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KR100598264B1 - Printed Circuit Boards with Stacked Vias and Manufacturing Method Thereof - Google Patents

Printed Circuit Boards with Stacked Vias and Manufacturing Method Thereof Download PDF

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KR100598264B1
KR100598264B1 KR1020040091441A KR20040091441A KR100598264B1 KR 100598264 B1 KR100598264 B1 KR 100598264B1 KR 1020040091441 A KR1020040091441 A KR 1020040091441A KR 20040091441 A KR20040091441 A KR 20040091441A KR 100598264 B1 KR100598264 B1 KR 100598264B1
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Abstract

본 발명은 각각의 비아홀의 지름을 서로 상이하게 형성하여 상부 비아가 하부 비아에 삽입되는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board having stacked vias in which the diameters of the via holes are different from each other so that the upper via is inserted into the lower via.

본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판은 제 1 절연층; 상기 제 1 절연층상에 패턴화되어 있는 제 1 회로층; 상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 회로층상에 형성되어 있는 제 2 절연층; 상기 제 2 절연층상에 패턴화되어 있는 제 2 회로층; 상기 제 2 절연층 및 상기 제 2 회로층상에 형성되어 있는 제 3 절연층; 상기 제 3 절연층상에 패턴화되어 있는 제 3 회로층; 상기 제 2 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층 및 상기 제 2 회로층을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성된 제 1 비아; 및 하부가 상기 제 1 비아의 내부에 삽입되도록 상기 제 1 비아의 하부 전도성 도금층까지 상기 제 3 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층, 상기 제 2 회로층 및 상기 제 3 회로층을 전기적으로 연결하도록 내부에 전도성 도금층이 형성되어 있는 제 2 비아;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A printed circuit board having a stacked via according to the present invention includes a first insulating layer; A first circuit layer patterned on said first insulating layer; A second insulating layer formed on the first insulating layer and the first circuit layer; A second circuit layer patterned on the second insulating layer; A third insulating layer formed on the second insulating layer and the second circuit layer; A third circuit layer patterned on the third insulating layer; A first via formed through the second insulating layer and having a conductive plating layer formed at a predetermined thickness on an inner wall thereof to electrically connect the first circuit layer and the second circuit layer; And penetrate the third insulating layer to the lower conductive plating layer of the first via so that a lower portion is inserted into the first via. The first circuit layer, the second circuit layer, and the third circuit layer may be formed. And a second via having a conductive plating layer formed therein so as to be electrically connected thereto.

비아홀, 스택형 비아, 스태거형 비아, O-링형 비아, 인쇄회로기판Via Hole, Stacked Via, Staggered Via, O-Ring Via, Printed Circuit Board

Description

스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법{Printed circuit board having stack type via and method for fabricating the same}Printed circuit board having stack type via and method for fabricating the same}

도 1은 종래의 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a printed circuit board having a stacked via stacked with two conventional vias.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a printed circuit board having stacked vias in which two vias are stacked according to an embodiment of the present invention.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 일실시예에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이다.3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board having stacked vias in which two vias are stacked according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 3개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a printed circuit board having stacked vias in which three vias are stacked according to another embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100, 200 : 인쇄회로기판100, 200: printed circuit board

111, 112, 113, 211, 212, 213, 214 : 절연층111, 112, 113, 211, 212, 213, 214: insulating layer

121, 122, 123, 221, 222, 223, 224 : 회로층121, 122, 123, 221, 222, 223, 224: circuit layer

131, 132, 231, 232, 233 : 비아Via: 131, 132, 231, 232, 233

B1, B2 : 비아홀B1, B2: Via Hole

본 발명은 스택형 비아(stack type via)를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각각의 비아홀(via hole)의 지름을 서로 상이하게 형성하여 상부 비아가 하부 비아에 삽입되는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board having a stack type via and a method for manufacturing the same. More particularly, the diameter of each via hole is different from each other so that the upper via is formed on the lower via. A printed circuit board having a stacked via inserted therein and a method of manufacturing the same.

최근 전자 제품의 경박 단소화되는 추세가 가속화됨에 따라, 다층 인쇄회로기판(multi-layer printed circuit board)에서 구현한 전층홀(plated through hole) 가공 방식이 아닌 필요한 회로층만 연결하여 최소의 회로층간 접합을 구현하는 빌드업(build-up) 방식을 적용한 인쇄회로기판의 생산이 증가하고 있다.As the trend of light and shortening of electronic products has recently accelerated, only the necessary circuit layers are connected by connecting only necessary circuit layers, not the plated through hole processing method implemented in a multi-layer printed circuit board. There is an increasing production of printed circuit boards that employ a build-up method that implements bonding.

빌드업 방식을 적용한 인쇄회로기판은 다층 인쇄회로기판을 일괄 적층(mass lamination)하지 않고 순차 적층(sequential lamination)을 적용하며, 회로층간 접합을 이루도록 절연층을 레이저로 가공하여 종래의 다층 인쇄회로기판에서의 기계적 드릴에서 구현할 수 없었던 0.15㎜ 이하의 비아홀 구경을 형성시키므로, 미세한 BGA(Ball Grid Array)의 볼 패드의 구현이 가능하고, 층간 접속을 통한 배선 밀도가 증가하고, 전자 제품의 경박단소화 및 성능 향상에 기여를 하고 있다.The printed circuit board adopting the build-up method applies sequential lamination without mass lamination of the multilayer printed circuit board, and processes the insulating layer with a laser to form a circuit-to-layer bonding. By forming a via hole diameter of 0.15 mm or less, which could not be realized in a mechanical drill, the ball pad of the fine ball grid array (BGA) can be realized, the wiring density is increased through the interlayer connection, and the light and small size of electronic products is reduced. And contributes to performance improvement.

이러한 빌드업 방식을 적용한 인쇄회로기판에 형성되는 비아는 스태거형 비아(staggered type via), O-링형 비아(O-ring type via) 및 스택형 비아(stack type via) 등이 있다. 이중에서, 비아상에 비아를 형성하는 스택형 비아가 향후 모든 인쇄회로기판에 적용되는 기술 중 하나로서, 활발히 연구되고 있다.Vias formed on the printed circuit board to which the build-up method is applied include staggered type vias, O-ring type vias, and stack type vias. Among them, stacked vias that form vias on vias have been actively studied as one of the technologies applied to all printed circuit boards in the future.

도 1은 종래의 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a printed circuit board having a stacked via stacked with two conventional vias.

도 1에 나타낸 바와 같이, 종래의 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(10)은 제 1 절연층(11), 제 1 절연층(11)상에 패턴화된 제 1 회로층(21), 제 1 절연층(11) 및 제 1 회로층(21)상에 형성된 제 2 절연층(12), 제 2 절연층(12)상에 패턴화된 제 2 회로층(22), 제 2 절연층(12) 및 제 2 회로층(22)상에 형성된 제 3 절연층(13), 제 3 절연층(13)상에 패턴화된 제 3 회로층(23), 제 1 회로층(21)과 제 2 회로층(22)을 전기적으로 연결하도록 내부가 동도금으로 충진된 제 1 비아(31), 및 제 1 비아(31)상에 형성되며 제 2 회로층과 제 3 회로층을 전기적으로 연결하도록 내부가 동도금으로 충진된 제 2 비아(32)를 포함한다.As shown in FIG. 1, a printed circuit board 10 having a stack-type via in which two conventional vias are stacked has a first insulating layer 11 and a first patterned pattern on the first insulating layer 11. The second insulating layer 12 formed on the circuit layer 21, the first insulating layer 11, and the first circuit layer 21, and the second circuit layer 22 patterned on the second insulating layer 12. ), The third insulating layer 13 formed on the second insulating layer 12 and the second circuit layer 22, the third circuit layer 23 patterned on the third insulating layer 13, and the first A first via 31 filled with copper plating inside the first via 31 filled with copper plating to electrically connect the circuit layer 21 and the second circuit layer 22, and the second circuit layer and the third circuit. It includes a second via 32 filled with copper plating to electrically connect the layers.

상술한 종래의 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(10)은 제 1 회로층(21), 제 2 회로층(22) 및 제 3 회로층(23)간을 전기적으로 연결하여 회로의 집적도가 향상되었다.The above-described printed circuit board 10 having the stacked vias is electrically connected between the first circuit layer 21, the second circuit layer 22, and the third circuit layer 23 so that the degree of integration of the circuit may be increased. Improved.

그러나, 종래의 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(10)은 원형의 점선으로 표시된 부분(A)인 제 1 비아(31)와 제 2 비아(32)의 경계면이 좁기 때문에, 온도 변화에 따른 스트레스(stress)가 제 1 비아(31) 및 제 2 비아(32)의 경계면(특히, 경계면의 모서리 부분)에 집중되었다.However, the conventional printed circuit board 10 having the stacked vias has a narrow interface between the first via 31 and the second via 32, which is a portion A, which is indicated by a circular dotted line. Stress was concentrated at the interface (especially at the corners of the interface) of the first via 31 and the second via 32.

이에 따라, 종래의 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(10)은 제 1 비아(31)와 제 2 비아(32)의 경계면에서 균열이 발생하기 쉽기 때문에, 회로층간 전기적 연결이 오픈되어 제품의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있었다.As a result, since the printed circuit board 10 having the stacked vias is easily cracked at the interface between the first via 31 and the second via 32, the electrical connection between the circuit layers is opened, and thus the There was a problem of lowering reliability.

상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 비아들간의 경계면에서 균열을 방지하여 제품의 신뢰성을 확보할 수 있는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.The technical problem of the present invention for solving the above problems is to provide a printed circuit board having a stacked via which can ensure the reliability of the product by preventing cracks at the interface between the vias and a manufacturing method thereof.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판은 제 1 절연층; 상기 제 1 절연층상에 패턴화되어 있는 제 1 회로층; 상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 회로층상에 형성되어 있는 제 2 절연층; 상기 제 2 절연층상에 패턴화되어 있는 제 2 회로층; 상기 제 2 절연층 및 상기 제 2 회로층상에 형성되어 있는 제 3 절연층; 상기 제 3 절연층상에 패턴화되어 있는 제 3 회로층; 상기 제 2 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층 및 상기 제 2 회로층을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성된 제 1 비아; 및 하부가 상기 제 1 비아의 내부에 삽입되도록 상기 제 1 비아의 하부 전도성 도금층까지 상기 제 3 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층, 상기 제 2 회로층 및 상기 제 3 회로층을 전기적으로 연결하도록 내부에 전도성 도금층이 형성되어 있는 제 2 비아;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, a printed circuit board having a stacked via according to the present invention comprises a first insulating layer; A first circuit layer patterned on said first insulating layer; A second insulating layer formed on the first insulating layer and the first circuit layer; A second circuit layer patterned on the second insulating layer; A third insulating layer formed on the second insulating layer and the second circuit layer; A third circuit layer patterned on the third insulating layer; A first via formed through the second insulating layer and having a conductive plating layer formed at a predetermined thickness on an inner wall thereof to electrically connect the first circuit layer and the second circuit layer; And penetrate the third insulating layer to the lower conductive plating layer of the first via so that a lower portion is inserted into the first via. The first circuit layer, the second circuit layer, and the third circuit layer may be formed. And a second via having a conductive plating layer formed therein so as to be electrically connected thereto.

본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 상기 전도성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하다.The material constituting the conductive plating layer of the printed circuit board having the stacked via according to the present invention is preferably selected from the group consisting of Cu, Au, Ni, Sn and alloys of the materials.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법은 (A) 제 1 절연층상에 패턴화된 제 1 회로층을 형성한 후, 상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 회로층상에 제 2 절연층을 적층하는 단계; (B) 상기 제 1 회로층과 연결되도록 상기 제 2 절연층을 관통하는 제 1 비아홀을 형성하는 단계; (C) 상기 제 1 비아홀의 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층을 형성하여 제 1 비아를 형성하고, 상기 제 2 절연층상에 제 2 회로층을 형성하는 단계; (D) 상기 제 2 절연층, 상기 제 2 회로층 및 상기 제 1 비아상에 제 3 절연층을 적층하는 단계; (E) 상기 제 1 회로층 및 상기 제 2 회로층과 연결되도록 상기 제 1 비아의 하부 전도성 도금층까지 상기 제 3 절연층을 관통하는 제 2 비아홀을 형성하는 단계; 및 (F) 상기 제 2 비아홀의 내부에 전도성 도금층을 형성하여 제 2 비아를 형성하고, 상기 제 3 절연층상에 제 3 회로층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, a method of manufacturing a printed circuit board having a stacked via according to the present invention (A) after forming a patterned first circuit layer on a first insulating layer, the first insulating layer And laminating a second insulating layer on the first circuit layer. (B) forming a first via hole penetrating the second insulating layer so as to be connected to the first circuit layer; (C) forming a first via by forming a conductive plating layer having a predetermined thickness on an inner wall of the first via hole, and forming a second circuit layer on the second insulating layer; (D) depositing a third insulating layer on the second insulating layer, the second circuit layer and the first via; (E) forming a second via hole penetrating the third insulating layer to the lower conductive plating layer of the first via so as to be connected to the first circuit layer and the second circuit layer; And (F) forming a second via by forming a conductive plating layer in the second via hole, and forming a third circuit layer on the third insulating layer.

본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법의 상기 (B) 단계의 상기 제 1 비아홀 및 상기 (E) 단계의 상기 제 2 비아홀을 형성하는 과정은 레이저를 이용하여 각각 제 1 비아홀 및 제 2 비아홀을 형성하는 것이 바람직하다.The process of forming the first via hole of step (B) and the second via hole of step (E) of the method of manufacturing a printed circuit board having stacked vias according to the present invention may be performed by using a laser. It is preferable to form the via holes and the second via holes.

본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법의 상기 (C) 단계의 상기 제 2 회로층 및 상기 (F) 단계의 상기 제 3 회로층을 형성하는 과정은 서브트랙티브법(subtractive process), 풀어디티브법(full additive process) 및 세미어디티브법(semi-additive process) 중 적어도 하나의 방법을 사용하여 형성하는 것이 바람직하다.The process of forming the second circuit layer of step (C) and the third circuit layer of step (F) of the method of manufacturing a printed circuit board having a stacked via according to the present invention may be carried out using a subtractive method ( It is preferable to form using at least one of a subtractive process, a full additive process, and a semi-additive process.

본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법의 상기 전도 성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하다.The material constituting the conductive plating layer of the method of manufacturing a printed circuit board having a stacked via according to the present invention is preferably selected from the group consisting of Cu, Au, Ni, Sn and alloys of the materials.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a printed circuit board having a stacked via according to the present invention and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다. 도 2에서, 인쇄회로기판의 일면이 도시되어 있으나, 실질적으로 인쇄회로기판의 양면에 대하여 2개의 비아가 적층된 스택형 비아가 형성된다.2 is a cross-sectional view of a printed circuit board having stacked vias in which two vias are stacked according to an embodiment of the present invention. In FIG. 2, one side of the printed circuit board is shown, but a stacked via is formed in which substantially two vias are stacked on both sides of the printed circuit board.

도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(100)은 제 1 절연층(111), 제 2 절연층(112), 제 3 절연층(113), 제 1 회로층(121), 제 2 회로층(122), 제 3 회로층(123), 제 1 비아(131) 및 제 2 비아(132)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 2, a printed circuit board 100 having a stacked via in which two vias are stacked according to the present invention may include a first insulating layer 111, a second insulating layer 112, and a third insulating layer. And a first circuit layer 121, a second circuit layer 122, a third circuit layer 123, a first via 131, and a second via 132.

제 1 절연층(111), 제 2 절연층(112) 및 제 3 절연층(113)은 회로층들(121, 122, 123)간에 전기적 절연을 제공하는 역할을 한다.The first insulating layer 111, the second insulating layer 112, and the third insulating layer 113 serve to provide electrical insulation between the circuit layers 121, 122, and 123.

제 1 회로층(121), 제 2 회로층(122) 및 제 3 회로층(123)은 전기적 신호를 전달하는 신호라인 역할을 하며, 제 1 회로층(121)은 제 1 절연층(111)상에 패턴화되어 있고, 제 2 회로층(122)은 제 2 절연층(112)상에 패턴화되어 있으며, 제 3 회로층(123)은 제 3 절연층(113)상에 패턴화되어 있다. 여기서 제 1 회로층(121), 제 2 회로층(122) 및 제 3 회로층(123)은 동박층 또는 동도금층 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.The first circuit layer 121, the second circuit layer 122, and the third circuit layer 123 serve as signal lines for transmitting electrical signals, and the first circuit layer 121 is the first insulating layer 111. Patterned on the second circuit layer 122 is patterned on the second insulating layer 112, and the third circuit layer 123 is patterned on the third insulating layer 113. . Here, it is preferable that the 1st circuit layer 121, the 2nd circuit layer 122, and the 3rd circuit layer 123 consist of a copper foil layer, a copper plating layer, etc.

제 1 비아(131)는 제 2 절연층(112)을 관통하여 형성되며, 제 1 회로층(121) 및 제 2 회로층(122)을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성되어 있다.The first via 131 is formed through the second insulating layer 112, and a conductive plating layer is formed on the inner wall to have a predetermined thickness so as to electrically connect the first circuit layer 121 and the second circuit layer 122. It is.

제 2 비아(132)는 하부가 제 1 비아(131)의 내부에 삽입되도록 제 1 비아(131)의 하부 전도성 도금층까지 제 3 절연층(113)을 관통하여 형성되며, 제 1 회로층(121), 제 2 회로층(122) 및 제 3 회로층(123)을 전기적으로 연결하도록 내부가 전도성 도금층으로 충진되어 있다.The second via 132 is formed through the third insulating layer 113 to the lower conductive plating layer of the first via 131 so that the lower portion is inserted into the first via 131, and the first circuit layer 121. ), And the inside is filled with a conductive plating layer to electrically connect the second circuit layer 122 and the third circuit layer 123.

여기서 제 1 비아(131) 및 제 2 비아(132)에 형성된 전도성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금 등을 사용할 수 있으며, 이 중에서 Cu를 사용하는 것이 바람직하다.In this case, Cu, Au, Ni, Sn, an alloy of the materials, or the like may be used as the material forming the conductive plating layer formed on the first via 131 and the second via 132, and Cu may be used.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(100)은 제 1 비아(131)와 제 2 비아(132)간의 경계면이 넓기 때문에, 온도 변화에 따른 스트레스(stress)가 경계면에 골고루 분포하게 된다. 따라서, 제 1 비아(131)와 제 2 비아(132)간의 경계면에서 균열을 발생하지 않는다.As shown, the printed circuit board 100 having the stacked vias in which the two vias are stacked according to the present invention has a large interface between the first via 131 and the second via 132, and thus, is not affected by temperature change. The stress is distributed evenly across the interface. Thus, no crack occurs at the interface between the first via 131 and the second via 132.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 일실시예에 따른 2개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법의 흐름을 나타내는 단면도이다. 여기서 인쇄회로기판의 일면이 도시되어 있으나, 실질적으로 인쇄회로기판의 양면에 대하여 수행된다.3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a printed circuit board having stacked vias in which two vias are stacked according to an embodiment of the present invention. Although one side of the printed circuit board is shown here, it is substantially performed on both sides of the printed circuit board.

도 3a에서와 같이, 제 1 절연층(111)상에 패턴화된 제 1 회로층(121)을 형성한 후, 제 1 절연층(111) 및 제 1 회로층(121)상에 제 2 절연층(112)(예를 들면, 프리프레그(prepreg))을 적층한 후, 소정의 온도와 압력(예를 들면, 약 150℃∼200℃ 및 30kg/cm2∼40kg/cm2)에서 가온 및 가압한다.As shown in FIG. 3A, after the patterned first circuit layer 121 is formed on the first insulating layer 111, the second insulating layer is formed on the first insulating layer 111 and the first circuit layer 121. It warmed in the layer 112 (for example, a prepreg (prepreg)) after laminating a predetermined temperature and pressure (e.g., about 150 ℃ ~200 ℃ and 30kg / cm 2 ~40kg / cm 2 ) and Pressurize.

여기서 제 1 절연층(111) 및 제 1 회로층(121)은 절연수지층의 양면에 동박층이 입혀진 동박적층판을 이용할 수 있다. 이 경우, 절연수지층은 제 1 절연층(111)에 해당하고, 절연수지층의 일면에 패턴화된 동박층이 제 1 회로층(121)에 해당한다.Here, the first insulating layer 111 and the first circuit layer 121 may use a copper foil laminated plate coated with a copper foil layer on both sides of the insulating resin layer. In this case, the insulating resin layer corresponds to the first insulating layer 111, and the copper foil layer patterned on one surface of the insulating resin layer corresponds to the first circuit layer 121.

도 3b에서와 같이, 제 1 회로층(121)과 연결되도록 레이저를 이용하여 제 2 절연층(112)을 관통하는 제 1 비아홀(B1)을 형성한다.As shown in FIG. 3B, a first via hole B1 penetrating the second insulating layer 112 is formed by using a laser so as to be connected to the first circuit layer 121.

여기서 레이저는 YAG 레이저(Yttrium Aluminum Garnet laser) 및 이산화탄소 레이저(CO2 laser) 등을 이용할 수 있다.The laser may be a YAG laser (Yttrium Aluminum Garnet laser) and a carbon dioxide laser (CO 2 laser).

바람직한 실시예에서, 레이저 가공으로 제 1 비아홀(B1)을 형성한 후, 제 1 비아홀(B1) 형성 시 발생하는 열로 인하여 제 1 절연층(111)이 녹아서 제 1 비아홀(B1)의 내벽에 발생하는 스미어(smear)를 제거하는 디스미어(desmear) 공정을 더 수행하는 것이 바람직하다.In a preferred embodiment, after the first via hole B1 is formed by laser processing, the first insulating layer 111 melts due to heat generated when the first via hole B1 is formed, and is generated on the inner wall of the first via hole B1. It is preferable to further perform a desmear process to remove smear.

도 3c에서와 같이, 제 1 비아홀(B1)의 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층을 형성하여 제 1 비아(131)를 형성하고, 회로패턴 형성 공정을 수행하여 제 2 절연층(112)상에 소정의 두께로 제 2 회로층(122)을 형성한다.As shown in FIG. 3C, a conductive plating layer is formed on an inner wall of the first via hole B1 to a predetermined thickness to form a first via 131, and a circuit pattern forming process is performed on the second insulating layer 112. The second circuit layer 122 is formed to a predetermined thickness.

여기서 제 1 비아홀(B1)의 내벽에 제 2 절연층(112)이 노출되어 있으므로, 전도성 도금층은 무전해 도금층을 얇게 형성한 후, 전해 도금층을 형성하는 것이 바람직하다.Here, since the second insulating layer 112 is exposed on the inner wall of the first via hole B1, the conductive plating layer preferably forms an electroless plating layer, and then forms an electrolytic plating layer.

한편, 제 2 회로층(122) 형성 공정은 제 2 절연층(112) 및 제 1 비아홀(B1)의 내벽에 전도성 도금층을 형성한 후 제 2 회로층(122)을 형성하는 서브트랙티브법(subtractive process)을 사용할 수 있고, 전도성 도금층 형성과정에서 제 2 회로층(122)을 형성하는 풀어디티브법(full additive process) 또는 세미어디티브법(semi-additive process)을 사용할 수도 있다.In the process of forming the second circuit layer 122, the subtractive method of forming the second circuit layer 122 after forming the conductive plating layer on the inner walls of the second insulating layer 112 and the first via hole B1 ( A subtractive process may be used, and a full additive process or a semi-additive process may be used to form the second circuit layer 122 in the process of forming the conductive plating layer.

도 3d에서와 같이, 제 2 절연층(112), 제 2 회로층(122) 및 제 1 비아(131)상에 제 3 절연층(113)(예를 들면, 프리프레그)을 적층한 후, 소정의 온도와 압력(예를 들면, 약 150℃∼200℃ 및 30kg/cm2∼40kg/cm2)에서 가온 및 가압한다.As shown in FIG. 3D, after laminating the third insulating layer 113 (eg, prepreg) on the second insulating layer 112, the second circuit layer 122, and the first via 131, Heat and pressurize at a predetermined temperature and pressure (eg, about 150 ° C. to 200 ° C. and 30 kg / cm 2 to 40 kg / cm 2 ).

도 3e에서와 같이, 제 1 회로층(121) 및 제 2 회로층(122)과 연결되도록 레이저를 이용하여 제 1 비아(131)의 하부 전도성 도금층까지 제 3 절연층(113)을 관통하는 제 2 비아홀(B2)을 형성한다.As shown in FIG. 3E, the first penetrating layer 113 penetrates the third insulating layer 113 to the lower conductive plating layer of the first via 131 by using a laser to be connected to the first circuit layer 121 and the second circuit layer 122. 2 via holes B2 are formed.

여기서 레이저는 YAG 레이저 및 이산화탄소 레이저 등을 이용할 수 있다.The laser may be a YAG laser, a carbon dioxide laser and the like.

또한, 제 2 비아홀(B2) 형성 시 발생하는 열로 인하여 제 2 절연층(112)이 녹아서 제 2 비아홀(B2)의 내벽에 발생하는 스미어를 제거하는 디스미어 공정을 더 수행하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to perform a desmear process of removing the smear generated on the inner wall of the second via hole B2 due to the heat generated when the second via hole B2 is formed.

도 3f에서와 같이, 제 2 비아홀(B2)의 내부에 전도성 도금층을 형성하여 제 2 비아(132)를 형성하고, 회로패턴 형성 공정을 수행하여 제 3 절연층(113)상에 제 3 회로층(123)을 형성한다.As shown in FIG. 3F, a conductive plating layer is formed in the second via hole B2 to form the second via 132, and a circuit pattern forming process is performed to form a third circuit layer on the third insulating layer 113. 123 is formed.

여기서 제 2 비아홀(B2)의 내벽에 제 3 절연층(113)이 노출되어 있으므로, 전도성 도금층은 무전해 도금층을 얇게 형성한 후, 전해 도금층을 형성하는 것이 바람직하다.Since the third insulating layer 113 is exposed on the inner wall of the second via hole B2, the conductive plating layer is preferably formed by forming an electroless plating layer thinly and then forming an electrolytic plating layer.

또한, 제 2 회로층(122) 형성 공정은 서브트랙티브법(subtractive process), 풀어디티브법(full additive process) 또는 세미어디티브법(semi-additive process) 등을 사용할 수 있다.In addition, a process of forming the second circuit layer 122 may use a subtractive process, a full additive process, or a semi-additive process.

한편, 본 발명에 따른 다른 실시예로, 상술한 도 3a 내지 도 3f의 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법을 반복 수행함으로써, 3개 이상의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판을 제조할 수 있다.On the other hand, in another embodiment according to the present invention, by repeatedly performing the manufacturing method of the printed circuit board having the stacked vias of FIGS. 3A to 3F, printing having stacked vias in which three or more vias are stacked. A circuit board can be manufactured.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 3개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 단면도이다. 도 4에서, 인쇄회로기판의 일면이 도시되어 있으나, 실질적으로 인쇄회로기판의 양면에 대하여 3개의 비아가 적층된 스택형 비아가 형성된다.4 is a cross-sectional view of a printed circuit board having stacked vias in which three vias are stacked according to another embodiment of the present invention. In FIG. 4, one side of the printed circuit board is shown, but stacked vias are formed in which three vias are substantially stacked on both sides of the printed circuit board.

도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 3개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(200)은 제 1 절연층(211), 제 2 절연층(212), 제 3 절연층(213), 제 4 절연층(214), 제 1 회로층(221), 제 2 회로층(222), 제 3 회로층(223), 제 4 회로층(224), 제 1 비아(231), 제 2 비아(232) 및 제 3 비아(233)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 4, the printed circuit board 200 having the stacked vias in which three vias are stacked according to the present invention includes a first insulating layer 211, a second insulating layer 212, and a third insulating layer. 213, fourth insulating layer 214, first circuit layer 221, second circuit layer 222, third circuit layer 223, fourth circuit layer 224, and first via 231. And a second via 232 and a third via 233.

제 1 절연층(211), 제 2 절연층(212), 제 3 절연층(213) 및 제 4 절연층(214)은 회로층들간에 전기적 절연을 제공하는 역할을 한다.The first insulating layer 211, the second insulating layer 212, the third insulating layer 213, and the fourth insulating layer 214 serve to provide electrical insulation between the circuit layers.

제 1 회로층(221), 제 2 회로층(222), 제 3 회로층(223) 및 제 4 회로층(224)은 전기적 신호를 전달하는 신호라인 역할을 하며, 제 1 회로층(221)은 제 1 절연층(211)상에 패턴화되어 있고, 제 2 회로층(222)은 제 2 절연층(212)상에 패턴화되어 있으며, 제 3 회로층(223)은 제 3 절연층(213)상에 패턴화되어 있고, 제 4 회로층(224)은 제 4 절연층(214)상에 패턴화되어 있다. 여기서 제 1 회로층(221), 제 2 회로층(222), 제 3 회로층(223) 및 제 4 절연층(214)은 동박층 또는 동도금층 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.The first circuit layer 221, the second circuit layer 222, the third circuit layer 223, and the fourth circuit layer 224 serve as signal lines for transmitting electrical signals, and the first circuit layer 221. Is patterned on the first insulating layer 211, the second circuit layer 222 is patterned on the second insulating layer 212, and the third circuit layer 223 is formed on the third insulating layer ( Patterned on 213, and the fourth circuit layer 224 is patterned on the fourth insulating layer 214. Here, it is preferable that the 1st circuit layer 221, the 2nd circuit layer 222, the 3rd circuit layer 223, and the 4th insulating layer 214 consist of a copper foil layer, a copper plating layer, etc.

제 1 비아(231)는 제 2 절연층(212)을 관통하여 형성되며, 제 1 회로층(221) 및 제 2 회로층(222)을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성되어 있다.The first via 231 is formed through the second insulating layer 212, and a conductive plating layer is formed on the inner wall to have a predetermined thickness to electrically connect the first circuit layer 221 and the second circuit layer 222. It is.

제 2 비아(232)는 하부가 제 1 비아(231)의 내부에 삽입되도록 제 1 비아(231)의 하부 전도성 도금층까지 제 3 절연층(213)을 관통하여 형성되며, 제 1 회로층(221), 제 2 회로층(222) 및 제 3 회로층(223)을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성되어 있다.The second via 232 is formed through the third insulating layer 213 to the lower conductive plating layer of the first via 231 so that the lower portion is inserted into the first via 231, and the first circuit layer 221. ), The conductive plating layer is formed on the inner wall to a predetermined thickness so as to electrically connect the second circuit layer 222 and the third circuit layer 223.

제 3 비아(233)는 하부가 제 2 비아(232)의 내부에 삽입되도록 제 2 비아(232)의 하부 전도성 도금층까지 제 4 절연층(214)을 관통하여 형성되며, 제 1 회로층(221), 제 2 회로층(222), 제 3 회로층(223) 및 제 4 회로층(224)을 전기적으로 연결하도록 내부가 전도성 도금층으로 충진되어 있다.The third via 233 is formed through the fourth insulating layer 214 to the lower conductive plating layer of the second via 232 so that the lower portion is inserted into the second via 232, and the first circuit layer 221. ), The second circuit layer 222, the third circuit layer 223 and the fourth circuit layer 224 is filled with a conductive plating layer inside to electrically connect.

여기서 제 1 비아(231), 제 2 비아(232) 및 제 3 비아(233)에 형성된 전도성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금 등을 사용할 수 있으 며, 이 중에서 Cu를 사용하는 것이 바람직하다.The conductive plating layer formed on the first via 231, the second via 232, and the third via 233 may be formed of Cu, Au, Ni, Sn, an alloy thereof, and the like. It is preferable to use Cu.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 3개의 비아가 적층된 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판(200)은 제 1 비아(231)와 제 2 비아(232)간의 경계면 및 제 2 비아(232)와 제 3 비아(233)간의 경계면이 넓기 때문에, 온도 변화에 따른 스트레스가 경계면들에 골고루 분포하게 된다. 따라서, 제 1 비아(231)와 제 2 비아(232)간의 경계면 및 제 2 비아(232)와 제 3 비아(233)간의 경계면에서 균열을 발생하지 않는다.As shown, a printed circuit board 200 having a stacked via in which three vias are stacked according to the present invention includes a boundary between a first via 231 and a second via 232 and a second via 232. Since the interface between the and the third via 233 is wide, the stress due to temperature change is evenly distributed on the interfaces. Accordingly, cracks do not occur at the interface between the first via 231 and the second via 232 and at the interface between the second via 232 and the third via 233.

이상에서 본 발명에 대하여 설명하였으나, 이는 일실시예에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 얼마든지 다양한 변화 및 변형이 가능함은 본 기술분야에서 통상적으로 숙련된 당업자에게 분명할 것이다. 하지만, 이러한 변화 및 변형이 본 발명의 범위 내에 속한다는 것은 이하 특허청구범위를 통하여 확인될 것이다.Although the present invention has been described above, this is only one embodiment, and it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. . However, it will be confirmed through the claims that such changes and modifications fall within the scope of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 각각의 비아홀의 지름을 서로 상이하게 형성하여 상부 비아가 하부 비아에 삽입되어 비아들간의 경계면이 넓으므로, 비아들간의 경계면에서 균열이 발생되지 않는 효과가 있다.As described above, the printed circuit board having the stacked vias according to the present invention and the method of manufacturing the same have different diameters of the respective via holes, so that the upper vias are inserted into the lower vias so that the interface between the vias is wide. There is an effect that the crack does not occur at the interface between the vias.

또한, 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 비아들간의 균열이 발생하지 않으므로, 제품의 신뢰성이 향상되는 효과도 있다.In addition, the printed circuit board having the stacked vias according to the present invention and the manufacturing method thereof do not cause cracks between the vias, thereby improving the reliability of the product.

또한, 본 발명에 따른 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판 및 그 제조방법은 스택형 비아를 통하여 여러 회로층을 전기적으로 연결하므로, 회로의 집적도가 향상되어 고밀도의 인쇄회로기판을 제공하는 효과도 있다.In addition, a printed circuit board having a stacked via according to the present invention and a method of manufacturing the same are electrically connected to various circuit layers through the stacked via, and thus, the degree of integration of the circuit is improved to provide a high density printed circuit board. have.

Claims (6)

제 1 절연층;A first insulating layer; 상기 제 1 절연층상에 패턴화되어 있는 제 1 회로층;A first circuit layer patterned on said first insulating layer; 상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 회로층상에 형성되어 있는 제 2 절연층;A second insulating layer formed on the first insulating layer and the first circuit layer; 상기 제 2 절연층상에 패턴화되어 있는 제 2 회로층;A second circuit layer patterned on the second insulating layer; 상기 제 2 절연층 및 상기 제 2 회로층상에 형성되어 있는 제 3 절연층;A third insulating layer formed on the second insulating layer and the second circuit layer; 상기 제 3 절연층상에 패턴화되어 있는 제 3 회로층;A third circuit layer patterned on the third insulating layer; 상기 제 2 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층 및 상기 제 2 회로층을 전기적으로 연결하도록 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층이 형성된 제 1 비아; 및A first via formed through the second insulating layer and having a conductive plating layer formed at a predetermined thickness on an inner wall thereof to electrically connect the first circuit layer and the second circuit layer; And 하부가 상기 제 1 비아의 내부에 삽입되도록 상기 제 1 비아의 하부 전도성 도금층까지 상기 제 3 절연층을 관통하여 형성되며, 상기 제 1 회로층, 상기 제 2 회로층 및 상기 제 3 회로층을 전기적으로 연결하도록 내부에 전도성 도금층이 형성되어 있는 제 2 비아;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판.A lower conductive plating layer of the first via penetrates through the third insulating layer to insert a lower portion into the first via, and electrically connects the first circuit layer, the second circuit layer, and the third circuit layer. And a second via having a conductive plating layer formed therein so as to be connected to the printed circuit board. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전도성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄 회로기판.The material of the conductive plating layer is a printed circuit board having a stacked via, characterized in that selected from the group consisting of Cu, Au, Ni, Sn and alloys of the materials. (A) 제 1 절연층상에 패턴화된 제 1 회로층을 형성한 후, 상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 회로층상에 제 2 절연층을 적층하는 단계;(A) forming a patterned first circuit layer on the first insulating layer, and then laminating a second insulating layer on the first insulating layer and the first circuit layer; (B) 상기 제 1 회로층과 연결되도록 상기 제 2 절연층을 관통하는 제 1 비아홀을 형성하는 단계;(B) forming a first via hole penetrating the second insulating layer so as to be connected to the first circuit layer; (C) 상기 제 1 비아홀의 내벽에 소정의 두께로 전도성 도금층을 형성하여 제 1 비아를 형성하고, 상기 제 2 절연층상에 제 2 회로층을 형성하는 단계;(C) forming a first via by forming a conductive plating layer having a predetermined thickness on an inner wall of the first via hole, and forming a second circuit layer on the second insulating layer; (D) 상기 제 2 절연층, 상기 제 2 회로층 및 상기 제 1 비아상에 제 3 절연층을 적층하는 단계;(D) depositing a third insulating layer on the second insulating layer, the second circuit layer and the first via; (E) 상기 제 1 회로층 및 상기 제 2 회로층과 연결되도록 상기 제 1 비아의 하부 전도성 도금층까지 상기 제 3 절연층을 관통하는 제 2 비아홀을 형성하는 단계; 및(E) forming a second via hole penetrating the third insulating layer to the lower conductive plating layer of the first via so as to be connected to the first circuit layer and the second circuit layer; And (F) 상기 제 2 비아홀의 내부에 전도성 도금층을 형성하여 제 2 비아를 형성하고, 상기 제 3 절연층상에 제 3 회로층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법.(F) forming a conductive via layer in the second via hole to form a second via, and forming a third circuit layer on the third insulating layer. Method of manufacturing a printed circuit board. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 (B) 단계의 상기 제 1 비아홀 및 상기 (E) 단계의 상기 제 2 비아홀을 형성하는 과정은 레이저를 이용하여 각각 제 1 비아홀 및 제 2 비아홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법.In the forming of the first via hole of step (B) and the second via hole of step (E), the first via hole and the second via hole are formed using a laser, respectively. A method of manufacturing a printed circuit board. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 (C) 단계의 상기 제 2 회로층 및 상기 (F) 단계의 상기 제 3 회로층을 형성하는 과정은 서브트랙티브법(subtractive process), 풀어디티브법(full additive process) 및 세미어디티브법(semi-additive process) 중 적어도 하나의 방법을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법.The process of forming the second circuit layer of step (C) and the third circuit layer of step (F) is carried out in a subtractive process, a full additive process and a semiadditive. A method for manufacturing a printed circuit board with stacked vias, characterized in that it is formed using at least one of a semi-additive process. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 전도성 도금층을 이루는 물질은 Cu, Au, Ni, Sn 및 그 물질들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 스택형 비아를 구비한 인쇄회로기판의 제조방법.The material of the conductive plating layer is Cu, Au, Ni, Sn and a method of manufacturing a printed circuit board having a stacked via, characterized in that selected from the group consisting of alloys thereof.
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WO2021145662A1 (en) * 2020-01-14 2021-07-22 엘지이노텍 주식회사 Circuit board
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