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KR102166910B1 - 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법 - Google Patents

증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법 Download PDF

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KR102166910B1
KR102166910B1 KR1020187033900A KR20187033900A KR102166910B1 KR 102166910 B1 KR102166910 B1 KR 102166910B1 KR 1020187033900 A KR1020187033900 A KR 1020187033900A KR 20187033900 A KR20187033900 A KR 20187033900A KR 102166910 B1 KR102166910 B1 KR 102166910B1
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크리스티안 볼프강 에흐만
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 개시내용은 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어(200)를 제공한다. 캐리어(200)는 캐리어(200)의 이송 방향(1)을 따라 제공되는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210), 및 캐리어(200)의 단부 부분에 배열되고 그리고 이송 방향(1)을 따라 변화하는 기하학적 프로파일(220)을 갖는 검출가능 디바이스를 포함한다.

Description

증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 특히, 유기 발광 다이오드(OLED; organic light-emitting diode) 디바이스들의 제조에서 사용되는 기판들 및/또는 마스크들을 홀딩하기 위한 정전 척(E-척)에 관한 것이다.
[0002] 기판 상에서의 층 증착을 위한 기법들은, 예컨대, 열적 증발(thermal evaporation), 물리 기상 증착(PVD; physical vapor deposition), 및 화학 기상 증착(CVD; chemical vapor deposition)을 포함한다. 코팅된 기판들은 여러 애플리케이션들에서 그리고 여러 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 코팅된 기판들은 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스들의 분야에서 사용될 수 있다. OLED들은 정보를 디스플레이하기 위한 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조에서 사용될 수 있다. OLED 디바이스, 이를테면, OLED 디스플레이는, 모두 기판 상에 증착되는 2개의 전극들 사이에 놓이는 유기 재료의 하나 또는 그 초과의 층들을 포함할 수 있다.
[0003] 프로세싱 동안, 기판은 기판 및 선택적인 마스크를 홀딩하도록 구성된 캐리어 상에 지지될 수 있다. 캐리어는, 자기력들을 사용하여 증착 시스템, 이를테면, 진공 증착 시스템 내부에서 비접촉식으로 이송될 수 있다. 유기 발광 디바이스들과 같은 애플리케이션들의 경우, 기판 상에 증착되는 유기 층들의 순도 및 균일성이 높아야 한다. 또한, 기판 파손으로 인해 스루풋을 희생시키지 않으면서, 비접촉식 이송을 사용하여 기판들 및 마스크들을 지지하는 캐리어를 핸들링 및 이송하는 것은 난제이다.
[0004] 상기 내용을 고려하면, 당해 기술분야의 문제점들 중 적어도 일부를 극복하는, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 새로운 캐리어들, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치들, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법들이 유리하다. 본 개시내용은 특히, 증착 시스템, 이를테면, 진공 증착 시스템 내에서 효율적으로 그리고 원활하게 이송될 수 있는 캐리어들을 제공하는 것을 목표로 한다.
[0005] 상기 내용을 고려하여, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치, 및 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가의 양상들, 이익들, 및 특징들은 청구항들, 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0006] 본 개시내용의 양상에 따르면, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는, 캐리어의 이송 방향을 따라 제공된 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들, 및 캐리어의 단부 부분에 배열되고 그리고 이송 방향을 따라 변화하는 기하학적 프로파일을 포함한다.
[0007] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는, 캐리어의 이송 방향을 따라 제공된 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들, 및 캐리어의 단부 부분의 검출가능 디바이스(detectable device)를 포함하며, 검출가능 디바이스는 이송 방향을 따라 배열된, 상이한 재료들의 2개 또는 그 초과의 섹션들을 갖는다.
[0008] 본 개시내용의 추가의 양상에 따르면, 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치가 제공된다. 장치는, 복수의 능동 자기 유닛들을 갖는 안내 구조, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들, 및 본 개시내용에 따른, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어를 포함한다.
[0009] 본 개시내용의 또 다른 추가의 양상에 따르면, 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법이 제공된다. 방법은, 증착 시스템의 센서와, 이송 방향으로 이송되는 캐리어의 단부 부분의 기하학적 프로파일 사이의 거리를 검출하는 단계, 및 검출된 거리가 기하학적 프로파일의 변화를 표시할 때, 증착 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법이 제공된다. 방법은, 이송 방향으로 이송되는 캐리어의 단부 부분의 적어도 하나의 재료 특징 또는 특성을 검출하는 단계, 및 적어도 하나의 검출된 재료 특징 또는 특성이 재료 변화를 표시할 때, 증착 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함한다.
[0011] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 증착 시스템이 제공된다. 시스템은 증착 챔버, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어, 및 증착 챔버 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트(transport arrangement)를 포함한다.
[0012] 실시예들은 또한, 개시된 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이며, 각각의 설명된 방법 양상을 수행하기 위한 장치 부분들을 포함한다. 이들 방법 양상들은, 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명된 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다:
도 1은 캐리어 및 안내 구조의 개략도를 도시하고;
도 2a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어의 개략도를 도시하고;
도 2b는 본원에서 설명되는 추가의 실시예들에 따른, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어의 개략도를 도시하고;
도 3은 본원에서 설명되는 또 다른 추가의 실시예들에 따른, 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어의 개략도를 도시하고;
도 4a 및 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치의 개략도들을 도시하고;
도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판 프로세싱을 위한 시스템의 개략도를 도시하고;
도 6은 본원에서 설명되는 추가의 실시예들에 따른, 기판 프로세싱을 위한 시스템의 개략도를 도시하고; 그리고
도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법의 흐름도를 도시한다.
[0014] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세하게 참조될 것이며, 다양한 실시예들 중 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에서 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되며, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 또한, 일 실시예의 부분으로서 예시되거나 또는 설명되는 특징들은 또 다른 추가적인 실시예를 산출하기 위해, 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하도록 의도된다.
[0015] 캐리어들은, 증착 시스템의 증착 챔버 내에서 기판들 및/또는 마스크들을 홀딩 및 이송하기 위해, 증착 시스템, 이를테면, 진공 증착 시스템에서 사용될 수 있다. 예컨대, 기판이 캐리어 상에 지지되는 동안, 하나 또는 그 초과의 재료 층들이 기판 상에 증착될 수 있다. 유기 발광 디바이스들과 같은 애플리케이션들의 경우, 기판 상에 증착되는 유기 층들의 높은 순도 및 균일성이 유리할 수 있다. 또한, 예컨대, 기판 파손을 감소시키기 위해서는, 증착 시스템 내부에서의 캐리어의 원활한 이송이 유리하다.
[0016] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 캐리어는, 하나 또는 그 초과의 센서들에 의해 검출될 수 있는 가변 특징들을 갖는 검출가능 디바이스를 갖는다. 일 실시예에서, 캐리어에는 캐리어의 단부 부분의 가변적인, 즉, 일정하지 않은 기하학적 프로파일이 제공된다. 다른 실시예에서, 캐리어에는 상이한 재료들 또는 재료 특성들의 섹션들이 제공된다. 증착 시스템의 이송 어레인지먼트는 변동을 검출하고, 그리고 이송 어레인지먼트에 대한 캐리어의 위치, 특히 캐리어의 하나 또는 그 초과의 단부들의 위치를 결정할 수 있다. 캐리어의 비접촉식 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트는 검출된 변동 및 그로부터 유도된 캐리어 또는 단부들의 포지션에 기반하여 제어될 수 있다. 예컨대, 캐리어의 하나 또는 그 초과의 에지들의 포지션이 결정될 수 있고, 이송 어레인지먼트의 하나 또는 그 초과의 능동 자석 유닛들이 선택적으로 제어될 수 있다. 특히, 캐리어의 에지들에 로케이팅된 그리고/또는 에지 부분들이 접근(approach)하는 능동 자석 유닛들이 제어될 수 있다. 이송 방향으로의 캐리어의 원활한 이송이 달성될 수 있다. 입자들의 발생 및/또는 캐리어의 불안정한 이송으로 인한 기판 파손이 감소되거나 또는 심지어 회피될 수 있다.
[0017] 도 1은 캐리어(100), 및 수평 방향일 수 있는 이송 방향(1)으로의 캐리어(100)의 비접촉식 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트의 일부의 개략도를 도시한다.
[0018] 이송 어레인지먼트는 능동 안내 구조일 수 있는 안내 구조(110)를 포함한다. 안내 구조(110)는 이송 방향을 따라 배열된 복수의 안내 유닛들(111)을 포함한다. 각각의 안내 유닛(111)은 (예컨대, 전자기) 액추에이터, 이를테면, 능동 자석 유닛(112), 액추에이터를 제어하도록 구성된 제어기(114), 및 캐리어(100)에 대한 갭을 측정하도록 구성된 거리 센서(116)를 포함한다. 안내 구조(110)는 자기력들을 사용하여 캐리어(100)를 비접촉식으로 부상시키도록 구성될 수 있다.
[0019] 캐리어(100)가 안내 유닛(111)에 접근하거나 또는 안내 유닛(111)을 떠날 때, 부상 정확도 및/또는 부상 안정성이 영향을 받을 수 있다. 특히, 캐리어(100)가 안내 유닛(111)에 접근하거나 또는 안내 유닛(111)을 떠날 때, 캐리어(100)의 갑작스러운 가속 또는 감속을 초래할 수 있는 상당한 및/또는 펄스형 힘이 생성될 수 있다. 그 힘은 안내 구조(110), 특히 복수의 안내 유닛들(111)의 컴포넌트들(예컨대, 전자기 액추에이터(들) 및 센서(들))의 기하학적 어레인지먼트 및 구성에 의존할 수 있다. 그 힘은 캐리어(100)의 원하지 않는 그리고 갑작스러운 이동들을 초래할 수 있으며, 심지어 캐리어(100)와 안내 구조(110) 사이의 우발적인 기계적 접촉을 초래할 수 있다. 캐리어(100), 기판 및/또는 안내 구조(110)가 손상될 수 있다. 또한, 증착 프로세스의 품질을 악화시키는 입자들이 발생될 수 있다.
[0020] 부상력의 방향, 특히 액추에이터에 의해 제공되는 자기력의 방향(예컨대, 수직 방향(3))에서의 힘의 변화 또는 펄스형 힘은, 캐리어(100)가 거리 센서(116) 아래에서 갑자기 사라질 때, 발생할 수 있다. 이는, 캐리어가 거리(또는 측정) 방향, 이를테면, 수직 방향(3)으로 거리 센서(116)로부터 멀어지는 빠른 이동을 수행하는 것과 동일한 신호 값을 거리 센서(116)에서 초래할 수 있다. 다시 말해, 거리 센서(116)는 갭 확대를 표시한다. 신호 변화는 제어기로 하여금 액추에이터 힘을 강하게 증가시키게 하여, "이동하는" 캐리어(100)를 안내 구조(110)와 캐리어(100) 사이의 설정 거리로 되돌아가게 할 수 있다.
[0021] 더욱이, 캐리어(100)가 안내 유닛(111)에 접근하거나 또는 안내 유닛(111)을 떠날 때, 이송 방향(1)을 따라 힘 성분이 생성될 수 있다. 힘 성분은 심지어, 캐리어(100)의 추가의 이송을 방해하기에 충분히 강할 수 있다. 이송 방향(1)을 따르는 힘 성분은 캐리어의 전방 면 및/또는 후방 면(예컨대, 리딩 레지 또는 트레일링 에지)에 작용하는 액추에이터의 자기저항(reluctance)으로부터 비롯될 수 있다. 이는 캐리어(100)의 후방 면에서의 자기장 라인들에 의해 도 1에서 예시적으로 예시된다.
[0022] 도 2a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어(200)의 개략도를 도시한다. 캐리어(200)는 도 1을 참조하여 위에서 설명된 원하지 않는 이동들을 회피할 수 있다.
[0023] 캐리어(200)는, 캐리어(200)의 이송 방향(1)을 따라 제공되는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)을 갖는 자기 구조를 포함한다. 캐리어(200)는, 캐리어(200)의 단부 부분에 배열되고 그리고 이송 방향(1)을 따라 변화하는 기하학적 프로파일(220)을 갖는 검출 디바이스를 더 포함한다. 기하학적 프로파일(220)은, 안내 구조의 복수의 안내 유닛들(111) 중 적어도 하나의 안내 유닛에 대해, 캐리어(200)의 포지션 또는 캐리어(200)의 단부들의 포지션들을 결정하기 위해, 진공 시스템의 이송 어레인지먼트의 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)에 의해 검출가능할 수 있다. 이와 관련하여, 기하학적 프로파일(220)은 또한, "센서 트레일(sensor trail)"로 지칭될 수 있다.
[0024] 캐리어(200)는, 이송 경로, 이를테면, 선형 이송 경로를 따르는, 증착 시스템의 하나 또는 그 초과의 챔버들, 이를테면, 진공 챔버를 통한, 특히 적어도 하나의 증착 영역을 통한 비접촉식 이송을 위해 구성된다. 캐리어(200)는, 수평 방향일 수 있는 이송 방향(1)으로의 비접촉식 이송을 위해 구성될 수 있다.
[0025] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 증착 시스템은 증착 시스템 내에서의 캐리어(200)의 비접촉식 부상 및/또는 비접촉식 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트를 포함할 수 있다. 이송 관리부는 캐리어(200)를 부상시키기 위한 자기 부상력을 제공하기 위한 안내 구조 및 캐리어(200)를 이송 방향(1)으로 이동시키기 위한 구동 구조를 포함할 수 있다. 캐리어(200)의 자기 구조의 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)은 안내 구조와 자기적으로 상호작용하도록 구성될 수 있다. 일부 구현들에서, 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)은 수동 자석 유닛들, 이를테면, 영구 자석 유닛 및/또는 강자성 부분들일 수 있다.
[0026] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어(200)의 자기 구조는 이송 방향(1)으로 캐리어(200)를 이동시키기 위한 구동 구조와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들(도시되지 않음)을 포함한다. 일부 구현들에서, 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들은 수동 자석 유닛들, 이를테면, 강자성체들일 수 있다. 안내 구조 및 구동 구조는 캐리어(200)의 반대편 단부들 또는 단부 부분들에 배열될 수 있다. 마찬가지로, 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 및 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들은 캐리어(200)의 반대편 단부들 또는 단부 부분들에 배열될 수 있다.
[0027] 캐리어(200)는 단부 부분(들), 이를테면, 제1 단부 부분, 및 제1 단부 부분 반대편의 제2 단부 부분을 갖는다. 기판은 제1 단부 부분과 제2 단부 부분 사이에 로케이팅될 수 있다. 제1 단부 부분은 최상부(또는 상부) 단부 부분일 수 있고, 제2 단부 부분은 최하부(또는 하부) 단부 부분일 수 있다. 제1 단부 부분 및 제2 단부 부분은, 예컨대 본질적으로 수평 방향으로, 본질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 기하학적 프로파일(220)은 제1 단부 부분 및/또는 제2 단부 부분에 제공될 수 있다. 도 2a의 예는, 캐리어(200)의 최상부 또는 상부 단부 부분인 제1 단부 부분의 기하학적 프로파일(220) 및 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)을 예시적으로 예시한다. 기하학적 프로파일(220) 및 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)은 이송 어레인지먼트의 안내 구조와 대면할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들은, 캐리어(200)의 최하부 또는 하부 단부 부분일 수 있는 제2 단부 부분에 로케이팅될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들은 이송 어레인지먼트의 구동 구조와 대면할 수 있다.
[0028] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기하학적 프로파일(220)은, 예컨대 이송 방향(1)으로 캐리어(200)의 전체 길이에 걸쳐 연장되는 엘리먼트이다. 캐리어(200)의 길이는 이송 방향(1)을 따라, 예컨대, 이송 방향(1)을 따라 캐리어(200)의 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 정의될 수 있다.
[0029] 증착 시스템, 특히 이송 어레인지먼트는 복수의 안내 유닛들(111)을 갖는 안내 구조를 포함할 수 있다. 각각의 안내 유닛(111)은, 액추에이터(112), 이를테면, 능동 자석 유닛, 액추에이터(112)를 제어하도록 구성된 제어기(114), 및 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)과 액추에이터(112) 사이의 갭을 감지 또는 측정하도록 구성된 제2 센서(116)를 포함할 수 있다. 갭은 이송 방향(1)에 수직하는 방향, 이를테면, 수직 방향(3)에서 측정될 수 있다. 특히, 제2 센서(116)는, 예컨대 캐리어(200)가 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)과 액추에이터(112) 사이의 갭을 감지 또는 측정하기 위해 제2 센서(116)에 있을 때, 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)과 대면하도록 배열될 수 있다. 제2 센서(116)는 거리 센서일 수 있다.
[0030] 제어기(114)는, 제2 센서(116)에 의해 측정된 갭에 기반하여 액추에이터(112)에 의해 제공되는 자기력을 조정하게 액추에이터(112)를 제어하도록 구성될 수 있다. 특히, 제어기(114)는, 캐리어(200)가 증착 시스템을 통해 이송되는 동안에 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)과 액추에이터(112) 사이의 거리가 본질적으로 일정하도록, 액추에이터(112)를 제어하도록 구성될 수 있다. 도 2a는, 각각의 안내 유닛(111)이 제어기를 갖는 것을 예시적으로 예시하지만, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, 제어기는 2개 또는 그 초과의 안내 유닛들에 할당될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예컨대, 모든 안내 유닛들을 위해 하나의 단일 제어기가 제공될 수 있다.
[0031] 안내 구조는, 검출가능 디바이스, 예컨대 기하학적 프로파일(220)을 검출하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)을 더 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)은 하나 또는 그 초과의 제2 센서들(116)에 부가하여 제공될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)은 개개의 제1 센서와 기하학적 프로파일 사이의, 특히 개개의 제1 센서와, 제1 센서와 대면하는 기하학적 프로파일의 표면 사이의 거리를 검출하도록 구성된 거리 센서들일 수 있다. 거리는 이송 방향(1)에 수직하는 방향, 이를테면, 수직 방향(3)에서 측정될 수 있다. 일부 구현들에서, 각각의 안내 유닛(111)은 기하학적 프로파일(220)을 검출하기 위해 개개의 제1 센서를 포함한다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, 제1 센서 및 제2 센서의 기능들은 동일한 센서에 의해 제공될 수 있다. 특히, 각각의 안내 유닛(111)은, 제1 센서 및 제2 센서의 기능들을 결합한 단지 하나의 센서만을 포함할 수 있다.
[0032] 검출가능 디바이스는 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)에 의해 검출가능할 수 있다. 일부 구현들에서, 검출가능 디바이스는, 예컨대 검출가능 디바이스가 개개의 제1 센서(들)에, 예컨대 개개의 제1 센서(들) 아래에 로케이팅될 때, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)과 대면하도록 배열된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 검출가능 디바이스와 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)은, 예컨대 이송 방향(1)과 평행한 평면, 이를테면, 본질적으로 수평 평면에서 서로 근처에 배열될 수 있다. 예컨대, 검출가능 디바이스는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)을 갖는, 캐리어(200)의 자기 구조에 부착될 수 있다.
[0033] 일부 구현들에서, 도 2a의 우측 상에 예시된 바와 같이, 개개의 안내 유닛(111)의 제1 센서와 제2 센서는, 제1 센서가 검출가능 디바이스와 대면하고 그리고 제2 센서가 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 또는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 근처의 별개의 센서 트레일과 대면하도록, 서로 근처에 배열될 수 있다. 선택적으로, 안내 유닛(111)의 액추에이터는, 액추에이터가 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)과 대면하도록, 제1 센서 및 제2 센서 근처에 배열될 수 있다. 예컨대, 액추에이터, 제1 센서 및 제2 센서는 동일한 평면, 이를테면, 본질적으로 수평 평면에 배열될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 센서는 검출가능 디바이스에 의해 제공된 제1 센서 트레일과 대면하고, 액추에이터는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)에 의해 제공된 액추에이터 트레일과 대면한다. 제2 센서는, 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 근처의 별개의 센서 트레일 또는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)에 의해 제공될 수 있는 제2 센서 트레일과 대면할 수 있다.
[0034] 기하학적 프로파일(220)은 캐리어(200)의 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 이송 방향(1)을 따라 변화한다. 기하학적 프로파일(220)은 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 연장되는 제1 센서 트레일을 제공할 수 있다. 본 개시내용 전반에 걸쳐 사용되는 "기하학적 프로파일"이라는 용어는, 이송 방향(1)으로 연장되고, 그리고 이송 방향(1)과 이송 방향(1)에 수직하는 적어도 하나의 방향, 이를테면, 수직 방향(3)에 의해 정의된 평면에서 일정하지 않은(또는 변화하는) 단면 형상을 갖는 프로파일 또는 프로파일을 갖는 엘리먼트를 나타낸다. 기하학적 프로파일(220)은, 이송 방향(1)에서 볼 때, 캐리어(200)의 제1 단부(201)(예컨대, 이송 방향(1)에서 캐리어(200)의 최외측 경계를 정의할 수 있는 전방 면 또는 리딩 에지)와 제2 단부(202)(예컨대, 이송 방향(1)과 반대되는 방향에서 캐리어(200)의 최외측 경계를 정의할 수 있는 후방 면 또는 트레일링 에지) 사이에 정의될 수 있다. 다시 말해, 변화하는 기하학적 프로파일은 캐리어(200)의 제1 단부(201) 또는 제2 단부(202)의 에지를 나타내는 것이 아니라, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)에 의해 검출될 수 있는, 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이의 추가의 구조적 변동들을 나타낸다.
[0035] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기하학적 프로파일(220)은 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들을 포함한다. 일부 구현들에서, 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들은, 리세스(recess), 불연속부(discontinuity), 스텝(step), 경사부(inclination), 및 이들의 임의의 조합을 포함하는 그룹으로부터 선택될 수 있다. 예컨대, 기하학적 프로파일(220)은, 캐리어(200)의 길이를 따라 연장되고 그리고 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들, 이를테면, 하나 또는 그 초과의 리세스들(222)을 갖는 엘리먼트일 수 있다.
[0036] 일부 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들은 캐리어(200)의 제1 단부(201) 및/또는 제2 단부(202)에 배열된다. 예컨대, 적어도 하나의 제1 형상 엘리먼트는 제1 단부(201)에 배열될 수 있고, 그리고/또는 적어도 하나의 제2 형상 엘리먼트들은 제2 단부(202)에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 제1 형상 엘리먼트와 적어도 하나의 제2 형상 엘리먼트는 본질적으로 동일할 수 있거나 또는 상이할 수 있다. 도 2의 예에서, 적어도 하나의 제1 형상 엘리먼트와 적어도 하나의 제2 형상 엘리먼트 둘 모두는 기하학적 프로파일(220)을 제공하는 엘리먼트의 리세스들이다.
[0037] 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들은, 캐리어(200)의 단부들이 안내 구조에 대해 어디에 로케이팅되는지가 결정될 수 있도록, 캐리어(200)의 단부들에 배열될 수 있다. 안내 유닛들(111)의 하나 또는 그 초과의 능동 자석 유닛들은 이송 방향으로 캐리어의 원활한 이송을 제공하도록 제어될 수 있다. 특히, 캐리어의 에지(들)에 로케이팅된 그리고/또는 에지(들)가 접근하는 액추에이터들이 제어될 수 있다. 예컨대, 액추에이터(들)에 의해 제공되는 자기력은, 근처의 액추에이터들/자석 유닛들 사이에서의 캐리어(200)의 단부들의 원활한 전이를 제공하기 위해 연속적으로 증가 또는 감소될 수 있다. 예컨대, 캐리어(200)가 액추에이터를 "떠날" 때, 액추에이터가 캐리어(200) 상에 본질적으로 어떤 힘도 가하지 않도록, 액추에이터의 동작이 감소될 수 있다.
[0038] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 안내 유닛(111)의 제어기(114)는, 액추에이터(112) 및/또는 제2 센서(116)가 캐리어(200) 상의 개개의 트레일을 "떠나기" 전에, 액추에이터(112)를 활성해제(deactivate)시킬 수 있다. 선택적으로 또는 대안적으로, 안내 유닛(111)의 제어기(114)는, 액추에이터(112) 및/또는 제2 센서(116)가 캐리어(200) 상의 개개의 트레일들과 대면한 후에만, 액추에이터(112)를 활성화시킬 수 있다. 다시 말해, 액추에이터는, 캐리어(200)가 액추에이터를 "떠나기" 전에, 활성해제된다. 마찬가지로, 활성해제된 액추에이터는, 액추에이터와 캐리어의 자석 구조가 오버랩한 후에만 활성화된다. 액추에이터의 활성화 및/또는 활성해제는 단계적이거나, 연속적이거나, 또는 갑작스러울 수 있다.
[0039] 일부 실시예들에 따르면, 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들의 개별적인 형상 엘리먼트는, 이송 방향(1)으로 기하학적 프로파일(220) 및/또는 캐리어(200)의 길이를 따라 길이 연장부를 가질 수 있다. 개별적인 형상 엘리먼트의 길이 연장부는 기하학적 프로파일(220) 및/또는 캐리어(200)의 길이의 적어도 1%, 구체적으로는 그 길이의 적어도 4%, 구체적으로는 그 길이의 적어도 8%에 대응할 수 있다.
[0040] 캐리어(200)는 기판 프로세싱, 이를테면, 진공 프로세싱 동안에 사용되는 기판 및/또는 마스크(도시되지 않음)를 홀딩하도록 구성될 수 있다. 일부 구현들에서, 캐리어(200)는 기판 및 마스크 둘 모두를 지지하도록 구성될 수 있다. 추가의 구현들에서, 캐리어(200)는 기판 또는 마스크를 지지하도록 구성될 수 있다. 이러한 경우, 캐리어(200)는 "기판 캐리어" 및 "마스크 캐리어"로 각각 지칭될 수 있다.
[0041] 캐리어(200)는, 예컨대 기판의 후방 표면에 접촉하도록 구성된 본질적으로 평평한 표면일 수 있는 지지 표면을 제공하는 지지 구조 또는 바디(205)를 포함할 수 있다. 특히, 기판은, 후방 표면의 반대편이고 그리고 진공 증착 프로세스와 같은 프로세싱 동안 상부에 층이 증착되는 전방 표면("프로세싱 표면"으로 또한 지칭됨)을 가질 수 있다. 기하학적 프로파일(220)은 바디(205)에서 제공될 수 있다.
[0042] 본 개시내용 전반에 걸쳐 사용되는 "진공"이라는 용어는, 예컨대 10 mbar 미만의 진공 압력을 갖는 기술적 진공의 의미로 이해될 수 있다. 진공 챔버 내의 압력은 10-5 mbar 내지 대략 10-8 mbar, 구체적으로는 10-5 mbar 내지 10-7 mbar, 더 구체적으로는 대략 10-6 mbar 내지 대략 10-7 mbar일 수 있다. 진공 챔버 내부의 진공의 생성을 위해 진공 챔버에 연결된 하나 또는 그 초과의 진공 펌프들, 이를테면, 터보 펌프(turbo pump)들 및/또는 크라이오-펌프(cryo-pump)들이 제공될 수 있다.
[0043] 본 개시내용에 따른 캐리어(200)는 기판 및/또는 마스크를 캐리어(200)에 홀딩하기 위한 정전기력을 제공하는 정전 척(E-척)일 수 있다. 예컨대, 캐리어(200)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나에 작용하는 인력(attracting force)을 제공하도록 구성된 전극 어레인지먼트를 포함한다. 전극 어레인지먼트는 바디(205)에 임베딩될 수 있거나, 또는 바디(205) 상에 제공될 수 있는데, 예컨대, 배치될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 바디(205)는 유전체 바디, 이를테면, 유전체 플레이트이다. 유전체 바디는 유전체 재료, 바람직하게는 높은 열 전도도의 유전체 재료, 이를테면, 열분해성 붕소 나이트라이드, 알루미늄 나이트라이드, 실리콘 나이트라이드, 알루미나 또는 등가의 재료로 제조될 수 있지만, 폴리이미드와 같은 재료들로 제조될 수 있다. 일부 실시예들에서, 전극 어레인지먼트는, 유전체 플레이트 상에 위치되고 얇은 유전체 층으로 커버되는 복수의 전극들, 이를테면, 미세 금속 스트립들의 그리드를 포함한다.
[0044] 전극 어레인지먼트, 특히, 복수의 전극들은 인력, 이를테면, 척킹력을 제공하도록 구성될 수 있다. 인력은, 복수의 전극들(또는 지지 표면)과 기판 및/또는 마스크 사이의 소정의 상대 거리에서 기판 및/또는 마스크에 작용하는 힘일 수 있다. 인력은, 복수의 전극 어레인지먼트에 인가되는 전압들에 의해 제공되는 정전기력일 수 있다.
[0045] 기판은, E-척일 수 있는 캐리어(200)에 의해 제공되는 인력에 의해, 지지 표면 쪽으로(예컨대, 이송 방향에 수직하는 방향으로) 끌어당겨질 수 있다. 인력은, 예컨대 마찰력들에 의해 수직 포지션으로 기판을 홀딩하기에 충분히 강할 수 있다. 특히, 인력은 기판을 지지 표면 상에 본질적으로 이동가능하지 않게(immoveable) 고정시키도록 구성될 수 있다. 예컨대, 마찰력들을 사용하여 0.5 ㎜ 유리 기판을 수직 포지션으로 홀딩하기 위해, 마찰 계수에 따라, 대략 50 내지 100 N/m2 (Pa)의 끌어당기는 압력(attracting pressure)이 사용될 수 있다.
[0046] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어(200)는 실질적으로 수직 배향으로 기판 및/또는 마스크를 홀딩 또는 지지하도록 구성된다. 특히, 캐리어는 수직 배향으로의 이송을 위해 구성될 수 있다. 본 개시내용 전반에 걸쳐 사용되는 바와 같이, "실질적으로 수직"은, 특히 기판 배향을 언급할 경우에, ±20° 또는 그 미만, 예컨대 ±10° 또는 그 미만의, 수직 방향 또는 배향으로부터의 편차를 허용하는 것으로 이해된다. 이러한 편차는, 예컨대 수직 배향으로부터 약간의 편차를 갖는 기판 지지부가 더 안정적인 기판 포지션을 유발할 수 있기 때문에, 제공될 수 있다. 또한, 기판이 전방으로 기울어지는 경우에 더 적은 입자들이 기판 표면에 도달한다. 그러나, 예컨대 증착 프로세스 동안의 기판 배향은 실질적으로 수직인 것으로 고려되며, 이는, 수평 ±20° 또는 그 미만으로서 고려될 수 있는 수평 기판 배향과는 상이한 것으로 고려된다.
[0047] "수직 방향" 또는 "수직 배향"이라는 용어는 "수평 방향" 또는 "수평 배향"과 구별되는 것으로 이해된다. 즉, "수직 방향" 또는 "수직 배향"은 예컨대, 캐리어 및 기판의 실질적으로 수직 배향에 관한 것이며, 정확한 수직 방향 또는 수직 배향으로부터의 몇 도, 예컨대 최대 10° 또는 심지어 최대 15°의 편차는 여전히 "실질적으로 수직 방향" 또는 "실질적으로 수직 배향"으로 간주된다. 수직 방향은 중력에 실질적으로 평행할 수 있다.
[0048] 본원에서 설명되는 실시예들은, 예컨대, OLED 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판들 상의 증발을 위해 활용될 수 있다. 구체적으로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 구조들 및 방법들이 제공되는 기판들은 대면적 기판들이다. 예컨대, 대면적 기판 또는 캐리어는, 대략 0.67 m2(0.73 × 0.92 m)의 표면적에 대응하는 GEN 4.5, 대략 1.4 m2(1.1 m × 1.3 m)의 표면적에 대응하는 GEN 5, 대략 4.29 m2(1.95 m × 2.2 m)의 표면적에 대응하는 GEN 7.5, 대략 5.7 m2(2.2 m × 2.5 m)의 표면적에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어, 대략 8.7 m2(2.85 m × 3.05 m)의 표면적에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 훨씬 더 큰 세대들 및 대응하는 표면적들이 유사하게 구현될 수 있다. GEN 세대들의 절반 사이즈들이 또한, OLED 디스플레이 제조에 제공될 수 있다.
[0049] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기판 두께는 0.1 내지 1.8 ㎜일 수 있다. 기판 두께는 대략 0.9 ㎜ 또는 그 미만, 이를테면, 0.5 ㎜일 수 있다. 본원에서 사용되는 "기판"이라는 용어는 특히, 실질적으로 비가요성 기판들, 예컨대 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명한 크리스털의 슬라이스들, 또는 유리 플레이트를 포괄할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, "기판"이라는 용어는 또한, 웹 또는 포일과 같은 가요성 기판들을 포괄할 수 있다. "실질적으로 비가요성"이라는 용어는 "가요성"과 구별되는 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적으로 비가요성 기판, 예컨대, 0.9 ㎜ 또는 그 미만, 이를테면, 0.5 ㎜ 또는 그 미만의 두께를 갖는 유리 플레이트는 어느 정도의 가요성을 가질 수 있는데, 여기서, 실질적으로 비가요성 기판의 가요성은 가요성 기판들에 비해 작다.
[0050] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 기판은, 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 유리(예컨대, 소다-석회 유리(soda-lime glass), 보로실리케이트 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들 또는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 제조될 수 있다.
[0051] 도 2b는 본원에서 설명되는 추가의 실시예들에 따른, 시스템, 이를테면, 진공 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어(200')의 개략도를 도시한다. 도 2b의 캐리어(200')는 도 2a의 캐리어와 유사하며, 유사한 또는 동일한 양상들의 설명은 반복되지 않는다.
[0052] 캐리어(200')는 캐리어(200')의 단부 부분에 검출가능 디바이스(220')를 포함하며, 검출가능 디바이스(220')는 이송 방향(1)을 따라 배열된 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')을 갖는다. 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')은 상이한 특성들, 이를테면, 상이한 자기 특성들, 상이한 광학 특성들, 및/또는 상이한 전기 특성들을 갖는다. 일부 구현들에서, 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')은 상이한 특성들을 제공하도록 상이한 재료들로 제조될 수 있다. 추가의 구현들에서, 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')은 상이한 특성들을 제공하도록 구성된 본질적으로 동일한 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 자성 재료는, 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')을 제공하기 위해 상이하게 자화될 수 있다. 검출가능 디바이스(220')는, 안내 구조의 복수의 안내 유닛들(111) 중 적어도 하나의 안내 유닛에 대해, 캐리어(200')의 포지션 또는 캐리어(200')의 단부들의 포지션들을 결정하기 위하여, (진공) 시스템의 이송 어레인지먼트의 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)에 의해 검출가능할 수 있다. 이와 관련하여, 검출가능 디바이스(220')는 또한, "센서 트레일"로 지칭될 수 있다.
[0053] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 검출가능 디바이스는 이송 방향(1)으로 캐리어(200')의 전체 길이에 걸쳐 연장된다. 캐리어(200')의 길이는 이송 방향(1)을 따라, 예컨대, 이송 방향(1)을 따라 캐리어(200')의 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 정의될 수 있다.
[0054] 일부 구현들에서, 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')은 상이한 재료들로 이루어질 수 있고, 자성 재료를 갖는 적어도 하나의 제1 섹션 및 비-자성 재료를 갖는 적어도 하나의 제2 섹션을 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)은 자성 재료를 검출하도록 구성된 홀 센서(Hall sensor)들일 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)이, 캐리어(200')의 에지들에 로케이팅될 수 있는 자성 재료를 검출할 때, 캐리어의 에지가 안내 유닛에 접근하는 것 또는 안내 유닛을 떠나는 것이 결정될 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 자기 구성으로 제한되지 않는다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)이 2개 또는 그 초과의 섹션들 사이의 차이를 검출할 수 있다면, 광학 및/또는 전기 구성들이 사용될 수 있다.
[0055] 안내 구조는, 검출가능 디바이스, 예컨대 자석 재료를 검출하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)을 더 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들은 하나 또는 그 초과의 제2 센서들(116)에 부가하여 제공될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)은 자성 재료로부터 비롯된 자기장을 검출하도록 구성된 홀 센서들일 수 있다. 일부 구현들에서, 검출가능 디바이스(220')는, 예컨대 검출가능 디바이스가 개개의 제1 센서(들)에, 예컨대 개개의 제1 센서(들) 아래에 로케이팅될 때, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)과 대면하도록 배열된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 검출가능 디바이스 및 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)은, 예컨대 이송 방향(1)과 평행한 평면, 이를테면, 본질적으로 수평 평면에서 서로 근처에 배열될 수 있다. 예컨대, 검출가능 디바이스(220')는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210)을 갖는, 캐리어(200)의 자기 구조에 부착될 수 있다.
[0056] 검출가능 디바이스(220')는 캐리어(200')의 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 이송 방향(1)을 따라 가변 광학 특징들(예컨대, 밝기, 색상, 또는 바코드(bar code)), 가변 재료 특징들, 이를테면, 자기 특성들, 또는 가변 전기 특징들(예컨대, 상이한 유도성 및/또는 저항성 특성들)을 제공한다. 검출가능 디바이스(220')는 제1 단부(201)와 제2 단부(202) 사이에서 연장되는 제1 센서 트레일을 제공할 수 있다.
[0057] 검출가능 디바이스(220')는 이송 방향(1)을 따라 배열된 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')을 포함한다. 2개 또는 그 초과의 섹션들(222')은, 제1 재료 특성을 갖는 적어도 하나의 제1 섹션 및 제1 재료 특성과 상이한 제2 재료 특성을 갖는 적어도 하나의 제2 섹션을 포함할 수 있다. 재료 특성들은 광학, 전기, 또는 자기 특성들일 수 있다. 적어도 하나의 제1 섹션은 제1 단부 및/또는 제2 단부에 배열될 수 있다. 예컨대, 각각의 단부는 개개의 제1 섹션을 가질 수 있다. 적어도 하나의 제2 섹션은 2개의 제1 섹션들 사이에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 제2 섹션은, 예컨대, 캐리어의 중간 부분에 걸쳐 연장될 수 있다.
[0058] 일부 실시예들에 따르면, 자성 재료를 갖는 각각의 제1 섹션은 이송 방향(1)으로 검출가능 디바이스(220') 및/또는 캐리어(200')의 길이를 따라 길이 연장부를 가질 수 있다. 제1 섹션의 길이 연장부는 검출가능 디바이스(220') 및/또는 캐리어(200)의 길이의 적어도 1%, 구체적으로는 그 길이의 적어도 4%, 구체적으로는 그 길이의 적어도 8%에 대응할 수 있다.
[0059] 도 3은 본원에서 설명되는 추가의 실시예들에 따른, 진공 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어(300)의 개략도를 도시한다. 도 3의 캐리어(300)는 도 2a 및 2b에서 예시된 캐리어와 유사하며, 유사한 또는 동일한 엘리먼트들의 설명은 반복되지 않는다.
[0060] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기하학적 프로파일은 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들을 포함한다. 도 3의 예에서, 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들은 경사부(inclination)들(322)이다.
[0061] 일부 구현들에서, 경사부(322)는 이송 방향(1)에 대해 경사진, 캐리어(300)의 표면일 수 있다. 예컨대, 경사부(322)는 수평 평면에 대해 경사질 수 있다. 일부 실시예들에서, 경사부들(322)은 캐리어(200)의 제1 단부(201) 및/또는 제2 단부(202)에 배열된다. 예컨대, 적어도 하나의 제1 경사부는 제1 단부(201)에 배열될 수 있고, 그리고/또는 적어도 하나의 제2 경사부는 캐리어의 제2 단부(202)에 배열될 수 있다. 적어도 하나의 제1 경사부 및 적어도 하나의 제2 경사부는 반대되는 방향들로 경사질 수 있다. 특히, 적어도 하나의 제1 경사부와 적어도 하나의 제2 경사부는 거울-대칭(mirror-symmetrical)일 수 있다.
[0062] 제1 센서는, 캐리어(300)가 이송 방향(1)으로 이동할 때, 경사부(322)를 검출할 수 있다. 제1 센서와 제1 센서에 의해 검출되는 경사부(322) 사이의 거리는 이송 방향(1) 및/또는 경사 방향에 따라 증가 또는 감소된다. 안내 유닛들(111)의 하나 또는 그 초과의 능동 자석 유닛들은 이송 방향으로 캐리어(300)의 원활한 이송을 제공하도록 제어될 수 있다. 특히, 경사부(들)에 로케이팅된 액추에이터들이 제어될 수 있다. 예컨대, 액추에이터(들)에 의해 제공되는 자기력은, 근처의 액추에이터들/자석 유닛들 사이에서의 캐리어의 단부들의 원활한 전이를 제공하기 위해 경사부에 의해 제공되는 가변 거리에 기반하여 연속적으로 증가 또는 감소될 수 있다. 특히, 도 3에서, 캐리어(300)의 좌측 측부 상의 경사부는, 캐리어가 상향으로 이동하는 것과 동일한 검출 신호를 제1 센서에서 초래할 수 있다. 제어기는, 예컨대 캐리어가 액추에이터를 "떠날" 때, 좌측 측부 상의 액추에이터가 캐리어 상에 부상력을 가하지 않도록, 액추에이터 전류를 감소시킴으로써, 액추에이터 힘을 감소시킬 수 있다.
[0063] 도 2의 예에서, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들 및 안내 구조는 기하학적 프로파일의 동일한 측 상에 배열된다. 다른 예들에서, 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들 및 안내 구조는 기하학적 프로파일의 대향 측들 상에 배열될 수 있다. 특히, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들 및 안내 구조는 자신들 사이에 캐리어의 자석 구조를 위한 안내 공간을 정의하도록 배열될 수 있다. 예컨대, 안내 구조, 특히 액추에이터들은 캐리어(300)의 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 위에 로케이팅될 수 있고, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)은 캐리어(300)의 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 아래에 로케이팅될 수 있다.
[0064] 도 4a 및 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어(410)의 비접촉식 이송을 위한 장치(400)의 개략도들을 도시한다. 캐리어(410)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따라 구성될 수 있다.
[0065] 장치(400)는, 복수의 능동 자기 유닛들(475)을 포함하는 안내 구조(470)를 갖는 이송 어레인지먼트, 기하학적 프로파일을 검출하기 위한 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(도시되지 않음), 및 본 개시내용에 따른 캐리어(410)를 포함한다. 하나 또는 그 초과의 제1 센서들은 하나 또는 그 초과의 제1 센서들과 캐리어(410)의 기하학적 프로파일 사이의 거리를 검출하도록 구성될 수 있다. 장치(400)는, 하나 또는 그 초과의 제1 센서들에 의해 제공되는 검출 데이터에 기반하여 복수의 능동 자석 유닛들(475) 중 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 선택적으로 제어하도록 구성된 제어기를 더 포함할 수 있다. 본원에서 설명되는 일부 실시예들에 따르면, 이송 어레인지먼트는 진공 시스템의 진공 챔버 내에 배열될 수 있다. 진공 챔버는 진공 증착 챔버일 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 진공 시스템들로 제한되지 않으며, 본원에서 설명된 캐리어들 및 이송 어레인지먼트들은 대기 환경들에서 구현될 수 있다.
[0066] 캐리어(410)는, 캐리어(410)를 부상시키기 위한 자기 부상력을 제공하기 위해 진공 시스템의 안내 구조(470)와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들을 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들은 제1 수동 자기 유닛(450)일 수 있다. 안내 구조(470)는, 수평 방향일 수 있는, 캐리어(410)의 이송 방향(1)으로 연장될 수 있다. 안내 구조(470)는 복수의 능동 자기 유닛들(475)을 포함할 수 있다. 캐리어(410)는 안내 구조(470)를 따라 이동가능할 수 있다. 제1 수동 자기 유닛(450), 예컨대 강자성 재료의 바(bar), 및 안내 구조(470)의 복수의 능동 자기 유닛들(475)은 캐리어(410)를 부상시키기 위한 제1 자기 부상력을 제공하도록 구성될 수 있다. 본원에서 설명되는 바와 같은 부상을 위한 디바이스들은, 예컨대 캐리어(410)를 부상시키기 위해 비접촉력(contactless force)을 제공하기 위한 디바이스들이다.
[0067] 일부 실시예들에 따르면, 이송 어레인지먼트는 구동 구조(480)를 더 포함할 수 있다. 구동 구조(480)는 추가의 능동 자기 유닛들과 같은 복수의 추가의 자석 유닛들을 포함할 수 있다. 캐리어(410)는 구동 구조(480)와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들을 포함할 수 있다. 특히, 하나 또는 그 초과의 제2 자석 유닛들은, 구동 구조(480)의 추가의 능동 자기 유닛들(485)과 상호작용하기 위한 제2 수동 자기 유닛(460), 예컨대, 예컨대 강자성 재료의 바일 수 있다.
[0068] 도 4b는 이송 어레인지먼트의 다른 측면도를 도시한다. 도 4b에서, 복수의 능동 자기 유닛들(475) 중 하나의 능동 자기 유닛이 도시된다. 능동 자기 유닛은 캐리어(410)의 제1 수동 자기 유닛(450)과 상호작용하는 자기력을 제공한다. 예컨대, 제1 수동 자기 유닛(450)은 강자성 재료의 로드(rod)일 수 있다. 로드는 지지 구조(412)에 연결된, 캐리어(410)의 부분일 수 있다. 지지 구조(412)는 캐리어(410)의 바디에 의해 제공될 수 있다. 또한, 로드 또는 제1 수동 자기 유닛은 각각, 기판(10)을 지지하기 위한 지지 구조(412)와 일체형으로 형성될 수 있다. 기하학적 프로파일은 제1 수동 자기 유닛(450)에 부착될 수 있거나, 또는 제1 수동 자기 유닛(450)에 의해 제공될 수 있다. 캐리어(410)는 제2 수동 자기 유닛(460), 예컨대 추가의 로드를 더 포함할 수 있다. 추가의 로드는 캐리어(410)에 연결될 수 있다. 또한, 로드 또는 제2 수동 자기 유닛은 각각, 지지 구조(412)와 일체형으로 형성될 수 있다.
[0069] "수동" 자기 유닛의 용어는 "능동" 자기 유닛의 개념과 구별하기 위해 본원에서 사용된다. 수동 자기 유닛은, 적어도 이송 어레인지먼트의 동작 동안에는 능동 제어 또는 조정을 받지 않는 자기 특성들을 갖는 엘리먼트를 지칭할 수 있다. 예컨대, 수동 자기 유닛, 예컨대 캐리어의 로드 또는 추가의 로드의 자기 특성들은, 일반적으로 진공 챔버 또는 진공 시스템을 통한 캐리어의 이동 동안에는 능동 제어를 받지 않는다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 이송 어레인지먼트의 제어기는 수동 자기 유닛을 제어하도록 구성되지 않는다. 수동 자기 유닛은 자기장, 예컨대 정적 자기장을 생성하도록 적응될 수 있다. 수동 자기 유닛은 조정가능한 자기장을 생성하도록 구성되지 않을 수 있다. 수동 자기 유닛은 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료, 영구 자석일 수 있거나 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0070] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 복수의 능동 자기 유닛들(475)은 제1 수동 자기 유닛(450) 그리고 그에 따라 캐리어(410) 상에 자기력을 제공한다. 복수의 능동 자기 유닛들(475)은 캐리어(410)를 부상시킨다. 추가의 능동 자기 유닛들(485)은, 예컨대 이송 방향(1)을 따라 진공 챔버 내에서 캐리어(410)를 구동시킬 수 있다. 복수의 추가의 능동 자기 유닛들(485)은, 캐리어(410) 위에 로케이팅된 복수의 능동 자기 유닛들(475)에 의해 부상되어 있는 동안에 이송 방향(1)으로 캐리어(410)를 이동시키기 위한 구동 구조를 형성한다. 추가의 능동 자기 유닛들(485)은 이송 방향(1)을 따라 힘을 제공하기 위해 제2 수동 자기 유닛(460)과 상호작용할 수 있다. 예컨대, 제2 수동 자기 유닛(460)은 교번하는 극성을 갖게 배열된 복수의 영구 자석들을 포함할 수 있다. 제2 수동 자기 유닛(460)의 결과적인 자기장들은, 부상되어 있는 동안에 캐리어(410)를 이동시키기 위해 복수의 추가의 능동 자기 유닛들(485)과 상호작용할 수 있다.
[0071] 복수의 능동 자기 유닛들(475)로 캐리어(410)를 부상시키고 그리고/또는 복수의 추가의 능동 자기 유닛들(485)로 캐리어(410)를 이동시키기 위해, 능동 자기 유닛들은 조정가능한 자기장들을 제공하도록 제어될 수 있다. 조정가능한 자기장은 정적 또는 동적 자기장일 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 능동 자기 유닛은 수직 방향(3)을 따라 연장되는 자기 부상력을 제공하기 위한 자기장을 생성하도록 구성된다. 본원에서 설명되는 추가의 실시예들과 조합될 수 있는 다른 실시예들에 따르면, 능동 자기 유닛은 횡단 방향을 따라 연장되는 자기력을 제공하도록 구성될 수 있다. 본원에서 설명되는 바와 같이, 능동 자기 유닛은, 전자기 디바이스, 솔레노이드, 코일, 초전도 자석, 또는 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 엘리먼트이거나 또는 그 엘리먼트를 포함할 수 있다.
[0072] 본원에서 설명되는 실시예들은 캐리어, 기판, 및/또는 마스크의 비접촉식 부상, 이송, 및/또는 정렬과 관련된다. 본 개시내용은 기판을 지지하는 캐리어, 기판을 갖지 않는 캐리어, 기판, 또는 지지부에 의해 지지된 기판으로 이루어진 그룹의 하나 또는 그 초과의 엘리먼트들을 포함할 수 있는 캐리어와 관련된다. 본 개시내용 전반에 걸쳐 사용되는 "비접촉식"이라는 용어는, 예컨대 캐리어 및 기판의 중량이 기계적인 접촉 또는 기계적인 힘들에 의해 홀딩되는 것이 아니라 자기력에 의해 홀딩된다는 의미로 이해될 수 있다. 구체적으로, 캐리어는 기계적인 힘들 대신에 자기력들을 사용하여 부상 또는 부유(floating) 상태로 홀딩된다. 예컨대, 본원에서 설명되는 이송 어레인지먼트는 캐리어의 중량을 지지하는 어떤 기계적인 디바이스들, 이를테면, 기계적인 레일도 갖지 않을 수 있다. 일부 구현들에서, 진공 시스템 내에서의 캐리어의 부상, 및 예컨대 캐리어의 이동 동안에, 캐리어와 장치의 나머지 사이에 기계적인 접촉이 전혀 없을 수 있다.
[0073] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 부상시키는 것 또는 부상은, 오브젝트(object)들이 기계적인 접촉 또는 지지 없이 부유하는, 오브젝트의 상태를 나타낸다. 또한, 오브젝트를 이동시키는 것은 구동력, 예컨대, 오브젝트가 하나의 포지션으로부터 상이한 다른 포지션으로 이동되는, 부상력의 방향과 상이한 방향의 힘을 제공하는 것을 나타낸다. 예컨대, 오브젝트, 이를테면, 캐리어는, 즉, 중력에 대항하는 힘에 의해 부상될 수 있고, 부상되어 있는 동안에, 중력에 평행한 방향과 상이한 방향으로 이동될 수 있다.
[0074] 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어의 비접촉식 부상 및 이송은, 캐리어의 이송 또는 정렬 동안의 이송 어레인지먼트의 섹션들, 이를테면, 기계적인 레일들과 캐리어 사이의 기계적인 접촉으로 인한 어떤 입자들도 발생되지 않는다는 점에서 유리하다. 따라서, 본원에서 설명되는 실시예들은 기판 상에 증착되는 층들의 개선된 순도 및 균일성을 제공하는데, 이는 특히, 비접촉식 부상, 이송, 및/또는 정렬을 사용하는 경우에 입자 발생이 최소화되기 때문이다.
[0075] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판 프로세싱을 위한 시스템(500)을 도시한다. 진공 시스템일 수 있는 시스템(500)은 기판(10) 상에, 예컨대 유기 재료의 하나 또는 그 초과의 층들을 증착하도록 구성될 수 있다.
[0076] 시스템(500)은 증착 챔버, 이를테면, 진공 챔버(502), 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어(520), 및 증착 챔버 내에서의 캐리어(520)의 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트(510)를 포함한다. 일부 구현들에서, 시스템(500)은 증착 챔버 내에 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)을 포함한다. 캐리어(520)는 증착 프로세스, 이를테면, 진공 증착 프로세스 동안에 기판(10) 및 선택적으로 마스크(20)를 홀딩하도록 구성될 수 있다. 시스템(500)은, 예컨대, OLED 디바이스들의 제조를 위한 유기 재료의 증발을 위해 구성될 수 있다. 다른 예에서, 시스템(500)은 CVD 또는 PVD, 이를테면, 스퍼터 증착을 위해 구성될 수 있다.
[0077] 일부 구현들에서, 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)은 증발 소스들, 특히, OLED 디바이스의 층을 형성하기 위해 기판 상에 하나 또는 그 초과의 유기 재료들을 증착하기 위한 증발 소스들일 수 있다. 예컨대, 층 증착 프로세스 동안, 기판(10)을 지지하기 위한 캐리어(520)는, 선형 이송 경로와 같은 이송 경로를 따라, 증착 챔버 내로 그리고 증착 챔버를 통해, 특히 증착 영역을 통해 이송될 수 있다.
[0078] 재료는 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)로부터 방출 방향으로, 코팅될 기판(10)이 로케이팅된 증착 영역을 향해 방출될 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)은, 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)의 길이를 따라 적어도 하나의 라인으로 배열되는 복수의 개구들 및/또는 노즐들을 갖는 라인 소스를 제공할 수 있다. 재료는 복수의 개구들 및/또는 노즐들을 통해 배출될 수 있다.
[0079] 도 5에 표시된 바와 같이, 추가의 챔버들이 진공 챔버(502) 근처에 제공될 수 있다. 진공 챔버(502)는, 밸브 하우징(504) 및 밸브 유닛(506)을 갖는 밸브에 의해, 근처의 챔버들로부터 분리될 수 있다. 상부에 기판(10)을 갖는 캐리어(520)가, 화살표로 표시된 바와 같이, 진공 챔버(502) 내로 삽입된 후에, 밸브 유닛(506)은 폐쇄될 수 있다. 진공 챔버(502) 내의 분위기(atmosphere)는, 예컨대 진공 챔버(502)에 연결된 진공 펌프들을 이용하여 기술적인 진공을 생성함으로써, 개별적으로 제어될 수 있다.
[0080] 일부 실시예들에 따르면, 캐리어(520) 및 기판(10)은 증착 재료의 증착 동안에 정적이거나 또는 동적이다. 본원에서 설명되는 일부 실시예들에 따르면, 동적 증착 프로세스는, 예컨대, OLED 디바이스들의 제조를 위해 제공될 수 있다.
[0081] 일부 구현들에서, 시스템(500)은 진공 챔버(502)를 통해 연장되는 하나 또는 그 초과의 이송 경로들을 포함할 수 있다. 캐리어(520)는, 하나 또는 그 초과의 이송 경로들을 따라, 예컨대 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)을 지나서 이송시키도록 구성될 수 있다. 도 5에서 하나의 이송 경로가 예시적으로 화살표로 표시되지만, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며 2개 또는 그 초과의 이송 경로들이 제공될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예컨대, 적어도 2개의 이송 경로들이 개개의 캐리어들의 이송을 위해 실질적으로 서로 평행하게 배열될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 재료 증착 소스들(580)이 2개의 이송 경로들 사이에 배열될 수 있다.
[0082] 도 6은 본원에서 설명되는 추가의 실시예들에 따른, 기판(10)의 프로세싱, 이를테면, 진공 프로세싱을 위한 시스템(600)의 개략도를 도시한다.
[0083] 시스템(600)은, 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들, 및 기판(10) 및 선택적으로 마스크를 지지하는 캐리어(601)를 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들로 순차적으로 이송하도록 구성된, 본 개시내용에 따른 이송 어레인지먼트(660)를 포함한다. 예컨대, 이송 어레인지먼트(660)는 기판 프로세싱을 위한 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들을 통해 이송 방향(1)을 따라 캐리어(601)를 이송하도록 구성될 수 있다. 다시 말해, 다수의 프로세싱 구역들을 통한 기판(10)의 이송을 위해 동일한 캐리어가 사용된다. 특히, 기판(10)은 프로세싱 구역에서의 기판 프로세싱과 후속적인 프로세싱 구역에서의 기판 프로세싱 사이에 캐리어(601)로부터 제거되지 않는데, 즉, 기판은 2개 또는 그 초과의 기판 프로세싱 절차들 동안에 동일한 캐리어 상에 머무른다. 일부 실시예들에 따르면, 캐리어(601)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따라 구성될 수 있다. 선택적으로 또는 대안적으로, 이송 어레인지먼트(660)는 예컨대, 도 4a 및 4b와 관련하여 설명된 바와 같이 구성될 수 있다.
[0084] 도 6에 예시적으로 예시된 바와 같이, 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들은 제1 증착 구역(608) 및 제2 증착 구역(612)을 포함할 수 있다. 선택적으로, 제1 증착 구역(608)과 제2 증착 구역(612) 사이에 전달 구역(610)이 제공될 수 있다. 복수의 구역들, 이를테면, 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들 및 전달 구역이 하나의 진공 챔버 내에 제공될 수 있다. 대안적으로, 서로 연결된 상이한 진공 챔버들에 복수의 구역들이 제공될 수 있다. 예컨대, 각각의 진공 챔버는 하나의 구역을 제공할 수 있다. 구체적으로, 제1 진공 챔버는 제1 증착 구역(608)을 제공할 수 있고, 제2 진공 챔버는 전달 구역(610)을 제공할 수 있고, 제3 진공 챔버는 제2 증착 구역(612)을 제공할 수 있다. 일부 구현들에서, 제1 진공 챔버 및 제3 진공 챔버는 "증착 챔버들"로 지칭될 수 있다. 제2 진공 챔버는 "프로세싱 챔버"로 지칭될 수 있다. 도 6의 예에서 도시된 구역들 근처에 추가의 진공 챔버들 또는 구역들이 제공될 수 있다.
[0085] 진공 챔버들 또는 구역들은, 밸브 하우징(604) 및 밸브 유닛(605)을 갖는 밸브에 의해, 근처의 구역들로부터 분리될 수 있다. 상부에 기판(10)을 갖는 캐리어(601)가 구역, 이를테면, 제2 증착 구역(612) 내로 삽입된 후에, 밸브 유닛(605)은 폐쇄될 수 있다. 구역들 내의 분위기(atmosphere)는, 예컨대, 구역들에 연결된 진공 펌프들을 이용하여 기술적인 진공을 생성함으로써 그리고/또는 예컨대, 제1 증착 구역(608) 및/또는 제2 증착 구역(612) 내에 하나 또는 그 초과의 프로세스 가스들을 삽입함으로써 개별적으로 제어될 수 있다. 상부에 기판(10)을 갖는 캐리어(601)를 구역들 내로, 구역들을 통해, 그리고 구역들 밖으로 이송하기 위해, 선형 이송 경로와 같은 이송 경로가 제공될 수 있다. 이송 경로는 2개 또는 그 초과의 프로세싱 구역들, 이를테면, 제1 증착 구역(608) 및 제2 증착 구역(612)을 통해, 그리고 선택적으로는 전달 구역(610)을 통해 적어도 부분적으로 연장될 수 있다.
[0086] 시스템(600)은 전달 구역(610)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 전달 구역(610)은 생략될 수 있다. 전달 구역(610)은 회전 모듈, 트랜지트 모듈(transit module), 또는 이들의 조합에 의해 제공될 수 있다. 도 6은 회전 모듈과 트랜지트 모듈의 조합을 예시한다. 회전 모듈에서, 트랙 어레인지먼트 및 그 상부에 배열된 캐리어(들)는 회전 축, 이를테면, 수직 회전 축을 중심으로 회전될 수 있다. 예컨대, 캐리어(들)는 시스템(600)의 좌측 측부로부터 시스템(600)의 우측 측부로 전달될 수 있거나 또는 그 반대의 경우도 가능하다. 트랜지트 모듈은 캐리어(들)가 상이한 방향들, 예컨대 서로 수직인 방향들로 트랜지트 모듈을 통해 전달될 수 있도록 교차 트랙들을 포함할 수 있다.
[0087] 제1 증착 구역(608) 및 제2 증착 구역(612)과 같은 증착 구역들 내에, 하나 또는 그 초과의 증착 소스들이 제공될 수 있다. 예컨대, 제1 증착 소스(630)가 제1 증착 구역(608)에 제공될 수 있다. 제2 증착 소스(650)가 제2 증착 구역(612)에 제공될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 증착 소스들은 OLED 디바이스를 위한 유기 층 스택을 형성하기 위해 기판(10) 상에 하나 또는 그 초과의 유기 층들의 증착을 위해 구성된 증발 소스들일 수 있다.
[0088] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 시스템과 같은 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법(700)의 흐름도를 도시한다. 방법(700)은 본 개시내용에 따른, 캐리어들, 장치들, 및 시스템들을 활용할 수 있다.
[0089] 방법(700)은, 블록(710)에서, 증착 시스템의 센서와, 이송 방향으로 이송되는 캐리어의 단부 부분의 기하학적 프로파일 사이의 거리를 검출하는 단계, 및 블록(720)에서, 검출된 거리가 기하학적 프로파일의 변화를 표시할 때, 진공 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함한다. 일부 구현들에서, 방법은, 검출된 거리가 기하학적 프로파일의 변화를 표시할 때, 예컨대 진공 시스템 내의 캐리어의 단부들의 포지션을 결정할 수 있다.
[0090] 캐리어(300)가 이송 방향(1)으로 이동할 때, 변화하는 기하학적 프로파일로 인해 거리가 변화한다. 예컨대, 거리 센서와 기하학적 프로파일의 경사부 사이의 거리는 이송 방향(1) 및/또는 경사 방향에 따라 증가 또는 감소된다. 일 실시예에서, 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 통해 흐르는 전류는, 거리 센서와 기하학적 프로파일 사이의 거리가 감소될 때, 감소될 수 있다. 또한, 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 통해 흐르는 전류는, 거리 센서와 기하학적 프로파일 사이의 거리가 증가될 때, 증가될 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, 전류는, 감소되거나 또는 회피되어야 하는 의도되지 않은 힘들에 기반하여 증가 또는 감소될 수 있다.
[0091] 다른 실시예에서, 예컨대, 도 3의 예에 예시된 바와 같이, 센서가 기하학적 프로파일 아래에 배열되는 경우, 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 통해 흐르는 전류는, 거리 센서와 기하학적 프로파일 사이의 거리가 증가될 때, 감소될 수 있다. 또한, 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 통해 흐르는 전류는, 거리 센서와 기하학적 프로파일 사이의 거리가 감소될 때, 증가될 수 있다.
[0092] 다른 양상에 따르면, 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법은, 이송 방향으로 이송되는 캐리어의 단부 부분의 적어도 하나의 재료 특징 또는 특성을 검출하는 단계, 및 검출된 적어도 하나의 재료 특징 또는 특성이 변화, 이를테면, 재료 변화 및/또는 자기, 전기, 또는 광학 변화를 표시할 때, 증착 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함한다. 적어도 하나의 재료 특징 또는 특성은 자기, 광학, 또는 전기 특징 특성(characteristic property)일 수 있다. 일부 구현들에서, 방법은, 캐리어의 하나 또는 그 초과의 단부들에 배열된 자성 재료를, 단부가 안내 유닛에 접근할 때 또는 안내 유닛을 떠날 때, 검출할 수 있다. 안내 유닛들은 근처의 안내 유닛들 사이에서의 캐리어의 원활한 전달을 제공하기 위해 선택적으로 제어될 수 있다.
[0093] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법은, 컴퓨터 프로그램들, 소프트웨어, 컴퓨터 소프트웨어 제품들, 및 상호관련된 제어기들을 사용하여 수행될 수 있으며, 제어기들은 CPU, 메모리, 사용자 인터페이스, 및 캐리어, 장치 및/또는 시스템의 대응하는 컴포넌트들과 통신하는 입력 및 출력 디바이스들을 가질 수 있다.
[0094] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 캐리어는, 하나 또는 그 초과의 센서들에 의해 검출될 수 있는 가변 특징들을 갖는 검출가능 디바이스를 갖는다. 일 실시예에서, 캐리어에는 캐리어의 단부 부분에 가변적인, 즉, 일정하지 않은 기하학적 프로파일이 제공된다. 다른 실시예에서, 캐리어에는 상이한 재료들의 섹션들과 같은 상이한 특성들을 갖는 섹션들이 제공된다. 증착 시스템의 이송 어레인지먼트는, 변동을 검출하고 그리고 이송 어레인지먼트에 대한 캐리어의 위치, 특히 캐리어의 하나 또는 그 초과의 단부들의 위치를 결정할 수 있다. 캐리어의 비접촉식 이송을 위해 구성된 이송 어레인지먼트는 검출된 변동 및 그로부터 유도된 캐리어 또는 단부들의 포지션에 기반하여 제어될 수 있다. 예컨대, 캐리어의 하나 또는 그 초과의 에지들의 포지션이 결정될 수 있고, 이송 어레인지먼트의 하나 또는 그 초과의 능동 자석 유닛들이 선택적으로 제어될 수 있다. 특히, 캐리어의 에지들에 로케이팅된 그리고/또는 에지 부분들이 접근하는 능동 자석 유닛들이 제어될 수 있다. 이송 방향으로의 캐리어의 원활한 이송이 달성될 수 있다. 입자들의 발생 및/또는 캐리어의 불안정한 이송으로 인한 기판 파손이 감소되거나 또는 심지어 회피될 수 있다.
[0095] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시내용의 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (16)

  1. 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어로서,
    상기 캐리어의 이송 방향을 따라 제공되고 그리고 상기 캐리어를 부상시키기 위한 자기 부상력을 제공하기 위한 안내 구조(110)와 자기적으로 상호작용하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210); 및
    상기 캐리어의 단부 부분에 배열되고 그리고 상기 이송 방향을 따라 변화하는 기하학적 프로파일을 갖는 검출가능 디바이스(detectable device)를 포함하고,
    상기 검출가능 디바이스는, 상기 증착 시스템 내에서의 상기 캐리어의 포지션을 결정하기 위해 상기 증착 시스템의 하나 또는 그 초과의 제1 센서들(118)에 의해 검출가능한,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  2. 증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어로서,
    상기 캐리어의 이송 방향을 따라 제공되고 그리고 상기 캐리어를 부상시키기 위한 자기 부상력을 제공하기 위한 안내 구조와 자기적으로 상호작용하도록 구성되는 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210); 및
    상기 캐리어의 단부 부분의 검출가능 디바이스를 포함하며,
    상기 검출가능 디바이스는 상기 이송 방향을 따라 배열된, 상이한 재료 특성들의 2개 또는 그 초과의 섹션들을 갖고,
    상기 검출가능 디바이스는, 상기 증착 시스템 내에서의 상기 캐리어의 포지션을 결정하기 위해 상기 증착 시스템의 하나 또는 그 초과의 제1 센서들에 의해 검출가능한,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 안내 구조(110)는 액추에이터들(112)을 갖는 복수의 안내 유닛들(111)을 포함하는 능동 안내 구조이고, 제2 센서들(116)은 상기 캐리어에 대한 갭을 측정하도록 구성되는 거리 센서들인,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 센서들(118)은 상기 검출가능 디바이스와 대면하도록 구성되고, 상기 제2 센서들(116)은 상기 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 또는 상기 하나 또는 그 초과의 제1 자석 유닛들(210) 근처의 별개의 센서 트레일에 대면하도록 구성되는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  5. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 검출가능 디바이스는 상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들과 대면하도록 배열되는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 기하학적 프로파일은, 리세스(recess), 불연속부(discontinuity), 스텝(step), 경사부(inclination), 및 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들을 포함하는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 경사부는 상기 이송 방향에 대해 경사진 표면인,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  8. 제6 항 또는 제7 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 이송 방향을 따라 제1 단부, 및 상기 제1 단부 반대편의 제2 단부를 포함하며,
    상기 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들은 상기 제1 단부 및/또는 상기 제2 단부에 배열되는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 기하학적 프로파일은 상기 캐리어의 제1 단부 및 상기 제1 단부 반대편의, 상기 캐리어의 제2 단부에 배열된 하나 또는 그 초과의 형상 엘리먼트들을 포함하여서, 상기 캐리어의 제1 단부 및 제2 단부가 어디에 로케이팅되는지가 결정될 수 있는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 2개 또는 그 초과의 섹션들은, 제1 재료 특성을 갖는 적어도 하나의 제1 섹션 및 제2 재료 특성을 갖는 적어도 하나의 제2 섹션을 포함하며,
    상기 제1 재료 특성 및 상기 제2 재료 특성은 자기 특성들, 전기 특성들, 또는 광학 특성들인,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 이송 방향을 따라 제1 단부, 및 상기 제1 단부 반대편의 제2 단부를 포함하며,
    상기 적어도 하나의 제1 섹션은 상기 제1 단부에 배열되는,
    증착 시스템 내에서의 비접촉식 이송을 위한 캐리어.
  12. 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치로서,
    복수의 능동 자기 유닛들을 갖는 안내 구조;
    하나 또는 그 초과의 제1 센서들;
    제1 항 또는 제2 항의 캐리어를 포함하는,
    캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들은 상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들과 상기 캐리어의 기하학적 프로파일 사이의 거리를 검출하도록 구성되거나, 또는
    상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들은 상기 검출가능 디바이스의 자성 재료를 검출하도록 구성된 홀 센서(Hall sensor)들인,
    캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들 및 상기 안내 구조는 상기 기하학적 프로파일의 대향 측들 상에 배열되거나, 또는
    상기 하나 또는 그 초과의 제1 센서들 및 상기 안내 구조는 상기 기하학적 프로파일의 동일한 측 상에 배열되는,
    캐리어의 비접촉식 이송을 위한 장치.
  15. 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법으로서,
    상기 캐리어는 상기 캐리어의 단부 부분에 배열되고 그리고 상기 이송 방향을 따라 변화하는 기하학적 프로파일을 갖는 검출가능 디바이스를 포함하고,
    상기 방법은:
    상기 증착 시스템의 센서와, 이송 방향으로 이송되는 상기 캐리어의 상기 단부 부분의 상기 기하학적 프로파일 사이의 거리를 검출하는 단계; 및
    검출된 거리가 상기 기하학적 프로파일의 변화를 표시할 때, 상기 증착 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함하는,
    증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법.
  16. 증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법으로서,
    상기 캐리어는 상기 캐리어의 단부 부분에 검출가능 디바이스를 포함하고, 상기 검출가능 디바이스는 상기 이송 방향을 따라 배열된, 상이한 재료 특성들의 2개 또는 그 초과의 섹션들을 갖고,
    상기 방법은:
    이송 방향으로 이송되는 상기 캐리어의 상기 단부 부분에서의 상기 검출가능 디바이스의 적어도 하나의 재료 특성을 검출하는 단계; 및
    검출된 적어도 하나의 재료 특성이 변화를 표시할 때, 상기 증착 시스템의 적어도 하나의 능동 자석 유닛을 제어하는 단계를 포함하는,
    증착 시스템 내에서의 캐리어의 비접촉식 이송을 위한 방법.
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