KR101600816B1 - Organic Light Emitting Diode Display and Manufacturing Method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 스페이서가 둑으로서의 역할을 함으로써 확장된 면적을 가지는 발광 부재를 포함하고, 나아가 그 확장된 발광 부재 아래에 반사막이 위치할 수 있다. 따라서, 유기 발광 표시 장치의 개구율, 휘도, 발광 효율을 향상하고, 공정 원가를 절감한다.An OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a light emitting member having an expanded area, the spacer serving as a dam, and the reflective film may be positioned under the extended light emitting member. Therefore, the aperture ratio, the luminance, and the luminous efficiency of the organic light emitting display device are improved, and the process cost is reduced.
유기 발광 표시 장치, 스페이서, 화소 정의층, 반사막 An organic light emitting display, a spacer, a pixel defining layer,
Description
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.
유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode Display; OLED display)는 두 개의 전극 사이에 유기 발광층을 형성하고, 2 개의 전극으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 유기 발광층 내로 주입시켜 전자와 정공의 결합에 따른 여기자(exciton)를 생성하고, 이 여기자가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 광이 발생하는 원리를 이용한 장치이다.An organic light emitting diode display (OLED display) has an organic light emitting layer formed between two electrodes, and electrons and holes are injected from the two electrodes into an organic light emitting layer, Is an apparatus using the principle that excitons due to coupling are generated and light is generated when the excitons fall from the excited state to the ground state.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광형으로 별도의 광원이 필요 없으므로 소비전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 응답 속도, 시야각 및 대비비(contrast ratio)도 우수하다.Since the organic light emitting display device is a self light emitting type, a separate light source is not required, so that it is advantageous not only in power consumption but also in response speed, viewing angle, and contrast ratio.
본 발명의 목적은 유기 발광 표시 장치의 개구율, 휘도, 발광 효율을 향상하고, 공정 원가를 절감하는 것이다.It is an object of the present invention to improve the aperture ratio, the luminance, and the luminous efficiency of an organic light emitting display device, and to reduce a process cost.
본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.
본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 서로 교차하는 제1 신호선 및 제2 신호선, 상기 제1 신호선 및 상기 제2 신호선과 연결되어 있는 스위칭 박막 트랜지스터, 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 박막 트랜지스터, 상기 제1 신호선, 제2 신호선, 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 형성되어 있는 보호막, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 반사막, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 개구부를 포함하는 화소 정의층, 상기 화소 정의층의 개구부 내부에 형성되어 있으며 상기 개구부 주위의 경사면 위로 확장 형성되어 있는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있으며 상기 화소 전극을 둘러싸고 있는 스페이서, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 발광 부재, 그리고 상기 발광 부재 위에 형성되어 있는 공통 전극을 포함한다.The OLED display according to an embodiment of the present invention includes a first thin film transistor connected to a first signal line and a second signal line crossing each other, a first signal line and a second signal line, A protective film formed on the first thin film transistor, the first signal line, the second signal line, the switching thin film transistor, and the driving thin film transistor, a reflective film formed on the protective film and connected to the driving thin film transistor, A pixel defining layer formed on the pixel defining layer, a pixel electrode formed inside the opening of the pixel defining layer and extending on an inclined surface around the opening, a spacer formed on the pixel electrode and surrounding the pixel electrode, Emitting portion , And it includes a common electrode formed on the light emitting member.
상기 발광 부재의 경계부는 상기 스페이서의 개구부의 경계부와 접촉할 수 있다.The boundary portion of the light emitting member may contact the boundary portion of the opening portion of the spacer.
상기 스페이서의 개구부의 면적은 상기 화소 정의층의 개구부의 면적보다 넓을 수 있다.The area of the opening of the spacer may be wider than the area of the opening of the pixel defining layer.
상기 반사막은 상기 화소 정의층 위에 형성되어 있을 수 있다.The reflective layer may be formed on the pixel defining layer.
상기 반사막과 상기 화소 전극의 평면 모양은 실질적으로 동일할 수 있다.The planar shape of the reflective film and the pixel electrode may be substantially the same.
상기 화소 전극은 상기 반사막과 접촉할 수 있다.The pixel electrode may be in contact with the reflective film.
상기 반사막은 상기 보호막과 상기 화소 정의층을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있을 수 있다.The reflective layer may be connected to the driving thin film transistor through a contact hole passing through the protective layer and the pixel defining layer.
상기 반사막은 상기 보호막을 관통하는 접촉 구멍을 통하여 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되어 있을 수 있다.The reflective film may be connected to the driving thin film transistor through a contact hole passing through the protective film.
상기 화소 전극의 일부는 상기 반사막의 일부와 접촉할 수 있다.And a part of the pixel electrode may contact a part of the reflective film.
상기 공통 전극은 상기 스페이서 위에 형성되어 있을 수 있다.The common electrode may be formed on the spacer.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고, 상기 보호막 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고, 상기 반사막 위에 상기 반사막을 둘러싸는 화소 정의층을 형성하고, 상기 화소 정의층과 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고, 상기 화소 전극 위에 상기 화소 전극을 둘러싸는 스페이서를 형성하고, 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고 상기 발광 부재 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes forming a switching thin film transistor on a substrate and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Forming a reflective layer on the protective layer, the reflective layer being connected to the driving thin film transistor, forming a pixel defining layer surrounding the reflective layer on the reflective layer, forming a pixel electrode on the pixel defining layer and the reflective layer, Forming a spacer surrounding the pixel electrode, forming a light emitting member on the pixel electrode, and forming a common electrode on the light emitting member.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하고, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막을 형성하고, 상기 보호막 위에 개구부를 포함하는 화소 정의층을 형성하 고, 상기 화소 정의층 위에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막을 형성하고, 상기 반사막 위에 화소 전극을 형성하고, 상기 화소 전극 위에 상기 화소 전극을 둘러싸는 스페이서를 형성하고, 상기 화소 전극 위에 발광 부재를 형성하고, 그리고 상기 발광 부재 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.A method of fabricating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes forming a switching thin film transistor on a substrate and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor and forming a protective film on the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Forming a pixel defining layer including an opening on the passivation layer, forming a reflective layer on the pixel defining layer and connected to the driving thin film transistor, forming a pixel electrode on the reflective layer, Forming a spacer surrounding the pixel electrode, forming a light emitting member on the pixel electrode, and forming a common electrode on the light emitting member.
상기 반사막과 상기 화소 전극을 동시에 식각 공정을 통하여 형성할 수 있다.The reflective film and the pixel electrode can be formed simultaneously through an etching process.
본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법은 스페이서가 둑으로서의 역할을 함으로써 발광 부재의 발광 면적을 넓히고 발광 휘도를 향상하고, 반사막이 확장된 발광 부재 아래에 위치함으로써 발광 효율을 향상하고, 스페이서 공정을 이용하거나 반사막과 화소 전극을 동시에 식각함으로써 공정 원가를 절감한다.The OLED display according to an embodiment of the present invention and the method of manufacturing the OLED display according to the present invention can improve the luminous efficiency by increasing the light emitting area of the light emitting member and improving the light emission brightness, And the process cost is reduced by using a spacer process or etching the reflective film and the pixel electrode at the same time.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호가 사용되었다. 또한 널리 알려져 있는 공지기술의 경우 그 구체적인 설명은 생략한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will be more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same reference numerals are used for the same or similar components throughout the specification. In the case of publicly known technologies, a detailed description thereof will be omitted.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 한편, 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. It will be understood that when an element such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the element directly over another element, On the other hand, when a part is "directly on" another part, it means that there is no other part in the middle. On the contrary, when a portion such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "under" another portion, this includes not only the case where the other portion is "directly underneath" On the other hand, when a part is "directly beneath" another part, it means that there is no other part in the middle.
그러면, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 도 1을 참고하여 상세하게 설명한다.An organic light emitting display according to an embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIG.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수의 신호선(121, 171, 172)과 이들에 연결되어 있으며 대략 행렬(matrix)의 형태로 배열된 복수의 화소(PX)를 포함한다.1, the OLED display includes a plurality of
신호선은 게이트 신호(또는 주사 신호)를 전달하는 복수의 게이트선(121), 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선(171) 및 구동 전압을 전달하는 복수의 구동 전압선(172)을 포함한다. 게이트선(121)은 대략 행 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터선(171)과 구동 전압선(172)은 대략 열 방향으로 뻗어 있 으며 서로가 거의 평행하다.The signal line includes a plurality of
각 화소(PX)는 스위칭 박막 트랜지스터(switching thin film transistor)(Qs), 구동 박막 트랜지스터(driving thin film transistor)(Qd), 유지 축전기(storage capacitor)(Cst) 및 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)(LD)를 포함한다.Each pixel PX includes a switching thin film transistor Qs, a driving thin film transistor Qd, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode , OLED (LD).
스위칭 박막 트랜지스터(Qs)는 제어 단자, 입력 단자 및 출력 단자를 가지는데, 제어 단자는 게이트선(121)에 연결되어 있고, 입력 단자는 데이터선(171)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 구동 박막 트랜지스터(Qd)에 연결되어 있다. 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)는 게이트선(121)에 인가되는 주사 신호에 응답하여 데이터선(171)에 인가되는 데이터 신호를 구동 박막 트랜지스터(Qd)에 전달한다.The switching thin film transistor Qs has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the
구동 박막 트랜지스터(Qd) 또한 제어 단자, 입력 단자 및 출력 단자를 가지는데, 제어 단자는 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)에 연결되어 있고, 입력 단자는 구동 전압선(172)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 유기 발광 다이오드(LD)에 연결되어 있다. 구동 박막 트랜지스터(Qd)는 제어 단자와 출력 단자 사이에 걸리는 전압에 따라 그 크기가 달라지는 출력 전류(ILD)를 흘린다.The driving thin film transistor Qd also has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the switching thin film transistor Qs, the input terminal is connected to the
축전기(Cst)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 제어 단자와 입력 단자 사이에 연결되어 있다. 이 축전기(Cst)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 제어 단자에 인가되는 데이터 신호를 충전하고 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)가 턴 오프(turn-off)된 뒤에도 이를 유지한다.The capacitor Cst is connected between the control terminal and the input terminal of the driving thin film transistor Qd. The capacitor Cst charges the data signal applied to the control terminal of the driving thin film transistor Qd and maintains the data signal even after the switching thin film transistor Qs is turned off.
유기 발광 다이오드(LD)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 출력 단자에 연결되 어 있는 애노드(anode)와 공통 전압(Vss)에 연결되어 있는 캐소드(cathode)를 가진다. 유기 발광 다이오드(LD)는 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 출력 전류(ILD)에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다.The organic light emitting diode LD has an anode connected to the output terminal of the driving thin film transistor Qd and a cathode connected to the common voltage Vss. The organic light emitting diode LD emits light with different intensity according to the output current ILD of the driving thin film transistor Qd to display an image.
스위칭 박막 트랜지스터(Qs) 및 구동 박막 트랜지스터(Qd)는 n-채널 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)이다. 그러나 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)와 구동 박막 트랜지스터(Qd) 중 적어도 하나는 p-채널 전계 효과 트랜지스터일 수 있다. 또한, 박막 트랜지스터(Qs, Qd), 축전기(Cst) 및 유기 발광 다이오드(LD)의 연결 관계가 바뀔 수 있다.The switching thin film transistor Qs and the driving thin film transistor Qd are n-channel field effect transistors (FETs). However, at least one of the switching thin film transistor Qs and the driving thin film transistor Qd may be a p-channel field effect transistor. Also, the connection relationship between the thin film transistors Qs and Qd, the capacitor Cst, and the organic light emitting diode LD can be changed.
그러면 도 1에 도시한 유기 발광 표시 장치의 상세 구조에 대하여 도 2 및 도 3을 도 1과 함께 참고하여 상세하게 설명한다.The detailed structure of the organic light emitting display shown in FIG. 1 will now be described in detail with reference to FIG. 2 and FIG. 3 together with FIG.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이고, 도 3은 도 2의 유기 발광 표시 장치를 III-III 선을 따라 자른 단면도이다.FIG. 2 is a layout diagram of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a line III-III of the organic light emitting display of FIG.
투명한 유리 또는 플라스틱 따위로 만들어진 절연 기판(110)을 준비한다. An
기판(110) 위에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 제1 층간 절연막(120)이 형성되어 있다. 제1 층간 절연막(120)은 반도체층(151)과 기판(110)을 분리하는 버퍼(buffer) 역할을 한다. A first interlayer
제1 층간 절연막(120) 위에 구동 반도체(154b)가 형성되어 있다. 구동 반도체(154b)는 섬형이며 미세 결정질 규소(microcrystalline silicon) 또는 다결정 규소(polycrystalline silicon) 따위의 결정질 규소로 만들어질 수 있다. A
구동 반도체(154b)는 도핑 영역과 비도핑 영역을 포함한다. 도핑 영역은 비 도핑 영역을 중심에 두고 양쪽에 위치하며 결정질 규소에 보론(boron, B) 따위의 p형 불순물 또는 인(phosphorous, P) 따위의 n형 불순물이 도핑되어 있다. 비도핑 영역은 불순물이 도핑되지 않은 진성 반도체로 만들어지며 구동 박막 트랜지스터의 채널(channel)이 형성된다.The driving
구동 반도체(154b) 위에 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. A gate
게이트 절연막(140) 위에 스위칭 제어 전극(switching control electrode)(124a)을 포함하는 게이트선(121) 및 구동 제어 전극(driving control gate)(124b)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 기판의 한 방향을 따라 길게 뻗어 있으며 위로 확장되어 있는 스위칭 제어 전극(124a)과 외부 구동 회로와 연결하기 위한 끝 부분(미도시)을 포함한다. 구동 제어 전극(124b)은 게이트선(121)과 분리되어 있으며, 위쪽으로 길게 뻗은 유지 전극(127)을 포함한다.A
게이트선(121) 및 구동 제어 전극(124b)은 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴 합금을 포함하는 몰리브덴 함유 금속, 크롬(Cr) 또는 크롬 합금을 포함하는 크롬 함유 금속, 티타늄(Ti) 또는 티타늄 합금을 포함하는 티타늄 함유 금속, 탄탈륨(Ta) 또는 탄탈륨 합금을 포함하는 탄탈륨 함유 금속 및 텅스텐(W) 또는 텅스텐 합금을 포함하는 텅스텐 함유 금속 따위의 내화성 금속(refractory metal) 또는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag) 따위의 저저항성 금속으로 만들어질 수 있다.The
게이트선(121)과 구동 제어 전극(124b) 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 제2 층간 절연막(160)이 형성되어 있다. A second interlayer
제2 층간 절연막(160) 위에는 구동 입력 전극(173b)을 포함하는 구동 전압선(172)과 구동 출력 전극(175b)이 형성되어 있다.On the second
구동 전압선(172)은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차하며 구동 전압을 전달한다. 구동 전압선(172)은 구동 반도체(154b) 위로 뻗어 있는 구동 입력 전극(173b)을 포함하며, 구동 전압선(172)의 일부는 구동 제어 전극(124b)의 유지 전극(127)과 중첩하여 유지 축전기(storage capacitor, Cst)를 형성한다.The driving
구동 출력 전극(175b)은 구동 전압선(172)과 분리되어 있으며 섬형이다. 구동 입력 전극(173b)과 구동 출력 전극(175b)은 각각 접촉 구멍(183a, 183b)를 통하여 구동 반도체(154b)의 도핑 영역에 각각 전기적으로 연결되어 있다. 구동 전압선(172)과 구동 출력 전극(175b)은 전술한 내화성 금속 또는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 은(Ag) 따위의 저저항성 금속으로 만들어질 수 있으며, 단일막 외에 몰리브덴(Mo)/알루미늄(Al)/몰리브덴(Mo) 따위의 다중막으로 형성될 수 있다.The driving
스위칭 박막 트랜지스터를 구성하는 스위칭 반도체(154a), 스위칭 제어 전극(124a), 스위칭 입력 전극(173a)을 포함하는 데이터선(171) 및 스위칭 출력 전극(175a)에 대한 설명은 상술한 구동 박막 트랜지스터에 대한 설명이 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. The description of the
구동 전압선(172), 구동 출력 전극(175b) 및 스위칭 출력 전극(175a) 위에는 보호막(180p, 180q)이 형성되어 있다. 보호막(180p, 180q)은 무기 절연 물질 또는 평탄화 특성이 우수한 폴리아크릴 따위의 유기 물질로 만들어질 수 있다.
보호막(180q) 위에는 반사막(192)이 형성되어 있으며, 반사막은 접촉 구 멍(181)을 통하여 구동 출력 전극(175b)에 전기적으로 연결되어 있다. 반사막(192)은 Al 따위의 불투명한 전도성 물질을 포함하며, 발광 부재(370)를 통해 하부로 발광된 빛을 반사함으로써, 발광 효율을 높인다.A
반사막(192) 위에 유기 절연 물질 따위로 만들어진 화소 정의층(361)이 형성되어 있다. 화소 정의층(361)은 반사막(192)의 둘레를 둑(bank)처럼 둘러싸고 있다. 따라서, 화소 정의층(361)은 화소별로 개구부가 형성되어 있으며 그 주위에 경사면(365)이 형성되어 있다.A
화소 정의층(361) 위에는 화소 전극(191) 및 연결 부재(85)가 형성되어 있다. 이때, 화소 정의층(361)의 개구부와 그 경사면(365)이 화소 전극(191)으로 덮여 있으며, 화소 전극(191)의 면적은 필요에 따라 적절히 조절될 수 있다. 화소 전극(191)은 화소 정의층(361)의 개구부를 통하여 반사막(192)과 접촉하고 있다. 그러나, 화소 전극(191)과 반사막(192) 사이에 도전 물질을 포함하는 층이 더 형성될 수도 있다. 화소 전극(191) 및 연결 부재(85)는 ITO 또는 IZO 따위의 투명 도전체로 만들어질 수 있다. 연결 부재(85)는 접촉 구멍을 통하여 스위칭 출력 전극(175a)과 구동 제어 전극(124b)을 전기적으로 연결한다.On the
화소 전극(191) 위에는 스페이서(362)가 화소 전극(191)의 둘레를 둑처럼 둘러싸고 있다. 따라서, 스페이서(362)도 화소별로 개구부가 형성되어 있으며 개구부 주위에 경사면(366)이 형성되어 있으며, 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 개구부보다 넓다. 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출할 정도로 넓다. 스페이서(362)의 개구부는 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출할 정도로 넓다. 스페이서(362)의 개구부가 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 노출한다는 것에는 도 3에서와 같이 화소 정의층(361)의 경사면(365)를 따라 경사지게 형성된 화소 전극(191)의 경사면을 노출함으로써 화소 정의층(361)의 경사면(365)을 간접적으로 노출하는 경우도 포함된다. 또한 스페이서(362)를 형성할 때, 필요에 따라 화소 정의층(361)의 높이를 낮출 수도 있다.On the
화소 정의층(361) 위에는 발광 부재(370)가 형성되어 있으며, 발광 부재(370)는 화소 전극(191)의 경계부를 제외한 화소 전극(191) 전체를 덮고 있다. 따라서 발광 부재(370)의 경계부와 스페이서(362)의 개구부의 경계부는 접촉하고 있다. 이때, 발광 부재(370)는 미세 금속 마스크(fine metal mask, FMM) 증착 공정을 통하여 형성될 수 있다. 한편, 미세 금속 마스크를 이용한 발광 부재(370)의 증착 공정에서는 미세 금속 마스크가 로딩된 기판 위의 화소 전극(191)의 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있다. 스페이서(362)는 이러한 스크래치를 방지하기 위한 것으로 미세 금속 마스크와 화소 전극(191)의 표면 사이의 간격을 유지하는 역할을 한다. 또한, 발광 부재(370)를 형성하기 위한 둑으로서의 역할도 한다. 결국, 스페이서(362)의 개구부에 의해 정의되는 발광 부재(370)가 화소 정의층(361)의 개구부와 그 주위의 경사면 전체를 덮고 있는 화소 전극(191) 위에 형성됨으로써, 발광 영역이 확장되고 발광 효율이 증가한다. 아울러, 발광 부재(370)가 형성되는 영역의 넓이를 정의하는 스페이서(362)의 개구부의 넓이를 필요에 따라 적절하게 조절할 수 있다. A
발광 부재(370)는 빛을 내는 발광층(emitting layer)(도시하지 않음) 외에 발광층의 발광 효율을 향상하기 위한 부대층(auxiliary layer)(도시하지 않음)을 포함하는 다층 구조일 수 있다. The
발광층은 하나의 화소에 적색, 녹색 및 청색의 발광층을 수직 또는 수평으로 형성하여 백색(white)광을 발하도록 형성한다. 발광층은 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 어느 하나의 빛을 고유하게 내는 고분자 물질 또 는 저분자 물질 또는 이들의 혼합물로 만들어질 수도 있다. The light emitting layer is formed to emit white light by forming red, green, and blue light emitting layers vertically or horizontally in one pixel. The light emitting layer may be made of a polymer material or a low molecular material, or a mixture thereof, which uniquely emits any one of primary colors such as red, green, and blue primary colors.
부대층은 전자와 정공의 균형을 맞추기 위한 전자 수송층(electron transport layer)(도시하지 않음) 및 정공 수송층(hole transport layer)(도시하지 않음)과 전자와 정공의 주입을 강화하기 위한 전자 주입층(electron injecting layer)(도시하지 않음) 및 정공 주입층(hole injecting layer)(도시하지 않음)에서 선택된 하나 이상의 층을 포함할 수 있다.The sub-layer includes an electron transport layer (not shown) and a hole transport layer (not shown) for balancing electrons and holes and an electron injection layer (not shown) for enhancing the injection of electrons and holes an electron injecting layer (not shown), and a hole injecting layer (not shown).
발광 부재(370) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 기판의 전면(全面)에 형성되어 있으며, 금(Au), 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 텅스텐(W) 또는 이들의 합금 따위의 불투명 도전체로 만들어질 수 있다.A
공통 전극(270)은 화소 전극(191)과 쌍을 이루어 발광 부재(370)에 전류를 흘려 보낸다. 화소 전극(191), 유기 발광 부재(370) 및 공통 전극(270)은 발광 다이오드(LD)를 이루며, 화소 전극(191)이 애노드(anode), 공통 전극(270)이 캐소드(cathode)가 되거나 반대로 화소 전극(191)이 캐소드, 공통 전극(270)이 애노드가 된다. The
한편, 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터의 층간 구조나 배치 구조는 위에서 예시한 것 이외에 여러 다양한 형태로 변형될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서는 구동 반도체(154b)와 대응되도록 형성되는 게이트 전극(124b)이 구동 반도체(154b) 상부에 형성되는 탑 게이트 구조를 설명하였으나, 구동 반도체(154b)를 다결정 규소가 아닌 비정질 실리콘을 사용하여 형성할 수 있고, 이 경우에는 게이트 전극이 반도체층 하부에 형성되는 바텀 게이트 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기에서 설명한 구동 박막 트랜지스터 및 스위칭 박막 트랜지스터에 포함되는 반도체(154a, 154b) 중 어느 하나는 다결정 규소로 형성하고 다른 하나는 비정질 규소로 형성할 수도 있다.On the other hand, the interlayer structure and the arrangement structure of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor can be modified into various forms in addition to those exemplified above. That is, in the organic light emitting display according to the embodiment of the present invention, the top gate structure in which the
그러면 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도 4를 참고하여 상세하게 설명한다.An OLED display according to another embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIG.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of an OLED display according to another embodiment of the present invention.
반사막(192)이 화소 정의층(361) 위에 형성되었고, 화소 정의층(361)과 보호막(180p, 180q)를 동시에 관통하는 접촉 구멍(181)에 의하여 반사막(192)이 구동 출력 전극(175b)와 접촉하는 것이 상술한 도 3의 유기 발광 표시 장치와 구분되는 점이다. 이때, 접촉 구멍(181) 내부의 반사막(192) 일부가 단절되는 것을 방지하기 위하여, 접촉 구멍(181)의 경사면을 적절하게 완만하게 만들거나, 계단형으로 만들 수 있다. 또한, 반사막(192)과 화소 전극(191)은 동시에 식각되어 실질적으로 동일한 평면 모양을 가질 수 있으며, 이 경우 공정 원가가 절감된다. 도 4의 유기 발광 표시 장치는 반사막(192)이 화소 전극(191)의 경계부를 제외한 전면과 접촉하고 있기 때문에, 발광 부재(370)의 중심부에서 좌우 방향으로 발광한 빛을 상부로 반사시키고, 화소 정의층(361)의 개구부의 경사면(365)에 위치하는 발광 부재(370)에서 발광된 빛도 상부로 반사시키기 때문에, 발광 효율이 개선된다.The
그러면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 을 설명한다. 전술한 도 2 내지 도 3의 유기 발광 표시 장치와 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to another embodiment of the present invention will be described. The description of the organic light emitting diode display of FIGS. 2 to 3 will be omitted.
기판(110) 위에 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성한다. 박막 트랜지스터와 전극을 형성하는 방법은 통상적인 박막 형성 방법인 박막 증착, 사진 식각에 의한 패터닝 등의 방법을 사용할 수 있다. 이때, 게이트 절연막(140), 제1 층간 절연막(120), 제2 층간 절연막(160)이 전술한 것처럼 박막 트랜지스터의 구성 요소 사이에 적층될 수 있다.A switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor are formed on the
스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 위에 보호막(180p, 180q)을 형성한다.The
보호막(180p, 180q) 위에 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막(192)을 형성한다. 반사막(192)은 전술한 통상적인 박막 형성 방법을 사용할 수 있다.A
반사막(192) 위에 반사막(192)을 둘러싸는 화소 정의층(361)을 형성한다. 이때, 화소 정의층(361)은 사진 공정을 통해 개구부를 형성한다.A
화소 정의층(361)과 반사막(192) 위에 화소 전극(191)을 형성한다. 화소 전극(191)은 전술한 통상적인 박막 형성 방법을 사용할 수 있다A
화소 전극(191) 위에 화소 전극(191)을 둘러싸는 스페이서(362)를 형성한다. 이때, 스페이서(362)는 사진 공정을 통해 개구부를 형성한다.A
화소 전극(191) 위에 발광 부재(370)를 형성한다. 이때 상술한 미세 금속 마스크(FMM) 증착 공정을 이용하여 형성할 수 있다.A
발광 부재(370) 위에 공통 전극(270)을 형성한다. 공통 전극(270)은 기판의 전면에 적층될 수 있다.A
그러면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 상세하게 설명한다. 전술한 도 4의 유기 발광 표시 장치와 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to another embodiment of the present invention will be described in detail. The overlapping description with the OLED display of FIG. 4 will be omitted.
도 4를 참고하면, 보호막(180p, 180q) 위에개구부를 포함하는 화소 정의층(361)을 형성하고, 화소 정의층(361) 위에 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 반사막(192)을 형성하고, 반사막(192) 위에 화소 전극을 형성하는 것이 전술한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법과 구분되는 점이다. 이때, 반사막(192)과 화소 전극(191)을 차례로 적층한 후, 동시에 식각 공정을 통하여 형성할 수 있으므로, 공정 원가가 절감된다.4, a
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이다.2 is a layout diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 유기 발광 표시 장치를 III-III 선을 따라 자른 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of the organic light emitting diode display of FIG. 2 taken along line III-III.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an OLED display according to another embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]
181, 183a, 183b: 접촉 구멍 191: 화소 전극181, 183a, 183b: contact hole 191: pixel electrode
192: 반사막 361: 화소 정의층192: reflective film 361: pixel defining layer
362: 스페이서 362: Spacer
365: 화소 정의층 개구부 주위의 경사면365: an inclined surface around the opening of the pixel defining layer
366: 스페이서 개구부 주위의 경사면 366: an inclined surface around the spacer opening
370: 유기 발광 부재370: organic light emitting member
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