JPS6377655A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS6377655A JPS6377655A JP61224279A JP22427986A JPS6377655A JP S6377655 A JPS6377655 A JP S6377655A JP 61224279 A JP61224279 A JP 61224279A JP 22427986 A JP22427986 A JP 22427986A JP S6377655 A JPS6377655 A JP S6377655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- bodies
- pressure
- polished
- drive shaft
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
磨装置に関するものである。
従来の自動研磨装置では、複雑なうねりなどの形状を有
する表面を研磨する場合、研１声部を研磨表面に沿わせ
て移動させるために、あらかじめ表面形状を制御装置に
覚えこませておく必要があった。
する表面を研磨する場合、研１声部を研磨表面に沿わせ
て移動させるために、あらかじめ表面形状を制御装置に
覚えこませておく必要があった。
本発明の目的は、従来のような表面形状を一度覚えこま
せる手間を省き、精密な研磨面と簡単な動作で得ること
ができる研磨装置を提供することにある。
せる手間を省き、精密な研磨面と簡単な動作で得ること
ができる研磨装置を提供することにある。
本発明によ牡ば、物体の表面を研磨する複数個ノ研磨体
（６）’ｅ、そｎぞｎ９弾性材（７） ’！ｉｌ−介し
て、駆動軸（２）に取り付け、該弾性材のそれぞれに、
そのたわみを検出するセンサ（８）を取り付け、各弾性
材のたわみ状態を変化させることができる機構体（１０
及び１１）を、前記弾性材毎に設け、各研磨体が前記物
体に接触して研ｌ５シている時間内の前記センサの出力
を受け。
（６）’ｅ、そｎぞｎ９弾性材（７） ’！ｉｌ−介し
て、駆動軸（２）に取り付け、該弾性材のそれぞれに、
そのたわみを検出するセンサ（８）を取り付け、各弾性
材のたわみ状態を変化させることができる機構体（１０
及び１１）を、前記弾性材毎に設け、各研磨体が前記物
体に接触して研ｌ５シている時間内の前記センサの出力
を受け。
各研磨体の各研１ｇ面の圧力が所定値に保たれるように
、前記機構体？制御する制御装置（４）を有すること全
特徴とする研磨装置が得らする。
、前記機構体？制御する制御装置（４）を有すること全
特徴とする研磨装置が得らする。
即ち２本発明は、研磨体の研磨面圧力を個別に検知する
ために９弾性材７のそ扛ぞｎにセンサを設け、こｎらセ
ンサ出力を受けた制御装置によって制御さ扛る機構体が
弾性材を個別に操作して各研磨体の各研磨面圧力を所定
値に保つことを特徴とする。
ために９弾性材７のそ扛ぞｎにセンサを設け、こｎらセ
ンサ出力を受けた制御装置によって制御さ扛る機構体が
弾性材を個別に操作して各研磨体の各研磨面圧力を所定
値に保つことを特徴とする。
以下１本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第６図は本発明の一実施例による研磨装置を示す図であ
る。第６図は本研磨装置でボンベ状の被研磨物５の内面
を研磨する例で、１は第１図及び第２図を用いて後述す
る研磨部であり。
る。第６図は本研磨装置でボンベ状の被研磨物５の内面
を研磨する例で、１は第１図及び第２図を用いて後述す
る研磨部であり。
研磨部１は、制御装置４によって制御さ【る駆動装置乙
の駆動軸２によって、支持、駆動さｎる。研磨部１は回
転連動と軸方向の直線運動を行い得る。又、駆動装置５
部も上下方向に移動できるようにすることによって、研
磨部内の機構体だけでは対処できないような大きな形状
変化にも追従できる。
の駆動軸２によって、支持、駆動さｎる。研磨部１は回
転連動と軸方向の直線運動を行い得る。又、駆動装置５
部も上下方向に移動できるようにすることによって、研
磨部内の機構体だけでは対処できないような大きな形状
変化にも追従できる。
研磨部１の詳細？第１図及び第２図に示す。
第１図及び第２図を参照して、６が研磨体であり、固定
砥粒による研磨の場合は砥石に相当し。
砥粒による研磨の場合は砥石に相当し。
ラッピングのような遊離砥粒による研磨の場合はラップ
等に相当する。７が研磨体６を支持しているパ羊定数の
大きいバネ材（即ち２弾性材）であシ、このバネ材７に
貼ったストレーンゲージ８（こ扛が、各弾性体７のたわ
みを検出するセンサに相当する）によって間接的に各研
磨体６の研磨面圧力を検出し、制御装置４へ出力する。
等に相当する。７が研磨体６を支持しているパ羊定数の
大きいバネ材（即ち２弾性材）であシ、このバネ材７に
貼ったストレーンゲージ８（こ扛が、各弾性体７のたわ
みを検出するセンサに相当する）によって間接的に各研
磨体６の研磨面圧力を検出し、制御装置４へ出力する。
研磨体６は断続的に研磨を行うため、その研磨面圧力も
変動するので、軸２の回転角を常に読みとりながら、そ
れぞｎの研磨体６が実際に研磨している回転角の時のみ
検出するようにする。９は、断続研磨によってバネ材が
振動を起すのを防ぐためのダンパーである。第６図のよ
うに被研磨物５の内面がうねっていると１例えば第６図
のＡからＢへ研磨部１が移動すると研磨面圧力が下り、
バネ材７に貼ったストレーンゲージ８が変形する。この
変形をブリッジ回路を組んで電圧の変化に変換して、制
御装置４は、該変換された電圧源の所定値からの差を算
出し、アクチュエーター１０へ駆動命令を出し。
変動するので、軸２の回転角を常に読みとりながら、そ
れぞｎの研磨体６が実際に研磨している回転角の時のみ
検出するようにする。９は、断続研磨によってバネ材が
振動を起すのを防ぐためのダンパーである。第６図のよ
うに被研磨物５の内面がうねっていると１例えば第６図
のＡからＢへ研磨部１が移動すると研磨面圧力が下り、
バネ材７に貼ったストレーンゲージ８が変形する。この
変形をブリッジ回路を組んで電圧の変化に変換して、制
御装置４は、該変換された電圧源の所定値からの差を算
出し、アクチュエーター１０へ駆動命令を出し。
台形カム１１をバネ材７の下へ押し込ませて。
研磨面圧力を所定値に保つ。各研磨体はそｎぞれ独立に
検出・駆動さｎるので、初めに研磨体をドレッシングし
て一様な形状にしても不等摩耗を起こすような場合でも
安全である。
検出・駆動さｎるので、初めに研磨体をドレッシングし
て一様な形状にしても不等摩耗を起こすような場合でも
安全である。
以上述べたように５本発明によれば、各研磨体の研磨面
の圧力を所定値に保ちながら研磨できるような機構を持
つ研磨装置によって測定の困雌な複雑な形状を持つ表面
でも簡単に均一な研磨面が得られる。円筒等の内面を研
磨する場合、研磨部の回転軸を被研磨物の中心からオフ
セットして、被研磨物をゆっくりと回転させれば、断面
形状が円でなく、場所によってＲが違っているような形
でも簡単に研磨できる。
の圧力を所定値に保ちながら研磨できるような機構を持
つ研磨装置によって測定の困雌な複雑な形状を持つ表面
でも簡単に均一な研磨面が得られる。円筒等の内面を研
磨する場合、研磨部の回転軸を被研磨物の中心からオフ
セットして、被研磨物をゆっくりと回転させれば、断面
形状が円でなく、場所によってＲが違っているような形
でも簡単に研磨できる。
第１図及び第２図は、そｎぞｎ１本発明の一用例分示し
た図である。 １：研磨部、２：軸、６：駆動装置、４：制御装置、５
：被研磨物、６：研磨体、７：バ不材、８ニストレーン
ゲージ、９：ダンパー。 １０ニアクチユニーター、１１：台形カム。
た図である。 １：研磨部、２：軸、６：駆動装置、４：制御装置、５
：被研磨物、６：研磨体、７：バ不材、８ニストレーン
ゲージ、９：ダンパー。 １０ニアクチユニーター、１１：台形カム。
Claims (1)
- １、物体の表面を研磨する複数個の研磨体を、それぞれ
、弾性材を介して、駆動軸に取り付け、該弾性材のそれ
ぞれに、そのたわみを検出するセンサを取り付け、各弾
性材のたわみ状態を変化させることができる機構体を、
前記弾性材毎に設け、各研磨体が前記物体に接触して研
磨している時間内の前記センサの出力を受け、各研磨体
の各研磨面の圧力が所定値に保たれるように、前記機構
体を制御する制御装置を有することを特徴とする研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224279A JPS6377655A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224279A JPS6377655A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6377655A true JPS6377655A (ja) | 1988-04-07 |
| JPH0440153B2 JPH0440153B2 (ja) | 1992-07-01 |
Family
ID=16811281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61224279A Granted JPS6377655A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6377655A (ja) |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP61224279A patent/JPS6377655A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440153B2 (ja) | 1992-07-01 |
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