KR102824952B1

KR102824952B1 - Laser machining device

Info

Publication number: KR102824952B1
Application number: KR1020190164507A
Authority: KR
Inventors: 김성준; 진성호; 김영배; 설동화; 황민호
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2019-12-11
Filing date: 2019-12-11
Publication date: 2025-06-26
Anticipated expiration: 2039-12-11
Also published as: CN112935533A; CN112935533B; KR20210074436A

Abstract

레이저 가공 장치는 레이저 빔을 생성하는 레이저 발생 유닛, 레이저 빔에 의해 가공되는 대상물이 안착되는 스테이지, 그리고 레이저 발생 유닛과 스테이지 사이에 배치되고 본체 및 본체의 측벽에 배치되고 대상물의 가공에 의해 발생되는 퓸(fume)을 흡입하는 복수의 퓸 흡입관들을 포함하는 흡입 유닛을 포함할 수 있다. 복수의 퓸 흡입관들은 본체로부터 제1 방향에 배치되는 제1 퓸 흡입관 및 본체로부터 제1 방향에 반대되는 제2 방향에 배치되는 제2 퓸 흡입관을 포함할 수 있다. 제1 퓸 흡입관의 개수는 제2 퓸 흡입관의 개수보다 클 수 있다.A laser processing device may include a laser generating unit that generates a laser beam, a stage on which an object to be processed by the laser beam is placed, and a suction unit that is disposed between the laser generating unit and the stage and includes a plurality of fume suction tubes that are disposed on a main body and a side wall of the main body and that suck fume generated by processing the object. The plurality of fume suction tubes may include a first fume suction tube disposed in a first direction from the main body and a second fume suction tube disposed in a second direction opposite to the first direction from the main body. The number of the first fume suction tubes may be greater than the number of the second fume suction tubes.

Description

LASER MACHINING DEVICE

본 발명은 레이저 가공 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser processing device.

유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치 등과 같은 표시 장치를 제조함에 있어서, 대상물을 절단하거나 수리하는 등의 가공 공정이 수행될 수 있다. 이러한 가공 공정은 레이저 가공 장치를 이용하여 수행될 수 있다. 레이저 가공은 레이저 빔을 대상물에 조사하여 물질을 녹이거나 증발시키는 것이다. 레이저 가공 과정에서 미립자인 퓸(fume)이 발생될 수 있다. 이러한 퓸은 인체에 유해할 뿐만 아니라 레이저 가공 장치의 불량을 초래할 수 있다. 따라서, 레이저 가공 과정에서 발생되는 퓸을 효과적으로 제거할 필요가 있다.In manufacturing display devices such as organic light emitting diode displays, liquid crystal displays, etc., a processing process such as cutting or repairing an object may be performed. This processing process may be performed using a laser processing device. Laser processing is to melt or vaporize a material by irradiating a laser beam on an object. During the laser processing process, fine particles called fume may be generated. Such fume is not only harmful to the human body, but may also cause defects in the laser processing device. Therefore, it is necessary to effectively remove fume generated during the laser processing process.

본 발명의 일 목적은 레이저 가공 과정에서 발생되는 퓸을 효과적으로 제거하는 흡입 유닛을 포함하는 레이저 가공 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a laser processing device including a suction unit that effectively removes fume generated during a laser processing process.

다만, 본 발명의 목적이 이와 같은 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the purpose of the present invention is not limited to these purposes, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 실시예들에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 생성하는 레이저 발생 유닛, 상기 레이저 빔에 의해 가공되는 대상물이 안착되는 스테이지, 그리고 상기 레이저 발생 유닛과 상기 스테이지 사이에 배치되고, 본체 및 상기 본체의 측벽에 배치되고 상기 대상물의 가공에 의해 발생되는 퓸(fume)을 흡입하는 복수의 퓸 흡입관들을 포함하는 흡입 유닛을 포함할 수 있다. 상기 복수의 퓸 흡입관들은 상기 본체로부터 제1 방향에 배치되는 제1 퓸 흡입관 및 상기 본체로부터 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향에 배치되는 제2 퓸 흡입관을 포함할 수 있다. 상기 제1 퓸 흡입관의 개수는 상기 제2 퓸 흡입관의 개수보다 클 수 있다.In order to achieve the above-described object of the present invention, a laser processing device according to embodiments may include a laser generating unit that generates a laser beam, a stage on which an object to be processed by the laser beam is placed, and a suction unit disposed between the laser generating unit and the stage, the suction unit including a main body and a plurality of fume suction tubes disposed on a side wall of the main body and sucking fume generated by processing the object. The plurality of fume suction tubes may include a first fume suction tube disposed in a first direction from the main body and a second fume suction tube disposed in a second direction opposite to the first direction from the main body. The number of the first fume suction tubes may be greater than the number of the second fume suction tubes.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 퓸 흡입관의 개수는 세 개일 수 있다.In one embodiment, the number of first fume intake tubes may be three.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 퓸 흡입관은 하부 퓸 흡입관, 상기 하부 퓸 흡입관으로부터 이격되어 상기 하부 퓸 흡입관 상에 배치되는 중부 퓸 흡입관, 그리고 상기 중부 퓸 흡입관으로부터 이격되어 상기 중부 퓸 흡입관 상에 배치되는 상부 퓸 흡입관을 포함할 수 있다.In one embodiment, the first fume suction pipe may include a lower fume suction pipe, a middle fume suction pipe spaced from the lower fume suction pipe and disposed on the lower fume suction pipe, and an upper fume suction pipe spaced from the middle fume suction pipe and disposed on the middle fume suction pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 하부 퓸 흡입관과 상기 중부 퓸 흡입관 사이의 간격은 상기 중부 퓸 흡입관과 상기 상부 퓸 흡입관 사이의 간격보다 작을 수 있다.In one embodiment, the distance between the lower fume suction pipe and the middle fume suction pipe may be smaller than the distance between the middle fume suction pipe and the upper fume suction pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 제2 퓸 흡입관의 높이는 상기 상부 퓸 흡입관의 높이와 실질적으로 같을 수 있다.In one embodiment, the height of the second fume suction pipe may be substantially equal to the height of the upper fume suction pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 제2 퓸 흡입관의 개수는 하나일 수 있다.In one embodiment, the number of second fume intake pipes may be one.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 퓸 흡입관들은 상기 본체로부터 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직하는 제3 방향에 배치되는 제3 퓸 흡입관 및 상기 본체로부터 상기 제3 방향에 반대되는 제4 방향에 배치되는 제4 퓸 흡입관을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the plurality of fume suction pipes may further include a third fume suction pipe arranged in a third direction from the body perpendicular to the first direction and the second direction, and a fourth fume suction pipe arranged in a fourth direction opposite to the third direction from the body.

일 실시예에 있어서, 상기 제3 퓸 흡입관의 개수는 상기 제4 퓸 흡입관의 개수와 같을 수 있다.In one embodiment, the number of the third fume suction tubes may be equal to the number of the fourth fume suction tubes.

일 실시예에 있어서, 상기 제3 퓸 흡입관의 개수 및 상기 제4 퓸 흡입관의 개수 각각은 하나일 수 있다.In one embodiment, the number of the third fume suction pipes and the number of the fourth fume suction pipes can each be one.

일 실시예에 있어서, 상기 제3 퓸 흡입관의 높이는 상기 제4 퓸 흡입관의 높이와 실질적으로 같을 수 있다.In one embodiment, the height of the third fume suction pipe may be substantially equal to the height of the fourth fume suction pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 제3 퓸 흡입관의 높이 및 상기 제4 퓸 흡입관의 높이 각각은 상기 제2 퓸 흡입관의 높이보다 낮을 수 있다.In one embodiment, the height of the third fume suction pipe and the height of the fourth fume suction pipe may each be lower than the height of the second fume suction pipe.

일 실시예에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 본체의 상면을 덮는 커버 및 상기 커버의 상면에 배치되는 복수의 공기 공급 노즐들을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the suction unit may further include a cover covering an upper surface of the main body and a plurality of air supply nozzles arranged on an upper surface of the cover.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 공기 공급 노즐들 각각은 수평 방향으로 연장되는 공기 주입부 및 수직 방향으로 연장되는 공기 분사부를 포함할 수 있다.In one embodiment, each of the plurality of air supply nozzles may include an air injection portion extending in a horizontal direction and an air injection portion extending in a vertical direction.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 공기 공급 노즐들은 균일한 간격으로 배치될 수 있다.In one embodiment, the plurality of air supply nozzles may be arranged at even intervals.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 공기 공급 노즐들에 주입되는 공기의 압력은 약 O KPa 보다 크거나 같고 약 4 KPa 보다 작거나 같을 수 있다.In one embodiment, the pressure of air injected into the plurality of air supply nozzles can be greater than or equal to about 0 KPa and less than or equal to about 4 KPa.

일 실시예에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 본체와 상기 복수의 공기 공급 노즐들 사이에 배치되고 상기 복수의 공기 공급 노즐들로부터 수직 방향으로 분사되는 공기의 방향을 수평 방향으로 전환하는 에어 커튼 형성 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the suction unit may further include an air curtain forming member disposed between the main body and the plurality of air supply nozzles and configured to change the direction of air ejected vertically from the plurality of air supply nozzles to a horizontal direction.

일 실시예에 있어서, 상기 에어 커튼 형성 부재는 U자형 단면 형상을 가질 수 있다.In one embodiment, the air curtain forming member may have a U-shaped cross-sectional shape.

일 실시예에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 본체의 측벽에 배치되고 상기 대상물의 가공에 의해 발생되는 파티클(particle)을 흡입하는 파티클 흡입 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the suction unit may further include a particle suction member disposed on a side wall of the main body and suctioning particles generated by processing the object.

일 실시예에 있어서, 상기 파티클 흡입 부재는 상기 본체로부터 상기 제2 방향에 배치될 수 있다.In one embodiment, the particle suction member can be positioned in the second direction from the main body.

일 실시예에 있어서, 상기 파티클 흡입 부재는 상기 제2 퓸 흡입관 아래에 배치될 수 있다.In one embodiment, the particle suction member can be positioned beneath the second fume suction tube.

본 발명의 실시예들에 따른 레이저 가공 장치의 흡입 유닛이 본체로부터 제1 방향 및 제2 방향에 각각 배치되는 제1 퓸 흡입관 및 제2 퓸 흡입관을 포함하고, 제1 퓸 흡입관의 개수가 제2 퓸 흡입관의 개수보다 큼에 따라, 제1 퓸 흡입관이 위치하는 방향으로 상승 기류가 형성되고 제2 퓸 흡입관이 위치하는 방향으로 하강 기류가 형성되며, 흡입 유닛에 의해 퓸이 효과적으로 제거될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a suction unit of a laser processing device includes first fume suction pipes and second fume suction pipes which are respectively arranged in a first direction and a second direction from a main body, and since the number of the first fume suction pipes is greater than the number of the second fume suction pipes, an ascending airflow is formed in a direction in which the first fume suction pipes are positioned, and a descending airflow is formed in a direction in which the second fume suction pipes are positioned, so that fume can be effectively removed by the suction unit.

다만, 본 발명의 효과가 전술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the effects described above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡입 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 2의 흡입 유닛을 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 2의 흡입 유닛을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 V-V' 선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 4의 VI-VI' 선에 따른 단면도이다.FIG. 1 is a drawing schematically showing a laser processing device according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a front view showing a suction unit according to one embodiment of the present invention.
Figure 3 is a side view showing the suction unit of Figure 2.
Figure 4 is a plan view showing the suction unit of Figure 2.
Figure 5 is a cross-sectional view along line VV' of Figure 4.
Figure 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of Figure 4.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 레이저 가공 장치를 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면들 상의 동일한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, a laser processing device according to embodiments of the present invention will be described in more detail. Identical or similar reference numerals are used for identical components in the attached drawings.

먼저, 도 1을 참조하여 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(10)에 대해 설명한다.First, a laser processing device (10) according to one embodiment will be described with reference to FIG. 1.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(10)를 개략적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a drawing schematically showing a laser processing device (10) according to one embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 레이저 가공 장치(10)는 레이저 발생 유닛(100), 광학 유닛(200), 스테이지(300), 흡입 유닛(400), 집진 유닛(500), 공기 공급 유닛(600), 및 제어 유닛(700)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the laser processing device (10) may include a laser generating unit (100), an optical unit (200), a stage (300), a suction unit (400), a dust collection unit (500), an air supply unit (600), and a control unit (700).

레이저 발생 유닛(100)은 레이저 빔을 생성하여 출사할 수 있다. 레이저 발생 유닛(100)은 이산화탄소 레이저, 엑시머 레이저, 헬륨-네온 레이저 등과 같은 기체 레이저를 포함하거나, 루비 레이저, 유리 레이저, YAG 레이저, YLF 레이저 등과 같은 고체 레이저를 포함할 수 있다.The laser generating unit (100) can generate and emit a laser beam. The laser generating unit (100) can include a gas laser such as a carbon dioxide laser, an excimer laser, a helium-neon laser, or a solid-state laser such as a ruby laser, a glass laser, a YAG laser, a YLF laser, or the like.

광학 유닛(200)은 레이저 빔의 경로에 위치할 수 있다. 광학 유닛(200)은 레이저 빔의 형상을 균질화하는 균질기(homogenizer) 및/또는 레이저 빔을 집광하는 집광 렌즈를 포함할 수 있다. 광학 유닛(200)을 통과한 레이저 빔은 사각형, 원형 등의 소정의 형상을 가질 수 있고, 라인 빔을 형성할 수 있다. 레이저 발생 유닛(100)과 광학 유닛(200)의 상대적인 배치에 따라, 레이저 발생 유닛(100)과 광학 유닛(200) 사이에는 레이저 빔의 방향을 변경하는 미러(mirror)가 배치될 수도 있다.The optical unit (200) may be positioned in the path of the laser beam. The optical unit (200) may include a homogenizer for homogenizing the shape of the laser beam and/or a focusing lens for focusing the laser beam. The laser beam passing through the optical unit (200) may have a predetermined shape, such as a square or a circle, and may form a line beam. Depending on the relative arrangement of the laser generating unit (100) and the optical unit (200), a mirror for changing the direction of the laser beam may be arranged between the laser generating unit (100) and the optical unit (200).

광학 유닛(200)을 통과한 레이저 빔은 스테이지(300) 상에 안착되는 대상물(20)을 향해 조사될 수 있다. 스테이지(300)는 대상물(20)을 지지할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 스테이지(300)는 고정될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 스테이지(300)는 소정의 방향으로 이동하거나 회전할 수도 있다.A laser beam passing through the optical unit (200) can be irradiated toward an object (20) placed on a stage (300). The stage (300) can support the object (20). In one embodiment, the stage (300) can be fixed. In another embodiment, the stage (300) can move or rotate in a predetermined direction.

흡입 유닛(400)은 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 퓸(fume) 및 파티클(particle)을 흡입할 수 있다. 퓸은 레이저 가공 시에 발생되는 분진 등과 같이 흡입 유닛(400) 내부의 기류를 따라 이동하는 기체 형태의 가공 잔여물을 의미하고, 파티클은 레이저 가공 시에 발생되는 금속 입자 등과 같이 흡입 유닛(400) 내부의 기류를 따라 이동하지 않는 고체 형태의 가공 잔여물을 의미할 수 있다. 또한, 흡입 유닛(400)은 레이저 빔의 통로(LP)를 제공할 수 있다.The suction unit (400) can suck in fume and particles generated during laser processing of the object (20). Fume refers to a gaseous processing residue that moves along the airflow inside the suction unit (400), such as dust generated during laser processing, and particles refer to a solid processing residue that does not move along the airflow inside the suction unit (400), such as metal particles generated during laser processing. In addition, the suction unit (400) can provide a path (LP) for the laser beam.

집진 유닛(500)은 흡입 유닛(400)에 의해 흡입된 퓸 및 파티클을 포집할 수 있다. 흡입 유닛(400)과 집진 유닛(500) 사이에는 연결관(C)이 배치되고, 연결관(C)은 대상물(20)의 가공 시에 발생되는 퓸 및 파티클이 이동하는 통로를 제공할 수 있다. 집진 유닛(500)은 흡입 유닛(400)을 통해 제공되는 흡입 압력을 조정하기 위한 구성을 포함할 수 있다. 이러한 구성은 모터, 펌프, 또는 팬(fan)일 수 있고, 집진 유닛(500)과 별개로 제공될 수도 있다. 또한, 집진 유닛(500)은 퓸 및 파티클을 걸러내기 위한 필터를 포함할 수 있다.The dust collection unit (500) can capture fumes and particles sucked by the suction unit (400). A connecting pipe (C) is arranged between the suction unit (400) and the dust collection unit (500), and the connecting pipe (C) can provide a passage through which fumes and particles generated during processing of the object (20) move. The dust collection unit (500) can include a configuration for adjusting the suction pressure provided through the suction unit (400). Such a configuration can be a motor, a pump, or a fan, and can be provided separately from the dust collection unit (500). In addition, the dust collection unit (500) can include a filter for filtering out fumes and particles.

공기 공급 유닛(600)은 레이저 빔의 통로(LP)에 해당하는 흡입 유닛(400) 내부에 하강 기류를 형성하기 위한 공기를 제공할 수 있다. 흡입 유닛(400) 내부의 하강 기류는 흡입 유닛(400)의 흡입 능력을 증가시킬 뿐만 아니라, 퓸이 광학 유닛(200)으로 상승하지 못하게 하여, 퓸에 의해 광학 유닛(200)이 오염되거나 손상되는 것을 방지할 수 있다.The air supply unit (600) can provide air to form a descending airflow inside the suction unit (400) corresponding to the path (LP) of the laser beam. The descending airflow inside the suction unit (400) not only increases the suction capacity of the suction unit (400), but also prevents fumes from rising to the optical unit (200), thereby preventing the optical unit (200) from being contaminated or damaged by the fumes.

제어 유닛(700)은 레이저 발생 유닛(100)에 의해 생성되는 레이저 빔, 집진 유닛(500)에 의해 가해지는 흡입, 공기 공급 유닛(600)에 의해 공급되는 기류 등을 제어할 수 있다. 제어 유닛(700)은 프로세서, 메모리 등을 포함할 수 있다.The control unit (700) can control the laser beam generated by the laser generating unit (100), the suction applied by the dust collecting unit (500), the air flow supplied by the air supply unit (600), etc. The control unit (700) can include a processor, memory, etc.

레이저 가공 장치(10)에 의해 가공되는 대상물(20)은 표시 장치의 표시 패널 또는 기판일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 대상물(20)은 표시 패널이고, 표시 패널의 손상된 부분에 레이저 빔을 조사하여 표시 패널의 손상된 부분을 수리할 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 대상물(20)은 표시 패널이고, 표시 패널의 주변부에 레이저 빔을 조사하여 표시 패널을 미리 정해진 형상으로 절단하거나 표시 패널의 중심부에 레이저 빔을 조사하여 표시 패널에 홀(hole)을 형성할 수 있다.The object (20) to be processed by the laser processing device (10) may be a display panel or a substrate of a display device. In one embodiment, the object (20) is a display panel, and a damaged portion of the display panel may be repaired by irradiating a laser beam to the display panel. In another embodiment, the object (20) is a display panel, and a laser beam may be irradiated to a peripheral portion of the display panel to cut the display panel into a predetermined shape, or a laser beam may be irradiated to a center portion of the display panel to form a hole in the display panel.

지금까지는 도 1을 참조하여 레이저 가공 장치(10)의 전체적인 구성들에 대해 설명하였다. 이하에서는 도 2 내지 도 6을 참조하여 레이저 가공 장치(10)의 흡입 유닛(400)에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 흡입 유닛(400)과 레이저 가공 장치(10)의 다른 구성들과의 관계를 설명하기 위하여 도 1을 참조한다.Up to now, the overall configuration of the laser processing device (10) has been described with reference to FIG. 1. Hereinafter, the suction unit (400) of the laser processing device (10) will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 6. In addition, FIG. 1 is referred to in order to describe the relationship between the suction unit (400) and other configurations of the laser processing device (10).

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡입 유닛(400)을 나타내는 정면도이다. 도 3은 도 2의 흡입 유닛(400)을 나타내는 측면도이다. 도 4는 도 2의 흡입 유닛(400)을 나타내는 평면도이다. 도 5는 도 4의 V-V' 선에 따른 단면도이다. 도 6은 도 4의 VI-VI' 선에 따른 단면도이다.FIG. 2 is a front view showing a suction unit (400) according to one embodiment of the present invention. FIG. 3 is a side view showing the suction unit (400) of FIG. 2. FIG. 4 is a plan view showing the suction unit (400) of FIG. 2. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line V-V' of FIG. 4. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI' of FIG. 4.

도 2, 도 3, 도 4, 도 5, 및 도 6을 참조하면, 흡입 유닛(400)은 본체(410), 커버(420), 복수의 퓸 흡입관들(430), 복수의 공기 공급 노즐들(440), 에어 커튼 형성 부재(450), 및 파티클 흡입 부재(460)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2, 3, 4, 5, and 6, the suction unit (400) may include a main body (410), a cover (420), a plurality of fume suction pipes (430), a plurality of air supply nozzles (440), an air curtain forming member (450), and a particle suction member (460).

본체(410)는 그 상측에 위치하는 광학 유닛(200)을 통해 출사되는 레이저 빔이 그 하측에 위치하는 대상물(20)에 조사될 수 있고, 레이저 빔의 조사에 의한 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 퓸 및 파티클을 효과적으로 흡입할 수 있는 구조를 가질 수 있다. 이를 위해, 본체(410)는 대략적인 원기둥 형상을 가질 수 있다. 또한, 본체(410)는 원기둥 형상 외에 다각형 기둥 형상을 가질 수도 있다. 본체(410)의 내부는 비어있고, 이에 따라, 본체(410)의 내부에는 기류가 형성될 수 있다.The main body (410) may have a structure in which a laser beam emitted through an optical unit (200) located on its upper side can be irradiated to an object (20) located on its lower side, and in which fumes and particles generated during laser processing of the object (20) by irradiation of the laser beam can be effectively sucked in. To this end, the main body (410) may have an approximately cylindrical shape. In addition, the main body (410) may have a polygonal columnar shape in addition to a cylindrical shape. The interior of the main body (410) is empty, and thus, an airflow can be formed inside the main body (410).

커버(420)는 본체(410) 상에 배치될 수 있다. 커버(420)는 본체(410)의 상면(411)을 덮을 수 있다. 커버(420)는 평면상 대략적인 원형 고리 형상을 가질 수 있다. 레이저 빔의 통로(LP)는 평면상 커버(420)에 의해 둘러싸인 부분으로 정의될 수 있다.The cover (420) can be placed on the main body (410). The cover (420) can cover the upper surface (411) of the main body (410). The cover (420) can have a roughly circular ring shape in a plane. The path (LP) of the laser beam can be defined as a portion surrounded by the cover (420) in a plane.

퓸 흡입관들(430)은 본체(410)의 측벽(412)에 배치될 수 있다. 퓸 흡입관들(430)은 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 퓸을 흡입할 수 있다. 퓸 흡입관들(430)은 서로 다른 방향들에 배치되는 제1 퓸 흡입관(431), 제2 퓸 흡입관(432), 제3 퓸 흡입관(433), 및 제4 퓸 흡입관(434)을 포함할 수 있다.Fume suction tubes (430) may be arranged on a side wall (412) of the main body (410). The fume suction tubes (430) may suck fume generated during laser processing of the target object (20). The fume suction tubes (430) may include a first fume suction tube (431), a second fume suction tube (432), a third fume suction tube (433), and a fourth fume suction tube (434) arranged in different directions.

제1 퓸 흡입관(431)은 본체(410)로부터 제1 방향(DR1)에 배치되고, 제2 퓸 흡입관(432)은 본체(410)로부터 제1 방향(DR1)에 반대되는 제2 방향(DR2)에 배치될 수 있다. 다시 말해, 제1 퓸 흡입관(431)과 제2 퓸 흡입관(432)은 본체(410)의 중심부를 사이에 두고 서로 이격할 수 있다.The first fume suction pipe (431) may be arranged in a first direction (DR1) from the main body (410), and the second fume suction pipe (432) may be arranged in a second direction (DR2) opposite to the first direction (DR1) from the main body (410). In other words, the first fume suction pipe (431) and the second fume suction pipe (432) may be spaced apart from each other with the center of the main body (410) interposed therebetween.

제1 퓸 흡입관(431)의 개수는 제2 퓸 흡입관(432)의 개수보다 클 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 퓸 흡입관(431)의 개수는 세 개이고, 제2 퓸 흡입관(432)의 개수는 하나일 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 다른 실시예에 있어서, 제1 퓸 흡입관(431)의 개수는 두 개 또는 네 개 이상일 수도 있다.The number of first fume suction pipes (431) may be greater than the number of second fume suction pipes (432). In one embodiment, the number of first fume suction pipes (431) may be three, and the number of second fume suction pipes (432) may be one. However, the present invention is not limited thereto, and in another embodiment, the number of first fume suction pipes (431) may be two or four or more.

제1 퓸 흡입관(431)은 하부 퓸 흡입관(431a), 중부 퓸 흡입관(431b), 및 상부 퓸 흡입관(431c)을 포함할 수 있다. 중부 퓸 흡입관(431b)은 하부 퓸 흡입관(431a)으로부터 이격되어 하부 퓸 흡입관(431a) 상에 배치될 수 있다. 상부 퓸 흡입관(431c)은 중부 퓸 흡입관(431b)으로부터 이격되어 중부 퓸 흡입관(431b) 상에 배치될 수 있다.The first fume suction pipe (431) may include a lower fume suction pipe (431a), a middle fume suction pipe (431b), and an upper fume suction pipe (431c). The middle fume suction pipe (431b) may be spaced apart from the lower fume suction pipe (431a) and disposed on the lower fume suction pipe (431a). The upper fume suction pipe (431c) may be spaced apart from the middle fume suction pipe (431b) and disposed on the middle fume suction pipe (431b).

제1 퓸 흡입관(431)의 개수가 제2 퓸 흡입관(432)의 개수보다 큰 경우에 본체(410) 내부의 제1 퓸 흡입관(431)이 위치하는 제1 방향(DR1)에서 상승 기류가 형성되고, 본체(410) 내부에서 제1 방향(DR1)으로 이동하여 상승하는 공기(AR)를 따라 퓸이 이동하여 제1 퓸 흡입관(431)에 의해 흡입될 수 있다. 또한, 본체(410) 내부의 제2 퓸 흡입관(432)이 위치하는 제2 방향(DR2)에서 하강 기류가 형성되고, 본체(410) 내부에서 제2 방향(DR2)으로 이동하여 하강하는 공기(AR)를 따라 퓸이 이동하여 제2 퓸 흡입관(432)에 의해 흡입될 수 있다. 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 흡입 유닛(400)의 본체(410) 내부를 전체적으로 순환하는 공기(AR)를 따라 레이저 가공에 의해 대상물(20)의 전면에서 발생되는 퓸이 이동하기 때문에, 대상물(20)의 주변부에서 발생되는 퓸 뿐만 아니라 대상물(20)의 중심부에서 발생되는 퓸이 제1 퓸 흡입관(431) 및 제2 퓸 흡입관(432)에 의해 흡입될 수 있다. 따라서, 퓸에 의해 광학 유닛(200)이 오염되는 것을 방지하고, 흡입 유닛(400)의 교체 주기가 늘어날 수 있다.When the number of first fume suction pipes (431) is greater than the number of second fume suction pipes (432), an upward airflow is formed in the first direction (DR1) in which the first fume suction pipe (431) is located inside the main body (410), and fume moves along the air (AR) rising in the first direction (DR1) inside the main body (410) and can be sucked in by the first fume suction pipe (431). In addition, a downward airflow is formed in the second direction (DR2) in which the second fume suction pipe (432) is located inside the main body (410), and fume moves along the air (AR) falling in the second direction (DR2) inside the main body (410) and can be sucked in by the second fume suction pipe (432). Since the fume generated at the front surface of the target object (20) by laser processing moves along the air (AR) circulating throughout the interior of the main body (410) of the suction unit (400) in the first direction (DR1) and the second direction (DR2), not only the fume generated at the periphery of the target object (20) but also the fume generated at the center of the target object (20) can be sucked in by the first fume suction pipe (431) and the second fume suction pipe (432). Accordingly, the optical unit (200) can be prevented from being contaminated by fume, and the replacement cycle of the suction unit (400) can be increased.

일 실시예에 있어서, 하부 퓸 흡입관(431a)과 중부 퓸 흡입관(431b) 사이의 간격(D1)은 중부 퓸 흡입관(431b)과 상부 퓸 흡입관(431c) 사이의 간격(D2)보다 작을 수 있다. 하부 퓸 흡입관(431a)과 중부 퓸 흡입관(431b) 사이의 간격(D1)이 중부 퓸 흡입관(431b)과 상부 퓸 흡입관(431c) 사이의 간격(D2)보다 작은 경우에 본체(410) 내부의 제1 퓸 흡입관(431)에 좀 더 인접한 부분에서 상승 기류가 형성될 수 있고, 이에 따라, 제1 퓸 흡입관(431)에 의해 흡입되는 퓸의 양이 증가할 수 있다.In one embodiment, the distance (D1) between the lower fume suction pipe (431a) and the central fume suction pipe (431b) may be smaller than the distance (D2) between the central fume suction pipe (431b) and the upper fume suction pipe (431c). When the distance (D1) between the lower fume suction pipe (431a) and the central fume suction pipe (431b) is smaller than the distance (D2) between the central fume suction pipe (431b) and the upper fume suction pipe (431c), an upward airflow may be formed in a portion closer to the first fume suction pipe (431) inside the main body (410), and accordingly, the amount of fume sucked by the first fume suction pipe (431) may increase.

일 실시예에 있어서, 제2 퓸 흡입관(432)의 높이는 상부 퓸 흡입관(431c)의 높이와 실질적으로 같을 수 있다. 다시 말해, 스테이지(300)로부터 제2 퓸 흡입관(432)까지의 거리는 스테이지(300)로부터 상부 퓸 흡입관(431c)까지의 거리와 실질적으로 같을 수 있다.In one embodiment, the height of the second fume suction pipe (432) may be substantially equal to the height of the upper fume suction pipe (431c). In other words, the distance from the stage (300) to the second fume suction pipe (432) may be substantially equal to the distance from the stage (300) to the upper fume suction pipe (431c).

제3 퓸 흡입관(433)은 본체(410)로부터 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 수직하는 제3 방향(DR3)에 배치되고, 제4 퓸 흡입관(434)은 본체(410)로부터 제3 방향(DR3)에 반대되는 제4 방향(DR4)에 배치될 수 있다. 다시 말해, 제3 퓸 흡입관(433)과 제4 퓸 흡입관(434)은 본체(410)의 중심부를 사이에 두고 서로 이격할 수 있다.The third fume suction pipe (433) may be arranged in a third direction (DR3) perpendicular to the first direction (DR1) and the second direction (DR2) from the main body (410), and the fourth fume suction pipe (434) may be arranged in a fourth direction (DR4) opposite to the third direction (DR3) from the main body (410). In other words, the third fume suction pipe (433) and the fourth fume suction pipe (434) may be spaced apart from each other with the center of the main body (410) interposed therebetween.

제3 퓸 흡입관(433)의 개수는 제4 퓸 흡입관(434)의 개수와 같을 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제3 퓸 흡입관(433)의 개수 및 제4 퓸 흡입관(434)의 개수 각각은 하나일 수 있다.The number of third fume suction pipes (433) may be equal to the number of fourth fume suction pipes (434). In one embodiment, each of the number of third fume suction pipes (433) and the number of fourth fume suction pipes (434) may be one.

일 실시예에 있어서, 제3 퓸 흡입관(433)의 높이는 제4 퓸 흡입관(434)의 높이와 실질적으로 같을 수 있다. 다시 말해, 스테이지(300)로부터 제3 퓸 흡입관(433)까지의 거리는 스테이지(300)로부터 제4 퓸 흡입관(434)까지의 거리와 실질적으로 같을 수 있다.In one embodiment, the height of the third fume suction pipe (433) may be substantially equal to the height of the fourth fume suction pipe (434). In other words, the distance from the stage (300) to the third fume suction pipe (433) may be substantially equal to the distance from the stage (300) to the fourth fume suction pipe (434).

일 실시예에 있어서, 제3 퓸 흡입관(433)의 높이 및 제4 퓸 흡입관(434)의 높이 각각은 제2 퓸 흡입관(432)의 높이보다 낮을 수 있다. 예를 들면, 제3 퓸 흡입관(433)의 높이 및 제4 퓸 흡입관(434)의 높이 각각은 중부 퓸 흡입관(431b)의 높이와 실질적으로 같을 수 있다. 이 경우, 제3 퓸 흡입관(433)의 높이 및 제4 퓸 흡입관(434)의 높이 각각은 하부 퓸 흡입관(431a)의 높이보다 높고, 상부 퓸 흡입관(431c)의 높이보다 낮을 수 있다.In one embodiment, the height of the third fume suction pipe (433) and the height of the fourth fume suction pipe (434) may each be lower than the height of the second fume suction pipe (432). For example, the height of the third fume suction pipe (433) and the height of the fourth fume suction pipe (434) may each be substantially equal to the height of the middle fume suction pipe (431b). In this case, the height of the third fume suction pipe (433) and the height of the fourth fume suction pipe (434) may each be higher than the height of the lower fume suction pipe (431a) and lower than the height of the upper fume suction pipe (431c).

제3 퓸 흡입관(433)의 개수가 제4 퓸 흡입관(434)의 개수와 같은 경우에 본체(410) 내부의 제3 퓸 흡입관(433)이 위치하는 제3 방향(DR3) 및 제4 퓸 흡입관(434)이 위치하는 제4 방향(DR4)에서 상승 기류가 형성되고, 본체(410) 내부에서 제3 방향(DR3) 및 제4 방향(DR4)으로 이동하여 상승하는 공기(AR)를 따라 퓸이 이동하여 제3 퓸 흡입관(433) 및 제4 퓸 흡입관(434)에 의해 흡입될 수 있다.When the number of third fume suction pipes (433) is the same as the number of fourth fume suction pipes (434), an upward airflow is formed in the third direction (DR3) where the third fume suction pipe (433) is located inside the main body (410) and in the fourth direction (DR4) where the fourth fume suction pipe (434) is located, and fume moves along the air (AR) rising in the third direction (DR3) and the fourth direction (DR4) inside the main body (410) and can be sucked in by the third fume suction pipe (433) and the fourth fume suction pipe (434).

공기 공급 노즐들(440)은 커버(420)에 배치될 수 있다. 공기 공급 노즐들(440)은 공기 공급 유닛(600)으로부터 공기를 제공받고, 흡입 유닛(400)의 상부로부터 흡입 유닛(400)의 내부를 향해 공기를 분사할 수 있다. 공기 공급 노즐들(440)을 통해 주입되는 공기는 흡입 유닛(400) 내부의 상부에 하강 기류를 형성할 수 있다. 흡입 유닛(400) 내부의 상부의 하강 기류는 퓸이 광학 유닛(200)으로 상승하지 못하게 하여 퓸에 의해 광학 유닛(200)이 오염되거나 손상되는 것을 방지하고, 흡입 유닛(400)의 흡입 능력을 향상시킬 수 있다.Air supply nozzles (440) may be placed on the cover (420). The air supply nozzles (440) may receive air from the air supply unit (600) and spray air from the upper portion of the suction unit (400) toward the interior of the suction unit (400). The air injected through the air supply nozzles (440) may form a descending airflow at the upper portion of the interior of the suction unit (400). The descending airflow at the upper portion of the interior of the suction unit (400) may prevent fume from rising to the optical unit (200), thereby preventing the optical unit (200) from being contaminated or damaged by the fume, and may improve the suction capability of the suction unit (400).

공기 공급 노즐들(440)은 균일한 간격으로 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 커버(420)의 상면(421)에는 6 개의 공기 공급 노즐들(440)이 배치될 수 있고, 인접한 공기 공급 노즐들(440)은 커버(420)의 중심을 기준으로 약 60도의 각도를 이루며 균일한 간격으로 배치될 수 있다.The air supply nozzles (440) may be arranged at even intervals. In one embodiment, six air supply nozzles (440) may be arranged on the upper surface (421) of the cover (420), and adjacent air supply nozzles (440) may be arranged at even intervals at an angle of about 60 degrees with respect to the center of the cover (420).

공기 공급 노즐들(440)은 커버(420)의 상면(421)에 배치될 수 있다. 공기 공급 노즐들(440)이 커버(420)의 측벽에 배치되는 경우와 비교하여, 공기 공급 노즐들(440)이 커버(420)의 상면(421)에 배치됨에 따라 공기 공급 노즐들(440)로부터 분사되는 공기가 흡입 유닛(400) 내부에 균일하게 제공될 수 있다. 공기 공급 노즐들(440)이 커버(420)의 측벽에 배치되는 경우에 공기 공급 노즐들(440)로부터 흡입 유닛(400) 내부로 공기가 수평 방향으로 분사되고, 공기 공급 노즐들(440)이 배치되는 커버(420)의 측벽의 부분과 공기 공급 노즐들(440)이 배치되지 않는 커버(420)의 측벽의 부분 사이에 압력 차이가 발생하기 때문에 흡입 유닛(400) 내부의 상부에 와류(vortex)가 형성될 수 있다. 그러나 공기 공급 노즐들(440)이 커버(420)의 상면(421)에 배치되는 경우에 공기 공급 노즐들(440)로부터 흡입 유닛(400) 내부로 공기가 수직 방향으로 분사되고 공기가 확산되기 때문에 공기 공급 노즐들(440)이 배치되는 커버(420)의 상면(421)의 부분과 공기 공급 노즐들(440)이 배치되지 않는 커버(420)의 상면(421)의 부분 사이에 압력 차이가 발생하지 않고, 흡입 유닛(400) 내부의 상부에 와류가 형성되지 않을 수 있다.The air supply nozzles (440) may be arranged on the upper surface (421) of the cover (420). Compared to the case where the air supply nozzles (440) are arranged on the side wall of the cover (420), when the air supply nozzles (440) are arranged on the upper surface (421) of the cover (420), air sprayed from the air supply nozzles (440) may be uniformly provided inside the suction unit (400). When the air supply nozzles (440) are arranged on the side wall of the cover (420), air is sprayed horizontally from the air supply nozzles (440) into the suction unit (400), and a pressure difference occurs between the portion of the side wall of the cover (420) where the air supply nozzles (440) are arranged and the portion of the side wall of the cover (420) where the air supply nozzles (440) are not arranged, so that a vortex may be formed at the upper portion inside the suction unit (400). However, when the air supply nozzles (440) are arranged on the upper surface (421) of the cover (420), air is vertically sprayed from the air supply nozzles (440) into the inside of the suction unit (400) and the air is diffused, so that no pressure difference occurs between the part of the upper surface (421) of the cover (420) where the air supply nozzles (440) are arranged and the part of the upper surface (421) of the cover (420) where the air supply nozzles (440) are not arranged, and thus a vortex may not be formed in the upper part of the inside of the suction unit (400).

공기 공급 노즐들(440) 각각은 수평 방향으로 연장되는 공기 주입부(441) 및 수직 방향으로 연장되는 공기 분사부(442)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 공기 주입부(441)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 공기 분사부(442)는 흡입 유닛(400)의 커버(420)로부터 흡입 유닛(400)의 본체(410)를 향해 연장될 수 있다. 공기 공급 유닛(600)으로부터 공기 주입부(441)를 통해 공기가 수평 방향으로 주입되고, 공기 분사부(442)를 통해 공기가 흡입 유닛(400)의 내부를 향해 수직 방향으로 분사될 수 있다. 공기 공급 노즐들(440) 각각이 직선 형상을 가지는 경우와 비교하여, 공기 공급 노즐들(440) 각각이 꺾인 형상을 가짐에 따라 공기 공급 노즐들(440)로부터 분사되는 공기의 속도가 일정한 크기 이상으로 증가하는 것을 방지할 수 있다.Each of the air supply nozzles (440) may include an air injection portion (441) extending in a horizontal direction and an air injection portion (442) extending in a vertical direction. For example, the air injection portion (441) may extend in a first direction (DR1) or a second direction (DR2), and the air injection portion (442) may extend from a cover (420) of the suction unit (400) toward the main body (410) of the suction unit (400). Air may be injected horizontally from the air supply unit (600) through the air injection portion (441), and air may be injected vertically toward the interior of the suction unit (400) through the air injection portion (442). Compared to a case where each of the air supply nozzles (440) has a straight shape, since each of the air supply nozzles (440) has a bent shape, the speed of the air injected from the air supply nozzles (440) may be prevented from increasing beyond a certain size.

공기 공급 유닛(600)으로부터 공기 공급 노즐들(440)에 주입되는 공기의 압력은 약 0 KPa 보다 크거나 같고, 약 4 KPa 보다 작거나 같을 수 있다. 공기의 압력이 약 4 KPa 보다 큰 경우에 공기 공급 노즐들(440)로부터 분사되는 공기에 의해 흡입 유닛(400) 내부에 강한 하강 기류가 형성되기 때문에 흡입 유닛(400)의 상부의 압력이 흡입 유닛(400)의 하부의 압력보다 낮아질 수 있고, 이에 따라, 흡입 유닛(400) 내부에 상승 기류가 형성되어 레이저 가공 시에 발생되는 퓸이 흡입 유닛(400)의 상부로 이동할 수 있다.The pressure of the air injected into the air supply nozzles (440) from the air supply unit (600) may be greater than or equal to about 0 KPa and less than or equal to about 4 KPa. When the pressure of the air is greater than about 4 KPa, a strong downward air current is formed inside the suction unit (400) by the air injected from the air supply nozzles (440), so that the pressure at the top of the suction unit (400) may become lower than the pressure at the bottom of the suction unit (400), and accordingly, an upward air current is formed inside the suction unit (400), so that the fume generated during laser processing may move to the top of the suction unit (400).

에어 커튼 형성 부재(450)는 커버(420) 내부의 본체(410)와 공기 공급 노즐들(440) 사이에 배치될 수 있다. 에어 커튼 형성 부재(450)는 공기 공급 노즐들(440)로부터 수직 방향으로 분사되는 공기의 방향을 수평 방향으로 전환하는 역할을 할 수 있다.An air curtain forming member (450) may be placed between the main body (410) and the air supply nozzles (440) inside the cover (420). The air curtain forming member (450) may serve to change the direction of air sprayed vertically from the air supply nozzles (440) to a horizontal direction.

에어 커튼 형성 부재(450)는 평면상 커버(420)의 측벽에 대응하는 대략적인 원형 고리 형상을 가질 수 있다. 또한, 에어 커튼 형성 부재(450)는 상부가 열린 U자형 단면 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 공기 공급 노즐들(440)로부터 에어 커튼 형성 부재(450)를 향해 수직 방향으로 분사되는 공기가 에어 커튼 형성 부재(450) 내에 채워질 수 있고, 에어 커튼 형성 부재(450) 내에 채워진 공기가 수평 방향으로 전환되어 커버(420)의 중심부를 향해 이동하며, 수직 방향으로 하강 기류를 형성할 수 있다. 에어 커튼 형성 부재(450)에 의해 공기 공급 노즐들(440)로부터 분사된 공기의 속도가 감소하고, 이에 따라, 공기 공급 노즐들(440)로부터 분사된 공기가 흡입 유닛(400)의 상부에 에어 커튼을 형성할 수 있다. 에어 커튼은 본체(410) 내부의 기류가 커버(420)를 통해 흡입 유닛(400)의 상부로 이동하는 것을 차단하는 일종의 커튼 역할을 할 수 있다. 이에 따라, 에어 커튼은 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생하는 퓸이 상승 기류를 따라 흡입 유닛(400)의 상부로 이동하는 것을 차단할 수 있다.The air curtain forming member (450) may have a roughly circular ring shape corresponding to the side wall of the flat cover (420). In addition, the air curtain forming member (450) may have a U-shaped cross-sectional shape with an open top. Accordingly, air sprayed vertically from the air supply nozzles (440) toward the air curtain forming member (450) may be filled in the air curtain forming member (450), and the air filled in the air curtain forming member (450) may be converted in a horizontal direction and move toward the center of the cover (420) to form a vertically descending airflow. The speed of the air sprayed from the air supply nozzles (440) is reduced by the air curtain forming member (450), and accordingly, the air sprayed from the air supply nozzles (440) may form an air curtain on the upper portion of the suction unit (400). The air curtain can act as a kind of curtain that blocks the airflow inside the main body (410) from moving to the upper part of the suction unit (400) through the cover (420). Accordingly, the air curtain can block the fume generated during laser processing of the object (20) from moving to the upper part of the suction unit (400) along the rising airflow.

파티클 흡입 부재(460)는 본체(410)의 측벽(412)에 배치될 수 있다. 파티클 흡입 부재(460)는 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 파티클을 흡입할 수 있다.A particle suction member (460) can be placed on a side wall (412) of the main body (410). The particle suction member (460) can suck up particles generated during laser processing of the target object (20).

일 실시예에 있어서, 파티클 흡입 부재(460)는 본체(410)로부터 제2 방향(DR2)에 배치될 수 있다. 예를 들면, 파티클 흡입 부재(460)는 제2 퓸 흡입관(432) 아래에 배치될 수 있다.In one embodiment, the particle suction member (460) may be positioned in the second direction (DR2) from the main body (410). For example, the particle suction member (460) may be positioned below the second fume suction pipe (432).

일 실시예에 있어서, 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 퓸과 파티클은 각각 퓸 흡입관들(430) 및 파티클 흡입 부재(460)에 의해 실질적으로 동시에 흡입될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 대상물(20)의 레이저 가공 시에 발생되는 퓸과 파티클은 각각 퓸 흡입관들(430) 및 파티클 흡입 부재(460)에 의해 개별적으로 흡입될 수 있다. 예를 들면, 퓸 흡입관들(430)을 통해 퓸을 흡입한 후에 파티클 흡입 부재(460)를 통해 파티클을 흡입할 수 있다.In one embodiment, fume and particles generated during laser processing of the object (20) may be substantially simultaneously sucked by the fume suction tubes (430) and the particle suction member (460), respectively. In another embodiment, fume and particles generated during laser processing of the object (20) may be individually sucked by the fume suction tubes (430) and the particle suction member (460), respectively. For example, the fume may be sucked through the fume suction tubes (430) and then the particles may be sucked through the particle suction member (460).

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 레이저 가공 장치는 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어 등에 포함되는 표시 장치의 제조 공정에 적용될 수 있다.The laser processing device according to exemplary embodiments of the present invention can be applied to a manufacturing process of a display device included in a computer, a laptop, a mobile phone, a smart phone, a smart pad, a PMP, a PDA, an MP3 player, and the like.

이상, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 레이저 가공 장치에 대하여 도면들을 참조하여 설명하였지만, 설시한 실시예들은 예시적인 것으로서 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.Above, although the laser processing device according to exemplary embodiments of the present invention has been described with reference to the drawings, the described embodiments are exemplary and may be modified and changed by a person skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention as described in the claims below.

10: 레이저 가공 장치 20: 대상물
100: 레이저 발생 유닛 300: 스테이지
400: 흡입 유닛 410: 본체
420: 커버 430: 퓸 흡입관들
431: 제1 퓸 흡입관 431a: 하부 퓸 흡입관
431b: 중부 퓸 흡입관 431c: 상부 퓸 흡입관
432: 제2 퓸 흡입관 433: 제3 퓸 흡입관
434: 제4 퓸 흡입관 440: 공기 공급 노즐들
450: 에어 커튼 형성 부재 460: 파티클 흡입 부재10: Laser processing device 20: Object
100: Laser generating unit 300: Stage
400: Suction unit 410: Body
420: Cover 430: Fume suction tubes
431: First fume intake pipe 431a: Lower fume intake pipe
431b: Central fume intake pipe 431c: Upper fume intake pipe
432: Second fume intake pipe 433: Third fume intake pipe
434: 4th fume intake pipe 440: Air supply nozzles
450: Air curtain forming member 460: Particle suction member

Claims

A laser generating unit that generates a laser beam;
A stage on which an object to be processed by the laser beam is placed; and
A suction unit is disposed between the laser generating unit and the stage, and includes a plurality of fume suction tubes disposed on the main body and the side walls of the main body and for sucking fume generated by processing the target object.
The above plurality of fume suction pipes,
A first fume suction pipe arranged in a first direction from the above main body;
A second fume suction pipe arranged in a second direction opposite to the first direction from the above main body;
A third fume suction pipe arranged in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction from the main body; and
A fourth fume suction pipe is included, which is arranged in a fourth direction opposite to the third direction from the above main body,
A laser processing device, wherein the number of the first fume suction tubes is greater than the number of the second fume suction tubes.

In the first paragraph,
The number of the first fume suction tubes is three, laser processing device.

In the first paragraph,
The above first fume suction pipe is,
Lower fume intake pipe;
A central fume suction pipe spaced apart from the lower fume suction pipe and positioned above the lower fume suction pipe; and
A laser processing device comprising an upper fume suction tube disposed above the central fume suction tube and spaced apart from the central fume suction tube.

In the third paragraph,
A laser processing device, wherein the gap between the lower fume suction pipe and the middle fume suction pipe is smaller than the gap between the middle fume suction pipe and the upper fume suction pipe.

In the third paragraph,
A laser processing device wherein the height of the second fume suction pipe is the same as the height of the upper fume suction pipe.

In the first paragraph,
A laser processing device, wherein the number of the second fume suction tubes is one.

delete

In the first paragraph,
A laser processing device, wherein the number of the third fume suction tubes is the same as the number of the fourth fume suction tubes.

In the first paragraph,
A laser processing device, wherein each of the number of the third fume suction tubes and the number of the fourth fume suction tubes is one.

In the first paragraph,
A laser processing device wherein the height of the third fume suction pipe is the same as the height of the fourth fume suction pipe.

In the first paragraph,
A laser processing device, wherein the height of the third fume suction pipe and the height of the fourth fume suction pipe are each lower than the height of the second fume suction pipe.

In the first paragraph,
The above suction unit,
A cover covering the upper surface of the above main body; and
A laser processing device further comprising a plurality of air supply nozzles arranged on the upper surface of the cover.

In Article 12,
Each of the above plurality of air supply nozzles,
an air inlet extending horizontally; and
A laser processing device comprising an air jet extending in a vertical direction.

In Article 12,
A laser processing device, wherein the plurality of air supply nozzles are arranged at equal intervals.

In Article 12,
A laser processing device, wherein the pressure of air injected into the plurality of air supply nozzles is greater than or equal to O KPa and less than or equal to 4 KPa.

In Article 12,
A laser processing device, wherein the suction unit further includes an air curtain forming member disposed between the main body and the plurality of air supply nozzles and converting the direction of air sprayed in a vertical direction from the plurality of air supply nozzles to a horizontal direction.

In Article 16,
A laser processing device, wherein the air curtain forming member has a U-shaped cross-sectional shape.

In the first paragraph,
A laser processing device, wherein the suction unit further includes a particle suction member that is arranged on a side wall of the main body and sucks in particles generated by processing the target object.

In Article 18,
A laser processing device, wherein the particle suction member is arranged in the second direction from the main body.

In Article 19,
A laser processing device, wherein the particle suction member is positioned below the second fume suction tube.