KR102006503B1

KR102006503B1 - 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체

Info

Publication number: KR102006503B1
Application number: KR1020130010046A
Authority: KR
Inventors: 울리히 쉬에슈틀
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2012-02-01
Filing date: 2013-01-29
Publication date: 2019-08-01
Anticipated expiration: 2033-01-29
Also published as: US20130199628A1; CN103244751B; KR20130089193A; JP6125851B2; JP2013160381A; DE102013001179A1; US9328847B2; CN103244751A

Abstract

본 발명은 적어도 하나의 밸브 (1), 특히 진공 밸브를 가진 배열체에 관한 것이며, 상기 밸브는 상기 밸브 (1) 의 적어도 하나의 관통 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 상기 밸브 (1) 의 적어도 하나의 폐쇄부재 (2), 및 상기 폐쇄부재 (2) 가 상기 관통 개구부 (3) 를 폐쇄하는 폐쇄위치와 상기 폐쇄부재 (2) 가 상기 관통 개구부 (3) 를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (2) 를 이동시키기 위한 적어도 하나의 드라이브 (4) 를 구비하며, 이때 상기 밸브 (1) 는 상기 폐쇄부재 (2) 에 열적 작용을 가하기 위해, 적어도 하나의 열전달유체를 위한, 상기 폐쇄부재 (2) 와 열전도적으로 연결되어 있는 그리고, 바람직하게는 영구적으로, 상기 관통 개구부 (3) 에 대해 닫혀 있는 적어도 하나의 챔버 (5) 를 구비하고, 이때 상기 챔버 (5) 안으로 상기 배열체의 적어도 하나의 공급라인 (6) 이 통하며, 상기 공급라인을 통해, 상기 폐쇄부재 (2) 에 열적 작용을 가하기 위한 열전달유체가 상기 챔버 (5) 안으로 도입될 수 있고, 이때 상기 공급라인 (6) 안에는, 상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 적어도 하나의 열교환기 (7) 가 배치되어 있다.

Description

적어도 하나의 밸브를 가진 배열체 {ARRANGEMENT WITH AT LEAST ONE VALVE}

본 발명은 적어도 하나의 밸브, 특히 진공 밸브를 가진 배열체에 관한 것이며, 상기 밸브는 상기 밸브의 적어도 하나의 관통 개구부를 폐쇄하기 위한 상기 밸브의 적어도 하나의 폐쇄부재, 및 상기 폐쇄부재가 상기 관통 개구부를 폐쇄하는 폐쇄위치와 상기 폐쇄부재가 상기 관통 개구부를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 이동시키기 위한 적어도 하나의 드라이브를 구비하며, 이때 상기 밸브는 상기 폐쇄부재에 열적 작용을 가하기 위해, 적어도 하나의 열전달유체를 위한, 상기 폐쇄부재와 열전도적으로 연결되어 있는 그리고, 바람직하게는 영구적으로, 상기 관통 개구부에 대해 닫혀 있는 적어도 하나의 챔버를 구비하고, 이때 상기 챔버 안으로 상기 배열체의 적어도 하나의 공급라인이 통하며, 상기 공급라인을 통해, 상기 폐쇄부재에 열적 작용을 가하기 위한 열전달유체가 상기 챔버 안으로 도입될 수 있다.

전자 부품들, 예컨대 반도체, LED들, 평면 스크린, 및 태양열을 이용한 부품들을 오늘날 요구되는 품질로 제조할 수 있기 위해, 실리콘 캐리어, 유리 기판 등등을, 밸브들을 이용해 닫혀 있는 진공챔버들 안에서 가공하는 것이 공지되어 있다. 이를 위해, 선행기술에 있어서 밸브들의 여러 가지 구현 변형들이 공지되어 있다. 밸브들은 예컨대 진공챔버들 안으로 유입되는 또는 이것들로부터 유출되는 매체들, 특히 가스들을 계량하기 위해 사용된다. 다른 밸브들은 유입부 또는 유출부로서도 사용되며, 상기 밸브들을 관통하여, 가공되어야 하는 물체들, 예컨대 실리콘 캐리어, 유리 기판 등등이 진공챔버 안으로 도입되거나 또는 이것으로부터 끌어내질 수 있다. 밸브들의 폐쇄부재들에 오염물 또는 공정가스들이 침전하는 것을 저지하기 위해 또는 적어도 감소시키기 위해, 상기 폐쇄부재들이 특정 온도로 데려가져야 하는 것이 자주 필요하다. 이때, 일반적으로 가열이 매우 중요하다. 밸브의 상기 폐쇄부재들의 냉각도 필요할 수 있다. 상응하는 열적 작용을 상기 폐쇄부재에 가함으로써, 필요한 공정온도가 제공될 수 있거나 또는 도움을 받을 수 있다. 선행기술에 있어서, 상기 언급된 챔버 안으로 도입되는 열전달유체를 이용하여 상기 폐쇄부재가 열적으로 작용을 받을 수 있는 동종 배열체들이 공지되어 있다. 이 원칙적인 사상은 예컨대 이미 DE 942 772 에 공지되어 있고, 그리고 보다 최근의 문헌들에서도, 예컨대 DE 698 14 296 T2 에서도 반복되었다.

이제, 본 발명의 목적은 열전달유체를 이용하여 상기 폐쇄부재에 열적 작용을 가하기 위한 에너지 요구를 가능한 한 적게 유지하는 것이다.

이를 위해, 본 발명은, 공급라인 안에, 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 적어도 하나의 열교환기가 배치되어 있는 것을 제안한다.

상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 열교환기의 본 발명에 따른 이용을 통해, 시스템 안에 존재하는 및/또는 다른 부위에서 필요해지지 않은 열에너지는 상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위해, 그리고 이로써 상기 폐쇄부재에 열적 작용을 가하기 위해 이용될 수 있다. 이때, 챔버로부터 배열체의 배출라인을 통해 유출되는 열전달유체와 상기 공급라인을 통해 상기 챔버 안으로 유입되는 열전달유체 사이의 온도교환에 쓰이기 위해, 예컨대 상기 열교환기가 상기 배출라인과 상기 공급라인 사이에 작용하며 배치되어 있는 것을 제공함으로써, 경우에 따라서는 다른 부위에서 과잉 열 또는 냉기가 상기 배열체 자체 내부에서 이용될 수 있다. 대안적으로, 이와 조합하여, 다른 시스템들로부터의 열에너지가 상기 배열체로, 그리고 특히 상기 공급라인 안의 열전달유체로 전달될 수 있다. 이와 관련하여, 본 발명의 바람직한 구현형태들은, 상기 공급라인을 통해 상기 챔버 안으로 유입되는 열전달유체와 다른 열전달유체 사이의 온도교환에 쓰이기 위해, 열교환기가 상기 공급라인과 다른 열전달유체 시스템 사이에 작용하며 배치되어 있는 것을 제공한다. 이와 관련하여, 상기 다른 열전달유체 시스템이, 상기 폐쇄부재와 상기 관통 개구부를 둘러싸는 상기 밸브의 하우징에 열적 작용을 가하기 위한 가열 및/또는 냉각 배열체이면 특히 유리하다. 상기 열적 작용을 가함은 가열 뿐만 아니라 냉각일 수 있다. 적합한 열전달유체들은 액체 상태에 있을 뿐만 아니라 기체 상태에 있을 수 있다. 예컨대, 기체 상태의 열전달유체들로서는 공기, 질소, 난방 스팀 (heating steam), CO2, 경우에 따라서는 여과된 연도 가스, 및 아산화질소가 이용될 수 있다. 냉매로서는 예컨대 여러 가지 할로겐화된 탄화수소들 (FCKW's), 예컨대 R134A (테트라플루오로에탄), R11, R14 및 R22 가 이용될 수 있다. 특히 높은 열용량을 가진 가스들로서는, 여기에서 몇 가지 예를 들자면, 수소, 헬륨, 암모니아 및 다양한 휘발성 탄화수소들이 가능하다.

상기 배열체의 밸브들은 특히 바람직하게는 이른바 진공 밸브들에 관한 것이며, 상기 진공 밸브들은 진공기술에서 이용된다. 0.001 밀리바 또는 0.1 파스칼보다 작거나 또는 같은, 작동상태에서의 압력들부터 진공기술이라 부른다. 진공 밸브들은 이 자릿수에서의 및 그 아래에서의 저압에서 이용되기에 적합하며 또는 이를 위해 제공되어 있다. 물론, 본 발명은, 다른 주변 환경에서 이용되는 밸브들을 가진 배열체들에서도 적용될 수 있다.

본 발명에 따른 밸브들은 매체 계량을 위해 또는 특히 가스 계량을 위해 이용될 수 있다. 본 발명에 따른 배열체의 밸브들은, 가공되어야 하는 작업물들을 상기 밸브들을 관통하여 진공챔버 안으로 도입시키기 위해 및/또는 이것으로부터 끌어내기 위해 사용될 수도 있다. 상응하여, 폐쇄부재들의 가장 많이 통용되고 있는 구현형태들만을 언급하자면, 본 발명에 따른 배열체의 밸브들의 폐쇄부재들은 이른바 밸브 플레이트 일 수 있을 뿐만 아니라 슬라이드, 특히 쐐기 모양의 슬라이드일 수 있다. 상기 관통 개구부는, 상기 폐쇄부재를 이용해 폐쇄 및 개방될 수 있는 밸브의 개구부에 관한 것이다. 상기 관통 개구부를 통해, 계량되어야 하는 가스들 또는 매체들이 흐르며, 또는 가공되어야 하는 작업물들이 진공챔버 안으로 도입되거나 또는 이것으로부터 끌어내질 수 있다. 상기 폐쇄부재를 움직이기 위한 적합한 드라이브의 선택은 상기 폐쇄부재의 유형에 의해 좌우된다. 선행기술에 있어서 예컨대 유압식, 공압식 및/또는 전기식의 많은 여러 가지 적합한 드라이브들이 제공되며, 상기 드라이브들 중, 본 발명의 실현에 있어서도 선택될 수 있다. 상기 폐쇄부재를 가열시키기 위해 열전달유체가 도입되는 상기 챔버는, 바람직하게는 영구적으로, 상기 관통 개구부에 대해 닫혀 있다. 즉, 상기 언급된 챔버 안의 열전달유체는, 상기 폐쇄부재를 이용해 상기 관통 개구부를 통하여 계량되거나 또는 차단되어야 하는 매체들에 관한 것이 아니다. 상기 열전달유체는 본질적으로 상기 폐쇄부재를 상기 챔버 벽을 관통하여 가열시키는데 및/또는 냉각시키는데 쓰인다. 상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 상기 열교환기는 바람직한 구현형태들 있어서 상기 밸브의 하우징의 외부에 위치해 있다.

상기 폐쇄부재의 온도를 정밀하게 조절하기 위해, 또는 상기 열교환기가 열 또는 냉기를 충분히 제공할 수 없는 경우들을 위해, 바람직한 구현형태들에 따르면, 상기 열교환기에 추가하여, 상기 공급라인 안의 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 적어도 하나의, 바람직하게는 조절 가능한, 가열 및/또는 냉각 장치가 배치되어 있다. 그러면 상기, 바람직하게는 조절 가능한, 가열 및/또는 냉각 장치를 써서, 열교환기를 이용해 조절된 열전달유체의 온도는, 특히 상기 열전달유체가 상기 챔버 안으로 유입되기 전에, 정확히 필요한 값으로 조절될 수 있다. 상기 가열 및/또는 냉각 장치를 위한 조절변수로서는, 예컨대 상기 챔버 안으로 유입되기 전의 열전달유체의 온도가 사용될 수 있다. 대안적으로, 예컨대 상기 열교환기 안의 또는 다른 적합한 부위에서의 온도가 조절변수로서 이용될 수도 있다.

상기 열전달유체를 상기 챔버 안으로, 그리고 이것 밖으로 운반하기 위해, 시스템 안에 이미 존재하는 압력들 및/또는 구동 가능성들이 이용될 수 있다. 상기 배열체는 상기 열교환기에 추가하여, 특히 상기 공급라인 안의 열전달유체를 운반하기 위한 적어도 하나의 펌프 또는 적어도 하나의 송풍기를 구비할 수도 있다. 상기 펌프 뿐만 아니라 상기 송풍기는 이번에도 조절 가능할 수 있다. 이 조절은 예컨대 상기 언급된 온도값들에 따라 실행될 수 있다. 조절변수로서는, 추가적으로 또는 대안적으로, 전진 운동 속도 또는 상기 공급라인 안의 또는 다른 부위에서의 열전달유체의 체적흐름이 측정될 수도 있다. 상기 펌프 및/또는 상기 송풍기의 조절은 바람직하게는 상기 가열 및/또는 냉각 장치의 조절과 커플링되어 있다.

상기 열교환기와 조합된, 하지만 이와 상관없이도 실현 가능한 본 발명의 제 2 양상에 따르면, 상기 배열체의 상기 챔버와 상기 공급라인과 상기 배출라인은 상기 챔버로부터 유출되는 열전달유체를 위해, 그 자체가 닫혀 있는 하나의 열전달유체 순환부를 형성하며 또는 이러한 것의 부분일 수 있다. 이는 무엇보다도 열전달유체로서 휘발성 가스들 및/또는 액체들이 사용되면 적합하다. 그 자체가 닫혀 있는 상기 순환부를 통하여, 열 또는 냉기가 상기 순환부 안에 마찬가지로 특히 효과적으로 유지 및 이용되며, 이로 인해 마찬가지로 상기 폐쇄부재에 열적 작용을 가하기 위한 에너지 요구가 매우 낮게 유지된다. 이와는 달리, 열전달유체가 그 자체가 닫혀 있는 하나의 순환부 안에서 안내되지 않는, 열려 있는 시스템들도 가능하다.

바람직한 구현형태들에 따르면, 상기 챔버는 적어도 일부 영역에서 상기 폐쇄부재에 의해 그리고 벨로스 (bellows) 에 의해 또는, 바람직하게는 뺐다 넣었다 할 수 있는 (telescopic), 슬라이딩 슬리브 (sliding sleeve) 에 의해 한정되어 있다. 상기 밸브는 바람직하게는 적어도 하나의 밸브시트를 구비하며, 상기 밸브시트에 상기 폐쇄부재는 그의 폐쇄위치에 있어서 밀착한다. 상기 챔버는 바람직하게는 상기 폐쇄부재의 상기 밸브시트로부터 멀리 향하는 쪽에 배치되어 있다. 단지 몇 가지 예를 들자면, 본 발명에 따른 배열체들의 상기 밸브는 앵글 밸브 (angle valve) 로서 뿐만 아니라 슬라이드 게이트 밸브 (slide gate valve) 로서 형성되어 있을 수 있다.

상기 배열체들의 본 발명에 따른 여러 가지 구현형태들의 그 밖의 특징들 및 상세 내용들은 하기의 도면 설명을 근거로 예시적으로 설명된다.

도 1 및 도 2 는 본 발명에 따른 제 1 실시예;
도 3, 도 4 및 도 5 는 이 제 1 실시예의 본 발명에 따른 변형 형태들;
도 6 및 도 7 은 본 발명에 따른 그 밖의 실시예들 그리고
도 8 은 본 발명의 제 2 양상에 따른 본 발명에 따른 실시형태이다.

도 1 내지 도 5 에 따른 실시예들은 이른바 앵글 밸브들에 관한 것이며, 상기 앵글 밸브들은 무엇보다도 기체 상태의 또는 액체 상태의 매체들, 예컨대 공정가스들을 계량하기 위해 이용된다. 도 1 및 도 2 에 따른 본 발명의 제 1 실시예에서, 도 1 은 폐쇄부재 (2) 를 그의 폐쇄위치에서 나타내며, 상기 폐쇄위치에서 상기 폐쇄부재는 밸브 (1) 의 관통 개구부 (3) 를 완전히 폐쇄한다. 도 2 는 최대로 개방된 위치를 나타내며, 상기 위치에 있어서 폐쇄부재 (2) 는 관통 개구부 (3) 를 개방시키고, 그리고 기체 또는 액체는 밸브 입구 (21) 안으로 유입되며, 그리고 폐쇄부재 (2) 의 옆을 지나서 밸브 출구 (22) 로부터 다시 유출될 수 있고, 또는 정반대일 수 있다. 그의 폐쇄위치와 상기 개방된 위치 또는 여러 가지 개방된 위치들 사이에서 움직이기 위해, 이 제 1 실시예들에서 밸브 플레이트로서 형성된 폐쇄부재 (2) 는 밸브 로드 (24) 를 이용해, 여기에 상세히 도시되어 있지 않은 드라이브 (4) 와 연결되어 있다. 드라이브 (4) 는 폐쇄부재 (2) 와 함께 밸브 로드 (24) 의 상승 및 하강을 담당한다. 예컨대 선행기술에 그 자체가 공지된 유압식, 전기식 또는 공압식의 적합한 드라이브 (4) 들의 여러 가지 구현형태들에 관한 것일 수 있다.

도 1 내지 도 5 에 따른 실시예에서, 폐쇄부재 (2) 는 각각 이른바 조절 플레이트에 관한 것이며, 상기 조절 플레이트는 링 모양으로 형성된 돌출부 (23) 를 갖고 상기 폐쇄위치에서, 밸브시트 (15) 의 상응하여 부합하여 형성된 링 모양의 그루브와 맞물린다. 밸브 (1) 의 폐쇄부재 (2) 의 이 특별한 구현형태는, 상기 폐쇄위치로부터 출발한 개방 과정시 완전한 체적흐름이 즉시 나타나는 것이 아니라, 개방 과정시 처음에 아직 존재하는 최대 압력차이에 있어서 우선 적은 체적흐름만 가능하도록 선택되었다. 도 1 에 따른 폐쇄위치로부터 출발하여, 폐쇄부재 (2) 를 밸브시트 (15) 로부터 들어낼 때 우선, 비교적 작은 개방 횡단면을 가진 오버플로우 개구부들이 생성되는데, 왜냐하면 밸브 입구 (21) 안으로 유입되는 계량되어야 하는 매체는 우선 밸브시트 (15) 안의 그루브 모양의 리세스를 통해, 그리고 상기 밸브 플레이트의 돌출부 (23) 들 둘레로 흘러야 하기 때문이며, 따라서 상기 개방 과정의 시작시의 체적흐름은 우선 매우 적다. 또한, 여기에 예시적으로 도시된 폐쇄부재 (2) 안의 부합하여 성형된 돌출부 (23) 들의 구현형태 및 밸브시트 (15) 안의 상기 리세스들을 통하여, 개방 시작시 상기 밸브시트와 상기 폐쇄부재 사이의 흐름 경로가 길어지며, 이는 또다시 체적흐름을 억제하는데 기여한다. 물론, 이 기본사상은 상기 폐쇄부재들과 밸브시트 (15) 안의 돌출부들과 리세스들의 다른 형태들 및 구현 변형들에서도 실현될 수 있다. 이때 특히, 비스듬히 배치된 벽 섹션들이 실현되면 유리하며, 상기 벽 섹션들은 폐쇄부재 (2) 의 개방 및/또는 폐쇄 방향에 대해 0°와 90°및 그의 몇배에서 벗어나는 각도로 배치되어 있다.

이 조절 플레이트 기술이 이용되는 것이 아니라 폐쇄부재 (2) 와 밸브시트 (15) 가 선행기술에 공지된 다른 구현형태들에서 실현되어 있는, 본 발명에 따른 배열체들도 실현될 수 있다.

폐쇄부재 (2) 를 가열시키기 위해 및/또는 냉각시키기 위해, 폐쇄부재 (2) 에 의해 그리고 벨로스 (13) 에 의해 한정된 챔버 (5) 안으로 열전달유체가 채워 넣어질 수 있다. 챔버 (5) 안으로의 열전달유체의 유입은 공급라인 (6) 을 통하여 수행된다. 유출은 배출라인 (10) 을 통하여 수행된다. 공급라인 (6) 안의 열전달유체를 본 발명에 따라 정확한 온도로 데려가기 위해, 즉 가열시키기 위해 또는 냉각시키기 위해, 공급라인 (6) 안에는 열교환기 (7) 가 배치되어 있다. 즉, 공급라인 (6) 안의 열전달유체는 열교환기 (7) 를 관류하며, 그리고 이때 열적으로 작용을 받는다. 이는 상기 열전달유체의 냉각 및 가열에 관한 것일 수 있다. 도시되어 있는 실시예에서, 공급라인 (6) 안의 열교환기 (7) 의 하류에는 가열 및/또는 냉각 장치 (8) 가 접속되어 있다. 이것은 이 실시예에서 무엇보다도 공급라인 (6) 을 통해 챔버 (5) 안으로 유입된 열전달유체의 온도를 정밀하게 조절하는데 쓰인다. 상기 가열 및/또는 냉각 장치는 바람직하게는, 그 자체가 공지된 조절부를 갖추고 있으며, 상기 조절부는 적합한 파라미터에 따라, 예컨대 공급라인 (6) 안의 열전달유체의 온도에 따라 가열 및/또는 냉각 장치 (8) 를 적합한 방식으로 제어한다.

도 1 및 도 2 에 따른 제 1 실시예에서, 공급라인 (6) 과 배출라인 (10) 은, 여기에 상세히 도시되어 있지 않은, 열전달유체의 보다 큰 순환부와 연결되어 있다. 시스템 압력, 또는 상기 언급된 라인들 안의 열전달매체를 운반하기 위한 다른 방식은, 여기에 명백히 도시되어 있지 않은 방식으로 달리 제공된다.

특히 액체 열전달매체들에 있어서, 완벽을 기하기 위해 여기에 개략적으로 도시되어 있는 바와 같이, 부피 보상 장치 (16) 가 존재할 수 있으며, 상기 부피 보상 장치는, 폐쇄부재 (2) 의 개방 및 폐쇄시 변화하는 챔버 (5) 의 내부 부피를 보상하는데 쓰인다. 이러한 부피 보상 장치 (16) 는, 다른 경우에는 존재하는 루프가 이 부피 변화를 보상할 수 없으면 항상 제공되어 있을 수 있다. 특히 개방 루프들에 있어서 및/또는 압축성 기체 상태의 열전달유체들에 있어서, 경우에 따라서는 이러한 부피 보상 장치 (16) 는 완전히 생략될 수도 있다. 상기 부피 보상 장치의 도시되어 있는 실시예에서, 개략적으로 실린더 (20) 가 도시되어 있으며, 상기 실린더 안에는 가스 부피 (19) 가 막 (membrane, 17) 을 이용해 감금되어 있다. 이 실시예에서 막 (17) 의 가스 부피 (19) 로부터 멀리 향하는 쪽에서, 상기 막은 배출라인 (10) 안의 열전달유체와 연결되어 있으며, 따라서 챔버 (5) 안의 챔버부피의 감소는 상기 감금되어 있는 가스 부피 (19) 의 압축하에 실린더 (20) 안의 막 (17) 의 아래쪽의 부피의 확대를 통해 보상될 수 있으며, 그리고 정반대일 수도 있다. 여기에 도시되어 있는 부피 보상 장치 (16) 는 개략적으로 도시되어 있는 일례일 뿐이며, 상기 부피 보상 장치는 선행기술에 공지된 여러 가지 구현형태들로 실시될 수 있고, 그리고 이미 설명한 바와 같이, 경우에 따라서는 완전히 생략될 수도 있다.

도 3 에 따른 제 2 실시예는 도 1 및 도 2 에 따른 제 1 실시예와 원칙적으로 비슷하게 구성되어 있으며, 따라서 여기에서는 차이들만 설명된다. 모든 다른 것들은 도 1 및 도 2 의 지금까지의 설명에 상응하여 실시 가능하거나 또는 변화 가능하다.

도 3 에 따른 변형은 챔버 (5) 와 공급라인 (6) 과 배출라인 (10) 이, 그 자체가 닫혀 있는 하나의 열전달유체 순환부를 형성하는 배열체의 본 발명에 따른 실시예에 관한 것이다. 열교환기 (7) 는 배출라인 (10) 안의 열전달유체로부터 열 또는 냉기를 끌어내며, 그리고 이것을 공급라인 (6) 안의 열전달유체에 전달한다. 이는 예컨대 상기 라인들이 열교환기 (7) 의 밸브 (1) 로부터 멀리 향하는 쪽에서 매우 길고, 그리고 이로써 손실을 갖는 경우 의미가 있다. 공급라인 (6), 챔버 (5) 및 배출라인 (10) 을 통해 열전달유체를 운반하기 위해, 도 3 에 따른 도시되어 있는 실시예에서는 송풍기 (9) 가 제공되어 있다. 그러므로, 이 구현형태는 기체 상태의 열전달유체들의 이용을 위해 제공되어 있는 구현형태에 관한 것이다. 열전달유체가 액체인 경우에는, 송풍기 (9) 는 상응하는 펌프에 의해 대체될 수 있다.

도 8 에는 본 발명의 제 2 양상에 따라 변경된 실시예가 도시되어 있으며, 상기 실시예는 열교환기 (7) 를 구비하지 않고, 하지만 상기 언급된 닫혀 있는 열전달유체 순환부를 구비한다. 그 밖에, 이 예는 도 3 처럼 실시되어 있고, 따라서 이 변형의 추가적인 설명이 필요없다. 이 변형은 무엇보다도 상기 열전달유체 순환부가 비교적 짧게 유지될 수 있으면 에너지 절약을 위해 제공된다. 물론, 본 발명의 상기 제 2 양상에 따른 닫혀 있는 열전달유체 순환부의, 여기에 구체적으로 도시된 변형들 중 다른 것들도 열교환기 (7) 없이 실시될 수도 있다.

도 4 에 따른 실시예는 또다시 도 3 에 따른 실시예의 변형 형태이며, 따라서 본질적인 특성들에 있어서 이미 언급된 것이 다시 참조될 수 있다. 도 3 에 대한 차이는 챔버 (5) 를 한정하는 유형에 있다. 도 3 으로부터의 벨로스 (13) 대신에, 이 실시예에서는 슬라이딩 슬리브 (14) 가 제공되어 있으며, 상기 슬라이딩 슬리브는 그 자체가 뺐다 넣었다 할 수 있으며, 그리고 폐쇄부재 (2) 와 함께 챔버 (5) 를 바깥쪽으로 한정 및 밀봉한다. 시일 (18) 들은 슬라이딩 슬리브 (14) 의 서로 슬라이딩 가능한 영역들을 서로 밀봉시키며, 따라서 열전달유체의 유출이 생길 수 없다.

도 5 에 도시되어 있는 변형에 있어서, 열교환기 (7) 는, 공급라인 (6) 을 통해 챔버 (5) 안으로 유입되는 열전달유체와 다른 열전달유체 사이의 온도교환을 위해, 상기 공급라인 (6) 과 다른 열전달유체 시스템 사이에 작용하며 배치되어 있다. 상기 다른 열전달유체 시스템은 도 5 에 따른 실시예에서 밸브 (10) 의 하우징 (12) 에 열적 작용을 가하기 위한 가열 및/또는 냉각 배열체 (11) 에 관한 것이며, 상기 하우징은 폐쇄부재 (2) 와 관통 개구부 (3) 를 둘러싼다. 상기 둘러싸기는 이 실시예에서 재킷 (25) 을 이용해 실현되어 있다. 재킷 (25) 과 밸브 (1) 의 하우징 (12) 사이의 중간 공간에서, 열전달유체는 가열 및/또는 냉각 배열체 (11) 를 통하여 도입될 수 있고, 이로써 밖으로부터 밸브 (1) 의 하우징 (12) 의 특정한 냉각 및/또는 가열이 가능하다. 이를 위해, 도시되어 있는 실시예에서 가열 및/또는 냉각 배열체 (11) 는 가열 및/또는 냉각 장치 (26) 와 열교환기 (27) 를 제공한다. 가열 및/또는 냉각 장치 (26) 는 바람직하게는 조절되며, 이때 조절 파라미터들로서는, 일례를 들자면, 적합한 부위에서의 가열 및/또는 냉각 배열체 (11) 안의 온도들이 측정될 수 있다. 가열 및/또는 냉각 장치 (26) 로부터 오면서, 가열 및/또는 냉각 배열체 (11) 의 라인 (28) 은 열교환기 (7) 를 관통하여 이어진다. 상기 라인으로부터, 또는 그 안에 흐르는 열전달유체로부터 열 및/또는 냉기가 끌어내질 수 있는데, 왜냐하면 이로써 공급라인 (6) 안의 열전달유체를 가열시키기 위해 및/또는 냉각시키기 위해서이다. 도시되어 있는 실시예에서, 열교환기 (7) 에 이어, 가열 및/또는 냉각 장치 (8) 와 송풍기 (9) 로 이루어진 조합형 장치가 제공되어 있으며, 그러면 상기 장치를 이용해 공급라인 (6) 안의 열전달유체의 체적흐름, 및 그의 온도의 정밀 조절이 수행될 수 있다.

지금까지 설명된 본 발명에 따른 모든 실시예들은 이른바 앵글 밸브들에 관한 것이다. 도 6 및 도 7 은 완벽을 기하기 위해 개략적으로 도시되어 있는 예들을 나타내며, 상기 예들에서 폐쇄부재 (2) 는 슬라이드로서 형성되어 있으며, 즉 본 발명에 따라 설치된 슬라이드 게이트 밸브를 가진 배열체들에 관한 것이다. 도 6 은 폐쇄부재 (2) 로서의 쐐기 모양의 슬라이드에 관한 것이며, 상기 슬라이드는 도 6 에 도시되어 있는 그의 폐쇄위치에 있어서 시일 (18) 들을 통하여 상응하는 밸브시트 (15) 에 대해 밀봉되어 있다. 여기에 도시되어 있지 않은 개방위치에 있어서, 폐쇄부재 (2) 는 위로 이동되어 있고, 따라서 관통 개구부 (3) 는 비어 있거나 또는 적어도 일부 영역에서 비어 있다. 이러한 슬라이드 게이트 밸브들은 무엇보다도 공정챔버 또는 진공챔버 안의 폐쇄 가능한 개구부를 만들어내는 것에 관한 것이면 이용될 수 있으며, 상기 개구부를 관통하여, 가공되어야 하는 물체들이 진공챔버 또는 공정챔버 안으로 도입되거나 또는 이것으로부터 끌어내질 수 있다. 챔버 (5) 안의 열전달유체를 이용하여 폐쇄부재 (2) 에 열적 작용을 가함, 및 특히 열교환기 (7) 를 이용하여 열전달유체에 본 발명에 따라 열적 작용을 가함은 예시적으로 제 1 실시예에서처럼 실시되어 있고, 그러므로 더 설명될 필요가 없다. 물론, 다른 실시예들에서 도시되어 있거나 또는 여기에 도시되어 있지 않은 본 발명의 다른 변형들에서 가능한 바와 같이, 슬라이드 게이트 밸브들에 있어서도 상기 폐쇄부재의 가열의 본 발명에 따른 구현형태의 다른 형태가 실현될 수 있다. 도 7 에서 폐쇄부재 (2) 는 쐐기 모양으로 설계되어 있지 않으며, 시일 (18) 들과 밸브시트 (15) 들은 상응하여 맞춰져 설계되어 있다. 여기에 도시되어 있는 실시예들과는 달리, 개방 및/또는 폐쇄 과정시 L 모양의 운동을 수행하는 폐쇄부재 (2) 들에 관한 것일 수도 있다. 이러한 폐쇄부재 (2) 들은 선행기술에 충분히 공지되어 있으며, 따라서 그것들은 여기에서 상세히 기술될 필요가 없다.

1 : 밸브 2 : 폐쇄부재
3 : 관통 개구부 4 : 드라이브
5 : 챔버 6 : 공급라인
7 : 열교환기 8 : 가열 및/또는 냉각 장치
9 : 송풍기 10 : 배출라인
11 : 가열 및/또는 냉각 배열체 12 : 하우징
13 : 벨로스 14 : 슬라이딩 슬리브
15 : 밸브시트 16 : 부피 보상 장치
17 : 막 18 : 시일
19 : 가스 부피 20 : 실린더
21 : 밸브 입구 22 : 밸브 출구
23 : 돌출부 24 : 밸브 로드
25 : 재킷 26 : 가열 및/또는 냉각 장치
27 : 열교환기 28 : 라인

Claims

적어도 하나의 밸브 (1) 를 가진 배열체로서,
상기 밸브는 상기 밸브 (1) 의 적어도 하나의 관통 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 상기 밸브 (1) 의 적어도 하나의 폐쇄부재 (2), 및
상기 폐쇄부재 (2) 가 상기 관통 개구부 (3) 를 폐쇄하는 폐쇄위치와 상기 폐쇄부재 (2) 가 상기 관통 개구부 (3) 를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (2) 를 이동시키기 위한 적어도 하나의 드라이브 (4) 를 구비하며,
상기 적어도 하나의 밸브 (1) 는 상기 폐쇄부재 (2) 에 열적 작용을 가하기 위해, 적어도 하나의 열전달유체를 위한 적어도 하나의 챔버 (5) 를 구비하고, 상기 챔버 (5) 는 상기 폐쇄부재 (2) 와 열전도적으로 연결되어 있고 상기 관통 개구부 (3) 에 대해 닫혀 있고,
상기 챔버 (5) 안으로 상기 배열체의 적어도 하나의 공급라인 (6) 이 통하며, 상기 공급라인을 통해, 상기 폐쇄부재 (2) 에 열적 작용을 가하기 위한 열전달유체가 상기 챔버 (5) 안으로 도입될 수 있고,
상기 공급라인 (6) 안에는, 상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 적어도 하나의 열교환기 (7) 가 배치되어 있고,
상기 열교환기 (7) 는 상기 배열체의 배출라인 (10) 과 공급라인 (6) 사이에 작용하도록 배치되어 있고,
상기 열교환기 (7) 는 배출라인 (10) 안의 열전달유체로부터 열 또는 냉기를 끌어내고, 이것을 공급라인 (6) 안의 열전달유체에 전달하는 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항에 있어서, 상기 열교환기 (7) 에 추가하여, 상기 공급라인 (6) 안의 상기 열전달유체에 열적 작용을 가하기 위한 적어도 하나의 가열 장치, 냉각 장치, 또는 가열 및 냉각 장치 (8) 가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항에 있어서, 상기 열교환기 (7) 에 추가하여, 상기 공급라인 (6) 안의 상기 열전달유체를 운반하기 위한 적어도 하나의 펌프 또는 적어도 하나의 송풍기 (9) 가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항에 있어서,
상기 배열체의 상기 챔버 (5) 와 상기 공급라인 (6) 과 상기 배출라인 (10) 은 상기 챔버 (5) 로부터 유출되는 열전달유체를 위해, 그 자체가 닫혀 있는 하나의 열전달유체 순환부 (heat transfer fluid circulation) 를 형성하거나 열전달유체 순환부의 부분인 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 챔버 (5) 는 적어도 일부 영역에서 상기 폐쇄부재 (2) 에 의해 그리고 벨로스 (bellows, 13) 에 의해 또는 슬라이딩 슬리브 (14) 에 의해 한정되어 있는 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브 (1) 는 적어도 하나의 밸브시트 (15) 를 구비하며, 상기 밸브시트에 상기 폐쇄부재 (2) 가 그의 폐쇄위치에 있어서 밀착하고, 그리고 상기 챔버 (5) 는 상기 폐쇄부재 (2) 의 상기 밸브시트 (15) 로부터 멀리 향하는 쪽에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브 (1) 는 앵글 밸브 또는 슬라이드 게이트 밸브인 것을 특징으로 하는 적어도 하나의 밸브를 가진 배열체.
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