커 설비 또는 상기 타워 리프트로 전달되지 않도록 할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재(10)를 상기 예비 정렬 위치에서 정지시킨 후 상기 정렬 유닛(130)을 이용하여 상기 자재(10)를 상기 정렬 위치에 정확하게 위치시킬 수 있으므로, 상기 자재(10)의 전달 과정에서 상기 자재의 정렬 오류에 의한 문제점이 해결될 수 있다.In the case of the prior art, when a logistics congestion occurs in the OHT device, the logistics congestion can be transferred to the stocker facility or the tower lift. However, according to the embodiments of the present invention as described above, by using the conveyor unit (110) to move the material (10), when a logistics congestion occurs in the OHT device, a plurality of materials (10) can be made to wait on the conveyor unit (110), and thus the logistics congestion in the OHT device can be prevented from being transferred to the stocker facility or the tower lift. In addition, according to the embodiments of the present invention, after stopping the material (10) at the preliminary alignment position, the material (10) can be accurately positioned at the alignment position using the alignment unit (130), so that a problem caused by an alignment error of the material during the transfer of the material (10) can be solved.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and changes may be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below.
10 : 자재 12 : 정렬홈
100 : 이송 장치 110 : 컨베이어 유닛
112 : 컨베이어 벨트 114 : 모터
116 : 구동 풀리 118 : 종동 풀리
120 : 회전축 122 : 아이들 풀리
130 : 정렬 유닛 132 : 공압 실린더
134 : 핸드 부재 140 : 제1 검출 센서
142 : 제2 검출 센서 150 : 검출 센서
160 : 정렬 유닛 162 : 핸드 부재
164 : 정렬핀 166 : 수직 구동부10: Material 12: Alignment groove
100: Transport device 110: Conveyor unit
112: Conveyor belt 114: Motor
116: Drive pulley 118: Driven pulley
120: Rotating shaft 122: Idle pulley
130: Alignment unit 132: Pneumatic cylinder
134: Hand member 140: First detection sensor
142: Second detection sensor 150: Detection sensor
160: Alignment unit 162: Hand member
164: Alignment pin 166: Vertical drive unit
Claims (8)
상기 컨베이어 유닛 상의 상기 자재를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하기 위한 정렬 유닛; 및
상기 자재가 기 설정된 예비 정렬 위치에서 정지하도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고 이어서 상기 자재가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함하고,
상기 정렬 유닛은 상기 예비 정렬 위치에서 정지된 상기 자재를 밀어서 상기 정렬 위치에 위치시키고,
상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 양측 부위들을 각각 지지하도록 구성된 한 쌍의 컨베이어 벨트들을 포함하고,
상기 제어 유닛은 상기 자재의 이동 방향으로 배열되며 상기 자재를 검출하기 위한 제1 검출 센서와 제2 검출 센서를 포함하고,
상기 제1 검출 센서와 상기 제2 검출 센서는 상기 자재의 이동 방향 폭보다 좁은 간격으로 배치되고,
상기 정렬 유닛은,
상기 컨베이어 벨트들 사이에서 상기 자재의 이동 방향으로 배치되며 실린더 로드의 직선 왕복 운동과 회전 운동이 가능하도록 구성된 공압 실린더와,
상기 실린더 로드의 단부에 장착되어 상기 자재를 상기 이동 방향으로 이동시키기 위한 핸드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.Conveyor unit for transporting materials;
An alignment unit for aligning the materials on the conveyor unit to a preset alignment position; and
A control unit is included that controls the operation of the conveyor unit so that the material stops at a preset preliminary alignment position and then controls the operation of the alignment unit so that the material is aligned at the alignment position.
The above alignment unit pushes the material stopped at the preliminary alignment position and positions it at the alignment position,
The conveyor unit comprises a pair of conveyor belts configured to support each of the two sides of the material,
The control unit is arranged in the direction of movement of the material and includes a first detection sensor and a second detection sensor for detecting the material,
The first detection sensor and the second detection sensor are arranged at a narrower interval than the width of the direction of movement of the material,
The above sorting unit is,
A pneumatic cylinder arranged in the direction of movement of the material between the conveyor belts and configured to enable linear reciprocating motion and rotational motion of the cylinder rod;
A transport device characterized in that it includes a hand member mounted at the end of the cylinder rod for moving the material in the moving direction.
상기 컨베이어 유닛은 상기 자재의 후면 부위가 상기 제1 및 제2 검출 센서들에 의해 순차적으로 검출되도록 상기 자재를 이동시키며,
상기 제어 유닛은 상기 제1 검출 센서에 의해 상기 자재가 검출된 후 상기 제2 검출 센서에 의해 상기 자재의 후면 부위가 검출되는 경우 상기 자재의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어 유닛의 동작을 제어하고, 상기 제1 검출 센서에 의한 상기 자재의 검출 상태가 해제될 때까지 상기 자재를 밀어서 정렬하도록 상기 정렬 유닛의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.In the first paragraph,
The conveyor unit moves the material so that the rear portion of the material is sequentially detected by the first and second detection sensors,
A transport device characterized in that the control unit controls the operation of the conveyor unit so that movement of the material is stopped when the rear portion of the material is detected by the second detection sensor after the material is detected by the first detection sensor, and controls the operation of the alignment unit so as to push and align the material until the detection state of the material by the first detection sensor is released.
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