KR102566009B1 - 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 관한 것이다. 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스는 만곡(彎曲)되게 형성하되, 양 끝이 동일한 방향으로 향하도록 형성되며, 제1 레이어 및 제2 레이어를 포함하는 프로브카드에 삽입되는 하나 이상의 핀과, 하나 이상의 핀을 수용하는 핀소켓부가 배치되며, 핀소켓부에 구비된 핀을 제공하는 소켓 어셈블리와, 소켓 어셈블리에서 구비된 핀을 집어 이송할 수 있는 집게부가 포함되며, 소켓 어셈블리에서 집은 핀을 측정 어셈블리 및 삽입 어셈블리에 순차적으로 이송하는 이송 어셈블리와, 집게부에서 집은 핀의 변위 및 만곡된 경사도를 측정하는 제1 변위측정부를 포함하며, 집게부에서 집은 핀이 삽입 어셈블리에 삽입이 가능한 핀인지의 여부를 측정하는 측정 어셈블리와, 프로브카드가 구비되어 있고, 측정 어셈블리에서 측정 완료된 핀을 이송 어셈블리를 통해 제공 받아 핀을 프로브카드에 삽입하는 삽입 어셈블리 및 집게부에서 집은 핀을 삽입 어셈블리에 구비된 프로브카드에 삽입하기 위해 이송 어셈블리 및 삽입 어셈블리를 제어하는 제어부를 포함하며, 제어부는 집게부에서 이송된 핀을 제1 레이어를 관통하여 제2 레이어에 형성된 홀의 인근에 위치 시킨 이후, 체결부가 핀의 상부에 위치시켜 핀을 하부로 눌러 핀이 제2 레이어를 관통하며, 핀이 프로브카드에 설치되는 것을 포함한다.

Description

프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스{Probe card pin insertion control device}

본 발명은 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 만곡되게 형성된 핀이 파손 또는 손상되지 않고 프로브카드에 삽입할 수 있도록 제어하기 위한 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 디바이스는 웨이퍼(wafer) 상에 회로 패턴 및 검사를 위한 접촉 패드를 형성하는 패브리케이션(fabrication) 공정과 회로 패턴 및 접촉 패드가 형성된 웨이퍼를 각각의 반도체 칩으로 조립하는 어셈블리(assembly) 공정을 통해서 제조된다.

패브리케이션 공정과 어셈블리 공정 사이에는 웨이퍼 상에 형성된 접촉 패드에 전기 신호를 인가하여 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 검사 공정이 수행된다. 이 검사 공정은 웨이퍼의 불량을 검사하여 어셈블리 공정 시 불량이 발생한 웨이퍼의 일 부분을 제거하기 위해 수행하는 공정이다.

검사 공정 시에는 웨이퍼에 전기적 신호를 인가하는 테스터라는 검사 장비와 웨이퍼와 테스터 사이의 인터페이스 기능을 수행하는 프로브카드라는 검사 장비가 주로 이용된다. 이 중에서 프로브카드는 테스터로부터 인가되는 전기 신호를 수신하는 회로기판 및 웨이퍼와 같은 칩 상에 형성된 접촉 패드와 접촉하는 복수개의 프로브핀을 포함한다.

최근에는 반도체칩이 고집적화됨에 따라 패브리케이션 공정에 의해 웨이퍼에 형성되는 회로 패턴이 고집적되었고, 이에 의해 이웃하는 접촉 패드간의 간격, 즉 피치(pitch)가 매우 좁게 형성되고 있으며, 이와 더불어 프로브카드 역시 다수개의 프로브핀이 고집적된 형태로 만들어지고 있다.

따라서 프로브핀을 회로기판의 의도한 위치에 정확히 위치시키는 것이 중요하다.

대한민국 등록특허공보 제10-1534828호

본 발명의 목적은 만곡되게 형성된 핀이 파손 또는 손상되지 않고 프로브카드에 삽입할 수 있도록 제어하기 위한 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스를 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여,

본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스는 만곡(彎曲)되게 형성하되, 양 끝이 동일한 방향으로 향하도록 형성되며, 제1 레이어 및 제2 레이어를 포함하는 프로브카드에 삽입되는 하나 이상의 핀;

상기 하나 이상의 핀을 수용하는 핀소켓부가 배치되며, 상기 핀소켓부에 구비된 핀을 제공하는 소켓 어셈블리;

상기 소켓 어셈블리에서 구비된 핀을 집어 이송할 수 있는 집게부 및 상기 핀을 프로브카드에 삽입하여 체결하는 체결부가 포함되며, 상기 소켓 어셈블리에서 집은 상기 핀을 측정 어셈블리 및 삽입 어셈블리에 순차적으로 이송하는 이송 어셈블리;

상기 집게부에서 집은 핀의 변위 및 만곡된 경사도를 측정하는 제1 변위측정부를 포함하며, 상기 집게부에서 집은 핀이 상기 삽입 어셈블리에 삽입이 가능한 핀인지의 여부를 측정하는 측정 어셈블리;

상기 프로브카드가 구비되어 있고, 상기 측정 어셈블리에서 측정 완료된 핀을 상기 이송 어셈블리를 통해 제공 받아 상기 핀을 상기 프로브카드에 삽입하는 삽입 어셈블리; 및

상기 집게부에서 집은 핀을 상기 삽입 어셈블리에 구비된 프로브카드에 삽입하기 위해 상기 이송 어셈블리 및 삽입 어셈블리를 제어하는 제어부; 를 포함하며,

상기 제어부는 상기 집게부에서 이송된 핀을 상기 제1 레이어를 관통하여 제2 레이어에 형성된 홀의 인근에 위치 시킨 이후, 상기 체결부가 상기 핀의 상부에 위치시켜 상기 핀을 하부로 눌러 상기 핀이 제2 레이어를 관통하며, 상기 핀이 프로브카드에 설치될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 핀은, 일 방향으로 만곡(彎曲)되게 형성되는 만곡부;

상기 만곡부의 하부에 형성하되, 상기 제1 레이어 및 제2 레이어에 최초 접촉하며, 상기 제1 레이어 및 제2 레이어를 관통하는 진입부; 및

상기 만곡부의 하부에 형성되며, 일 방향에 제1 돌출부 및 제2 돌출부가 각각 형성되는 덮개부; 를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 삽입 어셈블리는, 상기 집게부에서 집은 상기 핀의 현재 변위와, 상기 프로브카드의 변위를 각각 측정하는 제2 변위측정부; 를 포함하고,

상기 제2 변위측정부는 상기 프로브카드 및 핀의 X축 변위를 측정하는 X변위부, Y축 변위를 측정하는 Y변위부, Z축 변위를 측정하는 Z변위부를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 진입부는 반사면 및 절단면을 포함하고,

상기 삽입 어셈블리는 상기 제1 레이어 및 제2 레이어의 하부에 위치하고, 상기 상기 반사면을 감지하는 하부비전;을 포함하며,

상기 진입부가 상기 제2 레이어에 형성된 홀에 위치하면, 상기 하부비전에서 상기 반사면을 감지하여 상기 핀이 제2 레이어에 형성된 홀과 하부비전을 동일선상에 위치시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 체결부의 하부에 홈 형상으로 형성하되 다각형상으로 형성되는 체결홈을 포함하며,

상기 체결홈이 상기 덮개부의 상부에 안착된 이후, 상기 체결부가 하강하여 상기 핀이 상기 프로브카드에 삽입되어 체결될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 체결부의 내부에 홀 형상으로 형성하되, 상기 덮개부의 직경보다 상대적으로 크게 형성되어 상기 덮개부가 홀의 내부에 삽입되는 체결홀을 포함하고,

상기 덮개부가 상기 체결홀에 삽입되면 상기 제2 돌출부가 상기 체결부에 걸림작용으로 상기 핀이 체결홀의 외부로 분출되는 것을 방지하며,

상기 체결부가 하부로 하강하여 상기 핀이 상기 프로브카드에 삽입될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스에 있어서, 상기 이송 어셈블리는, 좌우 이동이 가능하여 상기 소켓 어셈블리, 측정 어셈블리, 삽입 어셈블리 간을 이동하는 제1 이송부;

상기 이송 어셈블리가 상기 소켓 어셈블리에 구비된 핀을 집거나, 상기 삽입 어셈블리에 구비된 프로브카드에 핀을 삽입하기 위해 상하 이동이 가능한 제2 이송부; 를 포함할 수 있다.

이러한 해결 수단은 첨부된 도면에 의거한 다음의 발명의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명의 일실시 예에 따르면, 제1 변위측정부 및 제2 변위측정부를 통해 핀의 위치 및 변위를 측정하고, 집게부에서 집은 핀이 이송 어셈블리를 통해 프로브카드에 용이하게 삽입할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 만곡된 핀을 이송 어셈블리의 각도 및 변위를 조정하여 용이하게 프로브카드에 삽입 1차 삽입시키고, 체결부를 통해 핀을 눌러 핀이 프로브카드의 하부까지 삽입할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스를 나타내 보인 전체사시도.
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스의 측정 어셈블리를 나타내 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스의 삽입 어셈블리를 나타내 보인 사시도.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스의 핀을 나타내 보인 정면도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스의 핀을 프로브카드에 삽입하는 순서를 나타내 보인 순서도.
도 8은 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스의 체결홀이 형성된 체결부와 핀의 사용상태를 나타내 보인 정면도.

본 발명의 특이한 관점, 특정한 기술적 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 구체적인 내용과 일실시 예로부터 더욱 명백해 질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 일실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

또한, 본 발명의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

이하, 본 발명의 일실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스는 이송 어셈블리(20), 소켓 어셈블리(30), 측정 어셈블리(40), 삽입 어셈블리(50) 및 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

이송 어셈블리(20)는 핀(10)을 집을수 있는 집게부(21)가 설치되고, 집게부(21)를 좌우이동하여 각 어셈블리(여기서 각 어셈블리는 소켓 어셈블리(30), 측정 어셈블리(40), 삽입 어셈블리(50)를 말한다)간의 이동하는 제1 이송부(22)와, 집게부(21)를 상하이동할 수 있는 제2 이송부(23)를 포함하여 구성될 수 있다.

집게부(21)는 소켓 어셈블리(30)에 구비된 핀(10)을 집어서 측정 어셈블리(40) 및 삽입 어셈블리(50)에 이송할 수 있도록 구성되며, 핀(10)을 일정 이상의 압력으로 집어 핀(10)의 일부가 파손되는 것을 방지하기 위해 이송 어셈블리(20)에 핀(10)을 집는 압력을 조절하는 압력조절부(미도시)가 더 설치될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 선택사항이다.

또한, 이송 어셈블리(20)는 집게부(21)의 현재 위치 및 변위를 측정하기 위해 별도의 변위측정부(미도시)가 설치되어 현재 집게부(21)의 위치 및 변위 및 소켓 어셈블리(30)에 구비된 핀(10)의 위치 및 변위를 각각 측정하여 집게부(21)가 소켓 어셈블리(30)에 위치한 핀을 오차 없이 집을 수 있도록 구성될 수 있다. 이 때, 집게부(21)의 위치 및 변위를 측정하는 변위측정부(미도시)는 제어부(미도시)에서 위치좌표값 및 변위값을 산출할 수 있도록 측정된 데이터를 제어부에 전송할 수 있다.

소켓 어셈블리(30)는 하나 이상의 핀(10)을 수용할 수 있는 핀소켓부(31)가 배치되어 구비되고, 핀(10)의 상부가 집게부(21)로부터 집을 수 있도록 핀소켓부(31)에서 수용중인 핀(10)의 일부(또는 상부)가 노출되도록 구성될 수 있다.

핀(10)은 일방향으로 만곡(彎曲)되게 형성되는(활 모양처럼 곡선화되게 형성) 만곡부(12)와, 핀(10)의 하부에 형성되며 프로브카드(P)에 형성된 홀에 최초 진입하는 진입부(13)와, 핀(10)의 상부에 형성되며 일 측에 형성된 제1 돌출부(14) 및 제2 돌출부(15)를 포함하는 덮개부(11)를 포함하여 형성될 수 있다.

여기서, 프로브카드(P)는 상부에 위치하고, 핀(10)이 최초로 진입할 수 있는 제1 레이어(P1)와, 하부에 위치하는 제2 레이어(P2)를 포함하여 구성되며, 제1 레이어(P1) 및 제2 레이어(P2)의 사이에 이격이 존재할 수 있다.

진입부(13)는 일부만 돌출되게 형성되는 이른바 'ㄱ'자 형상으로 이루어지고, 'ㄱ'자의 내부에 위치하여 하부비전(54)에서 출력하는(또는 하부비전의 인근에 설치된) 빛을 반사하는 반사면(13b)와, 'ㄱ'자의 외부(돌출된 지점)에 위치하는 절단면(13a)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 때, 절단면(13a)은 대량 사출로 만들어져 일렬로 구비되는 핀(10)의 상부 및 하부를 각각 절단하여 형성된 면이다.

제1 돌출부(14)는 프로브카드(P)의 내부에 삽입되어 핀(10)이 프로브카드(P)에서 미세한 움직임을 발생하는 것을 사전에 방지하며, 핀(10)의 일부가 프로브카드(P)의 움직임 또는 진동에 의해 파손되거나 손상되는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로, 제1 돌출부(14)는 제1 레이어(P1)의 홀에 삽입되면, 제1 레이어(P1)의 홀에 삽입되어 고정되는 구조로 이루어져 프로브카드(P)가 미세한 움직임 또는 진동에 의해 움직임이 발생하더라도 핀(10)이 고정될 수 있다.

제2 돌출부(15)는 핀(10)이 제2 레이어(P2)에 형성된 홀에 삽입되면 핀(10)이 제2 레이어(P2)에 형성된 홀에 의해 하부로 분출되는 것을 방지하기 위해 제2 돌출부(15)가 제1 레이어(P1)의 상부에 걸림턱 역할을 수행하도록 구성될 수 있다.

이러한 제1 돌출부(14) 및 제2 돌출부(15)는 동일한 방향에 형성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며 선택사항이다.

측정 어셈블리(40)는 집게부(21)가 집은 핀(10)의 변위를 측정하는 기능을 수행하며, 핀(10)의 변위를 측정하는 위치를 지칭하는 측정위치부(41)와, 측정위치부(41)에 위치한 핀(10)의 변위 및 만곡된 경사도를 측정하는 제1 변위측정부(42)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1 변위측정부(42)는 핀(10)의 만곡부(12)에 형성된 만곡된 경사도(곡률)와, 제1 돌출부(14) 및 제2 돌출부(15)의 위치 및 형상을 측정하고, 추가로 진입부(13)의 길이 및 경사도를 측정하여 집게부(21)가 집고 있는 핀(10)의 정보를 수집하며, 수집된 정보는 제어부에 전송될 수 있다.

삽입 어셈블리(50)는 핀(10)을 삽입하기 위하여 프로브카드(P)가 구비되고, 핀(10)의 현재위치좌표와, 프로브카드(P)에 배열된 홀의 위치좌표를 측정하는 제2 변위측정부(51)를 포함하여 구성될 수 있다.

제2 변위측정부(51)는 집게부(21)가 집고 있는 핀(10)의 현재위치를 측정하여 3차원 좌표로 산출하고, 추가로 삽입 어셈블리(50)에 구비된 프로브카드(P)에 형성된 홀의 좌표를 산출하는 기능을 수행하며, 산출된 정보는 제어부에 전송될 수 있다.

여기서, 제2 변위측정부(51)는 핀(10)의 현재위치를 측정하기 위해 X좌표를 수집하는 x변위부(51)와, Y좌표를 수집하는 Y변위부(52)와, Z좌표를 수집하는 Z변위부(53)를 포함하여 구성될 수 있다.

제어부는 제1 변위측정부(42) 및 제2 변위측정부(51)에서 측정된 정보를 기반으로 집게부(21)가 집고 있는 핀(10)을 프로브카드(P)에 일부 삽입하고, 체결부(24)를 통해 프로브카드(P)에 체결할 수 있다.

구체적으로, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제어부는 핀(10)을 제1 레이어(P1)에 형성된 홀에 삽입하여 제1 레이어(P1)의 하부로 진입한 이후, 제2 레이어(P2)인근에 도착하면, 제1 변위측정부(42) 및 제2 변위측정부(51)에서 측정한 핀의 위치, 변위, 핀(10)의 만곡된 경사도를 기반으로 이송 어셈블리(20)가 조정되어야 할 위치 및 각도를 산출하여 제2 레이어(P2)에 형성된 홀의 위치에 진입하도록 이송 어셈블리(20)를 작동시킬 수 있다.

이 때, 핀(10)은 이송 어셈블리(20)가 작동되면서 반사면(13b)이 제2 레이어(P2)에 형성된 홀을 관통하여 하부비전(54)에 감지되도록(더욱 구체적으로는 반사면(13b), 홀(h2), 하부비전(54)이 일자로 위치하도록 이송 어셈블리가 작동) 구성될 수 있다.

이 때, 하부비전(54)은 반사면(13b)를 감지하였다면 핀(10)이 올바르게 위치하고 있는 것으로 판단하고, 제2 레이어(P2)에 형성된 홀(h2)에 삽입되며, 체결부(24)의 하부에 형성된 체결홈(24a)이 덮개부(11)의 상부에 안착시킨 이후, 체결부(24)가 하부로 하강하여 핀(10)을 하부로 이동시키며, 진입부(11)가 홀(h2)을 관통시킴으로써 비로소 핀(10)이 프로브카드(P)를 삽입체결하는 구조로 이루어질 수 있다.

또한, 체결부(24)는 집게부(21)의 내부에 별도로 형성될 수 있고, 또는 이송 어셈블리(20)에 형성하되 집게부(21)와 별도로 설치될 수 있다.

이러한 체결부(24)는 체결홈(24a)을 통해 핀(10)을 프로브카드(P)에 삽입체결되는 구조로 설명되었으나, 이에 한정하지 않고 도 8에 도시된 바와 같이, 체결홀(24b)을 통해 핀(10)을 프로브카드(P)에 삽입체결되는 구조로 이루어질 수 있다.

체결부(24)는 내부에 체결홈(24a) 대신에 체결홀(24b)이 형성될 수 있다. 이러한 체결부(24)는 덮개부(11)가 체결홀(24b)에 삽입될 수 있도록 상기 체결홀(24b)의 직경이 상기 덮개부(11)의 직경보다 상대적으로 크게 형성될 수 있다. 예컨대 상기한 구조로 이루어진다면 핀(10)이 체결홀(24b)을 통해 외부로 빠져나갈 수 있으므로, 제2 돌출부(15)가 체결홀(24b)에 걸림턱 작용이 이루어질 수 있도록 구성되어야 할 것이다.

이러한 구조로 이루어진 체결부(24)는 핀(10)을 하부로 하강하여 제2 레이어(P2)에 형성된 홀(h2)에 설치할 때, 체결부(24)가 제2 돌출부(15)를 하부로 눌러 핀(10)이 홀(h2)에 설치되는 구조로 이루어질 수 있다.

즉, 체결부(24)는 체결홈(24a) 또는 체결홀(24b) 중 적어도 어느 하나의 형상으로 이루어져 핀(10)을 프로브카드(P)에 설치될 수 있다.

이상 본 발명을 일실시 예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스는 이에 한정되지 않는다. 그리고 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", 또는 "가지다", 등의 용어는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 해당 구성요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.

또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형 가능하다. 따라서, 본 발명에 개시된 일실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 일실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 - 핀 11 - 덮개부
12 - 만곡부 13 - 진입부
14 - 제1 돌출부 15 - 제2 돌출부
20 - 이송 어셈블리 21 - 집게부
22 - 제1 이송부 23 - 제2 이송부
24 - 체결부 24a - 체결홈
24b - 체결홀 30 - 소켓 어셈블
31 - 핀소켓부 40 - 측정 어셈블
41 - 측정위치부 42 - 제1 변위측정부
50 - 삽입 어셈블리 51 - 제2 변위측정부
51 - X변위부 52 - Y변위부
53 - Z변위부 54 - 하부비전
P - 프로브카드 P1 - 제1 레이어
P2 - 제2 레이어 h1 - 제1 레이어에 형성된 홀
h2 - 제2 레이어에 형성된 홀

Claims (7)

1. 만곡(彎曲)되게 형성하되, 양 끝이 동일한 방향으로 향하도록 형성되며, 제1 레이어 및 제2 레이어를 포함하는 프로브카드에 삽입되는 하나 이상의 핀;
   상기 하나 이상의 핀을 수용하는 핀소켓부가 배치되며, 상기 핀소켓부에 구비된 핀을 제공하는 소켓 어셈블리;
   상기 소켓 어셈블리에서 구비된 핀을 집어 이송할 수 있는 집게부 및 상기 핀을 프로브카드에 삽입하여 체결하는 체결부가 포함되며, 상기 소켓 어셈블리에서 집은 상기 핀을 측정 어셈블리 및 삽입 어셈블리에 순차적으로 이송하는 이송 어셈블리;
   상기 집게부에서 집은 핀의 변위 및 만곡된 경사도를 측정하는 제1 변위측정부를 포함하며, 상기 집게부에서 집은 핀이 상기 삽입 어셈블리에 삽입이 가능한 핀인지의 여부를 측정하는 측정 어셈블리;
   상기 프로브카드가 구비되어 있고, 상기 측정 어셈블리에서 측정 완료된 핀을 상기 이송 어셈블리를 통해 제공 받아 상기 핀을 상기 프로브카드에 삽입하는 삽입 어셈블리; 및
   상기 집게부에서 집은 핀을 상기 삽입 어셈블리에 구비된 프로브카드에 삽입하기 위해 상기 이송 어셈블리 및 삽입 어셈블리를 제어하는 제어부; 를 포함하며,
   상기 제어부는 상기 집게부에서 이송된 핀을 상기 제1 레이어를 관통하여 제2 레이어에 형성된 홀의 인근에 위치 시킨 이후, 상기 체결부가 상기 핀의 상부에 위치시켜 상기 핀을 하부로 눌러 상기 핀이 제2 레이어를 관통하며, 상기 핀이 프로브카드에 설치되는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 핀은, 일 방향으로 만곡(彎曲)되게 형성되는 만곡부;
   상기 만곡부의 하부에 형성하되, 상기 제1 레이어 및 제2 레이어에 최초 접촉하며, 상기 제1 레이어 및 제2 레이어를 관통하는 진입부; 및
   상기 만곡부의 하부에 형성되며, 일 방향에 제1 돌출부 및 제2 돌출부가 각각 형성되는 덮개부; 를 포함하는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 삽입 어셈블리는, 상기 집게부에서 집은 상기 핀의 현재 변위와, 상기 프로브카드의 변위를 각각 측정하는 제2 변위측정부; 를 포함하고,
   상기 제2 변위측정부는 상기 프로브카드 및 핀의 X축 변위를 측정하는 X변위부, Y축 변위를 측정하는 Y변위부, Z축 변위를 측정하는 Z변위부를 포함하는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 진입부는 반사면 및 절단면을 포함하고,
   상기 삽입 어셈블리는 상기 제1 레이어 및 제2 레이어의 하부에 위치하고, 상기 반사면을 감지하는 하부비전;을 포함하며,
   상기 진입부가 상기 제2 레이어에 형성된 홀에 위치하면, 상기 하부비전에서 상기 반사면을 감지하여 상기 핀이 제2 레이어에 형성된 홀과 하부비전을 동일선상에 위치시키는, 브로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
5. 청구항 2에 있어서,
   상기 체결부의 하부에 홈 형상으로 형성하되 다각형상으로 형성되는 체결홈을 포함하며,
   상기 체결홈이 상기 덮개부의 상부에 안착된 이후, 상기 체결부가 하강하여 상기 핀이 상기 프로브카드에 삽입되어 체결되는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
6. 청구항 2에 있어서,
   상기 체결부의 내부에 홀 형상으로 형성하되, 상기 덮개부의 직경보다 상대적으로 크게 형성되어 상기 덮개부가 홀의 내부에 삽입되는 체결홀을 포함하고,
   상기 덮개부가 상기 체결홀에 삽입되면 상기 제2 돌출부가 상기 체결부에 걸림작용으로 상기 핀이 체결홀의 외부로 분출되는 것을 방지하며,
   상기 체결부가 하부로 하강하여 상기 핀이 상기 프로브카드에 삽입되는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.
   
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 이송 어셈블리는, 좌우 이동이 가능하여 상기 소켓 어셈블리, 측정 어셈블리, 삽입 어셈블리 간을 이동하는 제1 이송부;
   상기 이송 어셈블리가 상기 소켓 어셈블리에 구비된 핀을 집거나, 상기 삽입 어셈블리에 구비된 프로브카드에 핀을 삽입하기 위해 상하 이동이 가능한 제2 이송부; 를 포함하는, 프로브카드 핀의 삽입제어 디바이스.

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