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KR101614433B1 - Diamond dresser for double side polishing apparatus - Google Patents

Diamond dresser for double side polishing apparatus Download PDF

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KR101614433B1
KR101614433B1 KR1020100001199A KR20100001199A KR101614433B1 KR 101614433 B1 KR101614433 B1 KR 101614433B1 KR 1020100001199 A KR1020100001199 A KR 1020100001199A KR 20100001199 A KR20100001199 A KR 20100001199A KR 101614433 B1 KR101614433 B1 KR 101614433B1
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segment
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protrusion
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이영호
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주식회사 엘지실트론
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Abstract

본 발명에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서는 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있고, 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있다는 장점을 가진다. The diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to the present invention has an advantage that the joining and separation of a segment and a body can be easily and quickly performed, and the flatness between the segments can be improved.

Description

양면 연마장치용 다이아몬드 드레서{Diamond dresser for double side polishing apparatus} [0001] The present invention relates to a diamond dresser for a double side polishing apparatus,

본 발명은 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있고 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diamond dresser for a double-side polishing apparatus, and more particularly, to a diamond dresser for a double-side polishing apparatus capable of easily and quickly separating and separating a segment and a body, To a diamond dresser for an apparatus.

일반적으로, 웨이퍼 양면 연마(wafer double side polishing) 공정에서는 다이아몬드 드레서를 이용하여 주기적으로 패드를 연마한다. 다이아몬드 드레서는 정반의 내경부에 위치한 선기어(sun gear)와 정반의 외경부에 위치한 인터널 기어(internal) 사이에 설치되어 선기어 및 인터널 기어와 맞물려서 자전과 공전을 하면서 패드를 연마함으로써 패드 전체에 균일한 패드 드레싱(pad dressing) 효과를 가져온다. Generally, in a wafer double side polishing process, the pad is periodically polished using a diamond dresser. The diamond dresser is installed between the sun gear located at the inner diameter of the table and the internal gear located at the outer diameter of the table. It is engaged with the sun gear and the internal gear to polish the pad while rotating and revolving, Resulting in a uniform pad dressing effect.

상기 드레싱을 주기적으로 하면 연속 가동(run)에 의해 패드에 축적된 가공 잔류물을 제거할 수 있고 패드의 변형을 신선한(fresh) 상태로 전환할 수 있기 때문에 웨이퍼의 평탄도를 향상시킬 수 있다. Periodically, the dressing can improve the flatness of the wafer because it is possible to remove the processing residues accumulated in the pad by a continuous run and to convert the deformation of the pad into a fresh state.

도 1 내지 도 3b에 나타난 바와 같이, 다이아몬드 드레서(diamond dresser)는 몸체(body)와, 몸체에 결합된 세그먼트(segment)로 이루어진다. As shown in Figs. 1 to 3B, a diamond dresser is composed of a body and a segment coupled to the body.

몸체(11)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 몸체(11)에는 24개의 세그먼트(12)가 설치된다. 몸체(11)에는 몸체(11)를 관통하는 체결공(11a)이 형성되고, 체결공(11a)에는 몸체(11)와 세그먼트(12)를 결합시키기 위한 볼트가 삽입된다. The body 11 has a ring-shaped disk shape. In the body 11, twenty-four segments 12 are provided. The body 11 is formed with a fastening hole 11a through which the body 11 is inserted and a bolt for coupling the body 11 and the segment 12 is inserted into the fastening hole 11a.

한 개의 세그먼트(12)를 몸체(11)에 결합시키기 위해서 4 개의 볼트가 사용되기 때문에 한 개의 다이아몬드 드레서(10)를 완성하기 위해서는 96번의 볼팅작업을 해야 하고, 드레싱 작업을 위해서는 4개의 다이아몬드 드레서(10)가 1세트(set)로 한꺼번에 사용되기 때문에 1세트의 다이아몬드 드레서(10)를 위해서는 384번의 볼팅작업이 필요하다. 한편, 다이아몬드 드레서(10)는 6개월 정도 사용되면 다이아몬드가 박리되고 연마되기 때문에 새로운 세그먼트(12)로 교체해야 한다. Since four bolts are used to join one segment 12 to the body 11, it is necessary to perform 96 bolting operations in order to complete one diamond dresser 10, and four diamond dressers 10) are used together in one set, 384 bolting operations are required for one set of diamond dressers (10). On the other hand, when the diamond dresser 10 is used for about six months, it is necessary to replace the diamond with the new segment 12 because the diamond is peeled and polished.

위에 설명한 바와 같이, 세그먼트(12)와 몸체(11)의 결합 및 분리를 위해서 많은 볼팅작업이 필요하기 때문에 세그먼트(12)와 몸체(11)의 결합 및 분리에 많은 시간이 소요된다. 따라서, 웨이퍼 제조업체에서는 다이아몬드 드레서 제조업자(maker)에게 세그먼트 교체작업을 맡기고 있는데, 이에 따라 상기 제조업자에게 필요이상으로 비용이 많이 지불되고 있는 실정이다. As described above, since much bolting work is required for joining and separating the segment 12 and the body 11, much time is required for joining and separating the segment 12 and the body 11. Accordingly, the wafer manufacturer entrusts the diamond dresser maker with the replacement of the segments, which causes the manufacturer to pay more than necessary.

한편, 하나의 세그먼트(12)를 결합시키기 위한 4개의 볼트간에 조임 정도가 서로 다르면 세그먼트(12) 간의 높이와 평탄도가 맞지 않게 되는데, 이 경우에는 다이아몬드 드레싱 작업에 문제가 생길 수 있다. On the other hand, if the degree of tightening between the four bolts for joining one segment 12 is different from each other, the height and flatness between the segments 12 do not match. In this case, a problem may arise in the diamond dressing work.

본 발명은 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 제공하는 데 그 목적이 있다. It is an object of the present invention to provide a diamond dresser for a double-side polishing apparatus which can be easily and quickly assembled and separated from a segment and a body.

본 발명의 또 다른 목적은 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 제공하는 데 있다. It is still another object of the present invention to provide a diamond dresser for a double-side polishing apparatus capable of improving the flatness between segments.

상기 문제점들을 해결하기 위해서 본 발명에 따른 연마장치용 다이아몬드 드레서는, 링 모양의 디스크 형상을 가지고 양면 중에서 한쪽 면(31)에 요홈부가 형성된 몸체; 한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 요홈부와 형합하는 돌출부가 형성되며, 돌출부가 요홈부에 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및, 몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비한다. In order to solve the above problems, a diamond dresser for a polishing apparatus according to the present invention includes: a body having a ring-shaped disk shape and having a groove formed on one surface 31 of both surfaces; A dressing layer made of diamond is formed on one surface 21 and a protrusion formed on the other surface 22 to cooperate with the recessed portion and a protrusion is inserted into the recessed portion to be fixed to the body; And a fastening member for coupling the body and the segment.

바람직하게, 상기 드레서는 몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및, 세그먼트에 소정 깊이로 형성되고 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시킨다. Preferably, the dresser further includes a through hole formed to penetrate through the body; And a coupling groove formed at a predetermined depth in the segment and formed at a position corresponding to the through hole when the projection is inserted into the recessed groove, wherein the coupling member is inserted into the through hole and the coupling groove to couple the body and the segment to each other .

더욱 바람직하게, 관통공은 요홈부에 형성되고 체결홈은 돌출부에 형성된다.More preferably, the through hole is formed in the recessed groove and the engaging groove is formed in the projecting portion.

여기에서, 요홈부는 그 길이방향의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 폭(S1)이 일정하고, 돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하여 돌출부를 슬라이딩시켜서 요홈부에 삽입할 수 있다. Here, the width S1 of the recessed portion is reduced or the width S1 is constant from the inlet 36 in the longitudinal direction to the end 37, and the protruding portion is formed from one end 26 in the longitudinal direction to the other end The width W1 decreases or the width W1 becomes constant toward the end 27 so that the protrusion can be slid and inserted into the recessed portion.

또한, 요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하거나 폭(S1)이 일정하고, 돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하거나 폭(W1)이 일정한 것이 바람직하다. The width S1 of the recessed portion increases from one surface 31 of the body to the other surface 34 or the width S1 thereof becomes constant as the width of the recessed portion increases from the lower end 28 of the protrusion to the upper end 29, It is preferable that the width W1 of the first substrate W1 is increased or the width W1 thereof is constant.

아울러, 요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하고, 돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하며, 관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고, 탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 요홈부로부터 멀어지게 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 세그먼트 간의 평탄도를 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.The width S1 of the recess increases from one side 31 of the body to the other side 34 and the width W1 of the projection increases as the distance from the lower end 28 to the upper end 29 of the projection increases. The through hole and the coupling groove are provided with an elastic member and a fixing ball. The elastic member is pressed by the coupling member to apply a force to the fixing ball in such a direction as to move the segment away from the recessed groove. It is preferable to apply the force to the segment in the inserted state. In this case, there is an advantage that the flatness between the segments can be improved.

본 발명에 따른 다이아몬드 드레서의 변형예는, 링 모양의 디스크 형상을 가지고 양면 중에서 한쪽 면(61)에 돌출부가 형성된 몸체; 한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 돌출부와 형합하는 요홈부가 형성되며, 요홈부에 돌출부가 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및, 몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비한다. A modification of the diamond dresser according to the present invention is a diamond dresser comprising: a body having a ring-shaped disk shape and having protrusions formed on one surface (61) of both surfaces; A dressing layer made of diamond on one side and a groove formed on the other side surface 52 to fit with the protrusion, the protrusion being inserted into the recess and being fixed to the body; And a fastening member for coupling the body and the segment.

바람직하게, 상기 드레서는 몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및 세그먼트에 소정 깊이로 형성되고, 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시킨다. Preferably, the dresser further includes a through hole formed to penetrate through the body; And a fastening groove formed at a predetermined depth in the segment and formed at a position corresponding to the through hole when the projecting portion is inserted into the recessed groove, wherein the fastening member is inserted into the through hole and the fastening groove to couple the body and the segment to each other .

더욱 바람직하게, 관통공은 돌출부에 형성되고 체결홈은 요홈부에 형성된다.More preferably, the through-hole is formed in the projecting portion and the engaging groove is formed in the recessed portion.

또한, 돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 폭(S2)이 일정하고, 요홈부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하여 세그먼트를 슬라이딩시켜서 요홈부에 돌출부를 삽입할 수 있는 것이 바람직하다. The width S2 of the protrusion is reduced or the width S2 is constant from one end 66 in the longitudinal direction to the other end 67 and the width of the protrusion is increased from one end 56 in the length direction It is preferable that the width W2 decreases or the width W2 becomes constant toward the other end 57 so that the protrusion can be inserted into the recessed portion by sliding the segment.

아울러, 돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하거나 폭(S2)이 일정하고, 세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하거나 폭(W2)이 일정한 것이 바람직하다. The width S2 of the protrusion is increased from the lower end 68 to the upper end 69 and the width S2 is constant and the width W2 of the recessed portion from the other surface 52 of the segment toward the one surface is increased, Or the width W2 is preferably constant.

나아가, 돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하고, 세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하며, 관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고, 탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 돌출부로부터 멀어지게 하는 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 세그먼트 간의 평탄도를 향상시킬 수 있다. The width S2 of the protrusion increases from the lower end 68 to the upper end 69 and the width W2 of the recess increases from the other surface 52 of the segment toward the one surface, Wherein the elastic member and the fixing ball are provided in the groove and the elastic member is pressed by the coupling member to apply a force in the direction for moving the segment away from the protrusion to the fixing ball, It is desirable to apply a force to the segment. In this case, the flatness between the segments can be improved.

본 발명에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서는 다음과 같은 효과를 가진다. The diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to the present invention has the following effects.

첫째, 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있다.First, it is easy and quick to combine and separate the segment and the body.

둘째, 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있다. Second, the flatness between the segments can be improved.

셋째, 세그먼트를 몸체에 결합하는 과정에서 세그먼트의 몸체 내부쪽과 바깥쪽 방향이 바뀌어서 몸체에 결합되는 것을 방지할 수 있다. Third, it is possible to prevent the inner and outer directions of the segments of the segment from being changed and coupled to the body during the process of joining the segments to the body.

도 1은 종래 기술에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 평면도.
도 2a는 도 1의 다이아몬드 드레서에 구비된 몸체의 앞면을 보여주는 평면도.
도 2b는 도 2a의 몸체의 뒷면을 보여주는 평면도.
도 3a는 도 1의 다이아몬드 드레서에 구비된 세그먼트를 보여주는 평면도.
도 3b는 도 3a의 세그먼트가 도 2a의 몸체에 설치된 것을 보여주는 평면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도.
도 6은 도 5의 세그먼트가 도 4의 몸체에 설치된 것을 보여주는 부분 단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 부분 단면도.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도. 1 is a plan view showing a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to the prior art;
FIG. 2A is a plan view showing a front surface of a body provided in the diamond dresser of FIG. 1; FIG.
Fig. 2b is a plan view showing the back side of the body of Fig. 2a. Fig.
FIG. 3A is a plan view showing segments provided in the diamond dresser of FIG. 1; FIG.
Figure 3b is a top plan view showing the segment of Figure 3a installed in the body of Figure 2a;
FIG. 4 is a perspective view showing a part of a body of a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention; FIG.
5 is a perspective view showing a segment of a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Figure 6 is a partial cross-sectional view showing the segment of Figure 5 installed in the body of Figure 4;
7 is a partial sectional view showing a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a perspective view showing a part of a body of a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a third embodiment of the present invention; FIG.
9 is a perspective view showing a segment of a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도이고, 도 5는 상기 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도이며, 도 6은 상기 세그먼트가 상기 몸체에 설치된 것을 보여주는 단면도이다.FIG. 4 is a perspective view showing a part of a body of a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 5 is a perspective view showing a segment of the diamond dresser for the double- And FIG.

도면을 참조하면, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서(100)는 몸체(30)와, 몸체(30)에 설치된 세그먼트(20) 및, 몸체(30)에 세그먼트(20)를 설치하기 위한 체결부재(40)를 구비한다.  Referring to the drawings, a diamond dresser 100 for a double-side polishing apparatus includes a body 30, a segment 20 provided on the body 30, and a fastening member 40 for attaching the segment 20 to the body 30 .

몸체(30)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 상기 디스크 형상의 바깥쪽에는 선기어 및 인터널 기어와 맞물리는 기어가 형성된다. 도 4에서는 상기 기어의 도시가 생략되었다. The body 30 has a ring-shaped disk shape. A gear for engaging with the sun gear and the internal gear is formed on the outside of the disk shape. In Fig. 4, the illustration of the gear is omitted.

몸체(30)의 양면(31)(34) 중에서 한쪽 면(31)에는 요홈부(32)가 소정간격으로 복수 개가 형성된다. 요홈부(32)의 개수는 세그먼트(20)의 개수와 동일하다. 즉, 각 요홈부(32)에는 하나의 세그먼트(20)가 설치된다. A plurality of recessed portions 32 are formed at predetermined intervals on one surface 31 of the body 30 on both sides 31 and 34 thereof. The number of the recessed portions 32 is the same as the number of the segments 20. That is, one segment 20 is provided in each recessed portion 32.

요홈부(32)에는 세그먼트(20)의 돌출부(23)가 요홈부(32)의 길이방향(y방향)을 따라 슬라이딩되어서 삽입된다. 이를 위해서, 요홈부(32)는 그 길이방향(y 방향)의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 일정한 것이 바람직한데, 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 폭(S1)이 줄어들도록 형성되는 것이 더욱 바람직하다. 이것은 세그먼트(20)가 몸체(30)에 설치된 후에 임의로 y 방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위해서이다. The projecting portion 23 of the segment 20 is inserted into the recessed groove portion 32 while sliding along the longitudinal direction (y direction) of the recessed portion 32. [ For this purpose, it is preferable that the width S1 of the recessed portion 32 is reduced or constant from the inlet 36 to the end 37 in the longitudinal direction (y direction) It is more preferable that the width S1 is formed so as to decrease as the distance becomes shorter. This is to prevent the segment 20 from deviating in the y direction arbitrarily after the segment 20 is installed on the body 30.

또한, 요홈부(32)는 몸체(31)의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하거나 일정한 것이 바람직한데, 폭(S1)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 요홈부(32)의 폭(S1)이 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 증가하면 요홈부(32)에 삽입된 돌출부(23)가 -z 방향으로 임의로 이탈하는 것을 방지할 수 있다. It is preferable that the width S1 of the recessed portion 32 increases from one surface 31 of the body 31 toward the other surface 34. It is preferable that the width S1 is increased desirable. When the width S1 of the recessed groove portion 32 increases from one face 31 to the other face 34, the projected portion 23 inserted into the recessed portion 32 is prevented from deviating freely in the -z direction .

한편, 몸체(30)에는 세그먼트(20)를 체결하기 위한 관통공(33)이 형성되는데, 관통공(33)은 몸체(30)를 관통하도록 형성된다. 관통공(33)은 요홈부(32)에 형성되는 것이 바람직하다. 관통공(33)은 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 체결홈(24)과 대응되도록 형성된다. A through hole 33 for fastening the segment 20 is formed in the body 30. The through hole 33 is formed to pass through the body 30. [ The through hole 33 is preferably formed in the recessed portion 32. The through hole 33 is formed so as to correspond to the engaging groove 24 in a state where the projecting portion 23 is inserted into the recessed portion 32.

세그먼트(20)는 몸체(30)에 복수 개가 설치된다. 세그먼트(20)의 한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 돌출부(23)가 형성된다. A plurality of segments (20) are provided on the body (30). A diamond dressing layer is formed on one side 21 of the segment 20 and a protrusion 23 is formed on the other side 22.

돌출부(23)는 요홈부(32)와 형합하는 구조를 가진다. 바람직하게, 돌출부(23)는 그 길이방향(y 방향)의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하다. 따라서, 요홈부(32)의 입구(36)에 돌출부(23)를 위치시킨 상태에서 세그먼트(20)를 슬라이딩시켜 돌출부(23)를 요홈부(32)에 삽입할 수 있다.The protruding portion 23 has a structure of mating with the recessed portion 32. The width W1 of the protruding portion 23 is reduced or the width W1 thereof is constant from one end 26 to the other end 27 in the longitudinal direction (y direction). The protruding portion 23 can be inserted into the recessed portion 32 by sliding the segment 20 while the protruding portion 23 is positioned at the inlet 36 of the recessed portion 32. [

또한, 돌출부(23)는 그 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 폭(W1)이 증가하거나 폭(W1)이 일정한 것이 바람직한데, 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부(23)의 폭(W1)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 돌출부(23)의 폭(W1)이 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 증가하면 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 세그먼트(20)가 임의로 -z 방향으로 이탈하는 것을 방지할 수 있다. It is preferable that the width W1 of the protrusion 23 increases from the lower end 28 to the upper end 29 or the width W1 of the protrusion 23 increases from the lower end 28 to the upper end 29, Is increased so as to increase the width W1. If the width W1 of the protrusion 23 increases from the lower end 28 to the upper end 29, the protrusion 23 is inserted into the recessed portion 32, Can be prevented.

세그먼트(20)에는 체결홈(24)이 형성된다. 체결홈(24)은 돌출부(23)에 소정 깊이로 형성되는 것이 바람직한데, 체결홈(24)은 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 관통공(33)과 대응되도록 형성된다. In the segment 20, a fastening groove 24 is formed. It is preferable that the engaging groove 24 is formed at a predetermined depth in the protrusion 23 so that the engaging groove 24 is formed to correspond to the through hole 33 in the state where the protrusion 23 is inserted into the recessed portion 32 do.

체결부재(40)는 세그먼트(20)를 몸체(30)에 결합시킨다. 전술한 바와 같이, 돌출부(23)와 요홈부(32)가 서로 형합하는 구조를 가지고 돌출부(23)와 요홈부(32)가 길이방향(y방향)으로 갈수록 그 폭(S1)(W1)이 줄어들며 돌출부(23)와 요홈부(32)가 z방향으로 갈수록 그 폭(S1)(W1)이 커지기 때문에 체결부재(40)는 세그먼트(20)가 -y 방향으로 이탈하는 것만 방지하면 된다. 따라서, 본 발명에 따른 다이아몬드 드레서(100)는 한 개의 체결부재(40)만으로도 세그먼트(20)를 몸체(30)에 효과적으로 고정할 수 있다는 특징을 가진다. 즉, 체결홈(24)과 관통공(33) 및 체결부재(40)가 각각 하나씩만 구비되면 된다. 하나의 체결부재(40)만으로도 세그먼트(20)를 몸체(30)에 효과적으로 고정할 수 있기 때문에 세그먼트(20)의 결합 및 분리 작업이 간단하고 신속하며 효과적으로 이루어질 수 있다. The fastening member (40) engages the segment (20) with the body (30). As described above, the protrusion 23 and the concave groove 32 have a structure in which the protrusion 23 and the concave groove 32 are mutually fitted, and the width S1 (W1) of the protrusion 23 and the concave groove 32 Since the width S1 of the protrusion 23 and the recessed portion 32 increases in the z direction, the fastening member 40 only needs to prevent the segment 20 from deviating in the -y direction. Therefore, the diamond dresser 100 according to the present invention is characterized in that the segment 20 can be effectively fixed to the body 30 by only one fastening member 40. That is, only one fastening groove 24, one through hole 33, and one fastening member 40 may be provided. Since the segment 20 can be effectively fixed to the body 30 by only one fastening member 40, the joining and separating operation of the segment 20 can be made simple, quick, and effective.

한편, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 부분 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view showing a diamond dresser for a double-side polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

상기 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서(100a)는 몸체(30)와, 몸체(30)에 설치되는 세그먼트(20)와, 체결부재(40a)와, 탄성부재(42) 및, 고정용 볼(44)을 구비한다. 몸체(30)와 세그먼트(20)는 제1 실시예의 몸체(30) 및 세그먼트(20)와 각각 동일한 구조를 가지고 있기 때문에 여기서는 설명을 생략하기로 한다.The diamond dresser 100a for a double-side polishing apparatus comprises a body 30, a segment 20 provided on the body 30, a fastening member 40a, an elastic member 42, a fixing ball 44, Respectively. The body 30 and the segment 20 have the same structure as the body 30 and the segment 20 of the first embodiment, respectively, and therefore, a description thereof will be omitted.

다이아몬드 드레서(100a)는 체결부재(40a)와 탄성부재(42) 및 고정용 볼(44)이 협력하여 세그먼트(20)를 몸체(30)에 고정한다는 특징을 가진다. The diamond dresser 100a is characterized in that the fastening member 40a, the elastic member 42 and the fixing ball 44 cooperate to fix the segment 20 to the body 30. [

탄성부재(42)는 관통공(33)에 설치되고, 고정용 볼(44)은 탄성부재(42)와 체결홈(24) 사이에 설치된다. 탄성부재(42)로는 통상적인 스프링 등이 사용될 수 있다. 탄성부재(42)는 체결부재(40a)에 의해서 가압된 상태에서 세그먼트(20)를 요홈부(32)로부터 멀어지게 방향(-z 방향)의 힘을 고정용 볼(44)에 가하고, 고정용 볼(44)은 체결홈(24)에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트(20)에 가한다.The elastic member 42 is provided in the through hole 33 and the fixing ball 44 is provided between the elastic member 42 and the fastening groove 24. As the elastic member 42, a conventional spring or the like may be used. The elastic member 42 applies the force in the direction (-z direction) away from the recessed portion 32 to the fixing ball 44 while the segment 20 is pressed by the fastening member 40a, The ball 44 applies the force to the segment 20 in a state of being inserted into the engaging groove 24.

'배경기술'에서 설명한 바와 같이, 각 세그먼트(20) 간에 평탄도가 불량하면 패드 드레싱에 부정적인 영향을 주게 된다. 다이아몬드 드레서(100a)는 각 세그먼트(20) 간에 높이 차이가 다소 있더라도 탄성부재(42)가 상기 높이 차이를 흡수할 수 있기 때문에 양호한 평탄도를 보여줄 수 있다. As described in the Background Art, poor flatness between the segments 20 has a negative effect on the pad dressing. The diamond dresser 100a can exhibit a good flatness because the elastic member 42 can absorb the height difference even if the height difference between the segments 20 is somewhat small.

한편, 이상에서는 세그먼트(20)에 돌출부(23)가 형성되고 몸체(30)에 요홈부(32)가 형성된 것을 설명하였으나, 세그먼트에 요홈부가 형성되고 몸체에 돌출부가 형성될 수도 있다. 도 8은 돌출부가 형성된 몸체의 일부를 보여주는 사시도이고, 도 9는 요홈부가 형성된 세그먼트를 보여주는 사시도이다. 제3 실시예에 따른 다이아몬드 드레서는 상기 몸체(60)와, 상기 세그먼트(50) 및, 체결부재(미도시)를 구비한다. Although the protrusion 23 is formed in the segment 20 and the recess 30 is formed in the body 30 in the above description, the protrusion may be formed in the body and the protrusion may be formed in the protrusion. FIG. 8 is a perspective view showing a part of a body formed with protrusions, and FIG. 9 is a perspective view showing segments formed with recesses. The diamond dresser according to the third embodiment includes the body 60, the segment 50, and a fastening member (not shown).

상기 몸체(60)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 상기 디스크 형상의 바깥에는 선기어 및 인터널 기어와 맞물리는 기어가 형성된다. 도 8에서는 상기 기어의 도시가 생략되었다.The body 60 has a ring-shaped disk shape. A gear engaged with the sun gear and the internal gear is formed outside the disk shape. In Fig. 8, the illustration of the gear is omitted.

몸체(60)의 양면 중에서 한쪽 면(61)에는 돌출부(62)가 소정간격으로 복수 개가 형성된다. 돌출부(62)의 개수는 세그먼트(50)의 개수와 동일하다. 즉, 각 돌출부(62)에는 하나의 세그먼트(50)가 설치된다. A plurality of protrusions 62 are formed on one surface 61 of the body 60 at predetermined intervals. The number of the protrusions 62 is the same as the number of the segments 50. That is, one protrusion (62) is provided with one segment (50).

돌출부(62)는 세그먼트(50)의 요홈부(53)가 -y 방향을 따라 슬라이딩되어서 삽입된다. 이를 위해서, 돌출부(62)는 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 일정한 것이 바람직한데, 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 폭(S2)이 줄어들도록 형성되는 것이 더욱 바람직하다. 이것은 세그먼트(50)가 몸체(60)에 설치된 후에 임의로 y 방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위해서이다. The projecting portion 62 is inserted while the recessed portion 53 of the segment 50 is slid along the -y direction. It is preferable that the width S2 of the protrusion 62 gradually decreases from one end 66 to the other end 67. It is preferable that the width S2 of the protrusion 62 gradually decreases from one end 66 to the other end 67, (S2) is reduced. This is to prevent the segment 50 from deviating in the y direction arbitrarily after the segment 50 is installed on the body 60.

또한, 돌출부(62)는 그 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하거나 일정한 것이 바람직한데, 폭(S2)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 돌출부(62)의 폭(S2)이 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 증가하면 세그먼트(50)가 -z 방향으로 임의로 이탈하는 것을 방지할 수 있다. It is preferable that the width S2 of the protrusion 62 increases or decreases from the lower end 68 toward the upper end 69. It is more preferable that the width S2 increase. If the width S2 of the protrusion 62 increases from the lower end 68 to the upper end 69, it is possible to prevent the segment 50 from deviating freely in the -z direction.

한편, 몸체(60)에는 세그먼트(50)를 체결하기 위한 관통공(63)이 형성되는데, 관통공(63)은 몸체(60)를 관통하도록 형성된다. 관통공(63)은 돌출부(62)에 형성되는 것이 바람직하다. 관통공(63)은 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 체결홈(54)과 대응되도록 형성된다. A through hole 63 for fastening the segment 50 is formed in the body 60. The through hole 63 is formed to penetrate through the body 60. The through hole 63 is preferably formed in the protrusion 62. The through hole 63 is formed so as to correspond to the engaging groove 54 in a state where the protrusion 62 is inserted into the recessed groove 53.

세그먼트(50)는 몸체(60)에 복수 개가 설치된다. 세그먼트(50)의 한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 요홈부(53)가 형성된다. A plurality of the segments 50 are provided on the body 60. A diamond dressing layer is formed on one surface of the segment 50 and a recessed portion 53 is formed on the other surface 52. [

요홈부(53)는 돌출부(62)와 형합하는 구조를 가진다. 바람직하게, 요홈부(53)는 그 길이방향(y 방향)의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하다. 따라서, 요홈부(53)의 한쪽 끝단(56)을 돌출부(62)에 위치시킨 상태에서 세그먼트(50)를 슬라이딩시켜 요홈부(53)에 돌출부(62)를 삽입할 수 있다.The recessed groove portion 53 has a structure of mating with the projecting portion 62. Preferably, the width W2 of the recessed portion 53 is reduced or the width W2 is constant from one end 56 to the other end 57 in the longitudinal direction (y direction). The protrusion 62 can be inserted into the recessed groove 53 by sliding the segment 50 with one end 56 of the recessed groove 53 positioned on the protrusion 62. [

또한, 요홈부(53)는 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 폭(W2)이 증가하거나 폭(W2)이 일정한 것이 바람직한데, 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 폭(W2)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 요홈부(53)의 폭(W2)이 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 증가하면 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 세그먼트(50)가 임의로 -z 방향으로 이탈하는 것을 방지할 수 있다. It is preferable that the width W2 of the recessed portion 53 increase from one surface to the other surface 52 or that the width W2 thereof becomes constant from the other surface 52 to the width W2 ) Is increased. When the width W2 of the recessed groove 53 increases from one surface 52 to the other surface, the segment 50 is freely displaced in the -z direction in a state where the protrusion 62 is inserted into the recessed portion 53 Can be prevented.

세그먼트(50)에는 체결홈(54)이 형성된다. 체결홈(54)은 요홈부(53)에 소정 깊이로 형성되는 것이 바람직한데, 체결홈(54)은 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 관통공(63)과 대응되도록 형성된다. A fastening groove 54 is formed in the segment 50. It is preferable that the engaging groove 54 is formed at a predetermined depth in the recessed groove 53 so that the engaging groove 54 is formed so as to correspond to the through hole 63 in a state where the protrusion 62 is inserted into the recessed groove 53 .

체결부재는 세그먼트(50)를 몸체(60)에 결합시킨다. 체결부재는 제1 실시예의 체결부재(40)와 동일한 구성을 가지므로 여기서는 설명을 생략하기로 한다. The fastening member engages the segment (50) with the body (60). Since the fastening member has the same configuration as that of the fastening member 40 of the first embodiment, a description thereof will be omitted here.

한편, 제3 실시예에 따른 다이아몬드 드레서는 탄성부재(도 7의 42)와 고정용 볼(도 7의 44)을 더 구비할 수도 있다. 탄성부재(42)는 관통공(63)에 설치되고, 고정용 볼(44)은 탄성부재(42)와 체결홈(54) 사이에 설치된다. 탄성부재(42)는 체결부재(40a)에 의해서 가압된 상태에서 세그먼트(50)를 돌출부(62)로부터 멀어지게 방향(-z 방향)의 힘을 고정용 볼(44)에 가하고, 고정용 볼(44)은 체결홈(54)에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트(50)에 가한다.On the other hand, the diamond dresser according to the third embodiment may further include an elastic member (42 in Fig. 7) and a fixing ball (44 in Fig. 7). The elastic member 42 is provided in the through hole 63 and the fixing ball 44 is provided between the elastic member 42 and the fastening groove 54. The elastic member 42 applies a force in the direction (-z direction) away from the protruding portion 62 to the fixing ball 44 while the segment 50 is pressed by the fastening member 40a, (44) applies the force to the segment (50) in a state of being inserted into the engaging groove (54).

30, 60 : 몸체 20, 50 : 세그먼트
23, 62 : 돌출부 32, 53 : 요홈부
100, 100a : 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서 30, 60: body 20, 50: segment
23, 62: projecting portion 32, 53:
100, 100a: Diamond dresser for double-side polishing apparatus

Claims (12)

링 모양의 디스크 형상을 가지고, 양면 중에서 한쪽 면(31)에 요홈부가 형성된 몸체;
한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 요홈부와 형합하는 돌출부가 형성되며, 돌출부가 요홈부에 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및
몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비하고,
상기 몸체에는 몸체를 관통하는 관통공이 형성되어 있고, 상기 세그먼트에는 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 소정 깊이로 체결홈이 형성되어 있어, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시키며,
상기 요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하고, 상기 돌출부는 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 그 폭(W1)이 증가하며,
관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고,
탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 요홈부로부터 멀어지게 하는 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서. A body having a ring-shaped disk shape and formed with a recessed portion on one side 31 of both sides;
A dressing layer made of diamond is formed on one surface 21 and a protrusion formed on the other surface 22 to cooperate with the recessed portion and a protrusion is inserted into the recessed portion to be fixed to the body; And
And a fastening member for coupling the body and the segment,
The body has a through hole formed therethrough. The segment has a coupling groove formed at a position corresponding to the through hole to have a predetermined depth when the projection is inserted into the recessed groove. The coupling member is inserted into the through hole and the coupling groove To insert the body and the segment together,
The width S1 of the protrusion increases from one side 31 of the body toward the other side 34 and the width W1 of the protrusion increases from the lower end 28 to the upper end 29 ,
The through hole and the coupling groove are provided with an elastic member and a fixing ball,
Characterized in that the elastic member is pressed by the fastening member to apply a force in a direction for moving the segment away from the recessed portion to the fastening ball and the fastening ball is applied to the segment in a state of being inserted into the fastening groove, Diamond dresser for polishing equipment. 삭제delete 제1항에 있어서,
관통공은 요홈부에 형성되고 체결홈은 돌출부에 형성된 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.The method according to claim 1,
Wherein the through hole is formed in the recessed portion and the engaging groove is formed in the protruding portion. 제1항 또는 제3항에 있어서,
요홈부는 그 길이방향의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 폭(S1)이 일정하고,
돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하여, 상기 폭이 줄어드는 돌출부를 슬라이딩시켜서 상기 폭이 줄어드는 요홈부에 삽입하거나 상기 폭이 일정한 돌출부를 슬라이딩시켜 상기 폭이 일정한 요홈부에 삽입할 수 있는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서. The method according to claim 1 or 3,
The width S1 of the recessed portion is reduced or the width S1 is constant from the inlet 36 in the longitudinal direction to the end 37,
The width W1 of the protruding portion decreases from one end 26 in the longitudinal direction to the other end 27 and the protruding portion having the reduced width is slid with a constant width W1, And the protruding portion having a constant width can be slid to be inserted into the recessed portion having a constant width. 삭제delete 삭제delete 링 모양의 디스크 형상을 가지고, 양면 중에서 한쪽 면(61)에 돌출부가 형성된 몸체;
한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 돌출부와 형합하는 요홈부가 형성되며, 요홈부에 돌출부가 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및
세그먼트를 몸체에 결합시키는 체결부재;를 구비하고,
상기 몸체에는 몸체를 관통하는 관통공이 형성되어 있고, 상기 세그먼트에는 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 소정 깊이로 체결홈이 형성되어 있어, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시키며,
상기 돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하고, 상기 세그먼트는 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하며,
관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고,
탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 돌출부로부터 멀어지게 하는 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서. A body having a ring-shaped disk shape and having protrusions formed on one surface 61 of both surfaces;
A dressing layer made of diamond on one side and a groove formed on the other side surface 52 to fit with the protrusion, the protrusion being inserted into the recess and being fixed to the body; And
And a fastening member for fastening the segment to the body,
The body has a through hole formed therethrough. The segment has a coupling groove formed at a position corresponding to the through hole to have a predetermined depth when the projection is inserted into the recessed groove. The coupling member is inserted into the through hole and the coupling groove To insert the body and the segment together,
The width S2 of the protrusion increases from the lower end 68 to the upper end 69 and the width W2 of the recess increases as the segment moves from the other face 52 to one face,
The through hole and the coupling groove are provided with an elastic member and a fixing ball,
Characterized in that the resilient member is urged by a fastening member to apply a force in the direction of moving the segment away from the projecting portion to the fastening ball and the fastening ball is applied to the segment in a state of being inserted into the fastening groove, Diamond dresser for devices. 삭제delete 제7항에 있어서,
관통공은 돌출부에 형성되고 체결홈은 요홈부에 형성된 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.8. The method of claim 7,
Wherein the through hole is formed in the protruding portion and the engaging groove is formed in the recessed portion. 제7항 또는 제9항에 있어서,
돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 폭(S2)이 일정하고,
요홈부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하여, 세그먼트를 슬라이딩시켜서 상기 폭이 줄어드는 요홈부에 상기 폭이 줄어드는 돌출부를 삽입하거나 상기 폭이 일정한 요홈부에 상기 폭이 일정한 돌출부를 삽입할 수 있는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
10. The method according to claim 7 or 9,
The width S2 of the projecting portion is reduced or the width S2 is constant from one end 66 in the longitudinal direction to the other end 67,
The width of the groove W2 is reduced or the width W2 is decreased from one end 56 in the longitudinal direction to the other end 57 so that the width of the groove is reduced by sliding the segment, And a protruding portion having a constant width can be inserted into the recessed portion having a constant width.
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