KR100510725B1 - Method for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 기판과, 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어진 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method, comprising: loading a first substrate, a second substrate on which a substance is formed into a combiner chamber, bonding the first and second substrates together; And a step of fixing the bonded first and second substrates, and a step of unloading the fixed first and second substrates.
Description
본 발명은 액정표시장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a method for manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention, a variety of applications such as a television, a computer monitor, and the like for receiving and displaying broadcast signals have been developed.
이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.As described above, although various technical advances have been made in order for a liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as a screen display device is often arranged with the above characteristics and advantages. . Therefore, in order to use a liquid crystal display device in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. Such a liquid crystal display may be largely divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel has a predetermined space and is bonded to the first and second glass substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second glass substrates.
여기서, 상기 제 1 유리 기판 (TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line Transistors are formed.
그리고 제 2 유리 기판(칼라필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G and B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.
이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 실(seal)재에 의해 합착되어 상기 두 기판사이에 액정이 주입된다.The first and second substrates are bonded to each other by a seal material having a predetermined space by a spacer and having a liquid crystal injection hole, so that the liquid crystal is injected between the two substrates.
이 때, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태를 유지하여 액정 액에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.At this time, in the liquid crystal injection method, the liquid crystal is injected between the two substrates by osmotic pressure when the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid by maintaining the vacuum state between the two substrates bonded by the real material. When the liquid crystal is injected as described above, the liquid crystal injection hole is sealed with a sealing material.
그러나 이와 같은 일반적인 액정 주입식 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the manufacturing method of such a liquid crystal injection type liquid crystal display device has the following problems.
첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.First, after cutting into a unit panel, the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid by maintaining the vacuum state between the two substrates, so that the liquid crystal injection takes a lot of time, the productivity is reduced.
둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.Second, in the case of manufacturing a large-area liquid crystal display device, when the liquid crystal is injected by the liquid crystal injection method, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.
셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다. Third, since the process is complicated and time-consuming as described above, several liquid crystal injection equipment is required, which requires a lot of space.
따라서, 최근에는 액정을 적하하는 방법을 이용한 액정표시장치의 제조 방법이 연구되고 있다. 그 중 일본 공개특허공보 2000-147528호에 다음과 같은 액정 적하 방식을 이용한 기술이 개시되어 있다.Therefore, in recent years, the manufacturing method of the liquid crystal display device using the method of dropping a liquid crystal is researched. Among them, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-147528 discloses a technique using the following liquid crystal dropping method.
이와 같은 액정 적하 방식을 이용한 종래의 액정표시장치의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the conventional liquid crystal display device using the liquid crystal dropping method is as follows.
도 1a 내지 1f는 종래의 액정 적하 방식에 따른 액정표시장치의 공정 단면도이다.1A to 1F are cross-sectional views of a liquid crystal display device according to a conventional liquid crystal dropping method.
도 1a와 같이, 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 유리 기판(3)에 자외선 경화형 실재(1)를 약 30㎛ 두께로 도포하고, 상기 실재(1) 안쪽(박막트랜지스터 어레이 부분)에 액정(2)을 적하한다. 이 때, 상기 실재(1)는 액정 주입구가 없이 형성된다.As shown in FIG. 1A, an ultraviolet curable material 1 is applied to the first glass substrate 3 on which the thin film transistor array is formed to have a thickness of about 30 μm, and the liquid crystal 2 is disposed inside the material 1 (a thin film transistor array). Dropping At this time, the material 1 is formed without a liquid crystal injection hole.
상기와 같은 제 1 유리 기판(3)을 수평방향으로 이동 가능한 진공 용기(C)내의 테이블(4)상에 탑재하고, 상기 제 1 유리 기판(3)의 하부 표면 전면을 제 1 흡착기구(5)로 진공 흡착하여 고정시킨다.The first glass substrate 3 as described above is mounted on the table 4 in the vacuum container C that is movable in the horizontal direction, and the entire lower surface of the first glass substrate 3 is mounted on the first adsorption mechanism 5. ) By vacuum adsorption.
도 1b와 같이, 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 유리 기판(6)의 하부 표면 전면을 제 2 흡착기구(7)로 진공 흡착하여 고정하고, 진공 용기(C)를 닫아 진공시킨다. 그리고, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)의 간격을 1mm로 하고, 상기 제 1 유리 기판(3)을 탑재한 상기 테이블(4)을 수평 방향으로 이동시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)을 예비적으로 위치를 맞춘다.As shown in Fig. 1B, the entire lower surface of the second glass substrate 6 on which the color filter array is formed is vacuum-adsorbed and fixed by the second adsorption mechanism 7, and the vacuum vessel C is closed and vacuumed. Then, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction so that the distance between the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6 is 1 mm, and the first glass substrate 3 is mounted. The table 4 is moved in the horizontal direction to preliminarily position the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6.
도 1c와 같이, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 2 유리 기판(6)과 액정(2) 또는 실재(1)를 접촉시킨다.As shown in FIG. 1C, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction to bring the second glass substrate 6 into contact with the liquid crystal 2 or the actual material 1.
도 1d와 같이, 상기 제 1 유리 기판(3)을 탑재한 상기 테이블(4)을 수평 방향으로 이동시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)의 위치를 맞춘다. As shown in FIG. 1D, the table 4 on which the first glass substrate 3 is mounted is moved in the horizontal direction to adjust the position of the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6.
도 1e와 같이, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 제 2 유리 기판(6)을 상기 실재(1)를 통해 제 1 유리 기판(3)에 접합하고, 5㎛까지 가압한다.As shown in FIG. 1E, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction to bond the second glass substrate 6 to the first glass substrate 3 through the actual material 1, and to press to 5 μm. .
도 1f와 같이, 상기 진공 용기(C)로부터 상기 접합된 제 1, 제 2 유리 기판(3, 6)을 꺼내어 상기 실재(1)에 자외선 조사하여 상기 실재(1)를 경화시켜 액정표시장치를 완성한다. As shown in FIG. 1F, the bonded first and second glass substrates 3 and 6 are taken out of the vacuum container C, and the ultraviolet rays are irradiated to the actual substance 1 to cure the actual substance 1 to provide a liquid crystal display device. Complete
상기에서 실재(1)는 액정표시장치의 액티브 영역을 둘러싸는 메인 실재와 더미 실재를 의미한다.In this case, the real material 1 refers to a main material and a dummy material surrounding the active area of the liquid crystal display.
그러나, 이와 같은 종래의 액정 적하 방식의 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional method of manufacturing the liquid crystal display device of the liquid crystal dropping method has the following problems.
첫째, 동일 기판에 실재를 형성하고 액정을 적하하므로 두 기판을 합착하기 전까지의 공정 시간이 많이 소요된다.First, since the actual material is formed on the same substrate and the liquid crystal is dropped, the process time until joining the two substrates takes a lot.
둘째, 상기 제 1 기판에는 실재가 도포되고 액정이 적하된 반면 상기 제 2 기판에는 어떤 공정도 수행되지 않으므로 제 1 기판과 제 2 기판의 공정 간에 불균형(Unbalance)이 발생되어 생산 라인을 효율적으로 가동하기 곤란하다.Second, since a real material is applied to the first substrate and liquid crystal is dropped, but no process is performed on the second substrate, an unbalance occurs between the processes of the first substrate and the second substrate, thereby efficiently operating the production line. Difficult to do
셋째, 상기 제 1 기판에 실재가 도포되고 액정이 적하되므로 합착하기 전에 세정 장비(USC)에서 실재가 도포된 기판을 세정을 할 수 없게된다. 따라서, 상하 기판을 합착하는 실재를 세척할 수 없어 파티클을 제거하지 못하고, 합착 시 실재 접촉 불량 발생을 야기한다.Third, since the substance is applied to the first substrate and the liquid crystal is dropped, the substrate to which the substance is applied cannot be cleaned by the cleaning equipment USC before bonding. Therefore, it is not possible to wash the material to which the upper and lower substrates are bonded, so that the particles cannot be removed, resulting in the actual contact failure during the bonding.
넷째, 기판 크기가 대형화 함에 따라 합착 후 언로딩 공정 또는 후속 공정을 위해 기판을 이송 시, 기판이 고정되지 않아 틀어짐(misalign)이 발생할 수 있다.Fourth, as the size of the substrate increases, misalignment may occur because the substrate is not fixed when the substrate is transferred for unloading or subsequent processing after bonding.
다섯째, 기판 크기가 대형화 함에 따라, 후속 공정에서 실재를 경화할 때까지 합착 상태를 유지하기 어렵다.Fifth, as the substrate size increases, it is difficult to maintain the bonding state until the actual hardening of the substrate is performed in a subsequent process.
여섯째, 기판의 틀어짐이 발생하면, 기판 사이의 액정에 유동이 발생하여 액정 배향 불량의 원인이 된다.Sixth, when the substrate is distorted, flow occurs in the liquid crystal between the substrates, which causes a liquid crystal alignment defect.
일곱째, 기판의 틀어짐이 발생하면, 상하 기판의 정렬이 틀어져 개구율이 저하될 수 있다.Seventh, when the substrate is misaligned, the alignment of the upper and lower substrates may be misaligned, thereby decreasing the aperture ratio.
여덟 번째, 액정의 배향 불량이 발생하면, 스크래치(scratch) 등의 얼룩과 휘도와 관련된 얼룩이 발생할 수 있다.Eighth, when a misalignment of the liquid crystal occurs, spots such as scratches and spots associated with luminance may occur.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 공정 시간을 단축시키고 효율을 극대화하여 생산성을 향상시킬 수 있는 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method which can improve productivity by shortening process time and maximizing efficiency.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하된 제 1 기판과 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 그 특징이 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: loading a first substrate on which liquid crystal is dropped and a second substrate on which an actual substance is formed into a polymerizer chamber; And a step of fixing the bonded first and second substrates, and a step of unloading the fixed first and second substrates.
여기서, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 실재에 광을 조사하여 상기 제 1, 제 2 기판을 고정함이 바람직하다.Here, in the step of fixing the bonded substrate, it is preferable to fix the first and second substrates by irradiating light onto the actual material.
상기 실재에 부분적으로 광을 조사하여 고정함이 바람직하다.It is preferable to fix part by irradiating light to the said substance partially.
상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 제 2 기판에 고정용 실재를 더 형성하여 상기 고정용 실재에 광을 조사하여 상기 제 1, 제 2 기판을 고정함이 바람직하다.In the fixing of the bonded substrate, it is preferable that the fixing substrate is further formed on the second substrate to irradiate light onto the fixing substrate to fix the first and second substrates.
상기 고정용 실재는 기판의 가장자리에 형성함이 바람직하다.The fixing material is preferably formed at the edge of the substrate.
상기 고정용 실재는 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판에 형성함이 바람직하다.Preferably, the fixing material is formed on the first substrate or the second substrate.
상기 고정용 실재는 각 패널 사이의 컷팅 부분 및 기판의 가장자리에 형성함이 바람직하다.The fixing material is preferably formed at the cutting portion between each panel and the edge of the substrate.
상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 보호하기 위한 더미 실재와, 상기 제 1, 제 2 기판을 고정하기 위한 고정용 실재를 형성하는 공정과, 상기 고정용 실재에 광을 조사하여 상기 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐이 바람직하다.The step of fixing the bonded substrate includes fixing a plurality of main materials for sealing liquid crystals dropped on a plurality of panel parts, a dummy material for protecting the plurality of main materials, and the first and second substrates. It is preferable to comprise the process of forming a real material for fixing, and the process of fixing a said 1st, 2nd board | substrate by irradiating light to the said fixed material.
상기 고정용 실재는 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판에 형성함이 바람직하다.Preferably, the fixing material is formed on the first substrate or the second substrate.
상기 더미 실재는 복수개의 메인 실재의 외곽부에 형성함이 바람직하다.The dummy material is preferably formed at the outer portion of the plurality of main materials.
상기 더미 실재는 메인 실재 각각의 외곽부에 복수개 형성함이 바람직하다.Preferably, a plurality of dummy materials are formed at the outer portions of each main material.
상기 고정용 실재는 기판의 가장자리 또는 각 패널부 사이에 형성함이 바람직하다.The fixing material is preferably formed between the edge of the substrate or between each panel portion.
상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 보호하기 위한 더미 실재를 형성하는 공정과, 상기 더미 실재에 부분적으로 광을 조사하여 상기 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐이 바람직하다.The step of fixing the bonded substrate includes forming a plurality of main materials for sealing the liquid crystals dropped on the plurality of panel portions, a dummy material for protecting the plurality of main materials, and a part of the dummy materials. It is preferable to comprise a step of fixing the first and second substrates by irradiating light with the light.
상기 메인 실재는 제 2 기판에 형성하고 상기 더미 실재는 상기 제 1 기판 에 형성함이 바람직하다.Preferably, the main material is formed on the second substrate and the dummy material is formed on the first substrate.
상기 더미 실재는 복수개의 메인 실재의 외곽부에 형성함이 바람직하다.The dummy material is preferably formed at the outer portion of the plurality of main materials.
상기 더미 실재는 메인 실재 각각의 외곽부에 복수개 형성함이 바람직하다.Preferably, a plurality of dummy materials are formed at the outer portions of each main material.
또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하되고 메인 실재가 형성된 제 1 기판과 고정용 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 고정용 실재를 경화시켜 상기 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object, the process of loading a first substrate in which the liquid crystal is dropped, the main material is formed and the second substrate is formed in the fixing material in the adapter chamber; And attaching the first and second substrates, curing the fixing material to fix the first and second substrates, and unloading the fixed first and second substrates. There is another feature to be done.
또한, 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하되고 메인 실재 및 고정용 실재가 형성된 제 1 기판과 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 고정용 실재를 경화시켜 상기 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object is a step of loading a first substrate and a second substrate in which a liquid crystal is dropped and a main substance and a fixing substance are formed in the combiner chamber. And bonding the first and second substrates, curing the fixing material to fix the first and second substrates, and unloading the fixed first and second substrates. There is another feature to be made.
이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention having such a feature will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2a 내지 2f는 본 발명에 따른 액정표시장치의 공정을 도시한 모식적 단면도이다.2A to 2F are schematic cross-sectional views showing the process of the liquid crystal display device according to the present invention.
도 2a와 같이, 제 1 유리 기판(11)에 액정(12)을 적하하고, 제 2 유리 기판(13)에 실재(14)를 형성한다. 여기서, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13) 중 하나의 기판에는 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 박막트랜지스터 어레이가 형성되며, 나머지 기판에는 상기 각 패널에 상응하도록 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 블랙매트릭스층, 칼라 필터층 및 공통전극 등이 구비된 칼라필터 어레이가 형성된다. 설명을 쉽게하기 위하여 박막트랜지스터 어레이가 형성된 기판을 제 1 유리 기판(11)이라 하고, 칼라 필터 어레이가 형성된 기판을 제 2 유리 기판(13)이라 한다.2A, the liquid crystal 12 is dripped at the 1st glass substrate 11, and the real material 14 is formed in the 2nd glass substrate 13. As shown in FIG. Here, a plurality of panels are designed on one of the first and second glass substrates 11 and 13 to form a thin film transistor array on each panel, and on the remaining substrates, a plurality of panels are designed to correspond to each panel. As a result, a color filter array including a black matrix layer, a color filter layer, a common electrode, and the like is formed in each panel. For ease of explanation, the substrate on which the thin film transistor array is formed is called a first glass substrate 11, and the substrate on which a color filter array is formed is called a second glass substrate 13.
상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 진공 합착기 챔버(10)에 로딩하여 상기 적하된 액정이 균일하게 각 패널에 채워지도록 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 합착하여 가압한다.The first and second glass substrates 11 and 13 are loaded into the vacuum adapter chamber 10 so that the first and second glass substrates 11 and 13 are uniformly filled in the respective panels. Coalesce and pressurize.
상기 가압된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 각 패널 별로 컷팅하여, 컷팅된 각 패널을 연마 가공하여 최종 품질 검사하여 액정표시장치를 완성한다.The pressurized first and second glass substrates 11 and 13 are cut for each panel, and each cut panel is polished to have final quality inspection to complete a liquid crystal display device.
여기서, 상기 합착 공정을 보다 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the bonding process is described in more detail as follows.
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 공정 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a bonding process of the liquid crystal display according to the present invention.
본 발명에 따른 합착 공정은 크게 진공 합착기 챔버에 두 기판을 로딩하는 공정, 상기 두 기판을 합착하는 공정, 상기 동일 챔버내에서 실재에 광을 조사하여 고정하는 공정; 그리고 상기 고정된 두 기판을 진공 합착기 챔버로부터 언로딩하는 공정으로 구분할 수 있다.The bonding process according to the present invention includes a step of loading two substrates into a vacuum combiner chamber, a process of bonding the two substrates, and a step of irradiating and fixing light to a substance in the same chamber; In addition, the fixed two substrates may be divided into a process of unloading the vacuum adapter chamber.
먼저, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 상기 진공 합착기 챔버내로 로딩하기 전에, 상기 실재가 도포된 제 2 유리 기판(13)은 USC(Ultra Sonic Cleaner)에서 세정되어 공정 중에 발생된 파티클을 제거한다. 즉, 제 2 유리 기판(13)은 액정이 적하되지 않고 실재가 도포되어 있으므로 세정이 가능하다.First, before loading the first and second glass substrates 11 and 13 into the vacuum adhering chamber, the second glass substrate 13 coated with the actual material is cleaned in a USC (Ultra Sonic Cleaner) and in process Remove generated particles. That is, since the liquid crystal is not dripped but the actual material is apply | coated to the 2nd glass substrate 13, cleaning is possible.
그리고, 로딩하는 공정은, 도 2b와 같이, 실재(sealant)(14)가 도포된 제 2 유리 기판(13)을 실재(14)가 도포된 부분이 하 방향을 향하도록 하여 진공 합착기 챔버(10)의 상부 스테이지(15)에 진공 흡착법으로 고정시키고(31S), 액정(12)이 적하된 제 1 유리 기판(11)을 진공 합착기 챔버(10)의 하부 스테이지(16)에 진공 흡착법으로 고정시킨다(32S). 이 때, 상기 진공 합착기 챔버(10)는 대기 상태를 유지한다.And the loading process is a vacuum adhering chamber (FIG. 2B), so that the part to which the real material 14 was apply | coated may be directed to the 2nd glass substrate 13 to which the real material 14 was apply | coated as shown in FIG. The first glass substrate 11 on which the liquid crystal 12 is dripped is fixed to the upper stage 15 of the vacuum cleaner chamber 10 by the vacuum suction method (31S). It is fixed (32S). At this time, the vacuum adapter chamber 10 maintains the standby state.
이를 구체적으로 설명하면, 실재(sealant)(14)가 도포된 제 2 유리 기판(13)을 실재(14)가 도포된 부분이 하 방향을 향하도록 로봇(도면에는 도시되지 않음)의 로더(Loader)가 제 2 유리 기판을 취부하여 진공 합착기 챔버(10) 내로 위치시킨다. 이 상태에서 상기 진공 합착기 챔버(10)의 상부 스테이지(15)가 하강하여 상기 제 2 유리 기판(13)을 진공 흡착법으로 고정한 후 상승한다. 이 때, 진공 흡착법 대신에 정전 흡착법으로 고정할 수 있다. Specifically, the loader of the robot (not shown in the drawing) has a second glass substrate 13 coated with a sealant 14 so that the portion coated with the seal 14 faces downward. ) Mounts the second glass substrate and places it into the vacuum adapter chamber 10. In this state, the upper stage 15 of the vacuum adhering chamber 10 descends to fix the second glass substrate 13 by vacuum adsorption, and then rise. At this time, it can be fixed by the electrostatic adsorption method instead of the vacuum adsorption method.
그리고 상기 로봇의 로더는 진공 합착기 챔버(10)를 나가고, 다시 로봇의 로더에 의해 액정(12)이 적하된 제 1 유리 기판(11)을 상기 진공 합착기 챔버(10)내의 하부 스테이지(16) 상측으로 위치시킨다. The loader of the robot exits the vacuum combiner chamber 10, and the lower stage 16 in the vacuum combiner chamber 10 is placed on the first glass substrate 11 having the liquid crystal 12 dropped by the loader of the robot. ) To the top.
상기에서, 박막트랜지스터 어레이가 형성된 상기 제 1 유리 기판(11)에 액정(12)을 적하하고 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 유리 기판(13)에 실재를 형성한다고 언급하였으나, 상기 제 1 유리 기판(11)에 실재를 도포하고, 상기 제 2 기판에 액정을 적하할 수 있으며, 상기 두 유리 기판 중 어느 한 유리 기판에 액정도 적하하고 실재도 도포할 수도 있다. 단, 액정이 적하된 기판은 하부 스테이지에 위치시키고, 나머지 기판을 상부 스테이지에 위치시키면 된다.In the above description, although the liquid crystal 12 is dropped on the first glass substrate 11 having the thin film transistor array and the substance is formed on the second glass substrate 13 having the color filter array, the first glass substrate ( 11) a real substance can be applied, and a liquid crystal can be dripped onto the said 2nd board | substrate, and a liquid crystal can also be dripped and the real thing may be apply | coated to either of the two glass substrates. However, the board | substrate with which liquid crystal was dripped may be located in a lower stage, and the remaining board | substrate may be located in an upper stage.
그리고, 기판 리시버(substrate receiver)(도면에는 도시되지 않음)를 상기 상부 스테이지(15)에 고정된 제 2 유리 기판(13)의 바로 하측에 위치시킨다(33S). 이 때, 상기 기판 리시버를 제 2 기판에 위치시키는 방법은 다음과 같다.Subsequently, a substrate receiver (not shown) is positioned immediately below the second glass substrate 13 fixed to the upper stage 15 (33S). At this time, the method of placing the substrate receiver on the second substrate is as follows.
첫째, 상기 상부 스테이지를 하강시키거나 상기 기판 리시버를 상승시켜 상기 제 2 유리 기판과 상기 기판 리시버를 근접시킨 다음 상기 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버위에 내려 놓는다.First, the upper stage is lowered or the substrate receiver is raised to bring the second glass substrate and the substrate receiver into close proximity, and then the second glass substrate 13 is lowered on the substrate receiver.
둘째, 상기 상부 스테이지를 1차적으로 일정 거리를 하강하고 상기 기판 리시버를 2차적으로 상승하여 상기 제 2 유리 기판(13)과 기판 리시버를 근접시킨 다음 상기 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버위에 내려 놓는다.Second, the upper stage is first lowered by a predetermined distance and the substrate receiver is secondly raised to bring the second glass substrate 13 and the substrate receiver into close proximity, and then the second glass substrate 13 is moved to the substrate receiver. Put on top.
셋째, 상기 상부 스테이지를 하강하거나, 상기 기판 리시버를 상승하거나, 또는 상기 상부 스테이지를 1차 하강하고 기판 리시버를 2차 상승하여 상기 제 2 유리 기판(13)과 상기 기판 리시버가 일정 간격을 갖도록 근접시킨 다음 상부 스테이지가 제 2 유리 기판을 흡착하고 있다.Third, the upper stage is lowered, the substrate receiver is raised, or the upper stage is first lowered and the substrate receiver is raised secondly, so that the second glass substrate 13 and the substrate receiver have a predetermined distance. The upper stage then adsorbs the second glass substrate.
이 때, 상기 기판 리시버를 상기 제 2 유리 기판(13)의 하측에 위치시키는 이유는, 상기 각 스테이지(15, 16)가 진공 흡착법으로 제 1, 제 2 유리 기판을 흡착하고 있는 상태에서 상기 합착기 챔버(10)를 진공 상태로 만드는 동안 상기 각 스테이지의 진공보다 합착기 챔버내의 진공도가 더 높아지기 때문에 상기 스테이지가 잡고 있는 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)의 흡착력을 잃게되고, 특히 상부 스테이지에 흡착된 제 2 유리 기판이 이탈되어 상기 제 1 유리 기판(11)상에 떨어지는 것을 방지하고자 하는 것이다.At this time, the reason why the substrate receiver is positioned below the second glass substrate 13 is that the stages 15 and 16 adsorb the first and second glass substrates by a vacuum adsorption method. Since the degree of vacuum in the adapter chamber becomes higher than the vacuum of each stage while making the chamber 10 into a vacuum state, the suction force of the first and second glass substrates 11 and 13 held by the stage is lost, in particular The second glass substrate adsorbed on the upper stage is to be prevented from falling off and falling on the first glass substrate 11.
따라서, 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 전에 상부 스테이지에 흡착된 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버에 내려 놓거나, 제 2 유리 기판을 흡착한 상부 스테이지와 상기 기판 리시버를 일정 간격을 두고 위치시켰다가 챔버내를 진공 상태로 만드는 동안 제 2 유리 기판(13)을 상기 상부 스테이지로부터 상기 기판 리시버에 위치되도록 할 수 있다. 또한, 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 시작하면 초기 공정에서 챔버내에 유동이 있어 기판이 움직일 수 있으므로 이를 고정하는 수단을 추가로 구성할 수도 있다. Therefore, before the vacuum chamber is brought into the vacuum state, the second glass substrate 13 adsorbed on the upper stage is placed on the substrate receiver, or the upper stage and the substrate receiver on which the second glass substrate is adsorbed are spaced at a predetermined interval. The second glass substrate 13 may be positioned from the upper stage to the substrate receiver while positioning and vacuuming the chamber. In addition, when the vacuum chamber is started to be vacuumed, the substrate may move due to flow in the chamber in an initial process, and thus, may further configure a means for fixing the chamber.
상기 진공 합착기 챔버(10)를 진공 상태로 한다(34S). 여기서, 진공 합착기 챔버(10)의 진공도는 합착하고자 하는 액정 모드에 따라 차이가 있으나, IPS 모드는 1.0 x 10-3 Pa 내지 1Pa 정도로하고, TN 모드는 약 1.1 x 10-3Pa 내지 102 Pa로 한다.The vacuum adhering chamber 10 is brought into a vacuum state (34S). Here, the vacuum degree of the vacuum adapter chamber 10 varies depending on the liquid crystal mode to be bonded, but the IPS mode is about 1.0 x 10 -3 Pa to 1Pa, and the TN mode is about 1.1 x 10 -3 Pa to 10 2. Let Pa.
상기에서, 진공 합착기의 챔버(10)를 2단계로 진공 할 수 있다. 즉, 상기 상/하부 스테이지(15, 16)에 각각 기판을 흡착시키고 챔버의 도어를 닫은 다음, 1차 진공을 시작한다. 그리고, 상기 기판 리시버를 상부 스테이지 하측에 위치시켜 상부 스테이지에 흡착된 기판을 상기 기판 리시버에 내려 놓거나 기판을 흡착한 상태에서 상부 스테이지와 상기 기판 리시버가 일정 간격을 유지한 후, 상기 진공 합착기 챔버를 2차 진공한다. 이 때, 1차 진공시보다 2차 진공시 더 빠르게 진공되며, 1차 진공은 상기 진공 합착기 챔버의 진공도가 상부 스테이지의 진공 흡착력보다 높지 않도록 한다.In the above, the chamber 10 of the vacuum adapter may be vacuumed in two stages. That is, the substrate is adsorbed to the upper / lower stages 15 and 16, the door of the chamber is closed, and the first vacuum is started. The substrate receiver is positioned below the upper stage and the substrate adsorbed on the upper stage is placed on the substrate receiver or the substrate is held at a predetermined interval while the substrate is held at the substrate receiver. Is vacuumed second. At this time, the vacuum is faster at the time of the second vacuum than at the first vacuum, and the primary vacuum ensures that the vacuum degree of the vacuum adhering chamber is not higher than the vacuum suction force of the upper stage.
또한, 진공을 1차, 2차로 구분하지 않고 상기 각 스테이지에 기판을 흡착시키고 챔버의 도어를 닫은 다음, 진공을 일정하게 시작하여 진공 중에 상기 기판 리시버를 상부 스테이지 하측에 위치시킬 수 있다. 이 때, 상기 기판 리시버가 상부 스테이지 하측에 위치되는 시점은 진공 합착기 챔버의 진공도가 상부 스테이지의 진공 흡착력보다 높아기지 전에 위치되어야한다.In addition, without separating the vacuum into primary and secondary, the substrate may be adsorbed to each stage and the chamber door may be closed, and then the vacuum may be started constantly to place the substrate receiver under the upper stage during the vacuum. At this time, the time point at which the substrate receiver is positioned below the upper stage should be positioned before the vacuum degree of the vacuum adapter chamber becomes higher than the vacuum suction force of the upper stage.
이와 같이 진공 합착기 챔버의 진공을 2차에 걸쳐 진행하는 이유는, 상기 진공 합착기 챔버가 갑자기 진공되면 챔버내의 기판이 틀어지거나 유동될 가능성이 있기 때문에 이를 방지하기 위한 것이다.The reason why the vacuum of the vacuum adapter chamber is secondly carried out as described above is to prevent the vacuum adapter chamber from suddenly evacuating because the substrate in the chamber may be distorted or flowed.
상기 진공 합착기 챔버(10)가 일정 상태의 진공에 도달하게 되면, 상기 상하부 각 스테이지(15, 16)는 정전 흡착법(ESC; Electric Static Charge)으로 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 고정시키고(35S), 상기 기판 리시버를 원래의 자리로 위치시킨다(36S). When the vacuum adhering chamber 10 reaches the vacuum in a predetermined state, the upper and lower stages 15 and 16 are each of the first and second glass substrates 11 and 13 by an electrostatic charge (ESC) method. ) Is fixed (35S), and the substrate receiver is placed in its original position (36S).
여기서, 정전 흡착법은 스테이지에 형성된 적어도 2개 이상의 평판전극을 구비하여 상기 평판전극에 음/양의 직류 전원을 공급하여 흡착한다. 즉, 각 평판 전극에 양 또는 음의 전압이 인가되면, 상기 스테이지에 음 또는 양의 전하가 유기되고 그들 전하에 의해 유리 기판에 도전층(공통 전극 또는 화소 전극 등 투명 전극이 형성됨)이 형성되어 있으므로 상기 도전층과 스테이지 사이에 발생하는 쿨롱력으로 기판이 흡착된다. 이 때 기판의 도전층이 형성된 면이 상기 스테이지쪽에 위치될 경우는 약 0.1 내지 1KV의 전압을 인가하고, 기판의 도전층이 형성된 면이 상기 스테이지에 대향되는 쪽에 위치될 경우는 3 내지 4KV를 인가한다. 여기서, 상기 상부 스테이지상에 탄성 시트를 형성할 수도 있다. Here, the electrostatic adsorption method includes at least two or more plate electrodes formed on the stage to supply negative / positive DC power to the plate electrodes and to adsorb them. That is, when a positive or negative voltage is applied to each of the flat plate electrodes, a negative or positive charge is induced on the stage and a conductive layer (a transparent electrode such as a common electrode or a pixel electrode is formed) is formed on the glass substrate by those charges. Therefore, the substrate is adsorbed by the Coulomb force generated between the conductive layer and the stage. At this time, a voltage of about 0.1 to 1 KV is applied when the surface on which the conductive layer of the substrate is formed is located on the stage side, and 3 to 4 KV when a surface on which the conductive layer of the substrate is formed is located on the side opposite to the stage. do. Here, an elastic sheet may be formed on the upper stage.
도 2c 및 2d와 같이, 이와 같이 두 유리 기판(11, 13)이 정전 흡착법으로 각 스테이지(15, 16)에 로딩된 상태에서 상기 상부 스테이지(15)를 하강하여 상기 제 1 유리 기판(11)과 제 2 유리 기판(13)을 합착하기 위해 가압한다(37S). 이 때, 가압하는 방법은 상부 스테이지(15) 또는 하부 스테이지(16)를 수직 방향으로 이동시켜 두 기판을 가압하며, 이 때 스테이지의 이동 속도 및 압력을 가변하여 가압한다. 즉, 제 1 유리 기판(11)의 액정(12)과 제 2 유리 기판(13)이 접촉되는 시점 또는 제 1 유리 기판(11)과 제 2 유리 기판(13)의 실재(14)가 접촉되는 시점까지는 일정 속도 또는 일정 압력으로 스테이지를 이동시키고, 접촉되는 시점부터 원하는 최종 압력까지는 점점 단계별로 압력을 상승시킨다. 즉, 상기 이동 스테이지의 축에 로드 셀이 설치되어 접촉시점을 인식하고, 접촉되는 시점에는 0.1ton, 중간 단계에서는 0.3ton, 마지막 단계에서는 0.4ton, 그리고 최종 단계에서는 0.5ton의 압력으로 상기 두 유리 기판(11, 13)을 합착한다(도 2d 참조). As shown in FIGS. 2C and 2D, the first glass substrate 11 is lowered by lowering the upper stage 15 while the two glass substrates 11 and 13 are loaded on the stages 15 and 16 by electrostatic adsorption. And the second glass substrate 13 are pressed in order to bond them (37S). At this time, in the pressing method, the upper stage 15 or the lower stage 16 is moved in the vertical direction to press the two substrates, and at this time, the moving speed and the pressure of the stage are varied and pressed. That is, when the liquid crystal 12 of the 1st glass substrate 11 and the 2nd glass substrate 13 contact, or the real material 14 of the 1st glass substrate 11 and the 2nd glass substrate 13 is contacted, The stage is moved at a constant speed or constant pressure up to a point in time, and the pressure is gradually increased gradually from the point of contact to the desired final pressure. That is, the load cell is installed on the axis of the moving stage to recognize the point of contact, and the two glasses at a pressure of 0.1 ton at the time of contact, 0.3 ton at the middle stage, 0.4 ton at the last stage and 0.5 ton at the final stage The substrates 11 and 13 are bonded together (see Fig. 2D).
이 때, 상부 스테이지(15)는 하나의 축에 의해 기판을 가압하나, 여러개의 축을 설치하여 각 축마다 별로의 로드 셀(load cell; 압력을 측정하는 장치)이 장착되어 각 축마다 독립적으로 가압하도록 설치할 수 있다. 따라서, 상기 하부 스테이지와 상부 스테이지가 수평이 맞지 않아 실재가 균일하게 합착되지 않을 경우에는 해당 부분의 축을 상대적으로 더 높은 압력으로 가압하거나 더 낮은 압력으로 가압하여 실재가 균일하게 합착될 수 있도록 한다.At this time, the upper stage 15 pressurizes the substrate by one axis, but is provided with a separate load cell (apparatus for measuring pressure) for each axis by installing a plurality of axes to press independently on each axis. Can be installed. Therefore, when the lower stage and the upper stage are not horizontally aligned and the materials are not uniformly bonded, the shafts of the corresponding portions may be pressed at a relatively higher pressure or at a lower pressure so that the materials may be uniformly bonded.
상기 두 기판(11, 13)을 가압 합착한 다음, 도 2e와 같이, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 고정하는 실재에 광(예를들면, UV; Ultra Violet)을 조사하여 상기 실재를 경화시키므로 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 고정한다(38S). 여기서, 상기 고정 공정은, 기판이 대형화(1000mm ×1200mm)되고 액정 적하 후 두 기판을 합착하기 때문에, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판이 틀어져 오 정렬이 발생될 가능성이 높다. 따라서, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판의 오 정렬이 발생됨을 방지하고 합착된 상태를 유지시키기 위하여 두 기판을 고정하는 것이다. After pressing and bonding the two substrates 11 and 13, light (eg, UV; Ultra Violet) is irradiated to a material for fixing the first and second glass substrates 11 and 13, as shown in FIG. 2E. The first and second glass substrates 11 and 13 are fixed (38S) by curing the actual material. Here, in the fixing process, since the substrate is enlarged (1000 mm x 1200 mm) and the two substrates are bonded after the dropping of the liquid crystal, the two substrates joined together may be misaligned during the next process or movement after the bonding. Accordingly, the two substrates are fixed to prevent the misalignment of the two bonded substrates during the next process or movement after bonding and to maintain the bonded state.
여기서, 상기 고정 방법을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the fixing method will be described in more detail as follows.
먼저, 상기 고정 방법은, 상기 합착 챔버내에서 두 기판 합착 후 또는 합착과 동시에 진공 또는 대기 상태에서 합착된 두 기판을 고정한다.First, the fixing method fixes the two substrates bonded in a vacuum or air state after or after the two substrates are bonded in the bonding chamber.
도 4는 본 발명 제 1 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.4 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the first embodiment of the present invention.
본 발명 제 1 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 상술한 바와 같은 광 경화성 실재(UV 경화성 수지) 도포 공정 시, 도 4와 같이, 각 패널부의 주변에 두 기판을 합착함은 물론 두 기판 사이의 액정을 밀봉하는 메인 실재(14a)와, 합착 및 가압 공정시 내부 메인 실재(14a)를 보호하기 위하여 복수개의 패널부를 감싸도록 형성되는 더미 실재(14b)와, 상기 기판의 가장자리 부분(컷팅되어 제거되는 부분) 즉, 더미 실재(14b) 외곽부에 일정 간격으로 고정용 실재(14c)를 상기 제 2 유리 기판(13)에 형성한다. 상기 더미 실재(14b)는 상기 메인 실재(14a)를 보호하기 위한 것이고 상기 고정용 실재(14c)는 단지 두 기판을 고정하기 위한 것이므로 컷팅 공정 시 제거되는 것이다. In the bonded substrate fixing method of the first embodiment of the present invention, in the photocurable material (UV curable resin) coating process as described above, as shown in FIG. A main material 14a for sealing the liquid crystal, a dummy material 14b formed to enclose a plurality of panel portions to protect the internal main material 14a during the bonding and pressing process, and an edge portion of the substrate (cut and removed) Part), that is, the fixing member 14c is formed on the second glass substrate 13 at a predetermined interval in the outer portion of the dummy member 14b. The dummy material 14b is for protecting the main material 14a and the fixing material 14c is only for fixing two substrates and thus is removed during the cutting process.
이와 같이 상기 고정용 실재(14c)를 형성하고 상기 두 기판을 합착한 다음, 그 상태에서 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하여 상기 고정용 실재(14c)를 경화시키므로 상기 합착된 두 기판을 고정한다. 여기서, 상기 상부 스테이지(15) 또는/그리고 하부 스테이지(16)에는 광(UV)을 조사할 수 있는 복수개(14개 정도)의 홀(hole)이 형성되고, 합착전 각 기판은 각 스테이지에 정렬된 후 흡착되었으므로 상기 고정용 실재(14c)와 상기 홀이 정렬되어 있다고 볼 수 있다. 따라서, 상기 홀이 형성된 상부 스테이지 또는/그리고 하부 스테이지쪽에서 광(UV)을 조사하면, 상기 홀을 통해 고정용 실재에 광(UV)이 조사되고 광(UV)이 조사된 고정용 실재(14c)가 경화되므로 두 기판이 고정된다. 이 때, 광(UV) 조사는 광(UV)을 조사하는 핀(Pin)이 합착기 챔버의 상측에서 하강하거나 합착기 챔버의 하측에서 상승하여 광(UV)을 고정용 실재(14c)에 조사하고 광 조사 조건은 50∼500mW의 UV를 5∼40초 동안 조사한다(바람직하게는 200mW의 UV를 약 14초 조사함).Thus, the fixing material 14c is formed and the two substrates are bonded together, and then the fixing material 14c is irradiated with light (UV) to cure the fixing material 14c in that state. The two substrates. Here, the upper stage 15 or / and the lower stage 16 is formed with a plurality of holes (about 14) for irradiating light (UV), each substrate is aligned to each stage before bonding After the adsorption, the fixing material 14c and the holes are aligned. Therefore, when the light UV is irradiated from the upper stage or / and the lower stage where the hole is formed, the fixing substance 14c irradiated with light UV and irradiated with light UV through the hole. The two substrates are fixed because is hardened. At this time, the light (UV) irradiation is irradiated with light (UV) to the fixing material 14c by the pin (Pin) for irradiating the light (UV) descends from the upper side of the adapter chamber or rises from the lower side of the adapter chamber. The light irradiation conditions are 50 to 500mW UV for 5 to 40 seconds (preferably 200mW UV for about 14 seconds).
물론, 제 2 유리 기판에 메인 실재(14a), 더미 실재(14b) 및 고정용 실재(14c)를 동시에 형성할 수 있으나, 경우에 따라 고정용 실재(14c)는 제 1 유리 기판(11)에 형성할 수 있으며, 고정용 실재(14c)는 메인 실재(14a)와 다른 물질로 형성할 수 있다. 즉, 상기 고정용 실재(14c)가 메인 실재(14a)와 동일한 물질로 형성되는 경우, 상기 고정용 실재(14c)를 메인 실재(14a)가 형성된 기판(제 2 기판)에 형성한다. 만약 상기 고정용 실재(14c)가 상기 메인 실재(14a)와 다른 물질로 형성될 경우에는 상기 고정용 실재(14c)를 메인 실재(14a)가 형성되지 않은 기판(제 1 기판) 또는 메인 실재(14a)가 형성된 기판(제 2 기판)에 형성할 수 있다. 그리고, 상기 메인 실재(14a)와 액정을 제 1 기판(11)에 형성하고 상기 고정용 실재(14c)를 제 2 기판(13)에 형성하거나, 상기 고정용 실재(14c) 및 액정을 제 1 기판(11)에 형성하고 메인 실재(14a) 또는 더미 실재(14b)를 제 2 기판(13)에 형성할 수 있다.Of course, the main material 14a, the dummy material 14b and the fixing material 14c may be simultaneously formed on the second glass substrate. However, in some cases, the fixing material 14c may be formed on the first glass substrate 11. It may be formed, the fixing material 14c may be formed of a material different from the main material (14a). That is, when the fixing material 14c is made of the same material as the main material 14a, the fixing material 14c is formed on the substrate (second substrate) on which the main material 14a is formed. If the fixing material 14c is formed of a material different from the main material 14a, the fixing material 14c may be formed of a substrate (first substrate) or a main material (not including the main material 14a). 14a) can be formed in the board | substrate (2nd board | substrate) in which it was formed. The main substance 14a and the liquid crystal are formed on the first substrate 11, and the fixing substance 14c is formed on the second substrate 13, or the fixing substance 14c and the liquid crystal are firstly formed. It is formed in the board | substrate 11, and the main board | substrate 14a or the dummy board | substrate 14b can be formed in the 2nd board | substrate 13. As shown in FIG.
도 5는 본 발명 제 2 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.5 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the second embodiment of the present invention.
본 발명 제 2 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 상술한 바와 같은 광 경화성 실재(UV 경화성 수지) 도포 공정 시, 도 5와 같이, 각 패널부의 주변에 두 기판을 합착함은 물론 두 기판 사이의 액정을 밀봉하는 메인 실재(14a)와, 합착 및 가압 공정시 내부 메인 실재(14a)를 보호하기 위하여 복수개의 패널부를 감싸도록 형성되는 더미 실재(14b)를 형성하고, 상기 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하여 고정시킨다. In the bonded substrate fixing method of the second embodiment of the present invention, in the photocurable material (UV curable resin) coating process as described above, as shown in FIG. The main material 14a which seals the liquid crystal, and the dummy material 14b formed to surround the plurality of panel parts in order to protect the internal main material 14a during the bonding and pressing process, are formed on the dummy material 14b. It is partially fixed by irradiation with light (UV).
즉, 도 4와 같은 본 발명 제 1 실시예의 고정 방법에서, 고정용 실재가 도포된 부분에 더미 실재(14b)를 도포하고 상기 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하여 상기 더미 실재(14b)를 부분적으로 고정시킨다. 나머지 광(UV) 조사 조건은 본 발명 제 1 실시예와 같다. 도 5에서, 미 설명 부호(14d)가 상기 광(UV)이 조사된 부분을 나타내고 있다.That is, in the fixing method of the first embodiment of the present invention as shown in FIG. 4, the dummy material 14b is applied to a portion to which the fixing material is applied, and the dummy material 14b is partially irradiated with light UV to provide the dummy material. The actual material 14b is partially fixed. The remaining light (UV) irradiation conditions are the same as in the first embodiment of the present invention. In Fig. 5, reference numeral 14d denotes a portion where the light UV is irradiated.
도 6은 본 발명 제 3 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.6 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to a third embodiment of the present invention.
본 발명 제 3 실시예의 고정 방법은, 본 발명 제 1 실시예의 고정 방법에 있어서, 더미 실재를 형성하지 않고 메인 실재(14a)와 고정용 실재(14c)를 형성하여 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하여 두 기판을 고정한 것이다.According to the fixing method of the third embodiment of the present invention, in the fixing method of the first embodiment of the present invention, the main actual material 14a and the fixing real material 14c are formed without forming a dummy real material, and the fixing real material 14c is provided. The two substrates are fixed by irradiation with light (UV).
도 7은 본 발명 제 4 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.7 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the fourth embodiment of the present invention.
본 발명 제 4 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 본 발명 제 3 실시예의 합착된 기판 고정 방법에서, 고정용 실재(14c)를 기판의 주변부 뿐만 아니라 상기 패널부들 사이의 컷팅부분에도 일정 간격으로 고정용 실재(14c)를 형성하고 상기 각 고정용 실재(14c)에 UV를 조사하여 상기 두 기판을 고정한 것이다.In the bonded substrate fixing method of the fourth embodiment of the present invention, in the bonded substrate fixing method of the third embodiment of the present invention, the fixing material 14c is fixed not only to the periphery of the substrate but also to the cutting portions between the panel portions at regular intervals. The two substrates are fixed by forming the seal material 14c and irradiating UV to each of the fixation material 14c.
도 8은 본 발명 제 5 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.8 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to a fifth embodiment of the present invention.
본 발명 제 5 실시예에 따른 고정 방법은, 도 4와 같은 본 발명 제 1 실시예에서, 상기 더미 실재(14b)를 모든 패널부(메인 실재)를 감싸도록 형성하는 것이 아니라 각 패널부(메인 실재)를 각각 감싸도록 복수개의 더미 실재(14b)를 형성하고 기판의 가장자리에 고정용 실재(14c)를 형성하여 상술한 바와 같이 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하여 상기 두 기판을 고정한 것이다.In the fixing method according to the fifth embodiment of the present invention, in the first embodiment of the present invention as shown in FIG. 4, the panel member (main) is not formed so as to surround all the panel parts (main material). A plurality of dummy materials 14b are formed to surround each of the materials, and a fixing material 14c is formed at the edge of the substrate. As described above, light (UV) is irradiated to the fixing material 14c so that the two The board is fixed.
도 9는 본 발명 제 6 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.9 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the sixth embodiment of the present invention.
본 발명 제 6 실시예에 따른 고정 방법은, 도 8과 같은 본 발명 제 5 실시예에서, 고정용 실재(14c)를 별도로 형성하지 않고 상기 각 패널부에 형성된 복수개의 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하여 상기 두 기판을 고정하는 것이다.In the fixing method according to the sixth embodiment of the present invention, in the fifth embodiment of the present invention as shown in FIG. 8, the fixing method is partially formed in the plurality of dummy materials 14b formed in the panel portions without separately forming the fixing material 14c. It is to fix the two substrates by irradiation with light (UV).
상기 각 실시예에서, 상기 메인 실재(14a), 더미 실재(14b) 및 고정용 실재(14c)를 서로 다른 기판에 형성하거나 동일 기판에 형성할 수 있으며, 액정이 적하된 기판에도 메인 실재 또는 더미 실재를 형성할 수 있다.In each of the above embodiments, the main material 14a, the dummy material 14b, and the fixing material 14c may be formed on different substrates or on the same substrate. It can form a reality.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 기판에 별도의 더미 실재 및 고정용 실재를 형성하지 않고 상기 두 기판을 합착하는 메인 실재(UV 경화성 수지)에 부분적으로 UV를 조사하여 상기 실재를 부분적으로 경화시켜 고정할 수 있다. In addition, although not shown in the drawing, the main material (UV curable resin) joining the two substrates is partially irradiated with UV without fixing a separate dummy material and a fixing material on the substrate, thereby partially curing the material. can do.
이와 같이, 상기 합착 가압된 두 기판이 예비 고정되면, 다음 공정을 진행하거나 다음 공정을 위해 이동할 때 합착된 제 1, 제 2 유리 기판이 어긋나거나 상태가 변형됨을 방지할 수 있다.As such, when the two pressurized substrates are preliminarily fixed, the bonded first and second glass substrates may be prevented from being shifted or deformed when the next process or the next process moves for the next process.
상술한 바와 같이, 두 기판이 합착되어 고정이 완료되면, 상기 정전 흡착법으로 흡착함을 정지한 다음(ESC off), 도 2f와 같이, 상기 상부 스테이지(15)를 상승시켜 상부 스테이지(15)를 상기 합착된 두 유리 기판(11, 13)으로부터 분리시킨다.As described above, when the two substrates are bonded and fixed, the adsorption is stopped by the electrostatic adsorption method (ESC off), and then the upper stage 15 is raised by raising the upper stage 15 as shown in FIG. 2F. Separate from the two bonded glass substrates (11, 13).
그리고, 상기 기판(11, 13)을 언로딩한다(38S). 즉, 상기 상부 스테이지(15)가 상승하고 로봇의 로더를 이용하여 합착된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 언로딩하거나, 합착된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 상부 스테이지(15)가 흡착하여 상승한 후 로봇의 로더가 상기 상부 스테이지(16)로부터 언로딩한다.Then, the substrates 11 and 13 are unloaded (38S). That is, the upper stage 15 rises and unloads the first and second glass substrates 11 and 13 bonded using the loader of the robot, or the first and second glass substrates 11 and 13 bonded together. After the upper stage 15 is absorbed and raised, the robot's loader unloads the upper stage 16.
이 때, 공정 시간을 단축하기 위하여, 다음 합착 공정이 진행될 제 1 유리 기판(11) 또는 제 2 유리 기판(13) 중 하나를 스테이지에 로딩시키고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판을 언로딩할 수 있다. 즉, 다음에 합착 공정이 진행될 제 2 기판을 로봇의 로더를 이용하여 상기 상부 스테이지(15)에 위치시켜 진공 흡착법으로 상부 스테이지가 제 2 기판을 고정시키도록 한 다음, 상기 하부 스테이지(16) 상의 합착된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하거나, 상기 상부 스테이지(15)가 합착된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 흡착하여 상승하고 로봇의 로더가 다음 합착 공정이 진행될 제 1 유리 기판(11)을 상기 하부 스테이지에 로딩시킨 후 상기 합착된 제 1, 제 2 유리 기판을 언로딩 할 수 있다.At this time, in order to shorten the process time, one of the first glass substrate 11 or the second glass substrate 13 to be subjected to the next bonding process is loaded on the stage and the unbonded first and second glass substrates are unloaded. Can be. That is, a second substrate to be bonded next is placed on the upper stage 15 using a loader of a robot so that the upper stage fixes the second substrate by vacuum adsorption, and then on the lower stage 16. Unloading the bonded first and second substrates, or the upper stage 15 adsorbs the first and second glass substrates 11 and 13 to which the upper and lower substrates are bonded, and the loader of the robot moves to the first bonding process. After loading the glass substrate 11 on the lower stage, the bonded first and second glass substrates may be unloaded.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention as described above has the following effects.
첫째, 제 1 기판에는 액정을 적하하고 제 2 기판에는 실재를 형성하므로 두 기판을 합착하기 전까지의 공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다.First, since a liquid crystal is dropped on the first substrate and a substance is formed on the second substrate, the process time before joining the two substrates is shortened, thereby improving productivity.
둘째, 상기 제 1 기판에는 액정이 적하되고 상기 제 2 기판에는 실재가 도포되므로 제 1 기판과 제 2 기판의 공정이 균형(balance)적으로 진행되므로 생산 라인을 효율적으로 가동할 수 있다.Second, since liquid crystal is dropped on the first substrate and a substance is applied on the second substrate, the process of the first substrate and the second substrate is balanced so that the production line can be efficiently operated.
셋째, 상기 제 1 기판에는 액정이 적하되고 제 2 기판에는 실재가 도포되므로 합착하기 바로 직전에 세정 장비(USC)에서 실재가 도포된 기판을 세정을 할 수 있게되므로 실재가 파티클로부터 오염됨을 최대한 방지할 수 있다.Third, since the liquid crystal is dropped on the first substrate and the substance is applied to the second substrate, the substrate coated with the substance can be cleaned in the cleaning equipment (USC) just before bonding, thereby preventing the substance from being contaminated from particles. can do.
넷째, 상기 기판 리시버를 기판 하측에 위치시키고 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 때문에 상기 상부 스테이지에 흡착된 기판이 추락하여 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.Fourth, since the substrate receiver is positioned below the substrate and the adapter chamber is made in a vacuum state, the substrate adsorbed on the upper stage can be prevented from falling and the substrate is damaged.
다섯째, 두 기판이 접촉되는 시점을 인식하여 압력을 가변하면서 두 기판을 합착하므로 적하된 액정이 배향막에 영향을 줄 수 있는 데미지를 최소화할 수 있다.Fifth, since the two substrates are bonded while recognizing the time point at which the two substrates are in contact with each other, the damage that the dropped liquid crystal may affect the alignment layer may be minimized.
여섯째, 상기 상부 스테이지가 각 축마다 독립적으로 가압할 수 있는 다수개의 축에 의해 기판을 가압하므로, 상기 하부 스테이지와 상부 스테이지가 수평이 맞지 않아 실재가 균일하게 합착되지 않을 경우, 해당 부분의 축을 상대적으로 더 높은 압력으로 가압하거나 더 낮은 압력으로 가압하여 실재가 균일하게 합착될 수 있도록 할 수 있다.Sixth, since the upper stage presses the substrate by a plurality of shafts that can press independently on each axis, when the lower stage and the upper stage are not horizontal to each other and the material is not uniformly bonded, It may be pressurized to a higher pressure or to a lower pressure so that the substance can be uniformly bonded.
일곱 번째, 합착기 챔버를 진공할 때 2차에 걸쳐 진공하기 때문에, 챔버가 갑자기 진공됨을 방지할 수 있으므로 갑작스런 진공에 의한 기판의 트러짐 및 유동을 방지할 수 있다.Seventh, since vacuuming the adjoiner chamber over a second time, it is possible to prevent the chamber from suddenly vacuuming, thereby preventing the substrate from breaking and flowing due to a sudden vacuum.
여덟 번째, 상기 두 기판을 합착한 후, 고정용 실재 또는 더미 실재를 부분적으로 경화하여 합착된 두 기판을 고정한 다음, 다음 공정을 진행하므로 다음 공정 시 또는 이동 시 제 1 유리 기판과 제 2 유리 기판이 어긋남(misalign)을 방지할 수 있다. Eighth, after the two substrates are bonded together, the fixing or dummy materials are partially cured to fix the two bonded substrates, and then the next process is performed. Therefore, the first glass substrate and the second glass substrate are used during the next process or movement. This misalignment can be prevented.
아홉 번째, 로딩과 언로딩을 동시에 진행하므로 공정 시간을 단축할 수 있다.Ninth, loading and unloading can be done at the same time, reducing the process time.
열 번째, 액정 퍼짐 공정을 실시하므로, 액정표시장치의 공정 시간을 단축할 수 있다. Tenth, since the liquid crystal spreading step is performed, the process time of the liquid crystal display device can be shortened.
도 1a 내지 1f는 종래의 액정 적하 방식의 액정표시장치 공정을 도시한 모식적 단면도1A to 1F are schematic cross-sectional views showing a conventional liquid crystal display method of a liquid crystal display device.
도 2a 내지 2f는 본 발명에 따른 액정 적하 방식의 액정표시장치 공정을 도시한 모식적 단면도2a to 2f are schematic cross-sectional views showing a liquid crystal display device process of the liquid crystal dropping method according to the present invention.
도 3는 본 발명에 따른 합착 공정 순서도3 is a bonding process flow chart according to the present invention
도 4는 본 발명 제 1 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도4 is a real layout view for explaining the fixing according to the first embodiment of the present invention.
도 5은 본 발명 제 2 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도5 is a real layout view for explaining the fixing according to the second embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명 제 3 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도6 is a real layout view for explaining the fixing according to the third embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명 제 4 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도7 is a real layout view illustrating the fixing according to the fourth embodiment of the present invention.
도 8는 본 발명 제 5 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도8 is a real layout view for explaining the fixing according to the fifth embodiment of the present invention.
도 9은 본 발명 제 6 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도9 is a real layout view for explaining the fixing according to the sixth embodiment of the present invention.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 진공 합착기 챔버 11, 13 : 유리 기판10 vacuum vacuum chamber 11, 13 glass substrate
12 : 액정 14 : 실재12: liquid crystal 14: real
14a : 메인 실재 14b : 더미 실재14a: main entity 14b: dummy entity
14c : 고정용 실재 15 : 상부 스테이지14c: fixing material 15: upper stage
16 : 하부 스테이지16: lower stage
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