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KR101623725B1 - Electrode for dye-sensitized solar cell, resin composition for forming a shielding film of electrode for dye-sensitized solar cell, shielding film and forming method thereof, and dye-sensitized solar cell - Google Patents

Electrode for dye-sensitized solar cell, resin composition for forming a shielding film of electrode for dye-sensitized solar cell, shielding film and forming method thereof, and dye-sensitized solar cell Download PDF

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KR101623725B1
KR101623725B1 KR1020100038592A KR20100038592A KR101623725B1 KR 101623725 B1 KR101623725 B1 KR 101623725B1 KR 1020100038592 A KR1020100038592 A KR 1020100038592A KR 20100038592 A KR20100038592 A KR 20100038592A KR 101623725 B1 KR101623725 B1 KR 101623725B1
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에이지 요네다
다이고 이치노헤
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제이에스알 가부시끼가이샤
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Abstract

(과제) 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에 정확하게 도포하는 것이 가능하며, 높은 광전 변환 효율을 유지하면서, 우수한 내식성을 갖는 실드막을 형성할 수 있는 수지 조성물을 제공한다. 또한, 도포 공정 및 가열 공정이라는 비교적 간이한 공정만으로, 저비용으로 실드막을 형성 가능한 수지 조성물 및 이 내식성을 갖는 실드막을 구비한 광전 변환 효율이 우수한 색소 증감형 태양전지용 전극을 제공한다.
(해결 수단) 본 발명은, 수지 조성물에 의해 형성되는 실드막을 구비하는 색소 증감형 태양전지용 전극으로서, 상기 수지 조성물이, [A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체를 함유하는 것을 특징으로 하는 색소 증감형 태양전지용 전극이다.
(PROBLEMS TO BE SOLVED BY THE INVENTION) A resin composition capable of accurately coating on a substrate having a step of a metal wiring and capable of forming a shield film having excellent corrosion resistance while maintaining high photoelectric conversion efficiency. Also provided is a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and an electrode for a dye-sensitized solar cell having a shield film having this corrosion resistance and excellent in photoelectric conversion efficiency.
The present invention provides a dye-sensitized solar cell electrode comprising a shield film formed from a resin composition, wherein the resin composition is selected from the group consisting of [A] a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group And a polymer having at least one kind of reactive functional group.

Description

색소 증감형 태양전지용 전극, 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성용 수지 조성물, 실드막과 그의 형성 방법 및, 색소 증감형 태양전지{ELECTRODE FOR DYE-SENSITIZED SOLAR CELL, RESIN COMPOSITION FOR FORMING A SHIELDING FILM OF ELECTRODE FOR DYE-SENSITIZED SOLAR CELL, SHIELDING FILM AND FORMING METHOD THEREOF, AND DYE-SENSITIZED SOLAR CELL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an electrode for a dye-sensitized solar cell, a resin composition for forming a shielding film of an electrode for a dye-sensitized solar cell, a shielding film and a method for forming the shielding film, and a dye-sensitized solar cell OF ELECTRODE FOR DYE-SENSITIZED SOLAR CELL, SHIELDING FILM AND FORMING METHOD THEREOF, AND DYE-SENSITIZED SOLAR CELL}

본 발명은 색소 증감형 태양전지용 전극, 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성용 수지 조성물, 실드막과 그의 형성 방법 및, 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지에 관한 것이다.The present invention relates to an electrode for a dye-sensitized solar cell, a resin composition for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell, a shield film, a forming method thereof, and a dye-sensitized solar cell having a shield film.

색소 증감형 태양전지는 스위스의 그래첼 등에 의해 개발된 것으로, 광전 변환 효율이 높고, 제조 비용이 저렴한 것 등의 이점을 갖기 때문에, 새로운 타입의 태양전지로서 주목을 모으고 있다(예를 들면, 일본공개특허공보 평1-220380호; 미카엘·그래첼(M.Graetzel) 등에 의한 네이처(Nature)지(영국), 1991년, 제353호, p.737을 참조). 색소 증감형 태양전지는, 투명 전극 기판상에 산화물 반도체 미립자로 이루어지는 광증감 색소가 담지된 산화물 반도체 다공막을 갖는 작용 전극과 이 작용 전극에 대향하여 형성된 대향 전극과, 작용 전극과 대향 전극과의 사이에 전해액이 충전됨으로써 형성된 전해질층(전하 이동층)을 구비하고 있다. 이러한 색소 증감형 태양전지에 있어서는, 태양광 등의 입사광을 흡수한 광증감 색소에 의해 산화물 반도체 미립자가 증감되어, 빛 에너지를 전력으로 변환하는 광전 변환 소자로서 기능한다.The dye-sensitized solar cell has been developed by Grassell et al. In Switzerland and has attracted attention as a new type of solar cell because it has advantages such as high photoelectric conversion efficiency and low manufacturing cost (for example, Japan See, for example, JP-A-1-220380; M.Graetzel et al., Nature, (1991) 353, p. 737). The dye-sensitized solar cell includes a working electrode having an oxide semiconductor porous film on which a photosensitizing dye made of fine oxide semiconductor particles is supported on a transparent electrode substrate, a counter electrode formed opposite to the working electrode, and a counter electrode formed between the working electrode and the counter electrode And an electrolyte layer (charge transfer layer) formed by filling an electrolyte solution in the electrolyte layer. In such a dye-sensitized solar cell, oxide semiconductor fine particles are increased or decreased by the photosensitizing dye absorbing incident light such as sunlight and function as a photoelectric conversion element for converting light energy into electric power.

색소 증감형 태양전지에서 사용되는 투명 전극 기판으로서는, 주석 첨가 산화 인듐(ITO)이나 불소 첨가 산화 주석(FTO) 등의 투명 도전막을, 고왜점(高歪点) 유리 등의 기재(基材)의 표면에 성막한 것이 일반적이다. 주석 첨가 산화 인듐(ITO)이나 불소 첨가 산화 주석(FTO)은 투명성, 전해액에 의한 부식에 대한 내성 및, 성막 용이성 등의 관점에서, 바람직하게 사용되고 있다. 그러나, ITO나 FTO의 비저항은, 10-4[Ω·cm] 오더(order) 정도로, 은이나 금 등의 금속의 비저항에 비하여 약 100배나 되는 값을 나타내는 점에서, 특히 대면적의 작용 전극으로 한 경우에, 광전 변환 효율의 저하를 초래하는 한 원인이 되고 있다.As the transparent electrode substrate used in the dye-sensitized solar cell, a transparent conductive film such as tin-doped indium oxide (ITO) or fluorine-doped tin oxide (FTO) can be used as a transparent electrode substrate in a substrate of a high strain point glass It is common to form the film on the surface. The tin-doped indium oxide (ITO) and the fluorine-doped tin oxide (FTO) are preferably used from the viewpoints of transparency, resistance to corrosion by an electrolytic solution, ease of film formation and the like. However, the resistivity of ITO or FTO is on the order of 10 -4 [Ω · cm] and is about 100 times larger than that of metal such as silver or gold. In such a case, this causes a decrease in the photoelectric conversion efficiency.

투명 전극 기판의 저항을 낮추는 수법으로서, 투명 도전막(ITO, FTO 등)의 두께를 크게 하는 것을 생각할 수 있지만, 저항치가 충분히 내려갈 정도의 막두께로 한 경우, 투명 도전막에 의한 광흡수가 커져 버린다. 이 경우, 투명 도전막에서의 입사광의 투과 효율이 현저하게 저하되기 때문에, 광전 변환 효율의 저하가 발생하기 쉽다. 이 문제에 대한 해결책으로서, 투명 전극 기판의 표면에, 개구율을 현저하게 해치지 않는 정도로 금속 배선을 형성함으로써, 투명 전극 기판의 저항의 저하를 도모하는 검토가 이루어지고 있다(일본공개특허공보 2003-203681호 참조).As a method of lowering the resistance of the transparent electrode substrate, it is conceivable to increase the thickness of the transparent conductive film (ITO, FTO or the like). However, when the film thickness is enough to sufficiently lower the resistance value, the light absorption by the transparent conductive film becomes large Throw away. In this case, since the transmission efficiency of the incident light in the transparent conductive film is remarkably lowered, the photoelectric conversion efficiency is likely to be lowered. As a solution to this problem, studies have been made to reduce the resistance of the transparent electrode substrate by forming a metal wiring on the surface of the transparent electrode substrate to such an extent that the aperture ratio is not significantly deteriorated (JP-A-2003-203681 See also

그러나, 이 경우 전해액에 의한 금속 배선의 부식이 발생하여, 시간의 경과와 함께 투명 전극 기판의 저항이 커지기 때문에, 광전 변환 효율의 저하로 이어지는 사태가 된다. 따라서, 이와 같이 투명 전극 기판의 표면에 금속 배선을 형성할 때에는, 적어도 금속 배선의 표면 부분이, 어떠한 차폐층에 의해 보호되어 있을 필요가 있다. 이 차폐층은 금속 배선을 치밀하게 피복할 수 있고, 전해질층을 구성하는 전해액에 대한 내식성이 우수할 것이 요구된다.However, in this case, the corrosion of the metal wiring due to the electrolytic solution occurs, and the resistance of the transparent electrode substrate increases with the lapse of time, resulting in a decrease in the photoelectric conversion efficiency. Therefore, when the metal wiring is formed on the surface of the transparent electrode substrate, it is necessary that at least the surface portion of the metal wiring is protected by any shielding layer. This shielding layer can closely coat the metal wiring and is required to have excellent corrosion resistance to the electrolyte constituting the electrolyte layer.

상기 상황을 감안하여, 일본공개특허공보 2005-197176호에는, 색소 증감형 태양전지용 전극에 형성된 금속 배선을 전해액에 의한 부식으로부터 보호하기 위해, 도전성 입자(ITO, ATO, ZnO 등)를 함유하는 아크릴계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리우레탄계 수지 등의 투명 수지로 이루어지는 유기막을, 이 전극의 최상층에 형성하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 도전성 입자가 투명 수지 용액에 불균일하게 분산되어 있기 때문에, 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에 균일한 두께의 도막을 형성하는 것이 곤란하다. 그 결과, 유기막의 결손이 생기거나 금속 배선이 존재하지 않는 부분까지 유기막이 형성되게 되기 때문에, 광전 변환 효율이 저하된다는 문제가 있다.In view of the above situation, Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 2005-197176 discloses an acrylic resin composition containing conductive particles (ITO, ATO, ZnO and the like) in order to protect metal wiring formed on an electrode for a dye-sensitized solar cell from corrosion by an electrolytic solution Discloses a technique for forming an organic film made of a transparent resin such as a resin, a polyester resin, or a polyurethane resin on the uppermost layer of the electrode. However, since the conductive particles are dispersed unevenly in the transparent resin solution, it is difficult to form a coating film having a uniform thickness on the substrate having the stepped portion of the metal wiring. As a result, there is a problem that the photoelectric conversion efficiency is lowered because the organic film is defective or the organic film is formed to the portion where no metal wiring exists.

또한, 일본공개특허공보 2005-197176호에는, 색소 증감형 태양전지용 전극에 형성된 금속 배선의 표면 부분을 덮도록, 아크릴계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리우레탄계 수지 등의 투명 수지로 이루어지는 유기막을 형성하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 금속 배선의 단차를 갖는 기판에 대하여, 스크린 인쇄나 그라비어 인쇄의 수법에 의해, 금속 배선이 존재하는 부분에만 정확하게 수지 조성물을 도포하는 것은 매우 곤란하다. 이러한 도포 방법을 채용한 경우라도, 역시 금속 배선의 일부에 유기막의 결손이 발생하거나, 금속 배선이 존재하지 않는 불필요한 부분에까지 유기막이 형성되게 되어, 광전 변환 효율의 저하를 초래한다는 문제가 있다.Japanese Patent Laid-Open No. 2005-197176 discloses a method of forming an organic film made of a transparent resin such as an acrylic resin, a polyester resin or a polyurethane resin so as to cover a surface portion of a metal wiring formed on an electrode for a dye-sensitized solar cell Technology is disclosed. However, it is very difficult to apply the resin composition precisely to only the portion where the metal wiring exists, by screen printing or gravure printing, with respect to the substrate having the stepped portion of the metal wiring. Even in the case of adopting such a coating method, there is also a problem that the organic film is partially broken in the metal wiring, or the organic film is formed in an unnecessary part where no metal wiring is present, and the photoelectric conversion efficiency is lowered.

따라서, 색소 증감형 태양전지에 있어서, 금속 배선의 단차를 갖는 기판에 대하여 정확하게 도포하는 것이 가능함과 함께, 높은 광전 변환 효율을 유지하면서 우수한 내식성을 갖는 실드막(shielding film)을 형성할 수 있는 실드막 형성용 조성물의 개발이 강하게 요망되고 있다. 또한, 색소 증감형 태양전지에 있어서의 금속 배선의 단차를 갖는 기판에 대하여, 바 도포법, 스핀 코팅법, 슬릿 다이법 등에 의한 도포 및, 그에 이어지는 포토마스크를 개재한 노광·현상에 의해 실드막을 형성 가능한 수지 조성물은 알려져 있지 않다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a dye-sensitized solar cell which can accurately coat a substrate having a step of a metal wiring and can form a shielding film having excellent corrosion resistance while maintaining high photoelectric conversion efficiency Development of a film-forming composition is strongly desired. Further, a substrate having a step of a metal wiring in a dye-sensitized solar cell is coated on a substrate by a coating method such as a bar coating method, a spin coating method, a slit die method, and the like, A resin composition which can be formed is not known.

일본공개특허공보 평1-220380호Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-220380 일본공개특허공보 2003-203681호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-203681 일본공개특허공보 2005-197176호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-197176

미카엘·그래첼(M. Graetzel) 등에 의한 네이처(Nature)지(영국), 1991년, 제353호, p.737 M. Nature, M. Graetzel et al. (UK), 1991, No. 353, p. 737

본 발명은 상기와 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로, 기재상에 금속 배선층이 형성된 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서, 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에 정확하게 도포하는 것이 가능하며, 높은 광전 변환 효율을 유지하면서, 전해액에 의한 부식에 대하여 우수한 내식성을 갖는 실드막을 형성할 수 있는 감방사선성을 갖는 수지 조성물을 제공하는 것이다. 또한, 도포 공정 및 가열 공정이라는 비교적 간이한 공정만으로, 저비용으로 실드막을 형성 가능한 수지 조성물 및, 이 내식성을 갖는 실드막을 구비한 광전 변환 효율이 우수한 색소 증감형 태양전지용 전극을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made based on the above-described circumstances, and it is an object of the present invention to provide an electrode for a dye-sensitized solar cell having a metal wiring layer formed on a substrate, which can be accurately applied onto a substrate having a step of metal wiring, And which is capable of forming a shield film having excellent corrosion resistance against corrosion caused by an electrolytic solution, while maintaining the above composition. Another object of the present invention is to provide a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and an electrode for a dye-sensitized solar cell having a shield film having this corrosion resistance and excellent in photoelectric conversion efficiency.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명은,According to an aspect of the present invention,

수지 조성물에 의해 형성되는 실드막을 구비하는 색소 증감형 태양전지용 전극으로서,1. An electrode for a dye-sensitized solar cell comprising a shield film formed by a resin composition,

상기 수지 조성물이, [A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체를 함유하는 수지 조성물의 경화물로 이루어지는 실드막을 구비하는 것을 특징으로 하는 색소 증감형 태양전지용 전극이다.Wherein the resin composition comprises a shield film comprising a cured product of a resin composition containing a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group And is a dye-sensitized solar cell electrode.

상기 수지 조성물을 사용한 실드막의 형성은, 도포 공정 및 가열 공정이라는 비교적 간이한 공정만으로, 저비용으로 실드막을 형성 가능하며, 실드막은 전해질 용액으로부터의 내식성이 우수하고, 이 실드막을 사용한 색소 증감형 태양전지용 전극은 광전 변환 효율이 우수하다.The formation of the shielding film using the resin composition can be performed at a low cost by only a relatively simple process such as a coating step and a heating step. The shielding film is excellent in corrosion resistance from the electrolyte solution and can be used for a dye sensitized solar cell using the shielding film. The electrode has excellent photoelectric conversion efficiency.

상기 수지 조성물은, [B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물을 추가로 함유하는 것이 바람직하고, 이 [B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물로서는, 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다. 또한, 상기 수지 조성물은 [C]감방사선성 중합 개시제를 함유하는 것이 바람직하고, 이 [C]감방사선성 중합 개시제는, O-아실옥심 화합물 및/또는 아세토페논 화합물인 것이 바람직하다. 이들 화합물을 사용함으로써, 막의 결손이 없고, 금속 배선의 내식성이 우수한 실드막을 얻을 수 있다.The resin composition preferably further contains a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond [B], and the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond as the [B] monofunctional (meth) acrylate , Bifunctional (meth) acrylate, and trifunctional or more (meth) acrylate. It is also preferable that the resin composition contains a [C] radiation-sensitive polymerization initiator, and the [C] radiation-sensitive polymerization initiator is preferably an O-acyloxime compound and / or an acetophenone compound. By using these compounds, it is possible to obtain a shield film excellent in the corrosion resistance of the metal wiring without defects of the film.

또한, 본 발명에 따른 수지 조성물은,In addition, the resin composition according to the present invention is characterized in that,

[A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체를 함유하는 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성용 경화성 수지 조성물이다. 당해 수지 조성물은 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성 재료로서 적합하게 사용할 수 있다.[A] A curable resin composition for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell comprising a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group. The resin composition can be suitably used as a shielding film-forming material of an electrode for a dye-sensitized solar cell.

당해 수지 조성물은 The resin composition

[B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물 및,[B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond,

[C]감방사선성 중합 개시제[C] Radiation-sensitive polymerization initiator

를 추가로 함유할 수도 있다. 당해 수지 조성물은 높은 감방사선성을 갖기 때문에, 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성을 위해 사용하는 경우, 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에서, 금속 배선이 존재하는 부분에만 균일한 두께의 실드막을 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 당해 수지 조성물을 사용하여 형성한 실드막은, 금속 배선을 전해액에 의한 부식으로부터 효과적으로 보호하고, 또한, 이 실드막을 사용한 색소 증감형 태양전지용 전극은 높은 광전 변환 효율을 유지할 수 있다.May be further contained. When the resin composition is used for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell because of its high sensitivity to radiation, a shield film having a uniform thickness is formed only on a portion where metal wiring exists, . Therefore, the shielding film formed by using the resin composition effectively protects the metal wiring from corrosion by the electrolytic solution, and the dye-sensitized solar cell electrode using the shielding film can maintain high photoelectric conversion efficiency.

[B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물은, 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다. 또한, [C]감방사선성 중합 개시제는, O-아실옥심 화합물 및/또는 아세토페논 화합물인 것이 바람직하다. 이들 화합물을 사용함으로써, 노광시의 중합 반응성을 높일 수 있어, 정확한 형상 및 우수한 내식성을 갖는 실드막을 얻을 수 있다.The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond [B] is preferably at least one selected from the group consisting of a monofunctional (meth) acrylate, a bifunctional (meth) acrylate and a trifunctional or more (meth) acrylate Do. The [C] radiation-sensitive polymerization initiator is preferably an O-acyloxime compound and / or an acetophenone compound. By using these compounds, the polymerization reactivity at the time of exposure can be increased, and a shield film having an accurate shape and excellent corrosion resistance can be obtained.

따라서, 당해 수지 조성물을 사용하여 형성된 실드막 및 이 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지(광전 변환 소자)는, 감방사선성을 사용한 노광·현상에 의해, 금속 배선이 존재하는 부분에만 실드막이 정확하게 형성되기 때문에, 높은 광전 변환 효율을 갖고 있다.Therefore, the shield film formed using the resin composition and the dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element) having the shield film can be formed by exposure and development using the radiation-sensitive property so that the shield film is formed accurately only at the portion where the metal wiring exists And thus has a high photoelectric conversion efficiency.

본 발명의 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 방법은,A method for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell according to the present invention comprises:

(1) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 상기 경화성 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정 및,(1) a step of forming a coating film of the curable resin composition such that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate, and

(2) 공정(1)에서 형성된 도막을 가열하는 공정(2) a step of heating the coating film formed in the step (1)

을 갖고 있다. 당해 형성 방법은 도포 공정 및 가열 공정의 비교적 간이한 공정만을 필요로 하여, 저비용으로 실드막을 형성할 수 있다.Lt; / RTI > This forming method requires only a relatively simple process of a coating step and a heating step, and a shield film can be formed at a low cost.

그 외의 본 발명의 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 방법으로서는,As a method of forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell according to another aspect of the present invention,

(i) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 상기의 감방사선성을 갖는 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정,(i) a step of forming a coating film of the radiation sensitive resin composition so that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate,

(ii) 공정(i)에서 형성된 도막의 금속 배선층상에 적층되어 있는 부분에만 방사선을 조사하는 공정,(ii) a step of irradiating only the portion of the coating film formed in the step (i) on the metal wiring layer,

(iii) 공정(ii)에서 방사선이 조사된 도막을 현상하는 공정 및,(iii) a step of developing the coating film irradiated with the radiation in the step (ii)

(iv) 공정(iii)에서 현상된 도막을 가열하는 공정(iv) a step of heating the developed coating film in the step (iii)

을 갖고 있다. 또한, 여기에서 도전성 기판의 「표면」이란, 이 도전성 기판을 포함하여 구성되는 색소 증감형 태양전지에 있어서의 대향 전극측의 면을 의미한다. 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물을 사용한 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막을 형성하는 방법은, 감방사선성을 사용한 노광·현상에 의해 패턴을 형성하기 때문에, 금속 배선이 존재하는 부분에만 균일한 두께의 패턴을 용이하게 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 당해 방법에 의하면 전해액에 의한 부식에 대한 충분한 내성을 갖는 실드막을 형성할 수 있다.Lt; / RTI > Here, the " surface " of the conductive substrate means a surface on the side of the counter electrode in the dye-sensitized solar cell comprising the conductive substrate. A method of forming a shielding film of an electrode for a dye-sensitized solar cell using the resin composition having a radiation-sensitive property is a method in which a pattern is formed by exposure and development using radiation-sensitive properties, It is possible to easily form a pattern of the pattern. Therefore, according to this method, it is possible to form a shield film having sufficient resistance to corrosion by an electrolytic solution.

이상 설명한 바와 같이, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물은, 감방사선성을 이용한 노광·현상에 의해 패턴을 형성하기 때문에, 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서의 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에서, 금속 배선이 존재하는 부분에만 균일한 두께의 실드막을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물은, 전술한 바와 같이 금속 배선의 개소에만 정확하게 실드막을 형성할 수 있기 때문에, 충분한 내식성을 갖는 실드막이 얻어진다. 따라서, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물은 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 재료로서 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 감방사선성을 갖지 않는 수지 조성물은, 도포 공정 및 가열 공정이라는 비교적 간이한 공정만으로 저비용으로 실드막을 형성 가능한 수지 조성물 및, 이 내식성을 갖는 실드막을 구비한 광전 변환 효율이 우수한 색소 증감형 태양전지용 전극을 제공할 수 있다.As described above, since the resin composition having the radiation-sensitive properties forms a pattern by exposure and development using radiation-sensitive properties, it is possible to form a pattern on a substrate having a step of a metal wiring in a dye- It is possible to form a shield film having a uniform thickness only in a portion where wiring exists. In addition, the above resin composition having radiation-sensitive properties can form a shield film precisely only at a portion of a metal wiring as described above, so that a shield film having sufficient corrosion resistance can be obtained. Therefore, the resin composition having radiation-sensitive properties can be suitably used as a material for forming a shield film of a dye-sensitized solar cell electrode. The resin composition having no radiation-sensitive property of the present invention is a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and a resin composition having a shield film having corrosion resistance and having excellent photoelectric conversion efficiency An electrode for a sensitized solar cell can be provided.

도 1은 본 발명의 실드막을 구비한 색소 증감형 태양전지의 전극 기판을 제조하는 방법(실시예)의 각 공정을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 2는 도 1의 전극 기판을 사용하여 색소 증감형 태양전지를 제조하는 방법(실시예)의 각 공정을 나타내는 모식적 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view showing each step of a method (embodiment) for producing an electrode substrate of a dye-sensitized solar cell having a shield film of the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing each step of a method (embodiment) for producing a dye-sensitized solar cell using the electrode substrate of FIG. 1;

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

색소 증감형 태양전지Dye-sensitized solar cell

본 발명의 색소 증감형 태양전지는 도전성 기판, 이 도전성 기판상에 적층되는 작용 전극, 이 작용 전극상에 배설(配設)되는 대향 전극 및 이들 전극 사이에 배설되는 전하 이동층을 주로 구비하고 있다. 이 작용 전극은 주위(하면(下面)을 제외함)에 실드막을 갖는 금속 배선층과, 이 금속 배선층 사이에 배설되는 다공질 산화물 반도체층을 구비하고 있다.The dye-sensitized solar cell of the present invention mainly includes a conductive substrate, a working electrode stacked on the conductive substrate, a counter electrode disposed on the working electrode, and a charge transfer layer disposed between the electrodes . This working electrode has a metal wiring layer having a shielding film on its periphery (excluding a lower surface) and a porous oxide semiconductor layer arranged between the metal wiring layers.

도전성 기판으로서는 실질적으로 투명한 재질이 사용된다. 도전성 기재의 빛의 투과율은 50% 이상인 것이 바람직하고, 80% 이상인 것이 특히 바람직하다. 도전성 기판으로서는 그 자체가 도전성을 갖는 기재, 또는 표면에 투명 도전막을 갖는 기재를 사용할 수 있다. 표면에 투명 도전막을 갖는 기재로서는, 유리판, 산화 티탄이나 알루미나 등의 세라믹스의 연마판, 플라스틱 시트를 사용할 수 있다. 플라스틱 시트에 사용되는 플라스틱의 예로서는, 트리아세틸 셀룰로오스, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리페닐렌 설파이드, 신디오태틱 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르 이미드, 폴리술폰, 폴리에테르 술폰, 환상 폴리올레핀, 페녹시 수지, 브롬화 페녹시 수지 등을 들 수 있다.As the conductive substrate, a substantially transparent material is used. The light transmittance of the conductive base material is preferably 50% or more, particularly preferably 80% or more. As the conductive substrate, a substrate having conductivity itself or a substrate having a transparent conductive film on its surface can be used. As the substrate having a transparent conductive film on its surface, a glass plate, an abrasive plate of ceramics such as titanium oxide or alumina, or a plastic sheet can be used. Examples of plastics for use in the plastic sheet include plastics such as triacetylcellulose, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, polyarylate, polyetherimide, polysulfone, Cyclic polyolefin, phenoxy resin, and brominated phenoxy resin.

투명 도전막을 구성하는 도전성 재료로서는, 공지의 금속이나 금속 산화물 등으로 이루어지는 무기계 도전성 재료, 폴리머계 도전성 재료 등을 사용할 수 있다. 이들 도전성 재료 중에서도, 입수 용이성 및 도전성 등의 관점에서, 무기계 도전성 재료가 바람직하게 사용되고 있다. 무기계 도전성 재료의 예로서는, 백금, 금, 은, 동, 아연, 티탄, 알루미늄, 로듐, 인듐 등의 금속; 도전성 카본, 주석 첨가 산화 인듐(ITO), 산화 주석(SnO2), 불소 첨가 산화 주석(FTO), 안티몬 첨가 산화 주석(ATO), 산화 아연(ZnO2) 등의 금속 산화물을 들 수 있다. 가장 일반적인 무기계 도전성 재료는, 주석 첨가 산화 인듐(ITO) 및 불소 첨가 산화 주석(FTO)이다. 투명 도전막의 막두께는 0.01∼10㎛ 정도가 바람직하고, 0.05∼5㎛ 정도가 더욱 바람직하다.As the conductive material constituting the transparent conductive film, an inorganic conductive material such as a known metal or metal oxide, a polymer conductive material, or the like can be used. Of these conductive materials, inorganic conductive materials are preferably used from the viewpoints of availability and conductivity. Examples of the inorganic conductive material include metals such as platinum, gold, silver, copper, zinc, titanium, aluminum, rhodium and indium; Metal oxides such as conductive carbon, tin-doped indium oxide (ITO), tin oxide (SnO 2 ), fluorine-doped tin oxide (FTO), antimony doped tin oxide (ATO) and zinc oxide (ZnO 2 ). The most common inorganic conductive materials are tin-doped indium oxide (ITO) and fluorine-doped tin oxide (FTO). The thickness of the transparent conductive film is preferably about 0.01 to 10 mu m, more preferably about 0.05 to 5 mu m.

금속 배선층은 도전성 기판의 집전 효율을 향상시키고, 또한 도전성을 높이기 위해 도전성 기판상에 배치된다. 이 금속 배선층은 상기와 같이 형성된 실드막을 갖는다. 금속 배선층의 재질로서는, 금, 은, 동, 백금, 알루미늄, 니켈, 인듐, 티탄, 텅스텐 등을 들 수 있다. 금속 배선층의 형상은 특별히 한정되지 않지만, 격자 형상, 줄무늬 형상, 빗살 형상 등의 패턴이 채용되며, 빛이 도전성 기판을 균일하게 투과하도록 배설하는 것이 바람직하다. 격자 형상의 패턴을 갖는 금속 배선층이 가장 일반적으로 사용된다.The metal wiring layer is disposed on the conductive substrate to improve the current collecting efficiency of the conductive substrate and to enhance the conductivity. This metal wiring layer has a shield film formed as described above. Examples of the material of the metal wiring layer include gold, silver, copper, platinum, aluminum, nickel, indium, titanium, tungsten and the like. The shape of the metal wiring layer is not particularly limited, but a pattern such as a lattice shape, a stripe shape, a comb shape, or the like is employed, and it is preferable that light is uniformly transmitted through the conductive substrate. A metal wiring layer having a lattice-like pattern is most commonly used.

다공질 산화물 반도체막은 산화 티탄, 산화 주석, 산화 텅스텐, 산화 아연, 산화 지르코늄, 산화 니오브 등의 반도체성을 나타내는 금속 산화물 미립자의 중합체에 의해 구성되어 있다. 다공질 산화물 반도체막은, 내부에 무수(無數)의 미세한 공공(空孔)을 갖고, 표면에 미세한 요철을 갖는 다공질체로서, 그의 두께는 5∼50㎛이다. 이 다공질 산화물 반도체막은, 전형적으로는, 도전성 기판상의 금속 배선층이 배설되어 있지 않은 개소에 형성된다.The porous oxide semiconductor film is composed of a polymer of metal oxide fine particles showing semiconducting properties such as titanium oxide, tin oxide, tungsten oxide, zinc oxide, zirconium oxide, and niobium oxide. The porous oxide semiconductor film is a porous body having innumerable minute voids therein and having fine irregularities on its surface, and its thickness is 5 to 50 占 퐉. This porous oxide semiconductor film is typically formed in a portion where a metal wiring layer on a conductive substrate is not disposed.

다공질 산화물 반도체막은, 예를 들면, 평균 입경이 5∼50nm인 상기의 금속 산화물의 미립자를 분산시킨 콜로이드액이나 분산액(용매로서 물 및/또는 유기 용매를 사용) 등을, 도전성 기판상에, 스크린 프린트, 잉크젯 프린트, 롤 코팅, 닥터 코팅, 스프레이 코팅 등의 공지의 도포 수단에 의해 도포하여, 300∼800℃에서 소결하는 방법에 의해 형성할 수 있다. 이 다공질 산화물 반도체막에는, 광증감 색소가 담지(擔持)되어 있다.The porous oxide semiconductor film can be formed, for example, by dispersing a colloidal solution or dispersion (using water and / or an organic solvent as a solvent) in which fine particles of the above metal oxide having an average particle diameter of 5 to 50 nm are dispersed, By a known application method such as printing, inkjet printing, roll coating, doctor coating, spray coating, etc., and sintering at 300 to 800 ° C. This porous oxide semiconductor film is supported with a photosensitizing dye.

광증감 색소로서는, 가시광 영역 및/또는 적외광 영역에 흡수를 갖고, 반도체의 전도대(帶)보다 높은 최저 공준위(空準位)를 갖는 것이 바람직하다. 광증감 색소의 예로서는, 아조계 색소, 퀴논계 색소, 퀴논이민계 색소, 퀴나클리돈계 색소, 스쿠아릴륨(squarylium)계 색소, 시아닌계 색소, 시아니딘계 색소, 메로시아닌계 색소, 트리페닐메탄계 색소, 크산텐계 색소, 포르피린계 색소, 페릴렌계 색소, 인디고계 색소, 프탈로시아닌계 색소, 나프탈로시아닌계 색소, 로다민계 색소 등을 들 수 있다. 또한, 광증감 색소로서는, 금속 착체 색소도 바람직하게 사용된다. 금속 착체 색소를 구성하는 금속의 예로서는, Cu, Ni, Fe, Co, V, Sn, Si, Ti, Ge, Cr, Zn, Ru, Mg, Al, Pb, Mn, In, Mo, Y, Zr, Nb, Sb, La, W, Pt, Ta, Ir, Pd, Os, Ga, Tb, Eu, Rb, Bi, Se, As, Sc, Ag, Cd, Hf, Re, Au, Ac, Tc, Te, Rh 등의 여러 가지의 금속을 들 수 있다. 바람직한 금속 착체 색소의 예로서는, 금속 프탈로시아닌 색소, 금속 포르피린 색소 또는 루테늄 착체 색소가 바람직하고, 루테늄 착체 색소가 특히 바람직하다.As the photosensitizer, it is preferable that the dye has absorption in a visible light region and / or an infrared light region and has a lowest empty level than a conduction band of a semiconductor. Examples of the photosensitizing dye include azo dyes, quinone dyes, quinone imine dyes, quinaclidone dyes, squarylium dyes, cyanine dyes, cyanide dyes, merocyanine dyes, triphenyl dyes, A methane-based dye, a xanthene-based dye, a porphyrin-based dye, a perylene-based dye, an indigo-based dye, a phthalocyanine-based dye, a naphthalocyanine-based dye and a rhodamine-based dye. As the photosensitizing dye, a metal complex dye is also preferably used. Examples of the metal constituting the metal complex pigment include Cu, Ni, Fe, Co, V, Sn, Si, Ti, Ge, Cr, Zn, Ru, Mg, Al, Pb, Mn, In, Mo, Ag, Cd, Hf, Re, Au, Ac, Tc, Te, Nb, Sb, La, W, Pt, Ta, Ir, Pd, Os, Ga, Tb, Eu, Rb, Bi, Se, Rh, and the like. Examples of preferable metal complex pigments are metal phthalocyanine pigments, metal porphyrin pigments or ruthenium complex pigments, and ruthenium complex pigments are particularly preferable.

대향 전극으로서는, 상기의 도전성 기판과 동일하게, 그 자체가 도전성을 갖는 기재의 단층 구조, 또는 그의 표면에 대극(對極) 도전막을 갖는 기재를 사용할 수 있다. 후자의 경우, 도전성 재료 및 기재로서는, 상기의 도전성 기판의 경우와 동일한 것을 사용할 수 있다. 대향 전극으로서는, I3 이온 등의 산화 반응이나 그 외의 레독스 이온의 환원 반응을 충분한 속도로 행하게 하는 촉매능을 가진 것을 사용하는 것이 바람직하다. 대향 전극의 예로서는, 백금 전극, 도전성 재료 표면에 백금 도금이나 백금 증착을 시행한 것, 로듐 금속, 루테늄 금속, 산화 루테늄, 카본 등을 들 수 있다.As the counter electrode, a single layer structure of a conductive material itself or a substrate having a counter electrode conductive film on its surface can be used as the conductive substrate. In the latter case, as the conductive material and substrate, the same materials as those of the above-described conductive substrate can be used. As the counter electrode, it is preferable to use one having a catalytic ability to perform an oxidation reaction of I 3 - ions or the like and a reduction reaction of other redox ions at a sufficient rate. Examples of the counter electrode include a platinum electrode, a platinum-plated or platinum-deposited surface of a conductive material, rhodium metal, ruthenium metal, ruthenium oxide, carbon and the like.

전하 이동층은, 광증감 색소의 산화체에 전자를 보충하는 기능을 갖는 전하 수송 재료를 함유하는 층이다. 전하 이동층을 구성하는 전하 수송 재료의 예로서는, 산화 환원쌍 이온이 용해된 용제나 산화 환원쌍 이온을 함유하는 상온 용융염 등의 전해액, 산화 환원쌍 이온의 용액을 폴리머 매트릭스나 저분자 겔화제 등에 함침시킨 겔상의 의고체화(擬固體化) 전해질 등을 들 수 있다. The charge transporting layer is a layer containing a charge transporting material having a function of replenishing electrons to the oxidation enhancer dye. Examples of the charge transporting material constituting the charge transporting layer include an electrolyte solution such as a solvent in which a redox pair ion is dissolved or a room temperature molten salt containing a redox pair ion or a solution of a redox pair ion is impregnated in a polymer matrix or a low molecular weight gelling agent (Pseudo-solidified) electrolytes in a gel state.

산화 환원쌍 이온의 예로서는, I/I3 계, Br/Br3 계 등의 산화 환원쌍 이온을 함유시킨 것, 페로시안산염/페리시안산염, 페로센/페리시늄 이온, 코발트 착체 등의 금속 착체 등의 금속 산화 환원계; 알킬티올-알킬디설파이드, 비올로겐 색소, 하이드로퀴논/퀴논 등의 유기 산화 환원계; 폴리 황화 나트륨, 알킬티올/알킬디설파이드 등의 황 화합물 등을 들 수 있다. 용제의 예로서는, 디메틸카보네이트, 디에틸카보네이트, 에틸렌카보네이트, 프로필렌카보네이트 등의 카보네이트 화합물; 3-메틸-2-옥사졸리디논 등의 복소환 화합물; 디옥산, 디에틸에테르 등의 에테르 화합물; 에틸렌글리콜 디알킬에테르, 프로필렌글리콜 디알킬에테르, 폴리에틸렌글리콜 디알킬에테르, 폴리프로필렌글리콜 디알킬에테르 등의 쇄상 에테르류; 메탄올, 에탄올, 에틸렌글리콜 모노알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르, 폴리에틸렌글리콜 모노알킬에테르, 폴리프로필렌글리콜 모노알킬에테르 등의 알코올류; 테트라하이드로푸란, 디메틸술폭사이드, 술포란 등의 비(非)프로톤 극성 물질 등을 들 수 있다. 또한, 용융염 전해질의 예로서는, 피리디늄염, 이미다졸륨염, 트리아졸륨염 등의 요오드염을 포함하는 전해질을 들 수 있다.Examples of the redox pair ion, I - / I 3 - system, Br - / Br 3 - one that contains a redox pair ion of the system, etc., ferrocyanide salts / Perry cyanates, ferrocene / Perry upon hydronium ions, cobalt complex A metal complex oxide such as a metal complex oxide; An organic redox system such as an alkylthiol-alkyl disulfide, a biologen dye, a hydroquinone / quinone, and the like; Sulfur compounds such as sodium polysulfide, alkyl thiol / alkyl disulfide, and the like. Examples of the solvent include carbonate compounds such as dimethyl carbonate, diethyl carbonate, ethylene carbonate and propylene carbonate; Heterocyclic compounds such as 3-methyl-2-oxazolidinone; Ether compounds such as dioxane and diethyl ether; Chain ethers such as ethylene glycol dialkyl ether, propylene glycol dialkyl ether, polyethylene glycol dialkyl ether and polypropylene glycol dialkyl ether; Alcohols such as methanol, ethanol, ethylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, polyethylene glycol monoalkyl ether and polypropylene glycol monoalkyl ether; And non-proton polar substances such as tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide and sulfolane. Examples of the molten salt electrolyte include electrolytes containing iodine salts such as pyridinium salts, imidazolium salts, and triazolium salts.

전하 이동층을 작용 전극과 대향 전극과의 사이에 형성하는 방법으로서는, 예를 들면 작용 전극과 대향 전극을 대향 배치하고 나서 양 전극 사이에 전해액을 충전하여 전하 이동층으로 하는 방법, 반도체 전극 또는 대향 전극 위에 전해액을 적하 또는 도포함으로써 전하 이동층을 형성하고, 이어서 전하 이동층 위에 다른 쪽의 전극을 서로 겹치는 방법 등을 사용할 수 있다.Examples of the method for forming the charge transfer layer between the working electrode and the counter electrode include a method in which the working electrode and the counter electrode are disposed facing each other and then the electrolyte is filled between both electrodes to form a charge transfer layer; A method of forming a charge transporting layer by dropping or applying an electrolytic solution on an electrode, and then overlapping the other electrode on the charge transporting layer can be used.

이러한 색소 증감형 태양전지(광전 변환 소자)는, 본 발명의 수지 조성물을 사용한 노광·현상에 의해, 기판상의 금속 배선이 존재하는 부분에만 실드막이 정확하게 형성되기 때문에, 높은 광전 변환 효율을 갖는다.Such a dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element) has a high photoelectric conversion efficiency because a shield film is precisely formed only in a portion where metal wiring on a substrate is formed by exposure and development using the resin composition of the present invention.

수지 조성물Resin composition

본 발명에 의한 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성용 수지 조성물은, [A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체(이하, 「[A]공중합체」라고 칭하는 경우가 있음)를 포함한다. 또한, [B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물(이하, 「[B]중합성 화합물」이라고 칭하는 경우가 있음), [C]감방사선성 중합 개시제를 추가로 함유할 수도 있고, 필요에 따라서, 그 외의 임의 성분을 함유한다. 이하, 각 성분에 대해서 설명한다.The resin composition for shield film formation of an electrode for a dye-sensitized solar cell according to the present invention comprises (A) a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group Hereinafter sometimes referred to as " [A] copolymer "). Further, a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond [B] (hereinafter sometimes referred to as "[B] polymerizable compound") and a radiation sensitive polymerization initiator [C] , It contains other optional components. Each component will be described below.

[A] 공중합체[A] Copolymer

[A]공중합체는 카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는다. [A]공중합체가, 이들 반응성 관능기를 가짐으로써, 막의 결손이 없고, 금속 배선의 내식성이 우수한 실드막을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광하여 경화 반응시킬 때의 [A]공중합체 사이의 중합 반응성이나, [A]공중합체와 [B]중합성 화합물과의 사이의 중합 반응성을 높일 수 있어, 결과적으로 원하는 형상을 갖는 실드막을 용이하게 형성할 수 있다.The [A] copolymer has at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group. By having these reactive functional groups in the copolymer [A], it is possible to form a shield film excellent in corrosion resistance of the metal wiring without defects of the film. When the resin composition of the present invention is irradiated with radiation, the polymerization reactivity between the [A] copolymer and the polymerization reactivity between the [A] copolymer and the [B] polymerizable compound when exposed to a curing reaction As a result, a shield film having a desired shape can be easily formed.

카복실기 또는 에폭시기 등의 반응성 관능기를 갖는 공중합체는, 이들 반응성 관능기를 갖는 라디칼 중합성 모노머와 그 외의 라디칼 중합성 모노머를 공중합시킴으로써 합성할 수 있다. (메타)아크릴로일기를 갖는 공중합체는, 수산기를 갖는 라디칼 중합성 모노머와 그 외의 라디칼 중합성 모노머를 공중합시킨 후, (메타)아크릴로일기를 갖는 이소시아네이트 화합물을 반응시킴으로써 합성할 수 있다. [A]공중합체는 카복실기, 에폭시기, (메타)아크릴로일기 등의 반응성 관능기를 갖는 라디칼 중합성 모노머로부터 유도되는 구성 단위를, 이들 라디칼 중합성 모노머 및 그 외의 라디칼 중합성 모노머로부터 유도되는 구성 단위의 합계에 기초하여, 바람직하게는 10∼90질량%, 특히 바람직하게는 20∼80질량% 함유하고 있다. [A]공중합체에 있어서, 반응성 관능기를 갖는 라디칼 중합성 모노머로부터 유도되는 구성 단위를 10∼90질량%로 함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광할 때의 경화 반응성을 높일 수 있다.A copolymer having a reactive functional group such as a carboxyl group or an epoxy group can be synthesized by copolymerizing a radically polymerizable monomer having these reactive functional groups with another radically polymerizable monomer. The copolymer having a (meth) acryloyl group can be synthesized by copolymerizing a radically polymerizable monomer having a hydroxyl group with another radically polymerizable monomer and then reacting with an isocyanate compound having a (meth) acryloyl group. The copolymer [A] may be obtained by copolymerizing a constituent unit derived from a radically polymerizable monomer having a reactive functional group such as a carboxyl group, an epoxy group or a (meth) acryloyl group with a constituent unit derived from these radical polymerizable monomers and other radically polymerizable monomers , Preferably from 10 to 90 mass%, particularly preferably from 20 to 80 mass%, based on the total of the units. When the content of the constituent unit derived from the radical polymerizable monomer having a reactive functional group in the [A] copolymer is 10 to 90% by mass, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, the curing reactivity during exposure can be increased have.

카복실기를 갖는 라디칼 중합성 모노머의 예로서는,As examples of the radically polymerizable monomer having a carboxyl group,

아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, 2-아크릴로일옥시에틸 숙신산, 2-메타크릴로일옥시에틸 숙신산, 2-아크릴로일옥시에틸 헥사하이드로프탈산, 2-메타크릴로일옥시에틸 헥사하이드로프탈산 등의 모노카본산; Acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, 2-acryloyloxyethylsuccinic acid, 2-methacryloyloxyethylsuccinic acid, 2-acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethylhexahydrophthalic acid And the like;

말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 디카본산; Dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid;

상기 디카본산의 산무수물 등을 들 수 있다.And the acid anhydrides of the above-mentioned dicarboxylic acids.

에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머의 예로서는,As examples of the radically polymerizable monomer having an epoxy group,

4-메타크릴로일옥시메틸-2-사이클로헥실-1,3-디옥솔란. 아크릴산글리시딜, 아크릴산-2-메틸글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 아크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실, 아크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실메틸 등의 아크릴산 에폭시알킬에스테르; 4-methacryloyloxymethyl-2-cyclohexyl-1,3-dioxolane. Glycidyl acrylate, 2-methylglycidyl acrylate, 3,4-epoxybutyl acrylate, 6,7-epoxyhexyl acrylate, acrylate-3,4-epoxycyclohexyl acrylate, Acrylic acid epoxy alkyl esters such as hexylmethyl;

메타크릴산 글리시딜, 메타크릴산-2-메틸글리시딜, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실, 메타크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실메틸 등의 메타크릴산 에폭시알킬에스테르; Glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-3,4- Methacrylic acid epoxyalkyl esters such as hexyl and methacrylic acid-3,4-epoxycyclohexylmethyl;

α-에틸아크릴산 글리시딜, α-n-프로필아크릴산 글리시딜, α-n-부틸아크릴산 글리시딜, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸 등의 α-알킬아크릴산 에폭시알킬에스테르; ? -alkylacrylic acid epoxyalkyl esters such as glycidyl? -ethyl acrylate, glycidyl? -n-propyl acrylate, glycidyl? -n-butyl acrylate and? -ethylacrylic acid-6,7-epoxyheptyl;

o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등의 글리시딜에테르; glycidyl ethers such as o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether and p-vinyl benzyl glycidyl ether;

3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-메틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시에틸)옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시에틸)-3-에틸옥세탄, 2-에틸-3-(메타크릴로일옥시에틸)옥세탄, 3-메틸-3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-에틸-3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄 등의 옥세타닐기를 갖는 메타크릴산 에스테르; 3- (methacryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (Methacryloyloxyethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 2-ethyl-3- (Methacryloyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, and other oxetanyl groups;

3-(아크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-(아크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-(아크릴로일옥시메틸)-2-메틸옥세탄, 3-(아크릴로일옥시에틸)옥세탄, 3-(아크릴로일옥시에틸)-3-에틸옥세탄, 2-에틸-3-(아크릴로일옥시에틸)옥세탄 등의 옥세타닐기를 갖는 아크릴산 에스테르 등을 들 수 있다.3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) Acryloyloxyethyl) oxetane, oxetanyl group-containing acrylate esters such as 3- (acryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane and 2-ethyl-3- (acryloyloxyethyl) have.

이들 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 모노머 중에서도, 메타크릴산 글리시딜, 메타크릴산-2-메틸글리시딜, 메타크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실, 메타크릴산-3,4-에폭시사이클로헥실메틸, 3-메틸-3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-에틸-3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄이, 다른 라디칼 중합성 모노머와의 공중합 반응성 및, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우의 현상성의 관점에서, 특히 바람직하다.Among these radically polymerizable monomers having an epoxy group, glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, methacrylic acid-3,4-epoxycyclohexyl, methacrylic acid-3,4- (Methacryloyloxymethyl) oxetane, 3-methyl-3- (methacryloyloxymethyl) oxetane and 3-ethyl-3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, the copolymerization reactivity with other radically polymerizable monomers, From the viewpoint of developability when the resin composition of the present invention is radiation-sensitive.

수산기를 갖는 라디칼 중합성 모노머의 예로서는,As examples of the radically polymerizable monomer having a hydroxyl group,

아크릴산-2-하이드록시에틸 에스테르, 아크릴산-3-하이드록시프로필 에스테르, 아크릴산-4-하이드록시부틸 에스테르, 아크릴산-4-하이드록시메틸-사이클로헥실메틸 에스테르 등의 아크릴산 하이드록시알킬 에스테르; Acrylic acid hydroxyalkyl esters such as acrylic acid-2-hydroxyethyl ester, acrylic acid-3-hydroxypropyl ester, acrylic acid-4-hydroxybutyl ester, and acrylic acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester;

메타크릴산-2-하이드록시에틸 에스테르, 메타크릴산-3-하이드록시프로필 에스테르, 메타크릴산-4-하이드록시부틸 에스테르, 메타크릴산-5-하이드록시펜틸 에스테르, 메타크릴산-6-하이드록시헥실 에스테르, 메타크릴산-4-하이드록시메틸-사이클로헥실메틸 에스테르 등의 메타크릴산 하이드록시알킬 에스테르 등을 들 수 있다.2-hydroxyethyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, methacrylic acid-5-hydroxypentyl ester, methacrylic acid- Hydroxyethyl methacrylate, hydroxyhexyl ester, methacrylic acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester, and the like.

이들 수산기를 갖는 라디칼 중합성 모노머 중, 그 외의 라디칼 중합성 모노머와의 공중합 반응성 및 (메타)아크릴로일기를 갖는 이소시아네이트 화합물과의 반응성의 관점에서, 아크릴산-2-하이드록시에틸 에스테르, 아크릴산-3-하이드록시프로필 에스테르, 아크릴산-4-하이드록시부틸 에스테르, 메타크릴산-2-하이드록시에틸 에스테르, 메타크릴산-4-하이드록시부틸 에스테르, 아크릴산-4-하이드록시메틸-사이클로헥실메틸 에스테르, 메타크릴산-4-하이드록시메틸-사이클로헥실메틸 에스테르가 바람직하다.Among these radically polymerizable monomers having hydroxyl groups, from the viewpoint of copolymerization reactivity with other radically polymerizable monomers and reactivity with isocyanate compounds having a (meth) acryloyl group, acrylic acid-2-hydroxyethyl ester, acrylic acid-3 Hydroxypropyl esters, acrylic acid-4-hydroxybutyl esters, methacrylic acid-2-hydroxyethyl esters, methacrylic acid-4-hydroxybutyl esters, 4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl acrylate, Methacrylic acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester is preferred.

수산기를 갖는 라디칼 중합성 모노머 및 그 외의 라디칼 중합성 모노머의 공중합체와 반응시키는 (메타)아크릴로일기를 갖는 이소시아네이트 화합물의 예로서는, 2-아크릴로일옥시에틸 이소시아네이트, 2-메타크릴로일옥시에틸 이소시아네이트 등의 아크릴산 유도체 또는 메타크릴산 유도체를 들 수 있다. 2-아크릴로일옥시에틸 이소시아네이트의 시판품의 예로서는, 카렌즈(Karenz) AOI(쇼와덴코 가부시키가이샤 제조), 2-메타크릴로일옥시에틸 이소시아네이트의 시판품의 예로서는, 카렌즈 MOI(쇼와덴코 가부시키가이샤 제조)를 들 수 있다.Examples of the isocyanate compound having a (meth) acryloyl group for reacting with a copolymer of a radically polymerizable monomer having a hydroxyl group and other radically polymerizable monomers include 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl Acrylic acid derivatives such as isocyanate and methacrylic acid derivatives. Examples of commercially available products of 2-acryloyloxyethyl isocyanate include Karenz AOI (manufactured by Showa Denko K.K.) and 2-methacryloyloxyethyl isocyanate commercially available products such as Carlene MOI Manufactured by K.K.).

카복실기, 에폭시기, 수산기 등의 반응성 관능기를 갖는 라디칼 중합성 모노머와 공중합시키는 그 외의 라디칼 중합성 모노머의 예로서는,Examples of other radically polymerizable monomers that are copolymerized with a radically polymerizable monomer having a reactive functional group such as a carboxyl group, an epoxy group,

아크릴산 메틸, 아크릴산 i-프로필 등의 아크릴산 알킬에스테르; Acrylic acid alkyl esters such as methyl acrylate and i-propyl acrylate;

메타크릴산 메틸, 메타크릴산 에틸, 메타크릴산 n-부틸, 메타크릴산 sec-부틸, 메타크릴산 t-부틸 등의 메타크릴산 알킬에스테르; Methacrylic acid alkyl esters such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, and t-butyl methacrylate;

아크릴산 사이클로헥실, 아크릴산-2-메틸사이클로헥실, 아크릴산 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일, 아크릴산-2-(트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시)에틸, 아크릴산 이소보로닐 등의 아크릴산 지환식 에스테르; Acrylic acid-tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl, acrylic acid -2- (tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8- yloxy Acrylic acid alicyclic esters such as ethyl and isobornyl acrylate;

메타크릴산 사이클로헥실, 메타크릴산-2-메틸사이클로헥실, 메타크릴산 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일, 메타크릴산-2-(트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시)에틸, 메타크릴산 이소보로닐 등의 메타크릴산 지환식 에스테르; 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, 2- (tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] decan-8-yloxy) ethyl methacrylate, isobornyl methacrylate, and other methacrylic acid alicyclic esters;

아크릴산 페닐, 아크릴산 벤질 등의 아크릴산의 아릴 에스테르 및 아크릴산의 아르알킬 에스테르; Aryl esters of acrylic acid such as phenyl acrylate and benzyl acrylate, and aralkyl esters of acrylic acid;

메타크릴산 페닐, 메타크릴산 벤질 등의 메타크릴산의 아릴 에스테르 및 메타크릴산의 아르알킬 에스테르; Aralkyl esters of methacrylic acid and aryl esters of methacrylic acid such as phenyl methacrylate and benzyl methacrylate;

말레산 디에틸, 푸마르산 디에틸, 이타콘산 디에틸 등의 디카본산 디알킬에스테르; Dicarboxylic acid dialkyl esters such as diethyl maleate, diethyl fumarate and diethyl itaconate;

메타크릴산 테트라하이드로푸르푸릴, 메타크릴산 테트라하이드로푸릴, 메타크릴산테트라하이드로피란-2-메틸 등의 산소 1 원자를 함유하는 불포화 복소 5원환 메타크릴산 에스테르 및 불포화 복소 6원환 메타크릴산 에스테르; Unsaturated heterocyclic 5-membered methacrylic acid esters containing one oxygen atom such as tetrahydrofuranyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, tetrahydrofuryl methacrylate, and tetrahydropyran-2-methyl methacrylate, and unsaturated complex 6-membered methacrylic acid esters ;

4-메타크릴로일옥시메틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, 4-메타크릴로일옥시메틸-2-메틸-2-이소부틸-1,3-디옥솔란, 4-메타크릴로일옥시메틸-2-사이클로헥실-1,3-디옥솔란, 4-메타크릴로일옥시에틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, 4-메타크릴로일옥시에틸-2-메틸-2-이소부틸-1,3-디옥솔란 등의 산소 2원자를 함유하는 불포화 복소 5원환 메타크릴산 에스테르; 4-methacryloyloxymethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxymethyl- Methacryloyloxyethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxyethyl-2-cyclohexyloxy- Ethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane, and other unsaturated heterocyclic 5-membered methacrylic acid esters containing two oxygen atoms;

4-아크릴로일옥시메틸-2,2-디메틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시메틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시메틸-2,2-디에틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시메틸-2-메틸-2-이소부틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시메틸-2-사이클로펜틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시메틸-2-사이클로헥실-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시에틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시프로필-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, 4-아크릴로일옥시부틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란 등의 산소 2원자를 함유하는 불포화 복소 5원환 아크릴산 에스테르; Acryloyloxymethyl-2,2-dimethyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2-methyl- Dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl- Cyclohexyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxyethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3- Dioxolane, 4-acryloyloxypropyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxybutyl- An unsaturated complex 5-membered ring acrylate ester containing two oxygen atoms;

스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, p-메톡시스티렌, 4-이소프로페닐 페놀 등의 비닐 방향족 화합물; Vinyl aromatic compounds such as styrene,? -Methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene, and 4-isopropenylphenol;

N-페닐 말레이미드, N-사이클로헥실 말레이미드, N-벤질 말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드 벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드 부티레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드 카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드 프로피오네이트, N-(9-아크리디닐)말레이미드 등의 N위-치환 말레이미드; N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimide benzoate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N- N-substituted maleimides such as 6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate and N- (9-acridinyl) maleimide;

1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸-1,3-부타디엔 등의 공역디엔계 화합물; Conjugated diene-based compounds such as 1,3-butadiene, isoprene and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene;

아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 염화 비닐, 염화 비닐리덴, 아세트산비닐 등의 그 외의 불포화 화합물을 들 수 있다.And other unsaturated compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, methacrylamide, vinyl chloride, vinylidene chloride, and vinyl acetate.

이들 그 외의 라디칼 중합성 모노머 중, 스티렌, 4-이소프로페닐페놀, 메타크릴산 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일, 메타크릴산 테트라하이드로푸르푸릴, 1,3-부타디엔, 4-아크릴로일옥시메틸-2-메틸-2-에틸-1,3-디옥솔란, N-사이클로헥실 말레이미드, N-페닐 말레이미드, 메타크릴산 벤질 등이, 상기의 반응성 관능기를 갖는 라디칼 중합성 모노머와의 공중합 반응성 및, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우의 현상성의 관점에서 바람직하다.Of these other radical polymerizable monomers, styrene, 4-isopropenylphenol, methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl, methacrylic acid tetrahydrofurfuryl, 1,3-butadiene , 4-acryloyloxymethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide and benzyl methacrylate. From the viewpoint of copolymerization reactivity with the radically polymerizable monomer and from the viewpoint of developability when the resin composition of the present invention is irradiated with radiation.

[A]공중합체의 GPC(겔 투과 크로마토그래피)에 의한 폴리스티렌 환산 수평균 분자량(이하, 「Mn」이라고 함)은, 바람직하게는 2×103∼1×105, 보다 바람직하게는 5×103∼5×104이다. 공중합체의 Mn을 2×103∼1×105로 함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광할 때의 경화 반응성을 향상시킬 수 있다.The polystyrene reduced number average molecular weight (hereinafter referred to as "Mn") of the copolymer [A] by GPC (gel permeation chromatography) is preferably 2 × 10 3 to 1 × 10 5 , more preferably 5 × 10 3 to 5 × 10 4 . When the Mn of the copolymer is 2 × 10 3 to 1 × 10 5 , when the resin composition of the present invention is sensitive to radiation, the curing reactivity upon exposure can be improved.

또한, [A]공중합체의 분자량 분포 「Mw/Mn」(여기에서 「Mw」는, 겔 투과 크로마토그래피에 의해 측정한 공중합체의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량이다.)은, 바람직하게는 5.0 이하, 보다 바람직하게는 3.0 이하이다. 공중합체의 Mw/Mn을 5.0 이하로 함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 현상할 때에 원하는 형상의 실드막을 보다 정확하게 형성하는 것이 가능해진다.The molecular weight distribution " Mw / Mn " (here, " Mw " is the polystyrene reduced weight average molecular weight of the copolymer measured by gel permeation chromatography) of the copolymer [A] More preferably 3.0 or less. When the Mw / Mn of the copolymer is 5.0 or less, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, it is possible to form a shield film of a desired shape more accurately at the time of development.

[A]공중합체를 제조하기 위한 중합 반응에 사용되는 용매로서는, 예를 들면 알코올류, 에테르류, 글리콜에테르, 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 프로피오네이트, 방향족 탄화 수소류, 케톤류, 그외의 에스테르류 등을 들 수 있다.Examples of the solvent used in the polymerization reaction for producing the copolymer [A] include alcohols, ethers, glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, diethylene glycol alkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol mono Alkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ether propionates, aromatic hydrocarbons, ketones, and other esters.

이들 용매로서는,As these solvents,

알코올류로서, 예를 들면 메탄올, 에탄올, 벤질알코올, 2-페닐에틸알코올, 3-페닐-1-프로판올 등; Examples of alcohols include methanol, ethanol, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, 3-phenyl-1-propanol and the like;

에테르류로서, 예를 들면 테트라하이드로푸란 등; As the ethers, for example, tetrahydrofuran and the like;

글리콜 에테르로서, 예를 들면 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등; As the glycol ether, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether and the like;

에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트로서, 예를 들면 메틸셀로솔브 아세테이트, 에틸셀로솔브 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트 등; As the ethylene glycol alkyl ether acetate, for example, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate and the like;

디에틸렌글리콜 알킬에테르로서, 예를 들면 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 등; As the diethylene glycol alkyl ether, for example, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether and the like;

프로필렌글리콜 모노알킬에테르로서, 예를 들면 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르 등; As the propylene glycol monoalkyl ether, for example, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether and the like;

프로필렌글리콜 모노알킬에테르 아세테이트로서, 예를 들면 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르 아세테이트 등; As the propylene glycol monoalkyl ether acetate, for example, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate and the like;

프로필렌글리콜 모노알킬에테르 프로피오네이트로서, 예를 들면 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르 프로피오네이트 등; Examples of the propylene glycol monoalkyl ether propionate include propylene glycol monomethyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, propylene glycol monopropyl ether propionate, and propylene glycol monobutyl ether propionate;

방향족 탄화수소류로서, 예를 들면 톨루엔, 크실렌 등; As the aromatic hydrocarbons, for example, toluene, xylene and the like;

케톤류로서, 예를 들면 메틸에틸케톤, 사이클로헥사논, 4-하이드록시-4-메틸-2-펜타논 등; As the ketone, for example, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and the like;

그 외의 에스테르류로서, 예를 들면 아세트산 메틸, 아세트산 에틸, 아세트산 프로필, 아세트산 부틸, 2-하이드록시프로피온산 에틸, 2-하이드록시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-하이드록시-2-메틸프로피온산 에틸, 하이드록시아세트산 메틸, 하이드록시아세트산 에틸, 하이드록시아세트산 부틸, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 락트산 프로필, 락트산 부틸, 3-하이드록시프로피온산 메틸, 3-하이드록시프로피온산 에틸, 3-하이드록시프로피온산 프로필, 3-하이드록시프로피온산 부틸, 2-하이드록시-3-메틸부탄산 메틸, 메톡시아세트산 메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산 프로필, 메톡시아세트산 부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산 에틸, 에톡시아세트산 프로필, 에톡시아세트산 부틸, 프로폭시아세트산 메틸, 프로폭시아세트산 에틸, 프로폭시아세트산 프로필, 프로폭시아세트산 부틸, 부톡시아세트산 메틸, 부톡시아세트산 에틸, 부톡시아세트산 프로필, 부톡시아세트산 부틸, 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-메톡시프로피온산 부틸, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸, 2-에톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 부틸, 2-부톡시프로피온산 메틸, 2-부톡시프로피온산 에틸, 2-부톡시프로피온산 프로필, 2-부톡시프로피온산 부틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 프로필, 3-메톡시프로피온산 부틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 프로필, 3-에톡시프로피온산 부틸, 3-프로폭시프로피온산 메틸, 3-프로폭시프로피온산 에틸, 3-프로폭시프로피온산 프로필, 3-프로폭시프로피온산 부틸, 3-부톡시프로피온산 메틸, 3-부톡시프로피온산 에틸, 3-부톡시프로피온산 프로필, 3-부톡시프로피온산 부틸 등의 에스테르류를 각각 들 수 있다.Examples of other esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy- Hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, Propyl methoxyacetate, butyl hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, ethoxyacetic acid Propyl, butyl ethoxyacetate, methyl propoxyacetate, propoxyacetic acid Butoxy propionate, ethyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propoxypropionate, propoxyacetate, Propoxy propionate, propyl propionate, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, Ethyl, propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate , Ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, 3- Esters such as ethyloxy propionate, propyl 3-propoxypropionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate and butyl 3- Respectively.

이들 용매 중, 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 아세테이트, 메톡시아세트산 부틸이 바람직하고, 특히, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 메톡시아세트산 부틸이 바람직하다.Of these solvents, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol alkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether acetate and butyl methoxyacetate are preferable, and diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl Ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate and butyl methoxyacetate are preferable.

[A]공중합체를 제조하기 위한 중합 반응에 사용되는 중합 개시제로서는, 일반적으로 라디칼 중합 개시제로서 알려져 있는 것을 사용할 수 있다. 라디칼 중합 개시제로서는, 예를 들면As the polymerization initiator used in the polymerization reaction for producing the copolymer [A], those generally known as radical polymerization initiators can be used. As the radical polymerization initiator, for example,

2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스-(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스-(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 아조 화합물; (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis- (4-methoxy-2,4-dimethyl Azo compounds such as valeronitrile);

벤조일퍼옥사이드, 라우로일퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1'-비스-(t-부틸퍼옥시)사이클로헥산 등의 유기 과산화물; 및 과산화 수소를 들 수 있다.Organic peroxides such as benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t-butyl peroxy pivalate, 1,1'-bis- (t-butylperoxy) cyclohexane; And hydrogen peroxide.

라디칼 중합 개시제로서 과산화물을 사용하는 경우에는, 과산화물을 환원제와 함께 사용하여 레독스형 개시제로 할 수도 있다.When a peroxide is used as the radical polymerization initiator, the peroxide may be used as a redox type initiator together with a reducing agent.

[A]공중합체를 제조하기 위한 중합 반응에 있어서, 분자량을 조정하기 위해, 분자량 조정제를 사용할 수 있다. 분자량 조정제의 구체예로서는,In the polymerization reaction for producing the copolymer [A], a molecular weight modifier may be used to adjust the molecular weight. As specific examples of the molecular weight adjuster,

클로로포름, 4브롬화 탄소 등의 할로겐화 탄화 수소류; Halogenated hydrocarbons such as chloroform and carbon tetrabromide;

n-헥실머캅탄, n-옥틸머캅탄, n-도데실머캅탄, t-도데실머캅탄, 티오글리콜산 등의 머캅탄류; mercaptans such as n-hexylmercaptan, n-octylmercaptan, n-dodecylmercaptan, t-dodecylmercaptan and thioglycolic acid;

디메틸 크산토겐 설파이드, 디이소프로필 크산토겐 디설파이드 등의 크산토겐류; Xantogens such as dimethylxanthogen sulfide and diisopropylxanthogen disulfide;

터피놀렌, α-메틸스티렌 다이머 등을 들 수 있다.Terpinolene, alpha -methylstyrene dimer, and the like.

[B] [B] 중합성Polymerizable 화합물 compound

[B]중합성 화합물은, 본 발명의 수지 조성물에 적합하게 사용된다. [B]중합성 화합물의 바람직한 예로서는, 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트, 또는 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트를 들 수 있다. 이들 화합물을 사용함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광하여 경화 반응시킬 때의 [B]중합성 화합물의 화합물간의 중합 반응성이나, [A]공중합체와 [B]중합성 화합물과의 사이의 중합 반응성을 높일 수 있어, 결과적으로, 정확한 형상 및 우수한 내식성을 갖는 실드막을 얻는 것이 가능해진다.[B] The polymerizable compound is suitably used in the resin composition of the present invention. Preferable examples of the [B] polymerizable compound include monofunctional (meth) acrylate, bifunctional (meth) acrylate, and trifunctional or more (meth) acrylate. By using these compounds, the polymerization reactivity between the compounds of the polymerizable compound [B] and the polymerization reactivity between the [A] copolymer and the [B] polymerizable compound when the resin composition of the present invention is radiation- It is possible to obtain a shield film having an accurate shape and excellent corrosion resistance.

단관능 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면 2-하이드록시에틸(메타)아크릴레이트, 카비톨(메타)아크릴레이트, 이소보로닐(메타)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸-2-하이드록시프로필프탈레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 (메타)아크릴레이트의 시판품의 예로서는, 아로닉스(Aronix) M-101, 동 M-111, 동 M-114(토아고세이 가부시키가이샤 제조), KAYARAD TC-110S, 동 TC-120S(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조), 비스코트(Viscoat) 158, 동2311(오사카 유키카가쿠코교 가부시키가이샤 제조) 등을 들 수 있다.Examples of the monofunctional (meth) acrylate include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, carbitol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 3-methoxybutyl And 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxypropyl phthalate. Examples of commercially available products of these monofunctional (meth) acrylates include Aronix M-101, M-111, M-114 (manufactured by Toagosei Kogyo K.K.), KAYARAD TC-110S, Nippon Kayaku Co., Ltd.), Viscoat 158, and 2311 (manufactured by Osaka Yuki Kagaku Kogyo K.K.).

2관능 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 1,9-노난디올 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 비스페녹시에탄올플루오렌 디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 2관능 (메타)아크릴레이트의 시판품으로서는, 예를 들면 아로닉스 M-210, 동 M-240, 동 M-6200(토아고세이 가부시키가이샤 제조), KAYARAD HDDA, 동 HX-220, 동 R-604(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조), 비스코트 260, 동 312, 동 335HP(오사카 유키카가쿠코교 가부시키가이샤 제조) 등을 들 수 있다.Examples of the bifunctional (meth) acrylate include ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) Di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, bisphenoxyethanol fluorenedi (meth) acrylate, and the like. Examples of commercially available products of these bifunctional (meth) acrylates include Aronix M-210, M-240, M-6200 (manufactured by Toagosei Kogyo K.K.), KAYARAD HDDA, 604 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Viscot 260, Copper 312 and Copper 335 HP (manufactured by Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.).

3관능 이상의 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 트리((메타)아크릴로일옥시에틸)포스페이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 숙신산 모노-[3-(3-(메타)아크릴로일옥시-2,2-비스-(메타)아크릴로일옥시메틸-프로폭시)-2,2-비스-(메타)아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르 등을 들 수 있다. 이들 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트의 시판품으로서는, 예를 들면 아로닉스 M-309, 동 M-400, 동 M-405, 동 M-450, 동 M-7100, 동 M-8030, 동 M-8060(토아고세이 가부시키가이샤 제조), KAYARAD TMPTA, 동 DPHA, 동 DPCA-20, 동 DPCA-30, 동 DPCA-60, 동 DPCA-120(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조), 비스코트 295, 동 300, 동 360, 동 GPT, 동 3PA, 동 400(오사카 유키카가쿠코교 가부시키가이샤 제조) 등을 들 수 있다.Examples of the trifunctional or more (meth) acrylate include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri ((meth) acryloyloxyethyl) phosphate, pentaerythritol tetra (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, succinic acid mono- [3- (3- (meth) acryloyloxy- (Acryloyloxymethyl-propoxy) -2,2-bis- (meth) acryloyloxymethyl-propyl] ester. Examples of commercial products of these trifunctional or more (meth) acrylates include Aronix M-309, M-400, M-405, M-450, M-7100, M- 20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, DPCA-120 (manufactured by Nippon Kayaku K.K.), Viscoat 295, Copper DPCA- 300, copper 360, copper GPT, copper 3PA, copper 400 (manufactured by Osaka Yuki Kagakuko Kogyo Co., Ltd.), and the like.

이들 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물 중, 수지 조성물의 경화성 개선의 관점에서, 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트가 바람직하게 사용된다. 그 중에서도 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 숙신산 모노-[3-(3-아크릴로일옥시-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로폭시)-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르가 특히 바람직하다. 이들 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물은, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Of these polymerizable compounds having ethylenically unsaturated double bonds, trifunctional or more (meth) acrylates are preferably used from the viewpoint of improving the curability of the resin composition. Among them, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, succinic acid mono- [3- (3-acryloyloxy- -Acryloyloxymethyl-propoxy) -2,2-bis-acryloyloxymethyl-propyl] ester is particularly preferred. These ethylenically unsaturated double bond-containing polymerizable compounds may be used alone or in combination of two or more.

수지 조성물에 있어서의 [B]중합성 화합물의 사용량은, [A]공중합체 100질량부에 대하여, 바람직하게는 50∼300질량부, 더욱 바람직하게는 60∼250질량부이다. [B]중합성 화합물의 사용량을 50∼300질량부로 함으로써, 형성되는 실드막의 기판에 대한 밀착성, 전해액에 대한 내식성 등의 제 특성이 보다 고도의 레벨로 균형 잡힌 수지 조성물을 얻어진다.The amount of the [B] polymerizable compound in the resin composition is preferably 50 to 300 parts by mass, more preferably 60 to 250 parts by mass based on 100 parts by mass of the [A] copolymer. When the amount of the polymeric compound [B] used is 50 to 300 parts by mass, a resin composition in which characteristics of the formed shielding film, such as adhesion to a substrate and corrosion resistance to an electrolytic solution, are balanced to a higher level can be obtained.

[C][C] 감방사선성Sensitizing radiation property 중합  polymerization 개시제Initiator

[C]감방사선성 중합 개시제는, 본 발명의 수지 조성물에 적합하게 사용된다. [C]감방사선성 중합 개시제로서는, 방사선에 감응하여 [B]중합성 화합물의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 발생시키는 성분인 한, 특별히 한정되는 것은 아니다. 이러한 [C]감방사선성 중합 개시제로서는, O-아실옥심 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물 등을 들 수 있다.The [C] radiation-sensitive polymerization initiator is suitably used in the resin composition of the present invention. The [C] radiation-sensitive polymerization initiator is not particularly limited as long as it is a component which generates active species capable of initiating polymerization of the [B] polymerizable compound in response to radiation. Examples of such [C] radiation-sensitive polymerization initiators include O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, and imidazole compounds.

감방사선성 중합 개시제로서 사용되는 O-아실옥심 화합물로서는, 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 1-〔9-에틸-6-벤조일-9H-카바졸-3-일〕-옥탄-1-온 옥심-O-아세테이트, 1-〔9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-에탄-1-온 옥심-O-벤조에이트, 1-〔9-n-부틸-6-(2-에틸벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-에탄-1-온 옥심-O-벤조에이트, 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라하이드로푸라닐벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라하이드로피라닐벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸-5-테트라하이드로푸라닐벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥솔라닐)메톡시벤조일}-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라하이드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심) 등을 들 수 있다.Examples of the O-acyloxime compound used as the radiation-sensitive polymerization initiator include ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol- Oxime-1-onoxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) (9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethan- -9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1 -9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyl Oxime), ethanone- 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H- Ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl} - (9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazole Yl] -1- (O-acetyloxime).

이들 O-아실옥심 화합물의 바람직한 예로서는, 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라하이드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심), 에타논-1-〔9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥소라닐)메톡시벤조일}-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심)을 들 수 있다. 이들 O-아실옥심 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Preferable examples of these O-acyloxime compounds include ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol- -1- (9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazol- Methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxoranyl) methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl] -1- (O- ). These O-acyloxime compounds may be used alone or in combination of two or more.

감방사선성 중합 개시제로서 사용되는 아세토페논 화합물의 예로서는, α-아미노케톤 화합물, α-하이드록시케톤 화합물을 들 수 있다.Examples of the acetophenone compound used as the radiation-sensitive polymerization initiator include an? -Amino ketone compound and? -Hydroxy ketone compound.

α-아미노케톤 화합물의 예로서는, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온, 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모폴리노프로판-1-온 등을 들 수 있다.Examples of the? -amino ketone compound include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one and 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one.

α-하이드록시케톤 화합물의 예로서는, 1-페닐-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-i-프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-(2-하이드록시에톡시)페닐-(2-하이드록시-2-프로필)케톤, 1-하이드록시사이클로헥실페닐케톤 등을 들 수 있다.Examples of the? -hydroxyketone compound include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and the like.

이들 아세토페논 화합물 중, α-아미노케톤 화합물이 바람직하고, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온, 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온이 특히 바람직하다. 이들 아세토페논 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Among these acetophenone compounds,? -Amino ketone compounds are preferable, and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) Methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one is particularly preferred. These acetophenone compounds may be used alone or in admixture of two or more.

감방사선성 중합 개시제로서 사용되는 비이미다졸 화합물로서는, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.Examples of the imidazole compound used as the radiation-sensitive polymerization initiator include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1 , 2'-biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, and the like.

이들 비이미다졸 화합물 중에서도, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 바람직하고, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 특히 바람직하다. 이들 비이미다졸 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Among these imidazole compounds, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis , 4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole is preferable, and 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'- 1,2'-biimidazole is particularly preferred. These imidazole compounds may be used alone or in admixture of two or more.

본 발명의 수지 조성물에 있어서, [C]감방사선성 중합 개시제로서 비이미다졸 화합물을 사용하는 경우, 이것을 증감하기 위해, 디알킬아미노기를 갖는 지방족 또는 방향족 화합물(이하, 「아미노계 증감제」라고 함)을 첨가할 수 있다.In the resin composition of the present invention, when a nonimidazole compound is used as the radiation-sensitive polymerization initiator [C], an aliphatic or aromatic compound having a dialkylamino group (hereinafter referred to as " ) Can be added.

이러한 아미노계 증감제로서는, 예를 들면, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. 이들 아미노계 증감제 중, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 특히 바람직하다. 상기 아미노계 증감제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of such amino-group sensitizers include 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone. Of these amino-based sensitizers, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable. These amino-based sensitizers may be used alone or in combination of two or more.

또한, 비이미다졸 화합물과 아미노계 증감제를 병용하는 경우, 수소 라디칼 공여제로서 티올 화합물을 첨가할 수 있다. 비이미다졸 화합물은, 아미노계 증감제에 의해 증감되어 개열(開裂)하여, 이미다졸 라디칼을 발생하지만, 그 자체로는 높은 중합 개시능이 발현되지 않는 경우가 있다. 그러나, 비이미다졸 화합물과 아미노계 증감제가 공존하는 계에, 티올 화합물을 첨가함으로써, 이미다졸 라디칼 티올 화합물로부터 수소 라디칼이 공여된다. 그 결과, 이미다졸 라디칼이 중성의 이미다졸로 변환됨과 함께, 중합 개시능이 높은 황 라디칼을 갖는 성분이 발생하여, 그것에 의해, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광시의 경화 반응성을 높일 수 있어, 결과적으로, 원하는 형상을 갖는 실드막을 용이하게 형성할 수 있다.When a nonimidazole compound and an amino-based sensitizer are used in combination, a thiol compound can be added as a hydrogen radical donating agent. The imidazole compound is increased or decreased by the amino-group sensitizer to cleave and generate an imidazole radical. However, the imidazole compound itself may not exhibit high polymerization initiating ability. However, by adding a thiol compound to a system in which a nonimidazole compound and an amino-based sensitizer coexist, a hydrogen radical is donated from an imidazole radical thiol compound. As a result, imidazole radicals are converted into neutral imidazoles, and a component having a sulfur radical having a high polymerization initiating ability is generated, whereby when the resin composition of the present invention is irradiated with radiation, the curing reactivity at the time of exposure is increased As a result, a shield film having a desired shape can be easily formed.

이러한 티올 화합물의 예로서는,As examples of such thiol compounds,

2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤즈옥사졸, 2-머캅토벤즈이미다졸, 2-머캅토-5-메톡시벤조티아졸 등의 방향족 티올 화합물; Aromatic thiol compounds such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercapto-5-methoxybenzothiazole;

3-머캅토프로피온산, 3-머캅토프로피온산 메틸 등의 지방족 모노티올 화합물; Aliphatic monothiol compounds such as 3-mercaptopropionic acid and methyl 3-mercaptopropionate;

펜타에리스리톨 테트라(머캅토아세테이트), 펜타에리스리톨 테트라(3-머캅토프로피오네이트) 등의 2관능 이상의 지방족 티올 화합물을 들 수 있다. 이들 티올 화합물 중, 특히 2-머캅토벤조티아졸이 바람직하다.And aliphatic thiol compounds having two or more functionalities such as pentaerythritol tetra (mercaptoacetate) and pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate). Among these thiol compounds, 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

수지 조성물에 있어서, 비이미다졸 화합물과 아미노계 증감제를 병용하는 경우, 아미노계 증감제의 첨가량은, 비이미다졸 화합물 100질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1∼50질량부이며, 보다 바람직하게는 1∼20질량부이다. 아미노계 증감제의 첨가량을 0.1∼50질량부로 함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광시의 경화 반응성을 보다 높일 수 있다.In the resin composition, when the nonimidazole compound is used in combination with the amino-based sensitizer, the amount of the amino-based sensitizer is preferably 0.1 to 50 parts by mass based on 100 parts by mass of the non-imidazole compound, Is from 1 to 20 parts by mass. When the amount of the amino-based sensitizer is in the range of 0.1 to 50 parts by mass, the curing reactivity during exposure can be further enhanced when the resin composition of the present invention is irradiated with radiation.

또한, 비이미다졸 화합물, 아미노계 증감제 및, 티올 화합물을 병용하는 경우, 티올 화합물의 첨가량으로서는, 비이미다졸 화합물 100질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1∼50질량부며, 보다 바람직하게는 1∼20질량부이다. 티올 화합물의 첨가량을 0.1∼50질량부로 함으로써, 노광시의 경화 반응성이 더욱 개선되어 원하는 형상을 갖는 실드막을 얻는 것이 보다 용이해진다.When a non-imidazole compound, an amino-based sensitizer and a thiol compound are used in combination, the amount of the thiol compound to be added is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 1 to 100 parts by mass, To 20 parts by mass. By setting the addition amount of the thiol compound to 0.1 to 50 parts by mass, the curing reactivity at the time of exposure is further improved, and it becomes easier to obtain a shield film having a desired shape.

[C]감방사선성 중합 개시제는, O-아실옥심 화합물 및 아세토페논 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 함유하는 것이 바람직하고, O-아실옥심 화합물 및 아세토페논 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종 및, 비이미다졸 화합물을 함유하는 것이 보다 바람직하다.[C] The radiation sensitive polymerization initiator preferably contains at least one member selected from the group consisting of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound, and is selected from the group consisting of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound More preferably at least one kind thereof, and a nonimidazole compound.

[C]감방사선성 중합 개시제의 사용량은, [A]공중합체 100질량부에 대하여, 바람직하게는 5∼200질량부, 더욱 바람직하게는 5∼100질량부이다. [C]감방사선성 중합 개시제의 사용량을 5∼200질량부로 함으로써, 본 발명의 수지 조성물이 감방사선성인 경우, 노광시에 있어서의 경화 반응성을 높일 수 있다.The amount of the [C] radiation-sensitive polymerization initiator to be used is preferably 5 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [A] copolymer. When the amount of the [C] radiation-sensitive polymerization initiator used is from 5 to 200 parts by mass, the curing reactivity at the time of exposure can be enhanced when the resin composition of the present invention is irradiated with radiation.

또한, [C]감방사선성 중합 개시제의 감방사선성 중합 개시제에 있어서의 O-아실옥심 화합물 및 아세토페논 화합물의 비율로서는, [C]감방사선성 중합 개시제의 감방사선성 중합 개시제의 전량에 대하여, 바람직하게는 40질량% 이상이며, 보다 바람직하게는 45질량% 이상이고, 특히 바람직하게는 50질량% 이상이다. 이러한 비율로 O-아실옥심 화합물 및 아세토페논 화합물을 사용함으로써, 저노광량인 경우라도 높은 경화 반응성을 얻을 수 있어, 결과적으로 보다 정확한 형상을 갖는 실드막을 형성하는 것이 가능해진다.The ratio of the O-acyloxime compound and the acetophenone compound in the radiation-sensitive polymerization initiator of the [C] radiation-sensitive polymerization initiator is preferably in the range of , Preferably not less than 40 mass%, more preferably not less than 45 mass%, and particularly preferably not less than 50 mass%. By using an O-acyloxime compound and an acetophenone compound in such a ratio, a high curing reactivity can be obtained even at a low exposure dose, and as a result, a shield film having a more accurate shape can be formed.

그 외의 임의 성분Other optional components

본 발명의 수지 조성물은, 상기의 [A]공중합체, [B]중합성 화합물 및 [C]감방사선성 중합 개시제에 더하여, 소기의 효과를 해치지 않는 범위 내에서 필요에 따라서 [G]밀착 보조제, [H]계면활성제 등의 첨가제를 함유할 수 있다.The resin composition of the present invention may contain, in addition to the above-mentioned [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation-sensitive polymerization initiator, , [H] surfactants, and the like.

본 발명의 수지 조성물에 있어서는, 형성되는 실드막과 기판과의 밀착성을 향상시키기 위해 [G]밀착 보조제를 사용할 수 있다. 이러한 밀착 보조제로서는, 관능성 실란 커플링제가 바람직하게 사용된다. 관능성 실란 커플링제의 예로서는, 카복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 등의 반응성 치환기를 갖는 실란 커플링제 등을 들 수 있다. 관능성 실란 커플링제의 구체예로서는, 트리메톡시실릴 벤조산, γ-메타크릴로일옥시프로필 트리메톡시실란, 비닐 트리아세톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, γ-이소시아네이토프로필 트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필 트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸 트리메톡시실란 등을 들 수 있다.In the resin composition of the present invention, a [G] adhesion aid may be used to improve the adhesion between the formed shield film and the substrate. As such an adhesion auxiliary agent, a functional silane coupling agent is preferably used. Examples of the functional silane coupling agent include a silane coupling agent having a reactive substituent such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group or an epoxy group. Specific examples of the functional silane coupling agent include trimethoxysilylbenzoic acid,? -Methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,? -Isocyanatopropyltriethoxy Silane,? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane,? -Glycidoxypropyltriethoxysilane, and 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane.

[G]밀착 보조제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. [G]밀착 보조제의 사용량은, [A]공중합체 100질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1∼30질량부, 더욱 바람직하게는 1∼25질량부이다. [G]밀착 보조제의 사용량을 0.1∼30질량부로 함으로써, 형성되는 실드막의 기재에 대한 밀착성을 충분히 높은 레벨로 유지할 수 있다.The [G] adhesion aid may be used alone or in combination of two or more. The amount of the [G] adhesion aid to be used is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 1 to 25 parts by mass, based on 100 parts by mass of the [A] copolymer. By setting the amount of the [G] adhesion auxiliary agent to 0.1 to 30 parts by mass, the adhesion of the formed shielding film to the base material can be maintained at a sufficiently high level.

본 발명의 수지 조성물에 있어서는, 도막 형성시의 도포성을 더욱 향상시키기 위해, [H]계면활성제를 사용할 수 있다. 바람직한 계면활성제의 예로서는, 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 및 비이온계 계면활성제를 들 수 있다.In the resin composition of the present invention, a [H] surfactant may be used in order to further improve the coating property upon forming a coating film. Examples of preferred surfactants include fluorinated surfactants, silicone surfactants and nonionic surfactants.

불소계 계면활성제의 예로서는, 1,1,2,2-테트라플루오로옥틸(1,1,2,2-테트라플루오로프로필)에테르, 1,1,2,2-테트라플루오로옥틸헥실에테르, 옥타에틸렌글리콜디(1,1,2,2-테트라플루오로부틸)에테르, 헥사에틸렌글리콜(1,1,2,2,3,3-헥사플루오로펜틸)에테르, 옥타프로필렌글리콜디(1,1,2,2-테트라플루오로부틸)에테르, 헥사프로필렌글리콜디(1,1,2,2,3,3-헥사플루오로펜틸)에테르 등의 플루오로에테르류; 퍼플루오로도데실술폰산 나트륨; 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-데카플루오로도데칸, 1,1,2,2,3,3-헥사플루오로데칸 등의 플루오로알칸류; 플루오로알킬벤젠술폰산 나트륨류; 플루오로알킬옥시에틸렌 에테르류; 플루오로알킬암모늄 요다이드류; 플루오로알킬 폴리옥시에틸렌 에테르류; 퍼플루오로알킬 폴리옥시에탄올류; 퍼플루오로알킬 알콕실레이트류; 불소계 알킬에스테르류 등을 들 수 있다.Examples of the fluorine-based surfactant include 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octa Ethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di , 2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, and other fluoroethers; Sodium perfluorododecylsulfonate; Fluoroalkanes such as 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-decafluorododecane and 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane; Sodium fluoroalkylbenzenesulfonate; Fluoroalkyloxyethylene ethers; Fluoroalkylammonium iodides; Fluoroalkyl polyoxyethylene ethers; Perfluoroalkyl polyoxyethanols; Perfluoroalkyl alkoxylates; Fluorine-based alkyl esters and the like.

이들 불소계 계면활성제의 시판품으로서는, BM-1000, BM-1100(BM CHEMIE 사 제조), 메가팩(Megaface) F142D, 동 F172, 동 F173, 동 F183(다이닛폰잉키카가쿠코교 가부시키가이샤 제조), 플루오라드(Fluorad) FC-135, 동 FC-170C, 동 FC-430, 동 FC-431(스미토모 쓰리엠 가부시키가이샤 제조), 서플론(Surflon) S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-141, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106(아사히가라스 가부시키가이샤 제조), FTX-218(가부시키가이샤 네오스 제조) 등의 시판품을 들 수 있다.Examples of commercially available products of these fluorinated surfactants include BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM CHEMIE), Megaface F142D, F172, F173, F183 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated) Surflon S-112, S-113, S-131 (manufactured by Sumitomo 3M Limited), Fluorad FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431 , S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105 and SC- Ltd.) and FTX-218 (manufactured by NEOS Co., Ltd.).

실리콘계 계면활성제의 예로서는, 시판되고 있는 상품명으로, SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190(토레·다우코닝·실리콘 가부시키가이샤 제조), KP341(신에츠카가쿠코교 가부시키가이샤 제조), 에프톱(Eftop) EF301, 동 EF303, 동 EF352(신아키타카세이 가부시키가이샤 제조) 등을 들 수 있다.Examples of the silicone surfactant include SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57 and DC- 190 (manufactured by Toray Dow Corning Toray Silicone Co., ), KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Eftop EF301, EF303 and EF352 (manufactured by Shin-Aichi Kasei Kogyo Co., Ltd.).

비이온계 계면활성제의 예로서는, 폴리옥시에틸렌 알킬에테르, 폴리옥시에틸렌 아릴에테르, 폴리옥시에틸렌 디알킬에스테르, (메타)아크릴산계 공중합체류 등을 들 수 있다.Examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene dialkyl esters, (meth) acrylic acid-based copolymers, and the like.

폴리옥시에틸렌 알킬에테르의 예로서는, 폴리옥시에틸렌 라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌 스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌 올레일에테르 등을 들 수 있다. 폴리옥시에틸렌 아릴에테르의 예로서는, 폴리옥시에틸렌 옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 노닐페닐에테르를 들 수 있다. 폴리옥시에틸렌 디알킬에스테르의 예로서는 폴리옥시에틸렌 디라우레이트, 폴리옥시에틸렌 디스테아레이트 등을 들 수 있다. (메타)아크릴산계 공중합체류의 예로서는, 시판되고 있는 상품명으로, 폴리플로우(Polyflow) No.57, 동 No.90(쿄에이샤카가쿠 가부시키가이샤 제조) 등을 들 수 있다.Examples of polyoxyethylene alkyl ethers include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether. Examples of polyoxyethylene aryl ethers include polyoxyethylene octyl phenyl ether and polyoxyethylene nonyl phenyl ether. Examples of polyoxyethylene dialkyl esters include polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate. Examples of the (meth) acrylic acid copolymer are commercially available trade names such as Polyflow No. 57 and No. 90 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

[H]계면활성제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. [H]계면활성제의 사용량은, [A]공중합체 100질량부에 대하여, 바람직하게는 0.01∼5질량부, 더욱 바람직하게는 0.05∼3질량부이다. 계면활성제의 사용량을 0.01∼5질량부로 함으로써, 형성되는 실드막 표면의 막거칠어짐의 발생이 억제되어 균일한 도포막을 형성할 수 있다.[H] Surfactants may be used alone or in combination of two or more. The amount of the [H] surfactant used is preferably 0.01 to 5 parts by mass, more preferably 0.05 to 3 parts by mass based on 100 parts by mass of the [A] copolymer. When the amount of the surfactant used is from 0.01 to 5 parts by mass, occurrence of film roughening on the surface of the formed shield film is suppressed, and a uniform coating film can be formed.

수지 조성물Resin composition

본 발명의 수지 조성물은, 상기의 [A]공중합체, [B]중합성 화합물 및, [C]감방사선성 중합 개시제와, 임의 성분([G]밀착 보조제 및/또는 [H]계면활성제 등)을 균일하게 혼합함으로써 조제된다. 통상, 수지 조성물은, 바람직하게는 적당한 용매에 용해되어 용액 상태로 보존되어 사용된다. 예를 들면 용매 중에서, [A]공중합체, [B]중합성 화합물 및 [C]감방사선성 중합 개시제와, 임의 성분을 소정의 비율로 혼합함으로써, 용액 상태의 수지 조성물을 조제할 수 있다.The resin composition of the present invention can be obtained by copolymerizing the above-mentioned copolymer [A], the polymerizable compound [B], the radiation sensitive polymerization initiator [C] and optional components ([G] adhesion auxiliary agent and / or [H] ) Are uniformly mixed. Usually, the resin composition is preferably dissolved in a suitable solvent and stored in a solution state and used. The resin composition in a solution state can be prepared by mixing the [A] copolymer, the [B] polymerizable compound and the [C] radiation-sensitive polymerization initiator and optional components in a predetermined ratio, for example, in a solvent.

수지 조성물의 조제에 사용되는 용매로서는, 상기의 [A]공중합체, [B]중합성 화합물 및 [C]감방사선성 중합 개시제와, 임의 성분([G]밀착 보조제 및/또는 [H]계면활성제 등)의 각 성분을 균일하게 용해하고, 각 성분과 반응하지 않는 것인 한, 특별히 한정되는 것은 아니다. 이러한 용매로서는, [A]공중합체를 제조하기 위해 사용할 수 있는 용매로서 예시한 용매와 동일한 것을 들 수 있다.As the solvent used for preparing the resin composition, the above-mentioned [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation-sensitive polymerization initiator and optional components ([G] adhesion aid and / or [H] Is not particularly limited as long as it uniformly dissolves each component of the water-soluble polymer (e.g. Examples of such a solvent include the same solvents as those exemplified as solvents that can be used for preparing the [A] copolymer.

이러한 용매 중, 각 성분의 용해성, 각 성분과의 비반응성, 도막 형성의 용이성 등의 관점에서, 예를 들면 알코올류, 글리콜에테르, 에틸렌글리콜 알킬에테르아세테이트, 에스테르류, 디에틸렌글리콜 알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르, 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 아세테이트가 바람직하게 사용된다. 이들 중, 예를 들면 벤질알코올, 2-페닐에틸알코올, 3-페닐-1-프로판올, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 2- 또는 3-메톡시프로피온산 메틸, 2- 또는 3-에톡시프로피온산 에틸, 메톡시 아세트산 부틸이 특히 바람직하게 사용할 수 있다.Examples of such solvents include alcohols, glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, esters, diethylene glycol alkyl ethers, propylene glycol ethers, and the like, from the viewpoints of solubility of each component, Glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether acetate are preferably used. Of these, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, 3-phenyl-1-propanol, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether , Diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 2- or 3-methoxypropionate, ethyl 2- or 3-ethoxypropionate and butyl methoxyacetate are particularly preferably used have.

또한, 형성되는 도막의 막두께의 면내 균일성을 높이기 위해, 상기 용매와 함께 고비점 용매를 병용할 수도 있다. 이 병용할 수 있는 고비점 용매로서는, 예를 들면, N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포름아닐리드, N-메틸아세트 아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭사이드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프론산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 아세트산 벤질, 벤조산 에틸, 옥살산 디에틸, 말레산 디에틸, γ-부티로락톤, 탄산 에틸렌, 탄산 프로필렌, 페닐셀로솔브 아세테이트 등을 들 수 있다. 이들 고비점 용매 중, N-메틸피롤리돈, γ-부티로락톤, N,N-디메틸아세트 아미드가 바람직하다.In addition, in order to increase the in-plane uniformity of the film thickness of the formed coating film, a high boiling point solvent may be used together with the above solvent. Examples of the solvent having a high boiling point which can be used in combination with the solvent include N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, But are not limited to, methyl pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, , Diethyl maleate,? -Butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate, and the like. Among these high-boiling solvents, N-methylpyrrolidone,? -Butyrolactone and N, N-dimethylacetamide are preferable.

수지 조성물의 용매로서 고비점 용매를 병용하는 경우, 그의 사용량은 용매 전량에 대하여 50질량% 이하, 바람직하게는 40질량% 이하, 더욱 바람직하게는 30질량% 이하로 할 수 있다. 고비점 용매의 사용 비율을 50질량% 이하로 함으로써, 도막의 막두께 균일성을 높이는 것과 동시에, 방사선 감도의 저하를 억제할 수 있다.When a high boiling point solvent is used as the solvent of the resin composition, the amount of the solvent to be used may be 50% by mass or less, preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less based on the total amount of the solvent. When the ratio of the solvent having a high boiling point is set to 50% by mass or less, the film thickness uniformity of the coating film can be enhanced and the radiation sensitivity can be suppressed from lowering.

수지 조성물을 용액 상태로서 조제하는 경우, 용액 중에서 차지하는 용매 이외의 성분(즉, [A]공중합체, [B]중합성 화합물 및 [C]감방사선성 중합 개시제와, 그 외의 임의 성분의 합계량)의 비율은, 사용 목적이나 원하는 막두께 등에 따라서 임의로 설정할 수 있지만, 바람직하게는 5∼50질량%, 보다 바람직하게는 10∼40질량%, 더욱 바람직하게는 15∼35질량%이다. 이와 같이 하여 조제된 수지 조성물의 용액은, 공경 0.2㎛ 정도의 밀리포어 필터 등을 사용하여 여과한 후, 사용에 제공할 수도 있다.When the resin composition is prepared in the form of a solution, the total amount of the components other than the solvent in the solution (i.e., the total amount of the [A] copolymer, the [B] polymerizable compound, the radiation sensitive polymerization initiator [C] Is preferably from 5 to 50% by mass, more preferably from 10 to 40% by mass, and still more preferably from 15 to 35% by mass, although it can be arbitrarily set depending on the purpose of use and the desired film thickness. The solution of the resin composition thus prepared may be filtered for use with a millipore filter having a pore size of about 0.2 탆 or the like and then used for use.

색소 증감형 태양전지 전극의 Of a dye-sensitized solar cell electrode 실드막의Shielded membrane 형성 formation

다음으로 상기의 수지 조성물을 사용하여, 본 발명의 실드막을 형성하는 방법에 대해서 기술한다. 당해 실드막의 형성 방법은,Next, a method of forming the shield film of the present invention using the above resin composition will be described. As the method for forming the shield film,

(1) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 감방사선성을 갖지 않는 당해 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정, 및(1) a step of forming a coating film of the resin composition having no radiation-sensitive property such that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate, and

(2) 공정(1)에서 형성된 도막을 가열하는 공정(2) a step of heating the coating film formed in the step (1)

을 이 순서로 포함한다.In this order.

(1) 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정(1) Process for forming a coating film of a resin composition

이 공정에 있어서는, 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체 위에, 본 발명의 수지 조성물의 용액을 도포한 후, 도포면을 가열(프리베이킹)함으로써, 도막을 형성한다. 도포는, 적어도 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층의 전체가 덮이도록 행한다. 프리베이킹의 조건은, 각 성분의 종류나 배합 비율 등에 따라서도 다르지만, 바람직하게는 70∼110℃에서 1∼10분간 정도이다. 도막의 프리베이킹 후의 막두께는, 바람직하게는 0.1∼5.0㎛이며, 보다 바람직하게는 0.3∼2.0㎛ 정도이다.In this step, a solution of the resin composition of the present invention is applied onto a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate, and then the coated surface is heated (prebaked) to form a coated film. The application is performed so that at least the entire metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate is covered. The conditions for the prebaking vary depending on the kind of each component and the blending ratio, and preferably about 70 to 110 DEG C for about 1 to 10 minutes. The thickness of the coating film after pre-baking is preferably 0.1 to 5.0 탆, and more preferably 0.3 to 2.0 탆 or so.

도포에 사용하는 수지 조성물 용액의 고형분 농도는, 바람직하게는 5∼50질량%이며, 보다 바람직하게는 10∼40질량%이고, 더욱 바람직하게는 15∼35질량%이다. 조성물 용액의 도포 방법으로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 스프레이법, 롤 코팅법, 회전 도포법(스핀 코팅법), 슬릿 다이 도포법, 바 도포법, 잉크젯 도포법 등의 적절한 방법을 채용할 수 있다. 이들 도포법 중에서도, 특히 바 도포법 또는 슬릿 다이 도포법이 바람직하다. 바 도포법 또는 슬릿 다이 도포법으로 조성물 용액의 도포를 행함으로써, 금속 배선층의 단차를 갖는 기판에 대해서도, 결손이 없는 실드막을 형성할 수 있다.The solid content concentration of the resin composition solution used for coating is preferably 5 to 50 mass%, more preferably 10 to 40 mass%, and still more preferably 15 to 35 mass%. The method of applying the composition solution is not particularly limited and suitable methods such as spraying, roll coating, spin coating (coating method), slit die coating, bar coating, inkjet coating and the like are employed . Of these coating methods, a bar coating method or a slit die coating method is particularly preferable. By applying the composition solution by a bar coating method or a slit die coating method, a shielding film free from defects can be formed even on a substrate having a stepped portion of the metal wiring layer.

(2) 가열 공정(2) Heating process

상기(1)의 공정 후에, 핫 플레이트나 클린 오븐 등의 적당한 가열 장치에 의해, 도막에 대하여 가열 처리(포스트베이킹 처리)를 실시한다. 가열 온도로서는 150∼250℃ 정도가 바람직하고, 가열 시간으로서는, 핫 플레이트 사용의 경우는 5∼30분간 정도, 클린 오븐 사용의 경우는 30∼90분간 정도가 바람직하다. 이와 같이 하여 색소 증감형 태양전지용 전극 위에 원하는 형상을 갖는 실드막을 형성할 수 있다.After the above step (1), the coated film is subjected to a heat treatment (post-baking treatment) by a suitable heating apparatus such as a hot plate or a clean oven. The heating temperature is preferably about 150 to 250 DEG C, and the heating time is preferably about 5 to 30 minutes in the case of using a hot plate and about 30 to 90 minutes in the case of using a clean oven. In this manner, a shield film having a desired shape can be formed on the dye-sensitized solar cell electrode.

이와 같이, 상기 수지 조성물을 사용하여, 도막 형성 공정 및 가열 공정에 의해 실드막을 형성함으로써, 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서의 기판상에서, 실드막을 형성할 수 있다. 당해 형성 방법은, 도포 공정 및 가열 공정의 비교적 간이한 공정만을 필요로 하여, 저비용으로 실드막을 형성할 수 있다.As described above, a shield film can be formed on a substrate in a dye-sensitized solar cell electrode by forming a shield film by a film forming process and a heating process using the resin composition. This forming method requires only a relatively simple process of the coating step and the heating step, and a shielding film can be formed at a low cost.

그 외의 본 발명의 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 방법으로서는, (i) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면 측에 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정,As another method for forming a shielding film of an electrode for a dye-sensitized solar cell of the present invention, there is a method for forming a shield film of (i) a laminated body having a conductive substrate and a metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate, A step of forming a coating film of the resin composition having radiation properties,

(ii) 공정(i)에서 형성한 도막의 금속 배선층상에 적층되어 있는 부분에만 방사선을 조사하는 공정,(ii) a step of irradiating only the portion of the coating film formed in the step (i) on the metal wiring layer,

(iii) 공정(ii)에서 방사선이 조사된 도막을 현상하는 공정 및,(iii) a step of developing the coating film irradiated with the radiation in the step (ii)

(iv) 공정(iii)에서 현상된 도막을 가열하는 공정(iv) a step of heating the developed coating film in the step (iii)

을 이 순서로 포함한다.In this order.

(i) (i) 감방사선성을Sensitizing radiation 갖는 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정 A step of forming a coating film of the resin composition having

이 공정에 있어서는, 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체 위에, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물의 용액을 도포한 후, 도포면을 가열(프리베이킹)함으로써, 도막을 형성한다. 도포는, 적어도, 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층의 전체가 덮이도록 행한다. 프리베이킹의 조건은, 각 성분의 종류나 배합 비율 등에 따라서도 다르지만, 바람직하게는 70∼110℃에서 1∼10분간 정도이다. 도막의 프리베이킹 후의 막두께는, 바람직하게는 0.1∼5.0㎛이며, 보다 바람직하게는 0.3∼2.0㎛ 정도이다.In this step, a solution of the resin composition having radiation-sensitive properties is applied onto a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate, and then the coated surface is heated (prebaked) . The application is performed so that at least the whole of the metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate is covered. The conditions for the prebaking vary depending on the kind of each component and the blending ratio, and preferably about 70 to 110 DEG C for about 1 to 10 minutes. The thickness of the coating film after pre-baking is preferably 0.1 to 5.0 탆, and more preferably 0.3 to 2.0 탆 or so.

도포에 사용하는 조성물 용액의 고형분 농도는, 바람직하게는 5∼50질량%이며, 보다 바람직하게는 10∼40질량%이고, 더욱 바람직하게는 15∼35질량%이다. 조성물 용액의 도포 방법으로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 스프레이법, 롤 코팅법, 회전 도포법(스핀 코팅법), 슬릿 다이 도포법, 바 도포법, 잉크젯 도포법 등의 적절한 방법을 채용할 수 있다. 이들 도포법 중에서도, 특히 바 도포법 또는 슬릿 다이 도포법이 바람직하다. 바 도포법 또는 슬릿 다이 도포법으로 조성물 용액의 도포를 행함으로써, 금속 배선층의 단차를 갖는 기판에 대해서도, 결손이 없는 실드막을 형성할 수 있다.The solid concentration of the composition solution used for coating is preferably 5 to 50 mass%, more preferably 10 to 40 mass%, and still more preferably 15 to 35 mass%. The method of applying the composition solution is not particularly limited and suitable methods such as spraying, roll coating, spin coating (coating method), slit die coating, bar coating, inkjet coating and the like are employed . Of these coating methods, a bar coating method or a slit die coating method is particularly preferable. By applying the composition solution by a bar coating method or a slit die coating method, a shielding film free from defects can be formed even on a substrate having a stepped portion of the metal wiring layer.

(( iiii ) 도막에 방사선을 조사하는 공정) Step of irradiating the coating film with radiation

이어서, 소정의 패턴을 갖는 포토마스크를 통하여, 상기의 공정(i)에서 형성된 도막의 금속 배선층상에 적층되어 있는 부분에만 노광한다. 노광에 사용되는 방사선으로서는, 예를 들면, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 들 수 있다. 이들 방사선 중에서도, 파장이 190∼450nm의 범위에 있는 방사선이 바람직하고, 특히 파장 365nm의 자외선을 포함하는 방사선이 바람직하다.Subsequently, only the portion of the coating film formed in the above-described step (i) on the metal wiring layer is exposed through a photomask having a predetermined pattern. Examples of the radiation used for exposure include visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like. Among these radiation, radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable, and radiation including ultraviolet radiation having a wavelength of 365 nm is particularly preferable.

노광량은, 방사선의 파장 365nm에 있어서의 강도를 조도계(Optical Associates Inc. 제작의 「OAI model 356」)를 사용하여 측정한 값으로서, 바람직하게는 100∼10,000J/㎡, 보다 바람직하게는 500∼3,000J/㎡이다.The exposure dose is a value obtained by measuring the intensity of the radiation at a wavelength of 365 nm using an illuminometer ("OAI model 356" manufactured by Optical Associates Inc.), preferably 100 to 10,000 J / 3,000 J / m 2.

(( iiiiii ) 현상 공정) Development Process

이어서, 상기 (ii)의 공정에서 방사선이 조사된 도막을 현상함으로써, 방사선의 비조사 부분을 제거하여, 소정의 패턴을 형성한다. 현상에 사용되는 현상액으로서는, 알칼리(염기성 물질)의 수용액이 바람직하게 사용된다. 사용 가능한 알칼리의 예로서는, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨, 암모니아 등의 무기 알칼리; 테트라메틸암모늄 하이드록사이드, 테트라에틸암모늄 하이드록사이드 등의 4급 암모늄염 등을 들 수 있다. 상기의 알칼리 수용액에는, 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용매나 계면활성제를 적당량 첨가하여 사용할 수도 있다.Subsequently, in the step (ii), the coated film irradiated with the radiation is developed to remove the non-irradiated portion of the radiation to form a predetermined pattern. As the developing solution used for the development, an aqueous solution of an alkali (basic substance) is preferably used. Examples of the alkali which can be used include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate and ammonia; Quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide, and the like. A water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol and the like or a surfactant may be added in an appropriate amount to the above-mentioned alkali aqueous solution.

현상 방법으로서는, 퍼들법, 딥핑법, 샤워법 등의 어느 것이라도 좋고, 현상 시간은, 바람직하게는 10∼180초간 정도이다. 현상 후, 예를 들면 유수 세정을 30∼90초간 행한 후, 예를 들면 압축 공기나 압축 질소로 풍건시킴으로써, 원하는 패턴이 형성된다.As the developing method, any of a puddle method, a dipping method and a shower method may be used, and the developing time is preferably about 10 to 180 seconds. After development, for example, water washing is performed for 30 to 90 seconds, and then air is blown with, for example, compressed air or compressed nitrogen to form a desired pattern.

(( iviv ) 가열 공정) Heating process

상기 (iii)의 현상 공정 후에, 핫 플레이트나 클린 오븐 등의 적당한 가열 장치에 의해, 패터닝된 도막에 대하여 가열 처리(포스트베이킹 처리)를 실시한다. 가열 온도로서는 150∼250℃ 정도가 바람직하고, 가열 시간으로서는, 핫 플레이트 사용의 경우는 5∼30분간 정도, 클린 오븐 사용의 경우는 30∼90분간 정도가 바람직하다. 이와 같이 하여, 색소 증감형 태양전지용 전극 위에 원하는 형상을 갖는 실드막을 형성할 수 있다.After the developing step (iii), the patterned coating film is subjected to heat treatment (post-baking treatment) by a suitable heating apparatus such as a hot plate or a clean oven. The heating temperature is preferably about 150 to 250 DEG C, and the heating time is preferably about 5 to 30 minutes in the case of using a hot plate and about 30 to 90 minutes in the case of using a clean oven. In this manner, a shield film having a desired shape can be formed on the dye-sensitized solar cell electrode.

이와 같이, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물을 사용하여, 도막 형성 공정, 방사선 조사 공정(노광 공정), 현상 공정 및 가열 공정에 의해 패턴을 형성함으로써, 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서의 금속 배선층의 단차를 갖는 기판상에서, 금속 배선이 존재하는 부분에만 균일한 두께의 실드막을 형성할 수 있다. 이려한 방법에 의하면, 금속 배선이 존재하는 부분에만 정확하게 실드막을 형성하는 것이 가능하여, 도전성 기판 또는 산화물 반도체층상에 실드막이 잘못 형성되는 것이 확실히 방지되기 때문에, 금속 배선상에서 실드막의 결손을 발생시키는 일이 없다. 또한, 이와 같이 형성된 실드막을 갖는 금속 배선은, 실드막의 결손이 없는 점에서, 전해액에 대하여 고도의 내식성을 발휘할 수 있다.As described above, the resin composition having the radiation-sensitive properties is used to form a pattern by a coating film forming process, a radiation irradiation process (exposure process), a development process, and a heating process, whereby a metal wiring layer The shielding film having a uniform thickness can be formed only on the portion where the metal wiring exists. According to this method, it is possible to form a shield film precisely only in the portion where the metal wiring exists, and it is possible to reliably prevent the shield film from being erroneously formed on the conductive substrate or the oxide semiconductor layer. Therefore, There is no. In addition, the metal wiring having the shield film thus formed can exhibit high corrosion resistance to the electrolytic solution because there is no defect of the shield film.

(실시예)(Example)

이하, 합성예 및 실시예에 의해서 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 하기에 있어서 측정한 수평균 분자량 및 분자량 분포(Mw/Mn)는, 토소 가부시키가이샤 제조의 GPC 크로마토그래프 「HLC-8020」(TSKgel α-M 1개, TSKgel α-2500 1개)를 사용하여, 유량: 1.0밀리리터/분, 용출 용매: N,N-디메틸포름아미드, 컬럼 온도: 35℃의 분석 조건에 있어서, 겔 투과 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정했다.Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Synthesis Examples and Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. The number-average molecular weight and the molecular weight distribution (Mw / Mn) measured in the following were measured using a GPC chromatograph "HLC-8020" (TSKgel α-M 1, TSKgel α-2500 1) manufactured by TOSOH CORPORATION Was measured by a gel permeation chromatography (GPC) method under the conditions of a flow rate of 1.0 milliliter / minute and elution solvent: N, N-dimethylformamide and a column temperature of 35 ° C.

공중합체의 제조Preparation of Copolymer

[합성예 1][Synthesis Example 1]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5질량부와 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 200질량부를 넣었다. 이어서 메타크릴산 글리시딜 40질량부, 스티렌 18질량부, 메타크릴산 20질량부 및 N-사이클로헥실 말레이미드 22질량부를 넣고, 질소 치환한 후 완만하게 교반을 시작했다. 용액 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 유지하여 공중합체(A-1)를 함유하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는, 33.1질량%였다. 얻어진 공중합체의 수평균 분자량은 7,000이며, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2였다.A cooling tube and a stirrer, 5 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of diethylene glycol ethyl methyl ether were placed. Subsequently, 40 parts by mass of glycidyl methacrylate, 18 parts by mass of styrene, 20 parts by mass of methacrylic acid, and 22 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were charged, and after nitrogen replacement, gentle stirring was started. The solution temperature was raised to 70 占 폚, and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (A-1). The solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.1% by mass. The resulting copolymer had a number average molecular weight of 7,000 and a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 2.

[합성예 2][Synthesis Example 2]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5질량부와 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200질량부를 넣었다. 이어서 3-(메타크릴로일옥시에틸)옥세탄 40질량부, 스티렌 10질량부, 메타크릴산 30질량부 및 N-사이클로헥실 말레이미드 20질량부를 넣고, 질소 치환한 후 완만하게 교반을 시작했다. 용액 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 유지하여 공중합체(A-2)를 함유하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는, 33.1질량%였다. 얻어진 공중합체의 수평균 분자량은 7,300이며, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2였다.A cooling tube and a flask equipped with a stirrer were charged with 5 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 40 parts by mass of 3- (methacryloyloxyethyl) oxetane, 10 parts by mass of styrene, 30 parts by mass of methacrylic acid and 20 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were purged with nitrogen, and gentle stirring was started . The solution temperature was raised to 70 캜, and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (A-2). The solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.1% by mass. The obtained copolymer had a number average molecular weight of 7,300 and a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 2.

[합성예 3][Synthesis Example 3]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 5질량부 및 메톡시아세트산 부틸 250질량부를 넣고, 이어서 메타크릴산 18질량부, 메타크릴산 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 25질량부, 스티렌 5질량부, 메타크릴산-2-하이드록시에틸 에스테르 30질량부 및 메타크릴산 벤질 22질량부를 넣어, 질소 치환한 후, 완만하게 교반하면서 용액의 온도를 80℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 유지하여 중합시킴으로써, 고형분 농도 28.8질량%의 공중합체(β-1)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다.5 parts by mass of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 250 parts by mass of butyl methoxyacetate were placed in a flask equipped with a stirrer, a cooling tube and a stirrer, and then 18 parts by mass of methacrylic acid, 5.2 parts by mass of methacrylic acid tricyclo [5.2. 1.0, 2,6 ] decan-8-yl, 5 parts by mass of styrene, 30 parts by mass of methacrylic acid-2-hydroxyethyl ester and 22 parts by mass of benzyl methacrylate were charged and replaced with nitrogen, , The temperature of the solution was raised to 80 占 폚, and this temperature was maintained for 5 hours to polymerize to obtain a polymer solution containing the copolymer (? -1) at a solid concentration of 28.8 mass%.

이어서, 공중합체(β-1)를 함유하는 중합체 용액에, 2-메타크릴로일옥시에틸이소시아네이트(쇼와덴코 가부시키가이샤 제조의 「카렌즈 MOI」) 14질량부와 4-메톡시페놀 0.1부를 첨가한 후, 40℃에서 1시간, 또한, 60℃에서 2시간 교반하여 반응시켰다. 2-메타크릴로일옥시에틸 이소시아네이트 유래의 이소시아네이트기와 공중합체(β-1)의 수산기의 반응의 진행을, IR(적외선 흡수) 스펙트럼에 의해 확인했다. 당초의 공중합체(β-1)를 함유하는 중합체 용액, 1시간 반응 후의 용액 및 40℃에서 1시간 추가로 60℃에서 2시간 반응 후의 용액 각각의 IR 스펙트럼에서, 2-메타크릴로일옥시에틸 이소시아네이트의 이소시아네이트기에 유래하는 2270cm-1 부근의 피크가 감소되어 있는 모습을 확인했다. 이 반응에 의해, 고형분 농도 30.0질량%의 공중합체(A-3)를 함유하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 공중합체의 수평균 분자량은 7,000이며, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2였다.Then, 14 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate ("CALENSE MOI" manufactured by Showa Denko KK) and 4 parts by mass of 4-methoxyphenol 0.1 were added to the polymer solution containing the copolymer (? -1) Followed by stirring at 40 ° C for 1 hour and further at 60 ° C for 2 hours. The progress of the reaction between the isocyanate group derived from 2-methacryloyloxyethyl isocyanate and the hydroxyl group of the copolymer (? -1) was confirmed by IR (infrared absorption) spectrum. In the IR spectrum of the polymer solution containing the original copolymer (? -1), the solution after 1 hour of reaction, and the solution after further reaction at 60 ° C for 2 hours at 40 ° C, 2-methacryloyloxyethyl The peak near 2270 cm -1 derived from the isocyanate group of isocyanate was confirmed to be decreased. By this reaction, a polymer solution containing a copolymer (A-3) having a solid concentration of 30.0 mass% was obtained. The resulting copolymer had a number average molecular weight of 7,000 and a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 2.

[비교 합성예 1][Comparative Synthesis Example 1]

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5질량부와 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200질량부를 넣었다. 이어서, 스티렌 10질량부 및 메타크릴산 메틸 90질량부를 넣고, 질소 치환한 후 완만하게 교반을 시작했다. 용액 온도를 70℃로 상승시키고, 이 온도를 5시간 유지하여 공중합체(a-1)를 함유하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 34.0질량%였다. 얻어진 공중합체의 수평균 분자량은 8,500이며, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2였다.A cooling tube and a flask equipped with a stirrer were charged with 5 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 10 parts by mass of styrene and 90 parts by mass of methyl methacrylate were charged, and after nitrogen replacement, gentle stirring was started. The solution temperature was raised to 70 캜, and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (a-1). The solid concentration of the obtained polymer solution was 34.0 mass%. The resulting copolymer had a number average molecular weight of 8,500 and a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 2.

수지 조성물의 조제Preparation of resin composition

[실시예 1][Example 1]

[A]공중합체로서 합성예 1의 공중합체(A-1)를 함유하는 중합체 용액(공중합체 100질량부(고형분)에 상당하는 양), [B]중합성 화합물로서 (B-1) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조의 「KAYARAD DPHA」) 100질량부, [C]감방사선성 중합 개시제로서 (C-1) 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온(치바·스페셜티·케미컬즈 가부시키가이샤 제조의 「이르가큐어(Irgacure) 379」) 20질량부, [G]밀착 보조제로서 (G-1)γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란 10.0질량부, [H]계면활성제로서 (H-1) 계면활성제인 가부시키가이샤 네오스 제조의 「FTX-218」 0.2질량부를 가하고, 추가로 고형분 농도가 22질량%가 되도록 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트를 추가한 후, 공경 0.5㎛의 밀리포어 필터로 여과하여 수지 조성물의 용액(S-1)을 조제했다.(B-1) as a polymerizable compound (B-1) as a polymer [A] copolymer in an amount of 100 parts by mass (solid content) 100 parts by mass of pentaerythritol hexaacrylate ("KAYARAD DPHA" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the polymerization initiator, (C-1) 2-dimethylamino- (Irgacure 379, manufactured by Chiba Specialty Chemicals Co., Ltd.), 20 parts by mass of [G] -1- (4-morpholin- 10 parts by mass of (G-1)? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane as the adhesion assisting agent and 0.2 parts by mass of "FTX-218" manufactured by Neos, which is a surfactant (H-1) Propyleneglycol monomethyl ether acetate was further added so as to have a solid content concentration of 22 mass%, and then millipore filter Filtered to prepare a resin composition solution (S-1).

[실시예 2∼13, 비교예 1][Examples 2 to 13, Comparative Example 1]

성분[A]∼[C] 및 그 외의 임의 성분으로서, 표 1에 기재한 바와 같은 종류 및 양을 사용한 것 이외는, 실시예 1과 동일하게 하여 수지 조성물의 용액(S-2)∼(S-13) 및 (s-1)을 조제했다.(S-2) to (S (2)) of the resin composition were obtained in the same manner as in Example 1, except that the kinds and amounts as shown in Table 1 were used as the components [A] to [ -13) and (s-1) were prepared.

색소 증감형 태양전지의 전극 기판의 작성Fabrication of electrode substrate for dye-sensitized solar cell

도 1에 나타내는 순서에 따라서, 색소 증감형 태양전지의 전극 기판을 작성했다.1, an electrode substrate of a dye-sensitized solar cell was prepared.

(1) 투명 도전 기판의 작제(1) Construction of transparent conductive substrate

염화 주석(IV) 5수화물의 에탄올 용액 중에 불화 암모늄의 포화 수용액을 가하여 용해시키고, FTO(불소 첨가 산화 주석)막용 원료액을 조제했다. 이어서, 기판(1)(고왜점 유리)의 이면이 접하도록 350℃의 히터 플레이트상에 올려두고, 1시간에 걸쳐 히터 플레이트로 가열하면서, 스프레이 노즐을 사용하여 FTO막용 원료액을 기판(1)의 표면상에 분무하여 FTO로 이루어지는 투명 도전막(2)(막두께 0.05∼5㎛)을 형성했다. 이와 같이 하여 기판(1)의 표면에 투명 도전막(2)이 형성된 투명 도전 기판을 얻었다(도 1(a) 참조). 투명 도전막(2)의 막두께는 0.2㎛였다.A saturated aqueous solution of ammonium fluoride was added and dissolved in an ethanol solution of tin (IV) chloride pentahydrate to prepare a raw material liquid for FTO (fluorine-doped tin oxide) film. Subsequently, the substrate 1 was placed on a heater plate of 350 DEG C so that the back surface of the substrate 1 (high-strain glass) was in contact with the substrate 1, and the raw material liquid for the FTO film was irradiated onto the substrate 1 by using a spray nozzle while heating with a heater plate for one hour. To form a transparent conductive film 2 (film thickness: 0.05 to 5 m) made of FTO. Thus, a transparent conductive substrate having a transparent conductive film 2 formed on the surface of the substrate 1 was obtained (see Fig. 1 (a)). The film thickness of the transparent conductive film 2 was 0.2 탆.

(2) 금속 배선층의 형성(2) Formation of metal wiring layer

상기 (1)에서 투명 도전막(2)이 형성된 투명 도전 기판상에, 격자 형상의 공판을 사용하여, 스크린 인쇄 장치(뉴롱세이미츠코교 가부시키가이샤 제작의 「HR-320」에 의해, 인쇄용 은(銀) 페이스트(소결 후의 체적 저항률이 3×10-6[Ω·cm]인 것)의 격자 형상 패턴의 도막을 형성했다. 이어서, 25℃에서 10분간 정치한 후, 130℃에서 10분간 건조시키고, 추가로 최고 온도 510℃로 2시간 소성함으로써, 은으로 이루어지는 격자 형상의 금속 배선층(3)을 형성했다. 여기에서, 금속 배선층(3)은, 회로폭(설계치) 300㎛, 막두께 10㎛로 하여, 집전 단자로부터 격자 형상으로 연장되는 형상으로 형성했다(도 1(b) 참조).A screen printing apparatus ("HR-320" manufactured by Nyun-Shimitsu Kikai Kikai Kikai Co., Ltd.) was used to form a transparent conductive film on the transparent conductive substrate on which the transparent conductive film 2 was formed in (1) (Having a volume resistivity after sintering of 3 x 10 < -6 > [OMEGA .cm]) of a silver paste was formed on the surface of the substrate. The metal wiring layer 3 was formed so as to have a circuit width (design value) of 300 mu m, a thickness of 10 mu m, and a thickness of 10 mu m. Mu m, and was formed into a shape extending in a lattice form from the current collector terminal (see Fig. 1 (b)).

(3) 다공질 산화물 반도체층의 형성(3) Formation of Porous Oxide Semiconductor Layer

상기 (2)와 동일한 스크린 인쇄에 의해, 투명 도전막(2)이 형성된 투명 도전 기판상의 금속 배선층(3)의 사이에, 산화 티탄 페이스트(고형분 20질량%의 에탄올 분산체)의 도공을 행했다. 이어서, 450℃로 1시간 소성하여, 격자 형상의 금속 배선층(3)의 사이에 다공질 산화물 반도체층(4)을 형성했다(도 1(c) 참조).A titanium oxide paste (ethanol dispersion with a solid content of 20% by mass) was applied between the metal wiring layers 3 on the transparent conductive substrate on which the transparent conductive film 2 was formed by the same screen printing as in the above (2). Subsequently, the resultant structure was baked at 450 DEG C for one hour to form a porous oxide semiconductor layer 4 between the lattice-shaped metal wiring layers 3 (see Fig. 1 (c)).

(4) 금속 배선층의 실드막 형성(4) Shield film formation of metal wiring layer

바 도포용의 자동 도공 장치(테스터 산교 가부시키가이샤 제작의 PI-1210 자동 도공 장치 I형)를 사용하여, 상기 (3)에서 작성한 적층체의 표면 전체에, 실시예 1의 수지 조성물의 용액(S-1)의 도막(5)을 형성하고(도 1(d) 참조), 이어서, 90℃에서 5분간 용제를 휘발 건조시켰다. 상기 (2)에서 사용한 격자 형상의 공판과 동일한 설계 사이즈의 포토마스크를 개재하여, 고압 수은 등으로부터의 자외선을, 365nm에서의 노광량이 1,000J/㎡가 되도록 조사했다. 노광 후의 도막의 막두께는 0.6㎛였다. 이어서, 이 도막을 수산화 칼륨 수용액으로 현상하고, 추가로, 180℃로 1시간 클린 오븐에서 소성했다. 이것에 의해, 격자 형상의 금속 배선층(3)의 표면에, 실드막(6)을 갖는 전극 기판(7)을 작성했다(도 1(e) 참조). 실드막(6)의 막두께는 0.5㎛였다. 이하, 이 전극 기판을 「시료 전극 기판 1」이라고 칭한다.The solution of the resin composition of Example 1 ((1)) was applied to the entire surface of the laminate prepared in the above (3) using an automatic coating device for coating a bar (PI-1210 automatic coating device I of a tester manufactured by TESAN SANGYO KABUSHIKI KAISHA) S-1) (see Fig. 1 (d)). Subsequently, the solvent was volatilized and dried at 90 DEG C for 5 minutes. Ultraviolet rays from high-pressure mercury or the like were irradiated through a photomask having the same design size as the lattice-like plate used in the above (2) so that the exposure amount at 365 nm was 1,000 J / m 2. The film thickness of the coated film after exposure was 0.6 탆. Subsequently, this coating film was developed with an aqueous solution of potassium hydroxide and further baked in a clean oven at 180 DEG C for 1 hour. Thus, an electrode substrate 7 having a shield film 6 was formed on the surface of the metal wiring layer 3 in the lattice shape (see Fig. 1 (e)). The thickness of the shield film 6 was 0.5 mu m. Hereinafter, this electrode substrate is referred to as " sample electrode substrate 1 ".

실시예 1의 수지 조성물의 용액(S-1) 대신에, 실시예 2∼12의 수지 조성물의 용액(S-2)∼(S-12)을 사용하는 것 이외에는 상기와 동일하게 하여, (1)∼(4)의 공정을 행함으로써, 전극 기판을 작성했다. 이들 전극 기판을 「시료 전극 기판 2」∼ 「시료 전극 기판 12」라고 칭한다. 또한, 실시예 1의 수지 조성물의 용액(S-1) 대신에, 실시예 13의 수지 조성물의 용액(S-13)을 사용하고, 노광 공정 및 현상 공정을 실시하지 않는 것 이외에는 상기와 동일하게 하여, 전극 기판을 작성했다. 이 전극 기판을 「시료 전극 기판 13」이라고 칭한다.(S-2) to (S-12) of the resin compositions of Examples 2 to 12 were used instead of the solution (S-1) of the resin composition of Example 1, ) To (4) were carried out to prepare an electrode substrate. These electrode substrates are referred to as " sample electrode substrate 2 " to " sample electrode substrate 12 ". (S-13) of the resin composition of Example 13 was used instead of the solution (S-1) of the resin composition of Example 1, and the exposure step and the developing step were not carried out. To prepare an electrode substrate. This electrode substrate is referred to as " sample electrode substrate 13 ".

비교예 1의 수지 조성물의 용액(s-1) 100질량부에 대하여, ITO 미립자(스미토모긴조쿠코잔 가부시키가이샤 제조의 「X-500」시리즈)를 20질량부 분산시켜, ITO 미립자를 함유하는 수지 조성물 용액을 조제했다. 실시예 1의 수지 조성물의 용액(S-1) 대신에, 이 ITO 미립자를 함유하는 수지 조성물 용액을 사용하는 것 이외에는 상기와 동일하게 하여, (1)∼(4)의 공정을 행함으로써, 전극 기판을 작성했다. 이 전극 기판을 「비교 시료 전극 기판 1」이라고 칭한다. 또한, 비교예 1의 수지 조성물은 감방사선성을 갖는 것이 아니기 때문에, 상기 (4)의 공정에 있어서의 노광 및 현상을 생략했다.20 parts by mass of ITO fine particles (" X-500 " series manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) were dispersed in 100 parts by mass of the solution (s-1) of the resin composition of Comparative Example 1 to obtain ITO fine particles To prepare a resin composition solution. (1) to (4) were carried out in the same manner as described above, except that the resin composition solution containing ITO fine particles was used in place of the solution (S-1) of the resin composition of Example 1, A substrate was prepared. This electrode substrate is referred to as " comparative sample electrode substrate 1 ". In addition, since the resin composition of Comparative Example 1 has no radiation-sensitive properties, the exposure and development in the step (4) are omitted.

상기의 (1)∼(3)의 공정을 행하고, 상기 (4)의 공정(실드막의 형성)을 행하지 않고서 전극 기판을 작성했다(비교예 2). 이러한 실드막을 갖지 않는 전극 기판을 「비교 시료 전극 기판 2」라고 칭한다.The above steps (1) to (3) were carried out, and an electrode substrate was produced (Comparative Example 2) without performing the step (4) (formation of a shield film). The electrode substrate having no such shield film is referred to as " comparative sample electrode substrate 2 ".

또한, 표 1에 있어서, 각각의 화합물을 나타내는 약호는 각각 이하의 것을 나타낸다.In Table 1, the abbreviations denoting the respective compounds indicate the following.

B-1: 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조의 「KAYARAD DPHA」) B-1: dipentaerythritol hexaacrylate ("KAYARAD DPHA" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

B-2: 숙신산 모노-[3-(3-아크릴로일옥시-2,2-비스아크릴로일옥시메틸프로폭시)-2,2-비스-아크릴로일옥시메틸-프로필]에스테르B-2: Synthesis of succinic acid mono- [3- (3-acryloyloxy-2,2-bisacryloyloxymethylpropoxy) -2,2-bisacryloyloxymethyl-

C-1: 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온(치바·스페셜티·케미컬즈 가부시키가이샤 제조의 「이르가큐어 379」)C-1: 2-Dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one (available from Ciba Specialty Chemicals, "Irgacure 379")

C-2: 에타논-1-〔9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일〕-1-(O-아세틸옥심)(치바·스페셜티·케미컬즈 가부시키가이샤 제조의 「이르가큐어 OX02」)C-2: Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O- acetyloxime) (Chiba Specialty Chemicals Co., Irgacure OX02 " manufactured by Kao Corporation)

G-1: γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란G-1:? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane

H-1: 불소계 계면활성제(가부시키가이샤 네오스 제조의 「FTX-218」)H-1: Fluorine-based surfactant ("FTX-218" manufactured by NEOS Corporation)

색소 증감형 태양전지의 작제Preparation of dye-sensitized solar cell

상기의 시료 전극 기판 1∼13 및 비교 시료 전극 기판 1∼2를 사용하여, 도 2에 나타내는 순서에 따라서, 색소 증감형 태양전지(광전 변환 소자)를 이하의 방법으로 제작했다.Using the above-described sample electrode substrates 1 to 13 and comparative sample electrode substrates 1 and 2, a dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element) was produced by the following method according to the procedure shown in Fig.

(a) 광증감 색소의 흡착(a) adsorption of a photosensitizing dye

시료 전극 기판 1∼13 및 비교 시료 전극 기판 1∼2의 각각을, 농도 5질량%의 광증감 색소 루테늄비피리딘 착체(N719 색소)의 아세토니트릴/t-부탄올 용액(질량비 1:1) 중에, 25℃에서 24시간 이상 침지함으로써, 시료 전극 기판의 다공질 산화물 반도체층의 표면에 광증감 색소를 흡착시켜, 광증감 색소가 담지된 다공질 산화물 반도체층(8)을 갖는 작용 전극으로 했다(도 2(f) 참조).Each of the sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrates 1 and 2 was immersed in an acetonitrile / t-butanol solution (mass ratio 1: 1) of a photosensitivity dye ruthenium bipyridine complex (N719 dye) The substrate was immersed at 25 占 폚 for 24 hours or more to adsorb the photosensitivity dye on the surface of the porous oxide semiconductor layer of the sample electrode substrate to obtain a working electrode having the porous oxide semiconductor layer 8 carrying the photosensitizing dye f).

(b) 대향 전극 부착과 전해질 용액의 주입(b) adhesion of counter electrode and injection of electrolyte solution

스퍼터 형성한 Ti박을 표면에 갖는 백금층을 대향 전극(9)으로서 사용하여, 이것을 상기 (a)에서 작제한 작용 전극상에 겹쳤다. 불활성 가스를 충전한 순환 정제형 글로브 박스 내에서, 요오드 전해질 용액(10)을 작용 전극과 대향 전극의 극간으로부터, 스포이드로 주입했다. 요오드 전해질 용액(10)으로서는, 메톡시아세토니트릴 중에 0.5M의 1,2-디메틸-3-프로필이미다졸륨 요오드화물과 0.05M의 요오드를 용해시키고, 추가로, 적당량의 요오드화 리튬과 4-t-부틸피리딘을 가한 것을 사용했다(도 2(g) 참조).A platinum layer having a sputter-formed Ti foil on its surface was used as the counter electrode 9, and this was overlapped on the working electrode in (a) above. The iodine electrolytic solution 10 was injected into the syringe from the gap between the working electrode and the counter electrode in a circulating tablet glove box filled with an inert gas. As the iodine electrolytic solution 10, 0.5M of 1,2-dimethyl-3-propylimidazolium iodide and 0.05M of iodine were dissolved in methoxyacetonitrile, and an appropriate amount of lithium iodide and 4-t -Butylpyridine was added (see Fig. 2 (g)).

(c) 봉지(c) bag

상기 (b)에서 작성한 시료로부터 전해질이 흘러내리지 않도록, 접착성 필름(11)(듀퐁사 제조의 「서린(Surlyn)」)을 사용하여, 양전극을 120℃의 가열 프레스로 합착시킴으로써 봉지하여, 색소 증감형 태양전지(시료 전극 기판 1∼13 및 비교 시료 전극 기판 1의 각각에 대응한 것)를 작성했다(도 2(h) 참조).The positive electrode was sealed with a hot press at 120 DEG C by using an adhesive film 11 ("Surlyn" manufactured by DuPont) to prevent the electrolyte from flowing down from the sample prepared in (b) (Corresponding to each of the sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrate 1) (see Fig. 2 (h)).

색소 증감형 태양전지의 평가Evaluation of dye-sensitized solar cells

(I) 시료 전극 기판상에서의 실드막의 결손 유무의 확인(I) Confirmation of absence of shield film on the sample electrode substrate

금속 배선상에 실드막을 갖는 시료 전극 기판 1∼13 및 비교 시료 전극 기판 1에 대해서, 육안에 의해, 나트륨 램프 하에서 실드막 표면의 외관을 관찰했다. 실드막이 형성되어 있지 않은 부분을 실드막의 결손으로 하여, 결손 유무를 평가했다. 실드막의 결손이 없는 경우를 ○, 실드막의 결손이 확인된 경우를 ×로 했다. 결과를 표 1에 나타냈다.The sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrate 1 having a shield film on the metal wire were observed with naked eyes under the sodium lamp to observe the appearance of the shield film surface. The portion where the shield film was not formed was regarded as a defect of the shield film, and the presence or absence of the defect was evaluated. The case where the shield film was not defected was rated as & cir &, and the case where the shield film was confirmed to be defective was evaluated as " X ". The results are shown in Table 1.

(II) 광전 변환 효율(η)의 측정(II) Measurement of photoelectric conversion efficiency (?)

색소 증감형 태양전지의 출력 특성은, JIS C8913:1998의 실리콘 결정계 태양전지 셀의 출력 측정 방법에 준거한 방법으로 측정했다. 300W 솔러 시뮬레이터(야마시타텐소 가부시키가이샤 제조의 「YSS-80」)에, AM1.5G 상당의 에어 매스 필터를 조합하여, 2차 기준 Si 태양전지로 100mW/c㎡의 광량으로 조정해 측정용 광원으로 하고, 색소 증감형 태양전지(시료 전극 기판 1∼13 및 비교 시료 전극 기판 1∼2의 각각에 대응한 것)에 광조사하면서 포텐시오스타트(호쿠토텐코 가부시키가이샤 제작의 「HSV-100」)를 사용해 I-V 커브 특성을 측정하여, I-V 커브 특성으로부터 얻어진 개방 전압(Voc; 단위 V), 단락 전류(Isc; 단위 mA/c㎡), 필 팩터(FF; 단위 없음)를 도출했다. 그리고, 단락 전류 밀도(Jsc; 단위 mA/c㎡) 및, 광전 변환 효율(η; 단위%)을 이하의 식(1), (2)를 사용하여 산출했다. 이와 같이 산출된 광전 변환 효율의 값이 4% 이상이면, 금속 배선의 부식이 발생하지 않고, 또한, 요오드 전해질 용액이 퇴색되지 않아, 광전 변환 효율이 양호하다고 할 수 있다. 결과를 표 1에 나타냈다. 또한, 여기에서 AM1.5G란, 태양광이 대기를 통과하는 거리를 나타낸다. 적도 바로 아래에서의 태양광이 대기를 통과하는 거리인 AM1.0G가 기준이 되며, AM1.5G는 도쿄(東京)에서의 값에 상당한다.The output characteristics of the dye-sensitized solar cell were measured in accordance with the method of measuring the output of a silicon crystal solar cell of JIS C8913: 1998. An air mass filter equivalent to AM 1.5G was combined with a 300W solar simulator ("YSS-80" manufactured by Yamashita Tenso Co., Ltd.), and the light amount was adjusted to 100 mW / ("HSV-100" manufactured by Hokuto Chemical Co., Ltd.) while irradiating light to the dye-sensitized solar cell (corresponding to each of the sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrates 1 and 2) (Voc (unit V), short-circuit current (Isc; unit mA / cm 2), and fill factor (FF (unitless)) obtained from the I-V curve characteristic are derived by measuring the I- did. The short circuit current density Jsc (unit mA / cm 2) and the photoelectric conversion efficiency? (Unit%) were calculated using the following equations (1) and (2). If the value of the photoelectric conversion efficiency thus calculated is 4% or more, corrosion of the metal wiring does not occur, and the iodine electrolyte solution is not discolored, so that the photoelectric conversion efficiency is good. The results are shown in Table 1. Here, AM1.5G indicates the distance through which the sunlight passes through the atmosphere. AM1.0G, the distance that the sunlight passes directly under the equator, is the standard, and AM1.5G corresponds to the value in Tokyo.

Figure 112014105117565-pat00001
Figure 112014105117565-pat00001

Figure 112014105117565-pat00002
Figure 112014105117565-pat00002

(III) 실드막을 갖는 금속 배선의 내식성의 평가(III) Evaluation of Corrosion Resistance of Metal Wiring Having a Shield Film

상기 (II)의 광전 변환 효율(η)의 측정을 행한 직후에, 실드막을 갖는 금속 배선의 외관 검사를 행했다. 육안에 의해, 금속 배선을 관찰해, 부식이나 배선의 변색을 확인하고, 변화가 없었던 경우에는 「양호/○」, 변화(부식이나 변색)가 보인 경우에는 「불량/×」으로서 평가했다. 결과를 표 1에 나타냈다.Immediately after the measurement of the photoelectric conversion efficiency (?) Of the above (II), the appearance of the metal wiring having the shield film was inspected. The metal wiring was observed with naked eyes to confirm the corrosion and the discoloration of the wiring. When there was no change, it was evaluated as " good /? &Quot;, and when it was changed (corrosion or discoloration), it was evaluated as " defective / x ". The results are shown in Table 1.

Figure 112010026914298-pat00003
Figure 112010026914298-pat00003

표 1에 나타난 결과로부터 분명한 바와 같이, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물을 사용하여 형성한 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지(실시예 1∼12)는, 종래 기술의 수지 조성물을 사용하여 형성한 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지(비교예 1)나, 실드막을 갖지 않는 색소 증감형 태양전지(비교예 2)와 비교하여, 광전 변환 효율이 양호함과 동시에, 실드막의 결손이 전혀 없고, 또한 전해액에 대한 높은 내식성을 갖는 것을 알았다. 특히, 실시예 1∼4의 결과로부터는, 임의 성분인 [G]밀착 보조제 및/또는 [H]계면활성제를 사용함으로써, 더욱 광전 변환 효율이 향상되는 것을 알았다. 또한, 실시예 4∼12의 결과로부터는, 여러 가지의 [A]∼[C]를 사용한 경우에 있어서도, 양호한 특성을 얻을 수 있는 것을 알았다. 이와 같이, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물을 사용함으로써, 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서의 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에서, 금속 배선이 존재하는 부분에만 정확하게 실드막을 형성하는 것이 가능하며, 우수한 광전 변환 효율을 유지하면서, 높은 내식성을 얻을 수 있다. 또한, 실시예 13의 결과로부터, 본 발명의 감방사선성을 갖지 않는 수지 조성물을 사용하여 형성한 실드막은, 결손이 전혀 없고, 또한 전해액에 대한 높은 내식성을 갖고, 이 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지에 있어서도, 양호한 광전 변환 효율을 갖는 것을 알았다.As is evident from the results shown in Table 1, the dye-sensitized solar cells (Examples 1 to 12) having a shield film formed using the resin composition having the radiation-sensitive properties were prepared by using the resin composition of the prior art Compared with the dye-sensitized solar cell having the shield film (Comparative Example 1) and the dye-sensitized solar cell having no shield film (Comparative Example 2), the photoelectric conversion efficiency was good, the shield film was not defected at all, It was found that it has a high corrosion resistance to an electrolytic solution. In particular, from the results of Examples 1 to 4, it was found that the photoelectric conversion efficiency was further improved by using the [G] adhesion auxiliary agent and / or the [H] surfactant as optional components. From the results of Examples 4 to 12, it was also found that good characteristics can be obtained even when various kinds of [A] to [C] are used. By using the resin composition having the radiation-sensitive properties as described above, it is possible to form a shield film precisely only on the portion where the metal wiring exists on the substrate having the stepped portion of the metal wiring in the dye-sensitized solar cell electrode, High corrosion resistance can be obtained while maintaining photoelectric conversion efficiency. It is also understood from the results of Example 13 that the shield film formed by using the resin composition having no radiation-sensitive property of the present invention has no defect and has high corrosion resistance to the electrolytic solution, It was found that the photoelectric conversion efficiency was also good in batteries.

<산업상 이용가능성>&Lt; Industrial applicability >

감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물에서는, 감방사선성을 사용한 노광·현상에 의해 패턴을 형성하기 때문에, 색소 증감형 태양전지용 전극에 있어서의 금속 배선의 단차를 갖는 기판상에서, 금속 배선이 존재하는 부분에만 균일한 두께의 실드막을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물은, 금속 배선의 개소에만 정확하게 실드막을 형성할 수 있기 때문에, 막의 결손이 없고, 충분한 내식성을 갖는다. 이 실드막을 갖는 색소 증감형 태양전지용 전극은 높은 광전 변환 효율을 갖는다. 따라서, 감방사선성을 갖는 당해 수지 조성물은, 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 재료로서 적합하게 사용할 수 있다. 또한 본 발명의 감방사선성을 갖지 않는 수지 조성물은, 도포 공정 및 가열 공정이라는 비교적 간이한 공정만으로, 저비용으로 실드막을 형성 가능한 수지 조성물 및, 이 내식성을 갖는 실드막을 구비한 광전 변환 효율이 우수한 색소 증감형 태양전지용 전극을 제공할 수 있다.In the resin composition having a radiation-sensitive property, a pattern is formed by exposure and development using radiation-sensitive properties. Therefore, on a substrate having a step of a metal wiring in a dye-sensitized solar cell electrode, It is possible to form a shield film having a uniform thickness only. In addition, the resin composition having a radiation-sensitive property can form a shield film precisely only at a portion of a metal wiring, and thus has no defect of a film and has sufficient corrosion resistance. The dye-sensitized solar cell electrode having this shield film has high photoelectric conversion efficiency. Therefore, the resin composition having a radiation-sensitive property can be suitably used as a material for forming a shield film of a dye-sensitized solar cell electrode. Further, the resin composition having no radiation-sensitive property of the present invention is a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by only a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and a resin composition having a shield film having corrosion resistance and having excellent photoelectric conversion efficiency An electrode for a sensitized solar cell can be provided.

1 : 기판
2 : 투명 도전막
3 : 금속 배선층
4 : 다공질 산화물 반도체층
5 : 도막
6 : 실드막
7 : 실드막을 갖는 전극 기판
8 : 광증감 색소가 담지된 다공질 산화물 반도체층
9 : 대향 전극
10 : 요오드 전해질 용액
11 : 접착성 필름
1: substrate
2: transparent conductive film
3: metal wiring layer
4: Porous oxide semiconductor layer
5:
6: shield film
7: Electrode substrate having a shield film
8: A porous oxide semiconductor layer carrying a photoimageable dye
9: opposite electrode
10: Iodine electrolyte solution
11: Adhesive film

Claims (13)

도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체와, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록 형성되는 실드막을 구비하고,
상기 실드막은, [A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체를 함유하는 수지 조성물의 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 색소 증감형 태양전지용 전극.
A laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on a front surface side of the conductive substrate; and a shield film formed so as to cover at least the entire metal wiring layer,
Wherein the shielding film is a cured product of a resin composition containing a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group. Type solar cell.
제1항에 있어서,
상기 수지 조성물이, [B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물을 추가로 함유하는 색소 증감형 태양전지용 전극.
The method according to claim 1,
Wherein the resin composition further comprises a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond [B].
제2항에 있어서,
[B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물이, 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 색소 증감형 태양전지용 전극.
3. The method of claim 2,
(B) the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is at least one selected from the group consisting of a monofunctional (meth) acrylate, a bifunctional (meth) acrylate and a trifunctional or more (meth) Type solar cell.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 수지 조성물이 [C]감방사선성 중합 개시제를 추가로 포함하는 색소 증감형 태양전지용 전극.
The method according to claim 2 or 3,
Wherein the resin composition further comprises a [C] radiation-sensitive polymerization initiator.
제4항에 있어서,
[C]감방사선성 중합 개시제가, O-아실옥심 화합물과 아세토페논 화합물의 어느 한쪽 또는 양쪽인 색소 증감형 태양전지용 전극.
5. The method of claim 4,
[C] An electrode for a dye-sensitized solar cell, wherein the radiation-sensitive radiation polymerization initiator is one or both of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound.
도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록 형성되는 실드막을 형성하기 위해 이용되는 수지 조성물로서,
[A]카복실기, 에폭시기 및 (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 공중합체를 함유하는, 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막 형성용 수지 조성물.
1. A resin composition for forming a shield film formed so that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on a front surface side of the conductive substrate,
[A] A resin composition for forming a shielding film for a dye-sensitized solar cell, comprising a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group.
제6항에 있어서,
[B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물 및,
[C]감방사선성 중합 개시제
를 추가로 함유하는 수지 조성물.
The method according to claim 6,
[B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond,
[C] Radiation-sensitive polymerization initiator
By weight.
제7항에 있어서,
[B]에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물이, 단관능 (메타)아크릴레이트, 2관능 (메타)아크릴레이트 및 3관능 이상의 (메타)아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 수지 조성물.
8. The method of claim 7,
Wherein the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is at least one selected from the group consisting of a monofunctional (meth) acrylate, a bifunctional (meth) acrylate, and a trifunctional or higher (meth) .
제7항에 있어서,
[C]감방사선성 중합 개시제가, O-아실옥심 화합물과 아세토페논 화합물의 어느 한쪽 또는 양쪽인 수지 조성물.
8. The method of claim 7,
[C] The resin composition according to any one of the above items, wherein the radiation sensitive polymerization initiator is at least one of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound.
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물로 형성되는 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막.A shield film for an electrode for a dye-sensitized solar cell formed from the resin composition according to any one of claims 6 to 9. 제10항에 기재된 실드막을 구비하는 색소 증감형 태양전지.A dye-sensitized solar cell comprising the shield film according to claim 10. (1) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 제6항에 기재된 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정 및,
(2) 공정(1)에서 형성된 도막을 가열하는 공정
을 갖는 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 방법.
(1) a step of forming a coating film of the resin composition according to claim 6 so that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate,
(2) a step of heating the coating film formed in the step (1)
Of the electrode for a dye-sensitized solar cell.
(i) 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면측의 금속 배선층을 구비한 적층체에, 적어도 금속 배선층의 전체가 덮이도록, 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정,
(ii) 공정(i)에서 형성한 도막의 금속 배선층상에 적층되어 있는 부분에만 방사선을 조사하는 공정,
(iii) 공정(ii)에서 방사선이 조사된 도막을 현상하는 공정 및,
(iv) 공정(iii)에서 현상된 도막을 가열하는 공정
을 갖는 색소 증감형 태양전지용 전극의 실드막의 형성 방법.
(i) a coating film of the resin composition according to any one of claims 7 to 9 is formed so that at least a metal wiring layer is entirely covered with a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the front surface side of the conductive substrate The process,
(ii) a step of irradiating only the portion of the coating film formed in the step (i) on the metal wiring layer,
(iii) a step of developing the coating film irradiated with the radiation in the step (ii)
(iv) a step of heating the developed coating film in the step (iii)
Of the electrode for a dye-sensitized solar cell.
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