KR101405300B1

KR101405300B1 - 테스트핸들러용 로딩장치 및 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법

Info

Publication number: KR101405300B1
Application number: KR1020100027577A
Authority: KR
Inventors: 전인구; 김창래; 김봉수
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2010-03-26
Filing date: 2010-03-26
Publication date: 2014-06-16
Anticipated expiration: 2030-03-26
Also published as: KR20110108204A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 로딩장치 및 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 이동형 로딩테이블이 버퍼 역할도 수행할 수 있도록 함으로써 테스트핸들러의 공간설계에 대한 자유도가 증가되면서도 로딩속도의 향상을 가져올 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러용 로딩장치 및 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법{LOADING APPARATUS FOR TEST HANDLER AND SEMICONDUCTOR DEVICE LOADING METHOD OF TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트핸들러의 반도체소자 로딩기술에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재시키는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(발명의 명칭 : ‘테스트 핸들러’) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.

일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 캐리어보드로 로딩된 후 캐리어보드에 적재된 상태로 로딩위치에서 테스트챔버를 거쳐 언로딩위치로 이동한다. 여기에서 캐리어보드가 테스트챔버 상에 위치할 때 테스터에 의해 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트가 이루어지며, 캐리어보드가 언로딩위치에 위치할 때 캐리어보드에 적재된 반도체소자들이 고객트레이로 언로딩된다. 그리고 이러한 반도체소자의 로딩과 언로딩을 위해 테스트핸들러에는 로딩장치와 언로딩장치가 구비된다.

참고로, 캐리어보드라 함은 다수의 반도체소자들이 한꺼번에 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 다수의 반도체소자들이 적재될 수 있는 적재요소인데, 이러한 캐리어보드에는 종래 개념의 테스트트레이와 근자에 새로이 제안된 신개념의 테스트보드가 있다. 아래에서는 설명의 편의를 위해 테스트트레이를 예로 들어 설명한다.

일반적으로, 테스트트레이가 테스트챔버 내에 위치하게 되면, 테스트챔버 측으로 테스트핸들러와 도킹된 테스터에 행렬형태로 설치된 테스트소켓들에 테스트트레이 상의 반도체소자들이 일대일 대응하여 전기적으로 접촉된 상태에서 반도체소자들의 테스트가 이루어진다.

그런데 일반적인 테스트 과정에서 테스트핸들러와 테스터는 연계에 의해 특정 테스트소켓들에 대해 테스트를 중지시키는 이른바 소켓오프(socket-off)를 하게 된다. 소켓오프라 함은 특정 소켓에 의한 반도체소자의 테스트 결과가 연속적으로 일정 횟수(예를 들어 3회) 이상 불량으로 나오거나 10회 중 특정 횟수(예를 들어 7회) 이상 불량으로 나올 경우 해당 소켓에 의한 더 이상의 테스트를 중지시키는 것을 말한다. 특정 테스트소켓이 소켓오프된 경우 테스터는 해당 테스트소켓에 의한 테스트를 중지시키고, 이에 따라 테스트핸들러도 해당 테스트소켓에 대응되는 지점으로 더 이상 반도체소자를 공급하지 않게 된다. 테스트핸들러에서 소켓오프된 테스트소켓으로 반도체소자를 공급하지 않는 방법은 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시킬 때 소켓오프된 테스트소켓에 대응되는 지점에는 반도체소자를 로딩시키지 않음으로써 구현된다.

따라서 소켓오프에 대응하는 지점의 반도체소자를 별도로 위치시킬 필요가 있으며, 이를 위해 종래에는 고객트레이와 테스트트레이 사이에 별도의 고정된 버퍼를 두어 해당 버퍼에 소켓오프에 대응하는 지점의 반도체소자들을 임시적으로 적재시키는 기술(이하 '종래기술'이라 함)을 사용하였다.

한편, 본 발명의 출원인은 로딩속도를 향상시키기 위하여 대한민국 등록특허 등록번호 제0800312호에 따른 발명(이하 '제1 선행기술'이라 함)을 제안한 바 있다. 제1 선행기술에 따르면 테스트핸들러의 로딩부분에 전후방향으로 이동될 수 있는 이동형 로딩테이블을 구성함으로써 로딩속도를 향상시키고 있다.

그리고 더 나아가 본 발명의 출원인은 제1 선행기술에 소켓오프된 반도체소자를 제거하는 제거핸드라는 새로운 개념을 도입한 대한민국 등록특허 등록번호 제941672호에 따른 발명(이하 '제2 선행기술'이라 함)을 더 제안한 바 있다.

그런데 종래기술, 제1 선행기술, 제2 선행기술이 순차적으로 개발되면서 로딩속도의 향상을 가져오기는 했지만, 별도의 고정된 버퍼를 구성시켜야 한다는 공간상의 제약을 가진다.

또한, 제1 선행기술에 의하면 제1 로더핸드(제1 선행기술에서는 '제1 픽킹장치'로 명명 됨)가 버퍼로 이동한 후 로딩테이블로 이동하기 때문에 그 만큼 로딩속도의 저하를 가지며, 제2 선행기술에 의하면 별도의 제거핸드 구성에 따른 장치 간 간섭문제 해결을 위한 설계의 곤란함 등의 문제점을 가진다(종래기술에 대한 문제점은 제2 선행기술에 대한 특허공보 참조).

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 별도의 버퍼나 제거핸드를 생략할 수 있으면서도 로딩속도가 향상될 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 로딩장치는, 캐리어보드로 로딩되어질 반도체소자를 안착시키는 제1 부분과 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자를 안착시키는 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)을 함께 구비하고 있는 로딩테이블; 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 상기 로딩테이블로 이동 및 적재시키는 제1 로더핸드; 및 상기 로딩테이블에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 제2 로더핸드; 를 포함하며, 상기 제1 부분에 안착된 반도체소자들 간의 간격과 상기 제2 부분에 안착된 반도체소자들 간의 간격은 동일하다.

상기 제1 부분과 제2 부분은 그 역할이 상호 전환될 수 있는 것이 바람직하다.

또한, 위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법은, 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 로딩테이블의 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 단계; 및 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키되, 소켓오프된 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블에 그대로 남겨두는 단계; 를 포함하고, 차후 상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분으로 이동 및 적재시킬 경우, 상기 제1 로더핸드에 의해 파지된 반도체소자들 중 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블의 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)으로 먼저 이동 및 적재시켜 놓은 후 나머지 반도체소자들을 상기 로딩 부분으로 이동 및 적재시킨다.

상기 제1 로더핸드가 파지하고 있는 반도체소자들 중 서로 인접하게 파지되지 아니한 복수개의 반도체소자들이 소켓오프에 모두 대응되는 경우에도, 상기 제1 로더핸드는 해당 복수개의 반도체소자들을 동시에 상기 제2 부분에 적재시킬 수 있다.

또한, 위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 형태에 따른 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법은, 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 로딩테이블의 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 단계; 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 단계; 상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블의 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)으로 이동 및 적재시키는 단계; 상기 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제2 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 단계; 를 포함한다.

그리고 상기 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블에 적재된 반도체소자를 캐리어보드로 이동 및 적재시킬 시에 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블에 그대로 남겨둔다.

차후 상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블로 이동 및 적재시키되, 상기 제1 부분과 제2 부분 중 남겨져 있는 반도체소자들이 많은 부분으로 반도체소자들을 이동 및 적재시키는 단계; 를 더 포함한다.

위와 같은 본 발명에 따르면 별도의 버퍼나 제거핸드를 구성시키지 않기 때문에 공간 설계의 자유도가 증가하면서도, 제1 로더핸드가 동시에 다수의 소켓오프된 반도체소자를 이동형 로딩테이블에 적재시키기 때문에 궁극적으로 로딩속도를 향상시킬 수 있게 된다.

도1은 본 발명의 실시에에 따른 테스트핸들러용 로딩장치에 대한 개념도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러용 로딩장치에 적용된 제1 로더핸드에 대한 개념도이다.
도3은 도1의 테스트핸들러용 로딩장치에 적용된 제2 로더핸드에 대한 개념도이다.
도4는 소켓오프 지점에 대응하는 위치를 테스트트레이 상에 표시한 예시도이다.
도5 내지 도10은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 로딩장치가 적용된 테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법을 설명하기 위한 참조도이다.
도11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트핸들러용 로딩장치에 적용되는 이동형 로딩테이블에 대한 개념도이다.
도12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스트핸들러용 로딩장치에 적용되는 이동형 로딩테이블에 대한 개념도이다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.

<제1실시예>

1. 로딩장치의 구성에 대한 설명

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 로딩장치(100)에 대한 개념적인 평면도이다.

로딩장치(100)는, 제1로더핸드(110), 제2로더핸드(120) 및 이동형 로딩테이블(130) 등을 포함하여 구성된다.

제1 로더핸드(110)는, 고객트레이(CT)로부터 전(前) 방향으로 이동되어진 상태의 이동형 로딩테이블(130)로 반도체소자들을 이동 및 적재시키기 위해 마련되며, 한꺼번에 32개의 반도체소자들을 파지할 수 있도록 4행에 행마다 각각 8개의 픽커(P)들이 배열되는 구성(4행 8열의 배열 구성)을 가진다. 그리고 도2의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 로더핸드(110)는 전후 방향으로의 픽커(P)들 간의 간격이 고객트레이(CT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(a₁) 또는 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(a₂)으로 조정될 수 있게 되어 있고, 좌우 방향으로의 픽커(P)들 간의 간격은 고객트레이(CT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(b₁)으로 고정되게 되어 있다.

제2 로더핸드(120)는, 후(後) 방향으로 이동되어진 상태의 이동형 로딩테이블(130)로부터 테스트트레이(TT)로 반도체소자들을 이송 및 적재시키기 위해 마련되며, 한꺼번에 32개의 반도체소자들을 파지할 수 있도록 2행에 행마다 각각 16개의 픽커(P)들이 배열되는 구성(2행 16열의 배열 구성)을 가진다. 그리고 도3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 로더핸드(120)는 좌우 방향으로의 픽커(P)들 간의 간격이 고객트레이(CT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(b₁) 또는 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(b₂)으로 조정될 수 있게 되어 있고, 전후 방향으로의 픽커(P)들 간의 간격은 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들 간의 간격(b₂)으로 고정되게 되어 있다.

이동형 로딩테이블(130)은, 도1의 화살표에서 참조되는 바와 같이 고객트레이(CT)에 가까운 전방향 측으로 이동되거나 테스트트레이(TT)에 가까운 후방향 측으로 이동될 수 있으며, 32행에 행마다 각각 8개의 소자안착부(131)가 배열되는 구성(32행 8열의 배열 구성)을 가진다. 이러한 이동형 로딩테이블(130)은 그 역할에 따라 제1 부분과 제2 부분으로 나뉘는 데, 홀수행(제1행, 제3행, ...., 제31행)은 제1 부분에 속하고 짝수행(제2행, 제4행, ...., 제32행)은 제2 부분에 속한다. 제1 부분과 제2 부분의 역할에 대해서는 후술한다.

이러한 이동형 로딩테이블(130)에서의 소자안착부(131)들 간의 전후 방향으로의 간격은 테스트트레이(TT)에 적재되는 반도체소자들 간의 전후 방향으로의 간격(a₂)의 1/2이 된다. 따라서, 홀수행의 소자안착부(131)들 간의 전후 방향으로의 간격과 짝수행의 소자안착부들 간의 전후 방향으로의 간격은 모두 테스트트레이(TT)에 적재되는 반도체소자들의 전후 방향으로의 간격(a₂)과 동일하다. 그리고 이동형 로딩테이블(130)의 소자안착부(131)들 간의 좌우 방향으로의 간격은 고객트레이(CT)에 적재되는 반도체소자들 간의 좌우 방향으로의 간격(b₁)과 동일하다.

참고로, 도1에서 참조되는 바와 같이, 고객트레이(CT)는 20행에 행마다 각각 8개의 소자안착부가 배열되는 구성(20행 8열의 배열 구성)을 가지며, 테스트트레이는 16행에 행마다 16개의 소자안착부가 배열되는 구성(16행 16열의 배열 구성)을 가진다. 물론, 제1 로더핸드(110), 제2 로더핸드(120)의 픽커(P) 개수와 배열 형태, 이동형 로딩테이블(130), 고객트레이(CT), 테스트트레이(TT)의 소자안착부 개수와 배열 형태는 실시하기에 따라서 달라질 수 있을 것이다.

2. 반도체소자 로딩방법에 대한 설명

계속해서 도1과 같은 로딩장치(100)를 가지는 테스트핸들러에서 반도체소자의 로딩방법에 대해 설명한다.

설명에서 앞서, 도4에 도시된 테스트트레이(TT)를 참조하면, 현재 소켓오프된 테스트소켓(미도시)에 대응하는 지점의 소자안착부들을 빗금으로 표시하였다.

(1) 고객트레이에서 이동형 로딩테이블의 제1 부분으로 반도체소자 이동(도5 참조)

제1 로더핸드(110)는 고객트레이(CT)로부터 8행 4열의 반도체소자를 파지한 다음 반도체소자들의 전후 방향으로의 간격을 조정한 후 전방향으로 전진 이동한 상태의 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분으로 이동 및 적재시킴으로써, 궁극적으로 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분을 반도체소자들로 모두 채운다.

(2) 이동형 로딩테이블의 제1 부분에서 테스트트레이로 반도체소자 이동(도6 참조)

제2 로더핸드(120)는 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분에서 테스트트레이(TT)로 반도체소자들을 파지한 후 파지한 반도체소자들의 좌우방향으로의 간격을 조정한 후 테스트트레이(TT)로 이동 및 적재시킨다.

이 때, 제2 로더핸드(120)는 소켓오프된 지점에 대응하는 위치에 있는 7개의 반도체소자들은 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분에 그대로 남겨둔다. 따라서 소켓오프된 지점에 대응하는 테스트트레이(TT)의 소자안착부(131)들로는 반도체소자가 공급되지 아니한다.

(3) 고객트레이에서 이동형 로딩테이블의 제1 부분으로 반도체소자 이동(도7 참조)

제1 로더핸드(110)는 고객트레이(CT)로부터 반도체소자들을 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분으로 이동 및 적재시킴으로써, 궁극적으로 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분을 반도체소자들로 모두 채운다. 이 때, (1) 및 (2) 단계를 거침으로써 로딩테이블(130)의 제1 부분에 반도체소자가 남겨져 있는 지점의 경우에는 반도체소자를 또 적재시킬 수 없으므로, 제1 로더핸드(110)는 파지한 반도체소자들 중 해당 지점에 대응하는 반도체소자들을 제2 부분으로 먼저 이동 및 적재(가능한 한 도7에서와 같이 이동 및 적재시키고자 하는 행의 바로 인접하는 행에 적재시키는 것이 시간적으로 이득이나 제1 로더핸드가 개별 픽커를 사용하는 경우에는 제1 부분에 먼저 적재 후 제2 부분에 적재시키는 순으로 하여도 무방하다)시킨 후 나머지 반도체소자들을 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 방식으로 하여 궁극적으로 제1 부분을 반도체소자들로 모두 채운다. 이러한 점(소켓오프된 지점에 대응하는 반도체소자들이 제2 부분에 적재되어 버퍼링 된다는 점)에서, 본 단계에서는 제2 부분이 버퍼 역할을 수행하고 제1 부분은 로딩 대기 부분으로서의 역할을 수행함을 알 수 있다.

이때, 제1 로더핸드(110)는 제2 부분에 한 번 이동으로, 제 1 로더핸드(110)로 파지한 반도체소자들 중 제 1 부분에 남겨진 반도체소자에 대응되는 반도체소자를 제 2부분에 동시에 적재 시킬 수 있는 것이다. 따라서 제 1로더핸드(110)의 이동 횟수를 최소화시킴으로써 로딩시간을 그 만큼 줄일 수가 있다. 즉, 제1 로더핸드(110)로 32개의 반도체소자를 파지한 후 2개의 반도체소자를 제2 부분에 적재시킬 경우, 종래의 방법대로라면 제1 로더핸드를 2번 이동시켰으나 본 발명은 제1 로더핸드(110)를 한번만 이동시키면 된다.

물론, 본 발명에 따르는 경우라도 제1 로더핸드(110)를 한 번 이상 이동시켜야 하는 경우도 발생하지만 대부분의 경우에는 설혹 파지하고 있는 반도체소자들 중 소켓오프에 대응하는 복수의 반도체소자들이 서로 인접하고 있지 아니한 경우에도 한 번의 이동 및 적재로 해결이 되기 때문에, 본 발명에 따르는 경우 반도체 소자를 버퍼테이블에 차례로 적재시키기 위하여 로더핸드를 버퍼테이블에 적재시키는 반도체소자의 개수만큼 이동시켜야 하는 선행 기술에 비하여 전체적인 로딩시간은 줄어들게 된다.

(4) 이동형 로딩테이블의 제1 부분에서 테스트트레이로 반도체소자 이동(도8 참조)

제2 로더핸드(120)는 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분에서 테스트트레이(TT)로 반도체소자들을 이동 및 적재시킨다.

이 때, 제2 로더핸드(120)는 소켓오프된 지점에 대응하는 위치에 있는 5개의 반도체소자들은 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분에 그대로 남겨둔다.

(5) 고객트레이에서 이동형 로딩테이블의 제2 부분으로 반도체소자 이동(도9 참조)

제1 로더핸드(110)는 고객트레이(CT)로부터 반도체소자를 파지한 다음 이동형 로딩테이블(130)의 제2 부분으로 이동 및 적재시키는데, 이 때, 제2 부분에는 (1) 내지 (4) 단계를 거치면서 소켓오프 지점에 대응하여 기존에 남아 있는 반도체소자들이 있기 때문에 제1 로더핸드(110)는 파지한 반도체소자들 중 제2 부분에 남아있는 반도체소자들의 위치에 대응하는 반도체소자들은 제1 부분으로 먼저 이동 및 적재시킨 후 나머지 반도체소자들을 제2 부분에 적재시키는 방식으로 하여 궁극적으로 제2 부분을 반도체소자들로 모두 채운다. 이러한 점(소켓오프된 지점에 대응하는 반도체소자들이 제1 부분에 적재되어 버퍼링 된다는 점)에서, 본 단계에서는 제1 부분이 버퍼 역할을 수행하고 제2 부분은 로딩 대기 부분으로서의 역할을 수행함을 알 수 있다.

그리고 본 단계를 수행하기 전에 테스트핸들러의 제어부(미도시)는 제1 부분과 제2 부분 중 어느 부분에 반도체소자들이 더 많이 남아 있는지를 판단한 후 반도체소자들이 더 많이 남아 있는 부분에 반도체소자들을 이동 및 적재시키도록 제어한다. 즉, 본 예에서는 제2 부분(짝수행 부분)에 7개, 제1 부분(홀수행 부분)에 5개의 반도체 소자가 남아 있기 때문에 제2 부분으로 반도체소자들을 이동 및 적재시켰지만, 만일 제1 부분에 반도체소자들이 더 많이 남겨져 있다면 본 단계는 제1 부분으로 반도체소자들을 이동 및 적재시키도록 구현될 것이다.

(6) 이동형 로딩테이블의 제2 부분에서 테스트트레이로 반도체소자 이동(도10 참조)

제2 로더핸드(120)는 이동형 로딩테이블(130)의 제2 부분에서 테스트트레이(TT)로 반도체소자들을 이동 및 적재시킨다.

마찬가지로, 제2 로더핸드(120)는 소켓오프된 지점에 대응하는 위치에 있는 반도체소자들은 이동형 로딩테이블(130)의 제2 부분에 그대로 남겨둔다.

(7) 고객트레이에서 이동형 로딩테이블의 제1 부분으로 반도체소자 이동

제1 로더핸드(110)는, 이번에는 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분에 반도체소자들이 더 많이 남아 있으므로, 고객트레이(CT)로부터 반도체소자를 파지한 다음 이동형 로딩테이블(130)의 제1 부분으로 이동 및 적재시킨다. 물론, 여기에서도 제1 로더핸드(110)는 파지한 반도체소자들 중 제1 부분에 남아있는 반도체소자들에 대응하는 반도체소자들은 제2 부분으로 먼저 이동 및 적재시킨 후 나머지 반도체소자들을 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 방식으로 궁극적으로 제1 부분을 반도체소자들로 채운다. 마찬가지로 소켓오프된 지점에 대응하는 반도체소자들이 제2 부분에 먼저 적재된다는 점에서, 본 단계에서, 제2 부분이 버퍼 역할을 수행하고 제1 부분이 로딩 대기 부분으로서의 역할을 수행한다.

즉, 위에서 보면 제1 부분이 로딩 대기 부분으로서의 역할을 수행하고 제2 부분이 버퍼 역할을 수행할 때도 있고, 제2 부분이 로딩 대기 부분으서의 역할을 수행하고 제1 부분이 버퍼 역할을 수행할 때도 있다. 이러한 점들에서 알 수 있듯이, 필요에 따라서 제1 부분과 제2 부분은 서로의 역할이 상호 전환되어질 수 있으며, 이렇게 서로의 역할이 상호 전환되어지는 것도 본 발명의 주요한 특징 중의 하나이다.

위와 같이 제1 부분과 제2 부분 중 반도체소자들이 더 많이 남아 있는 부분으로 고객트레이(CT)의 반도체소자들을 먼저 이동 및 적재시키는 방식으로 하여 하나의 랏(Lot : 동일 테스트가 수행되는 반도체소자들의 총 개수)에 대한 테스트가 종료될 때까지 진행한다. 이처럼 제1 부분과 제2 부분 중 반도체소자들이 더 적게 남아 있는 부분으로 반도체소자들을 먼저 이동 및 적재시키기보다 반도체소자들이 더 많이 남아 있는 부분으로 반도체소자들을 먼저 이동 및 적재시키는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 만일 버퍼역할을 하는 부분에 반도체소자가 많이 남아 있다면, 제1 로더핸드(110)가 버퍼 역할을 하는 부분에 반도체소자를 적재시킬 때 제1 로더핸드(110)를 한번 이동시켜 버퍼 역할을 하는 부분에 필요한 반도체소자를 동시에 적재시키지 못하고 여러 번 이동해야 하는 경우가 많이 발생할 수 있기 때문이다. 즉, 버퍼 역할을 하는 부분에 반도체소자가 가급적 적게 남아 있어야 제1 로더핸드(110)의 이동횟수를 줄일 수 있게 된다.

그리고 하나의 랏의 마지막 고객트레이(CT)에서 반도체소자가 이동형 로딩테이블(130)로 이동 및 적재되면, 제1 로더핸드(110)에 의해 이동형 로딩테이블(130)에서 1행 1열을 기준으로 소켓오프된 지점에 대응하는 소자안착부(131)는 비워둔 상태로 제2 부분에 있는 반도체소자를 제1 부분으로 이동시켜 정리한 상태에서 제2 로더핸드(120)에 의해 반도체소자들을 테스트트레이(TT)로 이동 및 적재시킴으로써 하나의 랏에 대한 로딩작업을 완료하게 된다.

위와 같은 방법에 따르는 경우, 실시하기에 따라서는 로딩작업 이외에서 잼(Jam)이 발생하면, 해당 잼을 처리하는 동안에도 로딩작업은 시간이 허락하는 범위 내에서 제1 부분 및 제2 부분의 채워지지 않은 행을 채우고 나서 진행을 하는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 실시예에서는 한 개의 이동형 로딩테이블(130)을 구비하는 경우만을 설명하였는데, 선행기술1 및 2에서와 같이 2개의 이동형 로딩테이블이 구비되는 경우, 제1 로더핸드에 의해 제1 이동형 로딩테이블의 제1 부분(또는 제2 부분)에 반도체소자를 모두 이동 및 적재시킨 상태인데도 제2 로더핸드가 제2 기동형 로딩테이블에 적재된 반도체소자를 테스트트레이로 이동 및 적재시키는 작업을 수행 중이면, 제1 로더핸드의 휴지 시간을 없애기 위해 제1 이동형 로딩테이블의 제2 부분(또는 제1 부분)으로 계속해서 반도체소자를 이동 및 적재시킴으로써 전체적으로 로딩 효율을 향상시킬 수 있게 된다.

한편, 상술한 내용은 로딩테이블이 이동형인 경우만을 예로 들고 있지만, 로딩테이블이 고정형인 경우에도 본 발명의 개념은 그대로 적용될 수 있다.

<제2 실시예>

제1 실시예에 따른 이동형 로딩테이블(130)은 홀수행 소자안착부(131)들이 제1 부분에 속하고 짝수행에 속한 소자안착부(132)들이 제2 부분에 속하는 예를 들고 있지만, 본 실시예에 따른 이동형 로딩테이블(140)에서는 도11에서 참조되는 바와 같이 1행 내지 16행의 소자안착부들이 제1 부분(140A)에 속하고 17행 내지 32행의 소자안착부들이 제2 부분(140B)에 속하여 그 역할을 수행하도록 구현되어 있으며, 본 실시예에 따르더라도 제1 실시예에서의 로딩방법은 그대로 따르게 된다.

<제3 실시예>

제2 실시에에 따른 이동형 로딩테이블(140)에서는 제1 부분(140A)과 제2 부분(140B)이 전후 방향으로 구분되게 나뉘어 있지만, 본 실시예에 따른 이동형 로딩테이블(150)은 도12에서 참조되는 바와 같이 제1 부분(150A)과 제2 부분(150B)이 좌우 방향으로 구분되어 나뉘어 있으며, 본 실시예에 따르는 경우에도 제1 실시예에서의 로딩방법은 그대로 따르게 된다. 참고로 본 실시예에 적합한 제2 로더핸드는 8행의 픽커들을 구비하고 있는 것이 바람직할 것이다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

100 : 로딩장치
110 : 제1 로더핸드
120 : 제2 로더핸드
130, 140, 150 : 이동형 로딩테이블

Claims

캐리어보드로 로딩되어질 반도체소자를 안착시키는 제1 부분과 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자를 안착시키는 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)을 구비하며, 이동 가능한 이동형 로딩테이블;
고객트레이에 적재된 반도체소자들을 상기 이동형 로딩테이블로 이동 및 적재시키는 제1 로더핸드; 및
상기 이동형 로딩테이블에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 제2 로더핸드; 를 포함하며,
상기 제1 부분에 안착된 반도체소자들 간의 간격과 상기 제2 부분에 안착된 반도체소자들 간의 간격은 동일하고,
상기 제1 부분과 상기 제2 부분은 상기 이동형 로딩테이블의 이동에 따라 함께 이동하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 로딩장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 부분과 제2 부분은 그 역할이 상호 전환될 수 있는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 로딩장치.
제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 로딩테이블의 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 단계; 및
제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키되, 소켓오프된 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블에 그대로 남겨두는 단계; 를 포함하고,
차후 상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분으로 이동 및 적재시킬 경우, 상기 제1 로더핸드에 의해 파지된 반도체소자들 중 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블의 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)으로 이동 및 적재시켜 놓고 나머지 반도체소자들을 상기 로딩 부분으로 이동 및 적재시켜 놓는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법.
상기 3항에 있어서
상기 제1 로더핸드가 파지하고 있는 반도체소자들 중 서로 인접하게 파지되지 아니한 복수개의 반도체소자들이 소켓오프에 모두 대응되는 경우에도, 상기 제1 로더핸드는 해당 복수개의 반도체소자들을 동시에 상기 제2 부분에 적재시킬 수 있는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법.
삭제
제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 로딩테이블의 제1 부분으로 이동 및 적재시키는 단계;
제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제1 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 단계;
상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블의 제2 부분(제2 부분 ≠ 제1 부분)으로 이동 및 적재시키는 단계;
상기 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블의 상기 제2 부분에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동 및 적재시키는 단계; 를 포함하며,
상기 제2 로더핸드에 의해 상기 로딩테이블에 적재된 반도체소자를 캐리어보드로 이동 및 적재시킬 시에 소켓오프 지점에 대응하는 반도체소자들은 상기 로딩테이블에 그대로 남겨두는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법.
제6항에 있어서,
차후 상기 제1 로더핸드에 의해 고객트레이의 반도체소자들을 상기 로딩테이블로 이동 및 적재시키되, 상기 제1 부분과 제2 부분 중 남겨져 있는 반도체소자들이 많은 부분으로 반도체소자들을 이동 및 적재시키는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러의 반도체소자 로딩방법.