JPS638524A - 差圧発信器 - Google Patents
差圧発信器Info
- Publication number
- JPS638524A JPS638524A JP61153076A JP15307686A JPS638524A JP S638524 A JPS638524 A JP S638524A JP 61153076 A JP61153076 A JP 61153076A JP 15307686 A JP15307686 A JP 15307686A JP S638524 A JPS638524 A JP S638524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensor
- differential pressure
- housing
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L15/00—Devices or apparatus for measuring two or more fluid pressure values simultaneously
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/02—Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプロセス変量である２点間の圧力差を測定する
と同時に高圧側または低圧側の静圧を測定し得るように
した差圧発信器に関する。
と同時に高圧側または低圧側の静圧を測定し得るように
した差圧発信器に関する。
例えば管内流体の流量を測定しようとする場合。
管内にオリフィス板を設けて流体抵抗とし、その上流側
と下流側との圧力差を所定の演算式に基づき流量を算出
測定することが行なわれている。この種の差圧測定に用
いられる差圧発信器は、一般に高圧側と低圧側のバリア
ダイヤフラムに各測定圧力を与え、その時の圧力差によ
る内封液の移動を封入回路を仕切って設けた圧力センサ
の歪により電気的出力として取り出すように構成されて
いる。また、この種の差圧発信器は高静圧（例プラント
反応圧、ボイラ内部圧、給水圧の高い場合等）下で小さ
な差圧を測定することが要求される。しかし、差圧測定
用圧力センサは一般に静圧による影＃を受けるため、高
静圧下で精度の高い差圧測定をすることができず、その
ため高静圧下で使用する差圧発信器に静圧測定用圧力セ
ンサを組込み静圧変動時の零点変化を補償するようにし
たもの。
と下流側との圧力差を所定の演算式に基づき流量を算出
測定することが行なわれている。この種の差圧測定に用
いられる差圧発信器は、一般に高圧側と低圧側のバリア
ダイヤフラムに各測定圧力を与え、その時の圧力差によ
る内封液の移動を封入回路を仕切って設けた圧力センサ
の歪により電気的出力として取り出すように構成されて
いる。また、この種の差圧発信器は高静圧（例プラント
反応圧、ボイラ内部圧、給水圧の高い場合等）下で小さ
な差圧を測定することが要求される。しかし、差圧測定
用圧力センサは一般に静圧による影＃を受けるため、高
静圧下で精度の高い差圧測定をすることができず、その
ため高静圧下で使用する差圧発信器に静圧測定用圧力セ
ンサを組込み静圧変動時の零点変化を補償するようにし
たもの。
例えば特開昭５４−６７４８０号公報による「差圧検出
装置」が知られている。
装置」が知られている。
これは第４図に示すようにブリッジ回路ｌおよび演算増
幅器２め入力制御用として静圧測定用の。
幅器２め入力制御用として静圧測定用の。
感圧素子（センサ）３０２つの歪抵抗素子３＆。
３ｂを夫々接続し、その一方の抵抗素子３＆が静圧変動
時の零点変化を補償すべく、その静圧変動による抵抗値
変化を定め、他方の抵抗素子３ｂが静圧変動時のスパン
変化を補償すべくその静圧変動による抵抗値変化を定め
、前記演算増幅器２の入力を制御するようにし九もので
、これＫよシ差圧を高精度に測定し得る。なお、図中Ａ
、Ｂは差圧出力端、４は差圧検出用の感圧素子（センサ
）、４ａ、４ｂはその歪抵抗素子、５は固定抵抗、６は
１１１１７は固定抵抗、８は電圧・電流変換回路である
。
時の零点変化を補償すべく、その静圧変動による抵抗値
変化を定め、他方の抵抗素子３ｂが静圧変動時のスパン
変化を補償すべくその静圧変動による抵抗値変化を定め
、前記演算増幅器２の入力を制御するようにし九もので
、これＫよシ差圧を高精度に測定し得る。なお、図中Ａ
、Ｂは差圧出力端、４は差圧検出用の感圧素子（センサ
）、４ａ、４ｂはその歪抵抗素子、５は固定抵抗、６は
１１１１７は固定抵抗、８は電圧・電流変換回路である
。
しかしながら、静圧測定用圧力センサを搭載した従来の
差圧発信器は上記差圧検出装置（特開昭５４−６７４８
０号公報）はもとよりそのいずれもバリアダイヤフラム
を備えたボディ本体内に差圧測定用の圧力センサと静圧
測定用の圧力センサを組込んでいるため、ボディ本体の
構造が複雑化し。
差圧発信器は上記差圧検出装置（特開昭５４−６７４８
０号公報）はもとよりそのいずれもバリアダイヤフラム
を備えたボディ本体内に差圧測定用の圧力センサと静圧
測定用の圧力センサを組込んでいるため、ボディ本体の
構造が複雑化し。
その加工製作お上び組立作業が面倒で、コストアップの
大きな原因となり、しかも静圧測定用圧力センサを使用
するものと使用しないものとでは自ずと構造も異なるた
め、ボディ本体自体を２１類製作する必要があり、その
ため機種が増え１部品管理が面倒である。また、いずれ
か一方のセンサが不良になっても、ボディ本体全体を取
替える必要があり、不軽済であるなど多くの問題があっ
た。
大きな原因となり、しかも静圧測定用圧力センサを使用
するものと使用しないものとでは自ずと構造も異なるた
め、ボディ本体自体を２１類製作する必要があり、その
ため機種が増え１部品管理が面倒である。また、いずれ
か一方のセンサが不良になっても、ボディ本体全体を取
替える必要があり、不軽済であるなど多くの問題があっ
た。
本発明に係る差圧発信器は上述したような問題点を一挙
に解決すべくなされたもので、差圧測定用圧力センサと
静圧測定用圧力センサとを内蔵するセンサ用ハウジング
を、内封液を封止してなるボディ本体とは別個に製作し
、このハウジング全前記ボディ本体のハウジング取付部
に接合固定するようにしたものである。
に解決すべくなされたもので、差圧測定用圧力センサと
静圧測定用圧力センサとを内蔵するセンサ用ハウジング
を、内封液を封止してなるボディ本体とは別個に製作し
、このハウジング全前記ボディ本体のハウジング取付部
に接合固定するようにしたものである。
本発明においてはボディ本体内には圧力センサを組込む
必要がないので、ボディ本体の構造が簡素化し製作が簡
単かつ容易で、差圧測定にのみ使用される発信器のボデ
ィ本体としても共通に使用することができ、ボディ本体
の機ａｔｔ減少させ得る。
必要がないので、ボディ本体の構造が簡素化し製作が簡
単かつ容易で、差圧測定にのみ使用される発信器のボデ
ィ本体としても共通に使用することができ、ボディ本体
の機ａｔｔ減少させ得る。
以下１本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係る差圧発信器の一実施例を示す縦断
面図である。同図において、全体を符号２０で示す差圧
発信器は、２つのプレー） ２１＆ 。
面図である。同図において、全体を符号２０で示す差圧
発信器は、２つのプレー） ２１＆ 。
２１ｂを一体的に結合して形成された円盤状のボディ本
体２１と、このボディ本体２１の上面、すなわちハウジ
ング取付部２２に溶接等によって接合固定されることに
より発信器２０のネック部を構成するセンサ用ハウジン
グ２３とで構成されている。
体２１と、このボディ本体２１の上面、すなわちハウジ
ング取付部２２に溶接等によって接合固定されることに
より発信器２０のネック部を構成するセンサ用ハウジン
グ２３とで構成されている。
前記ボディ本体２１はステンレス鋼等によって製作され
、その両側面、すなわち受圧側面２４ａ。
、その両側面、すなわち受圧側面２４ａ。
２４ｂにはそれぞれ波形円板状に形成された高圧側のバ
リアダイヤフラム２５と、低圧側のノくリアダイヤフラ
ム２６がその周縁部を固定されて配設されている。また
前記各受圧側面２４ｍ 、 ２４ｂは前記バリアダイヤ
フラム２５，２６とそれぞれ同形の波形に形成され、か
つ該ダイヤフラム２５，２６とで裏側室２７．２８をそ
れぞれ形成している。
リアダイヤフラム２５と、低圧側のノくリアダイヤフラ
ム２６がその周縁部を固定されて配設されている。また
前記各受圧側面２４ｍ 、 ２４ｂは前記バリアダイヤ
フラム２５，２６とそれぞれ同形の波形に形成され、か
つ該ダイヤフラム２５，２６とで裏側室２７．２８をそ
れぞれ形成している。
そして、各バリアダイヤフラム２５．２６の外側面には
、オリフィス上流側の高圧Ｐｍと、オリフィス下流側の
低圧ＰＬがそれぞれ印加されている。
、オリフィス上流側の高圧Ｐｍと、オリフィス下流側の
低圧ＰＬがそれぞれ印加されている。
前記ボディ本体２１の内部中央にはボディ内室２９が形
成されており、このボディ内室２９はセンターダイヤフ
ラム３０によって左右２つの室２９ａ 、 ２９ｂに仕
切られ、その一方の室２９ｍが高圧側の裏側室２７に連
通路３１を介して連通され。
成されており、このボディ内室２９はセンターダイヤフ
ラム３０によって左右２つの室２９ａ 、 ２９ｂに仕
切られ、その一方の室２９ｍが高圧側の裏側室２７に連
通路３１を介して連通され。
他方の室２９ｂが低圧側の裏側室２８に連通路３３を介
して連通されている。また前記ボディ本体２１の内部上
方には、一端が前記各室２９＆ 、 ２９ｂに連通し、
他端が前記ノ１ウジング取付部２２に開口する一対の封
入回路３２．３４が形成され、さらに内部下方には一対
の液封孔３５ａ 、 ３５ｂが形成されており、これら
の孔３５ａ 、 ３５ｂよりシリコンオイル等の非圧縮
性内封液３６ （３６ａ 、 ３６ｂ ）が前記裏側室
２７，２８．ボディ内室２９．連通路３１゜３３および
封入回路３２．３４にそれぞれ封入されている。なお、
各液封孔３ｓａ 、 ３５ｂは内封液３６の封入後ボー
ル３７および止めねじ３８によってそれぞれ封止されて
いる。また、３９は絞りである。
して連通されている。また前記ボディ本体２１の内部上
方には、一端が前記各室２９＆ 、 ２９ｂに連通し、
他端が前記ノ１ウジング取付部２２に開口する一対の封
入回路３２．３４が形成され、さらに内部下方には一対
の液封孔３５ａ 、 ３５ｂが形成されており、これら
の孔３５ａ 、 ３５ｂよりシリコンオイル等の非圧縮
性内封液３６ （３６ａ 、 ３６ｂ ）が前記裏側室
２７，２８．ボディ内室２９．連通路３１゜３３および
封入回路３２．３４にそれぞれ封入されている。なお、
各液封孔３ｓａ 、 ３５ｂは内封液３６の封入後ボー
ル３７および止めねじ３８によってそれぞれ封止されて
いる。また、３９は絞りである。
前記センサ用ハウジング２３は、ステンレス鋼−等によ
って形成され２つのセンサ収納凹部４２゜４３を有する
外筒４０と、一方のセンサ収納凹部４２に内筒４１を介
して収納された差圧測定用の圧力センサ４４と、他方の
センサ収納凹部４３に収納された静圧測定用の圧力セン
サ４５とで構成されている。前記外筒４０はその下面で
前記センサ収納凹部４２の下面開口部が前記ボディ本体
２１のハウジング取付部２２に対応するように該ボディ
本体２１に接合固定されている。また、前記内筒４１も
その下端が前記ハウジング取付部２２に接合固定され、
前記センサ収納凹部４２の内壁とで前記低圧側封入回路
３４に連通する隙間通路４６を形成している。一方、前
記内筒４１の内部は前記高圧側封入回路３２に連通され
ている。前記差圧測定用圧力センサ４４は、シリコンペ
ース４８と、カップ状に形成されて底面が半導体ダイヤ
フラム４９を構成し前記シリコンペース４８の下面に固
定されたシリコンウェハ５０と、前記半導体ダイヤフラ
ム４９の起歪部に拡散法などによって設けられブリッジ
結線されたストレンゲージ（第４図の歪抵抗素子４ａ
、 ４ｂに相当）等からなる従来周知のもので、前記半
導体ダイヤフラム４９の表面側に前記裏側室２７．室２
９＆および高圧側封入回路３２内の内封液３６．を介し
て高圧Ｐｇが与えられ、内面に前記裏側室２８．室２９
ｂ、低圧側封入回路３４．隙間通路４６および圧力セン
サ４４の保護体５３内に設けられた通路５４内の内封液
３６ｂを介して低圧Ｐ、、が与えられている。前記保護
体５３は前記内筒４１内に挿入され、その上部が前記外
筒４０および内筒４１に溶接固定されている。
って形成され２つのセンサ収納凹部４２゜４３を有する
外筒４０と、一方のセンサ収納凹部４２に内筒４１を介
して収納された差圧測定用の圧力センサ４４と、他方の
センサ収納凹部４３に収納された静圧測定用の圧力セン
サ４５とで構成されている。前記外筒４０はその下面で
前記センサ収納凹部４２の下面開口部が前記ボディ本体
２１のハウジング取付部２２に対応するように該ボディ
本体２１に接合固定されている。また、前記内筒４１も
その下端が前記ハウジング取付部２２に接合固定され、
前記センサ収納凹部４２の内壁とで前記低圧側封入回路
３４に連通する隙間通路４６を形成している。一方、前
記内筒４１の内部は前記高圧側封入回路３２に連通され
ている。前記差圧測定用圧力センサ４４は、シリコンペ
ース４８と、カップ状に形成されて底面が半導体ダイヤ
フラム４９を構成し前記シリコンペース４８の下面に固
定されたシリコンウェハ５０と、前記半導体ダイヤフラ
ム４９の起歪部に拡散法などによって設けられブリッジ
結線されたストレンゲージ（第４図の歪抵抗素子４ａ
、 ４ｂに相当）等からなる従来周知のもので、前記半
導体ダイヤフラム４９の表面側に前記裏側室２７．室２
９＆および高圧側封入回路３２内の内封液３６．を介し
て高圧Ｐｇが与えられ、内面に前記裏側室２８．室２９
ｂ、低圧側封入回路３４．隙間通路４６および圧力セン
サ４４の保護体５３内に設けられた通路５４内の内封液
３６ｂを介して低圧Ｐ、、が与えられている。前記保護
体５３は前記内筒４１内に挿入され、その上部が前記外
筒４０および内筒４１に溶接固定されている。
前記静圧測定用センサ４５は前記差圧測定用センサ４４
と同様に裏作されるもので、保護体５６の内部に収納さ
れたシリコンペース５７と、底面が半導体ダイヤフラム
６８を構成するカップ状のシリコンウェハ５９と、前記
半導体ダイヤフラム５８の起歪部に拡散法などによって
設けられたストレンゲージ（第４図の歪抵抗素子３ａ、
３ｂに相当）等で構成され、前記半導体ダイヤプラム５
８の表面に前記低圧ＰＬが低圧側の内封液３６ｂを介し
て与えられている。このため、前記センサ収納凹部４３
と前記隙間通路４６とは連通路６０によって互いに連通
されている。一方、前記半導体ダイヤフラム５８の内面
には前記外誼４０および保護体５６に設けた連通路６１
を介して大気圧Ｐ。
と同様に裏作されるもので、保護体５６の内部に収納さ
れたシリコンペース５７と、底面が半導体ダイヤフラム
６８を構成するカップ状のシリコンウェハ５９と、前記
半導体ダイヤフラム５８の起歪部に拡散法などによって
設けられたストレンゲージ（第４図の歪抵抗素子３ａ、
３ｂに相当）等で構成され、前記半導体ダイヤプラム５
８の表面に前記低圧ＰＬが低圧側の内封液３６ｂを介し
て与えられている。このため、前記センサ収納凹部４３
と前記隙間通路４６とは連通路６０によって互いに連通
されている。一方、前記半導体ダイヤフラム５８の内面
には前記外誼４０および保護体５６に設けた連通路６１
を介して大気圧Ｐ。
が基準圧として加えられている。
なお、差圧測定用圧力センサ４４と静圧測定用圧力セン
サ４５は第３図に示した従来の電気回路と同様に構成さ
れている。
サ４５は第３図に示した従来の電気回路と同様に構成さ
れている。
以上のような構成からなる差圧発信器２０において、バ
リアダイヤフラム２５，２６に高圧Ｐ。
リアダイヤフラム２５，２６に高圧Ｐ。
と低圧Ｐ＋、をそれぞれ印加すると、この時の差圧（Ｐ
Ｍ−Ｐ、、）が差圧測定用圧力センサ４４の半導体ダイ
ヤフラム４９に加えられるため、該ダイヤフラム４９は
その差圧に応じて変形し、その変形量が電気信号として
取り出されることで前記圧力センサ４４による差圧測定
が行なわれる。また、静圧測定用圧力センサ４５はその
半導体ダイヤフラム５８に低圧ＰＬと大気圧Ｐ０とが与
えられることにより、この時の静圧を測定し、静圧７Ｘ
動による零点変化を補償すると同時にこの静圧測定値に
基づいて前記差圧を補正し正確な差圧を算出する。そし
て、この正確な差圧は増幅器で増幅された後、計器に記
録表示されたり遠隔発信され、正確な流速等の計測、パ
ルプ制御等に供される。
Ｍ−Ｐ、、）が差圧測定用圧力センサ４４の半導体ダイ
ヤフラム４９に加えられるため、該ダイヤフラム４９は
その差圧に応じて変形し、その変形量が電気信号として
取り出されることで前記圧力センサ４４による差圧測定
が行なわれる。また、静圧測定用圧力センサ４５はその
半導体ダイヤフラム５８に低圧ＰＬと大気圧Ｐ０とが与
えられることにより、この時の静圧を測定し、静圧７Ｘ
動による零点変化を補償すると同時にこの静圧測定値に
基づいて前記差圧を補正し正確な差圧を算出する。そし
て、この正確な差圧は増幅器で増幅された後、計器に記
録表示されたり遠隔発信され、正確な流速等の計測、パ
ルプ制御等に供される。
かくしてこのような構成からなる差圧発信器２０によれ
ばボディ本体２１とは別個独立にセンサ用ハウジング２
３を設け、この中に差圧測定用圧力センサ４４と静圧測
定用圧力センサ４５を配設しているので、ボディ本体２
１自体の内部構造が著しく簡素化され、その製造および
組立作業が簡単かつ容易で、安価に製作し得る。また、
静圧補償を行なわないものについては、前記両圧力セン
サ４４．４５を内蔵した前記センサ用ハウジング２３の
代りに、第２図に示すように差圧測定用圧力センサのみ
を内蔵したセンサ用ハウジング７０をボディ本体２１に
取付ければよく、シたがってボディ本体２１を静圧補償
を行なうものと行なわないものとに共通に使用でき、ボ
ディ本体２１０機種削減、生産の効率向上２部品管理の
簡素化等を達成し得る。
ばボディ本体２１とは別個独立にセンサ用ハウジング２
３を設け、この中に差圧測定用圧力センサ４４と静圧測
定用圧力センサ４５を配設しているので、ボディ本体２
１自体の内部構造が著しく簡素化され、その製造および
組立作業が簡単かつ容易で、安価に製作し得る。また、
静圧補償を行なわないものについては、前記両圧力セン
サ４４．４５を内蔵した前記センサ用ハウジング２３の
代りに、第２図に示すように差圧測定用圧力センサのみ
を内蔵したセンサ用ハウジング７０をボディ本体２１に
取付ければよく、シたがってボディ本体２１を静圧補償
を行なうものと行なわないものとに共通に使用でき、ボ
ディ本体２１０機種削減、生産の効率向上２部品管理の
簡素化等を達成し得る。
さらに、圧力センサ４４または４５が不良になった場合
は、センサ用ハウジング２３（または７０）を交換する
だけでよく、ボディ本体２１自体は交換する必要がなく
経済的である。
は、センサ用ハウジング２３（または７０）を交換する
だけでよく、ボディ本体２１自体は交換する必要がなく
経済的である。
第３図はセンサ用ハウジング２３の他の実施例を示す断
面図である。ハウジング２３は外筒４０と内筒４＋ｔ−
備え、内筒４１の内周面開口端部に −めねじ７１が形
成されている。差圧測定用圧力センサ４４の保護体５３
下端部が筒状に形成され。
面図である。ハウジング２３は外筒４０と内筒４＋ｔ−
備え、内筒４１の内周面開口端部に −めねじ７１が形
成されている。差圧測定用圧力センサ４４の保護体５３
下端部が筒状に形成され。
その内部中央に筒状の支持体７２の上端が接合され、こ
の支持体７２の内孔７３と通路５４とが連通し、また支
持体７２の下端開口部には半導体ダイヤフラム４９が取
付けられ前記内孔７３を塞いでいる。保護体５３はその
上端部外周面に前記内筒４１のめねじ７１に螺合するお
ねじ７５が形成され、前記外筒４０および内筒４１に溶
接されている。なおり１〜Ｄ４は溶接部を示す。また、
静圧測定用圧力センサについては第１図実施例と全く同
様であるためその図示を省略する。
の支持体７２の内孔７３と通路５４とが連通し、また支
持体７２の下端開口部には半導体ダイヤフラム４９が取
付けられ前記内孔７３を塞いでいる。保護体５３はその
上端部外周面に前記内筒４１のめねじ７１に螺合するお
ねじ７５が形成され、前記外筒４０および内筒４１に溶
接されている。なおり１〜Ｄ４は溶接部を示す。また、
静圧測定用圧力センサについては第１図実施例と全く同
様であるためその図示を省略する。
差圧測定用圧力センサ４４の取付けに際しては。
先ず内筒４１をボディ本体２１のハウジング取付部２２
に溶接（Ｄ４ ）固定し、次いで保握体５３を前記内筒
４１に螺入して溶接（Ｄ＋）Ｌ内筒４１を密閉した後外
筒４０ｔ−内筒４１の外周に遊嵌して前記ハウジング取
付部２２に溶接（Ｄ３）Ｌ、さらに外筒４０の上面側開
口部を前記保護体５３に溶接（Ｄ２）すればよい。この
ような構成からなるセンサ用ハウジング２３によればあ
らかじめ内筒４１をボディ本体２１に溶接固定し、しか
る後内筒４１内に圧力センサ４４を組込むことができる
ので、該センサ４４が内筒４１をボディ本体２１に溶接
固定する際の熱による影響を受けることがなく、また半
導体ダイヤフラム４゛９は溶接部Ｄ １ ＋Ｄ２から遠
く離れているため、これら溶接部の溶接時における熱を
受けることも少なく、有利である。また、このようなハ
ウジング構造は第２図に示したセンサ用ハウジング７０
にもそのまま実施し得ることは勿論である。
４なお、上記実施例はセンターダイヤフ
ラム３０を内蔵したボディ本体２１について説明したが
。
に溶接（Ｄ４ ）固定し、次いで保握体５３を前記内筒
４１に螺入して溶接（Ｄ＋）Ｌ内筒４１を密閉した後外
筒４０ｔ−内筒４１の外周に遊嵌して前記ハウジング取
付部２２に溶接（Ｄ３）Ｌ、さらに外筒４０の上面側開
口部を前記保護体５３に溶接（Ｄ２）すればよい。この
ような構成からなるセンサ用ハウジング２３によればあ
らかじめ内筒４１をボディ本体２１に溶接固定し、しか
る後内筒４１内に圧力センサ４４を組込むことができる
ので、該センサ４４が内筒４１をボディ本体２１に溶接
固定する際の熱による影響を受けることがなく、また半
導体ダイヤフラム４゛９は溶接部Ｄ １ ＋Ｄ２から遠
く離れているため、これら溶接部の溶接時における熱を
受けることも少なく、有利である。また、このようなハ
ウジング構造は第２図に示したセンサ用ハウジング７０
にもそのまま実施し得ることは勿論である。
４なお、上記実施例はセンターダイヤフ
ラム３０を内蔵したボディ本体２１について説明したが
。
本発明はこれに何ら特定されるものではなく、センター
ダイヤプラム３０を備えないものであってもよく、また
低圧Ｐ、の代９に高圧Ｐ９を静圧測定用圧力センサ４５
に印加するようにしてもよいことは勿論である。
ダイヤプラム３０を備えないものであってもよく、また
低圧Ｐ、の代９に高圧Ｐ９を静圧測定用圧力センサ４５
に印加するようにしてもよいことは勿論である。
以上説明したように本発明に係る差圧発信器によれば、
ボディ本体内には圧力センサを一切組込んでいないので
、ボディ本体の構造が著しく簡素化され、製造および組
立作業が容易で、コスト低減を可能にし、しかも静圧測
定用とそうでない発信器に対して同一のボディ本体を共
通使用することができ６機種の減少および在庫管理を容
易にする。また、圧力センサが不良になったり破損した
場合でも、センサ用ハウジングを交換するだけで、ボデ
ィ本体は交換する必要がないなど、その効果は大である
。
ボディ本体内には圧力センサを一切組込んでいないので
、ボディ本体の構造が著しく簡素化され、製造および組
立作業が容易で、コスト低減を可能にし、しかも静圧測
定用とそうでない発信器に対して同一のボディ本体を共
通使用することができ６機種の減少および在庫管理を容
易にする。また、圧力センサが不良になったり破損した
場合でも、センサ用ハウジングを交換するだけで、ボデ
ィ本体は交換する必要がないなど、その効果は大である
。
第１図は本発明に係る差圧発信器の一実施例を示す縦断
面図、第２図は静圧測定を行なわない差圧発信器の縦断
面図、第３図はセンサ用ハウジングの他の実施例を示す
要部断面図、第４図は差圧測定用感圧素子と静圧測定用
感圧素子の回路図である。 ２０φ・・・差圧発信器、２１・・・−ボディ本体、２
２・・・・ハウジング取付部、２３・・・・センサ用ハ
ウジング、２５．２６・−・・バリアダイヤフラム、３
０・・・・センターダイヤプラム、３２．３４・・・・
封入回路、 ３６（３６ａ。 ３６ｂ）・・・・内封液、４４・・・・差圧測定用圧力
センサ、４５・・・・静圧測定用圧力仁ンサ。 ７０・・・・センサ用ハウジング。
面図、第２図は静圧測定を行なわない差圧発信器の縦断
面図、第３図はセンサ用ハウジングの他の実施例を示す
要部断面図、第４図は差圧測定用感圧素子と静圧測定用
感圧素子の回路図である。 ２０φ・・・差圧発信器、２１・・・−ボディ本体、２
２・・・・ハウジング取付部、２３・・・・センサ用ハ
ウジング、２５．２６・−・・バリアダイヤフラム、３
０・・・・センターダイヤプラム、３２．３４・・・・
封入回路、 ３６（３６ａ。 ３６ｂ）・・・・内封液、４４・・・・差圧測定用圧力
センサ、４５・・・・静圧測定用圧力仁ンサ。 ７０・・・・センサ用ハウジング。
Claims (1)
- ボディ本体の両側面にそれぞれ配設された一対のバリア
ダイヤフラムに各測定圧力を与え、その差圧による内封
液の移動を封入回路を仕切つて設けた差圧測定用圧力セ
ンサにより電気的な出力として取り出すようにした差圧
発信器において、センサ用ハウジングを前記ボディ本体
とは別個独立に製作し、このハウジング内に前記差圧測
定用圧力センサと、前記一対のバリアダイヤフラムのう
ちいずれか一方に加えられる測定圧力と大気圧等の基準
圧が加えられることにより静圧を測定する静圧測定用圧
力センサとを配設し、かつ該ハウジングを前記ボディ本
体のハウジング取付部に接合固定するようにしたことを
特徴とする差圧発信器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153076A JPS638524A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 差圧発信器 |
| US07/068,541 US4841776A (en) | 1986-06-30 | 1987-06-29 | Differential pressure transmitter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153076A JPS638524A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 差圧発信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638524A true JPS638524A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15554450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61153076A Pending JPS638524A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 差圧発信器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4841776A (ja) |
| JP (1) | JPS638524A (ja) |
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- 1986-06-30 JP JP61153076A patent/JPS638524A/ja active Pending
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1987
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