KR101166996B1 - 표시장치 제조용 기판 - Google Patents

Abstract

본 발명은 표시장치 제조용 기판에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 표시장치 제조용 기판은 표시장치 제조용 기판에 있어서, 포토리소그라피공정 중 노광공정의 각 노광의 단위영역 크기로 구분되며, 적어도 두 개의 어레이기판 형성영역이 이격공간을 사이에 두고 배열된 서브영역; 및, 상기 어레이기판 형성영역 사이의 이격공간에 형성되는 적어도 두 개의 얼라인 마크;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 양측으로 배치되는 얼라인 마크간에 명암차가 발생하는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판이 제공된다.

Description

표시장치 제조용 기판{Substrate for manufacturing flat panel display device}

본 발명은 표시장치 제조용 기판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시장치용 기판 제조시 공정 간 기판의 정렬을 위해 배치되는 얼라인 마크의 명암차로 인해 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판에 관한 것이다.

일반적으로 표시장치는 각 화소에 배치되는 전극들과 각각의 화소를 제어하는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)와 같은 스위칭소자나 커패시터(Capacitor) 등을 이용하여 화상을 표시하며, 이러한 소자들이 배열 형성되어 있는 기판을 어레이기판(array substrate)이라고 한다.

표시장치의 어레이기판의 전극이나 소자들은 일반적으로 박막형성공정, 포토리소그라피(photolithograpy)공정, 식각공정 등의 과정을 통해 구현된다.

이와 같은 표시장치용 패널의 어레이기판은 공정상 편의를 위해 메인(main)기판에 다수개의 개별 어레이기판을 동시에 형성하고 이후 공정 진행 후 절단공정 등을 통해 복수개의 표시장치용 패널을 얻게 된다.

나아가 개별 어레이기판의 크기가 작은 핸드폰이나 PDA 등에 사용되는 소형 표시장치용 패널을 제조하기 위해서는, 메인기판을 포토리소그라피공정의 각 마스크(mask) 단위의 서브(sub)영역으로 분할하고, 각 서브영역에는 다수개의 개별 어레이기판이 배치되도록 하여 공정상 편의를 도모한다.

즉, 첨부된 도 1은 소형 표시장치용 패널의 일례로서, 메인기판(10)이 다수개의 서브영역(11)으로 구분되고, 다시 서브영역(11)에 다수개의 개별 어레이기판 형성영역(13)이 배치되는 것을 보여주고 있다. 도 1에 표현된 예는 메인기판(10)이 4개의 서브영역(11)으로 분할된 것을 보여주고 있으나 그에 한정되지는 않는다.

또한 각 서브영역(11)은 포토리소그라피공정의 각 마스크 단위의 영역으로서, 어레이기판 형성영역(13)상에 전극이나 소자들의 패턴을 형성하기 위한 다수의 마스크를 서브영역(11)에 정확히 정렬시키기 위해서는 얼라인 마크(alignment mark, 20)가 필요하며, 얼라인 마크(20)는 일반적으로 도 1에서와 같이 서브영역(11)의 외각 양측에 형성된다.

그러나, 이러한 얼라인 마크(20) 형성 시, 메인기판(10)의 위치별로 증착이 불균일하여, 양측 얼라인 마크(20)를 얼라인 장비인 얼라이너(aligner)가 인식함에 있어서 그 명암차에 따른 인식오류가 발생할 수 있으며, 그로 인해, 각 서브영역(11)에 마스크가 정확한 위치에 정렬되지 않게 되는 얼라인 에러(align error)가 발생하게 되는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 얼라인 마크를 각 서브영역 내에 배열된 어레이기판 형성영역들 사이의 이격공간에 위치하도록 함으로써, 양측에 배치된 얼라인 마크간에 노광 디스컬러에 의한 명암차가 발생하는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판을 제공함에 있다.

또한, 네거티브 마크와 포지티브 마크를 한 세트로 하여 얼라인 마크를 구성하고, 네거티브 마크가 어레이기판 형성영역 내에서 테두리를 향하도록 배치함으로써, 노광 디스컬러에 의한 명암차가 발생하더라도 얼라인 마크의 인식률이 저하되는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판을 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 표시장치 제조용 기판에 있어서, 포토리소그라피공정 중 노광공정의 각 노광의 단위영역 크기로 구분되며, 적어도 두 개의 어레이기판 형성영역이 이격공간을 사이에 두고 배열된 서브영역; 및, 상기 어레이기판 형성영역 시이의 이격공간에 형성되는 적어도 두 개의 얼라인 마크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 기판에 의해 달성된다.

여기서, 상기 얼라인 마크는 양각 형태인 포지티브 마크와, 음각 형태인 네거티브 마크가 한 세트로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 포지티브 마크는 상기 서브영역의 중앙부를 향해 배치되고, 상기 네거티브 마크는 상기 서브영역의 테두리를 향해 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 얼라인 마크는 十자 형태의 제1마크부와, 상기 제1마크부의 외측에 배치되는 口자 형태의 제2마크부로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 얼라인 마크를 서브영역 내에 위치하도록 함으로써 양측에 배치된 얼라인 마크간에 노광 디스컬러에 의한 명암차가 발생하는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판이 제공된다.

또한, 얼라인 마크를 네거티브 마크와 포지티브 마크를 한 세트로 구성하고, 네거티브 마크가 서브영역의 내에서 테두리를 향하도록 배치함으로써, 서브영역의 테두리 부분에서 노광 디스컬러에 의한 명암차가 발생하더라도 얼라인 마크의 인식율이 저하되는 것을 방지할 수 있는 표시장치 제조용 기판이 제공된다.

도 1은 종래 표시장치 제조용 기판의 정면도,
도 2는 본 발명 표시장치 제조용 기판의 정면도,
도 3은 본 발명의 다른실시예에 따른 표시장치 제조용 기판의 정면도이고,
도 4는 본 발명의 다른실시예에 따른 표시장치 제조용 기판의 얼라인 마크의 확대도이다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치 제조용 기판에 대하여 상세하게 설명한다.

첨부도면 중 도 2는 본 발명 표시장치 제조용 기판의 정면도이다.

상기 도면에서 나타나는 바와 같이 본 발명 표시장치 제조용 기판은 메인기판(110)과, 상기 메인기판(110)에 형성되는 얼라인 마크(120)를 포함하여 구성된다.

상기 메인기판(110)은 포토리소그라피공정 중 노광공정의 각 노광의 단위영역 크기로 구분되며, 적어도 두 개의 어레이기판 형성영역(113)이 이격공간(114)을 사이에 두고 배열된 서브영역(111)이 정의된다. 한편, 도 2에서는 메인기판(110)에 4개의 서브영역(111)이 형성된 것으로 도시하였으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 포토리소그라피공정의 각 마스크 단위의 설정 영역에 따라 변경이 가능할 것이다.

상기 얼라인 마크(120)는 '十'자 형태의 제1마크부(121)와, 상기 제1마크부(121)의 외측에 배치되는 '口'자 형태의 제2마크부(122)로 구성되는 것으로, 상기 서브영역(111)의 내부 양측에 각각 배치되도록 두 개 이상 마련되며, 상기 어레이기판 형성영역(113) 사이의 이격공간(114)에 배치된다.

상기와 같이 서브영역(111) 내의 어레이기판 형성영역(113)들 사이에 형성되는 이격공간(114)에 얼라인 마크(120)를 배치하면, 서브영역(111)내에 위치하는 어레이기판 형성영역(113)의 회로패턴과 얼라인 마크(120)가 동일한 환경으로 노광된다.

본 발명은 서브영역(111)의 외곽부에서는 노광 디스컬러에 따른 명암차가 발생하므로, 얼라인 마크(120)를 서브영역(111) 내에 위치하도록 한 것으로서, 상기와 같이 서브영역(111) 내에 얼라인 마크(120)를 형성하면, 종래와 같이 좌우 얼라인 마크(120)간의 명암차가 발생하지 않으므로 얼라인 에러를 방지할 수 있다.

따라서 본 발명은 얼라인 에러 발생 감소를 통해 에러 조치 시간이 절감되므로, 전체적인 공정의 수율을 향상시키는 효과를 제공한다.

첨부도면 중 도 3은 본 발명의 다른실시예에 따른 표시장치 제조용 기판의 정면도이고, 도 4는 본 발명의 다른실시예에 따른 표시장치 제조용 기판의 얼라인 마크의 확대도이다.

도 3에서 도시하는 바와 같은 본 발명의 다른실시예에 따른 표시장치 제조용 기판은 어레이기판 형성영역(113) 사이의 이격공간(114)에 형성되는 얼라인 마크(120)가 양각 형태인 포지티브 마크(120a)와 음각 형태인 네거티브 마크(120b)로 이루어져 한 세트를 이루는 점에서 상술한 실시예와 차이를 갖는다.

즉, 본 실시예에서의 얼라인 마크(120')는 상술한 실시예와 같이 '十'자 형태의 제1마크부(121)와 상기 제1마크부(121)의 외측에 배치되는 '口'자 형태의 제2마크부(122)로 이루어지나, 상기 제1마크부(121)와 제2마크부(122)가 노광되는 양각 형태의 포지티브 마크(120a)(도 4의 (a)참조)와, 상기 제1마크부(121)와 제2마크부(122)의 주변부가 노광되는 음각 형태의 네거티브 마크(120b)(도 4의 (b)참조)가 한 세트를 이루며 이격 배치된다.

이러한 얼라인 마크(120') 역시 상술한 실시예와 마찬가지로 서브영역(111) 내에서 어레이기판 형성영역(113)들 사이에 형성되는 이격공간(114)에 형성되므로, 양측에 각각 배치되는 얼라인 마크(120')에 종래와 같은 디스컬러에 의한 명암차가 발생하지 않는다.

특히, 본 발명의 다른 실시예에 따른 얼라인 마크(120')는 얼라인 마크(120')의 를 구성하는 포지티브 마크(120a)가 서브영역의 중앙부를 향해 배치되고, 네거티브 마크(120b)가 테두리를 향해 배치되는 점에 특징이 있다. 상기와 같이 서브영역(111)의 내부영역에서 테두리를 향해 배치되는 음각 형태의 네거티브 마크(120b)는 제1마크부(121)와 제2마크부(122)의 주변부가 노광되는 것이어서 식별력이 우수하므로, 증착 디스컬러에 의해 명암차가 다소 발생하는 경우에도 얼라인 마크(120)의 식별이 용이하게 이루어진다.

또한, 상기와 같이 식별력이 우수한 네거티브 마크(120b)와 함께 포지티브 마크(120a)를 한 세트로 하여 얼라인을 수행하므로 얼라인 에러율이 낮을 뿐만 아니라, 우수한 정렬 상태를 제공할 수 있게 된다.

아울러, 식별력이 우수한 네거티브 마크(120b)를 이용해 1차 얼라인을 수행하고, 정밀도가 우수한 포지티브 마크(120a)를 이용해 2차 얼라인을 수행하는 등의 방법을 통해 얼라인 공정을 수행함으로써 얼라인 에러율을 낮추는 것도 가능할 것이다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

110:메인기판, 111:서브영역, 113:어레이기판 형성영역, 114:이격공간,
120:얼라인 마크, 121:제1마크부, 122:제2마크부, 120a:포지티브 마크,
120b:네거티브 마크

Claims (4)

1. 삭제
2. 삭제
3. 표시장치 제조용 기판에 있어서,
   포토리소그라피공정 중 노광공정의 각 노광의 단위영역 크기로 구분되며, 적어도 두 개의 어레이기판 형성영역이 이격공간을 사이에 두고 배열된 서브영역; 및,
   상기 어레이기판 형성영역 사이의 이격공간에 형성되는 적어도 두 개의 노광마스크 정렬용 얼라인 마크;를 포함하며,
   상기 얼라인 마크는 양각 형태인 포지티브 마크와 음각 형태인 네거티브 마크가 한 세트로 이루어지고, 서브영역의 중심을 기준으로 양측에 대칭되도록 배치되며,
   상기 네거티브 마크는 상기 포지티브 마크보다 상기 서브영역의 중앙부에 더 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 기판.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 얼라인 마크는, 十 자 형태의 제1마크부와, 상기 제1마크부의 외측에 배치되는 口 자 형태의 제2마크부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 기판.

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