[go: up one dir, main page]

KR101600816B1 - Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof - Google Patents

Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101600816B1
KR101600816B1 KR1020080113253A KR20080113253A KR101600816B1 KR 101600816 B1 KR101600816 B1 KR 101600816B1 KR 1020080113253 A KR1020080113253 A KR 1020080113253A KR 20080113253 A KR20080113253 A KR 20080113253A KR 101600816 B1 KR101600816 B1 KR 101600816B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
light emitting
film transistor
opening
defining layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020080113253A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100054351A (en
Inventor
이권형
황현빈
전상현
한상면
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020080113253A priority Critical patent/KR101600816B1/en
Publication of KR20100054351A publication Critical patent/KR20100054351A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101600816B1 publication Critical patent/KR101600816B1/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/70Surface textures, e.g. pyramid structures
    • H10F77/707Surface textures, e.g. pyramid structures of the substrates or of layers on substrates, e.g. textured ITO layer on a glass substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 스페이서가 둑으로서의 역할을 함으로써 확장된 면적을 가지는 발광 부재를 포함하고, 나아가 그 확장된 발광 부재 아래에 반사막이 위치할 수 있다. 따라서, 유기 발광 표시 장치의 개구율, 휘도, 발광 효율을 향상하고, 공정 원가를 절감한다.An OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a light emitting member having an expanded area, the spacer serving as a dam, and the reflective film may be positioned under the extended light emitting member. Therefore, the aperture ratio, the luminance, and the luminous efficiency of the organic light emitting display device are improved, and the process cost is reduced.

유기 발광 표시 장치, 스페이서, 화소 정의층, 반사막 An organic light emitting display, a spacer, a pixel defining layer,

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법{Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof}[0001] The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same,

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode Display; OLED display)는 두 개의 전극 사이에 유기 발광층을 형성하고, 2 개의 전극으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 유기 발광층 내로 주입시켜 전자와 정공의 결합에 따른 여기자(exciton)를 생성하고, 이 여기자가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 광이 발생하는 원리를 이용한 장치이다.An organic light emitting diode display (OLED display) has an organic light emitting layer formed between two electrodes, and electrons and holes are injected from the two electrodes into an organic light emitting layer, Is an apparatus using the principle that excitons due to coupling are generated and light is generated when the excitons fall from the excited state to the ground state.

유기 발광 표시 장치는 자체 발광형으로 별도의 광원이 필요 없으므로 소비전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 응답 속도, 시야각 및 대비비(contrast ratio)도 우수하다.Since the organic light emitting display device is a self light emitting type, a separate light source is not required, so that it is advantageous not only in power consumption but also in response speed, viewing angle, and contrast ratio.

본 발명의 목적은 유기 발광 표시 장치의 개구율, 휘도, 발광 효율을 향상하고, 공정 원가를 절감하는 것이다.It is an object of the present invention to improve the aperture ratio, the luminance, and the luminous efficiency of an organic light emitting display device, and to reduce a process cost.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 서로 교차하는 제1 신호선 및 제2 신호선, 상기 제1 신호선 및 상기 제2 신호선과 연결되어 있는 스위칭 박막 트랜지스터, 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 박막 트랜지스터, 상기 제1 신호선, 제2 신호선, 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 형성되어 있는 보호막, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 반사막, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 개구부를 포함하는 화소 정의층, 상기 화소 정의층의 개구부 내부에 형성되어 있으며 상기 개구부 주위의 경사면 위로 확장 형성되어 있는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있으며 상기 화소 전극을 둘러싸고 있는 스페이서, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 발광 부재, 그리고 상기 발광 부재 위에 형성되어 있는 공통 전극을 포함한다.The OLED display according to an embodiment of the present invention includes a first thin film transistor connected to a first signal line and a second signal line crossing each other, a first signal line and a second signal line, A protective film formed on the first thin film transistor, the first signal line, the second signal line, the switching thin film transistor, and the driving thin film transistor, a reflective film formed on the protective film and connected to the driving thin film transistor, A pixel defining layer formed on the pixel defining layer, a pixel electrode formed inside the opening of the pixel defining layer and extending on an inclined surface around the opening, a spacer formed on the pixel electrode and surrounding the pixel electrode, Emitting portion , And it includes a common electrode formed on the light emitting member.

상기 발광 부재의 경계부는 상기 스페이서의 개구부의 경계부와 접촉할 수 있다.The boundary portion of the light emitting member may contact the boundary portion of the opening portion of the spacer.

상기 스페이서의 개구부의 면적은 상기 화소 정의층의 개구부의 면적보다 넓을 수 있다.The area of the opening of the spacer may be wider than the area of the opening of the pixel defining layer.

상기 반사막은 상기 화소 정의층 위에 형성되어 있을 수 있다.The reflective layer may be formed on the pixel defining layer.

상기 반사막과 상기 화소 전극의 평면 모양은 실질적으로 동일할 수 있다.The planar shape of the reflective film and the pixel electrode may be substantially the same.

상기 화소 전극은 상기 반사막과 접촉할 수 있다.The pixel electrode may be in contact with the reflective film.

상기 반사막은 상기 보호막과 상기 화소 정의층을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있을 수 있다.The reflective layer may be connected to the driving thin film transistor through a contact hole passing through the protective layer and the pixel defining layer.

상기 반사막은 상기 보호막을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있을 수 있다.The reflective film may be connected to the driving thin film transistor through a contact hole passing through the protective film.

상기 화소 전극의 일부는 상기 반사막의 일부와 접촉할 수 있다.And a part of the pixel electrode may contact a part of the reflective film.

상기 공통 전극은 상기 스페이서 위에 형성되어 있을 수 있다.The common electrode may be formed on the spacer.

본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고, 상기 보호막 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고, 상기 반사막 위에 상기 반사막을 둘러싸는 화소 정의층을 형성하고, 상기 화소 정의층과 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고, 상기 화소 전극 위에 상기 화소 전극을 둘러싸는 스페이서를 형성하고, 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고 상기 발광 부재 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes forming a switching thin film transistor on a substrate and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Forming a reflective layer on the protective layer, the reflective layer being connected to the driving thin film transistor, forming a pixel defining layer surrounding the reflective layer on the reflective layer, forming a pixel electrode on the pixel defining layer and the reflective layer, Forming a spacer surrounding the pixel electrode, forming a light emitting member on the pixel electrode, and forming a common electrode on the light emitting member.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고, 상기 보호막 위에 개구부를 포함하는 화소 정의층을 형성하 고, 상기 화소 정의층 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고, 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고, 상기 화소 전극 위에 상기 화소 전극을 둘러싸는 스페이서를 형성하고, 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고 상기 발광 부재 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.A method of fabricating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes forming a switching thin film transistor on a substrate and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor and forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Forming a pixel defining layer including an opening on the passivation layer, forming a reflective layer on the pixel defining layer and connected to the driving thin film transistor, forming a pixel electrode on the reflective layer, Forming a spacer surrounding the pixel electrode, forming a light emitting member on the pixel electrode, and forming a common electrode on the light emitting member.

상기 반사막과 상기 화소 전극을 동시에 식각 공정을 통하여 형성할 수 있다.The reflective film and the pixel electrode can be formed simultaneously through an etching process.

본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법은 스페이서가 둑으로서의 역할을 함으로써 발광 부재의 발광 면적을 넓히고 발광 휘도를 향상하고, 반사막이 확장된 발광 부재 아래에 위치함으로써 발광 효율을 향상하고, 스페이서 공정을 이용하거나 반사막과 화소 전극을 동시에 식각함으로써 공정 원가를 절감한다.The OLED display according to an embodiment of the present invention and the method of manufacturing the OLED display according to the present invention can improve the luminous efficiency by increasing the light emitting area of the light emitting member and improving the light emission brightness, And the process cost is reduced by using a spacer process or etching the reflective film and the pixel electrode at the same time.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호가 사용되었다. 또한 널리 알려져 있는 공지기술의 경우 그 구체적인 설명은 생략한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will be more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same reference numerals are used for the same or similar components throughout the specification. In the case of publicly known technologies, a detailed description thereof will be omitted.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. It will be understood that when an element such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the element directly over another element, On the other hand, when a part is "directly on" another part, it means that there is no other part in the middle. On the contrary, when a portion such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "under" another portion, this includes not only the case where the other portion is "directly underneath" On the other hand, when a part is "directly beneath" another part, it means that there is no other part in the middle.

그러면, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 도 1을 참고하여 상세하게 설명한다.An organic light emitting display according to an embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIG.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수의 신호선(121, 171, 172)과 이들에 연결되어 있으며 대략 행렬(matrix)의 형태로 배열된 복수의 화소(PX)를 포함한다.1, the OLED display includes a plurality of signal lines 121, 171, and 172 and a plurality of pixels PX connected to the plurality of signal lines 121, 171, and 172 and arranged in the form of a matrix. do.

신호선은 게이트 신호(또는 주사 신호)를 전달하는 복수의 게이트선(121), 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선(171) 및 구동 전압을 전달하는 복수의 구동 전압선(172)을 포함한다. 게이트선(121)은 대략 행 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터선(171)과 구동 전압선(172)은 대략 열 방향으로 뻗어 있 으며 서로가 거의 평행하다.The signal line includes a plurality of gate lines 121 for transmitting gate signals (or scanning signals), a plurality of data lines 171 for transmitting data signals, and a plurality of driving voltage lines 172 for transmitting driving voltages. The gate lines 121 extend substantially in the row direction, are substantially parallel to each other, and the data lines 171 and the driving voltage lines 172 extend substantially in the column direction and are substantially parallel to each other.

각 화소(PX)는 스위칭 박막 트랜지스터(switching thin film transistor)(Qs), 구동 박막 트랜지스터(driving thin film transistor)(Qd), 유지 축전기(storage capacitor)(Cst) 및 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)(LD)를 포함한다.Each pixel PX includes a switching thin film transistor Qs, a driving thin film transistor Qd, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode , OLED (LD).

스위칭 박막 트랜지스터(Qs)는 제어 단자, 입력 단자 및 출력 단자를 가지는데, 제어 단자는 게이트선(121)에 연결되어 있고, 입력 단자는 데이터선(171)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 구동 박막 트랜지스터(Qd)에 연결되어 있다. 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)는 게이트선(121)에 인가되는 주사 신호에 응답하여 데이터선(171)에 인가되는 데이터 신호를 구동 박막 트랜지스터(Qd)에 전달한다.The switching thin film transistor Qs has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the gate line 121, the input terminal is connected to the data line 171, And is connected to the transistor Qd. The switching thin film transistor Qs transfers a data signal applied to the data line 171 to the driving thin film transistor Qd in response to a scanning signal applied to the gate line 121. [

구동 박막 트랜지스터(Qd) 또한 제어 단자, 입력 단자 및 출력 단자를 가지는데, 제어 단자는 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)에 연결되어 있고, 입력 단자는 구동 전압선(172)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 유기 발광 다이오드(LD)에 연결되어 있다. 구동 박막 트랜지스터(Qd)는 제어 단자와 출력 단자 사이에 걸리는 전압에 따라 그 크기가 달라지는 출력 전류(ILD)를 흘린다.The driving thin film transistor Qd also has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the switching thin film transistor Qs, the input terminal is connected to the driving voltage line 172, And is connected to the light emitting diode (LD). The driving thin film transistor Qd delivers an output current ILD whose magnitude varies according to the voltage applied between the control terminal and the output terminal.

축전기(Cst)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 제어 단자와 입력 단자 사이에 연결되어 있다. 이 축전기(Cst)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 제어 단자에 인가되는 데이터 신호를 충전하고 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)가 턴 오프(turn-off)된 뒤에도 이를 유지한다.The capacitor Cst is connected between the control terminal and the input terminal of the driving thin film transistor Qd. The capacitor Cst charges the data signal applied to the control terminal of the driving thin film transistor Qd and maintains the data signal even after the switching thin film transistor Qs is turned off.

유기 발광 다이오드(LD)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 출력 단자에 연결되 어 있는 애노드(anode)와 공통 전압(Vss)에 연결되어 있는 캐소드(cathode)를 가진다. 유기 발광 다이오드(LD)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 출력 전류(ILD)에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다.The organic light emitting diode LD has an anode connected to the output terminal of the driving thin film transistor Qd and a cathode connected to the common voltage Vss. The organic light emitting diode LD emits light with different intensity according to the output current ILD of the driving thin film transistor Qd to display an image.

스위칭 박막 트랜지스터(Qs) 및 구동 박막 트랜지스터(Qd)는 n-채널 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)이다. 그러나 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)와 구동 박막 트랜지스터(Qd) 중 적어도 하나는 p-채널 전계 효과 트랜지스터일 수 있다. 또한, 박막 트랜지스터(Qs, Qd), 축전기(Cst) 및 유기 발광 다이오드(LD)의 연결 관계가 바뀔 수 있다.The switching thin film transistor Qs and the driving thin film transistor Qd are n-channel field effect transistors (FETs). However, at least one of the switching thin film transistor Qs and the driving thin film transistor Qd may be a p-channel field effect transistor. Also, the connection relationship between the thin film transistors Qs and Qd, the capacitor Cst, and the organic light emitting diode LD can be changed.

그러면 도 1에 도시한 유기 발광 표시 장치의 상세 구조에 대하여 도 2 및 도 3을 도 1과 함께 참고하여 상세하게 설명한다.The detailed structure of the organic light emitting display shown in FIG. 1 will now be described in detail with reference to FIG. 2 and FIG. 3 together with FIG.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이고, 도 3은 도 2의 유기 발광 표시 장치를 III-III 선을 따라 자른 단면도이다.FIG. 2 is a layout diagram of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a line III-III of the organic light emitting display of FIG.

투명한 유리 또는 플라스틱 따위로 만들어진 절연 기판(110)을 준비한다. An insulating substrate 110 made of transparent glass or plastic is prepared.

기판(110) 위에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 제1 층간 절연막(120)이 형성되어 있다. 제1 층간 절연막(120)은 반도체층(151)과 기판(110)을 분리하는 버퍼(buffer) 역할을 한다. A first interlayer insulating film 120 made of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is formed on the substrate 110. [ The first interlayer insulating film 120 serves as a buffer for separating the semiconductor layer 151 from the substrate 110.

제1 층간 절연막(120) 위에 구동 반도체(154b)가 형성되어 있다. 구동 반도체(154b)는 섬형이며 미세 결정질 규소(microcrystalline silicon) 또는 다결정 규소(polycrystalline silicon) 따위의 결정질 규소로 만들어질 수 있다. A driving semiconductor 154b is formed on the first interlayer insulating film 120. [ The driving semiconductor 154b is island-like and can be made of crystalline silicon, such as microcrystalline silicon or polycrystalline silicon.

구동 반도체(154b)는 도핑 영역과 비도핑 영역을 포함한다. 도핑 영역은 비 도핑 영역을 중심에 두고 양쪽에 위치하며 결정질 규소에 보론(boron, B) 따위의 p형 불순물 또는 인(phosphorous, P) 따위의 n형 불순물이 도핑되어 있다. 비도핑 영역은 불순물이 도핑되지 않은 진성 반도체로 만들어지며 구동 박막 트랜지스터의 채널(channel)이 형성된다.The driving semiconductor 154b includes a doped region and a non-doped region. The doping region is located on both sides of the non-doped region, and the crystalline silicon is doped with a p-type impurity such as boron (B) or an n-type impurity such as phosphorous (P). The non-doped region is made of an intrinsic semiconductor not doped with an impurity, and a channel of the driving thin film transistor is formed.

구동 반도체(154b) 위에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. A gate insulating film 140 made of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is formed on the driving semiconductor 154b.

게이트 절연막(140) 위에 스위칭 제어 전극(switching control electrode)(124a)을 포함하는 게이트선(121) 및 구동 제어 전극(driving control gate)(124b)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 기판의 한 방향을 따라 길게 뻗어 있으며 위로 확장되어 있는 스위칭 제어 전극(124a)과 외부 구동 회로와 연결하기 위한 끝 부분(미도시)을 포함한다. 구동 제어 전극(124b)은 게이트선(121)과 분리되어 있으며, 위쪽으로 길게 뻗은 유지 전극(127)을 포함한다.A gate line 121 including a switching control electrode 124a and a driving control gate 124b are formed on the gate insulating layer 140. [ The gate line 121 extends along one direction of the substrate and includes a switching control electrode 124a extending upward and an end portion (not shown) for connecting to an external driving circuit. The driving control electrode 124b is separated from the gate line 121 and includes a sustaining electrode 127 extending upwardly.

게이트선(121) 및 구동 제어 전극(124b)은 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴 합금을 포함하는 몰리브덴 함유 금속, 크롬(Cr) 또는 크롬 합금을 포함하는 크롬 함유 금속, 티타늄(Ti) 또는 티타늄 합금을 포함하는 티타늄 함유 금속, 탄탈륨(Ta) 또는 탄탈륨 합금을 포함하는 탄탈륨 함유 금속 및 텅스텐(W) 또는 텅스텐 합금을 포함하는 텅스텐 함유 금속 따위의 내화성 금속(refractory metal) 또는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag) 따위의 저저항성 금속으로 만들어질 수 있다.The gate line 121 and the drive control electrode 124b may include a chromium-containing metal, a titanium (Ti), or a titanium alloy including molybdenum-containing metal, chromium (Cr), or a chromium alloy including molybdenum (Mo) Containing tantalum (Ta) or tantalum alloy and a refractory metal such as a tungsten-containing metal containing tungsten (W) or a tungsten alloy, aluminum (Al), copper (Cu) Or silver (Ag).

게이트선(121)과 구동 제어 전극(124b) 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 제2 층간 절연막(160)이 형성되어 있다. A second interlayer insulating film 160 made of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is formed on the gate line 121 and the driving control electrode 124b.

제2 층간 절연막(160) 위에는 구동 입력 전극(173b)을 포함하는 구동 전압선(172)과 구동 출력 전극(175b)이 형성되어 있다.On the second interlayer insulating film 160, a driving voltage line 172 including a driving input electrode 173b and a driving output electrode 175b are formed.

구동 전압선(172)은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차하며 구동 전압을 전달한다. 구동 전압선(172)은 구동 반도체(154b) 위로 뻗어 있는 구동 입력 전극(173b)을 포함하며, 구동 전압선(172)의 일부는 구동 제어 전극(124b)의 유지 전극(127)과 중첩하여 유지 축전기(storage capacitor, Cst)를 형성한다.The driving voltage line 172 extends mainly in the longitudinal direction and crosses the gate line 121 to transmit the driving voltage. The driving voltage line 172 includes a driving input electrode 173b extending over the driving semiconductor 154b and a part of the driving voltage line 172 overlaps with the sustaining electrode 127 of the driving control electrode 124b, storage capacitor, Cst).

구동 출력 전극(175b)은 구동 전압선(172)과 분리되어 있으며 섬형이다. 구동 입력 전극(173b)과 구동 출력 전극(175b)은 각각 접촉 구멍(183a, 183b)를 통하여 구동 반도체(154b)의 도핑 영역에 각각 전기적으로 연결되어 있다. 구동 전압선(172)과 구동 출력 전극(175b)은 전술한 내화성 금속 또는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag) 따위의 저저항성 금속으로 만들어질 수 있으며, 단일막 외에 몰리브덴(Mo)/알루미늄(Al)/몰리브덴(Mo) 따위의 다중막으로 형성될 수 있다.The driving output electrode 175b is separated from the driving voltage line 172 and is island-shaped. The driving input electrode 173b and the driving output electrode 175b are electrically connected to the doped region of the driving semiconductor 154b through the contact holes 183a and 183b, respectively. The driving voltage line 172 and the driving output electrode 175b may be made of the above-described refractory metal or a low-resistance metal such as aluminum (Al), copper (Cu), or silver (Ag) / Aluminum (Al) / molybdenum (Mo) or the like.

스위칭 박막 트랜지스터를 구성하는 스위칭 반도체(154a), 스위칭 제어 전극(124a), 스위칭 입력 전극(173a)을 포함하는 데이터선(171) 및 스위칭 출력 전극(175a)에 대한 설명은 상술한 구동 박막 트랜지스터에 대한 설명이 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. The description of the data line 171 and the switching output electrode 175a including the switching semiconductor 154a, the switching control electrode 124a and the switching input electrode 173a constituting the switching thin film transistor is the same as that of the above- Can be applied equally or similarly.

구동 전압선(172), 구동 출력 전극(175b) 및 스위칭 출력 전극(175a) 위에는 보호막(180p, 180q)이 형성되어 있다. 보호막(180p, 180q)은 무기 절연 물질 또는 평탄화 특성이 우수한 폴리아크릴 따위의 유기 물질로 만들어질 수 있다.Protective films 180p and 180q are formed on the driving voltage line 172, the driving output electrode 175b, and the switching output electrode 175a. The protective films 180p and 180q may be made of an inorganic insulating material or an organic material such as a polyacrylic material having excellent planarization characteristics.

보호막(180q) 위에는 반사막(192)이 형성되어 있으며, 반사막은 접촉 구 멍(181)을 통하여 구동 출력 전극(175b)에 전기적으로 연결되어 있다. 반사막(192)은 Al 따위의 불투명한 전도성 물질을 포함하며, 발광 부재(370)를 통해 하부로 발광된 빛을 반사함으로써, 발광 효율을 높인다.A reflective film 192 is formed on the passivation film 180q and the reflective film is electrically connected to the driving output electrode 175b through the contact hole 181. [ The reflective film 192 includes an opaque conductive material such as Al and reflects light emitted downward through the light emitting member 370, thereby enhancing the luminous efficiency.

반사막(192) 위에 유기 절연 물질 따위로 만들어진 화소 정의층(361)이 형성되어 있다. 화소 정의층(361)은 반사막(192)의 둘레를 둑(bank)처럼 둘러싸고 있다. 따라서, 화소 정의층(361)은 화소별로 개구부가 형성되어 있으며 그 주위에 경사면(365)이 형성되어 있다.A pixel defining layer 361 made of an organic insulating material is formed on the reflective film 192. The pixel defining layer 361 surrounds the reflective film 192 like a bank. Accordingly, the pixel defining layer 361 is formed with an opening for each pixel, and an inclined surface 365 is formed around the opening.

화소 정의층(361) 위에는 화소 전극(191) 및 연결 부재(85)가 형성되어 있다. 이때, 화소 정의층(361)의 개구부와 그 경사면(365)이 화소 전극(191)으로 덮여 있으며, 화소 전극(191)의 면적은 필요에 따라 적절히 조절될 수 있다. 화소 전극(191)은 화소 정의층(361)의 개구부를 통하여 반사막(192)과 접촉하고 있다. 그러나, 화소 전극(191)과 반사막(192) 사이에 도전 물질을 포함하는 층이 더 형성될 수도 있다. 화소 전극(191) 및 연결 부재(85)는 ITO 또는 IZO 따위의 투명 도전체로 만들어질 수 있다. 연결 부재(85)는 접촉 구멍을 통하여 스위칭 출력 전극(175a)과 구동 제어 전극(124b)을 전기적으로 연결한다.On the pixel defining layer 361, a pixel electrode 191 and a connecting member 85 are formed. At this time, the opening of the pixel defining layer 361 and its inclined surface 365 are covered with the pixel electrode 191, and the area of the pixel electrode 191 can be appropriately adjusted as needed. The pixel electrode 191 is in contact with the reflective film 192 through the opening of the pixel defining layer 361. However, a layer including a conductive material may be further formed between the pixel electrode 191 and the reflective film 192. The pixel electrode 191 and the connecting member 85 may be made of a transparent conductor such as ITO or IZO. The connecting member 85 electrically connects the switching output electrode 175a and the driving control electrode 124b through the contact hole.

화소 전극(191) 위에는 스페이서(362)가 화소 전극(191)의 둘레를 둑처럼 둘러싸고 있다. 따라서, 스페이서(362)도 화소별로 개구부가 형성되어 있으며 개구부 주위에 경사면(366)이 형성되어 있으며, 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 개구부보다 넓다. 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출할 정도로 넓다. 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출할 정도로 넓다. 스페이서(362)의 개구부가 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출한다는 것에는 도 3에서와 같이 화소 정의층(361)의 경사면(365)를 따라 경사지게 형성된 화소 전극(191)의 경사면을 노출함으로써 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 간접적으로 노출하는 경우도 포함된다. 또한 스페이서(362)를 형성할 때, 필요에 따라 화소 정의층(361)의 높이를 낮출 수도 있다.On the pixel electrode 191, a spacer 362 surrounds the pixel electrode 191 like a bank. Therefore, the spacer 362 is also provided with an opening for each pixel, and an inclined surface 366 is formed around the opening. The opening of the spacer 362 is wider than the opening of the pixel defining layer 361. The opening of the spacer 362 is wide enough to expose the inclined plane 365 of the pixel defining layer 361. The opening of the spacer 362 is wide enough to expose the inclined plane 365 of the pixel defining layer 361. The opening of the spacer 362 exposes the inclined plane 365 of the pixel defining layer 361 is formed by inclining the inclined plane 365 of the pixel electrode 191 inclined along the inclined plane 365 of the pixel defining layer 361, The inclined plane 365 of the pixel defining layer 361 is indirectly exposed. When the spacer 362 is formed, the height of the pixel defining layer 361 may be reduced as necessary.

화소 정의층(361) 위에는 발광 부재(370)가 형성되어 있으며, 발광 부재(370)는 화소 전극(191)의 경계부를 제외한 화소 전극(191) 전체를 덮고 있다. 따라서 발광 부재(370)의 경계부와 스페이서(362)의 개구부의 경계부는 접촉하고 있다. 이때, 발광 부재(370)는 미세 금속 마스크(fine metal mask, FMM) 증착 공정을 통하여 형성될 수 있다. 한편, 미세 금속 마스크를 이용한 발광 부재(370)의 증착 공정에서는 미세 금속 마스크가 로딩된 기판 위의 화소 전극(191)의 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있다. 스페이서(362)는 이러한 스크래치를 방지하기 위한 것으로 미세 금속 마스크와 화소 전극(191)의 표면 사이의 간격을 유지하는 역할을 한다. 또한, 발광 부재(370)를 형성하기 위한 둑으로서의 역할도 한다. 결국, 스페이서(362)의 개구부에 의해 정의되는 발광 부재(370)가 화소 정의층(361)의 개구부와 그 주위의 경사면 전체를 덮고 있는 화소 전극(191) 위에 형성됨으로써, 발광 영역이 확장되고 발광 효율이 증가한다. 아울러, 발광 부재(370)가 형성되는 영역의 넓이를 정의하는 스페이서(362)의 개구부의 넓이를 필요에 따라 적절하게 조절할 수 있다. A light emitting member 370 is formed on the pixel defining layer 361 and the light emitting member 370 covers the entire pixel electrode 191 excluding the boundary of the pixel electrode 191. The boundary portion of the light emitting member 370 and the boundary portion of the opening portion of the spacer 362 are in contact with each other. At this time, the light emitting member 370 may be formed through a fine metal mask (FMM) deposition process. Meanwhile, in the deposition process of the light emitting member 370 using the fine metal mask, scratches may be generated on the surface of the pixel electrode 191 on the substrate on which the fine metal mask is loaded. The spacer 362 serves to prevent such scratches and serves to maintain a gap between the fine metal mask and the surface of the pixel electrode 191. It also serves as a dam for forming the light emitting member 370. As a result, the light emitting member 370 defined by the opening of the spacer 362 is formed on the pixel electrode 191 covering the opening portion of the pixel defining layer 361 and the entire inclined surface in the vicinity thereof, Efficiency increases. In addition, the width of the opening of the spacer 362 defining the width of the region where the light emitting member 370 is formed can be appropriately adjusted as needed.

발광 부재(370)는 빛을 내는 발광층(emitting layer)(도시하지 않음) 외에 발광층의 발광 효율을 향상하기 위한 부대층(auxiliary layer)(도시하지 않음)을 포함하는 다층 구조일 수 있다. The light emitting member 370 may have a multi-layer structure including an auxiliary layer (not shown) for improving light emission efficiency of the light emitting layer in addition to a light emitting layer (not shown).

발광층은 하나의 화소에 적색, 녹색 및 청색의 발광층을 수직 또는 수평으로 형성하여 백색(white)광을 발하도록 형성한다. 발광층은 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 어느 하나의 빛을 고유하게 내는 고분자 물질 또 는 저분자 물질 또는 이들의 혼합물로 만들어질 수도 있다. The light emitting layer is formed to emit white light by forming red, green, and blue light emitting layers vertically or horizontally in one pixel. The light emitting layer may be made of a polymer material or a low molecular material, or a mixture thereof, which uniquely emits any one of primary colors such as red, green, and blue primary colors.

부대층은 전자와 정공의 균형을 맞추기 위한 전자 수송층(electron transport layer)(도시하지 않음) 및 정공 수송층(hole transport layer)(도시하지 않음)과 전자와 정공의 주입을 강화하기 위한 전자 주입층(electron injecting layer)(도시하지 않음) 및 정공 주입층(hole injecting layer)(도시하지 않음)에서 선택된 하나 이상의 층을 포함할 수 있다.The sub-layer includes an electron transport layer (not shown) and a hole transport layer (not shown) for balancing electrons and holes and an electron injection layer (not shown) for enhancing the injection of electrons and holes an electron injecting layer (not shown), and a hole injecting layer (not shown).

발광 부재(370) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 기판의 전면(全面)에 형성되어 있으며, 금(Au), 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 텅스텐(W) 또는 이들의 합금 따위의 불투명 도전체로 만들어질 수 있다.A common electrode 270 is formed on the light emitting member 370. The common electrode 270 is formed on the entire surface of the substrate and may be formed of an opaque conductor such as gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), tungsten Can be made.

공통 전극(270)은 화소 전극(191)과 쌍을 이루어 발광 부재(370)에 전류를 흘려 보낸다. 화소 전극(191), 유기 발광 부재(370) 및 공통 전극(270)은 발광 다이오드(LD)를 이루며, 화소 전극(191)이 애노드(anode), 공통 전극(270)이 캐소드(cathode)가 되거나 반대로 화소 전극(191)이 캐소드, 공통 전극(270)이 애노드가 된다. The common electrode 270 is paired with the pixel electrode 191 to allow current to flow through the light emitting member 370. The pixel electrode 191, the organic light emitting member 370 and the common electrode 270 constitute a light emitting diode LD. When the pixel electrode 191 is an anode and the common electrode 270 is a cathode Conversely, the pixel electrode 191 serves as a cathode and the common electrode 270 serves as an anode.

한편, 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터의 층간 구조나 배치 구조는 위에서 예시한 것 이외에 여러 다양한 형태로 변형될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서는 구동 반도체(154b)와 대응되도록 형성되는 게이트 전극(124b)이 구동 반도체(154b) 상부에 형성되는 탑 게이트 구조를 설명하였으나, 구동 반도체(154b)를 다결정 규소가 아닌 비정질 실리콘을 사용하여 형성할 수 있고, 이 경우에는 게이트 전극이 반도체층 하부에 형성되는 바텀 게이트 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기에서 설명한 구동 박막 트랜지스터 및 스위칭 박막 트랜지스터에 포함되는 반도체(154a, 154b) 중 어느 하나는 다결정 규소로 형성하고 다른 하나는 비정질 규소로 형성할 수도 있다.On the other hand, the interlayer structure and the arrangement structure of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor can be modified into various forms in addition to those exemplified above. That is, in the organic light emitting display according to the embodiment of the present invention, the top gate structure in which the gate electrode 124b formed to correspond to the driving semiconductor 154b is formed on the driving semiconductor 154b has been described, May be formed using amorphous silicon rather than polycrystalline silicon. In this case, the gate electrode may have a bottom gate structure formed below the semiconductor layer. In addition, any one of the semiconductors 154a and 154b included in the driving thin film transistor and the switching thin film transistor described above may be formed of polycrystalline silicon and the other may be formed of amorphous silicon.

그러면 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도 4를 참고하여 상세하게 설명한다.An OLED display according to another embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIG.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of an OLED display according to another embodiment of the present invention.

반사막(192)이 화소 정의층(361) 위에 형성되었고, 화소 정의층(361)과 보호막(180p, 180q)를 동시에 관통하는 접촉 구멍(181)에 의하여 반사막(192)이 구동 출력 전극(175b)와 접촉하는 것이 상술한 도 3의 유기 발광 표시 장치와 구분되는 점이다. 이때, 접촉 구멍(181) 내부의 반사막(192) 일부가 단절되는 것을 방지하기 위하여, 접촉 구멍(181)의 경사면을 적절하게 완만하게 만들거나, 계단형으로 만들 수 있다. 또한, 반사막(192)과 화소 전극(191)은 동시에 식각되어 실질적으로 동일한 평면 모양을 가질 수 있으며, 이 경우 공정 원가가 절감된다. 도 4의 유기 발광 표시 장치는 반사막(192)이 화소 전극(191)의 경계부를 제외한 전면과 접촉하고 있기 때문에, 발광 부재(370)의 중심부에서 좌우 방향으로 발광한 빛을 상부로 반사시키고, 화소 정의층(361)의 개구부의 경사면(365)에 위치하는 발광 부재(370)에서 발광된 빛도 상부로 반사시키기 때문에, 발광 효율이 개선된다.The reflective film 192 is formed on the pixel defining layer 361 and the reflective film 192 is formed on the driving output electrode 175b by the contact hole 181 passing through the pixel defining layer 361 and the protective films 180p, Is distinguished from the organic light emitting display device of FIG. 3 described above. At this time, in order to prevent a part of the reflection film 192 inside the contact hole 181 from being cut off, the slope of the contact hole 181 may be made moderately or stepwise. In addition, the reflective film 192 and the pixel electrode 191 may be etched at the same time to have substantially the same planar shape, and in this case, the process cost is reduced. 4, since the reflective film 192 is in contact with the front surface excluding the boundary portion of the pixel electrode 191, the light emitted from the center of the light emitting member 370 in the left and right direction is reflected upward, The light emitted from the light emitting member 370 located on the inclined plane 365 of the opening of the defining layer 361 is also reflected to the upper portion, thereby improving the luminous efficiency.

그러면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 을 설명한다. 전술한 도 2 내지 도 3의 유기 발광 표시 장치와 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to another embodiment of the present invention will be described. The description of the organic light emitting diode display of FIGS. 2 to 3 will be omitted.

기판(110) 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성한다. 박막 트랜지스터와 전극을 형성하는 방법은 통상적인 박막 형성 방법인 박막 증착, 사진 식각에 의한 패터닝 등의 방법을 사용할 수 있다. 이때, 게이트 절연막(140), 제1 층간 절연막(120), 제2 층간 절연막(160)이 전술한 것처럼 박막 트랜지스터의 구성 요소 사이에 적층될 수 있다.A switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor are formed on the substrate 110. As a method for forming the thin film transistor and the electrode, a conventional thin film forming method such as thin film deposition or photolithography can be used. At this time, the gate insulating film 140, the first interlayer insulating film 120, and the second interlayer insulating film 160 may be stacked between the elements of the thin film transistor as described above.

스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막(180p, 180q)을 형성한다.The protective films 180p and 180q are formed on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor.

보호막(180p, 180q) 위에 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막(192)을 형성한다. 반사막(192)은 전술한 통상적인 박막 형성 방법을 사용할 수 있다.A reflective film 192 connected to the driving thin film transistor is formed on the protective films 180p and 180q. The reflective film 192 can be formed by the conventional thin film forming method described above.

반사막(192) 위에 반사막(192)을 둘러싸는 화소 정의층(361)을 형성한다. 이때, 화소 정의층(361)은 사진 공정을 통해 개구부를 형성한다.A pixel defining layer 361 surrounding the reflective film 192 is formed on the reflective film 192. At this time, the pixel defining layer 361 forms an opening through photolithography.

화소 정의층(361)과 반사막(192) 위에 화소 전극(191)을 형성한다. 화소 전극(191)은 전술한 통상적인 박막 형성 방법을 사용할 수 있다A pixel electrode 191 is formed on the pixel defining layer 361 and the reflective film 192. The pixel electrode 191 can use the conventional thin film forming method described above

화소 전극(191) 위에 화소 전극(191)을 둘러싸는 스페이서(362)를 형성한다. 이때, 스페이서(362)는 사진 공정을 통해 개구부를 형성한다.A spacer 362 surrounding the pixel electrode 191 is formed on the pixel electrode 191. At this time, the spacer 362 forms an opening through the photolithography process.

화소 전극(191) 위에 발광 부재(370)를 형성한다. 이때 상술한 미세 금속 마스크(FMM) 증착 공정을 이용하여 형성할 수 있다.A light emitting member 370 is formed on the pixel electrode 191. At this time, it can be formed using the above-described fine metal mask (FMM) deposition process.

발광 부재(370) 위에 공통 전극(270)을 형성한다. 공통 전극(270)은 기판의 전면에 적층될 수 있다.A common electrode 270 is formed on the light emitting member 370. The common electrode 270 may be stacked on the front surface of the substrate.

그러면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 상세하게 설명한다. 전술한 도 4의 유기 발광 표시 장치와 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to another embodiment of the present invention will be described in detail. The overlapping description with the OLED display of FIG. 4 will be omitted.

도 4를 참고하면, 보호막(180p, 180q) 위에개구부를 포함하는 화소 정의층(361)을 형성하고, 화소 정의층(361) 위에 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막(192)을 형성하고, 반사막(192) 위에 화소 전극을 형성하는 것이 전술한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법과 구분되는 점이다. 이때, 반사막(192)과 화소 전극(191)을 차례로 적층한 후, 동시에 식각 공정을 통하여 형성할 수 있으므로, 공정 원가가 절감된다.4, a pixel defining layer 361 including an opening is formed on the passivation layers 180p and 180q, a reflective layer 192 is formed on the pixel defining layer 361 and connected to the driving thin film transistor, 192 are formed in the pixel electrode in the method of manufacturing the organic light emitting display device. At this time, since the reflective film 192 and the pixel electrode 191 can be sequentially formed and then formed through the etching process, the process cost can be reduced.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이다.2 is a layout diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 유기 발광 표시 장치를 III-III 선을 따라 자른 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of the organic light emitting diode display of FIG. 2 taken along line III-III.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an OLED display according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]

181, 183a, 183b: 접촉 구멍 191: 화소 전극181, 183a, 183b: contact hole 191: pixel electrode

192: 반사막 361: 화소 정의층192: reflective film 361: pixel defining layer

362: 스페이서 362: Spacer

365: 화소 정의층 개구부 주위의 경사면365: an inclined surface around the opening of the pixel defining layer

366: 스페이서 개구부 주위의 경사면 366: an inclined surface around the spacer opening

370: 유기 발광 부재370: organic light emitting member

Claims (17)

서로 교차하는 제1 신호선 및 제2 신호선,A first signal line and a second signal line crossing each other, 상기 제1 신호선 및 상기 제2 신호선과 연결되어 있는 스위칭 박막 트랜지스터,A switching thin film transistor connected to the first signal line and the second signal line, 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 박막 트랜지스터, A driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, 상기 제1 신호선, 제2 신호선, 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 형성되어 있는 보호막,A protective film formed on the first signal line, the second signal line, the switching thin film transistor, and the driving thin film transistor, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 반사막,A reflective film formed on the protective film and connected to the driving thin film transistor, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 개구부를 포함하는 화소 정의층,A pixel defining layer formed on the passivation layer and including an opening, 상기 화소 정의층의 개구부 내부에 형성되어 있으며 상기 개구부 주위의 경사면 위로 확장 형성되어 있는 화소 전극,A pixel electrode formed in the opening of the pixel defining layer and extending over an inclined surface around the opening, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있으며, 상기 화소 정의층의 개구부보다 넓은 면적을 가지며 상기 화소 정의층 개구부의 경사면을 노출하는 개구부를 갖는 스페이서,A spacer having a larger area than the opening of the pixel defining layer and having an opening exposing an inclined surface of the pixel defining layer opening, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있으며, 상기 스페이서의 개구부 내부에 형성되어 있는 발광 부재, 그리고A light emitting member formed on the pixel electrode and formed inside the opening of the spacer, 상기 발광 부재 및 상기 스페이서 위에 형성되어 있는 공통 전극And a common electrode formed on the light emitting member and the spacer, 을 포함하는 유기 발광 표시 장치.And an organic light emitting diode. 제1항에서,The method of claim 1, 상기 발광 부재의 경계부는 상기 스페이서의 개구부의 경계부와 접촉하고 있는 유기 발광 표시 장치.Wherein a boundary portion of the light emitting member is in contact with a boundary portion of an opening portion of the spacer. 삭제delete 제1항에서,The method of claim 1, 상기 반사막은 상기 화소 정의층 위에 형성되어 있는 유기 발광 표시 장치.Wherein the reflective layer is formed on the pixel defining layer. 제4항에서,5. The method of claim 4, 상기 반사막과 상기 화소 전극의 평면 모양이 동일한 유기 발광 표시 장치.Wherein the reflective film and the pixel electrode have the same planar shape. 제4항에서,5. The method of claim 4, 상기 화소 전극은 상기 반사막과 접촉하고 있는 유기 발광 표시 장치.And the pixel electrode is in contact with the reflective film. 제4항에서,5. The method of claim 4, 상기 반사막은 상기 보호막과 상기 화소 정의층을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 유기 발광 표시 장치.Wherein the reflective film is connected to the driving thin film transistor through a contact hole penetrating the protective film and the pixel defining layer. 제1항에서,The method of claim 1, 상기 반사막은 상기 보호막을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 유기 발광 표시 장치. Wherein the reflective film is connected to the driving thin film transistor through a contact hole penetrating the protective film. 제1항에서,The method of claim 1, 상기 화소 전극의 일부는 상기 반사막의 일부와 접촉하고 있는 유기 발광 표시 장치. And a part of the pixel electrode is in contact with a part of the reflective film. 삭제delete 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고,A switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor are formed on a substrate, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고,Forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor, 상기 보호막 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고,A reflective film connected to the driving thin film transistor is formed on the protective film, 상기 반사막 위에 상기 반사막을 둘러싸는 개구부를 갖는 화소 정의층을 형성하고,Forming a pixel defining layer having an opening portion surrounding the reflective film on the reflective film, 상기 화소 정의층과 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고,Forming a pixel electrode on the pixel defining layer and the reflective film, 상기 화소 전극 위에 상기 화소 정의층의 개구부보다 넓은 면적의 개구부를 갖는 스페이서를 형성하고, A spacer having an opening larger than an opening of the pixel defining layer is formed on the pixel electrode, 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고Forming a light emitting member on the pixel electrode, and 상기 발광 부재 및 상기 스페이서 위에 공통 전극을 형성하는And a common electrode is formed on the light emitting member and the spacer 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Wherein the organic light emitting display device comprises: 제11항에서,12. The method of claim 11, 상기 발광 부재의 경계부는 상기 스페이서의 개구부의 경계부와 접촉하고 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Wherein a boundary portion of the light emitting member is in contact with a boundary portion of an opening portion of the spacer. 삭제delete 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고,A switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor are formed on a substrate, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고,Forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor, 상기 보호막 위에 개구부를 포함하는 화소 정의층을 형성하고,Forming a pixel defining layer including an opening on the protective film, 상기 화소 정의층 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고,Forming a reflective layer on the pixel defining layer, the reflective layer being connected to the driving thin film transistor, 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고,A pixel electrode is formed on the reflective film, 상기 화소 전극 위에, 상기 화소 정의층의 개구부보다 넓은 면적을 가지며 상기 화소 정의층 개구부의 경사면을 노출하는 개구부를 갖는 스페이서를 형성하고,Forming a spacer on the pixel electrode, the spacer having an area wider than the opening of the pixel defining layer and having an opening exposing an inclined surface of the pixel defining layer opening; 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고Forming a light emitting member on the pixel electrode, and 상기 발광 부재 및 상기 스페이서 위에 공통 전극을 형성하는And a common electrode is formed on the light emitting member and the spacer 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Wherein the organic light emitting display device comprises: 제14항에서,The method of claim 14, 상기 반사막과 상기 화소 전극을 동시에 식각 공정을 통하여 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Wherein the reflective film and the pixel electrode are simultaneously formed through an etching process. 제14항에서,The method of claim 14, 상기 발광 부재의 경계부는 상기 스페이서의 개구부의 경계부와 접촉하고 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Wherein a boundary portion of the light emitting member is in contact with a boundary portion of an opening portion of the spacer. 삭제delete
KR1020080113253A 2008-11-14 2008-11-14 Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof Expired - Fee Related KR101600816B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080113253A KR101600816B1 (en) 2008-11-14 2008-11-14 Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080113253A KR101600816B1 (en) 2008-11-14 2008-11-14 Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100054351A KR20100054351A (en) 2010-05-25
KR101600816B1 true KR101600816B1 (en) 2016-03-09

Family

ID=42279094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080113253A Expired - Fee Related KR101600816B1 (en) 2008-11-14 2008-11-14 Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101600816B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11502147B2 (en) 2019-10-07 2022-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5677290B2 (en) * 2010-07-27 2015-02-25 パナソニック株式会社 Organic EL display panel and manufacturing method thereof
US9029838B2 (en) 2011-06-29 2015-05-12 Samsung Display Co., Ltd. Methods of forming inclined structures on insulation layers, organic light emitting display devices and methods of manufacturing organic light emitting display devices
KR101928582B1 (en) * 2012-07-25 2018-12-13 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode device and manufacturing method thereof
JP6214077B2 (en) * 2012-07-31 2017-10-18 株式会社Joled DISPLAY DEVICE, DISPLAY DEVICE MANUFACTURING METHOD, ELECTRONIC DEVICE, AND DISPLAY DEVICE DRIVE METHOD
KR20140033671A (en) 2012-09-10 2014-03-19 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display and method of fabricating the same
KR101939366B1 (en) 2012-09-11 2019-01-17 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
KR102036328B1 (en) * 2013-06-07 2019-10-25 삼성디스플레이 주식회사 Organic luminescence emitting display device and method for manufacturing the same
CN105810719B (en) * 2016-05-27 2019-08-06 京东方科技集团股份有限公司 A kind of pixel unit and preparation method thereof, array substrate and display device
KR102728403B1 (en) * 2017-02-24 2024-11-12 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device
CN110459690B (en) * 2019-08-21 2022-06-10 合肥京东方卓印科技有限公司 Display substrate, preparation method thereof, display device and ink-jet printing method
CN111900185B (en) * 2020-06-17 2021-06-25 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Display panel and method of making the same
CN120129416A (en) * 2023-12-08 2025-06-10 合肥维信诺科技有限公司 Display panel and manufacturing method thereof, and display device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005340011A (en) * 2004-05-27 2005-12-08 Seiko Epson Corp Electro-optical device and electronic apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005340011A (en) * 2004-05-27 2005-12-08 Seiko Epson Corp Electro-optical device and electronic apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11502147B2 (en) 2019-10-07 2022-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100054351A (en) 2010-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101600816B1 (en) Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof
KR101219036B1 (en) Organic light emitting diode display
USRE48032E1 (en) Thin-film semiconductor substrate, light-emitting panel, and method of manufacturing the thin-film semiconductor substrate
KR101509112B1 (en) Organic light emitting display
TWI545773B (en) Thin film transistor and organic light emitting display device therewith
JP2019020677A (en) OLED display device, circuit thereof, and manufacturing method thereof
US7456431B2 (en) Organic light emitting display
WO2017195560A1 (en) Display device and electronic device
KR101646100B1 (en) Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof
KR20150035132A (en) Organic light emitting display and method for producing the same
KR20140146426A (en) Display device and method for manufacturing display device
KR102446828B1 (en) Display device and manufacturing method thereof
US7863602B2 (en) Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
JP4488557B2 (en) EL display device
CN113808526A (en) Pixel
KR101480005B1 (en) Organic light emitting display and manufacturing method thereof
US9570624B2 (en) Thin film transistor and method for fabricating the same
KR101100885B1 (en) Thin film transistor array panel for organic light emitting display
US20100012943A1 (en) Thin film transistor and manufacturing method thereof
KR101209057B1 (en) Display device and method for manufacturing therof
US11502147B2 (en) Display device
JP4108674B2 (en) Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
US8426863B2 (en) Thin film transistor; method of manufacturing same; and organic light emitting device including the thin film transistor
KR20080092716A (en) Organic light emitting device and organic light emitting display device including the same
KR20080054597A (en) OLED display and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

N231 Notification of change of applicant
PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

AMND Amendment
E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

St.27 status event code: N-2-6-B10-B15-exm-PE0601

AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PJ0201 Trial against decision of rejection

St.27 status event code: A-3-3-V10-V11-apl-PJ0201

PB0901 Examination by re-examination before a trial

St.27 status event code: A-6-3-E10-E12-rex-PB0901

B701 Decision to grant
PB0701 Decision of registration after re-examination before a trial

St.27 status event code: A-3-4-F10-F13-rex-PB0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190304

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200227

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20210303

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20210303

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000