[go: up one dir, main page]

KR100382382B1 - Surface Acoustic Wave Transducer Drives in Differential Mode - Google Patents

Surface Acoustic Wave Transducer Drives in Differential Mode Download PDF

Info

Publication number
KR100382382B1
KR100382382B1 KR10-1998-0703404A KR19980703404A KR100382382B1 KR 100382382 B1 KR100382382 B1 KR 100382382B1 KR 19980703404 A KR19980703404 A KR 19980703404A KR 100382382 B1 KR100382382 B1 KR 100382382B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transducer
channel
fingers
transducers
offset
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR10-1998-0703404A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990067394A (en
Inventor
삐에르 뒤필리
마르끄 쏘랄
Original Assignee
탈레스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR9513132A external-priority patent/FR2740908B1/en
Application filed by 탈레스 filed Critical 탈레스
Publication of KR19990067394A publication Critical patent/KR19990067394A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100382382B1 publication Critical patent/KR100382382B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/1455Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output
    • H03H9/0028Networks for transforming balanced signals into unbalanced signals and vice versa, e.g. baluns, or networks having balanced input and output using surface acoustic wave devices
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14505Unidirectional SAW transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 차동구동되는 트랜스듀서는, 차동입력의 대칭성을 얻기 위하여 병렬접속되며, 각각이 제 1 채널과 제 2 채널을 형성하는 적어도 제 1 트랜스듀서 (5) 와 제 2 트랜스듀서 (6) 으로 구성되며, 이 2개의 트랜스듀서(5, 6) 는 서로에 대해 특정의 세로방향 오프셋을 나타낸다.The differentially driven transducers according to the invention are at least a first transducer 5 and a second transducer 6 which are connected in parallel in order to obtain the symmetry of the differential inputs, each forming a first channel and a second channel. These two transducers 5, 6 represent a particular longitudinal offset with respect to each other.

Description

차동모드로 구동되는 표면 음향파 트랜스듀서Surface acoustic wave transducer driven in differential mode

본 발명은 표면 음향파 트랜스듀서에 관한 것으로, 특히, DART로서 알려져 있으며 차동모드로 구동되고 저 임피던스 입/출력을 갖는 표면음향파 분포형 음향반사 트랜스듀서에 관한 것이다. 이러한 유형의 드라이브, 특히 집적회로의 향상에 대한 요구가 증대하고 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to surface acoustic wave transducers, and more particularly, to surface acoustic wave distributed acoustic reflection transducers known as DART and driven in differential mode and having low impedance input / output. There is an increasing demand for improvements of this type of drive, especially integrated circuits.

DART 의 기본구조는 널리 알려져 있는 것으로 추정되므로, 본 발명의 설명에서는 자세하게 설명하지 않기로 한다.Since the basic structure of the DART is presumed to be well known, it will not be described in detail in the description of the present invention.

트랜스듀서를 차동모드로 구동하기 위해서는, 대칭 차동입력을 갖는 구조를 이용하는 것이 필요하다. 이러한 DART의 기본구조를 직접 차동모드로 사용할 수 없다. 이는 DART의 반사기가 차동입력들에 개별적으로 링크된 접속패드들간에 비대칭성이 이루어지기 때문이다.To drive the transducer in differential mode, it is necessary to use a structure with a symmetrical differential input. The basic structure of this DART cannot be used directly in differential mode. This is because the reflector of the DART is asymmetrical between the connection pads individually linked to the differential inputs.

트랜스듀서와 이들 트랜스듀서에 이용하는 필터들은 레이더 또는 이동무선통신 시스템과 같은 많은 분야, 특히 중간 주파수를 필터링하는데 적용될 수 있다.Transducers and filters used in these transducers can be applied to many applications, especially intermediate frequencies, such as radar or mobile wireless communications systems.

널리 알려진 차동 입력을 갖는 DART 로는, 1992년 9월 15일자로 출원되어 제 2 695 771 호로서 공개된, 발명의 명칭이 "Transducteur d'ondes unidirectionnel [Unidirectional wave transducer]" 인 특허 제 92 10966 호에 자세하게 개시되어 있다. 이 구조는 접지를 기준으로 한 양의 소오스와 음의 소오스간에 차동 피드 (feed)를 가능케 하며, 양의 소오스에 링크된 2개의 에미터 셀을 포함하고, 음의소오스에 링크된 제 3의 에미터 셀이 측면에 접하며, 이들 3개의 셀들은 제 1 및 제 2 반사셀에 의해 이격되며, 대지에 접지되어, 당연히 이들 셀들은 대칭성에 의해 접지전위로 취해지게 된다. 이러한 구성은 접지된 전극들이 양의 소오스에 링크된 것들과 음의 소오스에 링크된 것들의 사이에 게재되는 미로 (maze)구조를 이용한다. 이 미로구조는 구조의 입/출력에 의해 알 수 있는 바와 같이, 샘플링과 고 임피던스의 문제점이 있다.DART with a well-known differential input is disclosed in patent 92 10966, entitled “Transducteur d'ondes unidirectionnel [Unidirectional wave transducer]”, filed Sep. 15, 1992 and published as No. 2 695 771. It is disclosed in detail. This structure enables differential feed between positive and negative sources relative to ground, includes two emitter cells linked to the positive source, and a third Emmy linked to the negative source. The cells are flanked by the sides and these three cells are spaced apart by the first and second reflecting cells and grounded to the ground, so naturally these cells are taken to ground potential by symmetry. This configuration uses a maze structure in which the grounded electrodes are interposed between those linked to the positive source and those linked to the negative source. This maze structure has problems of sampling and high impedance, as can be seen by the input / output of the structure.

본 발명의 목적은 상술한 단점을 극복하는데 있다.It is an object of the present invention to overcome the above disadvantages.

이 목적을 위해, 본 발명의 과제는, 차동입력의 대칭성을 얻기 위하여 병렬 접속되고 제 1 음향채널과 제 2 음향채널을 각각 형성하는 적어도 제 1 트랜스듀서 및 제 2 트랜스듀서로 구성되며, 이 2개의 트랜스듀서가 서로에 대해 소정의 세로방향 오프셋을 나타내는 것을 특징으로 하는 차동모드로 구동되는 표면 음향파 트랜스듀서이다.For this purpose, the object of the present invention consists of at least a first transducer and a second transducer connected in parallel to form a symmetry of a differential input and forming a first acoustic channel and a second acoustic channel, respectively. Surface acoustic wave transducer driven in a differential mode, characterized in that the two transducers exhibit a predetermined longitudinal offset with respect to each other.

본 발명에 따른 트랜스듀서의 구조의 이점은, 차동모드로 구동되는 2개의 병렬 음향채널을 갖는 구조에 대해 이러한 구조의 입/출력에 저 임피던스를 부여하는 것이다.An advantage of the structure of the transducer according to the invention is to give a low impedance to the input / output of such a structure for a structure with two parallel acoustic channels driven in differential mode.

본 발명의 다른 특징들과 이점들은 첨부도면을 참조한 하기 설명으로부터 명확히 알수 있을 것이다.Other features and advantages of the invention will be apparent from the following description with reference to the accompanying drawings.

도 1a 및 1b 는 각각 상부에서 본 단면도로, 비차동 입력을 갖는 DART형 트랜스듀서의 공지된 일예이다.1A and 1B are cross-sectional views from the top, respectively, of a known example of a DART type transducer having a non-differential input.

도 2a, 2b 및 2c 는 각각 상부에서 본 단면도로서, 차동입력을 갖는 트랜스듀서를 형성하기 위하여 병렬접속된 2개의 트랜스듀서로 구성된 트랜스듀서의 실시예이다.2A, 2B and 2C are cross-sectional views, respectively, viewed from above, showing an embodiment of a transducer composed of two transducers connected in parallel to form a transducer having a differential input.

도3은 차동모드와 세로방향 오프셋으로 구동되는 병렬접속된 2개의 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 1 구조이다.Figure 3 is a first structure of a transducer according to the invention with two transducers connected in parallel driven in differential mode and longitudinal offset.

도 4a, 4b 및 4c 는 각각 차동 모드와 λ /2 의 오프셋으로 구동되는 병렬접속된 2개의 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 2 구조의 단면도이다.4A, 4B and 4C are cross-sectional views of a second structure of the transducer according to the invention with two transducers connected in parallel driven in differential mode and offset of [lambda] / 2, respectively.

도 5a, 5b 및 5c 는 각각 차동 모드와 λ /3 의 오프셋으로 구동되는 병렬접속된 2개의 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 3 구조의 단면도이다.5a, 5b and 5c are cross-sectional views of a third structure of a transducer according to the invention with two transducers connected in parallel, each driven in a differential mode and an offset of [lambda] / 3.

도6a, 6b 및 6c는 각각 차동모드와 λ/2의 오프셋으로 구동되는 병렬접속된 2개의 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 4 구조의 단면도이다.6A, 6B and 6C are cross-sectional views of a fourth structure of a transducer according to the present invention having two transducers connected in parallel, each driven with a differential mode and an offset of [lambda] / 2.

도7a, 7b 및 7c는 각각 차동모드와 λ/2의 오프셋으로 구동되는 병렬접속된 2개의 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 5 구조의 단면도이다.7A, 7B and 7C are cross-sectional views of a fifth structure of a transducer according to the present invention having two transducers connected in parallel, each driven at an offset of λ / 2 and in differential mode.

도 8은 반파장의 짝수배 만큼 오프셋된 본 발명에 따른 트랜스듀서, 및 그 트랜스듀서에 의해 발생된 대칭 음향파의 형태를 나타낸 것이다.8 shows a shape of a transducer according to the present invention offset by an even number of half wavelengths and a symmetrical acoustic wave generated by the transducer.

도9는 반파장의 홀수배만큼 오프셋된 본 발명에 따른 트랜스듀서, 및 그 트랜스듀서에 의해 발생된 비대칭 음향파의 형태를 나타낸 것이다.Fig. 9 shows a transducer according to the present invention offset by an odd multiple of half wavelength, and the shape of an asymmetric acoustic wave generated by the transducer.

이들 도면들에서, 대응하는 구성요소들은 동일 부호로 지시된다.In these figures, corresponding components are denoted by the same reference numerals.

도 1a 및 1b 는 비차동 입력을 갖는 공지된 DART 의 구조의 일예를 나타낸것이다. 이는 소정 갯수의 핑거 (finger)를 각각 포함하는 제 1 전극(1) 과 제 2 전극 (2) 으로 구성된다. 제 1 전극 (1) 은 음의 퍼텐셜 (V+)에 링크되며, 제 2 전극은 기준전위에 링크되며; 각 전극 (1, 2)은 전극들의 각 핑거에 소정 퍼텐셜을 인가하는 것이 가능한 접속패드를 포함한다. 따라서, 각 전극들은 빗형태 (comb) 를 형성하며, 이들 2개의 전극들의 일부 핑거들은 에미터 셀들과 음향 반사기 셀을 형성할 수 있도록 인터리브된다. 음향신호는 전위차가 존재하는 경우에 발생된다.1A and 1B show an example of a structure of a known DART having a non-differential input. It consists of a first electrode 1 and a second electrode 2 each comprising a predetermined number of fingers. The first electrode 1 is linked to the negative potential V + , and the second electrode is linked to the reference potential; Each electrode 1, 2 comprises a connection pad capable of applying a predetermined potential to each finger of the electrodes. Thus, each of the electrodes forms a comb, and some fingers of these two electrodes are interleaved to form emitter cells and acoustic reflector cells. An acoustic signal is generated when a potential difference exists.

도 1b 는 도 1a 에 나타낸 구조의 xx' 에 따른 단면을 나타낸 것이다. 이 단면도에서 피에조일렉트릭 기판 (미도시됨)의 표면상에 증착된 2개의 전극의 여러가지 핑거들을 볼 수 있다. 또한, 이들 핑거들의 퍼텐셜도 나타내었다.FIG. 1B shows a cross section along xx 'of the structure shown in FIG. 1A. In this cross-section you can see various fingers of two electrodes deposited on the surface of a piezoelectric substrate (not shown). Also shown are the potentials of these fingers.

차동입력을 갖는 트랜스듀서는 비차동 드라이브를 갖는 이 기본 구조로부터 출발하여, 비차동입력을 갖는 2개의 트랜스듀서로 용이하게 구성될 수 있으며, 본 출원인에 의해 91년 10월 18일자로 출원되고 제 2 682 833호로서 공고된 "Filtre a ondes de surface et a trajet acoustique replie [surface wave filter with folded acoustic path]" 이란 명칭의 프랑스 특허 제 91 12882호공보에 자세하게 개시된 구조로부터 구성될 수 있다. 이를 위해, 도 1a및 1b의 구조와 동일한 2개의 트랜스듀서가 직렬로 접속된다. 2개의 각 트랜스듀서의 각각의 접지된 접속패드들은 동일하다. 이들 2개의 트랜스듀서들은 각각 2개의 음향채널을 형성한다. 이들 2개의 음향채널들은 λ/2 만큼 수평방향으로 2개의 채널을 오프셋시킴으로써, 단일 채널로서 나타날 수도 있으며, λ 는 트랜스듀서의 중심 주파수에 대응하는 파장이다.Transducers with differential inputs, starting from this basic structure with non-differential drives, can easily be composed of two transducers with non-differential inputs, filed on October 18, 1991 by the applicant and 2 682 833, "Filtre a ondes de surface et a trajet acoustique replie [surface wave filter with folded acoustic path]". For this purpose, two transducers which are identical in structure to FIGS. 1A and 1B are connected in series. The grounded contact pads of each of the two transducers are identical. These two transducers each form two acoustic channels. These two acoustic channels may appear as a single channel by offsetting the two channels in the horizontal direction by λ / 2, where λ is the wavelength corresponding to the center frequency of the transducer.

그러한 구조가 도 2a에 도시되어 있다. 전기접속은 접지에 대해 대칭적이므로, 접지를 기준으로 할때, 각 차동입력 (V+, V-)들 사이에서 알 수 있는 바와 같이, 동일한 임피던스를 부여하게 된다.Such a structure is shown in FIG. 2A. The electrical connection is symmetrical with respect to ground, so when referenced to ground, it will give the same impedance, as can be seen between each differential input (V +, V-).

도 2b 및 2c 는 각각 제 1 트랜스듀서 (3) 및 제 2 트랜스듀서 (4) 의 축(xx' 및 yy') 에 따른 단면도를 나타낸 것이다. 도 1b 에 나타낸 바와 같이, 그들 각자의 접속패드를 통하여 차동입력에 링크된 전극에 대응하는 각 핑거들의 상부에 여러가지 퍼텐셜이 표시되어 있다.2b and 2c show sectional views along the axes xx 'and yy' of the first transducer 3 and the second transducer 4, respectively. As shown in Fig. 1B, various potentials are indicated on top of each of the fingers corresponding to the electrodes linked to the differential inputs through their respective connection pads.

이러한 구조의 주 단점은 차동입력들 사이에서 알수 있는 바와 같은 임피던스가 2개의 채널을 사용한 것과 동일한 개구를 가지는 비차동입력을 갖는 구조의 임피던스의 4배와 동일하다는 것이다.The main disadvantage of this structure is that the impedance as seen between the differential inputs is equal to four times the impedance of the structure with the non-differential input having the same aperture as using two channels.

이러한 임피던스를 저감하는 것이 가능한 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 1 구조는 도 3 에 도시되어 있다.The first structure of the transducer according to the invention, which can reduce this impedance, is shown in FIG.

이 구조에서, 도 2a에 나타낸 구조에서 이미 설명한 2개의 트랜스듀서는 직렬보다는 병렬로 접속된다. 각 트랜스듀서 (5, 6)는 차동입력 (V+, V-)사이에 직접 배선되며, 기준 퍼텐셜 (대지)은 더이상 존재하지 않는다. 2개의 경로의 대칭성은 그 2개의 DART 상의 극성을 반전시킴으로써 복구된다. 이 극성반전은 단일경로에서는, 2개의 트랜스듀서 (5, 6)를 반파장의 홀수배만큼 오프셋시킴으로써, 보상되어질 수가 있으므로, 대칭적인 파면 (wavefront)을 얻는 것이 가능하게 된다. 그러나, 이는 필수적이 아니며, 비대칭 파면을 발생하는 것도 받아들일 수 있으며, 장치, 예를들면, 수신하는 트랜스듀서는 그에 따라서 설계되어져야 한다. 이는 2개의 음향 채널의 개구들의 합과 동일한 개구를 갖는 트랜스듀서의 비차동입력들 사이에서 볼 수 있는 차동입력과 거의 동일한 각 차동입력들 사이에서 볼 수 있는 임피던스가 되게 한다. 초기 직렬 접속된 구조에 비교해 볼 때 4개의 인자가 구해졌다.In this structure, the two transducers already described in the structure shown in FIG. 2A are connected in parallel rather than in series. Each transducer (5,6) is a differential input (V +, V -) and the wiring directly between the reference potential (ground) is no longer present. The symmetry of the two paths is restored by inverting the polarity on the two DARTs. This polarity inversion can be compensated by offsetting the two transducers 5 and 6 by an odd multiple of half wavelength in a single path, thereby making it possible to obtain a symmetric wavefront. However, this is not essential and it is acceptable to generate an asymmetric wavefront, and the device, for example the receiving transducer, must be designed accordingly. This results in an impedance seen between each differential input that is approximately equal to the differential input seen between the non-differential inputs of the transducer having the same aperture as the sum of the apertures of the two acoustic channels. Compared to the initial serially connected structure, four factors were obtained.

도 4a에 나타낸, 본 발명에 따른 트랜스듀서의 제 2 구조에서, 이전의 구조와 동일한 차동입력으로의 배선은 2개의 전극 (7, 8) 의 2개의 접속패드만을 이용하며, 각 접속패드들은 그 2개의 차동입력 (V+, V-) 들중의 하나에 각각 배선되어지며, 핑거 (9i, 10i)를 링크시킴으로써, 여러가지 전극들상의 동일 시이퀀스의 극성이 각 채널에 부응하는 방법으로 함께 링크되어진다.In the second structure of the transducer according to the present invention, shown in Fig. 4A, the wiring to the same differential input as the previous structure uses only two connection pads of the two electrodes 7 and 8, and each connection pad has its own. two differential inputs (V +, V -) to becomes each wired to one of the fingers linked together in a way that by linking to (9i, 10i), of the same Shi sequence polarity on the number of electrodes responding to each channel It is done.

제 1 음향 채널은 그 접속패드를 통하여 제 1 차동입력 (V-)에 접속된 제 1 전극으로부터 형성된다. 이 전극 (7)은 전극 (7)을 따라서 특정 위치에 특정의 폭으로된 소정 갯수의 핑거들을 포함한다. 제 2 채널은 빗(comb) 형태로된 제 2 전극 (8)으로부터 형성되며, 제 1 전극 (7)과 동일 갯수의 핑거를 포함하고, 그 접속패드를 통해 다른 차동입력 (V+)에 접속된다.The first acoustic channel is formed from a first electrode connected to the first differential input V through its connecting pad. This electrode 7 comprises a predetermined number of fingers of a specific width at a particular position along the electrode 7. The second channel is formed from a second electrode 8 in the form of a comb and comprises the same number of fingers as the first electrode 7 and is connected to another differential input (V + ) via its connecting pad. do.

2개의 전극 (7, 8) 에 각각 속하는 동일한 소정 갯수의 핑거 (9i, 10i) 가 전극 (7, 8)의 다른 핑거들과 인터리브된다. 이러한 구조의 특징은 제 1 전극(7) 의 소정 갯수의 핑거 (9i)가 제 2 음향 채널에 속하는 것과, 제 2 전극(8) 의 동일 갯수의 핑거 (10i)가 제 1 음향채널에 속하는 것이다. 도 4b 및 4c 의 단면도는 여러가지 퍼텐셜이 각 핑거상에 분포되는 방법을, 단면축 xx'을 따른 제 1 트랜스듀서 및 단면축 yy'을 따른 제 2 트랜스듀서(8)에 대해, 설명한 것이다.The same predetermined number of fingers 9i and 10i respectively belonging to the two electrodes 7 and 8 are interleaved with other fingers of the electrodes 7 and 8. The characteristic of this structure is that the predetermined number of fingers 9i of the first electrode 7 belong to the second acoustic channel, and the same number of fingers 10i of the second electrode 8 belong to the first acoustic channel. . 4B and 4C illustrate how the various potentials are distributed on each finger, with respect to the first transducer along the cross section axis xx 'and the second transducer 8 along the cross section axis yy'.

본 발명에 따른 트랜스듀서는 절대 퍼텐셜에 의해서보다는 2개의 인접 핑거에 가해진 퍼텐셜차에 의해 음향파가 발생된다는 사실을 이용한다.The transducer according to the invention takes advantage of the fact that acoustic waves are generated by the potential difference applied to two adjacent fingers rather than by absolute potential.

도 2b 및 2c의 단면도와 각각 비교할 때, 도 4b 및 4c의 단면도는, 도 4a, 4b 및 4c 의 2개의 인접 핑거들 사이의 퍼텐셜차가 도 2a, 2b 및 2c 의 2개의 인접 핑거들 사이에서 측정된 퍼텐셜차의 2배로 나타난다. 이는 기준 퍼텐셜 (대지) 로의 접속이 없는 사실에 기인한다. 따라서, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 2개의 채널에서 동일 극성이 접속된다. 다른 핑거들에 의해 인터리브된 전극 (7, 8)의 핑거 (9i, 10i)는 제 1 전극에 대한 경우와 같이 다른 핑거들을 연장시켜 이루어지거나, 또는 제 2 전극 (8)의 퍼텐셜 (V+)에의 접속이 가능하도록 부가되는, 도면에서 해칭된 제 1 핑거 (11)를 연장시킴으로써, 이루어진다. 이와 유사하게, 제 1 전극 (7)의 해칭된 제 2 핑거 (12)는 각 채널에서 동일 갯수의 핑거들을 유지하도록 제 1 음향 채널에 부가된다. 이는 차동입력 (V+, V-) 사이에서 볼수 있는 동일 임피던스를 보장함으로써, 트랜스듀서의 임피던스의 대칭성을 보장하게 된다.Compared with the cross sections of FIGS. 2B and 2C, respectively, the cross sections of FIGS. 4B and 4C show that the potential difference between two adjacent fingers of FIGS. 4A, 4B and 4C is measured between two adjacent fingers of FIGS. Appears twice the potential potential. This is due to the fact that there is no connection to the reference potential (ground). Thus, as shown in Fig. 4A, the same polarity is connected in two channels. The fingers 9i, 10i of the electrodes 7, 8 interleaved by the other fingers are made by extending the other fingers as in the case with the first electrode, or the potential (V + ) of the second electrode 8. By extending the first finger 11 hatched in the figure, which is added so as to enable connection to it. Similarly, a hatched second finger 12 of the first electrode 7 is added to the first acoustic channel to retain the same number of fingers in each channel. This differential inputs (V +, V -) by ensuring that the same impedance seen between, thereby ensuring the impedance symmetry of the transducer.

도 5a에 나타낸 바와 같이, 2개의 채널의 2개의 대향단에 각각 2개의 핑거 (13i, 14i)를 부가하는 것이 가능하다. 이는 2개의 채널에 대해 동일한 갯수의 동일 핑거를 유지하면서, 2개의 채널의 단을 정렬하는 것을 가능케 한다. 도 5b 및 5c의 단면도는 각 핑거상에 여러가지 퍼텐셜이 분포되는 방법을, 단면축 (xx')을따른 제 1 트랜스듀서 (7) 및 단면축 (yy')에 따른 제 2 트랜스듀서에 대해 각각 설명한다.As shown in Fig. 5A, it is possible to add two fingers 13i and 14i to two opposite ends of two channels, respectively. This makes it possible to align the stages of the two channels while maintaining the same number of identical fingers for the two channels. 5b and 5c show how different potentials are distributed on each finger, for the first transducer 7 along the cross section axis (xx ') and the second transducer along the cross section axis (yy'), respectively. Explain.

이 구조는 다른 채널외에 하나의 채널에 좀더 많은 핑거들이 부가되는 경우에도 동작하나, 2개의 채널의 핑거 갯수의 차이는 대지에 대한 차동입력의 캐패시턴스를 변경시키지 않도록 충분히 작게 유지되어야 한다.This structure works even if more fingers are added to one channel besides the other channel, but the difference in the number of fingers of the two channels should be kept small enough so as not to change the capacitance of the differential input to the ground.

이들 동일 임피던스에 대해, 도 2a 및 4a 의 구조의 비교는 도 4a 의 구조가 도2a의 구조보다 더 작은 대략 4배인 것으로 나타난다. 이는 도 2a의 구조가 기준 퍼텐셜, 즉 대지를 기준으로 하여, 2개의 트랜스듀서 (3, 4)의 직렬접속에 의해 이루어지기 때문이다. 도 4a의 구조의 여러가지 극성들간의 퍼텐셜 차이는 도 2 의 구조의 퍼텐셜 차의 2배이다.For these equal impedances, a comparison of the structures of FIGS. 2A and 4A shows that the structure of FIG. 4A is approximately four times smaller than the structure of FIG. 2A. This is because the structure of Fig. 2A is made by the series connection of two transducers 3, 4 on the basis of the reference potential, that is, the ground. The potential difference between the various polarities of the structure of FIG. 4A is twice the potential difference of the structure of FIG. 2.

제 2 트랜스듀서 (6) 에 대한 제 1 트랜스듀서 (5) 의 λ /2 오프셋은 중심 주파수 (f0)에서 2개의 채널들 사이에서 0의 위상시프트를 얻는 것을 가능케 한다. 더욱이, 이 위상 시프트는 주파수 (2f0)에서 0을 얻는 것이 가능케 되어, 제 2 조파를 제거하는 것을 가능케 한다.The λ / 2 offset of the first transducer 5 relative to the second transducer 6 makes it possible to obtain a phase shift of zero between the two channels at the center frequency f0. Moreover, this phase shift makes it possible to obtain zero at the frequency 2f0, which makes it possible to eliminate the second harmonic.

2개의 트랜스듀서 (5, 6)의 오프셋은 필수적이 아니나, 그럼에도 불구하고, 접속 문제를 해결하는 것이 가능하므로 중요하다.The offset of the two transducers 5, 6 is not essential, but it is nevertheless important as it is possible to solve the connection problem.

도 6a, 6b 및 6c 는 폭 λ /6 의 핑거와 λ /3 의 주기를 가진 소오스를 이용하는 DART 차동구조에 본 발명에 따른 트랜스듀서를 응용한 것을 나타낸 것이다. 이 구조에서, 인터리브된 핑거 (15i, 16i)는 전극 (7, 8)의 이미 존재하는 핑거의연장을 따라서 직접 존재하지 않는다. 특히, 양의 퍼텐셜 입력 (V+)에 링크된 전극 (8)에 속하는 핑거 (16i)에 대해, 전기접속의 문제의 관점에서, 이들 핑거 (16i) 들은 퍼텐셜 (V+) 을 가진 인터리브된 핑거 (16i)의 전기접속을 가능하도록 약간 길게된 동일 전극 (8)의 2개의 인접 핑거의 단에 부가된다.6A, 6B and 6C show the application of the transducer according to the present invention to a DART differential structure using a finger having a width of λ / 6 and a source having a period of λ / 3. In this structure, the interleaved fingers 15i, 16i are not directly along the extension of the already existing fingers of the electrodes 7, 8. In particular, for fingers 16i belonging to electrode 8 linked to positive potential input V + , in view of the problem of electrical connection, these fingers 16i are interleaved fingers with potential V + . It is added to the ends of two adjacent fingers of the same electrode 8 which are slightly elongated to allow electrical connection of 16i.

도 4a에 나타낸 바와 같이, 2개의 트랜스듀서 (7, 8)이 λ /2 만큼 오프셋되어지며, 제 1 전극 (7) 의 인터리브된 핑거 (15i) 는 제 2 전극 (8) 의 인터리브된 핑거 (16i) 에 대해 λ /2 의 오프셋을 겪는다.As shown in FIG. 4A, the two transducers 7, 8 are offset by λ / 2, and the interleaved fingers 15i of the first electrode 7 are interleaved fingers (i) of the second electrode 8. Undergo an offset of λ / 2 for 16i).

제 1 전극 (7)의 인터리브된 핑거 (15i)는, 이와 유사하게, 퍼텐셜 (V-)과의 전기접속을 위해 제공하도록 길게 된, 그들을 지지하는 전극 (7)의 다른 핑거에 대해 오프셋된다.The interleaved fingers 15i of the first electrode 7 are similarly offset with respect to the other fingers of the electrode 7 supporting them, which are elongated to provide for electrical connection with the potential V-.

도 7a, 7b 및 7c 에, 본 발명에 따른 트랜스듀서의 또다른 구조가 도시되어 있다.In Figures 7a, 7b and 7c another structure of the transducer according to the invention is shown.

이 구조에서는, 각 트랜스듀서 (5, 6)의 사이에 λ 의 오프셋이 있다. 이 구조는 도 6a, 6b 및 6c 의 구조와 부분적으로 유사하므로, 다시 설명하지 않기로 한다.In this structure, there is an offset of λ between each transducer 5, 6. This structure is partially similar to that of FIGS. 6A, 6B and 6C and will not be described again.

각 채널에 대해 동일 갯수의 핑거에 상응토록 하기 위하여, 도면에서 해칭되어진, 세개의 핑거 (17i, 18i)가 2개의 채널의 2개의 대향단에 각각 부가된다.In order to correspond to the same number of fingers for each channel, three fingers 17i and 18i, which are hatched in the figure, are respectively added to two opposite ends of the two channels.

도 8 및 9 는 각각 본 발명에 따른 트랜스듀서에 의해 가능한 2가지 유형의 오프셋을 나타낸 것이다.8 and 9 respectively show two types of offsets possible by the transducer according to the invention.

도 8에서, 2개의 음향 채널 사이의 오프셋은 예를들면, 3λ /2와 같은, λ /2 의 홀수배이다. 이는 트랜스듀서의 변환함수 (transfer function) 에서 나머지 0을 구하기 위하여 사용될 수 있다. 발생된 음향파 (A(y))는 2개의 채널의 음향파가 동위상이므로 대칭적이다.In FIG. 8, the offset between two acoustic channels is an odd multiple of λ / 2, for example 3λ / 2. This can be used to find the remaining zero in the transducer's transfer function. The generated acoustic waves A (y) are symmetrical because the acoustic waves of the two channels are in phase.

도 9에서, 2개의 음향 채널들사이의 오프셋은 예를들면, 0 또는 λ 와 같이, λ /2의 짝수배이다. 따라서, 발생된 음향파 (A(y))는 비대칭적이다.In FIG. 9, the offset between two acoustic channels is an even multiple of λ / 2, for example 0 or λ. Thus, the generated acoustic wave A (y) is asymmetrical.

이용 대역에서의 임피던스와 캐패시턴스가 동일 차수의 크기로 잔존하는한, 2개의 채널상에 2개의 서로다른 트랜스듀서를 이용하는 것도 가능하다.It is also possible to use two different transducers on two channels, as long as the impedance and capacitance in the band used remain the same order of magnitude.

본 발명은 방금 설명한 특정 구조에 한정되지 않는다. 차동모드로 동작시킬 수 있도록 하기 위하여는, 어떠한 다른 구조도 본 발명의 주요 특징, 즉, 그들의 2개의 접속패드들에서 비대칭성을 나타내는 2개의 트랜스듀서의 병렬배치를 구현할 수 있다.The invention is not limited to the specific structure just described. In order to be able to operate in differential mode, any other structure may implement the main feature of the invention, namely the parallel arrangement of two transducers exhibiting asymmetry in their two connection pads.

Claims (4)

2 채널 구조로 이루어지고,2 channel structure, 상기 각 채널은, 차동 입력 (V+, V-)의 하나에 링크된 복수의 핑거 (12, 10i), (11, 9i)를 포함하는 제 1 및 제 2 의 채널 트랜스듀서 (5, 6)으로 구성되고,Each channel comprises first and second channel transducers 5, 6 comprising a plurality of fingers 12, 10i, 11, 9i linked to one of the differential inputs V + , V . Consisting of, 각각의 채널에서, 상기 복수의 핑거 (12, 10i), (11, 9i)는 λ /2 의 배수만큼 오프셋된 두 채널에 동일한 핑거의 폭으로 연속되어 있고, λ /2 의 배수만큼 오프셋된 두 채널에 동일한 또는 반대의 전기 극성으로 연속되어 있고, 상기 제 1 및 제 2 채널 트랜스듀서 (5, 6) 각각이 차동 입력 (V+, V-)의 하나에 링크된 단일 연결 패드 (7, 8)를 포함하고, 주어진 채널에서 상기 채널의 연결 패드 (7, 8)에 반대의 전기 극성을 갖는 상기 채널의 핑거들 (10i, 9i)은 상기 후자의 채널에 붙어 있는 핑거 (11, 12)를 지나 다른 채널의 연결 패드 (7, 8)에 링크되는 것을 특징으로 하는 차동 모드로 구동되는 표면 음향파 트랜스듀서.In each channel, the plurality of fingers 12, 10i, 11, 9i are contiguous with the width of the same finger in two channels offset by multiples of λ / 2 and are offset by multiples of λ / 2 Single connection pads 7, 8 that are continuous with the same or opposite electrical polarity in the channel and each of said first and second channel transducers 5, 6 are linked to one of the differential inputs V + , V . And the fingers 10i, 9i of the channel having an electrical polarity opposite to the connection pads 7, 8 of the channel in a given channel include the fingers 11, 12 attached to the latter channel. Surface acoustic wave transducer driven in differential mode characterized in that it is linked to the connection pads (7, 8) of the other channel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 트랜스듀서 (5) 와 제 2 트랜스듀서 (6) 의 사이의 오프셋은 반파장의 홀수배이며; 파장은 트랜스듀서 동작의 중심 주파수에 대응하는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 트랜스듀서.The offset between the first transducer 5 and the second transducer 6 is an odd multiple of half wavelength; A surface acoustic wave transducer, characterized in that the wavelength corresponds to the center frequency of the transducer operation. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 트랜스듀서 (5) 와 제 2 트랜스듀서 (6) 의 사이의 오프셋은 반파장의 짝수배이며; 그 파장은 트랜스듀서 동작의 중심 주파수에 대응하는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 트랜스듀서.The offset between the first transducer 5 and the second transducer 6 is an even multiple of half wavelength; And its wavelength corresponds to the center frequency of the transducer operation. 제 1 항, 제 2 항 및 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2 and 3, 상기 제 1 트랜스듀서 (5) 와 상기 제 2 트랜스듀서 (6) 는 DART(surface acoustic wave distributed acoustic reflection transducer;표면 음향파 분포형 음향반사 트랜스듀서) 인 것을 특징으로 하는 표면 음향파 트랜스듀서.Surface acoustic wave transducer, characterized in that the first transducer (5) and the second transducer (6) is a surface acoustic wave distributed acoustic reflection transducer (DART).
KR10-1998-0703404A 1995-11-07 1996-10-31 Surface Acoustic Wave Transducer Drives in Differential Mode Expired - Fee Related KR100382382B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR95/13132 1995-11-07
FR9513132A FR2740908B1 (en) 1995-11-07 1995-11-07 DIFFERENTIAL SURFACE ACOUSTIC WAVE TRANSDUCER

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990067394A KR19990067394A (en) 1999-08-16
KR100382382B1 true KR100382382B1 (en) 2003-07-07

Family

ID=49381675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1998-0703404A Expired - Fee Related KR100382382B1 (en) 1995-11-07 1996-10-31 Surface Acoustic Wave Transducer Drives in Differential Mode

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100382382B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990067394A (en) 1999-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2957159B2 (en) Differential input / output surface acoustic wave device with proximity coupling
CA2233835C (en) Surface wave device balun resonator filters
KR20010040543A (en) Filter with surface acoustic wave resonators
US6043726A (en) Surface acoustic wave filter utilizing the coupling of three acoustic pathways
US5365206A (en) Surface acoustic wave reflector filter having z-shaped propagation paths
US6011344A (en) Surface acoustic wave transducer driven in differential mode
KR100517069B1 (en) Surface acoustic wave filter
KR20030077667A (en) Surface acoustic wave filter
US3621482A (en) Tunable surface-wave signal-translating device
US5670920A (en) Multi-track SAW filter with reflectors and reversed polarity IDT connections
EP0530041B1 (en) Surface acoustic wave unidirectional transducer having floating electrodes
KR100382382B1 (en) Surface Acoustic Wave Transducer Drives in Differential Mode
KR970706652A (en) SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE
CA2236764C (en) Surface acoustic wave transducer driven in differential mode
US3968461A (en) Acoustic surface-wave devices
US4602183A (en) Surface acoustic wave device with a 3-phase unidirectional transducer
US4733207A (en) Surface acoustic wave filters
US4818961A (en) Surface acoustic wave filter with capacitive phase shifter
CN101667815B (en) Acoustic wave device and system
EP0255263A2 (en) Transducer
US4539502A (en) Magnetic feedthrough cancelling surface acoustic wave device
US4308510A (en) Surface acoustic wave filter
SU945951A1 (en) Filter on surface acoustic waves
US6559739B2 (en) String weighted surface acoustic wave transducer
GB2029148A (en) Surface wave devices

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A15-nap-PA0105

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

A201 Request for examination
P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U12-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090415

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20100419

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20100419

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000