KR100576819B1 - 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 라인에 사용되는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 일정한 주기로 실시되는 반도체 공정설비의 공정조건 검사의 결과 데이터를 작업자의 수작업에 의해 관리하지 않고, 일련의 순서로 진행되는 서버의 제어와 그 주변 장치들의 제어에 의한 관리로 대체하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것이다.

수작업으로 실시되던 공정조건 검사의 데이터 관리가 본 발명에 의한 반도체 공정데이터 관리 시스템으로 대체됨으로써, 공정조건 검사 데이터를 관리하기 위한 관리도의 작성이 불필요하게 되고, 작업자의 과다한 업무가 줄어들며, 공정 진행 전 검사의 결과 데이터가 전산화되어 엔지니어의 데이터 검색과 가공작업이 용이해지고, 이상 설비의 도출이 용이하게 되어 빠른 조치가 가능해지며, 위의 데이터를 실시간으로 전송하는 프로세스에 의해 작업자는 후기 데이터의 입력과 동시에 공정 투입 가능 여부를 확인이 가능해므로, 신속한 공정 투입이 이루어진다.

컨트롤 서버, 데이터 베이스 서버, 호스트 서버

Description

반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템{Process data management system for semiconductor processing equipment}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템의 블럭도.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 반복 프로세스의 개략적인 개념도.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 반복 프로세스의 순서도.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실시간 프로세스의 순서도.

본 발명은 반도체 제조 라인에 사용되는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 일정한 주기로 실시되는 반도체 공정설비의 공정조건 검사의 데이터 관리를 작업자의 수작업에 의하지 않고, 일련의 순서로 진행되는 서버의 제어와 그 주변 장치들의 프로세스에 의한 관리로 대체하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템에 관한 것이다.

급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업은 단위 면적당 더욱 증가된 반도체 소자를 집적하기 위하여 다양한 반도체 설비 개발 및 제조 기술의 개발이 진행 되고 있는 추세이다.

하나의 완성된 반도체 제품을 생산하기 위해서는 반도체 제품의 모재료가 되는 순수 실리콘을 정제하여 웨이퍼를 생산하고, 웨이퍼에 반도체 소자를 집적하는 웨이퍼 처리공정을 거친 후, 처리된 웨이퍼에 전기적 제품 검사(EDS;Electrical die sorting)가 끝나면 웨이퍼에 형성된 칩(chip)을 절단하여 인쇄회로기판등에 적용할 수 있도록 패키지 어셈블리 공정을 수행한 후, 마지막으로 제품 검사를 하는 복잡한 일련의 과정을 거쳐야 한다.

이러한 복잡한 일련의 공정을 진행하기 전에 각각의 반도체 공정설비는 공정진행에 적합한 상태인지 검사받는 공정조건 검사를 받는다.

공정조건 검사결과가 공정투입에 적합한 상태로 나오면 공정진행할 웨이퍼는 검사를 받은 반도체 공정 설비에 투입되고, 공정진행에 적합한 상태가 아니면 공정 진행할 웨이퍼의 투입이 금지된다.

이러한 공정조건 검사에는 모든 반도체 공정설비를 대상으로 하는 검사와 각각의 설비 특성에 맞는 개별적인 검사들이 있으며, 1일 1회 또는 1일 3회등의 일정한 주기를 가지고 실시된다.

모든 반도체 공정설비에 공통적으로 실시되는 공정조건 검사의 예로는, 파티클 체크(particle check)가 있고, 각각의 반도체 공정설비의 특성에 따른 개별적인 공정조건 검사의 예로는 데포-레이트 체크(depo-rate check), 에치-레이트 체크(etch-rate check), 리무브드-레이트 체크(removed-rate check) 등이 있다.

하지만, 공정조건 검사를 실시하여 그 데이터를 관리하는 방법은 반도체 라 인의 최첨단화에 맞지 않는 진부한 방법으로서 다음과 같은 순서에 의해 이루어졌다.

작업자가 공정조건 검사용 웨이퍼를 공정진행시키기 전에 계측설비에서 전 계측을 하여 전 계측값을 데이터 관리시트에 기록하고, 전 계측이 실시된 웨이퍼를 공정진행 설비로 이송시켜 공정진행시킨다. 그리고, 웨이퍼의 공정진행이 완료되면 작업자는 공정이 진행된 웨이퍼를 후 계측하고, 얻어진 후 계측값을 데이터 관리시트에 기록하는 한편, 전,후 계측값의 차 값을 작업자가 직접 계산하여 그 결과가 기준치를 만족하는지 확인하여 공정 투입의 가능 여부를 판단하였다.

결국, 공정 진행 가능 여부를 나타내는 데이터의 변화량이 SPC(statistical process control; 통계적 공정관리)에 의해 관리되지 못함으로써, 설비와 랏의 이상원인에 의한 미세한 변화가 쉽게 파악되지 않으며, 작업자의 수작업에 의한 공정조건 데이터의 관리는 동일한 업무 흐름의 반복작업으로 인한 작업자의 업무량 과다를 초래하고, 작업자가 전, 후 계측값의 차 값을 구하는 과정에서 발생하는 계산상의 실수는 공정조건 검사를 무의미하게 만드는 결과를 초래한다.

본 발명의 목적은 반도체 제조 라인내의 공정설비의 공정데이터의 관리를 작업자의 수작업 관리에서 전산 시스템에 의한 관리로 대체함에 있다.

본 발명의 목적은 후술될 본 발명의 구성과 작용에서 더욱 상세히 설명될 것이다.

본 발명에 의한 반도체 공정설비의 공정데이터의 관리 시스템은 컨트롤 서버, 공정 설비, 계측 설비, 오퍼레이터 인터페이스, 설비 컨트롤러, 클라이언트 서버, 데이터 베이스 서버 및 호스트 서버로 구성되며, 상기의 구성요소들은 네트워크에 의해 상호 연결되어, 소정 프로토콜에 의하여 쌍방향으로 데이터를 전송하도록 된다. 컨트롤 서버는 오퍼레이터 인터페이스와 연결되어 마지막 스텝을 인식하면 초기 스텝으로 리턴하는 자동 반복 프로세스가 시행되며, 오퍼레이터 인터페이스는 공정설비와 계측설비를 컨트롤하는 설비 컨트롤러와 연결되어 컨트롤 서버에서 전달되는 명령 데이터를 공정설비와 계측설비에 전송한다.

또한, 이 시스템내에서의 데이터는 실시간으로 전송, 저장 및 연산되어 오퍼레이터 인터페이스와 클라이언트 서버에서 데이터의 검색 및 가공이 실시간으로 가능하도록 하고, 호스트 서버에서는 이 데이터들이 통계적 공정관리 프로그램에 의해 관리된다.

본 발명에 따른 바람직한 실시예의 구성과 작용들은 다음의 상세한 설명과 첨부도면에 의해 보다 분명해질 것이다.

본 발명에 의한 바람직한 실시예는 도 1과 같이 공정 설비(27), 계측 설비(29), 설비 컨트롤러(25), 오퍼레이터 인터페이스(20), 컨트롤 서버(30), 클라이언트 서버(10), 데이터 베이스 서버(40), 호스트 서버(50) 및 네트워크(100)를 포함하여 구성된다.

구체적으로, 공정 설비(27)는 정해진 공정을 진행하기 위한 설비로서 웨이퍼를 로딩하는 로딩부(미도시), 언로딩하는 언로딩부(미도시), 정해진 공정을 진행하 는 공정진행부(미도시)로 구성되며, 설비 컨트롤러(25)에 연결된다.

계측 설비(29)는 공정 설비(27)의 공정 진행 조건이 정상인지를 알아내기 위한 검사가 행해지는 설비로서, 설비 컨트롤러(25)에 공정설비(27)와 같이 연결된다.

설비 컨트롤러(25)는 공정 설비(27)와 계측설비(29)에 전달되는 명령을 전달하기 위해 후술될 오퍼레이터 인터페이스(20)와 공정설비(27), 오퍼레이터 인터페이스(20)와 계측설비(29)의 사이를 연결하며 배치된다.

오퍼레이터 인터페이스(20)는 컨트롤 서버(30)에서 전달되는 명령을 설비 컨트롤러(25)에 전달할 수 있도록 네트워크(100)와 설비 컨트롤러(25)사이에 배치된다. 그리고, 오퍼레이터 인터페이스(20)에는 컨트롤 서버(30)로부터 전송되는 명령 데이터를 오퍼레이터들이 인식할 수 있도록 디스플레이하는 디스플레이부(미도시)가 구성되고, 오퍼레이터들에 의해 공정진행 또는 공정중지, 재측정등의 간단한 데이터 조작이 이루어지는 데이터 조작부(미도시)가 구성된다.

컨트롤 서버(30)는 네트워크(100)에 의해 오퍼레이터 인터페이스(20) 및 데이터 베이스 서버(40)와 연결되며, 공정설비(27)와 계측설비(29)를 제어하기 위한 제어명령을 오퍼레이터 인터페이스(20)에 전송하며, 오퍼레이터 인터페이스(20)를 통해 전송되는 계측 데이터들은 컨트롤 서버(30)를 거쳐 데이터 베이스 서버(40)에 전송된다.

데이터 베이스 서버(40)는 네트워크(100)를 통해 컨트롤 서버(30)와 연결되어 컨트롤 서버(30)에서 전송되는 데이터를 저장하고, 네트워크(100)를 통해 호스 트 서버(50)와 연결되어 컨트롤 서버(30)에서 전송되어 저장된 데이터를 전송하며, 이러한 데이터를 저장하는 데이터 저장부(미도시)가 구성된다.

호스트 서버(50)는 네트워크(100)를 통해 컨트롤 서버(30), 오퍼레이터 인터페이스(20) 및 클라이언트 서버(10)와 연결되어 양방향 데이터 전송이 가능하도록 배치된다.

상술한 구성을 갖는 실시예의 동작에 대하여 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다.

도 2는 스텝 1에서 마지막 스텝으로 지정된 스텝 N까지의 스텝을 진행하고 나면 마지막 스텝을 인식한 후에 다시 처음 스텝으로 돌아가는 자동 반복 프로세스를 나타낸다.(여기서 N은 임의의 자연수이다.)

이러한 도 2의 개념도를 도 3에 의한 순서도로써 상세하게 설명한다.

먼저, 컨트롤 서버(30)는 첫번째 스텝으로 지정된 스텝을 진행하고 그 측정 데이터를 저장한다.(S2)

구체적으로 컨트롤 서버(30)가 네트워크(100)를 통해 오퍼레이터 인터페이스(20)에 첫번째 스텝에 대한 명령신호를 전달하면, 오퍼레이터 인터페이스(20)는 연결된 설비 컨트롤러(25)에 명령신호를 전달된다.

그리고, 설비 컨트롤러는 전달된 명령신호를 처리하여 공정 설비(27)나 계측 설비(29)에 전달하면 공정 설비(27)나 계측 설비(29)가 정해진 공정 또는 계측을 진행하여 그 결과 데이터를 설비 컨트롤러(25)와 오퍼레이터 인터페이스(20)를 거쳐 컨트롤 서버(30)에 전달하고, 컨트롤 서버(30)는 첫번째 스텝의 진행이 완료된 것으로 인식한다.

이렇게 컨트롤 서버(30)에 전달된 결과 데이터는 데이터 베이스 서버(40)로 전달되어 임시 저장된다.

그리고, 자동 반복 프로세스는 후속 스텝으로 지정된 스텝이 존재하는가를 확인한다.(S4)

지정된 후속 스텝이 없으면 마지막 스텝으로 인식(S16)하여 처음 스텝으로 리턴하며, 후속 스텝으로 지정된 스텝이 있으면 후속 스텝의 진행(S6)을 수행한다.(S6)

단계 S6에서 후속 스텝의 진행이 완료되는 과정도 제 1단계의 진행때와 같은 흐름으로 진행되고 제 1단계와 마찬가지로 전달받은 결과 데이터는 데이터 베이스 서버(40)로 전달되어 임시 저장된다.

자동 반복 프로세스는 또다시 후속 스텝으로 지정된 스텝이 존재하는가를 확인(S8)하여 지정된 후속 스텝이 없으면 마지막 스텝인지를 인식(S16)하여 처음 단계로 리턴하며, 후속 스텝으로 지정된 제 3단계가 있으면 제 3단계의 진행을 위한 단계로 전이한다.

이러한 과정을 거쳐 자동반복 프로세스는 제 N단계까지 진행되고, 그 결과 데이터는 데이터 베이스 서버(40)에 전송되어 임시 저장된다.(S10)

또다시 후속 단계로 지정된 단계가 존재하는지를 확인하여(S12), 지정된 후속 단계가 존재하면 자동반복 프로세스는 제 N단계의 후속 단계로 지정된 다음 스텝을 진행한 후에 그 결과 데이터를 데이터 베이스 서버(40)에 전송하여 임시 저장 시키고(S14), 후속 단계로 지정된 다음 스텝이 존재하는지를 확인하는 과정을 지정된 다음 단계가 존재하지 않을 때까지 반복한다.

자동 반복 프로세스는 더 이상 지정된 후속 단계가 존재하지 않으면 마지막 단계로 인식(S16)하여 처음 단계로 리턴한다.

이러한 자동 반복 프로세스를 수행하는 컨트롤 서버(30)는 공정조건 검사과정에서 발생하는 공정조건 데이터들을 호스트 서버(50)로 실시간으로 전송하여 호스트 서버(50)에서 운영되는 통계적 공정관리(SPC;statistical process control)프로그램에 의한 관리를 받도록 한다.

또한, 컨트롤 서버(30)는 공정조건 검사과정을 반복되는 일련의 흐름으로 판단하게 되며, 지정된 마지막 단계를 인식하면 다시 처음의 단계로 피드-백하는 것이 가능해지므로, 반복적이고 정기적인 모니터링 스텝을 진행하는 것이 가능하다.

그러므로, 이러한 데이터가 도 4의 실시간 처리 순서도에 의해 처리되면 호스트 서버(50)는 이 데이터의 연산을 하여 실시간으로 피드-백 시키고, 피드-백된 데이터는 오퍼레이터 인터페이스(20)와 클라이언트 서버(10)에 실시간으로 제공되어, 작업자나 엔지니어가 공정 설비에 대한 데이터를 실시간으로 검색, 가공하는것이 가능해진다.

도 4는 도 1의 바람직한 실시예에서 도 3의 스텝별로 데이터를 실시간으로 처리하는 순서도를 나타내었다.

작업자가 계측 설비(20)에 의해 측정된 초기치 데이터를 오퍼레이터 인터페이스(20)에 입력한다.(S30)

작업자가 계측 설비(20)에 의해 측정된 후기치 데이터를 오퍼레이터 인터페이스(20)에 입력한다.(S32)

컨트롤 서버(30)는 아래의 단계 S44에서 실시간으로 전송된 데이터와 단계 S50에서 호스트 서버(50)로부터 전송되는 기준값 정보를 비교한다.(S34)

단계 S34에서 비교한 결과, 단계 S44에서 전송된 데이터가 기준값을 넘으면 다시 처음 단계로 전이하고, 기준값을 넘지 않으면 다음 단계로 전이한다.(S36)

런이 정상적으로 투입되면 종료한다.(S38)

단계 S30에서 입력된 데이터는 네트워크(100)를 통해 실시간으로 컨트롤 서버(30)에 전송되고, 컨트롤 서버(30)는 전송된 초기치 데이터를 다시 데이터 베이스 서버(40)로 전송하여 저장시킨다.(S40)

단계 S32에서 입력된 데이터는 네트워크(100)를 통해 실시간으로 컨트롤 서버(40)에 전송되고, 컨트롤 서버(30)는 전송된 후기치 데이터를 다시 데이터 베이스 서버(40)로 전송하여 저장시킨다.(S42)

단계 S40과 단계 S42에서 데이터 베이스 서버(40)에 저장되어 취합된 데이터들은 실시간으로 컨트롤 서버(30)에 전송된다.(S44)

단계 S44에서 데이터 베이스 서버(40)에 저장된 데이터는 실시간으로 호스트 서버(50)에 전송된다.(S46)

호스트 서버(50)는 단계 S46에서 전송된 데이터를 저장하고 통계적 공정관리 프로그램에 의해 전송된 데이터를 연산처리한다.(S48)

호스트 서버(50)는 기준값 정보를 실시간으로 컨트롤 서버(30)에 항상 전송 하여 위의 단계 S34의 비교를 위한 기준값 정보를 제공한다.(S50)

이러한 실시간 처리 프로세스에 의해 공정 체크 랏들과 공정 설비(10)의 데이터는 오퍼레이터 인터페이스(20)에서 기준값 초과 여부의 빠른 피드-백이 이루어져 신속한 공정 대응이 가능해지고, 클라이언트 서버(10)는 네트워크(100)에 의해 호스트 서버(50)와 연결되어 있으므로, 실시간으로 데이터가 전송되어 저장, 연산되는 호스트 서버(50)에 컨택(contact)하면, 데이터의 검색과 가공이 실시간으로 이루어진다.

다음으로는 공정 전, 후 체크가 반복측정 됨으로써 초기치와 후기치가 다수 개가 발생한 경우에 호스트 서버(50)가 그 중에서 가장 최근에 체크한 결과값을 도출하여 감산연산하는 방법을 설명한다. 여기서 감산연산은 초기치에서 후기치를 감하여 발생하는 차 값을 구하는 연산을 말하며, 이 차 값이 지정된 기준값의 범위내에 들어야만 해당 설비는 정상적인 공정진행을 하도록 지정되어 있다.

위에서 언급했듯이 공정 전, 후 체크가 다수 개가 존재하는 경우에는 전 체크가 다수 개 존재하는 첫번째 경우, 후 체크가 다수 개가 존재하는 두번째 경우, 그리고 전 체크와 후 체크가 각각 다수 개 존재하는 세번째 경우로 분류될 수 있다.

<첫번째 경우>

전 체크 값이 반복 측정에 의해 다수 개가 발생한 경우에 연산하는 방법으로서 전 체크 값을 X라고 가정하고, 후 체크 값을 Y라고 가정하면 전 체크 값에는 그 측정 순서에 따라 X1, X2,,,Xn까지 존재하고, 그 중에서 Xn이 다수 개의 전 체크 값들중에서 가장 최근에 측정된 것이며, 후 체크 값은 Y일때, 감산연산 값은 아래의 수학식 1로써 구한다.(n은 임의의 자연수이다.)

감산연산 값 = ±( Xn - Y)

<두번째 경우>

후 체크 값이 반복 측정에 의해 다수 개가 발생한 경우에 연산하는 방법으로서, 전 체크 값은 X이고, 후 체크 값이 그 측정 순서에 따라 Y1, Y2, ,,Yn까지 존재하고 Yn이 다수 개의 후 체크 값중에서 가장 최근에 측정된 것일때, 감산연산 값은 아래의 수학식 2로써 구한다.(n은 임의의 자연수이다.)

감산연산 값 = ±(X - Yn)

<세번째 경우>

전 체크 값과 후 체크 값이 반복 측정에 의해 다수 개가 발생한 경우에 연산하는 방법으로서,전 체크 값은 그 측정 순서에 따라 X1, X2, ,,Xn까지 존재하며 Xn이 가장 최근에 측정된 값이며, 후 체크 값이 그 측정 순서에 따라 Y1, Y2, ,,Yn까지 존재하며 Yn이 가장 최근에 측정된 값일때, 감산연산 값은 아래의 수학식 3으로 써 구한다.(n은 임의의 자연수이다.)

감산연산 값 = ±( Xn - Yn)

위에서 언급한바와 같이 감산연산의 대상이 다수 개가 발생할때, 측정 시간 순서에 따른 합리적인 대상선정으로 공정조건 검사의 정확도를 높인다.

한편, 상술한 감산연산에 사용되는 체크값들의 순서를 정하는 방법은 다음과 같다.

도 4에서 작업자가 체크값을 입력하면, 입력되는 다수 개의 체크값은 실시간으로 데이터 베이스 서버(40)를 통해 호스트 서버(50)로 전송되며, 호스트 서버(50)는 다수 개의 체크값과 함께 전송되어 오는 각각의 계측 시간을 인식하여 가장 최근의 계측 시간을 가지는 체크값을 위의 감산연산의 감산자와 피감산자로 정한다.

이러한 복합적인 알고리즘을 수행하는 도 1의 바람직한 실시예는 컨트롤 서버(30)의 자동 반복 프로세스에 의해 공정조건 검사과정을 반복되는 일련의 흐름으로 판단하게 되며, 지정된 마지막 단계를 인식하여 다시 처음의 단계로 피드-백하는 것이 가능해지므로, 반복적이고 정기적인 모니터링 스텝을 진행하는 것이 가능해진다.

그리고, 공정조건 검사과정에서 발생하는 공정조건 데이터들을 호스트 서버(50)로 실시간으로 전송하여 호스트 서버(50)에서 운영되는 SPC(statistical process control; 통계적 공정관리)에 의한 관리를 받도록 하므로 데이터의 전산화가 이루어지며, 통계적 공정관리는 데이터의 미세한 변화를 과거 데이터와의 산포도에 의해 우연원인과 이상원인에 대한 원인추적으로 연결시키며, 이 원인추적의 결과에 의해 공정 설비(10)는 공정개선에 관한 명확한 정보를 전달받는다.

또한, 도 4의 실시간 프로세스는 도 1의 바람직한 실시예에서 처리되는 데이터를 실시간으로 처리하는 프로세스를 제공함으로써, 공정 설비(10)의 공정조건에 관한 데이터는 오퍼레이터 인터페이스(20)로 빠른 피드-백이 이루어져 신속한 공정 대응이 가능해지고, 클라이언트 서버(10)는 네트워크에 의해 호스트 서버(50)와 연결되어 있으므로, 실시간으로 데이터가 전송되어 저장되고 그 데이터를 연산한 후에 다시 저장시키는 호스트 서버(50)에 컨택(contact)하면, 데이터의 검색과 가공이 이루어진다.

본 발명에 의한 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템은 다음과 같은 여러가지 측면의 다양한 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 작업자가 직접 관리도에 입력하고 계산하던 업무의 흐름을 전산화함으로써 작업자의 과다한 업무량이 줄어들고, 작업자가 직접 계산하는 과정에서 발생하던 계산상의 실수가 발생하지 않아 공정조건 검사의 정확도를 높일 수 있다

둘째, 작업자에 의해 진행되던 공정진행 전 검사에 관한 데이터 관리및 연산이 자동 반복 프로세스에 의해 대체됨으로써 설비와 랏의 이상원인에 의한 미세한 변화를 쉽게 파악할 수 있다.

세째, 공정조건 검사의 결과 데이터가 통계적 공정 관리에 의해 관리됨으로써, 데이터의 전산화가 이루어져 데이터의 미세한 변화를 과거 데이터와의 산포도에 의해 우연원인과 이상원인에 대한 원인추적이 용이하며, 이 원인추적의 결과에 의해 공정설비는 공정개선에 관한 명확한 정보를 전달받는다.

넷째, 실시간으로 업-데이트되는 프로세스에 의해 작업자는 후기 데이터의 입력과 동시에 공정 투입 가능 여부를 확인이 가능해므로, 신속한 공정 투입이 이루어진다.

다섯째, 공정조건 검사의 데이터가 복수 개가 발생할때 가장 최근의 데이터를 정확히 선정하여 연산하는 알고리즘에 의해 신뢰성있는 공정조건 검사가 이루어 진다.

여섯째, 호스트 서버에 실시간으로 전송되어 저장되는 데이터는 클라이언트 서버에서 검색과 가공이 가능해진다.

Claims (3)

1. 소정 공정을 진행하는 공정설비;

   계측 공정을 진행하는 계측설비;

   상기 공정설비와 상기 계측설비에 연결되어 명령 신호를 전달하는 설비 컨트롤러;

   상기 설비 컨트롤러와 네트워크 사이에 연결되어 상기 설비 컨트롤러에 명령신호를 전달하며, 피드백된 데이터를 디스플레이하는 오퍼레이터 인터페이스;

   상기 네트워크에 연결되며, 전달되어 오는 데이터를 저장하는 데이터 베이스 서버;

   상기 네트워크를 통하여 상기 오퍼레이터 인터페이스와 상기 데이터 베이스 서버와 연결되며 상기 공정설비와 상기 계측설비에 대한 명령신호를 최초 발생하여 상기 오퍼레이터 인터페이스에 전달하는 컨트롤 서버; 및

   상기 네트워크를 통하여 상기 구성요소들과 연결되며, 공정진행에 필요한 모든 데이터를 취합하여 저장, 연산하는 호스트 서버; 로 구성되며,

   처음의 스텝을 진행하고 그 측정 데이터를 저장한 후에, 후속 스텝으로 지정된 스텝이 존재하는지를 확인, 후속 스텝 진행 및 측정된 데이터 저장을 반복적으로 수행하여 후속 스텝으로 지정된 스텝이 존재하지 않는 경우에 마지막 스텝으로 인식하여 처음 스텝으로 이동하는 자동 반복 프로세스를 수행함을 특징으로 하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 호스트 서버는 상기 컨트롤 서버에서 저장된 데이터가 실시간으로 상기 데이터 베이스 서버에 전송된 후에 재전송되는것을 수신받아 임시 저장하며, 상기 데이터와 상기 호스트 서버내에 저장된 공정조건 검사의 기준값과의 비교 결과값이 기준치를 넘지 않으면 상기 오퍼레이터 인터페이스에 상기 비교 결과값을 전송하여 상기 공정조건 검사를 실시한 상기 공정 설비가 정상적으로 공정진행이 가능함을 디스플레이시키며, 상기 기준값과의 비교 결과값이 상기 기준치을 넘으면 상기 오퍼레이터 인터페이스에 상기 비교 결과값을 전송하여 공정 조건 검사의 과정이 재시작되야함을 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 데이터 베이스 서버에서 상기 호스트 서버로 재전송되는 데이터중에서 다수 개의 동일한 스텝의 데이터가 존재할 때, 상기 호스트 서버는 상기 데이터들의 측정 순서에 따라 최종적으로 측정된 데이터를 감산연산에 필요한 데이터로 선정하여 상기 공정조건 검사기준값과의 비교에 필요한 상기 감산연산의 감산자와 피감산자로 선정함을 특징으로 하는 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템.

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