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JPS6020345B2 - 粒界絶縁型半導体磁器組成物 - Google Patents

粒界絶縁型半導体磁器組成物

Info

Publication number
JPS6020345B2
JPS6020345B2 JP53085432A JP8543278A JPS6020345B2 JP S6020345 B2 JPS6020345 B2 JP S6020345B2 JP 53085432 A JP53085432 A JP 53085432A JP 8543278 A JP8543278 A JP 8543278A JP S6020345 B2 JPS6020345 B2 JP S6020345B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxide
semiconductor ceramic
grain boundary
weight
dielectric constant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP53085432A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5515917A (en
Inventor
治文 万代
国太郎 西村
芳明 河野
正仁 徳松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP53085432A priority Critical patent/JPS6020345B2/ja
Publication of JPS5515917A publication Critical patent/JPS5515917A/ja
Publication of JPS6020345B2 publication Critical patent/JPS6020345B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はチタン酸ストロンチウムを主体とする半導体
磁器の結晶粒界に絶縁層が形成されている粒界絶縁型半
導体磁器組成物に関するものである。
結晶粒界に絶縁層を形成した半導体磁器の両面に電極を
形成することにより、誘電率の大きな粒界絶縁型半導体
磁器コンデンサが得られることは知られており、このコ
ンデンサ用材料として最近チタン酸ストロンチウムを主
体としたものが開発されている。
従来、チタン酸ストロンチウムを主体としたこの種のコ
ンデンサは高談電率で、誘電体損失も小さいという特徴
を有しているが、耐電圧が低かった。
また温度変化に対する見鞠誘電率の変化も小ごくなった
とはいえ、まだ実用上十分なものではなかつた。一方、
チタン酸ストロンチウムにチタン酸カルシウムを固溶さ
せた(Sr,Ca)Ti03系半導体磁器よりなるもの
があり、誘電率の温度特性を改良している。
しかし、半導体磁器中にBi203,Cu○などを添加
、含有せしめると、半導体磁器化中に高温で還元した場
合、これらBi203,Cu○などが焼成炉の内部に拡
散し、炉材に金属となって析出して炉が使用不能となっ
たり、特性のよいものが再現性よく得られなかった。こ
の発明は上託した問題を種々検討し、その解決を図った
もので、高誘電率で誘電体損失が小さく、耐電圧も高く
、特に見掛誘電率の温度変化率および誘電体損失の小さ
い粒界絶縁型半導体磁器組成物を提供せんとするもので
ある。
すなわち、この発明の要旨とするところは、SrTi0
375〜85モル%、CaTi0315〜25モル%か
らなる主成分に対して、Y,La,Ceなどの希±頚元
素、Nb,Ta,Wの酸化物のうち1種または2種以上
0.05〜0.5重量%、酸化ケイ素を0.005〜0
.1重量%添加してなる半導体磁器の結晶粒界に、酸化
ビスマス(Bi203)と、酸化ホウ素(B203)、
酸化鋼(C山0)、酸化マンガン(Mn○)、酸化亜鉛
(Zn○)および酸化鉛(Pb○)のうち少なくとも1
種と、からなる絶縁層が形成されていることを特徴とす
るものである。
上記した組成範囲に限定した理由は次のとおりである。
すなわち、CaTi03が15モル%未満では破壊電圧
が低下し、見掛誘電率の温度特性も悪くなり、25モル
%を越えると見掛議電率の低下、譲軍体損失の劣化なら
びに見掛誘電率の温度特性の劣化が見られる。Y,い,
Ceなどの希土類元素、Nb,Ta,Wの酸化物のうち
1種または2種以上が0.05重量%未満では誘電体損
失が悪くなり、0.5重量%を越えると見掛誘電率、破
壊電圧の値が低下する。酸化ケイ素が0.005重量%
未満では、見掛議電率の温度特性が想〈なるほか、譲蟹
体損失が大きくなり、0.1重量%を越えると見掛誘電
率、破壊電圧の低下が著しくなる。この発明において、
半導体磁器の焼成は中性雰囲気または還元性雰囲気のう
ちいずれを用いてもよい。
結晶粒界に形成される絶縁層を構成するものとしては、
すでに知られたものとしてV,Co,Feなどがあるが
、この発明においては、Biと、B,Cい Mn,Zn
およびPbのうち1種以上から選ばれたものについて特
性の良好なものが得られるという結果を示した。
またBiと他の金属酸化物を混合したものから絶縁層を
形成すると、特性のバラッキの小さい半導体磁器が再現
性よく得られるという結果をもたらす。これらの半導体
磁器の結晶粒界を絶縁体化させるものは半導体磁器表面
に付与され、空気中700〜130000で熱処理する
ことにより半導体磁器の内部に拡散し、結晶粒界に絶縁
層として存在する。
また半導体磁器に付与する量は相当広い範囲にわたって
特性が一定になるが、その適当量の範囲を外れると、誘
電体損失が悪くなるなど特性に悪影響を与える。以下こ
の発明を実施例に従って詳述する。
実施例 第1表に示す組成化率の半導体磁器が得られるようにS
rC03,Ti03,CaC03の主成分原料、半導体
化剤であるY203,W03,Nb2Q,Er203な
ど、およびSiQの副成分原料を用意し、これらは所定
比率に秤量してポットミルにて湿式混合した。
このスラリーを蒸発、乾燥させたのち1150℃で2時
間仮嬢を行った。次いで、バインダとして酢酸ビニル系
樹脂をla重量%添加混合したのち造粒し、直径10.
0肋、厚み0.5肌の円板に成型した。大気中1100
℃で2時間仮擁してバィンダを燃焼させる予備焼成を行
い。
そののち水素10容量%「窒素9蟹容量%からなる還元
性雰囲気中にて1400〜1440℃で3時間焼成した
。次いで得られた半導体磁器の表面に、酸化ビスマス(
Bi203)30重量%、酸化鉛(Pb3Q)25重量
%、酸化銅(Cu○)5重量%、ワニス4の重量%から
なるペーストを塗布した。
ペーストの塗布量は約1皿grであった。ペーストを塗
布した半導体磁器を空気中1100℃で1時間熱処理を
行い、半導体磁器の結晶粒界に絶縁層を形成した。さら
に半導体磁器の両平面に銀べ−ストを塗布し、800q
oで30分間嬢付けして半導体磁器コンデンサを作成し
た。
このようにして得られた半導体磁器コンデンサについて
、見掛誘電率(〇)、誘電体損失(tan6)、絶縁抵
抗(IR)、破壊電圧(BDV)および見鶏誘電率の温
度特性(△TC)を測定し、その結果を第1表に合わせ
て示した。
なお、見雛誘電率、誘電体損失は十25℃、周波数IK
HZ、電圧0.3Vの条件で測定した値である。
絶縁抵抗は十25qoにおいて試料に厚み単位当たり直
流電圧50Vを印加した3鼠砂後の抵抗値を示したもの
である。見鞠誘電率の温度特性は十20ooを基準とし
たとき−25qo〜十85q0の温度範囲における見掛
誘電率の変化率を示したものである。第1表中※印を付
したものは、この発明範囲外のもの、それ以外はすべて
この範囲内のものである。
第 1 表 第1表から明らかなように、試料番号1,2はCaTi
03を含まないが、15モル%未満のもので、破壊電圧
が低下し、温度特性も悪くなっている。
試料番号6のものはCaTj03が30モル%と上限を
越えたもので、見掛誘電率は低下しており、破壊電圧、
温度特性についても劣化が見られる。試料番号7はSi
02の含有量が下限値を満足していないもので、誘電体
損失、絶縁抵抗が劣化しており、温度特性もその変化率
が大きくなっている。試料番号9のものは半導体化剤が
下限値を満足していないもので、譲雷体損失が悪いとい
う結果を示している。試料番号12は半導体化剤が上限
値を越えており、見掛誘電率、破壊電圧の低下が認めら
れる。試料番号14はSi02の含有量が上限値を越え
ており、見掛議電率、破壊電圧の低下が著しく、実用に
は供し得ないものとなる。上記した実施例では絶縁層を
構成するもののうち、酸化鉛についてPb204を用い
たが、POOあるいはその他の酸化物でもよい。
同様にその他の金属酸化物についても絶縁層を形成する
ことができるものであれば、他の酸化物を用いてもよい
。また、電極として銀を用いたが、その他の電極を用い
てもよいことはもちろんである。以上のようにこの発明
によれば、見掛蓋電率が20000〜25000と大き
いものが得られているにもかかわらず、破壊電圧が10
00〜1500V/肌と高く、さらに見鞠誘電率の温度
特性も良好であり、信頼性の高い大容量のコンデンサが
得られる。また、半導体磁器中にBi203が含有され
ていないため、磁器成分の蒸発がほとんどなく、特性の
すぐれたものが再現性よく得られ、焼成炉への影響も少
ないなど、工業生産上大きな利点を有している。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 SrTiO_375〜85モル%、CaTiO_3
    15〜25モル%からなる主成分に対して、Y,La,
    Ceなどの希土類元素、Nb,Ta,Wの酸化物のうち
    、1種または2種以上を0.05〜0.5重量%、酸化
    ケイ素を0.005〜0.1重量%添加してなる半導体
    磁器の結晶粒界に、酸化ビスマス(Bi_2O_3)と
    、酸化ホウ素(B_2O_3)、酸化鋼(CuO)、酸
    化マンガン(MnO)、酸化亜鉛(ZnO)および酸化
    鉛(PbO)のうち少なくとも1種とからなる絶縁層が
    形成されていることを特徴とする粒界絶縁型半導体磁器
    組成物。
JP53085432A 1978-07-12 1978-07-12 粒界絶縁型半導体磁器組成物 Expired JPS6020345B2 (ja)

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JP53085432A JPS6020345B2 (ja) 1978-07-12 1978-07-12 粒界絶縁型半導体磁器組成物

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JP53085432A JPS6020345B2 (ja) 1978-07-12 1978-07-12 粒界絶縁型半導体磁器組成物

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JPS5515917A JPS5515917A (en) 1980-02-04
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JP53085432A Expired JPS6020345B2 (ja) 1978-07-12 1978-07-12 粒界絶縁型半導体磁器組成物

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GB2080789B (en) * 1980-07-28 1983-09-28 Univ Illinois Heterophasic semiconducting ceramic compositions
JP2505030B2 (ja) * 1988-09-19 1996-06-05 ティーディーケイ株式会社 温度補償用高誘電率磁器組成物及びその製造方法

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JPS5515917A (en) 1980-02-04

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