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KR102239000B1 - 호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈 - Google Patents

호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈 Download PDF

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KR102239000B1
KR102239000B1 KR1020190102886A KR20190102886A KR102239000B1 KR 102239000 B1 KR102239000 B1 KR 102239000B1 KR 1020190102886 A KR1020190102886 A KR 1020190102886A KR 20190102886 A KR20190102886 A KR 20190102886A KR 102239000 B1 KR102239000 B1 KR 102239000B1
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port
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hoist module
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mark
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윤기섭
김진성
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세메스 주식회사
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Abstract

대상물을 이송하기 위하여 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구성된 호이스트 모듈의 구동 방법에 있어서, 승강 유닛에 장착된 이미지 획득 유닛을 이용하여, 상기 대상물이 놓여지는 포트 상에 형성된 마크를 촬상하고, 상기 마크에 대한 이미지를 이용하여, 상기 호이스트 모듈의 포트 좌표 데이터를 생성한다. 이후, 상기 포트 좌표 데이터를 이용하여, 상기 호이스트 모듈로 상기 대상물을 상기 포트 상에 이적재 한다.

Description

호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈{Operating method of a hoist module and hoist module for performing the same}
본 발명의 실시예들은 호이스트 모듈의 구동 방법과 이를 수행하기에 적합한 호이스트 모듈에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 장치의 제조 공정에서 다양한 종류의 이송 대상물을 운반하기 위한 호이스트 모듈의 구동 방법과 이를 수행하기에 적합한 호이스트 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 실리콘 웨이퍼와 같은 기판 상에 증착, 포토리소그래피, 식각, 등의 다양한 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 상기와 같은 반도체 제조 공정에서 상기 기판은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 반송 장치에 의해 제조 공정 설비들 사이에서 운반될 수 있다. 또한, 상기 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 다양한 종류의 자재들이 상기 OHT 장치에 의해 운반될 수 있으며 이를 통해 제조 공정의 자동화가 구현되고 있다.
예를 들면, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 배치되는 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구성되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈은 이송 대상물 예를 들면 복수의 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 수납 용기를 픽업하기 위한 픽업 유닛을 구비할 수 있다.
구체적으로, 상기 클린룸의 천장에는 상기 주행 경로로서 사용되는 주행 레일들이 기 설정된 경로를 따라 배치될 수 있으며 상기 호이스트 모듈은 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 모듈 아래에 연결될 수 있다. 또한, 상기 호이스트 모듈은 상기 픽업 유닛을 승강시키기 위한 승강 유닛을 구비할 수 있으며, 상기 픽업 유닛은 복수의 벨트들에 의해 상기 승강 유닛에 현수될 수 있다.
한편, 상기 OHT 장치의 사용을 위해서는 상기 이송 대상물의 픽업 및 플레이스 동작을 위한 상기 호이스트 모듈의 위치 설정 작업 즉 상기 호이스트 모듈의 티칭 작업이 우선적으로 요구된다. 상기 티칭 작업은 작업자에 의해 수작업으로 이루어질 수 있으며 상기 이송 대상물이 놓여지는 포트, 예를 들면, 반도체 제조 설비의 로드 포트 등에 대한 상기 이송 대상물의 픽업 및 플레이스를 위한 티칭 좌표가 상기 티칭 작업에서 설정될 수 있다.
그러나, 작업자의 숙련도에 따라 티칭 좌표에 편차가 발생될 수 있으며 아울러 상당한 시간이 소요되기 때문에 이에 대한 개선이 요구되고 있다. 특히, 상기 픽업 유닛이 현수된 상태이므로 좌우 진동이 발생될 수 있고 이 경우 티칭 정밀도가 크게 저하될 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2012-0003368호 (공개일자: 2012년01월10일)
본 발명의 실시예들은 티칭 작업을 생략하면서 이적재 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있는 호이스트 모듈의 구동 방법과 이를 수행하는데 적합한 호이스트 모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 대상물을 이송하기 위하여 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구성된 호이스트 모듈의 구동 방법에 있어서, 승강 유닛에 장착된 이미지 획득 유닛을 이용하여, 상기 대상물이 놓여지는 포트 상에 형성된 마크를 촬상하고, 상기 마크에 대한 이미지를 이용하여, 상기 호이스트 모듈의 포트 좌표 데이터를 생성한다. 이후, 상기 포트 좌표 데이터를 이용하여, 상기 호이스트 모듈로 상기 대상물을 상기 포트 상에 이적재 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 대상물을 이적재하는 동안 상기 호이스트 모듈에 포함된 핸드 유닛의 궤적을 추적하여 궤적 데이터를 생성하고, 상기 궤적 데이터를 이용하여 상기 포트 좌표 데이터의 보정 요부를 판단하고, 상기 포트 좌표 데이터에 관한 보정 요부에 따라 상기 포트 좌표 데이터를 보정함으로써 상기 포트 좌표 데이터를 업데이트할 수 있다.
여기서, 상기 궤적 데이터는 실시간으로 획득될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 포트 좌표 데이터는, 상기 마크들에 관한 이미지 중 밀집도가 가장 높은 고밀집도 영역을 검출하고, 상기 고밀집도 영역 내에 포함된 포인트들의 무게 중심을 상기 포트 좌표데이터로 산출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 마크는 상기 대상물을 가이드는 가이드 핀을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 대상물을 지지하고, 마크가 상면에 형성된 포트로/으로부터 대상물을 이송하는 호이스트 모듈은, 상기 포트로/로부터 상기 대상물을 승강시키는 승강 유닛, 상기 승강 유닛에 장착되며 상기 포트에 형성된 마크에 관한 이미지들을 획득하기 위한 이미지 획득 유닛 및 상기 이미지들로부터 상기 승강 유닛을 위한 포트 좌표 데이터를 검출하는 제어 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 마크들에 관한 이미지 중 밀집도가 가장 높은 고밀집도 영역을 검출하고, 상기 고밀집도 영역 내에 포함된 포인트들의 무게 중심을 상기 포트 좌표데이터로 산출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 마크는 상기 대상물을 가이드는 가이드 핀을 포함한다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 호이스트 유닛에 장착된 이미지 획득 유닛을 이용하여 상기 대상물이 놓여지는 포트 상에 형성된 마크를 촬상하고, 상기 마크에 대한 이미지를 이용하여 상기 호이스트 유닛의 포트 좌표 데이터를 생성할 수 있다. 이로써, 별도의 호이스트 모듈의 티칭 작업이 생략될 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 호이스트 모듈의 티칭 작업을 생략하면서 이적재 작업을 수행함으로써, 상기 이적재 작업의 효율이 크게 개선될 수 있으며 아울러 티칭 작업에 소요되는 시간만큼 셋업 작업이 절감되어 상기 이적재 작업의 작업 시간이 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 호이스트 모듈의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 도 1의 호이스트 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2의 포트를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 2의 제어 유닛에 의해 생성된 마크 이미지를 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 도 1의 제어 유닛을 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 호이스트 모듈의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 2는 도 1의 호이스트 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 도 3은 도 2의 포트를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 도 2의 제어 유닛에 의해 생성된 마크 이미지를 설명하기 위한 개략도이다. 도 5는 도 1의 제어 유닛을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 호이스트 모듈(110)은 이송 대상물(20)을 포트(10)으로부터 픽업하거나 상기 포트에 플레이스 하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 호이스트 모듈(110)은 반도체 제조 공정에서 다양한 형태의 자재들을 운반하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 모듈(110)는 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod), 포스비(FOSB; Front Opening Shipping Box), 개방형 카세트(Open Cassette) 등과 같이 웨이퍼들을 수납하기 위한 용기, 리드 프레임, 반도체 스트립 등과 같은 기판들을 수납하기 위한 매거진, 다이싱 공정 이후의 웨이퍼가 장착되는 링 프레임들을 수납하기 위한 웨이퍼 링 카세트, 반도체 다이들 또는 반도체 패키지 등이 수납되는 트레이 등을 운반하기 위해 사용되는 OHT 장치(100)에 포함될 수 있다.
상기 OHT 장치(100)는 클린룸의 천장에 설치되는 주행 경로, 즉 상기 천장에 설치된 주행 레일들(102)을 따라 이동하는 주행 모듈(104) 및 상기 주행 모듈(104)의 하부에 연결된 호이스트 모듈(110)을 포함한다. 상기 호이스트 모듈(110)은 이송 대상물을 픽업하기 위한 픽업 유닛(112), 상기 픽업 유닛(112)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 승강 유닛(114) 및 상기 승강 유닛(114)에 연결되어 상기 픽업 유닛(112)을 승강시키는 벨트(116)를 포함한다.
일 예로서, 상기 승강 유닛(114)은 벨트(116)를 롤링함으로써, 상기 픽업 유닛(112)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강 유닛(114)에는 상기 이송 대상물을 내부로 수용하고 상기 내부로부터 하방으로 배출하거나 하방으로부터 유입시킬 수 있는 수용 공간을 정의하는 승강 커버(114a)를 포함할 수 있다.
상기 픽업 유닛(112)은 상기 이송 대상물을 파지하기 위한 그리퍼들을 구비할 수 있으며, 복수의 벨트들(116)에 의해 상기 승강 유닛(114)에 현수될 수 있다. 상기 그리퍼들은 상기 이송 대상물의 종류에 따라 다양한 형태를 가질 수 있다.
상기 호이스트 모듈(110)에는 이미지 획득 유닛(113) 및 제어 유닛(115)이 더 구비된다.
상기 이미지 획득 유닛(113)은 상기 승강 유닛(114)에 장착된다. 예를 들면, 상기 이미지 획득 유닛은 상기 승강 커버(114a)의 하면 상에 장착될 수 있다. 이로써, 상기 이미지 획득 유닛(113)은 승강 유닛(114)에 고정될 수 있다.
상기 이미지 획득 유닛(113)은, 상기 포트(10)을 촬상한다. 즉, 상기 이미지 획득 유닛(113)은 상기 포트에 형성된 마크(15)를 촬상하여 상기 마크에 관한 마크 이미지를 생성할 수 있다. 특히 상기 이미지 획득 유닛(113)은 포트(10)의 상부 이미지를 획득하기 위한 카메라와 조명 기구를 포함할 수 있다.
상기 마크(15)는 상기 포트(10) 상에 적재되는 대상물을 가이드는 가이드 핀을 포함할 수 있다. 상기 가이드 핀은 복수로 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 핀들은 삼각형의 꼭지점을 이루도록 배열될 수 있다. 상기 이송 대상물(20)의 바닥부에 형성된 홈 내부로 상기 가이드 핀이 삽입됨으로써, 상기 이송 대상물(20)이 상기 포트(10) 상에 안착될 수 있다. 이와 다르게, 상기 마크는 상기 포트(10) 상에 별도로 형성될 수 있다.
한편, 상기 이미지 획득 유닛(113)은 호이스트 모듈(110)이 대상물의 이적재하는 동안 상기 포트(10)을 촬상할 수도 있다.
상기 제어 유닛(115)은 호이스트 모듈(110)에 독립적으로 구비된다. 예를 들면, 상기 제어 유닛(115)는 승강 유닛(114)에 장착될 수 있다.
상기 제어 유닛(115)은 상기 이미지 획득 유닛(113)으로부터 받은 이미지를 이용하여 상기 호이스트 모듈(110)을 위한 포트 좌표 데이터를 검출한다. 이로써, 상기 포트 좌표 데이터를 이용하여 상기 호이스트 모듈(110)이 구동될 수 있다.
또한, 상기 제어 유닛(115)는 상기 마크 이미지를 이용하여 포트 좌표 데이터를 실시간으로 검출할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 상기 호이스트 모듈(110)은 사전으로 티칭 공정을 생략한 채, 상기 이송 대상물(20)을 이송하는 도중에 상기 포트 좌표 데이터를 생성하고 생성된 포트 좌표 데이터를 이용하여 상기 이송 대상물(20)을 상기 포트(10)으로부터 이재 또는 적재할 수 있다.
상기 제어 유닛(115)은 상기 마크 이미지들로부터 마크 포인트들을 각각 검출하고 상기 마크 포인트들의 밀집도에 따라 상기 호이스트 모듈(110)의 포트 좌표 데이터를 생성할 수 있다.
상기 제어 유닛(115)은 상기 마크 포인트들(32)을 포함하는 마크 이미지(30; 도 4 참조)를 생성하고, 상기 마크 이미지(30) 상에서 상기 마크 포인트들(32)의 밀집도가 가장 높은 영역을 검출한다. 상기 밀집도가 가장 높은 영역 내에 포함된 마크 포인트들(32)의 무게 중심이 상기 포트 좌표로서 검출할 수 있다. 이때, 상기 포트 좌표는 포트(10)으로부터 상기 대상물을 픽업하거나 플레이스하기 위한 상기 호이스트 모듈(110)의 구동을 위한 구동 좌표로서 사용될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 제어 유닛(115)은 상기 이미지 획득 유닛(113) 사이의 데이터 송수신을 위한 통신부(115a), 제어부(115b) 및 출력부(115c)을 포함할 수 있다.
즉, 상기 이미지 획득 유닛(113)에 의해 획득된 이미지 정보는 상기 통신부(115a)을 통해 제어부(115b)로 전송될 수 있다.
상기 제어부(115b)은 상기 이미지 획득 유닛(113)의 동작 제어를 위한 제어 신호를 상기 통신부(115a)를 통하여 이미지 획득 유닛(113)으로 전송할 수 있다. 또한, 상기 제어부(115)는 상기 출력부(115c)를 통하여 상기 호이스트 모듈(110)의 제어를 위한 제어 신호를 전송할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 호이스트 모듈의 구동 방법을 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 먼저 S110 단계에서 호이스트 유닛(114)에 장착된 이미지 획득 유닛(113)을 이용하여, 상기 이송 대상물이 놓여지는 포트(10) 상에 형성된 마크(15)를 촬상한다. S110 단계에서 상기 이미지 획득 유닛(113)을 이용하여 상기 포트(10) 상에의 상에 형성된 마크(15)에 대한 마크 이미지들을 반복적으로 획득할 수 있다.
상기 마크(15)에 대한 이미지를 이용하여 상기 호이스트 모듈(110)의 포트 좌표 데이터를 생성한다(S120).
단계 S120 단계에서 상기 마크 이미지들로부터 상기 호이스트 모듈(110)의 구동을 위한 마크 포인트들(22; 도 4 참조)을 각각 검출할 수 있다.
이어서, 상기 포트 좌표 데이터를 이용하여, 상기 이송 대상물(20)을 상기 포트(10) 상에 이적재한다(S130). 즉, 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 이송 대상물(20)을 상기 포트(10) 상에 적재하거나 상기 포트(10)을부터 이재한다.
즉, 상기 포트 좌표 데이터를 이용하여 상기 주행 모듈(104)이 먼저 주행 레일(102)이 연장된 주행 방향으로 상기 이송 대상물(20)을 정밀하게 이송하는 한편, 상기 주행 방향과 수직한 슬라이딩 방향으로 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 이송 대상물(20)를 이송한다. 이후, 상기 호이스트 모듈(110)에 포함된 승강 유닛(114)이 상기 픽업 유닛(112)을 하강시킨다. 이로써, 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 대상물을 상기 포트 상에 적재한다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 티칭 공정이 생략되면서, 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 이송 대상물(20)을 포트(10) 상에 이적재 하면서 동시에 포트 좌표 데이터를 생성할 수 있다. 따라서, 상기 호이스트 모듈(110)은 독립적으로 개별적으로 포트(20)의 위치를 파악함으로써 각 포트의 환경에 최적화된 이적재 공정을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 유닛(114)이 상기 이송 대상물을 승강시키는 동안 상기 호이스트 모듈(110)에 포함된 벨트(116)의 풀림에 따른 핸드 유닛의 궤적 데이터를 생성한다(S140). 즉, 상기 이미지 획득 유닛(113)은 상기 벨트(116)에 연결된 핸드 유닛에 대한 이미지를 촬상한다. 이로써, 상기 이미지 획득 유닛(113)으로부터 전달받은 이미지를 이용하여 상기 제어 유닛(115)이 상기 벨트(116)의 풀림에 따른 핸드 유닛의 궤적에 관한 궤적 데이터를 생성할 수 있다.
예를 들면, 상기 이송 대상물(20)이 큰 하중을 가거나 외부 진동에 의하여 상기 벨트(116)가 크게 요동할 수 있다. 상기 이미지 획득 유닛(113)은 상기 벨트(116)에 연결된 핸드 유닛에 대한 이미지를 촬상한다.
상기 궤적 데이터를 이용하여 상기 포트 좌표 데이터의 보정 요부를 판단한다(S150). 즉, 상기 제어 유닛(115)는 상기 궤적 데이터를 기준 값과 비교하여 기준값을 초과할 경우, 상기 포트 좌표 데이터의 보정을 요구한다.
상기 포트 좌표 데이터에 관한 보정 요부에 따라 상기 포트 좌표 데이터를 보정함으로써 상기 포트 좌표 데이터를 업데이트 한다(S160). 상기 포트 좌표 데이터를 보정하기 위하여 상기 단계 S110 및 상기 S120을 추가적으로 수행할 수 있다.
이로써, 보정된 포트 좌표 데이터를 생성하고 업데이트된 포트 좌표 데이터를 이용하여 호이스트 모듈(110)이 이송 대상물(20)을 상기 포트(10)에 이적재할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 호이스트 모듈은 사전 별도의 티칭 작업을 생략한 채, 대상물을 이적재하는 동안 승강 유닛에 장착된 이미지 획득 유닛이 촬상한 마크 이미지를 이용하여 실시간으로 포트 좌표 데이터를 생성하고, 나아가 포트 좌표 데이터를 보정할 수 있다.
따라서, 기존의 작업자의 수작업에 의존하거나 별도의 티칭 작업을 수행하는 종래 기술과 비교하여 본 발명의 실시예들에 따른 호이스트 모듈의 구동 방법 및 호이스트 모듈은 개선된 이송 효율을 가지며, 최적화된 이송 공정을 수행할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 포트 20 : 대상물
30 : 마크 이미지 32 : 마크 포인트
40 : 검출용 원 100 : OHT 장치
102 : 주행 레일 104 : 주행 모듈
110 : 호이스트 모듈 112 : 픽업 유닛
113 : 이미지 획득 유닛 115 : 제어 유닛
114 : 승강 유닛 114a : 승강 커버

Claims (8)

  1. 대상물을 이송하기 위하여 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구성된 호이스트 모듈의 구동 방법에 있어서,
    승강 유닛에 장착된 이미지 획득 유닛을 이용하여, 상기 대상물이 놓여지는 포트 상에 형성된 마크를 촬상하는 단계;
    상기 마크에 대한 이미지를 이용하여, 상기 호이스트 모듈의 포트 좌표 데이터를 생성하는 단계;
    상기 포트 좌표 데이터를 이용하여, 상기 호이스트 모듈로 상기 대상물을 상기 포트 상에 이적재하는 단계;
    상기 대상물을 이적재하는 동안 상기 호이스트 모듈에 포함된 핸드 유닛의 궤적을 추적하여 궤적 데이터를 생성하는 단계;
    상기 궤적 데이터를 이용하여 상기 포트 좌표 데이터의 보정 요부를 판단하는 단계; 및
    상기 포트 좌표 데이터에 관한 보정 요부에 따라 상기 포트 좌표 데이터를 보정함으로써 상기 포트 좌표 데이터를 업데이트하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈의 구동 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 궤적 데이터는 실시간으로 획득되는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈의 구동 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 포트 좌표 데이터를 생성하는 단계는,
    상기 마크들에 관한 이미지 중 밀집도가 가장 높은 고밀집도 영역을 검출하는 단계; 및
    상기 고밀집도 영역 내에 포함된 포인트들의 무게 중심을 상기 포트 좌표데이터로 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈의 구동 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 마크는 상기 대상물을 가이드는 가이드 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈의 구동 방법.
  6. 대상물을 지지하고, 마크가 상면에 형성된 포트로/로부터 대상물을 이송하는 호이스트 모듈에 있어서,
    상기 포트로/으로부터 상기 대상물을 승강시키는 승강 유닛;
    상기 승강 유닛에 장착되며 상기 포트에 형성된 마크에 관한 이미지들을 획득하기 위한 이미지 획득 유닛; 및
    상기 이미지들로부터 상기 승강 유닛을 위한 포트 좌표 데이터를 검출하는 제어 유닛을 포함하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 대상물을 이적재하는 동안 상기 호이스트 모듈에 포함된 핸드 유닛의 궤적을 추적하여 궤적 데이터를 생성하고, 상기 궤적 데이터를 이용하여 상기 포트 좌표 데이터의 보정 요부를 판단하고, 상기 포트 좌표 데이터에 관한 보정 요부에 따라 상기 포트 좌표 데이터를 보정함으로써 상기 포트 좌표 데이터를 업데이트를 수행하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제어 유닛은,
    상기 마크들에 관한 이미지 중 밀집도가 가장 높은 고밀집도 영역을 검출하고,
    상기 고밀집도 영역 내에 포함된 포인트들의 무게 중심을 상기 포트 좌표데이터로 산출하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈.
  8. 제6항에 있어서, 상기 마크는 상기 대상물을 가이드는 가이드 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 호이스트 모듈.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120175334A1 (en) * 2011-01-12 2012-07-12 Wei-Chin Chen Overhead hoist transport system and operating method thereof

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11349280A (ja) * 1998-06-05 1999-12-21 Shinko Electric Co Ltd 懸垂式搬送装置
KR20120003368A (ko) 2010-07-02 2012-01-10 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 천정 반송차의 그리퍼 장치 및 천정 반송차
KR102307849B1 (ko) * 2017-04-26 2021-10-01 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
KR102220336B1 (ko) * 2017-07-26 2021-02-25 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120175334A1 (en) * 2011-01-12 2012-07-12 Wei-Chin Chen Overhead hoist transport system and operating method thereof

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