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KR100993145B1 - Organic light emitting diode and method of manufacturing same - Google Patents

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KR100993145B1
KR100993145B1 KR1020070123230A KR20070123230A KR100993145B1 KR 100993145 B1 KR100993145 B1 KR 100993145B1 KR 1020070123230 A KR1020070123230 A KR 1020070123230A KR 20070123230 A KR20070123230 A KR 20070123230A KR 100993145 B1 KR100993145 B1 KR 100993145B1
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inorganic thin
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Abstract

본 발명은 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판 상에 제1 전극을 증착하는 단계와, 제1 전극 상에 유기 박막층을 증착하는 단계와, 유기 박막층 상에 무기 박막층을 증착하는 단계 및 무기 박막층 상에 제2 전극을 코팅하는 단계를 포함하며, 무기 박막층은 무기화합물에 N형 불순물을 첨가한 N형 무기 박막층인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 유기 발광 다이오드가 제공된다.The present invention relates to an organic light emitting diode and a method of manufacturing the same, comprising the steps of: depositing a first electrode on a substrate; depositing an organic thin film layer on the first electrode; depositing an inorganic thin film layer on the organic thin film layer; And coating the second electrode on the inorganic thin film layer, wherein the inorganic thin film layer is an N-type inorganic thin film layer in which an N-type impurity is added to an inorganic compound, and an organic material manufactured by the method. A light emitting diode is provided.

유기 발광 다이오드, 전극, 금속 페이스트, 코팅, 열처리, 무기 박막층 Organic light emitting diode, electrode, metal paste, coating, heat treatment, inorganic thin film layer

Description

유기 발광 다이오드 및 그 제조방법 {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Organic light emitting diode and method of manufacturing the same {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속 페이스트를 사용하여 전극을 형성한 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting diode and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting diode formed of an electrode using a metal paste and a method of manufacturing the same.

LCD, PDP에 이어 차세대 평판 디스플레이로 기대되고 있는 유기 발광 다이오드(OLED;Organic Light Emitting Diode)는 발광체인 유기화합물을 여러 겹 쌓고 전압을 가하면 전류가 흘러서 발광하는 현상을 이용한 디스플레이이다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs), which are expected as next-generation flat panel displays following LCDs and PDPs, are stacked displays of organic compounds, which emit light, and emit light when current is applied.

LCD는 광의 선택적 투과를 통하여 화상을 표시하고, PDP가 플라즈마 방전을 통하여 화상을 표시하는 것에 반하여, 유기 발광 다이오드는 전계 발광이라는 메커니즘을 통하여 화상을 표시하게 된다. 이는 두 개의 전극 사이에 유기발광재료를 삽입하고, 각 전극에 전압을 가하면, 양극과 음극에서 각각 전자와 정공이 유기층 안으로 주입되어, 전자와 정공이 재결합되는데, 이때 발생하는 재결합 에너지가 유기 분자들을 자극함으로써 빛을 발생시키는 방식이다. 이러한 유기 발광 다이오드는 자체 발광 특성과 함께 시야각이 넓고, 고선명, 고화질, 고속 응답성 등의 장점 이 있어 소형 디스플레이에 많이 적용되고 있다. The LCD displays an image through selective transmission of light, and the organic light emitting diode displays an image through a mechanism called electroluminescence, whereas the PDP displays an image through plasma discharge. The organic light emitting material is inserted between the two electrodes, and when a voltage is applied to each electrode, electrons and holes are injected into the organic layer at the anode and the cathode, respectively, and the electrons and holes are recombined. It is a way of generating light by stimulating. Such organic light emitting diodes are widely applied to small displays due to their self-luminous characteristics and a wide viewing angle, high definition, high image quality, and high speed response.

도 1에는 종래 기술에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도가 도시된다. 상기 도 1을 참조하면, 유기 발광 다이오드는 기판(10), 애노드 전극(20), 유기 박막층(30) 및 캐소드 전극(40)을 포함하며, 기판(10) 상에 애노드 전극(20), 유기 박막층(30) 및 캐소드 전극(40)이 순차적으로 형성된 구조이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to the prior art. Referring to FIG. 1, the organic light emitting diode includes a substrate 10, an anode electrode 20, an organic thin film layer 30, and a cathode electrode 40, and the anode electrode 20 and the organic layer on the substrate 10. The thin film layer 30 and the cathode electrode 40 are sequentially formed.

기판(10)은 일반적으로 유리 기판이 사용되나, 플렉서블 디스플레이를 구현하는 경우에는 플라스틱 기판이 사용될 수도 있다. The substrate 10 is generally a glass substrate, but in the case of implementing a flexible display, a plastic substrate may be used.

애노드 전극(20)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 재료를 이용하여 형성될 수 있다.The anode electrode 20 may be formed using a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

애노드 전극(20) 상에는 유기 박막층(30)과 캐소드 전극(40)이 순차적으로 형성되는데, 캐소드 전극(40)은 알루미늄(Al) 또는 은-마그네슘 합금(Ag-Mg)등의 금속을 진공증착(evaporation), 스퍼터(sputter) 또는 E-빔(beam) 등의 방식을 통하여 형성한다.The organic thin film layer 30 and the cathode electrode 40 are sequentially formed on the anode electrode 20. The cathode electrode 40 is formed by vacuum depositing a metal such as aluminum (Al) or silver-magnesium alloy (Ag-Mg). It is formed through a method such as evaporation, sputter or E-beam.

그러나 진공증착과 E-빔은 대면적화에 부적합한 특성을 나타내고 있으며, 스퍼터의 경우에는 유기 박막층에 손상을 발생하는 문제점이 발생한다. However, vacuum deposition and E-beams are inadequate for large area, and sputtering causes damage to the organic thin film layer.

또한, 증착 장비를 사용하여 전극을 제작할 경우, 설비 투자비와 생산 비용의 증가가 불가피하여, 유기 발광 다이오드의 단가 역시 상승하는 문제점이 발생하게 된다.In addition, when manufacturing the electrode using the deposition equipment, it is inevitable to increase the equipment investment cost and production cost, the cost of the organic light emitting diode also increases.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상압 코팅 방식을 적용하여 전극을 형성함으로써, 대면적화와 생산성 향상을 이룰 수 있는 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, the problem to be solved by the present invention is to form an electrode by applying an atmospheric pressure coating method, an organic light emitting diode that can achieve a large area and improved productivity and a method of manufacturing the same It is to provide.

본 발명의 다른 목적은 유기 발광 다이오드의 유기 박막층의 손상과 계면 문제를 해결하기 위하여, 무기물 박막층을 삽입하여, 상압 코팅 후에도 특성 변화가 발생하지 않는 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting diode and a method of manufacturing the same, in which a characteristic change does not occur even after the atmospheric pressure coating by inserting an inorganic thin film layer in order to solve the damage and interface problems of the organic thin film layer of the organic light emitting diode.

본 발명의 예시적인 실시예에 따르면, 기판 상에 제1 전극을 증착하는 단계; 상기 제1 전극 상에 유기 박막층을 증착하는 단계; 상기 유기 박막층 상에 무기 박막층을 증착하는 단계; 및 상기 무기 박막층 상에 제2 전극을 코팅하는 단계를 포함하며, 상기 무기 박막층은 무기화합물에 N형 불순물을 첨가한 N형 무기 박막층인유기 발광 다이오드 제조방법이 제공된다.According to an exemplary embodiment of the present invention, there is provided a method, comprising depositing a first electrode on a substrate; Depositing an organic thin film layer on the first electrode; Depositing an inorganic thin film layer on the organic thin film layer; And coating a second electrode on the inorganic thin film layer, wherein the inorganic thin film layer is an N-type inorganic thin film layer in which an N-type impurity is added to an inorganic compound.

상기 제2 전극을 코팅하는 단계는 상기 무기 박막층 상에 금속 페이스트를 코팅하는 단계; 및 열처리를 수행하는 단계를 포함한다.Coating the second electrode may include coating a metal paste on the inorganic thin film layer; And performing a heat treatment.

상기 유기 박막층은 유기 발광층을 포함한다.The organic thin film layer includes an organic light emitting layer.

상기 무기 박막층을 증착하는 단계는 상기 무기 박막층을 50Å 내지 1000Å의 두께로 증착하는 단계를 포함한다.Depositing the inorganic thin film layer includes depositing the inorganic thin film layer to a thickness of 50 kPa to 1000 kPa.

상기 금속 페이스트를 코팅하는 단계는 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 은-마그네슘 합금(Ag-Mg) 중 어느 하나로 이루어진 금속 페이스트를 상기 무기 박막층 상 에 코팅하는 단계를 포함한다.Coating the metal paste includes coating a metal paste made of any one of silver (Ag), aluminum (Al), or silver-magnesium alloy (Ag-Mg) on the inorganic thin film layer.

상기 열처리를 수행하는 단계는 섭씨 80도 내지 섭씨 150의 범위로 열처리를 수행하는 단계를 포함한다.Performing the heat treatment includes performing a heat treatment in the range of 80 degrees Celsius to 150 degrees Celsius.

상기 무기 박막층 상에 금속 페이스트를 코팅하는 단계는 금속 페이스트를 상압에서 스크린 프린트(screen print), 스핀 코팅(spin coating), 그라비어 인쇄(gravier print) 또는 잉크젯 프린트(inkjet print) 중 어느 하나의 방식으로 코팅하는 단계를 포함한다.Coating the metal paste on the inorganic thin film layer may be performed by screen printing, spin coating, gravure printing, or inkjet printing of the metal paste at atmospheric pressure. Coating.

상기 유기 박막층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층 및 전자 수송층 중 어느 한 층 또는 그 조합으로 구성된 층을 더 포함한다.The organic thin film layer further includes a layer composed of any one or a combination of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 기판 상에 형성된 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 형성된 유기 박막층; 상기 유기 박막층 상에 형성된 무기 박막층; 및 상기 무기 박막층 상에 형성된 제2 전극을 포함하며, 상기 무기 박막층은 무기화합물에 N형 불순물을 첨가한 N형 무기 박막층인 유기 발광 다이오드가 제공된다.According to another embodiment of the invention, the first electrode formed on the substrate; An organic thin film layer formed on the first electrode; An inorganic thin film layer formed on the organic thin film layer; And a second electrode formed on the inorganic thin film layer, wherein the inorganic thin film layer is an N-type inorganic thin film layer in which an N-type impurity is added to an inorganic compound.

상기 유기 박막층은 유기 발광층을 포함한다.The organic thin film layer includes an organic light emitting layer.

상기 무기 박막층은 50Å 내지 1000Å의 두께로 형성된다.The inorganic thin film layer is formed to a thickness of 50 kPa to 1000 kPa.

상기 유기 박막층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층 및 전자 수송층 중 어느 한 층 또는 그 조합으로 구성된 층을 더 포함한다.The organic thin film layer further includes a layer composed of any one or a combination of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer.

본 발명에서와 같이, 유기 발광 다이오드의 전극을 금속 페이스트를 사용하여 상압 코팅 방식으로 제작하게 되면, 대면적화와 생산성에서 획기적인 개선을 이 룰 수 있게 된다.As in the present invention, when the electrode of the organic light emitting diode is manufactured by the atmospheric pressure coating method using a metal paste, it is possible to achieve a significant improvement in large area and productivity.

또한, N형 무기 박막층을 유기 박막층과 전극 사이에 삽입한 후, 상압 코팅 방식을 적용하게 되면, 유기 박막층의 손상을 방지할 수 있으며, 구동 전압 상승도 억제하는 효과를 얻게 된다.In addition, when the N-type inorganic thin film layer is inserted between the organic thin film layer and the electrode, and the atmospheric pressure coating method is applied, damage to the organic thin film layer can be prevented and the driving voltage rise can be also suppressed.

도면에서 여러 층 및 각 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 표현하였으며 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭하도록 하였다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상부 또는 위에 있다고 표현되는 경우는 각 부분이 다른 부분의 바로 상부 또는 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 각 부분과 다른 부분의 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, panels, etc., may be exaggerated for clarity, and like reference numerals designate like elements. In addition, when a part such as a layer, a film, an area, or a plate is expressed as being on or above another part, not only when each part is directly above or directly above the other part but also another part between each part and another part It also includes cases where there is.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 유기 발광 다이오드(100)는 기판(110), 애노드 전극(120), 유기 박막층(130), 무기 박막층(140) 및 캐소드 전극(150)을 포함한다. 유기 발광 다이오드(100)는 기판(110) 상에 애노드 전극(120), 유기 박막층(130), 무기 박막층(140) 및 캐소드 전극(150)이 순차적으로 형성된다.Referring to FIG. 2, the organic light emitting diode 100 includes a substrate 110, an anode electrode 120, an organic thin film layer 130, an inorganic thin film layer 140, and a cathode electrode 150. In the organic light emitting diode 100, an anode electrode 120, an organic thin film layer 130, an inorganic thin film layer 140, and a cathode electrode 150 are sequentially formed on the substrate 110.

기판(110)은 유리 기판이 사용되며, 플렉서블 디스플레이를 구현하는 경우에는 플라스틱 기판이 사용될 수 있다. The substrate 110 may be a glass substrate, and in the case of implementing a flexible display, a plastic substrate may be used.

기판(110) 상에 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 재료를 이용하여 애노드 전극(120)이 형성되며, 애노드 전극(120) 상에는 유기 박막층(130)이 형성된다. 이때, 유기 박막층(130)은 후술되는 유기 발광층의 기능을 수행할 수 있다. An anode electrode 120 is formed on the substrate 110 using a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), and an organic thin film layer 130 is formed on the anode electrode 120. . In this case, the organic thin film layer 130 may perform a function of the organic light emitting layer to be described later.

유기 박막층(130) 상에는 무기 박막층(140)이 형성되는데, 이때 무기 박막층(140)은 산화 티타늄(TiOx) 또는 산화 아연(ZnOx)으로 구성된다. 무기 박막층(140)의 두께는 50Å 내지 1000Å으로 형성된다.An inorganic thin film layer 140 is formed on the organic thin film layer 130, wherein the inorganic thin film layer 140 is made of titanium oxide (TiOx) or zinc oxide (ZnOx). The inorganic thin film layer 140 has a thickness of 50 kPa to 1000 kPa.

한편, 무기 박막층(140)은 N형 불순물 예를 들면, Si, Ge, Sn, Te 또는 S 등을 첨가하여, N형 무기 박막층으로 형성할 수 있다.The inorganic thin film layer 140 may be formed of an N-type inorganic thin film layer by adding an N-type impurity, for example, Si, Ge, Sn, Te, or S.

무기 박막층(140) 상에는 캐소드 전극(150)이 형성된다. 캐소드 전극(150)은 금속 페이스트를 상압 코팅 방식을 이용하여 무기 박막층(140) 상에 형성한다. 금속 페이스트로는 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 은-마그네슘 합금(Ag-Mg) 등이 사용될 수 있다.The cathode electrode 150 is formed on the inorganic thin film layer 140. The cathode electrode 150 forms a metal paste on the inorganic thin film layer 140 using an atmospheric pressure coating method. As the metal paste, silver (Ag), aluminum (Al) or silver-magnesium alloy (Ag-Mg) may be used.

상기에서 살펴본 바와 같이, 금속 페이스트를 이용하여 형성된 캐소드 전극(150)과 유기 박막층(130) 사이에 무기 박막층(140)을 형성하게 되면, 금속 페이스트에 의해서 유기 박막층(130)이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.As described above, when the inorganic thin film layer 140 is formed between the cathode electrode 150 and the organic thin film layer 130 formed using the metal paste, the organic thin film layer 130 may be prevented from being damaged by the metal paste. It becomes possible.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 유기 발광 다이오드는 도 2에 도시된 유기 발광 다이오드와 비교하여, 유기 박막층이 복수층으로 구성된다는 점이 상이하며, 나머지 구성요소는 거의 유사하므로, 이하에서는 상이한 구성요소를 중심으로 설명한다.The organic light emitting diode shown in FIG. 3 differs from the organic light emitting diode shown in FIG. 2 in that the organic thin film layer is composed of a plurality of layers, and the remaining components are almost similar, and thus, the following description will focus on different components. do.

도 3을 참조하면, 유기 발광 다이오드(200)는 기판(210), 애노드 전극(220), 유기 박막층(230), 무기 박막층(240) 및 캐소드 전극(250)을 포함한다. 유기 발광 다이오드(200)는 기판(210) 상에 애노드 전극(220), 유기 박막층(230), 무기 박막층(240) 및 캐소드 전극(250)이 순차적으로 형성된다.Referring to FIG. 3, the organic light emitting diode 200 includes a substrate 210, an anode electrode 220, an organic thin film layer 230, an inorganic thin film layer 240, and a cathode electrode 250. In the organic light emitting diode 200, an anode electrode 220, an organic thin film layer 230, an inorganic thin film layer 240, and a cathode electrode 250 are sequentially formed on the substrate 210.

유기 박막층(230)은 정공 주입층(hole injection layer)(231), 정공 수송층(hole transport layer)(232), 유기 발광층(232), 전자 주입층(electron injection layer)(234)로 구성된다.The organic thin film layer 230 includes a hole injection layer 231, a hole transport layer 232, an organic emission layer 232, and an electron injection layer 234.

유기 박막층(230)의 각층의 재료로서는 다음의 것들이 사용된다. 예를 들면, 정공 주입층(231)으로는 Copper phthalocyanine (CuPc)등이 사용되며, 정공 수송층(232)으로는 N,N'-di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenylbenzidine (α-NPB) 등을 사용할 수 있다. 또한, 유기 발광층(233)으로는 8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3) 등을 사용할 수 있으며, 전자 주입층(234)으로는 LiF, Al를 사용할 수 있다.As a material of each layer of the organic thin film layer 230, the following are used. For example, copper phthalocyanine (CuPc) is used as the hole injection layer 231, and N, N'-di (naphthalene-1-yl) -N, N'-diphenylbenzidine ( α-NPB) and the like can be used. In addition, 8-hydroxyquinoline aluminum (Alq 3 ) or the like may be used as the organic emission layer 233, and LiF or Al may be used as the electron injection layer 234.

한편, 본 실시예에서는 유기 박막층(230)이 정공 주입층(231), 정공 수송층(232), 유기 발광층(233), 전자 주입층(234)이 순차적으로 적층되어 형성된 경우를 예로서 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 박막층(230)은 이하와 같이 다양하게 형성될 수 있으며, 사용된 재료 또는 상기 재료에 한정되는 것은 아니며 다양한 재료가 사용될 수 있다.In the present exemplary embodiment, the organic thin film layer 230 is formed by sequentially stacking the hole injection layer 231, the hole transport layer 232, the organic emission layer 233, and the electron injection layer 234. However, the present invention is not limited thereto, and the organic thin film layer 230 may be variously formed as follows. The organic thin film layer 230 is not limited to the materials used or the materials, and various materials may be used.

예를 들면, 상기 유기 박막층은 정공 주입층/유기 발광층, 유기 발광층/전자 주입층, 정공 주입층/유기 발광층/전자 주입층, 정공 수송층/유기 발광층/전자 주입층, 정공 주입층/정공 수송층/유기 발광층/전자 주입층 또는 정공 주입층/정공 수송층/유기 발광층/전자 수송층/전자 주입층 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.For example, the organic thin film layer may include a hole injection layer / organic emission layer, an organic emission layer / electron injection layer, a hole injection layer / organic emission layer / electron injection layer, a hole transport layer / organic emission layer / electron injection layer, a hole injection layer / hole transport layer / The organic light emitting layer / the electron injection layer or the hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer may be formed in various forms.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하여 본 발명에 따른 유기 발광 다이오드의 제조방법을 살펴보면, 우선 기판을 준비하는 과정을 수행한다(S410). 이때, 기판은 유리 기판이 사용되며, 플렉서블 디스플레이를 구현하는 경우에는 플라스틱 기판이 사용될 수 있다. Looking at the manufacturing method of the organic light emitting diode according to the present invention with reference to Figure 4, first to prepare a substrate (S410). In this case, the substrate may be a glass substrate, and in the case of implementing a flexible display, a plastic substrate may be used.

기판 상에 제1전극을 형성하는 과정을 수행한다(S420). 제1전극은 애노드 전극으로 기능하며, 제1전극의 재료로는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 재료를 사용할 수 있다. A process of forming a first electrode on the substrate is performed (S420). The first electrode functions as an anode electrode, and a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) may be used as a material of the first electrode.

그리고 나서, 제1전극 상에 유기 박막층을 증착한다(S430). 이때, 유기 박막층은 유기 발광층만으로 형성되거나, 유기 발광층 이외에 다른 층 예를 들면, 정공 주입층, 정공 수송층 또는 전자 수송층 등을 포함한 복수의 층으로 형성될 수도 있다.Then, an organic thin film layer is deposited on the first electrode (S430). In this case, the organic thin film layer may be formed of only an organic light emitting layer, or may be formed of a plurality of layers including another layer, for example, a hole injection layer, a hole transport layer, or an electron transport layer, in addition to the organic light emitting layer.

그 다음에, 유기 박막층 상에 무기 박막층을 형성하는 과정을 수행한다(S440). 무기 박막층은 산화 티타늄(TiOx) 또는 산화 아연(ZnOx)으로 구성되며, 무기 박막층의 두께는 50Å 내지 1000Å으로 형성한다. Next, a process of forming an inorganic thin film layer on the organic thin film layer is performed (S440). The inorganic thin film layer is composed of titanium oxide (TiOx) or zinc oxide (ZnOx), and the thickness of the inorganic thin film layer is 50 kPa to 1000 kPa.

또한, 무기 박막층은 N형 불순물 예를 들면, Si, Ge, Sn, Te 또는 S 등을 첨가하여, N형 무기 박막층으로 형성하는 것이 바람직하다.The inorganic thin film layer is preferably formed of an N-type inorganic thin film layer by adding an N-type impurity, for example, Si, Ge, Sn, Te, or S.

무기 박막층을 형성한 후, 무기 박막층 상에 제2 전극을 형성하기 위한 금속 페이스트를 코팅하는 과정을 수행한다(S450).After forming the inorganic thin film layer, a process of coating a metal paste for forming a second electrode on the inorganic thin film layer is performed (S450).

금속 페이스트는 상압에서 코팅이 진행되며, 코팅 방식으로는 스크린 프린트(screen print), 스핀 코팅(spin coating), 그라비어 인쇄(gravier print) 또는 잉크젯 프린트(inkjet print) 등 다양한 방식이 사용될 수 있다.The coating of the metal paste is performed at atmospheric pressure, and various coating methods such as screen printing, spin coating, gravure printing, or inkjet printing may be used as the coating method.

금속 페이스트의 재료로는 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 은-마그네슘 합금(Ag-Mg) 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 반사도가 높은 다양한 금속이 사용될 수 있다.As a material of the metal paste, silver (Ag), aluminum (Al), or silver-magnesium alloy (Ag-Mg) may be used, but the present invention is not limited thereto, and various metals having high reflectivity may be used.

그리고 나서, 코팅된 금속 페이스트를 열처리하는 과정을 수행하여, 제2전극을 형성하는 과정을 수행한다(S460).Then, a process of heat-treating the coated metal paste is performed to form a second electrode (S460).

금속 페이스트는 열처리를 통하여 경화되어, 제2전극을 형성하게 된다. 열처리시, 열처리 온도는 섭씨 150도 이하에서 수행할 수 있으며, 바람직하게는 섭씨 80도 내지 150도 사이의 온도로 열처리를 수행한다.The metal paste is cured through heat treatment to form a second electrode. At the time of heat treatment, the heat treatment temperature may be performed at 150 degrees Celsius or less, and preferably, the heat treatment is performed at a temperature between 80 degrees and 150 degrees Celsius.

도 5a 내지 도 5f는 도 4에 도시된 유기 발광 다이오드의 제조방법에 따른 유기 발광 다이오드의 제조 공정 단면도이다.5A through 5F are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing an organic light emitting diode according to the method of manufacturing the organic light emitting diode shown in FIG. 4.

도 5a 내지 도 5f를 참조하여 유기 발광 다이오드의 제조 공정을 살펴보면, 우선 유리 기판 또는 플라스틱 기판으로 이루어진 기판(210)이 마련된다(도 5a).Referring to FIGS. 5A to 5F, a manufacturing process of an organic light emitting diode is described. First, a substrate 210 made of a glass substrate or a plastic substrate is provided (FIG. 5A).

기판(210) 상에 애노드 전극(220), 유기 박막층(230) 및 무기 박막층(240)이 순차적으로 적층되어 형성된다(도 5b 내지 도 5d).An anode electrode 220, an organic thin film layer 230, and an inorganic thin film layer 240 are sequentially stacked on the substrate 210 (FIGS. 5B to 5D).

애노드 전극(220)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 재료를 이용하여 형성된다. 그리고, 유기 박막층(230)은 정공 주입층(hole injection layer)(231), 정공 수송층(hole transport layer)(232), 유기 발광층(232), 전자 주입층(electron injection layer)(234)로 구성될 수 있다.The anode electrode 220 is formed using a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). The organic thin film layer 230 includes a hole injection layer 231, a hole transport layer 232, an organic emission layer 232, and an electron injection layer 234. Can be.

무기 박막층(240)은 산화 티타늄(TiOx) 또는 산화 아연(ZnOx)에 N형 불순물 예를 들면, Si, Ge, Sn, Te 또는 S 등을 첨가한 N형 무기 박막층으로 형성하며, 무기 박막층(240)의 두께는 50Å 내지 1000Å으로 형성한다.The inorganic thin film layer 240 is formed of an N-type inorganic thin film layer in which N-type impurities such as Si, Ge, Sn, Te, or S are added to titanium oxide (TiOx) or zinc oxide (ZnOx), and the inorganic thin film layer 240 ) Has a thickness of 50 kPa to 1000 kPa.

무기 박막층(240) 상에 금속 페이스트(251)를 적하한 다음에, 스핀 코팅 방식을 이용하여 금속 페이스트(251)를 무기 박막층(240) 상에 코팅한다. 그리고 나서, 금속 페이스트(251)를 열처리하여 캐소드 전극(250)을 형성하게 된다(도 5e 및 도 5f).After the metal paste 251 is dropped on the inorganic thin film layer 240, the metal paste 251 is coated on the inorganic thin film layer 240 by using a spin coating method. Then, the metal paste 251 is heat-treated to form the cathode electrode 250 (FIGS. 5E and 5F).

본 실시예의 경우, 스핀 코팅 방식을 이용하여 금속 페이스트를 코팅하였으나, 코팅 방식이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기에서 살펴본 바와 같이 스크린 프린트(screen print), 그라비어 인쇄(gravier print) 또는 잉크젯 프린트(inkjet print) 등 다양한 방식을 통하여 금속 페이스트를 코팅할 수 있다.In the present embodiment, the metal paste is coated using a spin coating method, but the coating method is not limited thereto, and as described above, screen print, gravure print, or inkjet print may be used. The metal paste may be coated in various ways, such as).

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유기 발광 다이오드 및 그 제조방법의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당 해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is merely an exemplary embodiment of the organic light emitting diode and its manufacturing method according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, as claimed in the claims below, Without departing from the gist of the invention, any person having ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

도 1은 종래 기술에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to the prior art.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 다이오드의 제조 공정 단면도이다.5A through 5F are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

110: 기판110: substrate

120: 제1 전극120: first electrode

130: 유기 박막층130: organic thin film layer

140: n형 무기 박막층140: n-type inorganic thin film layer

150: 제2 전극150: second electrode

Claims (12)

기판 상에 제1 전극을 증착하는 단계;Depositing a first electrode on the substrate; 상기 제1 전극 상에 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 형성하는 단계;Forming a hole injection layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer on the first electrode; 상기 전자 주입층 상에 무기 박막층을 증착하는 단계;Depositing an inorganic thin film layer on the electron injection layer; 상기 무기 박막층 상에 금속 페이스트를 코팅하여 제2 전극을 형성하는 단계; 및Forming a second electrode by coating a metal paste on the inorganic thin film layer; And 상기 금속 페이스트를 열처리하는 단계를 포함하며,Heat treating the metal paste; 상기 무기 박막층은 산화 티타늄 또는 산화 아연 중 어느 하나를 포함하고, N형 불순물이 첨가된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법.The inorganic thin film layer includes any one of titanium oxide and zinc oxide, and an organic light emitting diode manufacturing method, characterized in that the N-type impurities are added. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 무기 박막층을 증착하는 단계는,Depositing the inorganic thin film layer, 상기 무기 박막층을 50Å 내지 1000Å의 두께로 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법.Organic light emitting diode manufacturing method comprising the step of depositing the inorganic thin film layer to a thickness of 50 kW to 1000 kW. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 금속 페이스트를 코팅하는 단계는,Coating the metal paste, 은(Ag), 알루미늄(Al) 및 은-마그네슘 합금(Ag-Mg)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 금속 페이스트를 상기 무기 박막층 상에 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법.A method of manufacturing an organic light emitting diode, comprising coating on the inorganic thin film layer any one metal paste selected from the group consisting of silver (Ag), aluminum (Al), and silver-magnesium alloy (Ag-Mg). . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 열처리를 수행하는 단계는,The step of performing the heat treatment, 섭씨 80도 내지 섭씨 150도의 범위로 열처리를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법.Organic light emitting diode manufacturing method comprising the step of performing a heat treatment in the range of 80 degrees Celsius to 150 degrees Celsius. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 무기 박막층 상에 금속 페이스트를 코팅하는 단계는,Coating the metal paste on the inorganic thin film layer, 금속 페이스트를 상압에서 스크린 프린트(screen print), 스핀 코팅(spin coating), 그라비어 인쇄(gravier print) 및 잉크젯 프린트(inkjet print)로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 방식으로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 제조방법.Coating the metal paste in any one manner selected from the group consisting of screen print, spin coating, gravier print and inkjet print at atmospheric pressure. An organic light emitting diode manufacturing method. 삭제delete 기판 상에 형성된 제1 전극;A first electrode formed on the substrate; 상기 제1 전극 상에 적층 형성된 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층;A hole injection layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer formed on the first electrode; 상기 전자 주입층 상에 형성된 무기 박막층; 및An inorganic thin film layer formed on the electron injection layer; And 상기 무기 박막층 상에 금속 페이스트를 코팅하여 형성된 제2 전극을 포함하며, A second electrode formed by coating a metal paste on the inorganic thin film layer, 상기 무기 박막층은 산화 티타늄 또는 산화 아연 중 어느 하나를 포함하며, N형 불순물이 첨가된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드.The inorganic thin film layer includes any one of titanium oxide and zinc oxide, and an organic light emitting diode, wherein an N-type impurity is added. 삭제delete 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 무기 박막층은 50Å 내지 1000Å의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드.The inorganic thin film layer is an organic light emitting diode, characterized in that formed in a thickness of 50Å to 1000Å. 삭제delete
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