JPS588280A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JPS588280A JPS588280A JP10482381A JP10482381A JPS588280A JP S588280 A JPS588280 A JP S588280A JP 10482381 A JP10482381 A JP 10482381A JP 10482381 A JP10482381 A JP 10482381A JP S588280 A JPS588280 A JP S588280A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は核融合装雪量の他比較的大容量の燃料水素１重
水素、トリチウムとヘリウムとの混合ガス等の真空排気
を長時間に亘り行う必要のある装置に適した真空排気装
置に関する。
水素、トリチウムとヘリウムとの混合ガス等の真空排気
を長時間に亘り行う必要のある装置に適した真空排気装
置に関する。
従来真空排気を行なう手段としてクライオポンプが知ら
れ、これのＩＩ数合を設備すれば大容量の真空排気を行
なうことが出来るが一般にクライオポンプはその運転時
間の経過と共に真空排気能力が低下するので、凝欄、蓄
積されたガスをガス化して排気除去する再生処理を施す
必要がある。そのため各クライオポンプの上流側に夫々
真空パルプを設けて真空室内の真空を維持し且つ真空排
気作動を中断することな（順次５各ぎンプの再生処理を
行なうことが考えられるが各ぎ）プは核融合装置の場合
・例えば２寓に及が予測される。
れ、これのＩＩ数合を設備すれば大容量の真空排気を行
なうことが出来るが一般にクライオポンプはその運転時
間の経過と共に真空排気能力が低下するので、凝欄、蓄
積されたガスをガス化して排気除去する再生処理を施す
必要がある。そのため各クライオポンプの上流側に夫々
真空パルプを設けて真空室内の真空を維持し且つ真空排
気作動を中断することな（順次５各ぎンプの再生処理を
行なうことが考えられるが各ぎ）プは核融合装置の場合
・例えば２寓に及が予測される。
本発明はこうした！！難性のない大容量の真空排気装置
を提供することをその目的とするもので、その特定発明
は真空室内に、前向きの真空排気口を備えたタライオボ
ンプを反転回動自在に設け１その反転回動時に該真空排
気口に密接自在であると共に該室外の再生用排気ポンプ
に真空パルプを介して自在に連通される再生ダクトを設
けて成り、その第２発明は真空室内に、前向きの真空排
気口を備えたタライオボンプの複数台を夫々反転回動自
在を設け、その反転Ｉ励時に該真空排気口に密接自在で
あると共に該室外の再生用排気ポンプに真空パルプを介
して自在に連通される再生ダクトのＩＩ数本を設けて該
タライオボンプと該ダクトとで＊＊組の真空排気装置を
構成させ、真空排気能力の低下したタライオボンプを反
転回動してこれに再生用流体をンプに連通して成る〇 本発明装置の実施例を図面につき説明するに、（１）は
例えば被融合装置の膨張用真空室等に連らなる直径約ｓ
Ｏ＠の真空室、（２）は前向きの真空排気口（３）す備
えたタライオｌンプを示し、該ポンプ（２）は該真空塞
（１）の真空壁（１＆）に設けた真空７ランジ（４）と
１１体の支持台（５バ５ｊに回転軸（６） （６）を介
して回動自在に取付けされ、その一方の回転軸（６）が
ベルト等の伝達手段（７）を介して接続した該真空室（
１）の室外のモータ（８）により回転されると該ポンプ
（２）の真空排気口（３）は千れまでの前向き状態すな
わち真空室（υ内を向いた状態から後向き状態に反転囲
動するようにした。図示のものでは各支持台（５バ５）
を真′空室（１）内に対しては気密であるが酸室（１）
外には連通する中空筐体にて構成し、各支持台（５バ５
）内にタライオボンプ（２）を循環する液体ヘリウムそ
の他の冷媒用の流通管（９＆）と液体窒素、ヘリウムガ
ス等の再生用流体の流通管（！ｂ）とｅ設け、各流通管
（９ｍ）（？ ｂ）とタツイオポンプ（２）とを夫々フ
レキシブルホース（１０ａバ１０ｂ）を介して接続する
ようにした。ｆｉ力はシェブロンバッフルで、該バッフ
ルａυは第Ｓ図示の如くクテイオポンプ（２）の真空排
気口（３）の水素ガス等を凝縮する４０に以下の温度に
適したシェブロンバッフル（１１ｍ）と、該タライオボ
ンプ（２）の前方の真空塞（す内の水その他の不純物の
凝縮と排気ガスの冷却、真空室壁からの放射線を遮断す
る７００！乃至１００’にの濃度に達したシェブロンバ
ッフル（ｔｌｂ）との２重に構成されるが、該バッフル
（１１ｂ）を第５ＷＪ示のようにタライオボンプ（２）
のバッフル（１１龜）の前方に殴は該゛クライオｌンプ
（２）と共に反転同動されるようにしてもよい。（１３
は活性炭、凝固したアルゴンその他で構成した４°ｍ：
以下の温度に適したタライオソープシ目ンパネルで、該
パネルａ′ｓがその背後から前記冷媒により冷却される
と真空１１（１）内の気体が各パ’／ ７ ｋ （１１
＆）（１ｌｂ）及びパ＊、ｘａｓノ表面に凝縮耐着して
該真空室（ｌ）内が真空化する。
を提供することをその目的とするもので、その特定発明
は真空室内に、前向きの真空排気口を備えたタライオボ
ンプを反転回動自在に設け１その反転回動時に該真空排
気口に密接自在であると共に該室外の再生用排気ポンプ
に真空パルプを介して自在に連通される再生ダクトを設
けて成り、その第２発明は真空室内に、前向きの真空排
気口を備えたタライオボンプの複数台を夫々反転回動自
在を設け、その反転Ｉ励時に該真空排気口に密接自在で
あると共に該室外の再生用排気ポンプに真空パルプを介
して自在に連通される再生ダクトのＩＩ数本を設けて該
タライオボンプと該ダクトとで＊＊組の真空排気装置を
構成させ、真空排気能力の低下したタライオボンプを反
転回動してこれに再生用流体をンプに連通して成る〇 本発明装置の実施例を図面につき説明するに、（１）は
例えば被融合装置の膨張用真空室等に連らなる直径約ｓ
Ｏ＠の真空室、（２）は前向きの真空排気口（３）す備
えたタライオｌンプを示し、該ポンプ（２）は該真空塞
（１）の真空壁（１＆）に設けた真空７ランジ（４）と
１１体の支持台（５バ５ｊに回転軸（６） （６）を介
して回動自在に取付けされ、その一方の回転軸（６）が
ベルト等の伝達手段（７）を介して接続した該真空室（
１）の室外のモータ（８）により回転されると該ポンプ
（２）の真空排気口（３）は千れまでの前向き状態すな
わち真空室（υ内を向いた状態から後向き状態に反転囲
動するようにした。図示のものでは各支持台（５バ５）
を真′空室（１）内に対しては気密であるが酸室（１）
外には連通する中空筐体にて構成し、各支持台（５バ５
）内にタライオボンプ（２）を循環する液体ヘリウムそ
の他の冷媒用の流通管（９＆）と液体窒素、ヘリウムガ
ス等の再生用流体の流通管（！ｂ）とｅ設け、各流通管
（９ｍ）（？ ｂ）とタツイオポンプ（２）とを夫々フ
レキシブルホース（１０ａバ１０ｂ）を介して接続する
ようにした。ｆｉ力はシェブロンバッフルで、該バッフ
ルａυは第Ｓ図示の如くクテイオポンプ（２）の真空排
気口（３）の水素ガス等を凝縮する４０に以下の温度に
適したシェブロンバッフル（１１ｍ）と、該タライオボ
ンプ（２）の前方の真空塞（す内の水その他の不純物の
凝縮と排気ガスの冷却、真空室壁からの放射線を遮断す
る７００！乃至１００’にの濃度に達したシェブロンバ
ッフル（ｔｌｂ）との２重に構成されるが、該バッフル
（１１ｂ）を第５ＷＪ示のようにタライオボンプ（２）
のバッフル（１１龜）の前方に殴は該゛クライオｌンプ
（２）と共に反転同動されるようにしてもよい。（１３
は活性炭、凝固したアルゴンその他で構成した４°ｍ：
以下の温度に適したタライオソープシ目ンパネルで、該
パネルａ′ｓがその背後から前記冷媒により冷却される
と真空１１（１）内の気体が各パ’／ ７ ｋ （１１
＆）（１ｌｂ）及びパ＊、ｘａｓノ表面に凝縮耐着して
該真空室（ｌ）内が真空化する。
Ｉはタライオボンプ（２）の後方に設けた再生ダクト、
ａ４は真空７ツンジ（４）を介して真空Ｉ！ （１）外
の再生用排気ポンプに接続した接続ダクト、ａ！９は該
ダクトａ４に介在させた小形真空パルプを示し、該再生
ダクト峙はクツィオボンプ（２）の真空排気口（３）が
後向會となったとき螺杵その他の移動乎段舖により前進
して該排気口（３）に書接し、流通管（９ｂ）を介して
例え４重液体ヘリウムに代えこれよりも温度の高い例え
ば１０００！のヘリウムガス等の再生流体を供給して該
タライオボンプ（鋤の再生を行なうとき骸タライオボン
プ（２）から発生する水素及びヘリウムガスが該再生ダ
クト０を介して再生用排気ｌンプに吸引されるようにし
た・ 該真空ＩＩ （１）が前記したように大径大容量のもの
である場合験屓転回動自在のタライオポンプ（２）と再
生ダタ）ａｓのｉｌＩ＆組を第３図及び第４図示の如く
真空壁（１ａ）に設け１真空排気能力の低下したタライ
オボンプ（２）を順次に反転囲動して前記したような再
生処理を施せば該真空室（１）内の真空排気作用が中断
されることがなく、該真空室（１）り連らなる幀融合装
置等の運転が中断されることもない。ａηは真空室壁か
らの放射熱のシールドである。
ａ４は真空７ツンジ（４）を介して真空Ｉ！ （１）外
の再生用排気ポンプに接続した接続ダクト、ａ！９は該
ダクトａ４に介在させた小形真空パルプを示し、該再生
ダクト峙はクツィオボンプ（２）の真空排気口（３）が
後向會となったとき螺杵その他の移動乎段舖により前進
して該排気口（３）に書接し、流通管（９ｂ）を介して
例え４重液体ヘリウムに代えこれよりも温度の高い例え
ば１０００！のヘリウムガス等の再生流体を供給して該
タライオボンプ（鋤の再生を行なうとき骸タライオボン
プ（２）から発生する水素及びヘリウムガスが該再生ダ
クト０を介して再生用排気ｌンプに吸引されるようにし
た・ 該真空ＩＩ （１）が前記したように大径大容量のもの
である場合験屓転回動自在のタライオポンプ（２）と再
生ダタ）ａｓのｉｌＩ＆組を第３図及び第４図示の如く
真空壁（１ａ）に設け１真空排気能力の低下したタライ
オボンプ（２）を順次に反転囲動して前記したような再
生処理を施せば該真空室（１）内の真空排気作用が中断
されることがなく、該真空室（１）り連らなる幀融合装
置等の運転が中断されることもない。ａηは真空室壁か
らの放射熱のシールドである。
その作動を説明するにクライオポンプ（２）はその真空
排気口（３）を前向きとして真空１ｍ（１）内のガスを
凝縮及び吸着し排気するがその運転時間が経過して排気
能力が低下すると回転軸（６） （６）Ｉ中心として反
転回動されその真空排気口（３）を後向きとするもので
、これと同時に再生ダクトＩが該排気口（３）に前進し
て密接し、該ポンプ（２）に再生用流体が供給されて再
生する場合に発生する気体が開かれた真空パルプａ９を
介して再生用排気ポンプに吸収され、そのＮ生を比較的
簡単に行なえると共に再生が終了すると該真空パルプ四
が閉じられ、再び該クライオポンプ（２）が反転回動し
てその真空排気口（３）を前向きとし真空排気作動を行
なう。真空室（１）が大容量でクライオポンプ（２）と
再生ダク）Ｑ３の複数組を設けた場合排気能力の低下し
たクライオポンプ（２）のみを順次反転回動して前記の
如く再生出来ると共に他のクライオポンプ（２）は真空
排気を継続することが出来、真空室（１）の真空度を下
げず長時間に亘る真空を雑持し得る０ まり該シエプーンパツフル（１１′ｂ）を第５図示の如
く各クライオぎンプ（２）の前面に取付は該バッフル（
１１ｋ）もダンプ（７）と共に反転回動自在とすれば該
バッフル（１１ｋ）に凝縮した水分を簡単に再生ダタ）
ａｓを介して排除することが出来る。
排気口（３）を前向きとして真空１ｍ（１）内のガスを
凝縮及び吸着し排気するがその運転時間が経過して排気
能力が低下すると回転軸（６） （６）Ｉ中心として反
転回動されその真空排気口（３）を後向きとするもので
、これと同時に再生ダクトＩが該排気口（３）に前進し
て密接し、該ポンプ（２）に再生用流体が供給されて再
生する場合に発生する気体が開かれた真空パルプａ９を
介して再生用排気ポンプに吸収され、そのＮ生を比較的
簡単に行なえると共に再生が終了すると該真空パルプ四
が閉じられ、再び該クライオポンプ（２）が反転回動し
てその真空排気口（３）を前向きとし真空排気作動を行
なう。真空室（１）が大容量でクライオポンプ（２）と
再生ダク）Ｑ３の複数組を設けた場合排気能力の低下し
たクライオポンプ（２）のみを順次反転回動して前記の
如く再生出来ると共に他のクライオポンプ（２）は真空
排気を継続することが出来、真空室（１）の真空度を下
げず長時間に亘る真空を雑持し得る０ まり該シエプーンパツフル（１１′ｂ）を第５図示の如
く各クライオぎンプ（２）の前面に取付は該バッフル（
１１ｋ）もダンプ（７）と共に反転回動自在とすれば該
バッフル（１１ｋ）に凝縮した水分を簡単に再生ダタ）
ａｓを介して排除することが出来る。
このように本発明によるときは真空室に反転回動自在の
クライオポンプと該クライオポンプの真空排気口に密接
自在で且つ該室外の再生用排気ダンプに接続自在の？ｌ
ｌ生ダク）を設けたのでクライオポンプを反転回動して
再生ダクシを密接さ曽る比較的簡単な操作でクライオポ
ンプの再生を行なえると共に構造も簡単で安価に製作出
来、その第２発明によるときは度板自在のクライオポン
プと再生ダク）との複数組を設けて排気能力の低下した
クライオポンプのみを反転回動してこれを再生するので
真空室の排気速度を低下することなく長時間の真空を維
持出来１前記した不都合のない真空排気作動が得られ棲
融合装置等に好都合である等の効果がある。
クライオポンプと該クライオポンプの真空排気口に密接
自在で且つ該室外の再生用排気ダンプに接続自在の？ｌ
ｌ生ダク）を設けたのでクライオポンプを反転回動して
再生ダクシを密接さ曽る比較的簡単な操作でクライオポ
ンプの再生を行なえると共に構造も簡単で安価に製作出
来、その第２発明によるときは度板自在のクライオポン
プと再生ダク）との複数組を設けて排気能力の低下した
クライオポンプのみを反転回動してこれを再生するので
真空室の排気速度を低下することなく長時間の真空を維
持出来１前記した不都合のない真空排気作動が得られ棲
融合装置等に好都合である等の効果がある。
第１ＷＪは本発明装置の１例の裁断側面図、第２ＷＪは
その作動状態の裁断側面図、第易線は第２発明の１例の
裁断側面図、第４ｇはその■−ｙ線截線側断側面図５図
は他の１例の裁断側面図である０ （１）・・・真 空 室 （２）・・・クライオポン
プ（３）・・・真空排気口 αＦ・・再生ダクト外２
名 第１図 １ａ 第２図 第３図 −Ｎ 第４図 手続補正書（＊船 昭和 ５％ ８月９４ａ 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和ｓ４年特許願第１０４１１１暴号 ２、発明の名称 真空排気装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 日本真空技術株式金社 う、 の日付 ６、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」及び「図面の簡単な鋭利
の欄 ７、補正の内容 （１） 明細書第４頁第１８行目の「環する液体・・
・Ｊから第１９行目の「・・・の再生用流体」までを次
の通り訂正する。 記 環する液体ヘリウムの冷媒用の流通管（９＆）と液体窒
素、ヘリウムガス等の冷媒 （２）同第５頁第１９行目の「・・・が真空化する−の
後に下記の１文を加入する。 記 尚、凝固したアルゴンを用いるときはその供給用配管が
別個に設けられる。 （３）同第６頁第７行目冒頭に「管（９ｋ）Ｊとあるを
「管（９ａ） Ｊに訂正する。 （４）同第９頁第５行目に「第ｓ１ｍは第」とあるを「
第５図は第」に訂正する。
その作動状態の裁断側面図、第易線は第２発明の１例の
裁断側面図、第４ｇはその■−ｙ線截線側断側面図５図
は他の１例の裁断側面図である０ （１）・・・真 空 室 （２）・・・クライオポン
プ（３）・・・真空排気口 αＦ・・再生ダクト外２
名 第１図 １ａ 第２図 第３図 −Ｎ 第４図 手続補正書（＊船 昭和 ５％ ８月９４ａ 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和ｓ４年特許願第１０４１１１暴号 ２、発明の名称 真空排気装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 日本真空技術株式金社 う、 の日付 ６、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」及び「図面の簡単な鋭利
の欄 ７、補正の内容 （１） 明細書第４頁第１８行目の「環する液体・・
・Ｊから第１９行目の「・・・の再生用流体」までを次
の通り訂正する。 記 環する液体ヘリウムの冷媒用の流通管（９＆）と液体窒
素、ヘリウムガス等の冷媒 （２）同第５頁第１９行目の「・・・が真空化する−の
後に下記の１文を加入する。 記 尚、凝固したアルゴンを用いるときはその供給用配管が
別個に設けられる。 （３）同第６頁第７行目冒頭に「管（９ｋ）Ｊとあるを
「管（９ａ） Ｊに訂正する。 （４）同第９頁第５行目に「第ｓ１ｍは第」とあるを「
第５図は第」に訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ 真空室内に、前向きの真空排気口を備えたクライオ
ポンプを反転回動自在に設け、その反転回動時に該真空
排気口に密接自在であると共に該室外の再生用排気ｌン
プに真空パルプを介して自在に連通される再生ダタシを
設けて成る真空排気装置・ ２ 真空室内に、前向きの真空排気口を備えたクライオ
ポンプの複数台を夫々反転回動自在に設け、その反転回
動時に該真空排気口に密接自在であると共に該室外の再
生用排気゛ｌンプに真空パルプを介して自在に連通され
る再生ダタＦの彼数本を設けて該クライオポンプと該ダ
クトとで複数組の真空排気装置を構成させ−、真空排気
能力の低下したクライオポンプを反転回動してこれに再
生用流体を供給す・ると共に該再生ダク）を該再生用排
気ポンプに連通して成る真空排気装置・ 工 前記クライオポンプの真空排気口に２重のシエプ田
ンパッフルを備えるようにして成る特許請求の範囲第１
項もしくは第２項記載の真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10482381A JPS588280A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10482381A JPS588280A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS588280A true JPS588280A (ja) | 1983-01-18 |
| JPS6156434B2 JPS6156434B2 (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14391114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10482381A Granted JPS588280A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588280A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1035022A1 (en) | 1999-03-11 | 2000-09-13 | Toyo Jidoki Co., Ltd. | Continuous container supply device in continuous-filling packaging system and continuous-filling packaging system |
| US7940947B2 (en) | 2002-02-21 | 2011-05-10 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Headphone set |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54153314A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-03 | Ulvac Corp | Regenerative apparatus for cryopump |
-
1981
- 1981-07-04 JP JP10482381A patent/JPS588280A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54153314A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-03 | Ulvac Corp | Regenerative apparatus for cryopump |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1035022A1 (en) | 1999-03-11 | 2000-09-13 | Toyo Jidoki Co., Ltd. | Continuous container supply device in continuous-filling packaging system and continuous-filling packaging system |
| US7940947B2 (en) | 2002-02-21 | 2011-05-10 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Headphone set |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6156434B2 (ja) | 1986-12-02 |
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