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KR102812189B1 - 기판 처리 장치 및 기판 수납 용기 보관 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 수납 용기 보관 방법 Download PDF

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KR102812189B1 KR1020200142394A KR20200142394A KR102812189B1 KR 102812189 B1 KR102812189 B1 KR 102812189B1 KR 1020200142394 A KR1020200142394 A KR 1020200142394A KR 20200142394 A KR20200142394 A KR 20200142394A KR 102812189 B1 KR102812189 B1 KR 102812189B1
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판을 수납한 기판 처리 용기를 일시적으로 대기시키는 보관부에, 종래보다 많은 기판 수납 용기를 보관한다. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판 처리 장치에 있어서 처리되는 기판을 수납하는 기판 수납 용기를 배치하는 기판 수납 용기 배치부와, 상기 기판 수납 용기 배치부에 근접하여 배치되어, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 보관 영역을 가지고, 상기 보관 영역은, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 가지고, 최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기가 전달 가능하며, 상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 수납 용기 보관 방법 {SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE RECEPTACLE STORAGE METHOD}
본 개시는 기판 처리 장치 및 기판 수납 용기 보관 방법에 관한 것이다.
특허 문헌 1에는, 기판의 처리 시스템으로서, 당해 기판의 처리 시스템에 반입되는 복수의 카세트를 대기시키는 카세트 대기 블록이, 기판의 처리 시스템에 대한 반입반출 블록에 인접하여 마련되는 구성이 개시되어 있다.
일본특허공개공보 2009-010287호
본 개시에 따른 기술은, 기판을 수납한 기판 처리 용기를 일시적으로 대기시키는 보관부에, 종래보다 많은 기판 수납 용기를 보관한다.
본 개시의 일태양은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판 처리 장치에 있어서 처리되는 기판을 수납하는 기판 수납 용기를 배치하는 기판 수납 용기 배치부와, 상기 기판 수납 용기 배치부에 근접하여 배치되어, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 보관 영역을 가지고, 상기 보관 영역은, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 가지고, 최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기가 전달 가능하며, 상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관한다.
본 개시에 따르면, 기판을 수납한 기판 처리 용기를 일시적으로 대기시키는 보관부에, 종래보다 많은 기판 수납 용기를 보관할 수 있다.
도 1은 실시의 형태에 따른 웨이퍼 처리 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 웨이퍼 처리 장치에 있어서의 반입반출부 주위의 사시도이다.
도 3은 도 1의 웨이퍼 처리 장치에 있어서의 최상부의 보관부의 사시도이다.
도 4는 도 1의 웨이퍼 처리 장치의 정면도이다.
도 5는 도 1의 웨이퍼 처리 장치에 있어서의 이동 배치 장치의 사시도이다.
도 6은 도 1의 웨이퍼 처리 장치에 있어서의 최상부의 선반판 상에 배치된 카세트의 보관 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 최상부의 선반판에 배치된 카세트 중 하나를 취출한 상태를 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 7에 나타낸 최상부의 선반판으로부터 취출한 카세트의 방향을 바꾼 모습을 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 8에 나타낸 방향을 바꾼 카세트를 중단의 선반판에 배치하는 모습을 나타내는 평면도이다.
먼저, 특허 문헌 1에 개시되어 있는 종래의 기판(이하, '웨이퍼'라고 함)의 처리 시스템의 구성에 대하여 설명한다. 특허 문헌 1에 개시된 처리 시스템에는, 처리 시스템의 반입반출 블록에 인접하여, 당해 반입반출 블록에 반입반출되는 복수의 카세트를 수용하여 대기시키는 스토커로서의 카세트 보관고가 마련되어 있다. 카세트 보관고는 통상, 분위기 제어를 행하기 위한 케이싱으로 덮여 있고, 당해 케이싱의 천장 면에는 카세트의 반입반출구가 형성되어 있다. 또한 카세트 보관고의 상방에는, 장치 간에서 카세트를 반송하는 천장 주행차의 궤도가 설치되어 있고, 장치 간 카세트 반송 장치는, 상기 반입반출구를 거쳐, 상방으로부터 카세트 대기 블록에 대하여 카세트를 반입반출할 수 있도록 구성되어 있다.
상술한 바와 같이, 일반적으로 FEX(Foup Exchanger)라고 호칭되는 카세트 대기 블록은, 기판 처리 장치에서 처리되는 복수 매, 예를 들면 25 매의 웨이퍼가 수용된 기판 수납 용기로서의 카세트(Foup)를 일시적으로 복수 저장하기 위한 장치이다. 당해 FEX의 내부에는, 복수 예를 들면 10 개 정도의 카세트가 저장된다. 이와 같이 FEX는, 처리 시스템에 반입반출되는 카세트를 일시적으로 저장하는 기능을 가지기 때문에, 일반적으로 처리 시스템의 반입반출 블록에 인접하여, 즉 예를 들면 특허 문헌 1에 있어서 기판의 처리 시스템에 있어서의 반입반출 블록의 전면(前面)측에 마련된다.
그러나, FEX가 복수의 카세트를 저장하는 경우, 모든 카세트는 그 전면측, 즉 웨이퍼를 출입하는 측이, 통상 기판 처리 장치의 반입반출 블록측을 향해 나란히 보관되어 있다. 이러한 경우, FEX에 의해 많은 카세트를 보관하고자 하면, FEX의 규모를 크게 하지 않을 수 없었다.
따라서, 본 개시에 따른 기술의 일태양은, 카세트를 보관하는 보관 영역에 종래보다 많은 기판 수납 용기를 보관한다.
이하, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치로서의 웨이퍼 처리 장치의 구성에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 본 명세서에서 실질적으로 동일한 기능 구성을 가지는 요소에 있어서는, 동일한 부호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.
웨이퍼 처리 장치(1)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 복수 매의 기판인 웨이퍼를 수납한 FOUP 등의 기판 수납 용기(이하, '카세트'라고 함)의 반입반출부로서의 반입반출 스테이션(10)과, 웨이퍼(W)에 정해진 처리를 실시하는 복수의 각종 처리 장치(도시하지 않음)를 구비한 처리부로서의 처리 스테이션(20)을 일체로 접속한 구성을 가지고 있다.
반입반출 스테이션(10)은 카세트 블록(11)과, 카세트 블록(11)과 접속되어, 처리 스테이션(20)과의 사이에서 웨이퍼의 중계를 행하는 반입반출부로서의 반입반출 블록(12)을 가지고 있다. 카세트 블록(11)은 로드 포트라고도 호칭되는 카세트 배치대(13)('기판 수납 용기 배치부'의 일 실시예)를 가지고 있으며, 카세트 배치대(13)는 복수, 예를 들면 도시의 예에서는 4 대의 카세트(30)가 Y 방향으로 일렬로 정렬하여 배치 가능하다.
반입반출 블록(12) 내에는, 카세트 배치대(13) 상에 배치된 카세트(C) 내의 미처리의 웨이퍼를 취출하여 처리 스테이션(20)측으로 반송하고, 또한 처리 스테이션(20)에 있어서 처리된 웨이퍼를 카세트 배치대(13) 상의 카세트(30) 내로 반송하는 반송 암(14)을 가지고 있다. 반입반출 블록(12)은 처리 스테이션(20)보다 높이가 낮게 되어 있고, 카세트 배치대(13)는 반입반출 블록(12)보다 더 높이가 낮게 설정되어 있다.
반입반출 블록(12)의 상측에는, 보관 영역으로서의 카세트 보관 영역(40)이 마련되어 있다. 카세트 보관 영역(40)은 카세트(30)를 상하 3 단의 보관부에 보관하도록 구성되어 있고, 최하단의 보관부(12a)는 반입반출 블록(12)의 상면에 마련되어 있다. 또한 중단의 보관부는 선반판(41) 상에 설정되고, 최상단의 보관부는 선반판(42) 상에 설정되어 있다. 이들 선반판(41, 42)은 예를 들면 처리 스테이션(20)의 전면측의 벽체(20a)에 지지되어 있다.
카세트 배치대(13)의 상방에는, 예를 들면 Y 방향으로 연장되는 반송로(R0)를 따라 이동 가능한 천장 주행차로서의 OHT(Overhead Hoist Transport)가 마련되어 있다. OHT는 웨이퍼 처리 장치(1)의 외부에 마련된 다른 웨이퍼 처리 장치와의 사이에서 카세트(30)를 유지하여 반송할 수 있고, 하강함으로써 상방으로부터 후술의 선반판(42)의 배치판(42a)에 대하여 카세트(30)를 전달하는 것이 가능하다. 카세트(30)는 도 2에도 나타난 바와 같이, 웨이퍼를 출입하는 전면부(31)와, 상면에 마련된 평면으로 봤을 때 정방형(正方形)인 판 형상의 계지부(32)를 가지고 있으며, OHT는 카세트(30)의 전면부(31)를 웨이퍼 처리 장치(1)의 처리 스테이션(20)측을 향한 상태로, 계지부(32)를 유지하여, 반송로(R0)를 이동한다.
최상단의 보관부가 되는 선반판(42)은, 도 3에도 나타낸 바와 같이, 4 대의 카세트(30)를 Y 방향으로 정렬해 배치하여 보관할 수 있다. 그리고 각 카세트(30)는, 선반판(42)에 마련된 배치판(42a) 상에 배치된다. 기판 지지부가 되는 각 배치판(42a)에는, 카세트(30)의 하면을 직접 지지하는 지지 부재(42b)가 마련되어 있다. 그리고 배치판(42a)은, 도 3에 나타낸 바와 같이 X 방향으로 슬라이드 가능하며, X 방향 부방향으로 이동함으로써, 카세트 배치대(13)의 상방의 위치에 있어서 상기한 OHT가 유지하고 있는 카세트(30)를 수취 가능하며, 또한 배치판(42a) 상의 카세트(30)를 OHT가 수취 가능하다.
이와 같이, 최상단의 보관부가 되는 선반판(42)은 카세트(30)를, 카세트 배치대(13)와 마찬가지로, 카세트(30)의 전면부(31)를 처리 스테이션(20)측을 향해 나란히 정렬 배치한다.
한편, 반입반출 블록(12)의 상면에 마련되어 있는 최하단의 보관부(12a)와, 중단의 보관부가 되는 선반판(41)은, 도 2, 도 4에 나타낸 바와 같이, 최상단의 선반판(42)에 배치되는 카세트(30)와는 상이한 방향, 즉 전면부(31)를 모두, Y 방향 부방향을 향해 카세트(30)를 배치하여 보관한다.
선반판(41), 보관부(12a)의 Y 방향의 길이는 최상단의 선반판(42)과 동일한 길이이지만, 이 종류의 카세트(30)는, 폭의 길이보다 깊이의 길이가 짧으므로, 전면부(31)를 Y 방향 부방향을 향해 정렬하여 배치함으로써, 최상부의 선반판(42)에 배치, 보관하는 경우보다 많은 카세트(30)를 배치하여, 보관할 수 있다. 도시의 예에서는, 선반판(41), 보관부(12a)에는 5 대의 카세트(30)를 배치하여 보관하는 것이 가능하게 되어 있다. 따라서, 선반판(41), 보관부(12a)에 배치하는 카세트(30)를, 최상단의 선반판(42)에 배치하는 카세트(30)와 동일하도록, 그 전면부(31)를 처리 스테이션(20)측을 향하는 경우보다, 보다 많은 카세트(30)를 보관하는 것이 가능하다.
이러한 경우, 상기한 바와 같이, OHT로부터 수취한 카세트(30)는, 최상단의 선반판(42)에서는, 전면부(31)를 처리 스테이션(20)측을 향해 배치되어 있으므로, 카세트(30)의 방향을 바꾸어, 선반판(41), 보관부(12a)에 이동 배치할 필요가 있다.
본 실시의 형태에서는, 도 5에 나타낸 이동 배치 장치 지지 기구(50), 이동 배치 장치(60)로 이러한 기능을 실현하고 있다. 즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이동 배치 장치 지지 기구(50)는, 예를 들면 카세트 배치대(13)의 양측에 지지 기둥(51, 52)을 가지고 있다. 지지 기둥(51, 52)의 사이에는 이동 배치 장치 지지 부재(53)가 전달되어 있다. 이 이동 배치 장치 지지 부재(53)는 적절한 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 지지 기둥(51, 52)을 따라 Z 방향으로 상하동 가능하다.
이동 배치 장치(60)는 그 기부(基部)(61)가, 이동 배치 장치 지지 부재(53)의 긴 방향, 즉 Y 방향으로 적절한 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 이동 가능하다. 기부(61)에는, 그리고 적절한 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 X 방향으로 이동 가능한 슬라이드체(62)가 마련되어 있다. 그리고 이 슬라이드체(62)의 하면측에는, 유지부(63)가 적절한 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 회전 가능하게 마련되어 있다. 실시의 형태에 따른 유지부(63)는, 카세트(30)의 상면에 마련된 계지부(32)를 양측으로부터 안도록 하여 계지부(32)를 유지하는 구성을 가지고 있다.
보다 상술하면, 예를 들면 도 5에 나타낸 상태로부터, X 방향 정방향으로 슬라이드체(62)가 이동함으로써, 카세트(30)의 계지부(32)는 유지부(63)에 의해 유지된다. 그리고 예를 들면 X 방향 부방향으로 슬라이드체(62)가 퇴피하고, 회전 기구에 의해 유지부(63)를 회전시킴으로써, 유지한 카세트(30)의 방향을 바꿀 수 있다. 실시의 형태에서는 360도 임의의 방향으로 카세트(30)의 방향을 바꿀 수 있다.
이상의 구성으로부터, 이동 배치 장치(60)는 삼차원 이동 가능하며, 또한 유지한 카세트(30)를, 유지한 위치를 중심으로 적어도 수평 방향으로 90도 회전시키는 것이 가능하다.
이러한 구성을 가지는 이동 배치 장치(60)를 가지는 실시의 형태에 있어서의 카세트(30)의 이동 배치 순서의 일례를 다음에 설명한다.
먼저 기술한 바와 같이, 최상단의 보관부인 선반판(42)의 배치판(42a)이, 도 3에 나타낸 바와 같이, X 방향 부방향으로 슬라이드하여 수취 위치에서 대기한다. 이어서 OHT가 유지하고 있는 카세트(30)는, 그대로 하강하여 배치판(42a)에 배치된다. 카세트(30)를 배치한 배치판(42a)은, X 방향 정방향으로 슬라이드하여 선반판(42)의 정해진 위치로 돌아온다. 예를 들면 선반판(42) 상에 4 대의 카세트(30)가 배치된 상태를, 도 6의 평면도로 나타냈다.
이 후, 이동 배치 장치(60)가 도 5에 나타낸 바와 같이, 카세트(30)를 취출하는 위치로 이동하고, X 방향 정방향으로 슬라이드체(62)를 이동시켜, 카세트(30)의 계지부(32)를 유지한다. 그 상태에서 이동 배치 장치(60)를 일단 상승시키고, 이어서 X 방향 부방향으로 슬라이드체(62)를 이동시켜, 도 7에 나타낸 바와 같이, 카세트(30)를 선반판(42)으로부터 퇴피시킨다.
이 후 회전 기구에 의해 유지부(63)를 회전시킴으로써, 도 8에 나타낸 바와 같이, 유지한 카세트(30)의 방향을 바꿀 수 있다. 도 8의 예에서는, 카세트(30)의 전면부(31)를 90도 시계 방향으로 회전시키고 있다.
이 상태에서, 카세트(30)의 방향을 바꾸어 배치하는 선반판(41), 혹은 보관부(12a)의 높이보다 조금 높은 위치로 설정되어 있는 위치로 이동 배치 장치(60)를 Z 방향으로 이동시키고, 또한 기부(61)를 Y 방향으로 이동시켜, 도 9에 나타낸 바와 같이, 선반판(41), 혹은 보관부(12a)에 배치하는 위치로 이동시킨다. 도 9의 예에서는, 중단의 선반판(41)에 배치시키고자 하고 있다. 또한 이러한 이동 배치 장치(60)의 Z 방향, Y 방향의 이동은 동시에 행해도 된다.
이 후, 이동 배치 장치(60)의 슬라이드체(62)를 선반판(41)측으로 이동시켜, 유지한 카세트(30)를 선반판(41)의 정해진 배치판(41a)의 지지 부재(41b) 상으로 이동시킨다. 이어서 이동 배치 장치(60)를 하강시켜, 카세트(30)를 상기 정해진 위치의 지지 부재(41b) 상에 배치하면, 슬라이드체(62)를 퇴피시킨다.
이러한 이동 배치 장치(60)의 이동에 의해, 카세트(30)를 그 방향을 바꾸어, 선반판(41) 또는 보관부(12a) 상에 정렬하여 배치, 보관시킬 수 있다.
기술한 바와 같이, 선반판(41), 보관부(12a) 상에 최상단의 선반판(42)과는 방향을 바꾸어 카세트(30)를 배치함으로써, 종래보다 많은 카세트(30)를 카세트 보관 영역(40)에 보관할 수 있다.
또한 그와 같이 하여 방향을 바꾸어 배치한, 즉 도 2에 나타낸 바와 같이, 카세트(30)의 전면부(31)를, Y 방향 부방향을 향해 배치한 카세트(30)를, 카세트 배치대(13)로 방향을 바꾸어 배치함에 있어서는, 상기한 순서와는 반대의 순서로 이동 배치 장치(60)를 이동시키면 된다. 즉, 선반판(41)에 배치되어 있는 카세트(30)에 대하여 슬라이드체(62)를 전진시켜 유지부(63)로 카세트(30)의 계지부(32)를 유지하고, 이 후 일단 이동 배치 장치(60)를 상승시킨 후 퇴피시키고, 그 후에 유지부(63)를 반시계 방향으로 회전시켜, 유지한 카세트(30)의 전면부(31)를 처리 스테이션(20)측을 향하게 한다. 그리고 그대로 카세트 배치대(13) 상의 정해진 위치에 카세트(30)를 배치하면 된다. 최상단의 선반판(42)에 이동 배치하는 경우도 이와 동일한 순서가 된다.
이동 배치 장치(60)는 이상에 나타낸 구성에 한정되지 않고, 삼차원 이동이 가능하며, 또한 유지한 카세트(30)를 수평 방향으로 90도 이상 회전시키는 구성을 가지는 것이면, 적용 가능하다.
또한 상기한 실시의 형태에서는, 카세트 보관 영역(40)은 반입반출 블록(12)의 상측에 마련되어 있으므로, 웨이퍼 처리 장치(1)의 바닥 전유 면적을 증대시키지 않고, 일시 대기시키는 카세트(30)를 대량으로 배치, 보관하는 것이 가능하다.
또한 반입반출 블록(12) 내에는 상기한 바와 같이, 반송 암(14)이 마련되어 있는데, 반입반출 블록(12)은 통상, 기밀하게 폐쇄되어 있는 구획이기 때문에, 반입반출 블록(12)의 상측에 설정된 카세트 보관 영역(40)과 반입반출 블록(12) 내와의 사이에서 먼지 및 파티클이 통류하지 않는다.
또한 카세트 보관 영역(40) 자체를 청정한 분위기로 유지하기 위해서는, 예를 들면 이동 배치 장치 지지 기구(50), 이동 배치 장치(60), 카세트 보관 영역(40) 전체를 패널 등으로 덮어, OHT와 최상단의 선반판(42)과의 사이에서 카세트(30)를 전달하는 부분만 OHT, 카세트(30)가 통과 가능한 개구를 형성하거나, 혹은 또한 당해 개구 자체를 개폐 가능한 셔터를 마련하면 된다.
또한 더 많은 카세트(30)를 보관하는 경우에는, 예를 들면 이동 배치 장치 지지 기구(50), 이동 배치 장치(60)를 사이에 두고 처리 스테이션(20)과 반대측(X 방향 부방향)에, 카세트 보관 영역(40)과 동일한 다른 보관 영역을 마련해도 된다. 이 경우도, 다른 보관 영역에는 카세트 보관 영역(40)과 마찬가지로, 카세트(30)를 그 방향을 바꾸어 배치, 보관하는 선반판 등을 상하 다단으로 마련하면, 매우 많은 카세트(30)를 수용, 보관하는 것이 가능하다. 이 경우, 상기한 바와 같이 이동 배치 장치(60)의 슬라이드체(62)는 X 방향으로 이동 가능하기 때문에, 당해 다른 보관 영역에 보관한 카세트 및 선반판 등에 액세스하는 것이 가능하다.
이상, 금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시로 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 상기의 실시 형태는 첨부한 청구의 범위 및 그 주지를 일탈하지 않고, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
또한, 이하와 같은 구성도 본 개시의 기술적 범위에 속한다.
(1) 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
상기 기판 처리 장치에 있어서 처리되는 기판을 수납하는 기판 수납 용기를 배치하는 기판 수납 용기 배치부와, 상기 기판 수납 용기 배치부에 근접하여 배치되어, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 보관 영역을 가지고, 상기 보관 영역은, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 가지고, 최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기가 전달 가능하며, 상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관하는, 기판 처리 장치.
(2) 상기 기판 수납 용기 배치부 상의 기판 수납 용기와, 상기 기판 처리 장치의 처리부측과의 사이에서 상기 기판을 반입반출하는 반입반출부를 가지고, 상기 보관 영역은, 상기 반입반출부의 상측에 마련되어 있는, (1)에 기재된 기판 처리 장치.
(3) 상기 최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 수납 용기 배치부의 상방에서 상기 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기를 전달하는 위치와, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 위치와의 사이에서 이동 가능한, 기판 지지부를 구비하고 있는, (1) 또는 (2) 중 어느 하나에 기재된 기판 처리 장치.
(4) 상기 반입반출부 내에는, 상기 기판 수납 용기 배치부 상의 기판 수납 용기와, 상기 기판 처리 장치의 처리부측과의 사이에서 상기 기판을 반입반출하는 반송 암을 가지고,
상기 반입반출부는, 상기 보관 영역과는 기밀하게 구획되어 있는, (2) 또는 (3) 중 어느 하나에 기재된 기판 처리 장치.
(5) 최상부에 위치하는 보관부와, 상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부와, 상기 기판 수납 용기 배치부와의 사이에서, 상기 기판 수납 용기를 이동 배치 가능한 이동 배치 장치를 가지고,
상기 이동 배치 장치는, 상기 기판 수납 용기를 유지한 상태에서, 수평 방향으로 방향을 바꾸는 기구를 구비하고 있는, (1) ~ (4) 중 어느 하나에 기재된 기판 처리 장치.
(6) 상기 이동 배치 장치는 삼차원 이동 가능하며, 유지한 기판 수납 용기를 유지한 위치를 중심으로 적어도 수평 방향으로 90도 회전시키는 회전 기구를 가지는, (5)에 기재된 기판 처리 장치.
(7) 상기 기판 수납 용기 배치부를 사이에 두고 상기 보관 영역과 대향하는 위치에, 기판 수납 용기를 보관하는 다른 보관 영역을 가지고, 상기 이동 배치 장치는, 당해 다른 보관 영역에 보관되어 있는 기판 수납 용기를, 상기 최상부에 위치하는 보관부와 상기 기판 수납 용기 배치부에 이동 배치 가능한, (5) 또는 (6) 중 어느 하나에 기재된 기판 처리 장치.
(8) 기판을 수납하는 기판 수납 용기의 보관 방법으로서,
상기 기판 수납 용기는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서의 기판 수납 용기 배치부에 근접 배치된 보관 영역에 보관하도록 하고,
상기 보관 영역에는, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 마련하고,
최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기를 전달 가능하게 하고,
상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부에는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치하여 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관하는, 기판 수납 용기 보관 방법.

Claims (8)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
    상기 기판 처리 장치에 있어서 처리되는 기판을 수납하는 기판 수납 용기를 배치하는 기판 수납 용기 배치부와,
    상기 기판 수납 용기 배치부에 근접하여 배치되어, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 보관 영역을 가지고,
    상기 보관 영역은, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 가지고,
    최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기가 전달 가능하며,
    상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관하고,
    상기 최상부에 위치하는 보관부는 제 1 선반을 가지고, 상기 다른 보관부는 제 2 선반을 가지고,
    상기 제 1 선반 및 상기 제 2 선반은 동일한 길이를 가지고,
    상기 제 2 선반에 배치되는 기판 수납 용기의 수는 상기 제 1 선반에 배치되는 기판 수납 용기의 수보다 큰, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 수납 용기 배치부 상의 기판 수납 용기와, 상기 기판 처리 장치의 처리부측과의 사이에서 상기 기판을 반입반출하는 반입반출부를 가지고,
    상기 보관 영역은, 상기 반입반출부의 상측에 마련되어 있는, 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 수납 용기 배치부의 상방에서 상기 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기를 전달하는 위치와, 상기 기판 수납 용기를 보관하는 위치와의 사이에서 이동 가능한, 기판 지지부를 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 반입반출부 내에는, 상기 기판 수납 용기 배치부 상의 기판 수납 용기와, 상기 기판 처리 장치의 처리부측과의 사이에서, 상기 기판을 반입반출하는 반송 암을 가지고,
    상기 반입반출부는, 상기 보관 영역과는 기밀하게 구획되어 있는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    최상부에 위치하는 보관부와, 상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부와, 상기 기판 수납 용기 배치부와의 사이에서, 상기 기판 수납 용기를 이동 배치 가능한 이동 배치 장치를 가지고, 상기 이동 배치 장치는, 상기 기판 수납 용기를 유지한 상태에서, 수평 방향으로 방향을 바꾸는 기구를 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동 배치 장치는 삼차원 이동 가능하며, 유지한 기판 수납 용기를 유지한 위치를 중심으로 적어도 수평 방향으로 90도 회전시키는 회전 기구를 가지는, 기판 처리 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판 수납 용기 배치부를 사이에 두고 상기 보관 영역과 대향하는 위치에, 기판 수납 용기를 보관하는 다른 보관 영역을 가지고, 상기 이동 배치 장치는, 상기 다른 보관 영역에 보관되어 있는 기판 수납 용기를, 상기 최상부에 위치하는 보관부와 상기 기판 수납 용기 배치부에 이동 배치 가능한, 기판 처리 장치.
  8. 기판을 수납하는 기판 수납 용기 보관 방법으로서,
    상기 기판 수납 용기는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서의 기판 수납 용기 배치부에 근접 배치된 보관 영역에 보관하도록 하고,
    상기 보관 영역에는, 복수의 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 배치하여 보관하는 보관부를, 상하 다단으로 마련하고,
    최상부에 위치하는 보관부는, 상기 기판 처리 장치의 상방을 이동하는 천장 주행차와의 사이에서 상기 기판 수납 용기를 전달 가능하게 하고,
    상기 최상부에 위치하는 보관부의 하측에 위치하는 다른 보관부에는, 최상부에 위치하는 보관부에 배치하여 보관되는 기판 수납 용기와는, 상이한 방향으로 기판 수납 용기를 배치하여 보관하고,
    상기 최상부에 위치하는 보관부는 제 1 선반을 가지고, 상기 다른 보관부는 제 2 선반을 가지고,
    상기 제 1 선반 및 상기 제 2 선반은 동일한 길이를 가지고,
    상기 제 2 선반에 배치되는 기판 수납 용기의 수는 상기 제 1 선반에 배치되는 기판 수납 용기의 수보다 큰, 기판 수납 용기 보관 방법.
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