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KR102755953B1 - Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus - Google Patents

Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus Download PDF

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KR102755953B1
KR102755953B1 KR1020220082514A KR20220082514A KR102755953B1 KR 102755953 B1 KR102755953 B1 KR 102755953B1 KR 1020220082514 A KR1020220082514 A KR 1020220082514A KR 20220082514 A KR20220082514 A KR 20220082514A KR 102755953 B1 KR102755953 B1 KR 102755953B1
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gas cylinder
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supply device
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복정주
김병화
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Abstract

본 발명은 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈, 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 z축에 형성되는 회전축을 중심으로 회전하는 커넥터모듈, 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R축으로 각각 이동하며 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈, 상기 커넥터모듈의 일측에 설치되어 가스실린더의 헤드 측이 장착되는 얼라인하우징을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로서 상기 도어를 개방하여 가스실린더를 얼라인하우징에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계, 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계 및 멀티컵핸들유닛이 하강하여 컨텍트핀에 의하여 밸브가 하부컵핸들과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 풀림으로써 가스실린더에 충전된 가스가 챔버 측으로 공급되는 제 3단계를 포함하는 밸브셔터 제어방법이다.The present invention relates to a method for replacing a gas cylinder in a gas supply device, which comprises a cabinet that is opened and closed by a door, a hoist module installed on the inner upper part of the cabinet, a connector that is connected to a gas outlet port of a gas cylinder loaded inside the cabinet, and a gas path that extends toward a chamber, the connector module that moves along the x, y, and R axes by the hoist module and rotates around a rotation axis formed on the z axis, a valve shutter module that moves along the x, y, and R axes by the hoist module and opens and closes a valve of a gas cylinder, and an alignment housing that is installed on one side of the connector module and on which a head side of the gas cylinder is mounted, the method comprising the steps of: a first step of opening the door to mount the gas cylinder in the alignment housing and then closing the door, a second step of making a connection between the gas outlet port and the connector, and a second step of lowering the multi-cup handle unit so that the valve is connected to the lower cup handle by the contact pin, and as the multi-cup handle unit rotates, This is a valve shutter control method including a third step in which gas charged in a gas cylinder is supplied to the chamber side by releasing the valve.

Description

가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법{Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus}{Method of control valve shutter of gas cylinder for gas supply apparatus}

본 발명은 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 탑재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for replacing a gas cylinder of a gas supply device, and more specifically, to a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device for supplying gas from a gas cylinder mounted in an upright position on the ground inside a cabinet to a process chamber.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.In general, the process of manufacturing semiconductors, display panels, etc. involves the supply of various gases depending on the purpose, and most of these gases are relatively highly toxic and flammable, so if inhaled by the human body or exposed to the air, they can cause safety accidents and environmental pollution.

또한, 일반적으로 이러한 가스들은 단부 측에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터모듈 등을 포함하는 가스공급장치와 연결되어 공정 챔버 측으로의 가스 공급이 이루어진다.In addition, these gases are generally stored and transported by being filled inside a cylindrical cylinder (hereinafter, “gas cylinder”) equipped with a gas outlet port, etc. on the end side, and are connected to a gas supply device including a connector module including a gas path extending to the outside, so that the gas is supplied to the process chamber side.

이러한 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 대한 종래 기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-2126942호에 개시되어 있는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법 등이 있다.As a prior art for a method for replacing a gas cylinder in such a gas supply device, there is a method for replacing a gas cylinder in a gas supply device disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2126942.

보다 구체적으로 이러한 종래의 가스공급장치는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 2개의 가스실린더(C)이 내장되며 도어(11)에 의하여 개폐되는 캐비닛(10), 상기 캐비닛(10) 상부에 승, 하강 가능하게 설치되는 거넥터모듈(20), 상기 커넥터모듈(20)을 하강시켜 가스실린더(C)를 정렬할 때, 상기 커넥터모듈(20)을 x, y축 방향으로 이동시키는 틸팅수단(30) 및 상기 틸팅수단(30)을 승, 하강시키는 승강수단(40)을 포함한다.More specifically, as illustrated in FIG. 1, the conventional gas supply device comprises a cabinet (10) having two gas cylinders (C) built in and opened and closed by a door (11), a connector module (20) installed on the upper part of the cabinet (10) so as to be able to be raised and lowered, a tilting means (30) for moving the connector module (20) in the x and y axes when lowering the connector module (20) to align the gas cylinders (C), and an elevating means (40) for raising and lowering the tilting means (30).

보다 구체적으로 상기 커넥터모듈(20)은 가스실린더(C)의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 상기 가스출구포트와 상기 커넥터가 연결된 상태에서 가스실린더(C)의 밸브를 개폐하는 밸브셔터를 포함하고 있다.More specifically, the connector module (20) includes a connector connected to a gas outlet port of a gas cylinder (C) and a valve shutter that opens and closes the valve of the gas cylinder (C) while the gas outlet port and the connector are connected.

또한, 이러한 종래의 가스공급장치는 작업자가 가스실린더(C)에 얼라인블록을 체결한 상태에서 상기 캐비닛(10)에 투입하며, 상기 승강수단(40)을 통하여 상기 커넥터모듈(20)을 상기 얼라인블록 측에 도킹시키고 상기 도어(11)를 폐쇄한 이후, 제어수단 등의 조작을 통하여 가스실린더(C)와 상기 커넥터모듈(20) 간의 정렬 및 체결이 이루어진다.In addition, in this conventional gas supply device, the worker inserts the gas cylinder (C) into the cabinet (10) while attaching the alignment block to it, docks the connector module (20) to the alignment block side through the lifting means (40), closes the door (11), and then aligns and attaches the gas cylinder (C) and the connector module (20) through the operation of a control means, etc.

또한, 이러한 종래의 가스공급장치는 가스가 소진된 가스실린더(C)와 상기 커넥터모듈(20) 간의 체결 및 정렬 해제가 이루어지면, 작업자가 상기 도어(11)를 개방하고, 상기 승강수단(40)을 통하여 상기 커넥터모듈(20)을 상승시켜 도킹 해제 후 가스실린더(C)를 상기 캐비닛(10)으로부터 배출시킨다.In addition, when the conventional gas supply device is docked and disengaged between the gas cylinder (C) with exhausted gas and the connector module (20), the worker opens the door (11) and elevates the connector module (20) through the lifting means (40) to undock and eject the gas cylinder (C) from the cabinet (10).

이에 따라, 이러한 종래의 가스공급장치는 상기한 바와 같이 상기 도어(11)가 개방된 상태에서 커넥터모듈(20)의 승, 하강이 이루어짐에 따라 작업자의 실수 등으로 인하여 상기 도어(11)가 개방된 상태에서 가스실린더(C)의 밸브가 개방될 위험을 동반하는 문제점이 있다.Accordingly, as described above, this conventional gas supply device has a problem in that there is a risk that the valve of the gas cylinder (C) may be opened while the door (11) is open due to a worker's mistake, etc., as the connector module (20) is raised and lowered while the door (11) is open.

또한, 본 발명인이 기 출원한 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호에 개시되어 있는 캐비닛 상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법 역시 상기한 종래의 가스공급장치의 가스실린더 교체방법과 마찬가지로 캐비닛의 도어가 개방된 상태에서 상기 커넥터모듈(20)에 해당하는 가스자동공급모듈을 하강시켜 가스실린더에 도킹하는 단계를 포함하고 있는 바 상기한 종래의 가스공급장치의 가스실린더 교체방법과 동일한 문제점을 가지고 있다.In addition, the method for fastening and removing a high-pressure gas cylinder on a cabinet disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2353833, previously applied for by the inventor of the present invention, also includes a step of lowering the gas automatic supply module corresponding to the connector module (20) and docking it to the gas cylinder while the cabinet door is open, just like the gas cylinder replacement method of the conventional gas supply device described above, and thus has the same problem as the gas cylinder replacement method of the conventional gas supply device described above.

대한민국 등록특허공보 제10-2126942호(공고일 2020.06.26.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2126942 (Publication date: June 26, 2020) 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호(공고일 2022.01.21)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2353833 (Publication date: January 21, 2022)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서, 자동으로 승, 하강되어 가스실린더의 밸브 개방 또는 잠금을 수행하는 멀티컵핸들유닛에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 가스가 누출되는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법을 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to solve the above-described problem, and to provide a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device capable of fundamentally blocking gas leakage in a state where a cabinet door is open by a multi-cup handle unit that automatically rises and falls to open or lock the valve of the gas cylinder in a gas supply device for supplying gas from a gas cylinder loaded in an erected state on the ground inside a cabinet to a process chamber.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.The purposes of the invention are not limited to the purposes mentioned above, and other purposes and advantages of the present invention which are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the embodiments of the present invention.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.Furthermore, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be achieved by the means and combinations thereof set forth in the claims.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈, 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축 이동가능한 커넥터모듈), 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈, 상기 커넥터모듈의 일측에 설치되어 가스실린더의 헤드 측이 장착되는 얼라인하우징을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로서 상기 도어를 개방하여 가스실린더를 얼라인하우징에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계, 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계 및 멀티컵핸들유닛이 하강하여 컨텍트핀에 의하여 밸브가 하부컵핸들과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 풀림으로써 가스실린더에 충전된 가스가 챔버 측으로 공급되는 제 3단계를 포함한다.In order to solve the above-described problem, the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to the present invention relates to a method for replacing a gas cylinder of a gas supply device, comprising: a cabinet that is opened and closed by a door, a hoist module installed on the inner upper part of the cabinet, a connector module that is connected to a gas outlet port of a gas cylinder loaded inside the cabinet and includes a gas path extending toward a chamber, the connector module being moved along the x, y, and R axes by the hoist module and being movable along the z axis by a lifting and lowering lift; a valve shutter module that is moved along the x, y, and R axes by the hoist module and opens and closes the valve of the gas cylinder by a separate cup handle lifting and lowering operation; and an alignment housing installed on one side of the connector module and having a head side of the gas cylinder mounted thereon, the method comprising: a first step of opening the door to mount the gas cylinder in the alignment housing and then closing the door; a second step of fastening the gas outlet port and the connector; The third step includes a step in which the multi-cup handle unit is lowered so that the valve is connected to the lower cup handle by the contact pin, and the valve is released as the multi-cup handle unit rotates so that gas charged in the gas cylinder is supplied to the chamber side.

또한, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 상기 제 3단계에 의하여 상기 가스실린더에 충전된 가스가 전량 소진되거나 기 설정된 양 이상으로 소진되는 경우 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛과 상기 밸브와의 체결이 해지되는 제 4단계, 상기 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 분리가 수행되는 제 5단계 및 상기 캐비닛을 개방하고 상기 가스실린더를 상기 얼라인하우징으로부터 분리하여 상기 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계를 포함한다.In addition, the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to the present invention includes a fourth step in which, when the gas charged in the gas cylinder is completely exhausted or exhausted more than a preset amount by the third step, the valve is locked as the multi-cup handle unit rotates and the multi-cup handle unit rises, thereby releasing the connection between the multi-cup handle unit and the valve, a fifth step in which separation is performed between the gas outlet port and the connector, and a sixth step in which the cabinet is opened, the gas cylinder is separated from the alignment housing, and is discharged from the cabinet.

보다 구체적으로 상기 제 1단계는 하우징커버를 개방하여 하우징베이스 측에 상기 가스실린더가 투입되면 상기 하우징커버를 닫은 후, 핸들을 회전시킴에 따라 푸시헤드가 상기 헤드 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈 측으로 지지되고, 상기 제 6단계는 상기 핸들을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드가 상기 헤드 측과 멀어지면 성가 하우징커버를 개방하여 상기 가스실린더를 분리하는 것을 특징으로 한다.More specifically, the first step is characterized in that the housing cover is opened, the gas cylinder is inserted into the housing base side, the housing cover is closed, and the push head is supported toward the connector module side by rotating the handle so that the push head is in close contact with the head side, and the sixth step is characterized in that the housing cover is opened so that the gas cylinder is separated when the push head moves away from the head side by rotating the handle.

또한, 상기 제 4단계에서 상기 하부컵핸들의 회전각은 상기 제 3단계에서 상기 하부컵핸들의 회전각보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the rotation angle of the lower cup handle in the fourth step be formed larger than the rotation angle of the lower cup handle in the third step.

또한, 상기 컨텍트핀은 볼부시와 컨텍트핀스프링을 포함하여 상기 하부컵핸들의 하측으로 돌출 형성되며, 상기 컨텍트핀스프링이 압축되어 상기 하부컵핸들의 저면 측으로 삽입 가능하게 형성되어, 상기 제 3단계와 상기 제 4단계에서 각각 상기 밸브와 체결 및 분리되는 것을 특징으로 한다.In addition, the contact pin is formed to protrude downwardly from the lower cup handle, including a ball bushing and a contact pin spring, and the contact pin spring is formed to be compressed and insertable into the lower surface side of the lower cup handle, so that it is characterized in that it is connected to and separated from the valve in the third and fourth steps, respectively.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서, 자동으로 승, 하강되어 가스실린더의 밸브 개방 또는 잠금을 수행하는 멀티컵핸들유닛에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 작업자의 실수 등으로 인한 가스 누설의 위험을 원천적으로 차단함에 따라 가스공급장치의 안정성을 더욱 향상시킬 수 있다.As described above, the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to the present invention, in a gas supply device for supplying gas from a gas cylinder loaded in an erected state on the ground inside a cabinet to a process chamber, can fundamentally block the risk of gas leakage due to operator error, etc. while the cabinet door is open by a multi-cup handle unit that automatically rises and falls to open or lock the valve of the gas cylinder, thereby further improving the stability of the gas supply device.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the effects described above, the specific effects of the present invention are described below together with specific details for carrying out the invention.

도 1은 종래의 가스공급장치의 전체 구성을 도시한 사시도이다.
도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 호이스트모듈을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 밸브셔터모듈을 도시한 도면이다.
도 6의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 상승 상태와 하강 상태를 도시한 정면도이다.
도 7의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 전체적인 단면을 도시한 사시도와 클러치 측의 단면을 도시한 사시도이다.
도 8의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 요부를 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 커넥터모듈과 얼라인하우징의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인하우징을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법 중 캐비닛에 가스실린더를 로딩하는 순서도이다.Figure 1 is a perspective view showing the overall configuration of a conventional gas supply device.
FIGS. 2A and 2B are drawings each showing the main parts of a gas cylinder and a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a drawing illustrating a main part of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a drawing illustrating a hoist module of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a drawing illustrating a valve shutter module of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIGS. 6A and 6B are front views each showing the rising and falling states of a multi-cup handle unit of a valve shutter module in a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIGS. 7A and 7B are a perspective view showing the entire cross-section of a valve shutter module and a perspective view showing the cross-section of a clutch side, respectively, in a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIGS. 8A and 8B are cross-sectional views showing the main parts of a multi-cup handle unit of a valve shutter module in a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a drawing showing a combined state of a connector module and an alignment housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a drawing illustrating an alignment housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a drawing showing the order in which a gas cylinder is fastened to an align housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a flow chart of loading a gas cylinder into a cabinet in a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.The above-mentioned objects, features and advantages are described in detail below with reference to the attached drawings, so that a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains can easily practice the technical idea of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to indicate the same or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.Hereinafter, the phrase “any configuration is disposed on (or below)” a component or “on (or below)” a component may mean not only that any configuration is disposed in contact with the upper surface (or lower surface) of said component, but also that another configuration may be interposed between said component and any configuration disposed on (or below) said component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.Additionally, when it is described that a component is "connected," "coupled," or "connected" to another component, it should be understood that the components may be directly connected or connected to one another, but that other components may also be "interposed" between each component, or that each component may be "connected," "coupled," or "connected" through another component.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.As used herein, singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.In this application, the terms “consisting of” or “comprising” should not be construed to necessarily include all of the various components or various steps described in the specification, and should be construed to mean that some of the components or some of the steps may not be included, or that additional components or steps may be included.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.Throughout the specification, when reference is made to "A and/or B", this means A, B, or A and B, unless otherwise stated, and when reference is made to "C through D", this means C or more and D or less, unless otherwise stated.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법을 설명하도록 한다.Hereinafter, a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device according to some embodiments of the present invention will be described.

도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.FIGS. 2A and 2B are drawings each showing the main parts of a gas cylinder and a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.In addition, FIG. 3 is a drawing illustrating a main part of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 호이스트모듈을 도시한 도면이다.In addition, FIG. 4 is a drawing illustrating a hoist module of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 밸브셔터모듈을 도시한 도면이다.In addition, FIG. 5 is a drawing illustrating a valve shutter module of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 6의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 상승 상태와 하강 상태를 도시한 정면도이다.In addition, a and b of FIG. 6 are front views showing the rising and falling states of the multi-cup handle unit of the valve shutter module in the gas supply device applied to the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to one embodiment of the present invention, respectively.

또한, 도 7의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 전체적인 단면을 도시한 사시도와 클러치 측의 단면을 도시한 사시도이다. 도 8의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 요부를 도시한 단면도이다.In addition, a and b of FIG. 7 are perspective views illustrating the entire cross-section of the valve shutter module and a cross-section of the clutch side, respectively, in a gas supply device applied to a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device according to an embodiment of the present invention. a and b of FIG. 8 are cross-sectional views illustrating main parts of a multi-cup handle unit of a valve shutter module, respectively, in a gas supply device applied to a method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 커넥터모듈과 얼라인하우징의 결합 상태를 도시한 도면이다.In addition, FIG. 9 is a drawing showing a combined state of a connector module and an alignment housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인하우징을 도시한 도면이다.In addition, FIG. 10 is a drawing illustrating an alignment housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 도면이다.In addition, FIG. 11 is a drawing showing the order in which a gas cylinder is fastened to an align housing of a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

또한, 도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법 중 캐비닛에 가스실린더를 로딩 및 언로딩하는 순서도이다.In addition, FIG. 12 is a flow chart of loading and unloading a gas cylinder into a cabinet among the gas cylinder valve shutter control methods of a gas supply device according to one embodiment of the present invention.

우선, 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더(C)는 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.First, the gas cylinder (C) applied to the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to one embodiment of the present invention has an overall cylindrical shape and is filled with high-pressure gas inside.

또한, 상기 가스실린더(C)는 일단 측에 형성되는 헤드(C1), 상기 헤드(C1)의 상부에 형성되는 밸브(C2), 상기 헤드(C1)의 일측부에 상기 밸브(C1)의 축 방향과 직교하여 형성되는 가스출구포트(C3) 및 상기 가스출구포트(C3)의 단측에 체결 및 분리되는 앤드캡(C4)를 포함한다.In addition, the gas cylinder (C) includes a head (C1) formed on one side, a valve (C2) formed on the upper portion of the head (C1), a gas outlet port (C3) formed orthogonally to the axial direction of the valve (C1) on one side of the head (C1), and an end cap (C4) that is connected and disconnected to one side of the gas outlet port (C3).

이때, 상기 가스실린더(C)는 가스공급장치와의 정렬 및 고정을 위하여 본 발명에 따른 가스공급장치용 얼라인 하우징과의 정렬 기준이 되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 포함한다.At this time, the gas cylinder (C) includes at least two alignment parts that serve as alignment references with the alignment housing for the gas supply device according to the present invention for alignment and fixation with the gas supply device.

보다 바람직하게 상기 얼라인부는 상기 헤드(C1)와 상기 밸브(C2) 사이에 형성되는 제 1얼라인부(Ca1)과 상기 가스출구포트(C3)의 외주면에 형성되는 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 헤드(C1)의 하측에 형성되는 제 3얼라인부(Ca3)을 포함한다.More preferably, the alignment portion includes a first alignment portion (Ca1) formed between the head (C1) and the valve (C2), a second alignment portion (Ca2) formed on the outer surface of the gas outlet port (C3), and a third alignment portion (Ca3) formed on the lower side of the head (C1).

이때, 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수도 있다.At this time, either the first alignment part (Ca1) or the third alignment part (Ca3) may be omitted.

한편, 도 2의 b와 도 3 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치는 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛(미도시) 내부에 각각 설치되는 호이스트모듈(100)과 커넥터모듈(200)과 밸브셔터모듈(300) 및 얼라인하우징(400)을 포함한다.Meanwhile, referring to FIG. 2b and FIGS. 3 to 11, a gas supply device applied to a gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device according to the present invention includes a hoist module (100), a connector module (200), a valve shutter module (300), and an alignment housing (400), each of which is installed inside a cabinet (not shown) that is opened and closed by a door.

또한, 상기 캐비닛의 일측에 상기 가스공급장치 및 이들의 각 구성을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.In addition, the cabinet may further include a control unit (not shown) for controlling the gas supply device and each component thereof on one side.

보다 구체적으로 상기 호이스트모듈(100)은 캐비닛의 내측 상부에 설치되는 무빙유닛(110)과 상기 무빙유닛(110) 하부에 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 승강시키는 승강유닛(120)을 포함한다.More specifically, the hoist module (100) includes a moving unit (110) installed on the inner upper part of the cabinet and a lifting unit (120) installed below the moving unit (110) to lift the connector module (200).

여기서, 상기 무빙유닛(110)은 고정플레이트(111)와 제 1이동플레이트(112)와 제 2이동플레이트(113) 및 회전브라켓(114)을 포함한다.Here, the moving unit (110) includes a fixed plate (111), a first moving plate (112), a second moving plate (113), and a rotating bracket (114).

상기 고정플레이트(111)은 상기 캐비닛(500)의 내부 상측에 고정 설치되며, 상기 캐비닛(500)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향인 x측 방향으로 형성되는 제 1레일(111a)을 포함한다.The above fixed plate (111) is fixedly installed on the inner upper side of the cabinet (500) and includes a first rail (111a) formed in the x-direction, which is the direction from one side of the cabinet (500) to the other side.

이때, 상기 제 1레일(111a)은 상기 고정플레이트(111)의 저면의 전방 측과 후방 측에 평행하게 한 쌍으로 형성되며, 상기 고정플레이트(111)의 저면 양측에 각각 분할되어 2개로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the first rail (111a) is formed as a pair parallel to the front and rear sides of the bottom surface of the fixed plate (111), and it is preferable that it is formed as two by dividing each side of the bottom surface of the fixed plate (111).

또한, 상기 제 1이동플레이트(112)는 x축 방향과 직교되도록 상기 캐비닛(500)의 전방에서 후방 측으로 향하는 방향인 y축 방향으로 형성되는 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 제 1레일(111a)을 따라 x축 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정플레이트(111)에 2개가 설치된다.In addition, the first moving plate (112) is installed in two pieces on the fixed plate (111) so as to be movable in the x-axis direction along the first rail (111a), including a second rail (112a) formed in the y-axis direction, which is a direction from the front to the rear of the cabinet (500) so as to be orthogonal to the x-axis direction.

이때, 상기한 바와 같이 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)는 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다.At this time, as described above, it is preferable that the first moving plates (112) installed in two on the fixed plate (111) be formed so as to be able to move independently of each other.

또한, 상기 제 2레일(112a)은 상기 제 1이동플레이트(112) 각각의 양 측면 또는 저면 양측에 평행하도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the second rail (112a) be formed parallel to both sides or both sides of the bottom surface of each of the first moving plates (112).

또한, 상기 제 2이동플레이트(113)는 일 측에 상기 밸브셔터모듈(300)의 체결을 위한 밸브셔터 체결브라켓(113a)를 포함하여 상기 제 2레일(112a)을 따라 y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제 1이동플플레트(112) 각각의 저면 측에 설치된다.In addition, the second moving plate (113) includes a valve shutter fixing bracket (113a) for fixing the valve shutter module (300) on one side and is installed on the bottom surface side of each of the first moving plates (112) so as to be able to move in the y-axis direction along the second rail (112a).

이때, 상기 밸브셔터 체결브라켓(113a)은 상기 제 2이동플레이트(113)와 일체형으로 형성되거나 별도의 구성으로 형성될 수 있다.At this time, the valve shutter fastening bracket (113a) may be formed integrally with the second moving plate (113) or formed as a separate configuration.

또한, 상기 회전브라켓(114)는 상기 제 2이동플레이트(113)의 수직으로 형성되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제 2이동플레이트(113)의 저면 측에 설치되어 상기 승강유닛(120)이 체결된다.In addition, the rotation bracket (114) is installed on the lower surface side of the second moving plate (113) so as to be rotatable around a rotation axis formed vertically of the second moving plate (113), and the lifting unit (120) is fastened thereto.

이때, 상기 승강유닛(120)은 상기 커넥터모듈(200)의 하중을 지지하고, 이를 상승 또는 하강시키기 위한 것으로 기 공지되어 있는 유공압 실린더, 리니어 모터, 와이어 등을 포함하는 다양한 승강수단의 구조가 적용될 수 있으며, 상부가 상기 회전브라켓(114)에 고정 설치되고 상기 상부로부터 상승하거나 하강하는 하부의 저면 측에 상기 커넥터모듈(200)이 체결된다.At this time, the lifting unit (120) supports the load of the connector module (200) and may be applied with various lifting means structures including a hydraulic cylinder, linear motor, wire, etc., which are known to be used to raise or lower it. The upper part is fixedly installed to the rotating bracket (114) and the connector module (200) is fastened to the lower surface side of the lower part that rises or lowers from the upper part.

또한, 상기한 바와 같이 상기 얼라인하우징(400)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치됨에 따라 상기 커넥터모듈(200)과 함께 상기 승강유닛(120)에 의하여 상승 또는 하강될 수 있다.In addition, as described above, since the alignment housing (400) is fixedly installed on one side of the connector module (200), it can be raised or lowered together with the connector module (200) by the lifting unit (120).

이에 따라, 커넥터모듈(200)은 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더(C)의 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축으로 이동가능하게 된다. Accordingly, the connector module (200) includes a connector that is connected to the gas outlet port (C3) of the gas cylinder (C) loaded inside the cabinet and a gas path that extends toward the chamber, and is moved along the x, y, and R axes by the hoist module (100) and can move along the z axis by an up-and-down lift.

또한, 밸브셔터모듈(300)도 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더(C)의 밸브(C3)를 개폐하게 된다. 상기 밸브셔터모듈(300)은 상기 제 2이동플레이트(113)와 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x축, y축, R 축으로 각각 이동이 이루어진다.In addition, the valve shutter module (300) moves along the x, y, and R axes by the hoist module (100) and opens and closes the valve (C3) of the gas cylinder (C) by a separate cup handle raising and lowering motion. The valve shutter module (300) moves along the x, y, and R axes with respect to the fixed plate (111) together with the second moving plate (113).

또한, 상기 커넥터모듈(200)과 상기 얼라인하우징(400)은 상기 승강유닛(120)과 함께 상기 회전브라켓(114)과 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y축 이동과 상기 R축을 중심으로 하는 회전 이동 및 상기 승강유닛(120)에 의한 승강 이동이 이루어진다.In addition, the connector module (200) and the alignment housing (400) are moved along the x and y axes and rotated about the R axis with respect to the fixed plate (111) together with the rotation bracket (114) and the lifting unit (120) and are lifted and lowered by the lifting unit (120).

또한, 상기 호이스트모듈(100)은 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)가 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성됨에 따라 2개의 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 밸브셔터모듈(300)과 상기 커넥터모듈(200) 및 상기 얼라인하우징(400)은 서로 독립적으로 이동 가능하다.In addition, since the hoist module (100) is formed so that the two first moving plates (112) installed on the fixed plate (111) can move independently of each other, the valve shutter module (300), the connector module (200), and the alignment housing (400) provided on each of the two first moving plates (112) can move independently of each other.

한편, 상기 커넥터모듈(200)은 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터, 가스 공급이 필요한 챔버 측으로 연장되는 가스유로 등을 포함하여 가스실린더(C)로부터 상기 챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 것으로 상기 가스출구포트(C3)으로부터 상기 앤드캡(C4)을 분리하는 앤드캡 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 접속을 위한 플러그를 제공하는 플러그 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 커넥터 또는 플러그 사이에 가스켓을 제공 및 회수하는 가스켓 유닛 등을 포함할 수 있다.Meanwhile, the connector module (200) may include a connector connected to a gas outlet port (C3), a gas path extending to a chamber side requiring gas supply, etc., to supply gas from a gas cylinder (C) to the chamber side, and may include an end cap unit separating the end cap (C4) from the gas outlet port (C3), a plug unit providing a plug for connection between the gas outlet port (C3) and the connector, a gasket unit providing and retrieving a gasket between the gas outlet port (C3) and the connector or plug, etc.

이러한 커넥터모듈(200)의 세부 구성은 대한민국 등록특허공보 제10-2343760호에 개시되어 있는 가스자동공급장치의 구성들을 포함하여 기 공지되어 있는 다양한 기술을 적용할 수 있음에 따라 상세한 설명은 생략하도록 한다.The detailed configuration of this connector module (200) can be applied to various known technologies, including the configurations of the automatic gas supply device disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2343760, and therefore a detailed description will be omitted.

한편, 상기 밸브셔터모듈(300)은 본체유닛(310)과 상기 본체유닛(310)에 대하여 승, 하강 및 회전 가능한 멀티컵핸들유닛(320)을 포함한다.Meanwhile, the valve shutter module (300) includes a main body unit (310) and a multi-cup handle unit (320) that can be raised, lowered, and rotated with respect to the main body unit (310).

보다 구체적으로 상기 본체유닛(310)은 최종출력기어(311)와 클러치(312)와 태엽스프링(313) 및 스토퍼(314)를 포함한다.More specifically, the main body unit (310) includes a final output gear (311), a clutch (312), a spring (313), and a stopper (314).

여기서 상기 최종출력기어(311)는 회전구동모터(311a)로부터 제공되는 회전구동력을 복수 개의 기어로부터 전달받아 상기 멀티컵핸들유닛(320)에 회전력을 제공하기 위한 수단이다.Here, the final output gear (311) is a means for receiving the rotational driving force provided from the rotational driving motor (311a) from multiple gears and providing the rotational force to the multi-cup handle unit (320).

이를 위하여 상기 최종출력기어(311)는 중심부에 후술할 핸들샤프트(322)의 제 2몸체(322b)의 외주면과 대응되는 각형의 홀이 형성된다.To this end, the final output gear (311) has a square hole formed in the center corresponding to the outer surface of the second body (322b) of the handle shaft (322) to be described later.

또한, 상기 회전구동모터(311a)는 전기모터를 포함하여 회전 구동력을 발생시키는 다양한 구동수단을 적용할 수 있다.In addition, the rotary drive motor (311a) can apply various driving means that generate rotary driving force, including an electric motor.

또한, 상기 클러치(312)는 상기 회전구동모터(311a)의 회전구동력을 상기 최종출력기어(311a)로 전달하거나 차단시키기 위한 수단으로 스프링 등의 탄성부재에 의하여 상승 상태를 유지하며, 공압 등이 가해지면 하강하는 연결샤프트(312a)와 연결 및 분리되는 전단기어(312b) 및 후단기어(312c)를 포함한다.In addition, the clutch (312) is maintained in an elevated state by an elastic member such as a spring as a means for transmitting or blocking the rotational driving force of the rotary driving motor (311a) to the final output gear (311a), and includes a front gear (312b) and a rear gear (312c) that are connected and separated from a connecting shaft (312a) that descends when air pressure, etc. is applied.

이에 따라, 상기 최종출력기어(311)는 상기 연결샤프트(312a)가 하강하여 상기 전단기어(312b)와 상기 후단기어(312c)와 연결되는 경우에만 상기 회전구동모터(311a)의 회전구동력이 전달된다.Accordingly, the final output gear (311) transmits the rotational driving force of the rotary drive motor (311a) only when the connecting shaft (312a) is lowered and connected to the front gear (312b) and the rear gear (312c).

또한, 상기 태엽스프링(313)은 상기 최종출력기어(311)에 복원력을 제공하기 위한 수단으로 상기 최종출력기어(311)의 회전에 따라 풀리고, 상기 연결샤프트(312a)가 상승하여 상기 전단기어(312b)와 상기 후단기어(312c)와 분리되면 감겨져 상기 최종출력기어(311)를 초기 상태로 회전시킨다.In addition, the mainspring (313) is released according to the rotation of the final output gear (311) as a means of providing restoring force to the final output gear (311), and is wound when the connecting shaft (312a) rises and separates from the front gear (312b) and the rear gear (312c), thereby rotating the final output gear (311) to its initial state.

또한, 상기 본체유닛(310)은 상기 클러치(312) 또는 상기 스토퍼(314) 측에 각각 이들의 작동 상태를 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.In addition, the main body unit (310) may further include a sensor on the side of the clutch (312) or the stopper (314) for detecting the operating status thereof.

또한, 상기 스토퍼(314)는 스토퍼실린더(314a)에 의하여 상기 최종출력기어(311) 또는 이와 연결되는 기어에 밀착되어 상기 최종출력기어(311)의 회전을 강제로 멈추기 위한 수단으로 디스크의 회전을 정지시키는 다양한 공지 기술 구조를 적용할 수 있다.In addition, the stopper (314) can apply various known technical structures that stop the rotation of the disk by forcibly stopping the rotation of the final output gear (311) by coming into contact with the final output gear (311) or a gear connected thereto by means of a stopper cylinder (314a).

한편, 상기 멀티컵핸들유닛(320)은 승하강실린더(321)과 핸들샤프트(322)와 상부컵핸들(323) 및 하부컵핸들(324)을 포함한다.Meanwhile, the multi-cup handle unit (320) includes a raising/lowering cylinder (321), a handle shaft (322), an upper cup handle (323), and a lower cup handle (324).

보다 구체적으로 승하강실린더(321)는 상기 핸들샤프트(322)의 상단 측이 회전 가능하도록 연결되어 승강하는 연결블록(322a)을 포함하여 상기 본체유닛(310)에 고정 설치된다.More specifically, the raising/lowering cylinder (321) is fixedly installed to the main body unit (310) including a connecting block (322a) that is connected to the upper side of the handle shaft (322) so that it can rotate and is raised/lowered.

또한, 상기 승하강실리더(321)의 일측에는 상기 멀티컵핸들유닛(320)의 승하강 상태를 강지하는 승하감감지센서(321b)가 구비되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a lift detection sensor (321b) for detecting the lift status of the multi-cup handle unit (320) be provided on one side of the lift cylinder (321).

또한, 상기 핸들샤프트(322)는 상단 측에 상기 연결블록(322a)과 회전 가능하도록 지지되며 단면이 원형인 제 1몸체(322a)와 상기 제 1몸체(322a)의 하단 측에 연장 형성되며, 단면이 각형인 제 2몸체(322b)를 포함하여 상기 승하강실린더(321)에 의하여 상기 본체유닛(310)에 대하여 상승 또는 하강한다.In addition, the handle shaft (322) is supported on the upper side so as to be rotatably connected to the connecting block (322a) and includes a first body (322a) having a circular cross-section and a second body (322b) having a square cross-section that is extended to the lower side of the first body (322a), and is raised or lowered relative to the main body unit (310) by the raising/lowering cylinder (321).

이때, 상기 제 2몸체(322b)는 상기한 바와 같이 단면이 상기 최종출력기어(311)의 중심부에 형성되는 홀의 형상과 대응하는 형상으로 형성되어 상기 핸들샤프트(322)가 상기 최종출력기어(311)를 관통한 상태로 상승 또는 하강한다.At this time, the second body (322b) is formed in a shape corresponding to the shape of the hole formed in the center of the final output gear (311) as described above, so that the handle shaft (322) rises or falls while penetrating the final output gear (311).

일례로, 상기 제 2몸체(322b)의 단면과 상기 최종출력기어(311)의 중심부에 형성되는 홀은 각각 사각으로 형성될 수 있다.For example, the cross-section of the second body (322b) and the hole formed at the center of the final output gear (311) may each be formed in a square shape.

이에 따라, 상기 핸들샤프트(322)는 상기 최종출력기어(311)가 회전하는 경우 상기 최종출력기어(311)와 함께 회전된다.Accordingly, the handle shaft (322) rotates together with the final output gear (311) when the final output gear (311) rotates.

한편, 상기 상부컵핸들(323)은 전체적으로 원형 디스크 형상이며 고정클램프(323a)에 의하여 상기 제 2몸체(322b)가 중심부를 관통하여 상기 핸들샤프트(322)의 하단 측에 고정된다.Meanwhile, the upper cup handle (323) has an overall circular disk shape and is fixed to the lower side of the handle shaft (322) by the second body (322b) penetrating the center thereof by a fixing clamp (323a).

또한, 상기 상부컵핸들(323)은 저면에 방사상으로 기 설정된 간격마다 돌출 형성되는 푸시핀(323b)을 더 포함한다.In addition, the upper cup handle (323) further includes a push pin (323b) that is formed to protrude radially at preset intervals on the lower surface.

이때, 상기 푸시핀(323b)은 상측으로 힘이 가해지면 푸시핀스프링(323c)이 압축되어 기 설정된 높이만큼 상승할 수 있다.At this time, when force is applied upward to the push pin (323b), the push pin spring (323c) is compressed and can rise to a preset height.

또한, 상기 상부컵핸들(323)은 일측에 일단이 연결되고 타단이 상기 하부컵핸들(324)과 연결되어 상기 상부컵핸들(323)에 대한 상기 하부컵핸들(324)의 회전 상태를 초기로 복귀시키기 위한 복귀스프링(323d)를 더 포함할 수도 있다.In addition, the upper cup handle (323) may further include a return spring (323d) having one end connected to the lower cup handle (324) and the other end connected to the upper cup handle (323) to return the rotational state of the lower cup handle (324) to the initial state.

한편, 상기 하부컵핸들(324)은 전체적으로 원형 디스크 형상으로 상기 제 2몸체(322b)의 하단에 고정되는 고정샤프트(324a)에 의하여 중심부가 관통하여 상기 상부컵핸들(323)의 하측에 결합된다.Meanwhile, the lower cup handle (324) is connected to the lower side of the upper cup handle (323) by a fixed shaft (324a) that is fixed to the lower end of the second body (322b) in an overall circular disk shape and passes through the center thereof.

이때, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 고정샤프트(324a)가 단면이 원형이며 충분한 길이로 형성됨에 따라 상기 고정샤프트(324a)를 중심으로 회전 가능한 것은 물론, 상기 상부컵핸들(323)에 대하여 일정 간격만큼 승강 또는 하강할 수 있다.At this time, the lower cup handle (324) can rotate around the fixed shaft (324a) as the fixed shaft (324a) has a circular cross-section and is formed to a sufficient length, and can also be raised or lowered by a certain interval with respect to the upper cup handle (323).

또한, 상기 고정샤프트(324a)는 하단에 외주면을 따라 형성되는 돌출부가 형성되어 상기 하부컵핸들(324)이 낙하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the fixed shaft (324a) has a protrusion formed along the outer surface at the bottom to prevent the lower cup handle (324) from falling.

또한, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)과 대응되는 위치에 각각 형성되는 원호 형상의 가이드홈(324b)과 상기 가이드홈(324b)의 일단 측에 상기 가이드홈(324b)의 깊이보다 더 깊게 형성되는 체결홈(324c)을 포함한다.In addition, the lower cup handle (324) includes an arc-shaped guide groove (324b) formed at a position corresponding to the push pin (323b) and a fastening groove (324c) formed deeper than the depth of the guide groove (324b) on one end side of the guide groove (324b).

보다 바람직하게 상기 체결홈(324c)은 상기 가이드홈(324b)의 내부에서 밸브(C2)의 개방을 위한 회전 방향에 위치한다.More preferably, the fastening groove (324c) is located in the rotational direction for opening the valve (C2) inside the guide groove (324b).

이에 따라, 밸브(C2)를 개방하는 방향으로 상기 핸들샤프트(322)가 회전하는 경우, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)이 상기 가이드홈(324b)을 따라 이동하다가 상기 체결홈(324c)에 삽입된 이후 상기 상부컵핸들(323)과 함께 회전한다.Accordingly, when the handle shaft (322) rotates in the direction of opening the valve (C2), the lower cup handle (324) rotates together with the upper cup handle (323) after the push pin (323b) moves along the guide groove (324b) and is inserted into the fastening groove (324c).

반대로, 밸브(C2)를 잠그는 방향으로 상기 핸들샤프트(322)가 회전하는 경우, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)이 상기 체결홈(324c)에 삽입되기 전 상기 가이드홈(324b)을 따라 상기 상부컵핸들(323)이 회전한 만큼 더 회전되어 상기 밸브(C2)의 개방 시 보다 더 회전되어 밸브(C2)의 잠금을 더욱 견고하게 수행할 수 있다.Conversely, when the handle shaft (322) rotates in the direction of locking the valve (C2), the lower cup handle (324) rotates further along the guide groove (324b) as much as the upper cup handle (323) rotates before the push pin (323b) is inserted into the engaging groove (324c), thereby rotating further than when the valve (C2) is opened, thereby enabling the valve (C2) to be locked more firmly.

또한, 상기 하부컵핸들(324)은 하측에 밸브(C2)가 위치하지 않는 경우 자중에 의하여 상기 고정샤프트(324a)에 형성되는 유격만큼 하측으로 이동하고 상기 복귀스프링(323d)에 의하여 상기 푸시핀(323b)은 상기 체결홈(324c)으로부터 이탈되어 이 상기 가이드홈(324b)을 따라 이동하여 초기 상태로 복귀될 수 있다.In addition, when the valve (C2) is not positioned at the bottom, the lower cup handle (324) moves downward by the amount of clearance formed in the fixed shaft (324a) due to its own weight, and the push pin (323b) is detached from the fastening groove (324c) by the return spring (323d) and moves along the guide groove (324b) to return to the initial state.

한편, 상기 하부컵핸들(324)은 저면 측에 방사상으로 기 설정된 간격마다 설치되는 복수 개의 컨텍트핀(324e)을 더 포함한다.Meanwhile, the lower cup handle (324) further includes a plurality of contact pins (324e) installed at radial preset intervals on the lower surface side.

이때, 상기 컨텍트핀(324e)은 상기 밸브(C2)의 외주면에 일정 간격으로 형성되는 복수 개의 홈에 체결되는 것으로서 볼부시(324e)와 컨텍트핀스프링(323f)에 의하여 외력이 작용하지 않을 때는 하부로 돌출 형성되고, 상측으로 향하는 외력이 작용하면 상기 컨텍트핀스프링(323f)이 압축됨에 따라 상기 하부컵핸들(324)의 저면 측으로 삽입된다.At this time, the contact pin (324e) is fastened to a plurality of grooves formed at regular intervals on the outer surface of the valve (C2), and is formed to protrude downward when no external force is applied by the ball bushing (324e) and the contact pin spring (323f), and when an external force directed upward is applied, the contact pin spring (323f) is compressed and inserted into the lower surface of the lower cup handle (324).

이에 따라, 상기 컨텍트핀(324e) 중 상기 밸브(C2)의 외주면에 형성되는 홈과 대응되는 위치에 해당하는 컨텍트핀(324e)만 상기 하부컵핸들(324)의 하측으로 돌출되어 상기 밸브(C2)의 홈에 체결되고, 나머지 컨텍트핀(324e)은 상기 하부컵핸들(324)에 삽입된 상태가 유지된다.Accordingly, among the contact pins (324e), only the contact pins (324e) corresponding to the grooves formed on the outer surface of the valve (C2) protrude downward from the lower cup handle (324) and are engaged with the grooves of the valve (C2), and the remaining contact pins (324e) remain inserted into the lower cup handle (324).

한편, 상기 얼라인하우징(400)은 하우징브라켓(410)과 하우징베이스(420)와 하우징커버(430) 및 체결유닛(440)을 포함한다.Meanwhile, the alignment housing (400) includes a housing bracket (410), a housing base (420), a housing cover (430), and a fastening unit (440).

보다 구체적으로 상기 하우징브라켓(410)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치되는 것으로 상기 하우징베이스(420)와 일체형으로 형성되거나 별도의 파트로 구성될 수 있다.More specifically, the housing bracket (410) is fixedly installed on one side of the connector module (200) and may be formed integrally with the housing base (420) or configured as a separate part.

이때, 상기 하우징베이스(420)는 상기 가스실린더(C)의 형상 등에 따라 교체 등이 가능하도록 상기 하우징브라켓(411)과 별도의 파트로 구성되는 것이 보다 바람직하다.At this time, it is more preferable that the housing base (420) be configured as a separate part from the housing bracket (411) so that it can be replaced, etc., depending on the shape of the gas cylinder (C).

또한, 상기 하우징베이스(420)는 제 1지지부(421)와 제 2지지부(422)와 제 3지지부(423)와 회동축(424)과 잠금돌기(425) 및 센서(426)를 포함한다.In addition, the housing base (420) includes a first support part (421), a second support part (422), a third support part (423), a rotation shaft (424), a locking projection (425), and a sensor (426).

보다 구체적으로 상기 제 1지지부(421)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)가 상기 제 1지지부(421)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.More specifically, the first support portion (421) is formed so that one side is open and the first align portion (Ca1) can be brought into contact with or separated from the first support portion (421) as a part that comes into contact with the first align portion (Ca1).

또한, 상기 제 1지지부(421)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 1얼라인부(Ca1)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the first support portion (421) be formed in a shape corresponding to the shape of the first align portion (Ca1) so that it can be firmly attached to the first align portion (Ca1).

또한, 상기 제 2지지부(422)는 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 2얼라인부(Ca1)가 상기 제 2지지부(422)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.In addition, the second support portion (422) is formed so that one side is open as a portion that is in close contact with the second align portion (Ca2) so that the second align portion (Ca1) can be in close contact with or separated from the second support portion (422).

이때, 상기 제 2지지부(422)는 상기 앤드캡(C4)과의 간섭 방지를 위하여 비교적 얇은 플레이트 형상으로 형성되며, 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 2얼라인부(Ca2)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the second support part (422) is formed in a relatively thin plate shape to prevent interference with the end cap (C4), and is preferably formed in a shape corresponding to the shape of the second aligning part (Ca2) so that it can be firmly attached to the second aligning part (Ca2).

또한, 상기 제 3지지부(423)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 3얼라인부(Ca3)가 상기 제 3지지부(423)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.In addition, the third support portion (423) is formed so that one side is open as a portion that is in close contact with the third align portion (Ca3) so that the third align portion (Ca3) can be in close contact with or separated from the third support portion (423).

이때, 상기 제 2지지부(423)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 3얼라인부(Ca3)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the second support part (423) be formed in a shape corresponding to the shape of the third aligning part (Ca3) so that it can be firmly attached to the third aligning part (Ca3).

또한, 상기한 바와 같이 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수음에 따라, 이와 대응하여 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 3지지부(423) 중 어느 하나는 생략될 수 있음은 자명하다.In addition, as described above, it is obvious that one of the first aligning portion (Ca1) and the third aligning portion (Ca3) may be omitted, and correspondingly one of the first supporting portion (421) and the third supporting portion (423) may be omitted.

또한, 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)는 각각 제 1얼라인부(Ca1)과 제 2얼라인부(Ca2) 및 제 3얼라인부(Ca3)의 형상에 따라 교체 가능하도록 상기 하우징베이스(420)로부터 탈착 가능하도록 별도의 파트로 구성될 수도 있다.In addition, the first support part (421), the second support part (422), and the third support part (423) may be configured as separate parts that can be detached from the housing base (420) so that they can be replaced according to the shapes of the first alignment part (Ca1), the second alignment part (Ca2), and the third alignment part (Ca3), respectively.

또한, 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 형성되는 개방 측은 동일한 방향으로 형성되고 상기 가스실린더(C)가 일측으로 상기 하우징베이스(420) 측에 밀착 또는 이격될 수 있다.In addition, the open sides formed in each of the first support member (421), the second support member (422), and the third support member (423) are formed in the same direction, and the gas cylinder (C) can be pressed against or spaced apart from the housing base (420) on one side.

또한, 상기 회동축(424)은 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(424)로부터의 개폐를 위한 회동 이동의 중심축으로서 축 방향에 상하로 분할되어 2개로 형성되거나 하나의 축으로 형성될 수 있다.In addition, the rotation axis (424) may be formed into two by dividing it up and down in the axial direction as the central axis of rotational movement for opening and closing the housing cover (430) from the housing base (424), or may be formed as one axis.

또한, 상기 회동축(424)은 상기 하우징커버(430)의 회동 이동은 물론 기 설정된 범위에서 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(420)에 대하여 상하 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the rotation axis (424) be formed so that the housing cover (430) can rotate as well as move up and down with respect to the housing base (420) within a preset range.

또한, 상기 잠금돌기(425)는 상기 회동축(424)이 형성되는 축과 이격되어 형성되어 후술할 잠금홀(431)이 삽입 및 이탈되도록 형성된다.In addition, the locking projection (425) is formed apart from the axis on which the rotation axis (424) is formed so that the locking hole (431) described later can be inserted and removed.

이때, 상기 잠금돌기(425)는 상기 제 1지지부(421)를 중심으로 상기 회동축(424)이 형성되는 측과 반대 측에 형성되고, 상기 잠금돌기(425)의 높이는 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(420)에 대하여 상하 이동하는 거리보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the locking projection (425) is formed on the opposite side to the side where the rotation axis (424) is formed centered on the first support portion (421), and it is preferable that the height of the locking projection (425) be formed smaller than the distance by which the housing cover (430) moves up and down with respect to the housing base (420).

또한, 상기 센서(426)는 상기 하우징 베이스(420)에 상기 가스실린더(C)의 정상적인 투입 여부를 감지하기 위한 수단으로서 상기 하우징베이스(420)에 상기 가스실린더(C)가 투입되는 경우 상기 헤드(C1) 측과 대응되는 위치에 구비될 수 있다..In addition, the sensor (426) may be provided at a position corresponding to the head (C1) side when the gas cylinder (C) is inserted into the housing base (420) as a means for detecting whether the gas cylinder (C) is normally inserted into the housing base (420).

또한, 상기 센서(426)는 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 구비되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 제 2얼라인부(Ca3)가 각각 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 적절하게 지지되었는지의 여부를 감지하도록 구성될 수도 있다.In addition, the sensor (426) may be provided on the first support part (421), the second support part (422), and the third support part (423), respectively, to detect whether the first align part (Ca1), the second align part (Ca2), and the second align part (Ca3) are appropriately supported on the first support part (421), the second support part (422), and the third support part (423), respectively.

한편, 상기 하우징커버(430)는 상기 회동축(424)을 중심으로 회동 이동하여 상기한 바와 같이 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 동일한 방향에 형성되는 개방 측을 개폐하도록 구성된다.Meanwhile, the housing cover (430) is configured to rotate around the rotation axis (424) to open and close the open sides formed in the same direction on the first support part (421), the second support part (422), and the third support part (423) as described above.

또한, 상기 하우징커버(430)는 상기한 바와 같이 상기 회동축(424)의 축 방향으로 따라 기 설정된 범위에서 상하 이동 가능하도록 형성된다.In addition, the housing cover (430) is formed so as to be able to move up and down within a preset range along the axial direction of the rotation axis (424) as described above.

또한, 상기 하우징커버(430)는 상기 하우징베이스(420)의 일측을 폐쇄하는 경우 상기 체결돌기(425)와 대응되는 위치에 잠금홀(431)이 형성된다.In addition, when the housing cover (430) closes one side of the housing base (420), a locking hole (431) is formed at a position corresponding to the fastening projection (425).

이에 따라, 상기 하우징커버(430)는 상기 하우징베이스(420)의 일측을 폐쇄하도록 회동 이동한 상태에서 상기 회동축(424)을 따라 하강하면 상기 잠금홀(431)에 상기 잠금돌기(425)가 삽입되어 상기 하우징베이스(420)로부터 회동 이동이 제한된다.Accordingly, when the housing cover (430) is lowered along the rotation axis (424) while rotating to close one side of the housing base (420), the locking projection (425) is inserted into the locking hole (431) so that the rotational movement from the housing base (420) is restricted.

반대로, 상기 하우징커버(430)는 상기 회동축(424)을 따라 상승하여 상기 잠금홀(431)로부터 상기 잠금돌기(425)가 이탈되면 상기 하우징베이스(420)로부터 회동 이동이 가능하다.Conversely, the housing cover (430) rises along the rotation axis (424) and can rotate from the housing base (420) when the locking projection (425) is released from the locking hole (431).

한편, 상기 체결유닛(440)은 핸들(441)과 토크리미터(442)와 핸들샤프트(443)와 각도조절구(444) 및 푸시헤드(445)를 포함하여 상기 하우징커버(430) 측에 설치된다.Meanwhile, the above fastening unit (440) is installed on the housing cover (430) side, including a handle (441), a torque limiter (442), a handle shaft (443), an angle adjustment part (444), and a push head (445).

보다 구체적으로 상기 핸들(441)은 작업자가 상기 체결유닛(440)을 작동시키기 위하여 파지하는 부분으로 원형 디스크 형상을 포함하여 작업자가 파지한 상태로 회전시키기 용이하도록 다양한 형상일 수 있다.More specifically, the handle (441) is a part that the worker holds to operate the fastening unit (440), and may have various shapes, including a circular disk shape, to facilitate rotation while the worker holds it.

또한, 상기 토크리미터(442)는 한기 핸들(441)의 과회전을 방지하는 것은 물론 상기 센서(426)로부터 감지되는 상기 가스실린더(C)가 상기 커넥터모듈(200)과 적절하게 체결되었는지의 여부를 확인하기 위한 육안게이지를 더 포함할 수도 있다.In addition, the torque limiter (442) may further include a visual gauge to prevent over-rotation of the air handle (441) and to check whether the gas cylinder (C) detected by the sensor (426) is properly connected to the connector module (200).

또한, 상기 핸들샤프트(443)는 리드 스크류 등으로 구성되어 상기 핸들(441)의 회전에 따라 상기 하우징커버(430)에 대하여 축 방향으로 전, 후진한다.In addition, the handle shaft (443) is configured with a lead screw or the like and moves axially forward and backward with respect to the housing cover (430) according to the rotation of the handle (441).

또한, 상기 푸시헤드(445)는 상기 핸들샤프트(443)의 일단에 설치되어 상기 핸들샤프트(443)가 상기 하우징커버(430)에 대하여 축 방향으로 전, 후진함에 따라 상기 헤드(C1)와 밀착 또는 이격된다.In addition, the push head (445) is installed at one end of the handle shaft (443) and comes into contact with or is separated from the head (C1) as the handle shaft (443) moves axially forward and backward with respect to the housing cover (430).

이때, 상기 푸시헤드(445)는 상기 핸드샤프트(443)의 일단에 형성되는 구 형상의 각도조절구(444)와 체결되어 상기 헤드(C1)의 일면에 전체적으로 밀착될 수 있도록 상기 각도조절구(444)의 중심을 기준으로 자유롭게 각도 조절이 이루어질 수 있다.At this time, the push head (445) is connected to a spherical angle adjustment member (444) formed at one end of the hand shaft (443) so that it can be freely angle-adjusted based on the center of the angle adjustment member (444) so that it can be completely pressed against one surface of the head (C1).

이에 따라, 상기 가스실린더(C)가 상기 하우징베이스(420)에 투입되고, 상기 하우징커버(430)가 폐쇄된 상태에서 상기 핸들(441)을 회전시켜 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1)를 상기 커넥터모듈(200) 측으로 밀어냄으로써 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터의 견고한 밀착이 이루어진다.Accordingly, the gas cylinder (C) is inserted into the housing base (420), and the housing cover (430) is closed, and the handle (441) is rotated so that the push head (445) pushes the head (C1) toward the connector module (200), thereby forming a firm seal between the gas outlet port (C3) and the connector.

한편, 도 2 내지 도 12를 참조하여 상기한 바와 같이 구성되는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법을 설명하면 하기와 같다.Meanwhile, a method for replacing a gas cylinder of a gas supply device configured as described above with reference to FIGS. 2 to 12 is described as follows.

캐비닛의 도어가 개방하여 작업자가 가스실린더(C)를 상기 얼라인하우징(400)에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계(S110)가 이루어진다.The first step (S110) is performed by opening the cabinet door, allowing the worker to mount the gas cylinder (C) into the alignment housing (400), and then closing the door.

이때, 상기 제 1단계(S110)에서는 상기 하우징커버(430)를 개방하여 상기 하우징베이스(420) 측에 상기 가스실린더(C)가 투입되면 상기 하우징커버(430)를 닫은 후, 상기 핸들(441)을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈(200) 측으로 지지한다.At this time, in the first step (S110), the housing cover (430) is opened, the gas cylinder (C) is inserted into the housing base (420) side, the housing cover (430) is closed, and by rotating the handle (441), the push head (445) is brought into close contact with the head (C1) side and supported toward the connector module (200).

이후, 작업자가 제어부 등을 통하여 상기 가스공급장치를 작동시키면 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계(S200)가 수행된다.Thereafter, when the worker operates the gas supply device through a control unit, etc., a second step (S200) is performed in which a connection is made between the gas outlet port (C3) and the connector.

이때, 상기 제 2단계(S200)에서의 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결은 가스 등을 포함한 유체가 누설 없이 유동할 수 있는 공압적 결합을 의미한다.At this time, the connection between the gas outlet port (C3) and the connector in the second step (S200) means a pneumatic connection that allows fluids including gas to flow without leakage.

또한, 상기 제 2단계(S200)는 앤드켑(C4)를 상기 가스출구포트(C3)로부터 제거하고 상기 가스출구포트와 상기 커넥터 사이에 플러그 또는 가스켓 등을 공급하는 등의 다양한 작업이 수행될 수 있으며, 일례로 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호에 개시되어 있는 캐비닛 상에서의 가스실린더 체결 및 제거 방법에 개시되어 있는 제 5단계 내지 제 9단계를 모두 포함할 수 있다.In addition, the second step (S200) may perform various operations, such as removing the end cap (C4) from the gas outlet port (C3) and supplying a plug or gasket between the gas outlet port and the connector, and may include, for example, all of steps 5 to 9 disclosed in the method for fastening and removing a gas cylinder on a cabinet disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2353833.

한편, 상기한 바와 같이 상기 제 2단계(S200)를 통하여 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 완료되면, 멀티컵핸들유닛(320)이 하강하여 상기 컨텍트핀(324e)에 의하여 밸브(C2)가 상기 하부컵핸들(324)과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 풀림으로써 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 공정 챔버 측으로 공급되는 제 3단계(S300)가 수행된다.Meanwhile, as described above, when the connection between the gas outlet port (C3) and the connector is completed through the second step (S200), the multi-cup handle unit (320) is lowered so that the valve (C2) is connected to the lower cup handle (324) by the contact pin (324e), and as the multi-cup handle unit (320) rotates, the valve (C2) is released, thereby performing the third step (S300) of supplying the gas charged in the gas cylinder (C) to the process chamber.

이후, 상기 제 3단계(S300)에 의하여 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 모두 소진되면, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛(320)과 상기 밸브(C2)와의 체결이 해지되는 제 4단계(S400)가 수행된다.Thereafter, when the gas charged in the gas cylinder (C) is completely exhausted by the third step (S300), the fourth step (S400) is performed in which the valve (C2) is locked as the multi-cup handle unit (320) rotates and the multi-cup handle unit (320) rises, thereby releasing the connection between the multi-cup handle unit (320) and the valve (C2).

이때, 상기한 바와 같이 상기 체결홈(124c)은 상기 가이드홈(124b) 상에서 상기 밸브(C2)가 풀리는 방향 측에 형성되어 상기 밸브(C2)가 풀리는 방향으로 형성되는 상기 하부컵핸들(124)의 회전각보다 상기 밸브(C2)가 잠기는 방향으로 형성되는 상기 하부컵핸들(124)의 회전각이 크게 형성됨으로써 상기 밸브(C2)는 더욱 견고하게 잠겨진다.At this time, as described above, the fastening groove (124c) is formed on the guide groove (124b) on the side in which the valve (C2) is released, so that the rotation angle of the lower cup handle (124) formed in the direction in which the valve (C2) is locked is formed larger than the rotation angle of the lower cup handle (124) formed in the direction in which the valve (C2) is released, thereby locking the valve (C2) more firmly.

이후, 상기 제 2단계(S200)의 역순으로 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 이루어지는 제 5단계(S500)가 수행된다.Thereafter, a fifth step (S500) is performed in the reverse order of the second step (S200) in which separation between the gas outlet port (C3) and the connector is performed.

또한, 상기 제 5단계(S500)을 통하여 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 완료되면, 작업자가 상기 캐비닛을 개방하고 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측으로부터 멀어지도록 상기 핸들(441)을 회전시킨 후, 상기 하우징커버(430)를 개방하여 상기 가스실린더(C)를 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계(S600)가 이루어진다.In addition, when the separation between the gas outlet port (C3) and the connector is completed through the fifth step (S500), a sixth step (S600) is performed in which the worker opens the cabinet and rotates the handle (441) so that the push head (445) moves away from the head (C1), and then opens the housing cover (430) to discharge the gas cylinder (C) from the cabinet.

이에 따라 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 상기한 바와 같이 구성되는 밸브셔터모듈(300)에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 작업자의 실수 등으로 인한 가스 누설의 위험을 원천적으로 차단함에 따라 가스공급장치의 안정성을 더욱 향상시킬 수 있다.Accordingly, the gas cylinder valve shutter control method of the gas supply device according to the present invention can further improve the stability of the gas supply device by fundamentally blocking the risk of gas leakage due to operator error, etc. while the cabinet door is open by the valve shutter module (300) configured as described above.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.Although the present invention has been described with reference to the drawings as exemplified above, the present invention is not limited to the embodiments and drawings disclosed in this specification, and it is obvious that various modifications can be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.In addition, even if the effects according to the configuration of the present invention were not explicitly described while explaining the embodiments of the present invention, it is natural that the effects that can be predicted by the configuration should also be acknowledged.

C. 가스실린더
C1. 헤드
C2. 밸브
C3. 가스출구포트
C4. 앤드캡
Ca1. 제 1얼라인부
Ca2. 제 2얼라인부
Ca3. 제 3얼라인부
100. 호이스트모듈
110. 무빙유닛
111. 고정플레이트
111a. 제 1레일
112. 제 1이동플레이트
112a. 제 2레일
113. 제 2이동플레이트
113a. 밸브셔터 체결브라켓
114. 회전브라켓
120. 승강유닛
200. 커넥터모듈
300. 밸브셔터모듈
310. 본체유닛
311. 최종출력기어
311a. 회전구동모터
312. 클러치
312a. 연결샤프트
312b. 전단기어
312c. 후단기어
313. 태엽스프링
314 스토퍼
314a. 스토퍼실린더
320. 멀티컵핸들유닛
321. 승하강실린더
321a. 연결블럭
321b. 승하강감지센서
322. 핸들샤프트
322a. 제 1몸체
322b. 제 2몸체
323. 상부컵핸들
323a. 고정클램프
323b. 푸시핀
323c. 푸시핀스프링
323d. 복귀스프링
324. 하부컵핸들
324a. 고정샤프트
324b. 가이드홈
324c. 체결홈
324d. 컨텍트핀
324e. 볼부시
324f. 컨텍트핀스프링
400. 얼라인 하우징
410. 하우징 브라켓
420. 하우징 베이스
421. 제 1지지부
422. 제 2지지부
423. 제 3지지부
424. 회동축
425. 잠금돌기
426. 센서
430. 하우징 커버
431. 잠금홀
440. 체결유닛
441. 핸들
442. 토크리미터
443. 핸들샤프트
444. 각도조절구
445. 푸시헤드C. Gas cylinder
C1. Head
C2. Valve
C3. Gas outlet port
C4. End cap
Ca1. First alignment part
Ca2. Second alignment part
Ca3. Third alignment part
100. Hoist module
110. Moving Unit
111. Fixed plate
111a. 1st rail
112. 1st moving plate
112a. Second rail
113. Second moving plate
113a. Valve shutter fastening bracket
114. Rotating bracket
120. Elevator Unit
200. Connector module
300. Valve shutter module
310. Main unit
311. Final Output Gear
311a. Rotary motor
312. Clutch
312a. Connecting shaft
312b. Shear gear
312c. Rear gear
313. Spring
314 Stopper
314a. Stopper cylinder
320. Multi-cup handle unit
321. Lifting and lowering cylinder
321a. Connecting block
321b. Lifting/Lowering Sensor
322. Handle shaft
322a. First body
322b. Second body
323. Upper cup handle
323a. Fixed clamp
323b. Pushpin
323c. Push pin spring
323d. Return spring
324. Lower cup handle
324a. Fixed shaft
324b. Guide Home
324c. Conclusion Home
324d. Contact pin
324e. Volbush
324f. Contact pin spring
400. Align Housing
410. Housing Bracket
420. Housing Base
421. 1st Support Division
422. Second Support Section
423. Third Support Division
424. Rotating axis
425. Locking protrusion
426. Sensor
430. Housing Cover
431. Lock hole
440. Fastening Unit
441. Handle
442. Torque limiter
443. Handle shaft
444. Angle adjustment device
445. Pushhead

Claims (5)

도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈(100), 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더(C)의 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축 이동가능한 커넥터모듈(200), 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더(C)의 밸브(C3)를 개폐하는 밸브셔터모듈(300), 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 설치되어 가스실린더(C)의 헤드(C1) 측이 장착되는 얼라인하우징(400)을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 있어서,
상기 도어를 개방해 하우징커버(430)를 개방하여 하우징베이스(420) 측에 상기 가스실린더(C)가 투입되면 상기 하우징커버(430)를 닫은 후, 핸들(441)을 회전시킴에 따라 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈(200) 측으로 지지되면서 가스실린더(C)를 얼라인하우징(400)에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계(S110);
가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계(S200); 및
멀티컵핸들유닛(320)이 하강하여 컨텍트핀(324d)에 의하여 밸브(C2)가 하부컵핸들(324)과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 풀림으로써 가스실린더(C)에 충전된 가스가 공정 챔버 측으로 공급되는 제 3단계(S300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
 A method for replacing a gas cylinder of a gas supply device, comprising: a cabinet opened and closed by a door; a hoist module (100) installed on the inner upper side of the cabinet; a connector module (200) including a gas outlet port (C3) of a gas cylinder (C) loaded inside the cabinet and a gas path extending toward a chamber, which moves along the x, y, and R axes by the hoist module (100) and can move along the z axis by a lifting and lowering lift; a valve shutter module (300) which moves along the x, y, and R axes by the hoist module (100) and opens and closes a valve (C3) of the gas cylinder (C) by a separate cup handle lifting and lowering motion; and an alignment housing (400) installed on one side of the connector module (200) and on which a head (C1) side of the gas cylinder (C) is mounted.
The first step (S110) of opening the door, opening the housing cover (430), inserting the gas cylinder (C) into the housing base (420) side, closing the housing cover (430), rotating the handle (441), so that the push head (445) is in close contact with the head (C1) side and supported toward the connector module (200), and then mounting the gas cylinder (C) in the alignment housing (400), and then closing the door;
The second step (S200) in which a connection is made between the gas outlet port (C3) and the connector; and
A method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device, characterized by including a third step (S300) in which the multi-cup handle unit (320) is lowered so that the valve (C2) is connected to the lower cup handle (324) by the contact pin (324d), and the valve (C2) is released as the multi-cup handle unit (320) rotates, thereby supplying gas charged in the gas cylinder (C) to the process chamber.
 제 1항에 있어서,
상기 제 3단계(S300)에 의하여 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 전량 소진되거나 기 설정된 양 이상으로 소진된 경우 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛(320)과 상기 밸브(C2)와의 체결이 해지되는 제 4단계(S400);
상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 수행되는 제 5단계(S500); 및
상기 캐비닛을 개방하고 상기 핸들(441)을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 멀어지면 상기 하우징커버(430)를 개방하여 상기 가스실린더(C)를 상기 얼라인하우징(400)으로부터 분리하고 상기 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계(S600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
 In paragraph 1,
When the gas charged in the gas cylinder (C) is completely exhausted or exhausted by a preset amount or more through the third step (S300), the valve (C2) is locked and the multi-cup handle unit (320) rises as the multi-cup handle unit (320) rotates, thereby releasing the connection between the multi-cup handle unit (320) and the valve (C2).
A fifth step (S500) in which separation between the gas outlet port (C3) and the connector is performed; and
A gas cylinder valve shutter control method of a gas supply device, characterized in that it includes a sixth step (S600) of opening the cabinet and rotating the handle (441) so that the push head (445) moves away from the head (C1) side, thereby opening the housing cover (430) to separate the gas cylinder (C) from the alignment housing (400) and discharge it from the cabinet.
 삭제delete 제 2항에 있어서,
상기 제 4단계(S400)에서 하부컵핸들(324)의 회전각은 상기 제 3단계(S300)에서 하부컵핸들(324)의 회전각보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법. In the second paragraph,
A method for controlling a gas cylinder valve shutter of a gas supply device, characterized in that in the fourth step (S400), the rotation angle of the lower cup handle (324) is formed to be greater than the rotation angle of the lower cup handle (324) in the third step (S300). 삭제delete
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