JPH1194671A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH1194671A JPH1194671A JP25065597A JP25065597A JPH1194671A JP H1194671 A JPH1194671 A JP H1194671A JP 25065597 A JP25065597 A JP 25065597A JP 25065597 A JP25065597 A JP 25065597A JP H1194671 A JPH1194671 A JP H1194671A
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- Japan
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- pressure
- sensor
- pressure receiving
- pressure sensor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定流体の温度変化に対して安定に動作で
き、温度特性が良好な圧力センサを提供する。 【解決手段】 受圧ボディの内部に封入液が満たされシ
ールダイアフラムを介して測定流体に接する受圧部と、
前記封入液の圧力を検出するセンサ部とを具備する圧力
センサにおいて、前記封入液が満たされた部分に僅かの
封入液を残して設けられ温度変化に対して前記受圧ボデ
ィとの熱膨張係数差によって前記封入液の膨張分が相殺
される様に選定された低熱膨張係数物体と、前記受圧部
と前記センサ部との間に設けられ前記受圧部から前記セ
ンサ部を断熱する断熱部とを具備したことを特徴とする
圧力センサである。
き、温度特性が良好な圧力センサを提供する。 【解決手段】 受圧ボディの内部に封入液が満たされシ
ールダイアフラムを介して測定流体に接する受圧部と、
前記封入液の圧力を検出するセンサ部とを具備する圧力
センサにおいて、前記封入液が満たされた部分に僅かの
封入液を残して設けられ温度変化に対して前記受圧ボデ
ィとの熱膨張係数差によって前記封入液の膨張分が相殺
される様に選定された低熱膨張係数物体と、前記受圧部
と前記センサ部との間に設けられ前記受圧部から前記セ
ンサ部を断熱する断熱部とを具備したことを特徴とする
圧力センサである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定流体の温度変
化に対して安定に動作でき、温度特性が良好な圧力セン
サに関するものである。
化に対して安定に動作でき、温度特性が良好な圧力セン
サに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図である。図において、１は、受圧ボ
ディ２の内部に封入液３が満たされ、シールダイアフラ
ム４を介して測定流体Ａに接する受圧部である。
従来例の構成説明図である。図において、１は、受圧ボ
ディ２の内部に封入液３が満たされ、シールダイアフラ
ム４を介して測定流体Ａに接する受圧部である。
【０００３】５は、受圧部１に一端が接続され、内部を
封入液３が流れる導管である。６は、封入液３の圧力を
検出するセンサ部である。センサ部６内には圧力センサ
素子７が設けられ、圧力センサ素子７のリードを取り出
す機密端子８が設けられている。
封入液３が流れる導管である。６は、封入液３の圧力を
検出するセンサ部である。センサ部６内には圧力センサ
素子７が設けられ、圧力センサ素子７のリードを取り出
す機密端子８が設けられている。
【０００４】以上の構成において、受圧部１に測定流体
Ａが加わると、シールダイアフラム４を介して封入液３
に測定流体Ａの圧力が加わる。この圧力は、導管５を介
して、センサ部６の圧力センサ素子７に加わり、測定流
体Ａの圧力が、測定される。
Ａが加わると、シールダイアフラム４を介して封入液３
に測定流体Ａの圧力が加わる。この圧力は、導管５を介
して、センサ部６の圧力センサ素子７に加わり、測定流
体Ａの圧力が、測定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この様な従来の装置に
おいては、装置を小型化するために、受圧部１とセンサ
部６とを接近させたい。しかし、接近させると、測定流
体Ａが高温の場合、センサ部６も高温となる。通常、セ
ンサ部６は高温に弱い。
おいては、装置を小型化するために、受圧部１とセンサ
部６とを接近させたい。しかし、接近させると、測定流
体Ａが高温の場合、センサ部６も高温となる。通常、セ
ンサ部６は高温に弱い。
【０００６】そこで、受圧部１とセンサ部６とを接近さ
せると共に、受圧部１とセンサ部６との間に断熱部を設
ける。しかし、この様にすると、センサ部６は受圧部１
での温度情報が得られなくなり、温度補正が出来なくな
る。このため、受圧部１に温度センサを設け、受圧部１
での温度情報を得るようにする。
せると共に、受圧部１とセンサ部６との間に断熱部を設
ける。しかし、この様にすると、センサ部６は受圧部１
での温度情報が得られなくなり、温度補正が出来なくな
る。このため、受圧部１に温度センサを設け、受圧部１
での温度情報を得るようにする。
【０００７】しかしながら、これでは （１）製造コストが高くなる。 （２）温度センサが余分に設けられるので、それだけ信
頼性が低下する。
頼性が低下する。
【０００８】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、測定流体の温度変化に対して安定
に動作でき、温度特性が良好な圧力センサを提供するに
ある。
る。本発明の目的は、測定流体の温度変化に対して安定
に動作でき、温度特性が良好な圧力センサを提供するに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）受圧ボディの内部に封入液が満たされシールダイ
アフラムを介して測定流体に接する受圧部と、前記封入
液の圧力を検出するセンサ部とを具備する圧力センサに
おいて、 前記封入液が満たされた部分に僅かの封入液を残して設
けられ温度変化に対して前記受圧ボディとの熱膨張係数
差によって前記封入液の膨張分が相殺される様に選定さ
れた低熱膨張係数物体と、前記受圧部と前記センサ部と
の間に設けられ前記受圧部から前記センサ部を断熱する
断熱部とを具備したことを特徴とする圧力センサ。 （２）ステンレスからなる受圧ボディと、ニッケル合金
よりなる低熱膨張係数物体とを具備したことを特徴とす
る請求項１記載の圧力センサ。 （３）放熱フィンからなる断熱部を具備したことを特徴
とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。を構成
したものである。
に、本発明は、 （１）受圧ボディの内部に封入液が満たされシールダイ
アフラムを介して測定流体に接する受圧部と、前記封入
液の圧力を検出するセンサ部とを具備する圧力センサに
おいて、 前記封入液が満たされた部分に僅かの封入液を残して設
けられ温度変化に対して前記受圧ボディとの熱膨張係数
差によって前記封入液の膨張分が相殺される様に選定さ
れた低熱膨張係数物体と、前記受圧部と前記センサ部と
の間に設けられ前記受圧部から前記センサ部を断熱する
断熱部とを具備したことを特徴とする圧力センサ。 （２）ステンレスからなる受圧ボディと、ニッケル合金
よりなる低熱膨張係数物体とを具備したことを特徴とす
る請求項１記載の圧力センサ。 （３）放熱フィンからなる断熱部を具備したことを特徴
とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。を構成
したものである。
【００１０】
【作用】以上の構成において、受圧部１測定流体が加わ
ると、シールダイアフラムを介して封入液に測定流体の
圧力が加わる。この圧力は、断熱部を介して、センサ部
の圧力センサ素子に加わり、測定流体の圧力が、測定さ
れる。
ると、シールダイアフラムを介して封入液に測定流体の
圧力が加わる。この圧力は、断熱部を介して、センサ部
の圧力センサ素子に加わり、測定流体の圧力が、測定さ
れる。
【００１１】しかして、シールダイアフラムに接する測
定流体が、高い温度（又は低い温度）に変化したとき、
断熱部の断熱機能によって、圧力センサ素子は、温度変
化の負荷から保護される。
定流体が、高い温度（又は低い温度）に変化したとき、
断熱部の断熱機能によって、圧力センサ素子は、温度変
化の負荷から保護される。
【００１２】また、温度変化により発生した封入液の膨
張（収縮）は、低熱膨張係数物体と受圧ボディとの熱膨
張係数差により相殺され、封入液の圧力の変化を生じな
い。
張（収縮）は、低熱膨張係数物体と受圧ボディとの熱膨
張係数差により相殺され、封入液の圧力の変化を生じな
い。
【００１３】このことにより、圧力センサ素子には、測
定流体の温度変化による圧力変化は、検出されず、測定
流体の圧力を正確に測定する事が出来る。要するに、断
熱部を設ける事により、圧力センサ部が、受圧部と温度
的に無関係になるようにした。
定流体の温度変化による圧力変化は、検出されず、測定
流体の圧力を正確に測定する事が出来る。要するに、断
熱部を設ける事により、圧力センサ部が、受圧部と温度
的に無関係になるようにした。
【００１４】そして、圧力センサ部が、受圧部と温度的
に無関係になればなるほど必要になる、測定流体の温度
変化による圧力補正を、低熱膨張係数物体を設けること
により、積極的に不要とした。以下、実施例に基づき詳
細に説明する。
に無関係になればなるほど必要になる、測定流体の温度
変化による圧力補正を、低熱膨張係数物体を設けること
により、積極的に不要とした。以下、実施例に基づき詳
細に説明する。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の要部構
成説明図である。図において、図４と同一記号の構成は
同一機能を表わす。以下、図４と相違部分のみ説明す
る。
成説明図である。図において、図４と同一記号の構成は
同一機能を表わす。以下、図４と相違部分のみ説明す
る。
【００１６】１１は、受圧ボディの内部の封入液３が満
たされた部分に、僅かの封入液３を残して設けられ、温
度変化に対して、受圧ボディ２との熱膨張係数差によっ
て、封入液３の膨張分が、相殺される様に選定された低
熱膨張係数物体である。この場合は、受圧ボディ２はス
テンレスからなり、低熱膨張係数物体はニッケル合金よ
りなる。
たされた部分に、僅かの封入液３を残して設けられ、温
度変化に対して、受圧ボディ２との熱膨張係数差によっ
て、封入液３の膨張分が、相殺される様に選定された低
熱膨張係数物体である。この場合は、受圧ボディ２はス
テンレスからなり、低熱膨張係数物体はニッケル合金よ
りなる。
【００１７】１２は、受圧部１とセンサ部６との間に設
けられ、受圧部１からセンサ部６を断熱する断熱部であ
る。この場合は、断熱部１２は、放熱フィンからなる。
けられ、受圧部１からセンサ部６を断熱する断熱部であ
る。この場合は、断熱部１２は、放熱フィンからなる。
【００１８】以上の構成において、受圧部１に測定流体
Ａが加わると、シールダイアフラム４を介して封入液３
に測定流体Ａの圧力が加わる。この圧力は、断熱部１２
を介して、センサ部６の圧力センサ素子７に加わり、測
定流体Ａの圧力が、測定される。
Ａが加わると、シールダイアフラム４を介して封入液３
に測定流体Ａの圧力が加わる。この圧力は、断熱部１２
を介して、センサ部６の圧力センサ素子７に加わり、測
定流体Ａの圧力が、測定される。
【００１９】しかして、シールダイアフラム４に接する
測定流体Ａが、高い温度（又は低い温度）に変化したと
き、断熱部１２の断熱機能によって、圧力センサ素子７
は、温度変化の負荷から保護される。
測定流体Ａが、高い温度（又は低い温度）に変化したと
き、断熱部１２の断熱機能によって、圧力センサ素子７
は、温度変化の負荷から保護される。
【００２０】また、温度変化により発生した封入液３の
膨張（収縮）は、低熱膨張係数物体１１と受圧ボディ２
との熱膨張係数差により相殺され、封入液３の圧力の変
化を生じない。
膨張（収縮）は、低熱膨張係数物体１１と受圧ボディ２
との熱膨張係数差により相殺され、封入液３の圧力の変
化を生じない。
【００２１】このことにより、圧力センサ素子７には、
測定流体Ａの温度変化による圧力変化は、検出されず、
測定流体Ａの圧力を正確に測定する事が出来る。要する
に、断熱部１２を設ける事により、圧力センサ部６が、
受圧部１と温度的に無関係になるようにした。
測定流体Ａの温度変化による圧力変化は、検出されず、
測定流体Ａの圧力を正確に測定する事が出来る。要する
に、断熱部１２を設ける事により、圧力センサ部６が、
受圧部１と温度的に無関係になるようにした。
【００２２】そして、圧力センサ部６が、受圧部１と温
度的に無関係になればなるほど必要になる、測定流体Ａ
の温度変化による圧力補正を、低熱膨張係数物体１１を
設けることにより、積極的に不要とした。
度的に無関係になればなるほど必要になる、測定流体Ａ
の温度変化による圧力補正を、低熱膨張係数物体１１を
設けることにより、積極的に不要とした。
【００２３】この結果、 （１）受圧部１と圧力センサ部６とを熱的にアイソレー
トしたために、圧力センサ部６を、測定流体Ａの熱負荷
から保護することができ、圧力センサ素子７は、常に安
定に動作することが出来るので、周囲温度の変化に対し
て安定に動作できる圧力センサが得られる。
トしたために、圧力センサ部６を、測定流体Ａの熱負荷
から保護することができ、圧力センサ素子７は、常に安
定に動作することが出来るので、周囲温度の変化に対し
て安定に動作できる圧力センサが得られる。
【００２４】（２）圧力センサ部６が、受圧部１と温度
的に無関係になればなるほど必要になる、測定流体Ａの
温度変化に対する圧力補正を、低熱膨張係数物体１１を
設けることにより、封入液３の膨張収縮を、相殺される
ようにして、積極的に不要とした。
的に無関係になればなるほど必要になる、測定流体Ａの
温度変化に対する圧力補正を、低熱膨張係数物体１１を
設けることにより、封入液３の膨張収縮を、相殺される
ようにして、積極的に不要とした。
【００２５】従って、測定流体Ａの温度変化による測定
誤差を小さく抑えることができ、測定精度が向上された
圧力センサが得られる。
誤差を小さく抑えることができ、測定精度が向上された
圧力センサが得られる。
【００２６】図２は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。２１は受圧部１とセンサ部６とを結ぶキャピ
ラリーチューブである。キャピラリーチューブ２１が図
１の断熱部１２を構成する。２２は、センサ部ボディで
ある。
図である。２１は受圧部１とセンサ部６とを結ぶキャピ
ラリーチューブである。キャピラリーチューブ２１が図
１の断熱部１２を構成する。２２は、センサ部ボディで
ある。
【００２７】図３は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。３１は、差圧測定装置である。差圧測定装置
３１が図１のセンサ部６を構成する。
図である。３１は、差圧測定装置である。差圧測定装置
３１が図１のセンサ部６を構成する。
【００２８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
発明によれば、 （１）受圧部と圧力センサ部とを熱的にアイソレートし
た為に、圧力センサ部を、測定流体の熱負荷から保護す
ることができ、圧力センサ素子は、常に安定に動作する
ことが出来るので、周囲温度の変化に対して安定に動作
できる圧力センサが得られる。
発明によれば、 （１）受圧部と圧力センサ部とを熱的にアイソレートし
た為に、圧力センサ部を、測定流体の熱負荷から保護す
ることができ、圧力センサ素子は、常に安定に動作する
ことが出来るので、周囲温度の変化に対して安定に動作
できる圧力センサが得られる。
【００２９】（２）圧力センサ部が、受圧部と温度的に
無関係になればなるほど必要になる、測定流体の温度変
化に対する圧力補正を、低熱膨張係数物体を設けること
により、封入液の膨張収縮を相殺されるようにして、積
極的に不要とした。
無関係になればなるほど必要になる、測定流体の温度変
化に対する圧力補正を、低熱膨張係数物体を設けること
により、封入液の膨張収縮を相殺されるようにして、積
極的に不要とした。
【００３０】従って、測定流体の温度変化による測定誤
差を小さく抑えることができ、測定精度が向上された圧
力センサが得られる。
差を小さく抑えることができ、測定精度が向上された圧
力センサが得られる。
【００３１】従って、本発明によれば、測定流体の温度
変化に対して安定に動作でき、温度特性が良好な圧力セ
ンサを実現することが出来る。
変化に対して安定に動作でき、温度特性が良好な圧力セ
ンサを実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１ 受圧部 ２ 受圧ボディ ３ 封入液 ４ シールダイアフラム ６ センサ部 ７ 圧力センサ素子 ８ 機密端子 １１ 断熱部 １２ 低熱膨張係数物体 ２１ キャピラリーチューブ ２２ センサ部ボディ ３１ 差圧測定装置 Ａ 測定流体
Claims (3)
- 【請求項１】受圧ボディの内部に封入液が満たされシー
ルダイアフラムを介して測定流体に接する受圧部と、 前記封入液の圧力を検出するセンサ部とを具備する圧力
センサにおいて、 前記封入液が満たされた部分に僅かの封入液を残して設
けられ温度変化に対して前記受圧ボディとの熱膨張係数
差によって前記封入液の膨張分が相殺される様に選定さ
れた低熱膨張係数物体と、 前記受圧部と前記センサ部との間に設けられ前記受圧部
から前記センサ部を断熱する断熱部とを具備したことを
特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】ステンレスからなる受圧ボディと、 ニッケル合金よりなる低熱膨張係数物体とを具備したこ
とを特徴とする請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】放熱フィンからなる断熱部を具備したこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25065597A JPH1194671A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25065597A JPH1194671A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1194671A true JPH1194671A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17211091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25065597A Pending JPH1194671A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1194671A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7258021B2 (en) | 2004-06-25 | 2007-08-21 | Rosemount Inc. | Process transmitter isolation assembly |
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-
1997
- 1997-09-16 JP JP25065597A patent/JPH1194671A/ja active Pending
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