[go: up one dir, main page]

JPS5927995Y2 - loading table - Google Patents

loading table

Info

Publication number
JPS5927995Y2
JPS5927995Y2 JP3711379U JP3711379U JPS5927995Y2 JP S5927995 Y2 JPS5927995 Y2 JP S5927995Y2 JP 3711379 U JP3711379 U JP 3711379U JP 3711379 U JP3711379 U JP 3711379U JP S5927995 Y2 JPS5927995 Y2 JP S5927995Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
tray
slide plate
workpiece
cam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP3711379U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS55138482U (en
Inventor
壽男 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3711379U priority Critical patent/JPS5927995Y2/en
Publication of JPS55138482U publication Critical patent/JPS55138482U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS5927995Y2 publication Critical patent/JPS5927995Y2/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は載物台に関し、特にレーザトリミング等におい
て、被加工物を載せるための載物台に関するものである
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a stage, and particularly to a stage for placing a workpiece in laser trimming or the like.

従来、レーザトリミング等において、トリミングすべき
基板は、第1図に示すようなエア吸着方式の載物台上に
置かれていた。
Conventionally, in laser trimming or the like, a substrate to be trimmed has been placed on an air suction type stage as shown in FIG.

すなわち、位置決め用ガイド1と、基板2をエア吸着す
るための吸着孔3のあいた載物板4と、前記載物板に密
着する台座5から構成され、吸着のためのエアホース6
が設けられ、さらに、エアを開閉するためにトグルスイ
ッチ7を設けた構造が用いられていた。
That is, it is composed of a positioning guide 1, a mounting plate 4 with suction holes 3 for air suction of the substrate 2, and a pedestal 5 that is in close contact with the substrate 2, and an air hose 6 for suction.
A structure was used in which a toggle switch 7 was further provided to open and close the air.

この構造においては、1基板当りのトリミング時間は、
はとんど、基板の出し入れ位置からトリミング位置まで
の往復の移動時間と、基板の出し入れに要する時間で占
められていた。
In this structure, the trimming time per substrate is
Most of the time is occupied by the time required for moving back and forth from the board loading/unloading position to the trimming position, and the time required for loading/unloading the board.

一方、近年、複数個の基板を同時に載せられるトレ一方
式の載物台が出現している。
On the other hand, in recent years, one-tray type mounting stands have appeared on which a plurality of substrates can be placed simultaneously.

この方法では、複数個の基板を、XY方向のステップ動
作の繰り返しによって、連続的にすべて処理できるため
、載物台の移動時間を極力小さくでき、実質的な1基板
当りのトリミング時間の短縮化をはかった工夫がなされ
ている。
With this method, multiple substrates can be processed continuously by repeating step operations in the X and Y directions, so the time required to move the stage can be minimized, and the trimming time per substrate can actually be shortened. Efforts have been made to achieve this.

しかしながら、このような方式・構造においては、基板
の数が多くなるに従い、エアによる吸着力が問題となり
、さらに、エアホースが太くなり、載物台のステップ動
作に大きな妨げとなる欠点がある。
However, in such a method and structure, as the number of substrates increases, the suction force due to air becomes a problem, and furthermore, the air hose becomes thicker, which has the disadvantage that it greatly impedes the stepping operation of the stage.

本考案の目的は、このような従来の欠点を除去せしめ、
複数個の基板を同時に載せられるトレ一方式において、
前記複数個の基板を1度に位置決め固定でき、さらに、
トレー(第2図をさす)の交換を可能にし、トリミング
等の総時間の大幅な短縮化をはかった、操作性のすぐれ
た新規な交換トレ一方式の載物台を提供するものである
The purpose of this invention is to eliminate such conventional drawbacks,
In the one-tray type that can hold multiple boards at the same time,
The plurality of substrates can be positioned and fixed at once, and further,
The present invention provides a novel one-type exchangeable tray type tray with excellent operability, which allows the exchange of the tray (see Fig. 2), significantly shortens the total time for trimming, etc.

以下、一実施例について詳細に説明する。Hereinafter, one embodiment will be described in detail.

本考案の交換トレ一方式載物台は第2図の交換トレーと
第3図のマウントから構成される。
The exchange tray one-type stage of the present invention is composed of the exchange tray shown in FIG. 2 and the mount shown in FIG. 3.

まず、交換トレーについて説明する。First, the exchange tray will be explained.

8はトレ一方式載物板、9は横方向に可動なスライド板
、10は縦方向に可動なスライド板、11は可交換連結
部と凹部となるべく板である。
Reference numeral 8 designates a tray-type loading plate, 9 a slide plate movable in the horizontal direction, 10 a slide plate movable in the vertical direction, and 11 a plate that can be used as an exchangeable connecting portion and a recessed portion.

トレ一方式載物板8には、基板2を載せた場合に基板を
精度よく位置決めするために、基板の一角に相当する位
置に2本ずつ直角をなすように基板1枚を載せる1ブロ
ツクにつき4本のノックピン15を載物板8上にたてる
In order to accurately position the board 2 when it is placed on the one-tray type mounting plate 8, two wires are placed at right angles to one corner of the board for each block on which one board is placed. Four dowel pins 15 are set up on the loading plate 8.

即ち、載物板8上に、載せるべく基板数の4倍の数だけ
のノックピンが立てられる。
That is, four times as many knock pins as the number of boards to be mounted are set up on the mounting plate 8.

また、載物板8には、基板を固定するための板バネ13
aが横方向に、板バネ13bが縦方向に動けるように。
Further, a plate spring 13 for fixing the substrate is attached to the mounting plate 8.
so that a can move in the horizontal direction and the leaf spring 13b can move in the vertical direction.

戴物根上のノックピンと向いあい基板の他の2辺の位置
するところに2ケ所長形の穴開けて(12aおよび12
b)加工を施しである。
Drill two rectangular holes (12a and 12
b) Processed.

横方向に可動に可動なスライド板9には、その上部に載
せられている載物板8におかれた基板2を横方向から固
定するために、載物板8の長形の穴12aのある位置に
相当する部分に板バネ13aがネジ止めされている。
The slide plate 9, which is movable laterally, has a rectangular hole 12a in the mounting plate 8, in order to fix the substrate 2 placed on the mounting plate 8 placed on the upper part of the slide plate 9 from the lateral direction. A leaf spring 13a is screwed to a portion corresponding to a certain position.

さらに、このスライド板9を可動にするために、スライ
ド板の一方の端に2個のコイルバネ14aが取付けてあ
、る。
Further, in order to make the slide plate 9 movable, two coil springs 14a are attached to one end of the slide plate.

同様に、縦方向に可動なスライド板10には、その上部
に載せられたスライド板9のさらに上に載せられた載物
板8の長形の孔12bのある位置に相当する部分に板バ
ネ13bがネジ止めされている。
Similarly, the vertically movable slide plate 10 has a plate spring attached to a portion corresponding to the position of the elongated hole 12b of the slide plate 9 placed on the slide plate 9 and the elongated hole 12b of the loading plate 8 placed further above the slide plate 10. 13b is screwed.

なお、スライド板9および10には、第2図に示すよう
に、空隙が設けられており、スライド板9がスライド板
10の上に、あるいはスライド板10がスライド板9の
上に重ねた、いずれの場合でも、下にあるスライド板上
の板バネは上のスライド板を通れるようになっている。
Note that the slide plates 9 and 10 are provided with a gap, as shown in FIG. In either case, the leaf spring on the lower slide plate can pass through the upper slide plate.

スライド板10を可動するために、スライド板10の一
端に2個のコイルバネ14bが取付けである。
In order to move the slide plate 10, two coil springs 14b are attached to one end of the slide plate 10.

次に再交換連結部の凹部となるべく板11について説明
する。
Next, a description will be given of the plate 11 that will serve as the concave portion of the re-exchange connecting portion.

カム16aは板11の左端(第2図参照)のくぼみにカ
ム16bは板110手前端(第2図参照)のくぼみに組
込まれ、16a、bの先端の芯は板11内に埋めこまれ
ている。
The cam 16a is installed in a recess at the left end of the plate 11 (see Figure 2), the cam 16b is installed in a recess at the front end of the plate 110 (see Figure 2), and the cores at the tips of 16a and 16b are embedded in the plate 11. ing.

カム16 aはスライド板9を横方向に移動させるため
のものである。
The cam 16a is for moving the slide plate 9 laterally.

トレーを組立てた場合に、カム16aの曲線部24 a
はスライド板9のコイルバネ14aと反対側の端に取付
けられた突起26 aと結合される。
When the tray is assembled, the curved portion 24a of the cam 16a
is coupled to a protrusion 26a attached to the end of the slide plate 9 opposite to the coil spring 14a.

カム14 bはスライド板10を縦方向に移動させるた
めのものである。
The cam 14b is for moving the slide plate 10 in the vertical direction.

トレーを組立てた場合に、カム16bの曲線部24 b
はスライド板10のコイルバネ14bと反対側の端に取
付けられた突起26 bと結合される。
When the tray is assembled, the curved portion 24b of the cam 16b
is coupled to a protrusion 26b attached to the end of the slide plate 10 opposite to the coil spring 14b.

カムの詳細を第4図に示す。カムはつまみ、カム部、芯
からなっている。
Details of the cam are shown in Figure 4. The cam consists of a knob, a cam part, and a core.

カム部は25 aから25 bの位置まで角度変位に応
じて、なめらかな曲線を有している。
The cam portion has a smooth curve according to the angular displacement from the position 25a to the position 25b.

カム16aに結合されるスライド板9およびカム16b
に結合されるスライド板10はカムの回転によってカム
曲線に従ってなめらかに移動する。
Slide plate 9 and cam 16b coupled to cam 16a
The slide plate 10 coupled to the slide plate 10 moves smoothly according to the cam curve due to the rotation of the cam.

スライド板はカムの回転の始めと終りに2つの静止点2
5aおよび25bに相当する2つの静止点をもつ。
The slide plate has two stationary points 2 at the beginning and end of the cam rotation.
It has two stationary points corresponding to 5a and 25b.

板11の底面の中央部には側面Cおよびdが水平方向お
よび垂直方向にテーパ状になっている2本のレール18
と、このレール18と共にコの字形を形作るストッパ1
7とが固定されている。
At the center of the bottom of the plate 11 are two rails 18 whose sides C and d are tapered in the horizontal and vertical directions.
and stopper 1 which forms a U-shape together with this rail 18.
7 is fixed.

レールの外端面は、図の手前側で広く、奥の方が狭くな
っており、またレールの断面は台形状をしており側面C
およびdの部分が斜面を形成している。
The outer end surface of the rail is wide at the front side of the figure and narrower at the back, and the cross section of the rail is trapezoidal, with side C
The portions d and d form slopes.

マウントは第3図に示したように凸形再交換結合部21
とストッパ20とマグネットチャック19とを上面に備
えた板22と、この板22の底面に固着された台33と
から構成されている。
The mount has a convex re-exchange coupling part 21 as shown in FIG.
It consists of a plate 22 having a stopper 20 and a magnetic chuck 19 on its upper surface, and a stand 33 fixed to the bottom surface of this plate 22.

凸形再交換結合部21は板22の中央部に固着され、レ
ール18の側面Cおよびdに相対する側面eおよびfが
テーパ状になっている。
The convex re-exchange coupling part 21 is fixed to the central part of the plate 22, and has tapered sides e and f facing sides C and d of the rail 18.

即ち21の内端面では、手前が狭く奥の方が広がった形
になっている。
That is, the inner end surface of 21 is narrower at the front and wider at the back.

また、レールの断面は逆台形状になっており、e、f面
に相当する部分が斜面になっている。
Further, the cross section of the rail is an inverted trapezoid, and the portions corresponding to planes e and f are sloped.

板22の上面に位置し、21とコの字型をなすように固
定されている。
It is located on the upper surface of the plate 22 and is fixed to form a U-shape with the plate 21.

20は、マウント側のトレーに対するストッパであり、
トレー側のストッパ17と共にトレーの位置決めを行な
っている。
20 is a stopper for the tray on the mount side;
The tray is positioned together with a stopper 17 on the tray side.

トレーがマウントに差込まれた時ストッパ17を吸着固
定するためにストッパ20の両端にマグネットチャック
19を取付けである。
Magnetic chucks 19 are attached to both ends of the stopper 20 to suction and fix the stopper 17 when the tray is inserted into the mount.

以上説明した各部品を組立てると本考案の載物台ができ
あがる、すなわち、板11上に、スライド板10(又は
9)、スライド板9(又は10)、載物板8を順次重ね
合わせ、この板11をレール18と凸形再交換結合部2
1とを介して板22に取り付けて、トレ一方式の載物台
ができあがる。
By assembling each of the parts described above, the stage of the present invention is completed. That is, the slide plate 10 (or 9), the slide plate 9 (or 10), and the stage plate 8 are stacked one after another on the plate 11. Plate 11 and rail 18 and convex re-exchange joint part 2
1 to the plate 22, a one-tray type stage is completed.

第5図は本考案の実施例のトレ一方式載物台の組立図で
あり、20枚の基板を載せることが可能である。
FIG. 5 is an assembly diagram of a one-tray type stage according to an embodiment of the present invention, and is capable of mounting 20 substrates.

基板に挿入するためにはまず、カム16 a 、16b
を順次左回転し、板バネ13 a 、13 bがノック
ピン15から最大に離れたところで止める。
In order to insert the cams 16a and 16b into the board, first
are sequentially rotated to the left and stopped when the leaf springs 13a and 13b are at their maximum distance from the knock pin 15.

次に、トレーに基板を挿入後、カム16 a 、16
bを順次ゆつぐっと右回転すると、板バネ13 a 、
13 bは基板方向にすべり、基板をノックピンにおさ
えつけるような形でとまる。
Next, after inserting the board into the tray, the cams 16a, 16
When b is slowly rotated clockwise one after another, the leaf springs 13a,
13b slides toward the board and stops in such a way as to hold the board against the dowel pin.

このとき基板はスライド板9あるいは10に取付けられ
たコイルバネと板バネの力によって固定される。
At this time, the board is fixed by the force of the coil spring and plate spring attached to the slide plate 9 or 10.

このように板バネを用いたトレ一方式の構造によって、
20枚の基板をスムーズに1度に位置決め固定すること
ができる。
With this single-tray structure using leaf springs,
20 boards can be smoothly positioned and fixed at once.

基板挿入後、交換トレーは、マウント22に手前からす
べるように押しつければ、マウントにしっかりと固定さ
れる。
After inserting the board, the exchange tray is firmly fixed to the mount by slidingly pressing it against the mount 22 from the front.

この時トレーは、テーパを有したレール18および凸形
可変換結合部21.ストッパ17および20によって、
精度よく位置決めされる。
At this time, the tray has a tapered rail 18 and a convex convertible coupling portion 21 . By the stoppers 17 and 20,
Positioned with high precision.

またマグネットチャック19により、トレーはマウント
に確実に固定される。
Further, the tray is securely fixed to the mount by the magnetic chuck 19.

以上説明したように、本考案によれば、従来のエア吸着
方式載物台のように、基板の挿入時に毎度基板を位置決
めコーナに押しつけて、エア吸着をするわずられしさが
なく、板バネのスムーズな動きによって、複数個の基板
のすべての位置決め固定が簡単に1度もしくは2度で行
える。
As explained above, according to the present invention, there is no need to press the board against the positioning corner and apply air suction each time the board is inserted, unlike the conventional air suction type stage, and the plate spring is used. Due to the smooth movement of the board, all the positioning and fixing of multiple boards can be easily done in one or two steps.

また、同時に、従来の載物台と比較した場合、エアホー
スによるトラブルが避けられる、吸着用の真空ポンプを
必要のしない、等の効果も得られる。
At the same time, when compared with the conventional stage, problems such as problems caused by air hoses can be avoided, and a vacuum pump for suction is not required.

また、本考案によれば、レーザトリミング等の場合、従
来の載物台と異なり、同時に、複数個の基板を固定する
ことが出来、載物台のステップ動作の繰り返しを用いる
ことによって、わずかの載物台の移動で複数個の基板の
トリミングが可能である。
Furthermore, according to the present invention, in the case of laser trimming, etc., unlike conventional workpiece stands, it is possible to fix multiple substrates at the same time, and by using repeated step movements of the workpiece stand, a small number of substrates can be fixed at the same time. Multiple substrates can be trimmed by moving the stage.

即ち、1つの載物台において、1回の往復で、連続的に
複数個の基板のトリミングが可能である。
That is, a plurality of substrates can be successively trimmed with one reciprocation on one stage.

従って、従来のような、1基板毎の載物台の移動が必要
でなくなり、トリミング総時間の短縮が実現できる。
Therefore, unlike the conventional method, it is no longer necessary to move the stage for each substrate, and the total trimming time can be shortened.

また、本考案によれば、トレーの交換が容易に行なえる
点から、2台のトレーを用いることによって、一方がト
リミング中、他方で基板の出し入れが可能であり、基板
の出し入れに要する時間分が大いに節約できる。
In addition, according to the present invention, since trays can be easily replaced, by using two trays, it is possible to load and unload substrates on one tray while trimming on the other, and the time required for loading and unloading substrates can be saved. can save a lot.

よって、上記2点からも明らかなように、本考案によれ
ば、1基板当りのトリミング総時間が大幅に短縮するこ
とが可能である。
Therefore, as is clear from the above two points, according to the present invention, the total trimming time per substrate can be significantly shortened.

なお、本考案の操作性において、複数個の基板の同時固
定は、■度もしくは2度で行なうことが出来、作業上、
操作は容易である。
In addition, in terms of the operability of the present invention, simultaneous fixing of multiple boards can be done in 1 or 2 times, making the work easier.
Operation is easy.

また、トレーの交換においても、操作卓にトレー用サイ
ドテーブルを設け、2台のトレーを交互に出し入れでき
る構造にすれば、トレーの交換も操作性のよりよいもの
になるものである。
In addition, when exchanging trays, if a side table for trays is provided on the operation console so that two trays can be taken in and out alternately, the operability of exchanging the trays will be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来のエア吸着方式載物台、第2図は本考案
による交換トレーの分解図、第3図は、交換トレーのマ
ウントの斜視図、第4図は、カムの拡大図、第5図は、
本考案によるトレ一方式載物台の組立て図である。 図において、2は基板、3は吸着孔、8はトレ一方式載
物板、13a、bは板バネ、9.10はスライド板、1
8.21はそれぞれ可変換連結部の凹部、凸部、16a
、l)はカム、23は台で・ある。
FIG. 1 is a conventional air suction type stage, FIG. 2 is an exploded view of the exchange tray according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view of the mount of the exchange tray, and FIG. 4 is an enlarged view of the cam. Figure 5 shows
FIG. 2 is an assembly diagram of a one-tray type stage according to the present invention. In the figure, 2 is a substrate, 3 is a suction hole, 8 is a tray-type loading plate, 13a, b are leaf springs, 9.10 is a slide plate, 1
8.21 are the concave portion, convex portion, and 16a of the convertible connecting portion, respectively.
, l) is a cam, and 23 is a stand.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] マウント上にトレーを備え、複数個の被加工物が積載可
能な載物台において、前記トレーは、被加工物を載せる
載物板とこの載物板の下面に固着されたスライド板とこ
のスライド板下面に摺動可能に取付けた板とから構成さ
れ、さらに、前記載物板には被加工物を1個載せる1ブ
ロツクにつき4本のノックピンを2本づつ直角になるよ
うに設け、さらにこのノックピンに対向した部分で被加
工物の他の2辺に相当する部分に長形の孔を1ブロツク
につき2個設けてあり、前記スライド板には前記長形の
孔に相当する位置に板バネを固着し、この板バネは前記
載物板上部に飛び出る長さを有し、前記板の端にはスラ
イド板移動用のカムを設け、さらに鉄板の下面および前
記マウント上に可交換連結部を設けて、この可交換連結
部を介して前記トレーを前記マウントに取りはずし性能
な状態で取り付けたことを特徴とする載物台。
In a workpiece stand that includes a tray on a mount and is capable of loading a plurality of workpieces, the tray includes a workpiece plate on which the workpieces are placed, a slide plate fixed to the lower surface of this workpiece plate, and this slide. It consists of a plate that is slidably attached to the lower surface of the plate, and the object plate is provided with four dowel pins, two at right angles, for each block on which one workpiece is placed. Two elongated holes are provided per block in the portion facing the dowel pin and corresponding to the other two sides of the workpiece, and the slide plate is provided with a leaf spring at a position corresponding to the elongated hole. This leaf spring has a length that protrudes from the upper part of the object plate, a cam for moving the slide plate is provided at the end of the plate, and a replaceable connecting part is provided on the lower surface of the iron plate and on the mount. and the tray is removably attached to the mount via the replaceable connection part.
JP3711379U 1979-03-22 1979-03-22 loading table Expired JPS5927995Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3711379U JPS5927995Y2 (en) 1979-03-22 1979-03-22 loading table

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3711379U JPS5927995Y2 (en) 1979-03-22 1979-03-22 loading table

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55138482U JPS55138482U (en) 1980-10-02
JPS5927995Y2 true JPS5927995Y2 (en) 1984-08-13

Family

ID=28899560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3711379U Expired JPS5927995Y2 (en) 1979-03-22 1979-03-22 loading table

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5927995Y2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55138482U (en) 1980-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2024507306A (en) Welding jig and clamping method
JPH11245064A (en) Laser welding apparatus of suspension for disc device
US4125136A (en) Cut and clinch mechanism
EP1992449A1 (en) Machining center and machining method
JPS5927995Y2 (en) loading table
JP3951702B2 (en) Workpiece positioning method for machine tools
KR100254122B1 (en) A device for bending outer leads of semiconductor package
US5244073A (en) Method of pressing chip type electronic components
JPH01146400A (en) Supporter for substrate
CN220040961U (en) Exposure apparatus
JP2762306B2 (en) Hard disk assembly positioning mounting mechanism
US4540423A (en) Methods of fashioning glass bonded device
JPH07122898A (en) Device for press-fitting connector
JPH0314076Y2 (en)
JPH09174359A (en) Machine Tools
CN219152177U (en) Part fixture suitable for machining
JPH11345863A (en) Positioning and fixing mechanism for cassette and substrate transfer equipment using the same
JPH0328024Y2 (en)
CN220221870U (en) Transferring jig
CN114161315A (en) A kind of inner support device and inner support processing method of thin-walled parts
CN219068501U (en) Processing equipment for PCB
CN216177388U (en) Furnace-passing jig with contact pin trough
JP4080181B2 (en) Processing device and printed circuit board processing machine
CN218426409U (en) Coplanarity assembling and welding tool for miniature combined plate
JP4778643B2 (en) Work table