KR100907816B1

KR100907816B1 - Reverse Pressure Gate Valve

Info

Publication number: KR100907816B1
Application number: KR1020070089913A
Authority: KR
Inventors: 김경수; 노재민; 박정훈
Original assignee: 주식회사 에이티에스엔지니어링
Priority date: 2007-09-05
Filing date: 2007-09-05
Publication date: 2009-07-16
Anticipated expiration: 2027-09-05
Also published as: KR20090024934A

Abstract

본 발명은 역압 대응식 게이트 밸브에 관한 것으로, 본 발명에 의한 역압 대응식 게이트 밸브는 진공 챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 진공 챔버에 접하도록 구비되며 측벽에 개구부가 형성되는 몸체; 상기 개구부가 기어 구동에 의해 개폐될 수 있도록 상기 몸체 내부에 구비되는 밸브 유닛; 및 상기 밸브 유닛을 승강시킬 수 있도록 상기 몸체의 일측벽에 적어도 하나가 구비되는 승강 유닛; 을 포함하여 이루어진다.The present invention relates to a gate valve for a counter pressure response, the gate valve for a counter pressure response according to the present invention is provided in the vacuum chamber to control the entry and exit of the substrate, the gate valve is provided in contact with the vacuum chamber and the opening on the side wall Body formed; A valve unit provided inside the body to open and close the opening by a gear drive; And a lifting unit provided with at least one side wall of the body to lift the valve unit. It is made, including.

본 발명에 따르면, 실링시 진공 챔버 방향으로의 가압력을 최소화하면서 역압에 대처할 수 있어 실링 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to cope with the back pressure while minimizing the pressing force in the vacuum chamber direction when sealing has the effect of improving the sealing efficiency.

게이트 밸브, 역압(Counterpressure), 대응, 챔버, 통로 Gate Valve, Counterpressure, Response, Chamber, Passage

Description

COUNTERPRESSURE CORRESPONDENCE GATE VALVE OF VACUUM PROCESSING APPARATUS

본 발명은 역압 대응식 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실링시 챔버 방향으로의 가압력을 최소화하면서 역압에 대처할 수 있어 실링 효율을 향상시킬 수 있는 역압 대응식 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a back pressure-responsive gate valve, and more particularly, to a back pressure-responsive gate valve that can cope with a back pressure while minimizing a pressing force in a chamber direction during sealing.

통상적으로 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판은 진공 챔버에 구비되는 기판 이송통로를 통하여 여러 처리실로부터 삽입 또는 반출되는데, 이러한 기판 이송통로에는 이 통로를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된다. In general, in an apparatus for processing a semiconductor wafer or liquid crystal substrate, the semiconductor wafer or liquid crystal substrate is inserted or taken out from various processing chambers through a substrate transfer passage provided in a vacuum chamber, and the substrate transfer passage includes a gate for opening and closing the passage. A valve is provided.

이러한 종래의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(1) 일측에 마련되어 기판 등과 같은 피처리물이 반입 또는 반출되는 슬릿(Slit) 형상의 통로(2) 상에 상기 통로(2)와 대응되는 크기를 갖는 실링 플레이트(33)가 마련되고, 상기 실링 플레이트(32)를 승강시키면서 상승시 진공 챔버(1)의 통로(2) 방향으로 경사지게 구동하여 밀착된 상기 통로(2)를 실링하는 구동수단(31)이 구비된다.As shown in FIG. 1, the conventional gate valve is provided on one side of the vacuum chamber 1 to allow the passage 2 to be slit-shaped passage 2 into which a target object such as a substrate is carried in or taken out. And a sealing plate 33 having a size corresponding to the sealing plate 33, and when the sealing plate 32 is raised and lowered, the sealing plate 33 is inclinedly driven in the direction of the passage 2 of the vacuum chamber 1 to seal the passage 2 closely contacted. The drive means 31 is provided.

여기서, 상기 실링 플레이트(32)에는 상기 통로(2)를 실링하기 위해서 상기 진공 챔버(1)와의 접촉 부위에 오링(도면에 미도시)이 구비되며 상기 진공 챔버(1)의 통로(2)를 폐쇄할 경우 이 실링 플레이트(32)가 상기 수평실린더의 가압력(A)으로 상기 오링을 압축시켜 밀폐되는 것이다.Here, the sealing plate 32 is provided with an O-ring (not shown in the drawing) at the contact portion with the vacuum chamber 1 in order to seal the passage 2 and the passage 2 of the vacuum chamber 1 is provided. When closed, the sealing plate 32 is closed by compressing the O-ring with the pressing force A of the horizontal cylinder.

그러나 반도체 장비의 배열에 따라 가압력(A)이 진공 챔버(1)에서 게이트 밸브(3) 방향으로 역압(Counterpressure)이 발생하게 되는데 이때 역압의 크기는 상기 통로(2)의 면적과 상기 챔버(1) 내 압력에 따라 다르지만 보통 상기 오링을 밀어내는 힘의 2배 이상된다.However, according to the arrangement of the semiconductor equipment, a counter pressure is generated from the vacuum chamber 1 toward the gate valve 3 according to the arrangement of the semiconductor equipment, in which the magnitude of the back pressure is the area of the passage 2 and the chamber 1. Depending on the pressure in the cylinder, it is usually more than twice the force pushing the o-ring.

이와 같이 상기 게이트 밸브(3)에 미치는 역압을 견디면서 상기 통로(2)의 실링도 가능하게 할 경우 가압력(A)은 더욱더 커야 하며 이때 이 게이트 밸브(3)의 크기도 방대해지고 그 무게 역시 증가되는 문제점과 함께 반복적인 실링 작업으로 오차로 인한 기밀성이 저하되는 문제점이 있었다. In this way, if the seal of the passage 2 is also possible while withstanding the back pressure applied to the gate valve 3, the pressing force A should be larger, and the size of the gate valve 3 is also increased and its weight is also increased. Along with the problem, there was a problem in that the airtightness due to the error is reduced by the repetitive sealing work.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 실링시 진공 챔버 방향으로의 가압력을 최소화하면서 역압에 대처할 수 있어 실링 효율을 향상시킬 수 있게 한 역압 대응식 게이트 밸브를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and its object is to provide a counter-pressure-responsive gate valve that can cope with the back pressure while minimizing the pressing force toward the vacuum chamber during sealing to improve the sealing efficiency. have.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 진공 챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 진공 챔버에 접하도록 구비되며 측벽에 개구부가 형성되는 몸체; 상기 개구부가 기어 구동에 의해 개폐될 수 있도록 상기 몸체 내부에 구비되는 밸브 유닛; 및 상기 밸브 유닛을 승강시킬 수 있도록 상기 몸체의 일측벽에 하나 이상 구비되는 승강 유닛; 을 포함하여 이루어짐으로써, 상기 진공 챔버의 통로를 폐쇄할 경우 상기 승강 유닛이 작동하여 상기 밸브 유닛을 통로와 수평 선상 위치까지 상승시킨 다음 기어 구동 방식에 의해 상기 챔버의 통로를 개폐하는 실링 플레이트를 진공 챔버 방향으로 밀면서 가압력을 제공하므로 역압을 최소화하면서 실링 효과를 향상시키므로 바람직하다.In order to achieve the above object, the present invention, a gate valve provided in the vacuum chamber for intermittent entry and exit of the substrate, the body is provided to contact the vacuum chamber and the opening is formed in the side wall; A valve unit provided inside the body to open and close the opening by a gear drive; And at least one lifting unit provided at one side wall of the body to move the valve unit up and down. In this case, when the passage of the vacuum chamber is closed, the elevating unit is operated to raise the valve unit to a horizontal linear position with the passage and then vacuum sealing plate for opening and closing the passage of the chamber by a gear driving method. Providing a pressing force while pushing in the chamber direction is preferable because it improves the sealing effect while minimizing back pressure.

이와 같은 본 발명의 역압 대응식 게이트 밸브는 실링시 챔버 방향으로의 가압력을 최소화하면서 역압에 대처할 수 있어 실링 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Such a counter-pressure-type gate valve of the present invention can cope with the back pressure while minimizing the pressing force in the direction of the chamber when sealing has the effect of improving the sealing efficiency.

이하, 본 발명의 역압 대응식 게이트 밸브를 첨부도면을 참조하여 일 실시 예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the gate valve according to the present invention will be described with reference to an embodiment as follows.

본 발명의 바람직한 일 실시 예의 역압 대응식 게이트 밸브는 도 2 내지 도 5a, b에 도시된 바와 같이 몸체(110), 밸브 유닛(120) 및 승강 유닛(150)으로 구성된다.The reverse pressure-responsive gate valve of the preferred embodiment of the present invention includes a body 110, a valve unit 120, and a lifting unit 150 as shown in FIGS. 2 to 5a and b.

상기 몸체(110)는 그 내부에 일정한 공간을 가지는 챔버와 유사한 구조로, 이웃한 진공 챔버(1) 사이에 접한 상태로 위치되며 상기 진공 챔버(1)의 통로(2)와 상응하는 양 측벽에 개구부(112)가 형성되고 그 바닥에 상기 승강 유닛(150)이 고정되는 플레이트(114)가 구비된다.The body 110 has a structure similar to a chamber having a predetermined space therein, and is located in contact with neighboring vacuum chambers 1 and on both sidewalls corresponding to the passage 2 of the vacuum chamber 1. An opening 112 is formed and a plate 114 on which the lifting unit 150 is fixed is provided at the bottom thereof.

그리고 상기 몸체(110)의 내부 양단에는 각각 대향된 수직 방향의 가이드 레일(116)이 구비된다.And both ends of the inner body 110 is provided with a guide rail 116 in the vertical direction facing each other.

상기 밸브 유닛(120)은 상기 몸체(110)의 내부에 구비되어 작동에 의해 상기 개구부(112)를 개폐하며 저면 양단에 상기 승강 유닛(150)의 로드(152) 상단에 결합된다.The valve unit 120 is provided inside the body 110 to open and close the opening 112 by an operation, and is coupled to an upper end of the rod 152 of the elevating unit 150 at both ends of the bottom surface.

여기서, 상기 밸브 유닛(120)은 하우징(122), 구동수단(124), 이동부재(126), 운동변환수단(128), 이동수단(132) 및 실링 플레이트(140)로 세분화하여 구성된다.Here, the valve unit 120 is configured by subdividing the housing 122, the drive means 124, the moving member 126, the movement conversion means 128, the moving means 132 and the sealing plate 140.

한편, 상기 구동수단(124), 운동변환수단(128) 및 이동수단(132)은 적어도 2개 이상 구비되며, 본 실시 예에서는 4 개가 구비되는 것으로 예시한다.On the other hand, the driving means 124, the movement converting means 128 and the moving means 132 is provided with at least two, in this embodiment it is illustrated that four are provided.

상기 하우징(122)은 상기 몸체(110)의 내부에 구비되며 좌우 분리된 접촉면 가장자리에 오링(O)이 개재되어 실링이 유지되며, 전후 외벽에 상기 이동수단(132)이 삽입되는 홀(122a)이 각각 다수 형성되고 상기 홀(122a)의 내주면 내측에 후술할 전후 이동부재(136)와의 기밀유지를 위해 오링(O)이 각각 위치된다.The housing 122 is provided inside the body 110 and the sealing is maintained by the O-ring (O) interposed between the left and right contact surface edges, the hole 122a is inserted into the front and rear outer wall. A plurality of the O-rings (O) are respectively formed for the airtightness with the front and rear moving member 136 which will be described later are formed in the inner circumferential surface of the hole (122a).

그리고 상기 하우징(122)의 양 측벽에는 상기 몸체(110)의 내부 양단에 구비된 가이드 레일(116)의 대향 면에 양단이 구름 접촉하는 회전부재(123)가 외력에 의해 자유 회전되도록 베어링이 삽입된 상태로 구비되어 상기 밸브 유닛(120)의 승강을 안내한다.In addition, bearings are inserted into both sidewalls of the housing 122 such that the rotating member 123 having both ends in rolling contact with the opposite surfaces of the guide rails 116 provided at both inner ends of the body 110 is freely rotated by an external force. It is provided in a state to guide the lifting of the valve unit 120.

상기 구동수단(124)은 상기 하우징(122)의 일단 내벽에 다수 고정되는 실린더(Cylinder)로 구동원인 에어(Air)에 의해 구동되며 상기 하우징(122)의 일단 내벽에 수평 방향으로 구비되는 이동부재(126)와 직선 왕복 운동하는 로드(124a)의 선단을 연결하고 상기 이동부재(126)가 직선 왕복 운동하도록 구동력을 제공한다.The driving means 124 is a cylinder (Cylinder) that is fixed to the inner wall of one end of the housing 122 is driven by the air (Air) as a drive source and the movable member provided in the horizontal direction on one inner wall of the housing 122 126 is connected to the front end of the linear reciprocating rod 124a and provides a driving force to cause the movable member 126 to reciprocate linearly.

여기서, 상기 이동부재(126)는 상기 하우징(122)의 내벽에 리니어 가이드(130)가 고정되고 상기 리니어 가이드(130)를 따라 수평 방향으로 이동할 수 있으며 리니어 블럭 기능을 한다.Here, the movable member 126 is fixed to the linear guide 130 on the inner wall of the housing 122, and can move in the horizontal direction along the linear guide 130 and serves as a linear block.

그리고 상기 구동수단(124)은 상기 이동수단(132)의 상부 또는 하부에 위치된다.The driving means 124 is located above or below the moving means 132.

상기 운동변환수단(128)은 상기 구동수단(124)의 직선운동을 회전운동으로 변환시켜 후술할 이동수단(132)을 전진 또는 후진시키는 기능을 하며, 랙 기어(128a) 및 피니언 기어(128b)로 세분화하여 구성된다.The motion converting means 128 converts the linear motion of the driving means 124 into a rotational motion to move forward or backward the moving means 132, which will be described later, and the rack gear 128a and the pinion gear 128b. It is composed by subdividing into.

상기 랙 기어(Rack gear: 128a)는 상기 이동부재(126)의 이웃한 상면에 고정 되며 이 이동부재(126)를 따라 상기 구동수단(124)의 구동에 의해 수평 운동한다.The rack gear 128a is fixed to an adjacent upper surface of the movable member 126 and is horizontally moved by the driving means 124 along the movable member 126.

상기 피니언 기어(Pinion gear: 128b)는 상기 하우징(122) 홀(122a)의 중심선 상에 회전 가능하게 고정되며 상기 랙 기어(132)에 치합(齒合)되어 이 랙 기어(132)의 이동시 회전된다.The pinion gear 128b is rotatably fixed on the center line of the hole 122a of the housing 122 and is engaged with the rack gear 132 to rotate when the rack gear 132 moves. do.

더욱이, 상기 피니언 기어(128b)는 랙 기어(128a)와 치합되도록 구비되며 이 피니언 기어(128b)의 양 측면에 연결되는 상기 이동수단(132)이 이 이동수단(132)에 고정되는 실링 플레이트(140)를 기어 구동에 의해 내측 방향 또는 외측 방향으로 일률적인 구동을 가능케 한다. Furthermore, the pinion gear 128b is provided to be engaged with the rack gear 128a and the sealing plate (132) to which the moving means 132 connected to both sides of the pinion gear 128b is fixed to the moving means 132 ( 140 allows a uniform drive in the inward or outward direction by gear drive.

상기 이동수단(132)은 상기 운동변환수단(128)에 의해 상기 구동수단(124)의 운동 방향과 직교 방향으로 상기 실링 플레이트(140)에 고정되면서 양측의 실링 플레이트(140)를 전·후진시켜 챔버(1)의 통로(2)를 개폐시키는 기능을 하며, 고정부재(134), 전후 이동부재(136) 및 플레이트 고정부재(138)로 세분화하여 구성된다.The movement means 132 is fixed to the sealing plate 140 in the direction orthogonal to the movement direction of the driving means 124 by the motion conversion means 128 to move forward and backward on the sealing plate 140 on both sides. It functions to open and close the passage 2 of the chamber 1, and is divided into a fixed member 134, the front and rear moving member 136 and the plate fixing member 138.

한편, 상기 이동수단(132)은 다수개로 구비되며 그 각각이 일정 간격을 가지면서 모든 중심이 수평선상에 위치된다.On the other hand, the moving means 132 is provided in plural and each center is located on the horizontal line while having a predetermined interval.

상기 고정부재(136)는 일단이 개구된 원통 형상으로 형성되되 상기 피니언 기어(128b)의 양단에 고정되는 한 쌍으로 외주면 각각에 나사산 방향이 반대인 오른 나사(P₁)와 왼 나사(P₂)가 형성되며, 상기 고정부재(136)의 외주면 중 어느 하나에 오른 나사(P₁)가 형성되면 다른 하나에는 왼 나사(P₂)가 형성된다.The holding member 136 is one end of the opening being formed into a cylindrical-shaped outer peripheral surface of a pair is fixed to both ends of the pinion gear (128b), a screw thread direction opposite to each right handed (P ₁₎ and a left-hand thread (P ₂ ) Is formed, and the right screw (P ₁ ) is formed on any one of the outer peripheral surface of the fixing member 136, the left screw (P ₂ ) is formed on the other.

상기 전후 이동부재(136)는 타단이 개구된 원통 형상으로 상기 고정부 재(136)의 오른 나사(P₁) 및 왼 나사(P₂)가 나선 체결될 수 있도록 내주면에 그와 상응한 오른 나사 및 왼 나사가 각각 형성된다.The front and rear moving member 136 has a cylindrical shape with the other end opened, and the right screw corresponding to the inner circumferential surface of the fixing member 136 to allow the right screw P ₁ and the left screw P ₂ to be spirally fastened. And left screws are formed, respectively.

상기 플레이트 고정부재(138)는 단차 형상으로 상기 전후 이동부재(136)의 외측면에 각각 삽입되며 그 외측면 중심부에 상기 실링 플레이트(140)를 볼트(도면에 미도시)로 고정된다.The plate fixing member 138 is inserted into the outer surface of the front and rear moving member 136 in a stepped shape, respectively, and the sealing plate 140 is fixed to the center of the outer surface by bolts (not shown).

상기 실링 플레이트(140)는 상기 이동수단(132)의 플레이트 고정부재(138)의 외측벽에 볼트 등으로 각각 고정되어 상기 진공 챔버(1)의 통로(2)와 연결되는 상기 개구부(112)를 접촉 또는 분리되는 과정에서 개폐할 수 있도록 상응하는 장 방향 형상으로 형성된다.The sealing plate 140 is fixed to the outer wall of the plate fixing member 138 of the moving means 132 by bolts or the like to contact the opening 112 connected to the passage 2 of the vacuum chamber 1. Or it is formed in a corresponding longitudinal shape to be opened and closed in the process of separation.

그리고 상기 실링 플레이트(140)에서 상기 몸체(110)의 개구부(112)의 주변을 따라 접촉하는 부위에 오링(O)이 개입된다.In addition, an O-ring (O) is interposed in a portion of the sealing plate 140 contacting along the periphery of the opening 112 of the body 110.

상기 승강 유닛(150)은 실린더 등이 접목되되, 그 상면이 플레이트(114)에 고정되면서 로드(152)의 선단이 상기 하우징(122)에 하나 이상이 구비되며 본 실시 예에서는 양측에 구비되는 것으로 예시한다.The lifting unit 150 has a cylinder or the like is grafted, the upper surface is fixed to the plate 114, at least one end of the rod 152 is provided on the housing 122 and in this embodiment is to be provided on both sides To illustrate.

여기서, 상기 승강 유닛(150)은 상기 몸체(110)의 개구부(112)의 개방시 하측에 위치된 상기 밸브 유닛(120)을 상기 개구부(112)와 수평선상 위치까지 상승시키고, 폐쇄시 하강시키는 기능을 한다.Here, the elevating unit 150 raises the valve unit 120 positioned below the opening 112 of the body 110 to a position on a horizontal line with the opening 112 and descends upon closing. Function

한편, 상기 하우징(122)의 저면 중앙부와 상기 승강 유닛(150)의 상단에 구비되는 플레이트(114)의 상면 중앙부 사이에는 중공축(154)이 더 구비되어 상기 중 공축(154)을 통해 이 승강 유닛(150)의 하중 분산을 도모하면서 상기 구동수단(124)의 에어 배관 및 와이어를 연결해주는 통로 역할을 한다.Meanwhile, a hollow shaft 154 is further provided between the center of the bottom surface of the housing 122 and the center of the upper surface of the plate 114 provided at the upper end of the elevating unit 150. While serving to distribute the load of the unit 150 serves as a passage connecting the air pipe and the wire of the drive means 124.

그러므로 본 발명에 따른 역압 대응식 게이트 밸브의 작동 과정은 우선, 폐쇄된 상기 챔버(1) 내부로 공정 전의 피처리물(도면에 미도시)을 로딩장치(도면에 미도시)에 의해 로딩시킨다. Therefore, the operation process of the counter-pressure-responsive gate valve according to the present invention first loads a workpiece (not shown) before processing into a closed chamber 1 by a loading device (not shown).

이때, 상기 실링 플레이트(140)를 상기 개구부(112)에서 이탈시킨 후 상기 승강 유닛(150)을 작동되게 하여 상기 플레이트(114) 상에 구비된 하우징(122)을 하강시켜야 한다. In this case, the sealing plate 140 is separated from the opening 112 and then the lifting unit 150 is operated to lower the housing 122 provided on the plate 114.

즉, 상기 구동수단(124)에 외부에서 에어가 공급되고 로드(124a)가 구동 반대 방향으로 후진하면 상기 로드(124a)의 선단에 고정되는 이동부재(124a)의 상하면에 각각 고정된 랙 기어(128a)가 후진하고 상기 랙 기어(128a)와 치합된 피니언 기어(128b)의 구동이 직선운동에서 회전운동으로 변환된다.That is, when air is supplied from the outside to the driving means 124 and the rod 124a is moved backward in the opposite direction of driving, the rack gears fixed to the upper and lower surfaces of the moving member 124a fixed to the tip of the rod 124a, respectively, The drive of the pinion gear 128b engaged with the rack gear 128a and the rear gear 128a reverses is converted from linear motion to rotational motion.

그리고 상기 피니언 기어(128b)가 회전되면 그 양단에 고정된 고정부재(134)도 회전하고 상기 고정부재(134)의 외주면에 각각 형성된 오른 나사(P₁) 및 왼 나사(P₂)에 각각 나선 체결될 수 있도록 내주면에 오른 나사 및 왼 나사가 형성된 전후 이동부재(136)가 각각 정회전 또는 역회전과 같은 회전 방향에 따라 일률적으로 전진 또는 후진하게 되며 이중 후진하면서 상기 전후 이동부재(136)의 외측벽에 고정된 실링 플레이트(140)도 후진한다.In addition, when the pinion gear 128b is rotated, the fixing member 134 fixed at both ends of the pinion gear 128b is also rotated and spirals to the right screw P ₁ and the left screw P ₂ respectively formed on the outer circumferential surface of the fixing member 134. The front and rear moving members 136 having the right screw and the left screw formed on the inner circumferential surface of the inner and outer surfaces may move forward or backward uniformly according to the rotation direction such as forward rotation or reverse rotation, respectively. The sealing plate 140 fixed to the outer wall is also reversed.

즉, 상기 피니언 기어(128b)를 기점으로 좌우에 각각 구비되면서 상호 나선 체결되는 상기 고정부재(134)와 상기 전후 이동부재(136)는 나사선 방향이 다르므로 상기 랙 기어(128a)의 이동 방향에 따라 상기 피니언 기어(128b)를 정회전 또는 역회전할 수 있게 하고 상기 피니언 기어(128b)에 고정되는 고정부재(134)의 오른 나사(P₁) 및 왼 나사(P₂)를 따라 나선 결합되는 상기 전후 이동부재(136)가 상기 랙 기어(128a)의 진행방향과 직교 방향인 내측 방향으로 후진하여 그 전후 이동부재(136)의 표면에 결합되는 실링 플레이트(140)를 챔버(1)의 통로(2)에서 이탈된다. That is, since the fixing member 134 and the front and rear moving member 136 which are provided on the left and right sides of the pinion gear 128b from each other and are spirally fastened to each other are different from each other in a screw thread direction, Accordingly, the pinion gear 128b can be rotated forward or reversely, and helixed along the right screw P ₁ and the left screw P _{2 of} the fixing member 134 fixed to the pinion gear 128b. The passage of the chamber 1 includes a sealing plate 140 that the front and rear moving member 136 is backward in the inward direction perpendicular to the traveling direction of the rack gear 128a and coupled to the surface of the front and rear moving member 136. Departure from (2).

그 후, 상기 승강 유닛(150)이 구동하여 상기 개구부(112)에서 이격된 상기 밸브 유닛(120)을 하강시키고 상기 진공 챔버(1)의 통로(2)에서 이격시킨다.Thereafter, the elevating unit 150 is driven to lower the valve unit 120 spaced apart from the opening 112 and spaced apart from the passage 2 of the vacuum chamber 1.

이때, 상기 하우징(122)의 양 측벽에 구비되는 회전부재(123)가 상기 회전부재(123)와 상응한 위치인 몸체(110) 내 양 측벽에 대향된 가이드 레일(116)을 따라 이동하게 된다.In this case, the rotating members 123 provided on both sidewalls of the housing 122 move along the guide rails 116 opposite to both sidewalls of the body 110, which are positions corresponding to the rotating members 123. .

다음으로, 상기 통로(2)로 상기 피처리물인 기판을 로딩시킨 후 상기 승강 유닛(150)이 구동하여 상기 밸브 유닛(120)이 상승하며 상기 통로(2)와 동일수평선상에 실링 플레이트(140)가 위치된다.Next, after loading the substrate to be processed into the passage 2, the lifting unit 150 is driven to raise the valve unit 120, and the sealing plate 140 is positioned on the same horizontal line as the passage 2. ) Is located.

다음으로, 상기 구동수단(124)에 에어가 공급되고 로드(124a)가 구동 방향으로 전진하면 상기 이동부재(126)의 상하면에 각각 고정된 랙 기어(128a)가 직진하고 상기 랙 기어(128a)와 치합된 피니언 기어(128b)의 구동이 직선운동에서 회전운 동으로 변환된다.Next, when air is supplied to the driving means 124 and the rod 124a is advanced in the driving direction, the rack gear 128a fixed to the upper and lower surfaces of the moving member 126 goes straight and the rack gear 128a. The drive of the pinion gear 128b meshed with is converted from linear motion to rotational motion.

이때, 상기 피니언 기어(128b)가 회전되면 그 양단에 고정된 고정부재(134)도 회전하고 상기 고정부재(134)의 외주면에 각각 형성된 오른 나사(P₁) 및 왼 나사(P₂) 체결된 전후 이동부재(136)가 각각 정회전 또는 역회전과 같은 회전 방향에 따라 일률적으로 전진 또는 후진하게 되며 이중 전진하면서 상기 실링 플레이트(140)도 전진하여 상기 개구부(112)를 폐쇄시킨다.At this time, when the pinion gear 128b is rotated, the fixing member 134 fixed to both ends of the pinion gear 128b is also rotated, and the right screw P ₁ and the left screw P ₂ formed on the outer circumferential surfaces of the fixing member 134 are fastened, respectively. The front and rear moving members 136 are uniformly moved forward or backward according to the rotational direction such as forward rotation or reverse rotation, respectively, and the sealing plate 140 also moves forward while closing the opening 112.

결국, 상기 챔버(1)의 통로(2)를 개폐함에 있어서, 상기 구동수단(124)의 구동력을 상기 운동변환수단(128)을 거치면서 직선 운동을 회전 운동으로 변환시키고 이동수단(132)에 전달하여 나선 방향이 반대로 형성되어 체결된 상기 이동수단(132)의 고정부재(134) 및 전후 이동부재(136) 중 상기 전후 이동부재(136)의 이동에 의해 상기 실링 플레이트(140)를 일률적으로 내측 또는 외측 방향으로 이동시키게 되므로 상기 고정부재(134) 및 전후 이동부재(136)의 오른 나사(P₁) 및 왼 나사(P₂)의 체결력으로 역압을 견딜 수 있게 된다.As a result, in opening / closing the passage 2 of the chamber 1, the driving force of the driving means 124 is converted into a linear motion while rotating through the motion converting means 128 and the moving means 132. The sealing plate 140 is uniformly moved by the movement of the front and rear moving member 136 of the fixed member 134 and the front and rear moving member 136 of the moving means 132 fastened by being formed in a reversed spiral direction. Since it moves inward or outward, the fastening force of the right screw P ₁ and the left screw P _{2 of} the fixing member 134 and the front and rear moving member 136 can withstand the back pressure.

도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시 예에 따른 역압 대응식 게이트 밸브는 앞선 실시 예와 다른 점이 일체형 하우징(122)을 다수 분할한 다음 그 하우징(122)의 내부에 개별적으로 구동수단(124), 이동부재(126), 운동변환수단(128)을 하나씩 각각 구비하고 이동수단(132)은 하나 이상 구비하여 각각의 하우 징(122)의 외측에서 상기 이동수단(132)에 고정되는 각각의 연결 플레이트(140')의 외벽을 실링 플레이트(140)로 고정한다.As shown in FIG. 6, the reverse pressure-responsive gate valve according to another embodiment of the present invention differs from the previous embodiment by dividing the integrated housing 122 into a plurality of units, and then individually driving means within the housing 122. 124, each of the moving member 126, the movement converting means 128 and one or more moving means 132 are provided to each of the fixing means to the moving means 132 on the outside of each housing 122 Fix the outer wall of the connecting plate 140 'of the sealing plate 140.

그리고 상기 하우징(122)은 그 저면에서 일률적으로 고정시키는 플레이트(114)의 저면에 밸브 유닛(120)에 로드(152)를 고정시켜 승강시키는 승강수단(152)이 더 구비된다.In addition, the housing 122 further includes elevating means 152 configured to lift and lower the rod 152 to the valve unit 120 on the bottom of the plate 114 fixedly fixed at the bottom thereof.

이 경우, 상기 밸브 유닛(120)을 다수 구비하여 일률적인 구동에 의해 상기 실링 플레이트(140)로 개구부를 개폐할 수 있다.In this case, the valve unit 120 may be provided with a plurality of openings to the sealing plate 140 by uniform driving.

도 1은 종래의 게이트 밸브가 챔버에 구비된 상태를 도시한 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a state where a conventional gate valve is provided in a chamber.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 역압 대응식 게이트 밸브를 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a gate valve corresponding to a back pressure according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 3은 상기 역압 대응식 게이트 밸브에서 하우징을 분리한 상태를 도시한 정면도이다.3 is a front view illustrating a state in which a housing is separated from the counter pressure-responsive gate valve.

도 4a 및 도 4b는 상기 역압 대응식 게이트 밸브의 밸브 유닛의 승강되는 상태를 도시한 측단면도이다.4A and 4B are side cross-sectional views showing the elevated state of the valve unit of the counter pressure-responsive gate valve.

도 5a 및 도 5b는 상기 역압 대응식 게이트 밸브의 사용 상태를 도시한 단면도이다.5A and 5B are sectional views showing the state of use of the counter pressure-responsive gate valve.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 역압 대응식 게이트 밸브를 도시한 정면도이다.6 is a front view illustrating a counter pressure-responsive gate valve according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100: 본 발명의 일 실시 예의 역압 대응식 게이트 밸브100: back pressure-responsive gate valve of an embodiment of the present invention

110: 몸체 112: 개구부110: body 112: opening

120: 밸브 유닛 122: 하우징120: valve unit 122: housing

124: 구동수단 128: 운동변환수단124: drive means 128: motion conversion means

128a: 랙 기어(Rack gear) 128b: 피니언 기어(Pinion gear)128a: Rack gear 128b: Pinion gear

132: 이동수단 134: 고정부재132: moving means 134: fixing member

136: 전후 이동부재 140: 실링 플레이트136: front and rear moving member 140: sealing plate

150: 승강 유닛150: lifting unit

Claims

A gate valve provided between a vacuum chamber and a vacuum chamber to control a passage formed in the vacuum chamber,

A body provided between the vacuum chamber and the vacuum chamber to be in contact with each vacuum chamber, the opening being formed in a portion of the sidewall corresponding to the passage;

A valve unit provided inside the body to open and close the opening by a gear drive; And

An elevating unit provided with at least one side wall of the body to elevate the valve unit; It is made, including

The valve unit,

A housing separated left and right and sealed therein;

Driving means provided at an inner end of the housing to provide a horizontal driving force;

A motion conversion means connected to one end of the driving means and converting a linear motion into a rotational motion while linearly moving;

A forward and backward movement means connected to the motion conversion means and moving forward and backward in a direction orthogonal to the motion direction of the driving means by the rotational motion of the motion conversion means; And

A sealing plate fixed to the moving means and formed in a corresponding shape to open and close the opening; Counter-pressure type gate valve, characterized in that consisting of.

delete

The method of claim 1,

At least two driving means, a movement converting means and a moving means are provided, and the moving means is positioned on a horizontal line.

The method of claim 3, wherein the motion conversion means,

A rack gear connected to the driving means and fixed to a linear moving member; And

A pinion gear meshed with the rack gear and rotated when the rack gear is linearly moved; Counter-pressure type gate valve, characterized in that consisting of.

The method of claim 4, wherein the moving means,

A pair of fixing members which are fixed to both sides of the pinion gear and are provided in a pair and rotated, the right and left screws having opposite threads in the outer circumferential surface thereof; And

Spirally fastened to the inner peripheral surface corresponding to the screw of each of the fixing members and the sealing plate is fixed to the outer surface, respectively, by moving the holes formed in the housing by the rotation of the fixing member to move in the opposite direction, respectively, the passage of the vacuum chamber Front and rear moving member for opening and closing the; Counter-pressure type gate valve, characterized in that consisting of.

The method of claim 1,

Reverse pressure response gate valve, characterized in that the hollow shaft is further provided between the housing and the plate provided on the upper end of the lifting unit.

The method of claim 6,

Both ends of the body are provided with guide rails in opposite vertical directions, respectively, and are provided at both ends of the valve unit while rollingly contacting the guide rails, and are further provided with rotating members for guiding the lifting and lowering. Gate valve.

The method of claim 1,

The moving means is a reverse-pressure-responsive gate valve, characterized in that the traveling direction on both sides of the housing symmetrical to open and close the passage of the adjacent vacuum chamber uniformly.