KR100281267B1 - Word Line Leakage Current Control Device for Semiconductor Memory Devices - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 메모리 소자의 워드라인 누설전류 제어장치에 관한 것으로 오프시 종래의 그라운드 레벨이 아닌 웰 바이어스 레벨(백바이어스 전압)을 워드라인 바이어스로 사용함으로써 누설전류를 감소시킨 것이다,The present invention relates to a device for controlling word line leakage current of a semiconductor memory device, and reduces leakage current by using a well bias level (back bias voltage) as a word line bias, rather than a conventional ground level when off.
Description
본 발명은 반도체 메모리 소자의 워드라인 누설전류 제어장치에 관한 것으로, 특히 워드라인 오프시 그라운드 레벨이 아닌 웰 바이어스를 워드라인 바이어스로 이용하여 누설전류를 감소시키는 워드라인 바이어스 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for controlling word line leakage current of a semiconductor memory device, and more particularly, to a word line bias circuit which reduces leakage current by using a well bias as a word line bias when the word line is not grounded.
종래에는 오프시 여러 트랜지스터들의 입력라인인 워드라인에 그라운드 레벨의 바이어스를 공급해 주는 방식을 사용하여 왔다.Conventionally, a method of supplying a ground level bias to a word line, which is an input line of several transistors, has been used.
그러나, 그라운드 레벨의 바이어스도 외부의 노이즈 등과 같은 여러 가지 요인으로 트랜지스터의 전류 흐름을 완전히 차단할 수 없었다.However, ground level bias could not completely block the current flow of the transistor due to various factors such as external noise.
또한 완전한 그라운드 레벨이 워드라인 바이어스로 공급된다 하더라도 트랜지스터의 특성상 약간의 누설전류를 발생하게 된다.In addition, even if the complete ground level is supplied with word line bias, some leakage current is generated due to the transistor characteristics.
더구나, 트랜지스터의 크기가 소형화되고 고집적화되어 제한된 영역에 배치되는 트랜지스터의 수가 크게 증가했으며 파워 소모를 줄이기 위해 전원전압이 보다 낮아짐에 따라 트랜지스터틀 통하여 흐르는 오프시의 누설전류는 파워 소모를 증가시켰으며 트랜지스터의 한 쪽 노드에 저장된 데이터의 유출을 야기시켰다.Moreover, as the size of transistors become smaller and more highly integrated, the number of transistors placed in a limited area has increased greatly. As the power supply voltage is lowered to reduce power consumption, the leakage current during off flowing through the transistor frame increases power consumption. This has caused the leakage of data stored on one node of the node.
디램의 경우 이러한 문제 때문에 데이터 보존시간의 특성을 좋게 하기 위하여 보다 큰 용량의 셀 캐패시터가 필요하게 되어 공정상 많은 고려가 필요한 등의 문제를 가지고 있었다.In the case of DRAM, a large capacity cell capacitor is needed to improve the data retention time due to such a problem, which requires a lot of consideration in the process.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로 셀 트랜지스터의 입력단자인 워드라인의 바이어스로 그라운드 레벨보다 낮은 웰에 공급되는 픽업 바이어스를 사용하여 셀 트랜지스터에 흐르는 누설전류를 감소시키기 위한 워드라인 바이어스 회로를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above-mentioned problem, and is a word for reducing leakage current flowing through a cell transistor by using a pickup bias supplied to a well below ground level by a bias of a word line, which is an input terminal of the cell transistor. The purpose is to provide a line bias circuit.
제1도는 워드라인에 접속된 셀 트랜지스터에 흐르는 누설전류와 게이트-소스입력전압과의 관계를 나타낸 특성 곡선.1 is a characteristic curve showing a relationship between a leakage current flowing through a cell transistor connected to a word line and a gate-source input voltage.
제2도는 본 발명에 대한 기본적인 개념도.2 is a basic conceptual view of the present invention.
제3a도는 일반적인 셀 블록과 워드라인 드라이버의 구조도.3A is a structural diagram of a typical cell block and word line driver.
제3b도는 일반적인 메인 워드라인과 서브 워드라인의 구조도.3b is a structural diagram of a general main word line and a sub word line.
제4도는 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 바이어스 회로도.4 is a wordline bias circuit diagram in accordance with an embodiment of the present invention.
제5도는 상기 제4도의 레벨 쉬프터에 대한 구체적인 회로도.5 is a detailed circuit diagram of the level shifter of FIG.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
100 : 백바이어스 전압 드라이버 제어부 110 : 웰 바이어스 제어부100: back bias voltage driver control unit 110: well bias control unit
120 : 딜레이 블록 130 : 레벨 쉬프터120: delay block 130: level shifter
200 : 백바이어스 전압 드라이버 210 : 서브-워드라인 풀업 드라이버200: back bias voltage driver 210: sub-wordline pull-up driver
220 : 서브-워드라인 풀다운 드라이버220: sub-wordline pulldown driver
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 워드라인 바이어스 회로는, 블록 어드레스와 워드라인 선택 어드레스를 수신하여 셀 블록과 메인 워드라인이 모두 선택될 때만 서브-워드라인 셀 트랜지스터의 턴-온 전압을 공급하는 웰 바이어스 제어수단(110)과, 상기 웰 바이어스 제어수단의 출력신호를 수신하여 커런트 패스를 방지하기 위해 일정시간 지연시키는 딜레이 블록(120)과, 상기 웰 바이어스 제어수단의 출력신호가 로우 레벨의 전위이면 하이 레벨의 전위를 출력하고 상기 출력신호가 하이 레벨의 전위이면 로우 레벨의 전위를 출력하여 누설전류를 제어하는 레벨 쉬프터(130)와, 상기 딜레이 블록의 출력단에 연결되어 서브-워드라인을 구동하기 위해 고전압을 인가받는 엔모스형 트랜지스터(MNI)와, 상기 엔모스형 트랜지스터의 출력신호를 수신하여 서브-워드라인을 메인 워드라인 상의 고전위로 구동하기 위한 서브-워드라인 풀업 드라이버(210)와, 상기 레벨 쉬프터의 출력신호를 수신하여 서브-워드라인을 웰 바이어스 전압으로 구동하기 위한 서브-워드라인 풀다운 드라이버(220)을 구비하는 것을 특징으로 한다.The word line bias circuit of the present invention for achieving the above object is a well for receiving a block address and a word line selection address and supplying the turn-on voltage of the sub-word line cell transistor only when both the cell block and the main word line are selected. A
상술한 목적 및 기타의 목적과 본 발명의 특징 및 이점은 첨부도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통해 보다 분명해질 것이다.The above and other objects and features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 트랜지스터의 입력단자인 게이트와 액티브 단자인 소스 사이에 가해주는 바이어스의 변화에 따른 누설전류의 변화를 나타낸 특성 곡선이다.1 is a characteristic curve showing a change in leakage current according to a change in bias applied between a gate, an input terminal of a transistor, and a source, an active terminal.
세로축은 로그 스케일로, 가로축의 게이트-소스 전압이 문턱전압보다 작아지면 누설전류의 양이 급격하게 감소하고 있음을 알 수 있다.The vertical axis is a log scale, and it can be seen that the amount of leakage current decreases rapidly when the gate-source voltage of the horizontal axis is smaller than the threshold voltage.
여기서, 문턱전압보다 낮은 레벨에서는 게이트-소스 바이어스와 누설전류와의 사이에는 아래와 같은 관계식이 성립한다.Here, the following relation holds between the gate-source bias and the leakage current at a level lower than the threshold voltage.
Ids= {(U*Cox*W)/L}*(n-1)*Vt2*exp[(Vgs-Vt)/n*Vt]*(1-e-vds/vt)Ids = {(U * Cox * W) / L} * (n-1) * Vt 2 * exp [(Vgs-Vt) / n * Vt] * (1-e -vds / vt )
여기서, U는 전자 또는 홀의 이동도, Cox는 트랜지스터 게이트 절연물의 캐패시턴스, W는 게이트의 폭, L은 채널 길이, Vt는 문턱전압, n은 비례상수이다.Where U is the mobility of electrons or holes, Cox is the capacitance of the transistor gate insulator, W is the width of the gate, L is the channel length, Vt is the threshold voltage, and n is the proportional constant.
즉, 트랜지스터의 게이트 입력인 워드라인에 오프시 보다 낮은 레벨의 바이어스를 인가하면 누설전류가 급격히 감소함을 알 수 있다.That is, it can be seen that the leakage current is drastically reduced when a bias of a lower level is applied to the word line, which is the gate input of the transistor, when the transistor is turned off.
도 2는 워드라인에 오프 웰 바이어스를 공급하기 위한 회로의 기본 구성도를 나타낸 것으로, 백바이어스 전압 드라이버 제어부(100)에서는 워드라인을 켜기 위한 신호와 끄기 위한 신호를 입력받아서 백바이어스 전압 드라이버(200)에 이 입력을 공급해주며, 백바이어스 전압 드라이버(200)에서는 이 입력을 받아서 웰 바이어스 수신부에서 출력된 백바이어스 전압을 워드라인에 공급하게 된다.2 illustrates a basic configuration diagram of a circuit for supplying an off-well bias to a word line. The back bias
도 3a는 워드라인 드라이버와 셀 블록의 일반적인 구조도이다.3A is a general structural diagram of a wordline driver and a cell block.
디램의 경우를 예로 들면, 워드라인을 선택하는 동작은 디코딩된 어드레스를 이용하여 먼저 블록을 선택하고(이 경우, 블록 선택 어드레스는 AD AB), 선택된 블록 내에서는 또 다른 어드레스를 입력받아 하나의 메인 워드라인이 선택된다. 하나의 메인 워드라인은 도 3b에 나타낸 바와 같이 4개의 워드라인을 가지고 있으며 워드라인을 액세스할 때는 다시 어드레스(AD CD)를 입력받아서 하나의 워드라인이 액세스된다. 4개중 하나의 워드라인을 선택하여 선택된 워드라인에 바이어스를 주는 회로를 워드 라인 드라이버라고 한다.For example, in the case of DRAM, the operation of selecting a word line first selects a block by using a decoded address (in this case, the block selection address is AD AB), and receives another address in the selected block. The word line is selected. One main word line has four word lines as shown in FIG. 3B. When the word lines are accessed, one word line is accessed by receiving an address (AD CD) again. A circuit that selects one word line and biases the selected word line is called a word line driver.
도 3b에서 보면, 메인 워드라인이 켜져 있을 때는 워드라인을 강하게 구동하기 위하여 노드 n-boot를 부트스트랩핑시켜서 사용하고 있음을 알 수 있다.In FIG. 3B, when the main word line is turned on, the node n-boot is bootstrapped in order to drive the word line strongly.
메인 워드라인이 꺼지게 되면, 워드라인은 그라운드 레벨로 떨어져서 워드라인에 속해 있는 셀 트랜지스터를 오프시키도록 되어 있다.When the main word line is turned off, the word line is brought to ground level to turn off the cell transistors belonging to the word line.
오프시 워드라인에 백바이어스를 공급하기 위해서 트랜지스터 Q2의 소스단에 그라운드 레벨 대신 웰 바이어스 레벨의 전원을 공급해주고 Q2를 웰 바이어스 레벨에서 주전원전압 레벨까지 스윙시키기 위해서는 입력인 AD CD도 같은 레벨로 스윙해야 한다. 이를 위해 AD CD 신호를 레벨 쉬프(130)를 거쳐서 트랜지스터 Q2의 입력단으로 사용하면 된다.In order to supply back bias to the word line when off, supply a well bias level of power to the source terminal of transistor Q2 instead of the ground level, and swing the input AD CD to the same level to swing Q2 from the well bias level to the mains voltage level. Should be. For this purpose, the AD CD signal may be used as the input terminal of the transistor Q2 via the
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 워드라인 바이어스 회로로, 블록 어드레스와 워드라인 선택 어드레스를 수신하여 서브 워드라인의 턴-온 전압을 공급하는 백바이어스 전압 드라이버 제어부(100)와, 상기 백바이어스 전압 제어부의 출력신호를 수신하여 서브-워드라인에 메인 워드라인 상의 전압 또는 백바이어스 전압을 공급하는 백바이어스 전압 드리어버(200)로 구성된다.4 is a word line bias circuit according to an exemplary embodiment of the present invention, which includes a back bias
상기 백바이어스 전압 드라이버 제어부(100)는 상기 블록 어드레스와 워드라인 선택 어드레스를 수신하여 셀 블록과 메인 워드라인이 모두 선택되었을때 서브-워드라인의 턴-온 전압을 공급하는 웰 바이어스 제어부(110)와, 상기 웰 바이어스 제어부(110)의 출력신호를 수신하여 일정시간 지연시키는 딜레이 블록과, 상기 웰 바이어스 제어부(110)의 출력신호를 수신하여 보다 낮은 전위를 출력하는 레벨 쉬프터(130)로 구성된다.The back bias
상기 웰 바이어스 제어부(110)는 블록 어드레스 신호를 반전시키는 제 1 인버터와, 상기 제 1 인버터 출력신호와 워드라인 선택 어드레스를 수신하는 낸드 게이트와, 상기 낸드 게이트의 출력신호를 수신하는 제 2 인버터와, 상기 제 2 인버터 출력신호와 워드라인 선택 어드레스를 수신하는 익스크루시브 오아(exclusive OR)로 구성된다.The well
상기 레벨 쉬프터(130)는 도 5에 도시되어 있다.The
이는 낮은 전압을 사용하는 회로로 높은 전압의 경로를 연결시키기 위해 사용된다. 즉, 로우 레벨의 전위를 수신하면 하이 레벨의 전위를 출력하고, 하이 레벨의 전위를 수신하면 로우 레벨의 전위를 출력한다.It is used to connect high voltage paths to circuits using low voltage. That is, when a low level potential is received, a high level potential is output, and when a high level potential is received, a low level potential is output.
상기 백바이어스 전압 드라이버(200)는 상기 딜레이 블록(120)의 출력단에 연결되어 서브-워드라인을 강하게 구동하기 위하여 게이트 단자로 승압전압(고전압)이 인가되는 제 1 엔모스형 트랜지스터와, 상기 제 1 엔모스형 트랜지스터의 출력신호를 수신하여 서브-워드라인을 메인 워드라인 상의 고전위로 드라이브 하기 위한 서브-워드라인 풀업 드라이버(210)와, 상기 레벨 쉬프터(130)의 출력신호를 수신하여 서브-워드라인을 웰 바이어스로 드라이브 하기 위한 서브-워드라인 풀다운 드라이버(220)로 구성된다.The back
첫째, 블록 어드레스 및 워드라인 선택 어드레스가 하이이면, 익스크루시브 오아 출력단에는 하이가 출력된다.First, if the block address and word line selection address are high, high is output to the exclusive or output terminal.
따라서 서브-워드라인 풀업 드라이버(210)가 턴-온되어 메인 워드라인 상의 고전위가 서브-워드라인으로 전달된다.Accordingly, the sub-wordline pull-
한편, 서브-워드라인 풀다운 드라이버(220) 입력단자에는 레벨 쉬프터(130)에 의해 반전된 로우 신호가 인가되어 턴-오프된다.Meanwhile, the low signal inverted by the
여기서, 딜레이 블록은 상기 서브-워드라인 풀업 드라이버(210)와 서버-워드라인 풀다운 드라이버가 동시에 턴-온되어 커런트 패스가 형성되는 것을 방지하는 역할을 한다.Here, the delay block serves to prevent the current path from being formed by turning on the sub-wordline pull-up
둘째, 블록 어드레스 및 워드라인 선택 어드레스가 모두 로우인 경우, 블록 어드레스가 하이이고, 워드라인 선택 어드레스가 로우인 경우, 블록 어드레스가 로우이고 워드라인 선택 어드레스가 하이인 경우에는, 익스크루시브 오아 출력단에는 항상 로우 신호가 출력되어 서브-워드라인 풀업 드라이버(210)는 턴-오프, 서브-워드라인 풀다운 드라이버(220)는 턴-온되어 서브-워드라인 상에는 웰 바이어스 전압이 인가된다.Second, when both the block address and the word line selection address are low, when the block address is high and when the word line selection address is low, when the block address is low and the word line selection address is high, the exclusive or output stage A low signal is always output to the sub-wordline pull-up
따라서, 오프시 워드라인에 보다 낮은 레벨의 전압을 공급함으로써 문턱전압 이하에서 트랜지스터를 통해 흐르는 누설전류를 감소시킬 수가 있다.Therefore, by supplying a lower level voltage to the word line when off, the leakage current flowing through the transistor below the threshold voltage can be reduced.
이상의 본 발명을 반도체 메모리 소자의 워드라인 바이어스에 적용하게 되면 오프시 워드라인 바이어스 레벨을 낮춤에 따라 소형화 및 고집적화되고 있는 메모리 소자에서 문제가 되고 있는 누설전류를 감소시킬 수 있으며 전력 소모의 절감과 신뢰성 있는 동작으로 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Application of the present invention to the word line bias of the semiconductor memory device can reduce the leakage current, which is a problem in the memory device, which is miniaturized and compacted by lowering the word line bias level during off, reducing power consumption and reliability. There is an effect that can improve the yield by the present operation.
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