JPS5981613A - 高温度反応器用検査鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ’、−＞この発明は、高温反応器の反応室からの光学信
号φ伝送のための又はかかる反応器内でのプロセス□の
目視観察のための潜望鏡状の検査鏡（ペリスコープ）に
関する。

この発明は、好ましくは火炎反応が昇圧下で生じるとこ
ろの反応器内で使用しようとするものである。本発明を
適用できる好ましい分野は、ガスタービン又は複合発電
所の圧力燃焼室および微細化された燃料の高圧ガス化の
ための反応器、圧力のかかった液体又は気体の炭化水素
のもとでの部分的酸化による合成ガスの生成のための反
応器の分野である。

固形燃料からの合成ガス生成のプロセスの中には、炭塵
と工業用酸素が火炎反応の中でＣＯとＨ２に富むガスに
変換されるものがある。変換が完了した後に生じるガス
温度は、燃料の無機成分の融点温度以上であり、このた
め液状クリンカー（ｃ　ｌ　１ｎｋｅｒ　）が形成され
る。例えば、典型的な燃料反応温度は１５００℃であり
、２０００℃及びそれ以上の温度ピークが火炎中に生じ
がちである。多（の場合、ガス化はＯ１５乃至５　ＭＰ
ａの圧力で生じ菰−暑同じ基本的な原理が液体及び気体
状の炭化水・ｊ゛１ 素の部分的な酸化による合成ガス生成にもあてはまるが
、この場合最大圧力がＩ　Ｄ　１ＶＩＰａであるのは極
めて普通である。

かかる反応器のプロセスをモニターするには、反応室内
で卓越した温度を決め、そして火炎の存在をモニターす
る之めに、反応室内部からの光学的信号を伝送する必要
がある。さらに、反応室の壁のところ又はクリンカーの
ための排出口内において火炎又はクリンカー流れの発展
のように、反応室内で進行するプロセスを、視覚的に、
即ち直接観察又はテレビジョン全通してモニターできれ
ば有利である。

西独公開特許第２２６２３５１号明細書と西独公開特許
第２９１５９２６号明細書から、圧力ガス化反応器のた
めの観察手段が公印であり、この手段では反応器壁内の
一つの開口には圧力漏れ防止を施した検査鏡を設けてこ
の開口に適当な吐出ガス（不活性ガス又は反応器の生成
物からの再生合成が；、）ｋ吐出させることができる。

反応器の耐火性ライニング又は反応室のために内部′冷
却壁は据え付けによるものであるが、検査鏡と反応室と
の間の距離が太きいために、反応室内への視角は非常に
制限されている。さらに、反応室からの過大な強度の輻
射のために、検査ソケットに如何なるかたちにせよ過熱
が生じることがないようにするため、開口径を比較的小
さくする必要があるので、かかる制限が厳しくなる。

しかしながら、かかる装置及び同様′な装置の最も重大
な不利な点は、検査開口は、ガスで洗い流されようとも
、部分的又は完全にクリンカー沈着物によって覆われる
ことがしばしばあるということである。上昇Ｉ−た温度
で作動する反応器から７、かかる沈着物を除くには、反
応器の作動を止めて交替する必要がある。

例えば蒸気発電機、ガラス溶解炉及び冶金炉用に検査鏡
状の観察手段もまた公知であり、この場合、水冷シェル
内に一装置されたレンズ系は、高温ガスと汚染の侵入に
対して吐出ガスによって付加、的に保護されている。か
かる検査鏡の利点は、例ｉパ・１ ゛えば５０度にも達する比較的大きな視角にある。

−じ゛力；・シながら、公知の技術的解決手段は、゛標
準圧力で作動するプラントのみに適するものである。

この型式の観察手段はまた、東独、経済脣゛許７６０５
５に記載された観察手段に対応しており５この観察手段
では、レンズ系は二重管状水ジヤケツト内にｌｌ１１１
］房方向に配列されていると共に、吐出ガスと冷却ガス
の流れがレンズ系伴水ジャケットとの間に維持されてい
る。燃焼至かも見た時に対物レンズの最初のレンズの前
には、吐出ガスが通り抜けて燃焼室内へと流れ込む円錐
形をしたコンフユーザがある。このコンフユーザの開口
は、同時−にコンフユーザ開口と対物レンズの最初のレ
ンズとの間の距離と前記レンズの直径との比が視角金定
めてる光学系のダイヤフラム゛として作用している。さ
らに、コンフユーザ開口の後にはディフューザ（散気装
置）が続き、このディフューザの角開口は視角が制限さ
れないように寸法が定められている類似した構造のもの
も公知である。

１　経験の示すところによると、標準圧力で作動する炉
室の観察に用いられる公知の検査鏡の作動原理を、例え
ば高圧下で稼動される移行ガス化反応器の反応室の光学
的モニタリングに単に適用しても、圧力漏れを防止した
検査鏡とレンズのみが適当な態様で配列されてい、る時
には、望ましい結果を得ることができない。比較的短か
い時間が経過した後で、クリンカー沈着物が検査鏡の端
面上に生じる傾向があり、この沈着物は、光学径路が制
限され最終的には妨げられる程に徐々に増加する。

その上、比較的大量の゛吐出ガスを供給し、ても、原子
状態の硫黄でさえも、高揮発性無機質成分が吐出ガス出
口のディフューザと対物レンズのところにお（１゛て昇
華し、これによってまた検査鏡の実用性を損ってしまう
ことが発見された。

本発明の目的は、高温度反応器の反応室から光学的信号
を伝送するためのもので、高温度で作動する反応器内に
使用するのに適していると共に、何らクリンカー沈着物
や不純物が生じることなく、微細化された燃料の圧ガガ
ス化のための反応器に４パ；で１ 使デするのに特に適している検査ｍｆｆ：提供すること
毎ある。

本発明の目的は、高温度圧力形式の反応器の反応室−か
らの光学的信号の伝六のための検査鏡全発明することで
あって、ガス媒体を適宜吐出させることにより、反応室
内にひろまっている雰囲気によってもたらされるクリン
カーの沈着物、昇華した無機質成分及び他の影響でもっ
て、光学経路に伺ら制限又は妨害が生じないようにし、
そして充分な視角が確保される検査鏡を発明する２こと
である。この点について、開口及びレンズを清浄に保つ
のに必要とされ、そして吐出ガスの質量流量率と流量速
度との積とによって定められる）＜ルス状のガス流れは
、もし標準状態に対する質量流量率又は体積流量率及び
形態上の構造が一定に保たれるのであれば、圧力に反比
例するということ全考慮に入れねばならない。その結果
、同一の吐出効果を得るには、吐出ガスの流量率は上昇
する圧力と共に増大されねばならない。それゆえ、本発
明の別のねらいは、例えばろ■〕ａの高作動圧力にも拘
らず、例えば生成ガスの質が吐出ガスから来る増大した
窒素の量によって損われないようにするために比較的多
量の吐出ガスによって光学的径路を自由に維持すること
にある。

本発明によれば、高温度反応器の反応室からのう“Ｃ学
的信号の伝送のための高温度反応器、特に昇圧ドで作動
する反応器の反応室の観察のための検査鏡は次の点によ
って特徴づけられる。

検査鏡のｙＬ学装置は管状シェル内においてこの光学系
とシェルとの間に間隙があるように軸線方向に配列され
、このシェルは反応室に向って開口していると共に燃焼
室内の作動圧力よりも高い供給圧力を有する吐出ガス源
と連通している、例えば蒸気発電（幾の燃焼室のために
用いられる検査鏡の公知の原理に基づいていて、本発明
による具体例は、反応室に向って、両端で開口している
と共に検査鏡の光学系の前方レンズ上に座着された円錐
台形を有する中空本体と協働しており、前記中空本体の
小さい方の端面ば反応室方向へ指向していると共に光学
系のための孔全形成しており、そ対゛じて中空本体の外
表面の傾斜角に等しいか又は太き（なっているテーパが
備わっていて９元学系とシェルとの間の前記間隙が一定
の幅又は円Φｌ（、形の端部に向って減少した幅を有す
る円錐状ギャップの形を呈しており、また前記ギャップ
は反応室へ向いた端部において吐出ガス用の環状・間隙
ノズルを形成ｔ７ていて、さらに、前記前方レンズに隣
接する側の半体内で、中空本体の横側面には、円錐形を
なしたギャップと中空本体の内部受量とをガスが入れる
ように接続する開口が備わっている。

この構造によって、前記間隙を辿して供給される吐ｌガ
スの一部は前記開口を通して中空本体の内部空間内へ、
そしてそれから孔全通って反応案内へ流れ込み、そして
、吐出ガスの別の部分は」、り状・間隙のノズルを通っ
て流れ、孔から来た前記最初の吐出ガス噴流を環状に展
開するのを確実にする。

において、他の仕方では避けることができない逆流領域
が、本発明によれば、孔から来る吐出ガス噴流に対して
は環状・間隙ノズルから現われる膨張噴流との相互作用
によって防止されるということが明らかに重要である。

同時に、これによって。

粘性および粘着性のあるクリンカー粒子又は無機物蒸気
が逆流プロセスによって孔へ搬送されるのと、この孔に
沈着物を形成するのが防止される。

この点について、孔、環状・間隙ノズル及び開口の断面
積比が竹に重要であることがわかった。

本発明によれば、前記開口の自由断面積は、孔の自由断
面積の倍数、例えば６乃至６倍でなければｉよらず、そ
して孔の自由断面積と環状・間隙ノズルの自由断面積と
の比は、１：２と１：０．７の間にあるように定められ
る。

吐出ガス流は前記孔全通って旋回される時に特に好まし
い効果が得られることがわかった。本発明による接続開
口は、それゆえ中空本体全形成すしている。

本発明の他の実施例では、開口は、中空本体の横側面を
楕円の断面に沿って切断するスリット孔として形成され
、切断平面の傾斜角は、中空本体の軸線に対して、中空
本体の横’ｊ４１１　ｉｆｉの傾斜角より太き（なって
いること；前記楕円の頂点から始まる楕円の曲線の２つ
の枝部の長さが異なっていること；そして前記スリット
孔は回転的に対象となるように分布し且つ配列されてい
ることによって、同じ効果が得られる。頂点とは、中空
本体を形成する円錐台形の基本面から、又は前方レンズ
からの距離が最も小さい楕円の曲線の点であると理解さ
れる。楕円の曲線の、ポートを形成する二つの枝部の長
さが違うので、旋回の強さ即ち孔を通して吐出ガスの軸
線流量率に対する接線方間の流量率の比に対し、ある程
度影響することになる。

連続的な環状ギャップでは、環状・間隙ノズルの自由断
面積に対する孔の自由断面積の固定比を考慮すると、一
様なギャップ幅全維持することと一側からの詰まり又は
制限を防止するのが困難になるような小さいギャップ幅
がしばしば必要になるであろうが、本発明の好ましい実
施例では、環状・間隙ノズルはこの連続的な環状ギャッ
プの代わりに円形リングの周りに一様に分布した多数の
個々の開口から成っている。

前記個々の開口は、中空本体の外側で環状・間隙ノズル
の領域に位置していて内壁のテーパ付き部分の対応する
面と接触し、そして同時に中空本体とシェルとを中心法
めするカムによって互いに分離されているのが好ましい
。

本発明の一実施例は、環状・間隙ノズルの領域での中空
本体の外側はチーヘラ呈した形から円筒形へと徐々に変
化していることに特徴がある。この形状をとることの利
点は、孔と環状・間隙ノズルとからの吐出ガス噴流が出
合うところの領域が孔のところから移って遠ざけられる
ことである。

このことは、加えて孔の近（での如何なる逆流領域も生
じさせな（するということに寄与する。

″ニー、、ｉ’ｉ洞１じ目的が、本発明に従えば、孔の
レベルから、−１ 、始まって円錐状に幅狭（なるところから円錐状の拡大
部への移行が連続的なものであるような、シェルの内面
をディフューザに変えてゆ（円錐状の拡大化によって達
成される。この円錐状のディフューザによって、環状・
間隙ノズルから現われる吐出ガス噴流は直ちに壁を離れ
ることはなく、壁土に留って、逆流領域が外側にシフト
される５即ち孔から遠ざけられるように外側にそらせら
れるのが確実になる。

この点を考えるに、円錐状の拡大化はできるだけ大きい
曲率半径を選択するのが得策であると思われる。しかし
ながら、光学系の視角を制限しないためには、前記半径
は、本発明によれば、ディフューザの表面は、前方レン
ズと孔とによって定められる（光学的な）限界ｙＣ線に
よって境界づけられる円錐面の外側にあるように選ばれ
る。

ディフューザを含む検査鏡のシェルには公知の水冷装置
を設けるのが本発明に適合している。この場合、ディフ
ューザは端面にそして最終的にはシ、エルの円筒状外端
面へと円錐状に変化するのが水冷装置の設計と強さにと
って特に有利である。

公知のように、シェルを通る水径路内にそらせ板を置く
と、チー・く部分、ディフューザ、端面及びシェルの外
側と共にシェルの内イ則全連続的に確実に冷却すること
ができるであろう。

ディフューザと端面とも両方円錐形とされているので、
壁は一様な厚さを維持することと、特にシェル上の最高
熱応力領域においての如何なる淀み水領域の発生も防止
し、その結果壁には一様な温度勾配を確実にもたらしそ
して材料には有害であるどのような熱応力の発生も防止
することかできる。

概して、検査鏡の光学系はレンズ装置がら成り、そして
光学信号は圧力ｔ＠れを防止した窓を通って外界へ伝送
される。しかしながら、もしレンズ装置の代わりに、光
案内又は像導管が検査鏡の光学装置として完全に又は部
分的に用いられるのであれば１本発明は同様の仕方で適
用できるであろう。

この場合、明細書で用いられた用語１−前方レンズ」、
は光”案内又は像導管の光浸入領域に対応する。しか８
も、検査鏡内には、この検査鏡の光学装置から＋−ｊ 受しナ取った光学的信号を、リード線が通る適当なケー
ブルによって外部へ伝送される電気的（ｉ号に変換する
適当なセンサ（例えば、光トランジスタ）又はビデオカ
メラを装填することも可能である。

次に、第１図乃至第５図に示す本発明の実施例に従って
説明する。

実施例１： 第１図の断面図に示した潜望鏡状の検査鏡装置は３　Ｍ
Ｐａの圧力下で行なわれる炭１次のガス化のための反応
器の反応室からの光学信号を伝送するためのものである
０反応室内の温度ば１５００’Ｃ以上であり、反応室内
の万囲気はガス化が不冗全な炭塵粒子やタリンカードロ
ップス（ｃｌｉｎｋｅｒ　ｄｒｏｐｓ　）によって汚れ
ている。検査鏡は、レンズ系から成る光学系２を備えた
管状シェル１から成っている。

光学系２は、反応器シェル６内の開口と、耐火うイニン
グ４とを通して反応室５内へ導入され、そしてフランジ
乙によって圧力漏れのない様に反応器、シェルに連結さ
れている。検査鏡の一端には圧力漏れ防止窓７、例えば
圧力漏れを防止し且つ特に厚い接眼鏡のレンズが設けら
れている。

検査鏡の光学系２とシェル１との間には、吐出ガスソケ
ット９全備えた間隙８があり、このガスソケット９は、
図には示されていないが、吐出ガス源に接続されていて
、その供給圧力は、３．５　ＭＰａ。

即ち燃焼室内の圧力よりも高（なっている。

間隙８と検査鏡の光学系２の内部空間との間の圧力補償
のために補償開口１０が設けられている〇薄壁で中空の
円錐台の形をした中空本体１２が光学系の前方レンズ１
１に取り付けられている〇円錐台の任意の要素と軸線と
の間の角度として定められる傾斜角αは、２５°となっ
ている。このような角度にしであるので反応室内への視
角を確実に５０°にすることができる。前方レンズの光
学的有効径に２０＋ｍとすると、中空本体１２の開口、
即ち孔１３の内径は３ｍである。

中空本体１２を取り囲むシェル１の内側の部分１４はテ
ーパをなしており、このテーパの傾斜角今回様に２５°
である。それゆえ、この領域の間隙パ ８は円錐状のギヤノブ１５を構成しており、このギ・ヤ
ツプは反応室へ指向する端部で環状・間隙ノズル１６を
形成している。この環状・間隙ノズルの領域では、中空
本体１２の外側は、第４１凶に図示されているように円
筒形部分に変わっている。

取り付けられたカム１８は中空本体１２の中心決めの役
割をし、そして同時に、環状・間隙ノズル１６″ｆ：円
形リングのまわりに分布する多数の個々の開口１６′に
分割している。

吐出ガスソケット９を経て供給された吐出ガスの一部は
、環状・間隙ノズル１８を通して反応室内へ入る。吐出
ガスの残る部分は、中空本体１２の、前方レンズ１１へ
向かう幅広の半体内に接線状の配列をなした４つのスリ
ット孔の形を有する開口１７を通って前記本体の内部空
間内に流れ込む。これらスリット孔の配列は中空本体１
２の断面図である第２図に図示されている。スリット孔
１７は接線状の配列をなしているので孔１６全通して反
応室５内ｌ＼入る流れは旋回流となる。環状・間隙ノズ
ル１６の自由吐出領域は８調２である〇スリット孔１７
の断面積は総計ろＱ　ｍｍ２である。

中空本体１２を取り囲むシェル１の内側の部分１４は、
孔１３についての水準から始まって、円錐状に広がって
いるので、環状・間隙ノズル１６の後では、湾曲面はデ
ィフューザ（散気装置）１９及び最終的には検査鏡の端
面２０ｔ−形成している。

この湾曲面の半径Ｒは、反応器の視角が制限されないよ
うに選ばれるべぎである。第５図に図示されているよう
に、このことはディフューザ１９の表面は、前方レンズ
１１と孔１６によって定められる限界光線２１によって
境界づけられる円錐面の内には入ってくるべきではない
ことを意味している。

検査鏡のシェル１は水冷されるが、冷却水の供給と排水
のためにこのシェル１にはソケット２２が設けられてい
る。そらせ板２６がシェル１の水収容空間内に設けられ
ているので、冷却水は全て、特に熱的に高い応力にさら
される端面２ｏとディフューザ１９とに供給され、そし
て充分な冷却水の流量速度全確実に得ることができる。

ディフューザ１９と端面２ｏは円錐形をなしているのが
、集中的な冷却には最も望ましい。

吐出ガス量は標準状態で約３０　ｍｙｈ又は作動状態で
約１ｍ３／ｈの割合で供給されるので、検査鏡は、連続
的に作動する時は、視角を制限するか又は光学系の透明
度を減少させるであろうクリンカーや塵埃沈着物を生じ
ないよう（で保たれるであろう。テーパ（中空本体のな
い）と平坦な端面とを備えそして６触の同一孔径と略同
−の吐出ガス流量を有する現在のところの技術水準の装
置については、寿命は、クリンカー沈着物や不純物によ
って光線径路が殆んど完全に遮られるまでの６乃至１２
時間にすぎない。

実施例２： 例１で記載したのと同様の実施例が次に記載されるが、
第４図に図示されているように中空本体１２内の開口１
７は、中空本体１２の横側面を楕円の断面に沿って切断
するスリット孔であるという点で異なっている０頂点２
４かも始まる楕円の曲線の枝部２５′及び２５“は、互
いに長さが異なっている。かかる有効なスリット孔は、
回転対称に配列された２つのものがある。

スリット孔を形成する２つの枝部２５′及び２５“は長
さが異なっているために、例１で記載されたスリット孔
が接線的に配列されていることで得られるのと同じよう
な吐出ガス噴流の旋回流が中空本体１２の内部空間に与
えられる。このため、検査鏡について同一の好ましい作
動状態を得ることができる。

この実施例の利点は、スリット孔が薄いシリンダー状カ
ッターによって切断されて簡単に製造できることにある
。この製造法では、カッターの切断面は中空本体１２の
軸線に向って４５°傾斜しており、その一方でカッター
軸線は中空本体の軸線と平行な平面内で走行し、前記軸
線とカッター軸線の距離は１２閣となっている。

【図面の簡単な説明】

第１図は、高温度反応器の定めの検査鏡の縦断面図であ
る。 第２図は、接線状に配列したスリット孔として形盛され
た開口を備える中空本体の断面図である。 ・“第６図は、検査鏡の前面図である。 、１ ゛°第４図は、楕円断面として形成されたスリット孔状
開口を備える中空本体の図面である。 第５図は、円錐形ディフューザの形態構造を示す概略図
である。 １・・・シェル　　２・・・検査鏡の元厚系６・・・反
応器シェル　　４・・・耐火ライニング５・・・反応室
　　６・・・フランジ ７・・・圧力漏れ防止窓　　８・・・間隙９・・・吐出
ガスソケット　　１０・・・補＠開口１１・・・前方Ｖ
ンズ　　１２・・・中空本体１６・・・孔　　１４・・
・内壁の一部１５・・・円錐形ギャップ　　１６・・・
環状・間隙ノズル１６′・・・環状・間隙ノズルの個々
の開口１７・・・スリット孔１８−・・カム １９・・・ディフューザ　　２０・・・端面２１・・・
限界光ａ　　２２・・・ソケット２６・・・そらせ板　
　２４・・・楕円の曲線の頂点２５ｒ、２ダ・・・楕円
の曲線の枝部 特許出願人　ブレンシュトフインステイトウートフライ
代理人弁理士　松　　　１）　省　　躬第１頁の続き （７１１！ｌ！　　間者　　マンフリート・シンクニッ
ッドイツ民主共和国９２００フライベ ルク・ケルナーストラツセ１９ □□□発　明　者　ピータ−・ゲーラードイツ民主共和
国９２００フライベ ルク・ストラツセ・ディー・ア インハイツ３ （ｌ　　明　者　エーベルハルトパクロウスニッツアー ドイツ民主共和国９２１２二−デル ボブリツシュ・ナンバー３ ０発　明　者　ロルフ・クローセ ドイツ民主共和国９２０５ハンスブ リユツケ・アルベルト・フンク ・ストラツセ１２ 手続ｔｎｉ正轡（方式） ％式％

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）高温度反応器、特に高圧下で作動する高温度反応
   器の反応室からの光学信号伝送用検査鏡であって、反応
   室へ指向すると共に管状シェル内に軸線方向に配置され
   た前方Ｖンズを（ｍｔえた光学系力・ら成っており、反
   応室へ向って開口する間隙力Ｓ検査鏡の光学系とシェル
   とのｌ１ＪＩに残されてし・て、この間隙は供給圧力が
   反応室内の作動圧力よりも高い吐出ガス源に接続されて
   おり、前記検査鏡ｋま、両端で開口し、一方が円錐台形
   をなして（・る中空本体（１２）が反応室に向って、光
   学系（２）の前方レンズ（１１）に取り伺けられ、前記
   中空本体の小さく・方の端面ば反応室へ指向し、そして
   検査鏡の光学系のための開口０９）全形成しており、こ
   の開口θ９）内にお（１て中空本体を取り囲むシェルの
   内側の部分α（イ）にｋま中空本体（１２）に対して同
   軸線的に走行するテーノくが備わっていて、該テーノく
   の傾斜角は中空本体の外側の傾斜角に等しいか又は太き
   （なっているｔめに、光学系（２）とシェル（１）どの
   間の前記間隙は一定の幅又は円錐台形の端部に向って減
   少した幅のいず′わかとなっている円錐状のギャップ（
   ｉ５）の形をなしていて、前記間隙が反応室へ指向する
   端部において吐出ガスのために環状・間隙ノズル（１，
   ６）　ｋ形成して２つ、さらに前記前方ンンズに隣接す
   る側の半休における中空本体の横側面には、円錐形ケな
   したギャップ（１５）と中空本体（１２）の内部空間と
   を接続してガスが侵入することができる開口ａ７）が設
   （・すられていて、該開口（１７）の自由断面積は前記
   孔（１３）の断面積の倍数となっていること全特徴とす
   る光学信号伝送用検査鏡。 （２）　　開口（１７）は円錐体に沿う複俄のスリット
   孔として形成されており、該スリットは中空本体（１２
   ）の横側面を接線状に切欠いてなる特許請求の範囲；Ｊ
   　１項記載の検査鏡。 （３）開口（１７）は中空本体（１２）の横１１Ｊ面全
   楕円形をなした断面に沿って切欠いている複数のスリッ
   トとして形成され、切欠き平面の傾斜角は、中空本体（
   １２）の軸線に関して、中空本体０２）の外側の傾斜角
   より大きく、前記切欠き平面内において楕円の頂点（２
   （イ）”ニア−冒始まる該楕円全なす曲線の二つの枝部
   （２６′。 ＋２５；′）は互いに長さが異なっていて、しかも前記
   切−欠き平面内において前記複数のスリットは回転対称
   をなして分布し且つ配置されている特許請求の範囲第１
   項記載の検査鏡。 （４）環状・間隙ノズルの領域において、中空本体（１
   りの外側は円筒形部分へと滑らかに変化している特許請
   求の範囲第１項乃至第６項のいずれか一項記載の検査鏡
   。 （５）環状・間隙ノズル（１６）は円形リングのまわり
   に一様に分布された多数の個別の開口（１６ｒかも成る
   特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれか一項記載の
   検査鏡。 （６）個々の開口（１６ｆは、中空本体（１つの外側上
   の環状・間隙ノズルＱ６）の領域において、内壁のテー
   バ付き部分（ＩＩＯの対応面に隣接して位置すると共に
   、中空本体（１２１とシェル（１）の中心を定めるカム
   ０印によって、互いに分離されている特許請求の範囲第
   ５項記載の検査鏡。 （力　孔（１３）の自由断面積と環状・間隙ノズル（１
   ６）の自由断面積の比は、１：２とに０７の間の好まし
   “ぐ１約１＝１にあるように定められる特許請求の１．
   ： 範囲第１項乃至第６項のいずれか一項記載の検査鏡０ （８）孔０３）の直径と前方レンズの直径の比は１：５
   と１＝８の間にあるように選ばれている特許請求の範囲
   第１項乃至第７項のいずれか一項記載の検査鏡。 （９）反応室に向って、シェル（１）の内部は、孔０３
   ）の開口面で始まって、円錐状に且つ連続的に広げられ
   て、ディフューザ（１９が形成されており１円錐状の拡
   大部の半径Ｒはディフューザの表面を、前方レンズαυ
   と孔０３）とにより定められる限界光線（２υによって
   境界づけられる円錐表面の外にあるように選ばれている
   特許請求の範囲第１項乃至第８項記載の検査鏡。 ００）ディフューザ（１ツを含むシェル（１）は水で冷
   却されている特許請求の範囲第１項乃至第９項のいずれ
   か一項記載の検査鏡。