KR100874900B1 - 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치에 관한 것으로, 그 구성은 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼 링이 삽입되게 하는 적재 몸체; 상기 슬롯 상에 개별적으로 마련되어 적재된 웨이퍼 링의 이탈을 방지하게 하는 스토퍼; 상기 스토퍼와 연결되어 캠 운동에 의해 스토퍼를 승강시키는 캠 손잡이;를 포함하여 이루어진다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼가 수납되는 카세트에 웨이퍼를 고정할 수 있게 하여 카세트 이동시 카세트로부터 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 손상을 방지하게 하는 효과가 있다.

반도체 웨이퍼, 카세트, 웨이퍼 링, 스토퍼, 캠

Description

반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치{Semicondutor Wafer Ring Cassette Safety Apparatus}

본 발명은 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 수납되는 카세트에 웨이퍼를 고정할 수 있게 하여 카세트 이동시 카세트로부터 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 손상을 방지하게 하는 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 상에 소정의 집적 회로를 형성하기 위해서는 웨이퍼에 산화막을 성장시키고 불순물을 침적시키며 침적된 불순물을 실리콘 웨이퍼 내로 원하는 깊이까지 침투시키는 확산 공정과, 식각이나 이온 주입이 될 부위의 보호 부위를 선택적으로 한정하기 위해 마스크나 레티클(reticle)의 패턴을 웨이퍼 위에 형성시키는 포토 공정과, 소정 부위에 성장되거나 침적 또는 증착된 박막들을 가스나 화학 약품을 이용하여 선택적으로 제거하는 식각(etching) 공정, 및 화학 기상

증착(chemical vapor deposition)이나 이온 주입 또는 금속 증착 방법을 이용하여 특정한 막을 형성시키는 박막 공정 등이 수행된다.

또한, 각 공정마다 복수의 단위 공정이 시행되는데, 예를 들어 포토 공정은 웨이퍼 위에 감광제를 도포하는 공정과, 정렬(alignment) 및 노광(exposure) 공정을 거친 웨이퍼의 표면 중 필요한 곳과 불필요한 부분을 구분하여 상을 형성하기 위해 현상액을 이용하여 소정 부위에 형성된 감광막을 제거하는 현상 공정과, 스핀 코터(spin coater)에 의해 감광제가 도포된 웨이퍼를 가열 및 냉각시켜 감광제의 접착력을 증가시키는 베이킹(baking) 공정과, 광학 렌즈를 이용하여 레티클(reticle)의 패턴을 웨이퍼 위에 축소 노광하여 전사하는 노광 공정 등의 단위 공정이 시행된다.

한편, 이러한 단위 공정을 진행하기 위해, 어느 한 공정 장치에서 다른 공정 장치로의 웨이퍼의 반입 및 반송은 상기 공정으로 형성된 웨이퍼 대부분을 카세트 (cassette)에 탑재하여 이동함으로써 이루어지는데, 상기 카세트로는 대략 25장의 웨이퍼를 탑재할 수 있는 슬롯(slot)이 구비된 것이 이용된다. 웨이퍼가 탑재된 카세트가 반도체 소자를 제조하는 반도체 장비로 투입되면, 반도체 장비 내에서는 카세트의 슬롯에 있는 웨이퍼의 매수, 위치 등을 파악하는 작업을 진행하게 되는데, 이를 매핑(mapping)이라 하고, 이에 사용되는 장비를 매핑 장치라 한다.

그러나 카세트에 탑재된 웨이퍼는 이동과정 중 슬롯에서 이탈하여 웨이퍼가 손상되는 문제점이 발생하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼가 수납되는 카세트에 웨이퍼를 고정할 수 있게 하여 카세트 이동시 카세트로부터 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 손상을 방지하게 하는 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치를 제공함에 있다.

본 발명의 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치는, 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼 링이 삽입되게 하는 적재 몸체; 상기 슬롯 상에 개별적으로 마련되어 적재된 웨이퍼 링의 이탈을 방지하게 하는 스토퍼; 상기 스토퍼와 연결되어 캠 운동에 의해 스토퍼를 승강시키는 캠 손잡이;를 포함하여 이루어진다.

또한 상기 스토퍼 및 캠 손잡이 사이에는 제1,2 지렛대가 구비되어 상기 제1,2 지렛대의 시소 운동에 의해 스토퍼가 승강하게 한다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼가 수납되는 카세트에 웨이퍼를 고정할 수 있게 하여 카세트 이동시 카세트로부터 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 손상을 방지하게 하는 효과가 있다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.

본 발명의 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치는, 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼 링이 삽입되게 하는 적재 몸체; 상기 슬롯 상에 개별적으로 마련되어 적재된 웨이퍼 링의 이탈을 방지하게 하는 스토퍼; 상기 스토퍼와 연결되어 캠 운동에 의해 스토퍼를 승강시키는 캠 손잡이;를 포함하여 이루어진다.

또한 상기 스토퍼 및 캠 손잡이 사이에는 제1,2 지렛대가 구비되어 상기 제1,2 지렛대의 시소 운동에 의해 스토퍼가 승강하게 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 1 또는 도 2에 도시된 바에 의하면, 본 발명의 카세트(10)는 양측벽 내측 에 서로 마주보게 개방된 다수개의 슬롯(112)이 형성된 적재 몸체(110) 마련되고, 상기 슬롯(112) 전단 웨이퍼 링(WR)이 삽입되는 측 상에 수직 방향으로 스토퍼 홈(114)을 형성시켜 상기 스토퍼 홈(114)에 스토퍼(128)가 삽입되게 하고 있으며, 상기 스토퍼(128)는 상부 끝단과 연결되는 캠 손잡이(122)과 상기 캠 손잡이(122) 하단에 형성된 캠(122a)을 이용해 캠 손잡이의 캠 운동을 통해 스토퍼가 승강하며 슬롯(112)을 단속함으로써 웨이퍼 링(WR)의 이탈을 방지하게 하고 있다. 여기서 상기 캠 손잡이(122)는 브라켓(123)에 의해 베이스(121)와 결합되며, 상기 브라켓(123)에는 승하로 형성되는 슬롯(123a)이 형성되어 상기 캠 손잡이(122)가 베이스(121) 상단과 밀착시 슬롯 사이에서 유동되며 이동할 수 있게 하고 있다.

그리고 상기 캠 손잡이(122)와 스토퍼(128) 사이에는 제1,2 지렛대(125,126) 가 마련되며 상기 제1 지렛대(125)는 일측 끝단이 상기 캠 손잡이(122)와 핀축(124) 의해 연결되고, 타측 끝단은 제2 지렛대(126)와 핀축(미도시) 의해 연결되어 있다. 또한 상기 제2 지렛대(126)는 제1 지렛대(125)와 연결된 타측에 지지핀(127)을 돌출시켜 상기 스토퍼(128) 상단에 마련되는 핀(129)과 연결되게 하고 있다. 여기서 상기 제1,2 지렛대(125,126)는 중앙부분이 축(125a,126a)에 의해 베이스(121) 측과 회동 가능하게 결합되어 있어 각각이 서로 축을 중심으로 시소 운동하게 된다.

한편 본 발명에서는 제1,2 지렛대를 동시에 사용하여 스토퍼를 승강하게 하는 것을 바람직한 실시예로 기재하고 있지만 제1,2 지렛대 중 어느 하나만을 이용해 스토퍼를 승강시키는 것도 가능하다.

또한 상기 적재 몸체(110) 상단 스토퍼(128)와 마주보는 위치에 스토퍼를 탄지하게 하는 스프링(129a)이 내설되어 핀(129)가 상승하면 스프링이 압축하고 핀이 하강하면 스프링(129a)에 의해 스토퍼가 자연스럽게 하강할 수 있게 하여 슬롯에 적재된 웨이퍼 링의 삽탈을 수월하게 하고 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 작동상태를 설명한다.

도 3을 참조하면, 캠 손잡이(122)는 베이스(121) 상단에 누워 있는 상태이며, 제1 지렛대(125)는 캠 손잡이(122)와 핀축(124) 의해 연결된 측이 하측 방향을 향하고, 제2 지렛대(126)는 상기 제1 지렛대(125) 상단된게 지지핀(127)이 마련된 측이 하측 방향하게 위치된 상태이고, 스토퍼(128)는 스프링(129a)에 의해 적재 몸 체(110) 내에서 가압되는 상태로 슬롯(112)을 개방하고 있는 상태이다. 이 상태에서 상기 슬롯(112) 상에 웨이퍼가 안치된 웨이퍼 링(WR)을 삽입하여 적층시킨 후 슬롯(112)에 웨이퍼 링(WR) 삽입 끝나면 도 3에 도시된 바와 같이 캠 손잡이(122)를 핀축(124)를 중심으로 상부 방향으로 회동시키면 상기 캠 손잡이(122) 하측에 마련된 캠(122a)이 베이스(110) 상단과 밀착되며 핀축(124)을 상승시키게 된다. 이때 상기 캠 손잡이는 브라켓(123)에 의해 결합되어 있는 상태인데, 상기 브라켓(123)에는 상하 방향으로 슬롯(123a)이 형성되어 상기 캠 손잡이가 슬롯을 따라 승하 이동될 수 있게 하고 있으며, 이를 통해 핀축(124)이 상하 운동하게 된다.

그리고 상기 핀축(124)이 상승함에 따라 제1 지렛대(125)는 축(125a)을 중심으로 시소 운동하며 핀축의 타측이 하강하게 되고, 상기 제1 지렛대(125)와 연결된 제2 지렛대(126)도 같이 시소 운동하며 제2 지렛대(126) 끝단에 마련된 지지핀(17)이 상승시킴과 동시에 핀(18)을 상승시켜 스토퍼(128)가 슬롯(112)을 차단하게 하여 슬롯에 삽입된 웨이퍼 링이 이탈되는 것을 방지하게 하는 것이다.

도 1은 본 발명의 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치를 나타내는 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치를 나타내는 부분 확대 사시도.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치의 작동상태를 나타내는 정면도.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 카세트 110 : 적재 몸체

121 : 베이스 122 : 캠 손잡이

122a : 캠 123 : 브라켓

123a : 슬롯 124 : 핀축

125 : 제1 지렛대 125a,126a : 축

126 : 제2 지렛대 127 :지지핀

128 : 스토퍼 129 : 핀

129a : 스프링

Claims (2)

1. 삭제
2. 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼 링에 삽입되게 하는 적재 몸체;

   상단에 핀이 형성되며, 상기 슬롯 상에 개별적으로 마련되어 적재된 웨이퍼 링의 이탈을 방지토록 하는 스토퍼;

   일측 끝단이 하기 캠 손잡이와 핀축에 의해 연결되는 제1 지렛대와;

   상기 제1 지렛대의 타측 끝단에 핀축에 의해 연결되며, 상기 제1 지렛대와 연결된 타측이 상기 스토퍼의 핀과 연결되는 제2 지렛대와;

   상기 스토퍼와 제1,2 지렛대에 의해 연결되되, 상기 제1,2 지렛대의 시소 운동에 의해 스토퍼를 상승토록 하는 캠 손잡이;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 링 카세트 안전장치.

Images